【課題】膜質の良い有機薄膜を効率良く成膜する。
【解決手段】第一、第二の薄膜を形成するために、第一、第二の蒸着装置１０ａ、１０ｂの蒸発室２１内部に配置する有機材料３９ａ、３９ｂの必要量を予め求めておく。求めた必要量の有機材料３９ａ、３９ｂを蒸発室２１に配置して蒸気を発生させ、基板８１を放出装置５０の放出口５５上に配置してから、蒸気を放出口５５から放出させる。蒸発室２１に配置された有機材料３９ａ、３９ｂが消費されると、予め決められた膜厚の第一、第二の薄膜が基板８１表面上に形成される。 （もっと読む）

【課題】複数本の配管を用いて蒸着材料の流量を制御し、高精度な膜厚制御を行う。
【解決手段】基板２に有機化合物膜等を成膜する蒸着方法において、蒸着材料６を充填した材料収容部７を加熱することによって、蒸着材料を蒸発又は昇華させ、材料収容部７に連結された複数本の配管８，９を通して、真空チャンバー１の成膜空間に放出する。蒸着材料の真空チャンバー１内への放出量を調整する流量調整機構１０は、コンダクタンスの異なる配管８，９のうちのコンダクタンスの小さい配管９に設けられ、成膜速度を微細に調整することができる。 （もっと読む）

粒子状材料を受け取って気化させるための気化装置であって、粒子状材料の受け入れに適した空隙を規定するリガンドからなる網状材料構造を持ち、その空隙が網状材料構造の体積の85％超を占めることで、粒子状材料をその空隙に供給するのが容易になるとともに、気化した材料がその空隙から広がるのが容易になっている構成のヒーター（30）と；リガンドによって熱を発生させるか伝えることで、空隙の中にある粒子状材料を気化させてその空隙の中を移動させる熱発生手段とを備える気化装置。
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本発明は、固体材料、例えば基板をコーティングするためのセレニウムを蒸発させるための装置に関する。固体材料を、供給源を介して第１坩堝に持ち込む。この坩堝において、材料は、好ましくはその融点より若干高い温度で溶融する。溶融した材料は輸送装置（例えば、パイプ）を介して第２坩堝へと流れ込み、ここで材料は、その沸点より高い温度で蒸発し、基板へと運ばれる。極めて短い時間内で（好ましくは、たった１〜２分以内）蒸発を停止させるために、その融点を越えて材料を冷却するための冷却装置が、輸送装置には配置される。この冷却装置を用いて、輸送装置内の材料を、極めて短い時間でその融点を越える温度にまで冷却することができる。
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本発明は、剥離剤を、基板に向けられた少なくとも１つのノズルを備えた真空室の内室内で気化させ、真空室内で移動する又は移動可能な基板上に剥離剤の層を施すための方法に関する。この場合、液状の剥離剤を、気化室の内室内に噴射して、気化させるようにした。また本発明は、真空室内で移動するか又は移動可能な基板に、剥離剤の層を施すための装置であって、前記真空室が少なくとも１つの金属蒸発装置を有しており、基板に向けられた少なくとも１つのノズルを備えた気化室が設けられており、剥離剤が供給管路を介して前記気化室の内室に供給可能である形式のものに関する。この場合、前記供給管路が噴射装置に接続されており、該噴射装置によって、液状の剥離剤が、気化させるために、気化室の内室内に噴射可能又は噴射され、それによって気化されるようになっていることを特徴としている。
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【課題】ノズルの吐出不良を迅速に検出し、不良品の削減を図り、また、材料の吐出状態を常に安定させることができる材料の配置方法、膜形成装置、電気光学装置及びその製造方法、電子装置、並びに電子機器を提供する。
【解決手段】真空チャンバ（処理室）１１内の圧力を低圧制御する圧力制御系１２と、基体（部材）１４上に材料を配置する少なくとも１つのノズル１５と、基体１４を保持する基体ステージ１３とを備えてなり、ノズル１５又は基体ステージ１３の位置を相対的に移動させる駆動系（移動手段）１７と、基体１４上に配置された前記材料を検査する検出系（検査手段）１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】高温プロセスを行なわず、かつ、モノマーを生成せずに成膜材料を安定な状態で対象物にポリマーの薄膜を形成する。
【解決手段】成膜装置１は、成膜材料５を２００℃以下の温度で加熱して昇華させる加熱部７と、昇華させた成膜材料５をプラズマによって重合反応させる反応部８と、が設けられている。そして、反応部８で重合反応させた成膜材料５を基板３に射出して基板３の成膜面３１に薄膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】材料の利用効率が高く、膜厚及び膜質の均一性が高い膜を形成する成膜方法を提供する。
【解決手段】蒸着源基板の一主表面上に蒸着材料を含むバインダ材料層を形成し、該バインダ材料層と一主表面が対向するように被成膜基板を配置し、蒸着源基板の裏面を加熱処理することでバインダ材料層中の蒸着材料を加熱して昇華等させることで、被成膜基板に蒸着材料の層を形成する。蒸着材料を低分子材料とし、バインダ材料を高分子材料とすることで、粘度の調整が容易であり、従来よりも高いスループットで成膜することが可能になる。 （もっと読む）

