【課題】 蒸着工程における粉体材料の充填・仕込み工程を排して部品の着脱のみで済むようにし効率化すると共に、材料への汚染・吸湿等の影響を低減し、且つ、昇華工程における精製収率の向上をなし得る蒸着方法を提供する。
【解決手段】 昇華材料を昇華する昇華工程と、昇華した昇華材料を基板に蒸着する蒸着工程を少なくとも有する蒸着方法において、昇華工程は、昇華する前の昇華材料を収容する未昇華材料仕込み部品１３に連結する多段式且つ内部が連通している捕集部品１２の内部に昇華した昇華材料が付着する工程であり、蒸着工程は、昇華材料が内部に付着した捕集部品１２の一部をそのまま蒸発源として加熱することで基板に前記昇華材料を成膜する工程であることを特徴とする。 （もっと読む）

気化した有機材料の基板表面への堆積を制御する方法は、基板表面に堆積させるために気化した有機材料を通過させる少なくとも1つの開口部を有するマニホールドを用意し；ある体積の有機材料を供給し、第1の状態では、その有機材料の蒸気圧が、基板に層を有効に形成するのに必要であるよりも低い値になるようにその有機材料の温度を維持し、第2の状態では、加熱されたその有機材料の蒸気圧が、層を形成するのに十分な大きさになるようにその有機材料の初期体積の一部を加熱する操作を含んでいる。
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【課題】 高い真空度を得るために長時間をかけたり、特別の装置を使用したりすることなく、アルミニウムのような易酸化性蒸着材料を希土類系永久磁石のような被処理物に安定に蒸着させるための表面処理方法、この方法を実施するために好適な表面処理装置などを提供すること。
【解決手段】 易酸化性蒸着材料からなる蒸着被膜を被処理物の表面に形成する表面処理方法であって、処理室内の少なくとも溶融蒸発部と被処理物の近傍に蒸着制御ガスを供給した状態で前記蒸着材料を蒸発させることを特徴とする。 （もっと読む）

粒子状材料を気化させて表面上に凝縮させることで層を形成する1つの方法では、ある量の粒子状材料を、その粒子状材料が自由に通過できるサイズの開口部を有する第1の容器に供給する。その粒子状材料は、開口部を通じてスクリュー構造の中に移される。そのスクリュー構造の少なくとも一部を回転させて粒子状材料を第1の容器から供給路に沿って気化ゾーンに移し、その気化ゾーンでその粒子状材料の少なくとも1つの成分を気化させて表面に供給することで層を形成する。スクリュー構造のサイズは、粒子状材料が開口部を自由に通過するのが容易になるように選択されている。
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粒子状材料を気化させて表面上に凝縮させることで層を形成する本発明の方法では、ある量の第1の粒子状材料を、第1の開口部を有する第1の容器に供給し、ある量の第2の粒子状材料を、その第1の容器と離れていて第2の開口部を有する第2の容器に供給する。第1の粒子状材料は第1の容器の第1の開口部を通じてマニホールドの中に移され、そのマニホールドの中で第1の粒子状材料が気化する。第2の粒子状材料は第2の容器の第2の開口部を通じて上記マニホールドの中に移され、マニホールドの中で第2の粒子状材料が気化することにより、第1の粒子状材料と第2の粒子状材料が混合する。この気化した混合材料がマニホールドから表面に供給されて層を形成する。
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【課題】 本発明は、基板をほぼ垂直で起立した状態で有機物を蒸着して有機薄膜を形成して大型基板に適用可能で、かつ、均一な厚さの有機薄膜を形成することができる有機物蒸着装置を提供するためのものである。
【解決手段】本発明の有機物蒸着装置は胴体を成し、基板を地面に対し、７０゜ないし１１０゜の角度を維持するようにするチャンバと、基板上に蒸着する有機物を受け入れる少なくとも一つの有機物格納所からなる有機物格納部と、基板上に蒸着する有機物を噴射する有機物噴射ノズル部と、有機物噴射ノズル部と有機物格納部とを連結させる連結ラインと、有機物格納部、有機物噴射ノズル部及び連結ライン中の少なくとも有機物噴射ノズルを垂直方向に移動させることができる移送装置を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】薄膜原材料の利用効率を高めることで、高品質の薄膜を高い生産性で成膜する真空成膜装置を実現することを目的とする。
【解決手段】真空成膜チャンバ内に配置したリング状のハース３に収容した薄膜原材料４にエネルギービームを照射し、薄膜原材料４を加熱蒸発させることで基板上に薄膜を成膜する真空成膜装置において、前記ハース３における薄膜原材料４の形状として、エネルギービームが照射される箇所８を通り前記ハース３と同心の円上において薄膜原材料４の量が最大となる形状としたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 成膜材料の混合を行うに際して成分割合の調整を容易に行うことができ、成膜領域のずれを防ぐ。
【解決手段】 真空成膜装置の成膜源１０が、複数の成膜材料をそれぞれ収容する複数の材料収容部１１Ａ，１１Ｂと、各材料収容部１１Ａ，１１Ｂ内の成膜材料を加熱する加熱手段１２Ａ，１２Ｂと、成膜材料の原子流又は分子流を成膜材料毎に放出する放出口１３Ａ，１３Ｂと、材料収容部１１Ａ，１１Ｂと放出口１３Ａ，１３Ｂとを気密に連通する放出流路１４_１Ａ，１４_２Ａ，１４_３Ａ，１４_１Ｂ，１４_２Ｂ，１４_３Ｂとを備え、同一成膜材料を放出する単数又は複数の放出口１３Ａ，１３Ｂを一方向に延設し、該一方向に延設された放出口１３Ａ，１３Ｂの外縁を直線で結んで形成される帯状の放出領域Ｓ_１Ａ，Ｓ_１Ｂが平面的に少なくとも一部で互いに重なり合うように、放出口１３Ａ，１３Ｂを配置している。 （もっと読む）

