【課題】成分汚染が生じ難く、それと共に半導体製造装置におけるパーティクルの発生を十分に減少させることのできる半導体製造装置用部材を提供する。
【解決手段】搬送アーム１の載置部材１６にセラミックを溶射して溶射皮膜を形成し、この溶射皮膜にレーザービームを照射して、セラミック組成物を再溶融、再凝固させて変成させたセラミック再結晶物からなる高強度セラミック層５を形成し、半導体製造装置５０における外的要因により、載置部材１６から脱落する粒子を、半導体製造プロセスに影響を与えない程度に低減させる。 （もっと読む）

【課題】多様な用途に対応するために、層状被膜を形成するために逐次的に又は複合被膜若しくは連続傾斜被膜を形成するために同時にナノ構造層及びミクロ構造層を堆積させる被膜組成及びミクロ構造の制御を可能にする方法を提供する。
【解決手段】ａ）ミクロサイズ粒子を含む粉末原料をプラズマ溶射プルーム中に噴射する工程；及びｂ）液体前駆体溶液を含む液体原料を該プラズマ溶射プルーム中に噴射する工程を含み、該粉末原料の噴射及び該液体原料の噴射は独立に制御可能である、プラズマ溶射銃における粉末原料及び溶液前駆体原料の同時供給を用いて複合プラズマ溶射被膜を生成する方法が開示される。この新規方法を使用して生成される熱遮蔽被膜は、従来の空気プラズマ溶射被膜と比較して２倍の寿命を実証した。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性や靭性に優れる他、皮膜の長寿命化に優れる製鉄設備用ロールを提供する。
【解決手段】ロール表面に、４〜１０質量％のＣｏと残部ＷＣからなるＷＣ−Ｃｏサーメット溶射材料を溶射して製鉄設備用ロールを製造する際に、η相の含有率が１０質量％以下であるＷＣ−Ｃｏ溶射材料を、フレーム温度を３０００℃以下としかつ、粒子速度を３００ｍ／ｓ以上とする高速フレーム溶射法によってＷＣ−Ｃｏ溶射皮膜を被覆成形するロールの製造方法。 （もっと読む）

【課題】金属又は合金からなる基材と、この基材の表面に形成した溶射皮膜層との間の密着強度が高い積層体及び該積層体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】積層体１０は、金属又は合金から形成された基材１１と、金属又は合金の粉末材料を該粉末材料の融点より低い温度に加熱されたガスと共に加速し、基材表面に固相状態のままで吹き付けて堆積させた中間層１２と、該中間層上に溶射により形成された溶射皮膜層１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】高温の樹脂の初期冷却を遅延化するに優れた効果を有し、大型で精密構造の樹脂部品、フィルムやプレートの製造が容易な樹脂精密成形用金型に好適に適用できる断熱材ならびにこれを断熱層に用いた樹脂成形用金型を提供する。
【解決手段】本発明の断熱材は樹脂成形用金型の基材上に直接溶射により形成される断熱材であって、過冷却液体温度領域（ΔＴｘ）が３０℃以上で、且つガラス遷移温度（Ｔｇ）が成形材料である樹脂の融点よりも３０℃以上高く、熱伝導率が１〜２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）であり、線膨張係数が７×１０^−６〜１５×１０^−６／℃である金属ガラスの溶射被膜からなる。該断熱材は、厚みが１００μｍ以上、２０００μｍ以下であり、金型基材と接する面積が１００ｍｍ^２以上であることができる。また、本発明にかかる樹脂成形用金型は、金型基材表面に直接溶射により形成された前記断熱材を断熱層として備える。 （もっと読む）

【課題】溶射皮膜の皮膜硬度のバラツキを少なくして、皮膜硬度を向上させ、優れた耐剥離性を実現し得る溶射材、溶射材を用いて形成した溶射皮膜、及び溶射皮膜を備えた構造体を提供する。
【解決手段】溶射材は、鉄：５０質量％以上、炭素：０．２０〜０．３３質量％、銅：０．２８〜１．２質量％を含有する。
溶射皮膜は、鉄：５０質量％以上、炭素：０．２０〜０．３３質量％、銅：０．２８〜１．２質量％を含有する溶射材を用いて形成されて成る。
構造体は、基材と、鉄：５０質量％以上、炭素：０．２０〜０．３３質量％、銅：０．２８〜１．２質量％を含有する溶射材を用いて基材上に形成された溶射皮膜とを備える。 （もっと読む）

