本発明は、物理的蒸着を利用して基材を被覆する装置であって、コイル中で変動電流を用いて、ある量の導電性材料（１０）を空中浮揚状態に維持し、かつ該材料を加熱および蒸発させるためのコイル（１）が配置された真空チャンバを備えてなり、該コイルを空中浮揚された材料から隔離するための手段（３）が該コイル中に配置されている、装置に関する。本発明によれば、該装置は、該隔離手段が、非導電性材料製の容器（２）の一部であり、該容器が、蒸発した導電性材料を被覆されるべき該基材に導くための一個以上の開口部（５）を有することを特徴とする。本発明は、物理的蒸着を利用して基材を被覆する方法にも関する。
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【課題】 大気中で、所望の蒸着原料を用いた蒸着を行うことができるプラズマ蒸着装置を提供することである。
【解決手段】 リング状または円筒状電極と、棒状電極と、高圧電源とを有し、前記リング状または円筒状電極と前記棒状電極との間に前記高圧電源による所定の電圧を印加することによって、前記リング状または円筒状電極と前記棒状電極との間に放電を発生させ、該放電の熱によって蒸着原料を蒸発させてプラズマ化し、該プラズマを対象物に向けて噴出することによって該対象物に対する前記蒸着原料の蒸着を行う。 （もっと読む）

粉末材料または粒状材料を気化させる装置は、少なくとも1種類の成分を含む粉末材料または粒状材料を保持する容器と；気化構造部と；この気化構造部から離れていて、容器から粉末材料または粒状材料を受け取ってその粉末材料または粒状材料をその気化構造部に送るチェンバーを有する能動的移動機構とを備えており、この能動的移動機構の中には、そのチェンバーからその気化構造部に粉末材料または粒状材料を送るオリフィスと、第1の方向に移動してそのオリフィスの中に入り、第2の方向に移動してそのオリフィスから出ることができ、粉末材料または粒状材料をチェンバーからそのオリフィスを通じて気化構造部に供給する作動可能な部材と、チェンバーの中にある材料を作動可能な部材とオリフィスの間で流動化する振動板とが存在している。
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【課題】蒸着材料を蒸発源に連続的に供給し得る蒸着材料の蒸発装置を提供する。
【解決手段】蒸着材料を貯留するとともに真空ポンプ４に接続された材料貯留容器３と、この材料貯留容器に真空バルブ５を介して接続され且つ当該材料貯留容器から導かれた蒸着材料を予熱するとともに所定方向に移送し得る予熱手段６と、この予熱手段で予熱された蒸着材料を導き所定温度に加熱し蒸発させる加熱蒸発手段７とから構成し、且つ予熱手段を、一端側に蒸着材料の入口部１３ａが設けられるとともに他端側に出口部１３ｂが設けられ且つ水平方向で回転自在に配置された回転筒状体１３と、この回転筒状体を回転させる筒状側回転駆動装置１４と、上記回転筒状体の外周に配置された予熱用ヒータ１２とから構成したものである。 （もっと読む）

製造安定化装置および方法は、ＴｉＡｌＮ等の融点の大きく異なる金属成分を持つ多元系被膜を、単一のルツボ（３）と収束プラズマ（７）とを用いて、高原料利用効率で、膜質良く作製する。この時、原料（４）を蒸発させるに必要な電力を最初に供給し、その後、最初の電力より順次増大した電力を、必要な最大電力に至るまで繰り返して供給する。或いは、原料を蒸発させるに必要な最初の領域にプラズマ（７）を収束させるためのプラズマ制御を行い、続いて、最初のプラズマ領域より最大のプラズマ領域に至るまでプラズマを連続的に順次移動・拡大せしめるプラズマ制御を行い、原料の未溶融部位（４ｂ）を順次溶解させる。原料は、焼結体または圧粉成型体（４）とする。
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真空蒸気蒸着チャンバ（１０）において、多孔性基材（１２）がプラズマ場（２０）で前処理され、機能化モノマーを直ちにフラッシュ蒸発させ（２２）、多孔性基材上で蒸着且つ硬化される（２４）。得られるポリマー被覆が、材料の細孔を横断しない非常に薄い層（概ね０．０２乃至３．０μｍ）で個別繊維の表面に付着するよう本工程を慎重に調節することで、繊維及び最終製品が所望の機能性を獲得する一方、多孔性基材（１０）の多孔度は実質的に影響を受けない。又、得られるポリマー層を使って、金属及びセラミック被覆の付着性及び耐久性を向上させる。
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【課題】 比較的簡単な構成で、長時間に渡って蒸着膜厚を正確に計測できるようにすることを目的とする。
【解決手段】 蒸着材料を蒸着基板２に真空蒸着するようにした真空蒸着装置において、真空槽１内に透明フィルム７が巻回されたリール６Ｓ、６Ｔと蒸着窓９と検出窓１０とを有するカセット４と、このカセット４のリール６Ｓ、６Ｔを回転駆動する駆動装置１３と、このカセット４内の透明フィルム７に蒸着された膜厚を計測する膜厚計測装置１２とを具備し、この透明フィルム７に蒸着された膜厚を計測し、この透明フィルム７の蒸着位置とこの蒸着基板２の蒸着位置とからこの蒸着基板２の膜厚を算出して、この蒸着基板２の膜厚を計測するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】 新規な固体の原料物質を大気圧下に加熱して微粒子を簡易に製造する方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 固体状の原料物質に赤外線を集光させて、原料物質のみを急速に加熱して蒸発させた原料物質を急冷させる微粒子の形成方法である。その固体状の原料物質としては、原料物質の焼結体又粉末として赤外線集光部付近に設置するものであることが好ましい。また、固体状の原料物質の設置手段、大気圧下或いはガス雰囲気下、或いは加圧下、あるいは減圧下に赤外線を集光させて原料物質のみを急速に加熱して蒸発させる手段、気体状となった原料物質を急冷させる手段を含むことからなる微粒子の形成装置であって、その固体状原料物質の設置手段としては、原料物質の焼結体又粉末として固定設置することが好ましい。 （もっと読む）