【課題】 長期に亘って成膜材料の補給を必要とせずに真空蒸着装置を連続運転することが可能であり、かつその間、成膜材料を常に一定の供給速度でリングハースへ安定して供給することができる成膜材料供給装置を提供すること。
【解決手段】 成膜材料供給室１０内において、例えば２週間程度は成膜材料の補給を必要としない量のＭｇＯペレットを収容し得る成膜材料ホッパー１１と、成膜材料ホッパー１１から排出されるＭｇＯペレットを計量して一定量のＭｇＯペレットを収容する計量ホッパー２１と、計量ホッパー２１から排出されるＭｇＯペレットを受けてそのまま成膜室２０内へ導く漏斗状ホッパー３１と、成膜室２０内において、漏斗状ホッパー３１からの受けるＭｇＯペレットをリングハース５０へ一定の速度で供給し、供給量が所定の値になると計量ホッパー２１から補給される回転円筒フィーダ４１とからなる成膜材料供給装置。 （もっと読む）

本発明は、第１には、真空中で基板上に高温超伝導体を蒸着する装置であって、高温超伝導材料の貯留器を収容する再充填装置と、エネルギ伝達媒体のビームにより蒸発ゾーンにおいて上記高温超伝導材料を蒸発させる蒸発装置と、上記高温超伝導材料を再充填装置から蒸発ゾーンに、該蒸発ゾーンに供給された高温超伝導材料が実質的に残留無しで蒸発されるように、連続的に供給する供給装置とを有するような装置に関するものである。本発明は、更に、真空中で基板上に高温超伝導材料の被覆を蒸着する方法であって、高温超伝導材料の粒体を蒸発ゾーンに連続的に導入するステップと、エネルギ伝達媒体のビームを上記の導入された粒体が上記蒸発ゾーンにおいて実質的に残留無しで蒸発されるように動作させるステップとを有するような方法にも関するものである。
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【課題】 真空蒸着装置において、蒸着材料の供給及び回収動作を安定させる。
【解決手段】 真空槽、蒸着材料を加熱蒸発させる蒸発源、蒸着材料を収容する容器、容器を複数積載して収納する収納器、および、容器を収納器と蒸発源の間を移動させる移載手段を備える真空装置であって、収納器を少なくとも棒材からなる枠組みで構成した。 （もっと読む）

【課題】安価で加工が容易な材料を用いて作成された蒸着用容器を用いて、蒸着材料の蒸着を行っても詰まりを生じさせず、安定して蒸着を行うことが可能な蒸着用容器および蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸着用容器のフタの側面に蛇腹構造を設ける。または、蒸着用容器のフタを蒸着源の開口部分より大きくして、加熱部に直接接するようにする。このような構成によれば、フタの開口部付近が冷えにくい構造となり、容器の胴部とフタとで温度差が生じにくくなる。従って、開口部で蒸発した材料が詰まることがなく、長時間に渡って安定して蒸着を行うことが可能となり、蒸着レートの安定化、生産性の向上を実現することができる。 （もっと読む）