【課題】リークテストで不合格となった溶射皮膜を備えるシリンダブロックであっても、含浸処理を行えるようにする。
【解決手段】シリンダブロック１のシリンダボア３の内面に形成してある溶射皮膜５内には、潤滑油溜まりとして機能する気孔７が形成されている。気孔７が形成されている状態で、シリンダブロック１に対し、冷却水経路や潤滑油経路の液体漏れチェックとしてリークテストを実施し、リークテストが不合格となったら、液体漏れの要因となる欠陥孔に対し含浸処理を実施して樹脂で塞ぐ。このとき、含浸処理で使用する樹脂が気孔７に入り込むが、この気孔７に入り込んだ浸透樹脂１８は、熱源１９により加熱して溶融させ除去する。 （もっと読む）

【課題】溶射工程の後のホーニング工程で、溶射皮膜表面に形成される突起部の脱落を抑える方法を提供する。
【解決手段】ワイヤを溶融させた溶融金属を被溶射物の被溶射面に向けて供給して溶射皮膜を形成する溶射工程２７と、溶射皮膜の表面に対してホーニング加工を施すホーニング工程３１との間に、突起部除去工程２９を設ける。突起部除去工程２９は、溶射工程２７でワイヤが溶融する際に発生した粗大な粒子が溶射皮膜に混入し、溶射皮膜の表面から突出するように形成された、溶融金属を含む突起部を、周囲の溶射皮膜の脱落を伴うことなく除去する。 （もっと読む）

【課題】タービン動翼本体の先端に設けられているシュラウドの表面のうち、隣接するシュラウド相互のコンタクト面の耐磨耗性及び耐酸化性を高める。
【解決手段】シュラウドの母材の表面にコーティング材を溶射して皮膜を形成し、皮膜に対して拡散熱処理を施し、拡散熱処理が施された皮膜の表面を研磨して、コンタクト面を形成する。コーティング材は、３２．５ｗｔ％のＭｏと、１５．５ｗｔ％のＣｒと、３．４ｗｔ％以下のＳｉとを含有し、１．５ｗｔ％以下のＣｏと、１．５ｗｔ％以下のＦｅと、０．０８ｗｔ％以下のＣとを含有することを許容し、残部がＮｉ及び不可避的不純物である。 （もっと読む）

【課題】耐焼付性に優れた転動体、その製造方法及び耐焼付性に優れた転動体を備えた動力伝達装置を提供する。
【解決手段】転動体は、基材と、該基材の表面に形成される皮膜とを備える。この転動体における皮膜は、上記基材の硬度より高い硬度及び上記基材の融点より高い融点を有する少なくとも１種の硬質粒子と金属単体及び合金の少なくとも一方からなる金属材とを少なくとも表面構成要素として含む。
転動体の製造方法は、上記転動体を製造する方法であって、基材の表面への皮膜の形成を、溶射材を用いた溶射法によって行う方法である。この転動体の製造方法における溶射材は、上記基材の硬度より高い硬度及び上記基材の融点より高い融点を有する少なくとも１種の硬質粒子と金属単体及び合金の少なくとも一方からなる金属材とを含む。 （もっと読む）

【課題】部分的な補修を行なった場合でも、健全部と同等の耐久性を有する補修部を得ることのできる補修方法を提供する。
【解決手段】基材３上に金属からなるアンダーコート層７と、ＰＳＺからなるトップコート層９と、が順に形成されたタービン部材１において、トップコート層９の表面に生じた凹状の剥離部９ｃをＰＳＺからなる補修部９ｂで埋める、タービン部材１の補修方法に関する。補修部９ｂの周囲に配置される健全部９ａを形成するのに用いられた健全部形成用ＰＳＺ粉末よりも粒度が大きく、かつ中実な粒子から構成される補修部形成用ＰＳＺ粉末を、凹部に向けて溶射することで補修部９ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】耐環境保護性を損なわずに耐エロージョン性をもたらす酸化物分散強化皮膜を形成する方法を提供すること。
【解決手段】金属基材（３０４）上に酸化物分散強化皮膜を形成する方法（１００）が開示される。本方法は一般に、ＭＣｒＡｌＹ合金粒子を粉砕して、酸素富化粉体にして該粉体に含まれるＭＣｒＡｌＹ合金粒子の約２５体積％以上が約５μｍ未満の粒径を有する酸素富化粉体を形成するステップを含む。さらに、本方法は、酸素富化粉体を金属基材（３０４）に施工して皮膜を形成するステップと、酸素富化粉体を加熱して皮膜内に酸化物分散質を析出させるステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】安価であり、厳しい高温条件下においても伸縮性が高くかつ耐磨耗性を両立する溶射材料の提供する。
【解決手段】ＮｉＣｒ合金と、Ｃｒ₃Ｃ₂とを含み、造粒焼結法により粒子状に形成され、前記ＮｉＣｒ合金におけるＣｒ含有量が４０〜５０質量％である溶射材料。前記溶射材料は、Ｃｒ₃Ｃ₂を１００質量％とする場合のＮｉＣｒ合金の配合比が、２５〜３５質量％であるのが好ましい。また、基材の表面に、本発明の溶射材料を高速フレーム溶射することにより、前記基材上に溶射被膜を形成する方法も提供される。 （もっと読む）