コーティング材料を気相に変えることが可能であり、特にコーティング装置（１００）に使用される加熱装置（１０）が、記載されている。この加熱装置は、前記コーティング材料が中に装填可能な中空のスペースと内面とを有する少なくとも1つの加熱ユニット（１１）と、前記加熱ユニット（１１）中に分散状態で位置された複数の加熱素子（１２）とを有している。コーティング材料を気相に変えるためのコーティング装置と方法とが、また、記載されている。
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本発明は、機能膜（３２）として加工物（３０）上でアーク−ＰＶＤ法によって析出される硬質材料膜において、この膜が本質的に、周期系の亜族ＩＶ、Ｖ、ＶＩの遷移金属およびＡｌ、Ｓｉ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｙの金属（Ｍｅ）の少なくとも１つからなる電気的に絶縁する酸化物として形成され、かつ前記機能膜（３２）が希ガスおよびハロゲンを含有しない硬質材料膜に関する。
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本発明は、直流電源（１３）に接続された第１電極（５’）を含むアーク蒸着ソース（５）と、アーク蒸着ソース（５）から分離されて配置された第２電極（３、１８、２０）とを有する加工物（３）の表面処理のための真空処理装置に関する。両方の電極（５’、３、１８、２０）が個々のパルス電源（１６）に接続されて運転される。
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【課題】ドロップレットによる欠陥の無い薄膜を形成する。
【解決手段】
蒸着源３０と成膜対象物５の間に回転翼型のフィルタ装置２０を配置し、回転軸線２５を中心に回転させると、質量が大きく飛行速度が遅い巨大粒子はフィルタ装置２０の羽根部材２２に衝突し、質量が小さく飛行速度が速い微小粒子は羽根部材２２間を通過し、成膜対象物５に到達する。ドロップレットが除去されるので、欠陥のない平坦な薄膜が得られる。 （もっと読む）

【課題】加熱される蒸発源から発生した熱が隣接した蒸発源に伝達される現象が防止されて、本加熱位置と予備加熱位置が相互近接するように位置されるようにしながら蒸発源の回転を制御して予備加熱の効率性を上昇するようしたマルチ真空蒸着装置及び制御方法を提供する。
【解決手段】ケースの内部にるつぼとこのるつぼを加熱する加熱体が内蔵されてなる蒸発源と、この蒸発源が移動してある位置に停止されると加熱体に電源が供給されて蒸発源が加熱されると共に、収容された蒸着物質が拡散排出されて前方の基板に蒸着されるように前記蒸発源を加熱する加熱装置と、前記蒸発源が加熱される間に外部に伝達される熱が遮断されるように蒸発源に設置された冷却装置とが具備される。 （もっと読む）