本発明は、所定および一定の相対割合の金属元素を含有する前もって音速まで加速された蒸気により、基材（Ｓ）に吹き付けるための蒸気ジェットコーティング装置（７）を備える真空蒸着装置（１）を用いて、少なくとも２種の金属元素を含む金属合金の層を上記基材（Ｓ）上に連続的に蒸着させることによって、基材（Ｓ）をコーティングするためのプロセスに関する。プロセスは特に、Ｚｎ−Ｍｇコーティングを蒸着させることを対象とする。本発明はまた、上記プロセスを実施するための連続金属合金真空蒸着装置（１）にも関する。
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【課題】特にペレット状の蒸着材料をその収容部に落下させて供給する蒸着装置及び蒸着材料の供給方法において、供給される蒸着材料が供給管内に詰まることなく効率的に供給可能にする。
【解決手段】蒸着材料２３が収容される収容部７ａとこの収容部に蒸着材料を供給する供給手段９とを有する蒸着装置１において、供給手段は、収容部よりも上方に設けられ所定形状を有する蒸着材料を複数収容するホッパー部３１と、ホッパー部から蒸着材料を落下させる送り出し手段３２と、落下された蒸着材料を側方に開口された開口部４１ａを通じて収容部側に案内する案内部３３，４１と、案内部における開口部を閉開成可能にその上部が開口部の上方位置に軸支される蓋部４２と、を有し、蓋部は常態時には自重により開口部を閉成し落下された蒸着材料が蓋部に当接した際には蒸着材料の落下エネルギーによって開成される構成である。 （もっと読む）

【課題】垂直気化の場合にも、安定して材料が気化するるつぼを提供する。
【解決手段】気化るつぼ１００は、電気伝導性本体１２０およびカバー１５０を含み、上記本体は、上記本体に加熱電流を付加するための第１電気接続部１６２と第２電気接続部１６４を有し、上記本体は、溶解／気化範囲を提供するチャンバを含み、上記チャンバはチャンバ底部とチャンバ壁を含み、上記カバーは上記チャンバと共に囲いを形成し、上記気化るつぼはさらに、材料を供給するための供給開口と、上記囲いの蒸気出口を提供するディストリビュータオリフィス１７０とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】蒸着材料をハース内に載置するに際し、外周方向に散乱してビーム照射領域から外れてしまうことを防止して、蒸着材料をハースの中心領域へ確実に載置をすることが可能であって、それにより、効率的に蒸着材料へのビーム照射を行うことが可能となる真空蒸着装置ならびに該装置に着脱可能な蒸着材料の散乱防止治具およびその使用方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る真空蒸着装置は、ハースに固形状の蒸着材料を載置する際に、該蒸着材料の該ハース内での散乱を防止する治具が着脱可能に設けられ、該治具は、前記ハース内に収容可能な外形を備え、且つ、中央に前記蒸着材料の載置領域を規制する開口部を備える。 （もっと読む）

【課題】蒸着材料の利用効率をたかめ、有機化合物を含む層を有する発光装置の製造コストを低減するとともに、発光装置の製造に要する製造時間を短縮させることを課題とする。
【解決手段】成膜室内を減圧下とし、熱源の熱を熱伝導または熱輻射によって、プレートを急速に加熱し、プレート上の材料層を短時間に蒸発させ、被成膜基板に蒸着し、被成膜基板上に材料層を成膜する。なお、急速に加熱するプレートの加熱面積は、被成膜基板と同等のサイズとし、１回の加熱で１枚の被成膜基板への成膜を終了させる。 （もっと読む）

【課題】
光吸収のないフッ化物からなる蒸着材料をプラスチックフィルム上に電子ビーム加熱蒸着法により安定的に高速で形成する光学薄膜の成膜方法および成膜装置を提供する。
【解決手段】
フッ化物からなる蒸着材料をターゲットとした電子ビーム加熱蒸着法によりプラスチックフィルム基板上に無加熱で光学薄膜を形成する際、蒸着材料として焼結体を用いることで成膜安定性を保つ。さらにランプ５によりターゲット材料６を照射して加熱をアシストする。このとき蒸着材料６の温度を赤外放射温度計７により測定し、蒸着材料６の温度を制御回路装置を介して電子ビーム投入電力、またはランプ強度にフィードバックして蒸着材料６の温度を所定の範囲に保ち、成膜速度を一定にする。 （もっと読む）