【課題】高温用途用部材表面に被覆形成する耐熱性、耐摩耗性、潤滑性、剥離性に優れた溶射皮膜被覆高温用途用部材を提案する。
【解決手段】高温に曝される基材の表面に直接、Ｗの含有量が０．５〜１０ｍａｓｓ％であるＮｉ−Ｗ系耐熱合金の溶射皮膜を被覆してなる高温用途用部材、およびその部材を製造する方法。 （もっと読む）

【課題】高温用途材の表面に耐熱性や耐高温摩耗性に優れる溶射皮膜を形成するときに有効な、サーメットからなる溶射粉末材料を得ること。
【解決手段】セラミック粒子と、その表面に被覆されている０．５〜１０ｍａｓｓ％のＷを含有し、かつ残部がＮｉであるＮｉ−Ｗ合金あるいはさらにＰやＢを含む耐熱合金の無電解めっき膜とからなるサーメット溶射粉末材料であって、粒径が６〜７０μｍの大きさである高温用途材被覆用サーメット溶射粉末材料およびその製造方法。 （もっと読む）

【課題】合金元素として多量のＭｎを含有する高張力鋼板を製造するための焼鈍炉などで長期間使用されても、ロール面に形成されるジルコニア皮膜が破壊され難く、長期間の使用に耐え得るハースロールを提供する。
【解決手段】ロール基材の胴周表面に、溶射により複数層の皮膜を形成したハースロールであって、ロール基材の胴周表面に、下層側から順に、ＭＣｒＡｌＸ合金（但し、ＭはＣｏ、Ｎｉ、Ｆｅの中から選ばれる１種以上、ＸはＹ、Ｈｆ、Ｓｉ、Ｔａの中から選ばれる１種以上）からなる第１層皮膜と、安定化剤としてＣｅＯ_２を１５〜３０mass％含有する安定化ジルコニアからなる若しくは該安定化ジルコニアを主体とするセラミックスからなる第２層皮膜と、安定化剤としてＣｅＯ_２を３０〜４０mass％含有する安定化ジルコニアからなる若しくは該安定化ジルコニアを主体とするセラミックスからなる最表層皮膜を有する。 （もっと読む）

【課題】ペースト材を用いた場合であっても、遮熱性及び熱サイクル耐久性に優れた補修皮膜を形成する遮熱コーティングの補修方法を提供することを目的とする。
【解決手段】遮熱コーティングの補修方法は、耐熱合金基材上に金属結合層とセラミックス層３とが順に形成された部材の前記セラミックス層３の損傷部分に、バインダー材とセラミックスと所定温度以下の加熱により分解され気化する樹脂とを含むペースト材を塗布し、前記所定温度で熱処理して補修皮膜６を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、溶融材料をスリットから外部に吐出させるためのガイド部材を提供する。
【解決手段】本発明のガイド部材は、外部に溶融材料が吐出する境界のエッジ部に溶射法を用いて金属基材の表面に形成した超硬合金層に摩擦攪拌プロセスを施し、該超硬合金層に含まれる結合相の結晶粒を微細化することで改質された超硬合金改質層で形成される。このガイド部材は、溶融材料の押し出し成形に使用するＴダイに適しており、超硬合金改質層が形成されるエッジ部は、溶融材料を外部まで案内するＴダイのスリットの開口端側の内壁である。 （もっと読む）

【課題】優れた遮熱性を確保しつつ、耐エロージョン性が高く、かつ、滑らかな表面を形成することのできるセラミックス層備えた遮熱コーティングの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】遮熱コーティングの製造方法は、耐熱基材１１上に金属結合層１２を形成する工程と、金属結合層１２上にセラミックス層１３を形成する工程と、を備え、セラミックス層１３を形成する工程が、金属結合層１２上に、溶射により気孔を含む高気孔層１４を形成する段階と、高気孔層１４上に、高気孔層１４よりも緻密な組織を有する緻密層１５を形成する段階と、緻密層１５が所定厚さとなるよう緻密層１５の上面を研磨する段階と、を含む。 （もっと読む）