【課題】 蒸着によって有機機能層を形成する際の蒸着材料の使用効率を高め、特に均一
な膜厚で有機機能層を形成することが可能な有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の製造方法は、有機機能層形成工程において、画素領域３３のパタ
ーンに対応し且つ隔壁ＢＨにより凹状に区画形成されてなる材料配置部２０を備える蒸着
ボート１０を用いて蒸着を行うもので、蒸着ボート１０の材料配置部２０に有機材料１９
を配置する工程と、蒸着ボート１０と基板３０とを材料配置部２０と画素領域３３とが対
向するように重ね合わせる工程と、該重ね合わせた状態で発熱部５０により有機材料１９
を加熱し、該有機材料１９を基板３０側に蒸着させる工程とを有し、材料配置部２０には
、当該材料配置部２０の底面の中心部に形成され、且つ該底面から突出する凸部５１が具
備されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 被蒸着部材へ放出される蒸発材料の指向性を弱めることにより、被蒸着部材に形成される膜厚を略均一にし得る蒸着装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 蒸発材料誘導管および放出用部材は所定の温度に維持されるとともにそれらの内部の蒸発材料が希薄流をなしており、放出用容器の上面にガラス基板１へ蒸発材料を放出するための放出ノズルが突設されるとともに、放出ノズルの先端側に蒸発材料を拡散するためのオリフィス部材が設けられており、放出ノズルの口径φＤとオリフィス部材の口径φＤ´とがφＤ´／φＤ≦０．８の関係を満たすことにより、ｎ値が６以下のｃｏｓ^ｎθ則により蒸発材料の放出が行われ、オリフィス部材から放出される蒸発材料の指向性が弱まることとなるため、ガラス基板の膜厚分布の均一性を向上させることができる。 （もっと読む）

本発明は、低合金鋼およびステンレス鋼に短穴をドリル加工する、靭性を要する使用に適した被膜付き切削工具インサートおよびその製造方法に関する。このインサートは基材と被膜とを含む。基材は、ＷＣと、８〜１１wt％のＣｏと、０．２〜０．５wt％のＣｒとから成り、ＷＣの平均粒径が０．５〜１．５μｍ、ＣＷ比が０．８０〜０．９０である。被膜は、多結晶であって形態が非反復性であるＴｉＮ＋Ｔｉ_１−ｘＡｌ_ｘＮ＋ＴｉＮ＋Ｔｉ_１−ｘＡｌ_ｘＮの多層構造を有し、ｘ＝０．４〜０．６であり、個々のＴｉＮ層およびＴｉ_１−ｘＡｌ_ｘＮ層の厚さが１〜３０ｎｍでほぼランダムに変動しており、該多層被膜の全厚が１〜５μｍある。個々の層はアーク蒸着法を用いて被着する。 （もっと読む）

【課題】熱可塑性支持体あるいは無機蒸着膜上に、分子量６００以上の有機物を原料とすることが可能で、しかも架橋度を上げることにより、酸素バリア性と擦傷耐性に優れた有機物被覆層を形成する方法および製造装置を提供する。
【解決手段】
真空中で単官能あるいは２官能の（メタ）アクリル基を持つ分子量６００以下又はそれ以上の有機物および／または１，３，５−トリアジン誘導体をプラズマを照射させて活性化させた後に電子銃を用いて、完全に硬化させることで被覆層形成時に発生する収縮を低減させ、支持体等との密着性と耐擦傷性を付与する。 （もっと読む）

【課題】ルツボで気化された蒸着物質による噴射ノズルの詰まりまたはスプラッシュ現象を防止して，基板に形成される有機物層の均一度を高めることができる蒸発源の加熱制御方法，蒸発源の冷却制御方法および蒸発源の制御方法を提供すること。
【解決手段】バッファー領域と成膜領域とを有する蒸着システムで，蒸着物質を収容するルツボ２２と，上記ルツボで気化された上記蒸着物質を案内する誘導路２４と，上記誘導路に案内された上記蒸着物質を噴射する噴射ノズル部２６と，を具備した蒸発源２０の加熱制御方法において，ａ）上記誘導路および噴射ノズル部を加熱する段階と，ｂ）上記ａ段階の後に，上記ルツボを加熱する段階と，を含む。 （もっと読む）

【課題】蒸気発生源から基板への物質の流れを中断する問題、および同時に気化物質を節約する問題を解決することにある。
【解決手段】本発明は、蒸気発生源および該蒸気発生源と基板との間の蒸気バリヤを備えた基板のコーティング装置に関する。蒸気バリヤは、少なくとも気化すべき物質の気化温度以上の温度に維持される。蒸気バリヤは、可動ロッドに連結された球状閉鎖部分を備えた石英弁として実施される。この球状閉鎖部分は、第１の位置において、蒸気発生源に連結された蒸気導入チューブを閉じ、かつ第２の位置において、石英チューブをシールしている球状キャップに当接する。 （もっと読む）

本発明は、真空蒸着装置に関し、真空処理される基板（２）を受け入れるように適応される室（１）と、有機材料の分子流ジェットを発生させる少なくとも１個のインジェクタ（１１０）を含む。インジェクタは弁（２０）を備えており、室の基部を貫通すると共に、前記有機材料を入れた取り外し可能なリザーバ（１０）を受け入れるように適応された端片（１２０）を含む。温度勾配を形成するように、主加熱機器（４０）はリザーバを加熱すると共に、副加熱機器（３０，４０）はインジェクタを加熱する。
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