コーティング中に進行方向Ｘで可動な帯状の基材をコーティングするための装置であって、複数の蒸着用ボートを備えて、該蒸着用ボートが蒸着用ベンチを形成し、蒸着用ボートの電気的な加熱のための装置を備え、且つ蒸着したいワイヤを蒸着用ボートに供給するための装置を備え、複数の蒸着用ボートは、集合Ａ及び集合Ｂの蒸着用ボートから形成され、集合Ａの蒸着用ボートは、Ｌ０−δＡとＬ０＋δＡとの間の範囲の長さＬＡを有しており、集合Ｂの蒸着用ボートは、Ｌ０−δＢとＬ０＋δＢとの間の範囲の長さＬＢを有しており、複数の蒸着用ボートが方向Ｙに対して平行に延びている領域の内側で、Ｘ方向において最高で２Ｌ０＋δＡ＋δＢの幅を持って配置されている、帯状の基材をコーティングするための装置において、集合Ａ及び集合Ｂの蒸着用ボートが交番的に相並んで配置されており、集合Ａの蒸着用ボートが各々、方向Ｘに対して相対的に−１〜−８９°の範囲において所定の角度αを成して配置されており、集合Ｂの蒸着用ボートが各々、進行方向Ｘに対して相対的に１〜８９°の間の所定の角度βを成して配置されている。更に本発明は、帯状の基材をコーティングする装置を敷設するための方法に関する。
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【課題】基板の蒸着作業のスループットを更に効果的に向上することのできる真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】真空蒸着装置１は、蒸発部４と、坩堝交換部５と、これらの蒸発部４と坩堝交換部５との間に回転可能に配設された円盤状のターレットディスク１４とから構成される。ターレットディスク１４には、１組３個の坩堝装填孔１６が回転方向に所定間隔を置いて穿設されている。これらの坩堝装填孔１６にはそれぞれ蒸着材料を収容する坩堝が装填される。そして、ターレットディスク１４の坩堝装填孔１６は、蒸発部４内の蒸発位置と、坩堝交換部５内の坩堝交換位置との間で回転移動可能とされている。これにより、坩堝装填孔１６に保持された３個の坩堝内の蒸着材料が蒸発位置で蒸発されているとき、坩堝交換位置で反対側の坩堝装填孔１６に対する坩堝の交換が行われる。 （もっと読む）

【課題】蒸着用るつぼの内壁に固着している蒸着材料からなる焼結ペレットを蒸着用るつぼが変形したり破損したりすることなく容易かつ確実に除去することができる蒸着材料除去装置および蒸着材料除去方法を提供する。
【解決手段】蒸着用るつぼ１内の焼結ペレット３を高速で往復運動するたがね２３によって打撃して破壊し、除去する。たがね２３は、焼結ペレット３の表面中央部を打撃する中央打撃部２３Ｂと、この中央打撃部２３Ｂの周囲を取り囲み焼結ペレット３の表面外周部を打撃する外周打撃部２３Ｃとを一体に備え、中央打撃部２３Ｂが外周打撃部２３Ｃより前方に突出されており、焼結ペレット３の表面中央部を優先的に打撃する。 （もっと読む）

【課題】成膜室内において循環搬送装置内に充填された蒸着材料にビームを照射して蒸発させて基板面上に膜を形成する成膜方法において、蒸着の不均一による膜厚ムラの低減、及び、小片蒸着材料・スプラッシュによる歩留まり低下の防止を実現できる技術を提供する。
【解決手段】循環搬送装置１００は、蒸着材料２を充填する充填部２０を含むロール形状を有する。充填部２０に充填される蒸着材料２を、搬送方向（ｂ）に一定にスライドするように搬送させて、ロール形状により循環させる。ビーム３の照射領域１０に、均一に照射される。 （もっと読む）

【課題】ラビング処理することなく、所望の品質を有する配向膜を形成できる成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜装置は、配向膜を形成するための有機材料の固体物の表面の第１領域と対向する保持面を有し、固体物を保持する第１保持部材と、固体物の表面の第２領域と接触可能な処理面を有する処理部材と、処理面の温度を調整可能な第１温度調整装置と、第２領域と処理面とが接触した接触領域に対して基板を所定の位置関係で保持する第２保持部材とを備える。成膜装置は、第１温度調整装置によって加熱された処理面と第２領域とを接触させることによって固体物から発生した材料を基板に供給して、基板上に有機材料からなる配向膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】蒸着装置により長時間連続して安定的に蒸着を行うことを可能とする極めて実用性に秀れた蒸着材料供給装置の提供。
【解決手段】真空槽内に設けた蒸発源１に充填された蒸着材料２を加熱して蒸発させて基板上に付着させる蒸着装置に設けられ、前記蒸発源１に前記蒸着材料２を供給する蒸着材料供給装置であって、供給用の前記蒸着材料２が収納される材料収納体３に、この供給用の蒸着材料２を前記蒸発源１内に案内供給する案内供給口４を設け、この案内供給口４若しくは材料収納体３を、前記蒸発源１に対して接離自在に設けて、前記案内供給口４を、前記蒸発源１に近接せしめた近接供給状態と、前記蒸発源１から離反せしめた離反退避状態とに切替動自在に構成する。 （もっと読む）