本発明は、金属及び合金の熱蒸発による、真空蒸着方法及び真空蒸着装置に関するものである。図１に提案された装置は、融解金属（液体金属）（２）を有する融解るつぼ（１）と、真空チャンバ（５）内の蒸発装置（４）の１つあるいは複数のるつぼ（３）と、融解物の圧力が固定の磁気流体力学（ＭＨＤ）回路（７）を介して上記融解るつぼを上記蒸発るつぼに接続する、加熱された液体金属パイプ（６）とを備えている。回路（７）は、ＭＨＤポンプ（８）と、ＭＨＤポンプに隣接した液体金属パイプ（６）の区域と、加熱された液体金属パイプ（９），（１０），及び（１１）と、液体金属パイプ（１１）を介してＭＨＤパイプの前の液体金属パイプ６の区域に接続され、上記のパイプ（９）に取り付けられた拡張器（１３）に液体金属パイプ（１０）を介して接続される加熱容器（１２）とを備えている。上記拡張器内と上記容器内との融解物上の空間は、図示しない真空ポンプシステムに接続されたパイプ（１４）に連結される。融解物の高さＬの２つの電気センサ（１５）は、上記拡張器に取り付けられる。上記拡張器内と上記蒸発乾燥器内との融解物の高さＬは、上記ＭＨＤ回路容器内の融解物の高さＬ_０と比較してΔｈ分高い、すなわち、ＭＨＤポンプはΔｈの圧力を供給するべきである。本発明の技術の解決案は、長期にわたる処理における金属及び合金の蒸発の安定性を高めることを可能にし、これにより生産性を高める。上記解決案は、電気、冶金、および機械技術において様々な機能を有するコーティングの蒸着のために用いられる。本発明の方法を用いて、亜鉛、マグネシウム、カドミウム、リチウム、および亜鉛化マグネシウム合金を蒸発させることが可能である。
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【解決手段】 本発明は、充填可能な坩堝に被覆材料が蒸発の目的で配置され、そして被覆装置の一部として真空室中に配置されている、被覆材料を蒸発させるための蒸発装置において、蒸発装置（１）が真空弁（９）を介して減圧可能な装填室（８）に連結されている蒸発室（２）を有し、該蒸発室（２）中には被覆材料（５）を充填可能な坩堝（６）を収容する蒸発器（３）を配備しそして該蒸発器が蒸気排出側で、即ち蒸着室に面する側で、第一の蒸気遮断弁（４）を介して蒸着室に連結されていることを特徴とする、蒸気蒸発装置に関する。
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【解決手段】 本発明は、蒸着装置においての固体および／または液体被覆材料の蒸発およびその蒸気状被覆材料の基体上への蒸着によって、蒸着チャンネル中を移動する連続搬送される基体を熱的に真空蒸着する蒸着法において、被覆材料（１０）を、蒸着室（２）の外部に配置され且つ蒸発装置当たり少なくとも１つの蒸発器（６）を備えた少なくとも１つの蒸発装置（３）中で蒸発させ、その際に蒸発器（６）と蒸着チャンネル（１３）との間の蒸気供給を制御することを特徴とする、上記蒸着法に関する。
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有機材料を気化させて基板の表面に膜を形成する方法であって、気化装置の中にある量の有機材料を供給し、その気化装置の第1の加熱領域においてその有機材料を能動的に気化温度よりも低い温度に維持する操作を含む方法。この方法は、気化装置の第2の加熱領域を有機材料の気化温度よりも高い温度に加熱する操作と、有機材料の薄い横断区画が所望の速度依存性気化温度に加熱されるよう、有機材料を計量し、制御された速度で第1の加熱領域から第2の加熱領域へと供給する操作も含んでいるため、有機材料が気化して基板表面に膜を形成する。
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昇華性の蒸発材料を蒸着する真空蒸着において、噴射用開口１４を配しかつ内面からの放射熱により該蒸発材料を蒸気化する領域を有する気体密封型加熱容器１１と、蒸発材料を加熱容器１１からの伝導熱によっては蒸発しない領域に保持させる保持部１５とを備え、発生する蒸気を噴射用開口１４から容器外部の蒸着対象面に向けて噴射させるようにする。
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非重合化合物と流体担体の混合物を得ることによって基板上に非重合化合物の薄膜をコーティングする方法。この混合物（１）は次いで、非重合化合物および流体担体の実質的に全部をガス状に転換するのに十分な内部温度を有する加熱された蒸発ボックス（７）の内部につぎ込まれる。非重合化合物と流体担体は次いで、蒸発ボックス内の出口スリット（８）を介して蒸発ボックスから取り出される。非重合化合物が凝縮する基板が、出口スリットに隣接して、真空状態に維持されている。基板（１０）は、たとえばウェブ・ローラ上を移動し、それによって非重合化合物の連続的なコーティングを基板にコーティングするのが可能になる。

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基体を被覆するための装置は、大気圧より低い圧力に維持された蒸着室、前記蒸着室に伴われた二つ以上の拡張性熱プラズマ源（１４）を含む一つ以上の配列体、及び各配列体についてオリフィス（１５）を含む少なくとも一つの注入器（１３）を含む。基体を蒸着室中に配置し、各拡張性熱プラズマ源により中心軸を有するプラズマジェットを生じさせ、同時に注入器によりプラズマ中へ気化反応物を注入して基体上に蒸着された被覆を形成する。注入器オリフィスは、全体的に均一な被覆特性を有する被覆が一般に得られるように、拡張性熱プラズマ源から特定の距離以内に位置させる。
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