【課題】成分汚染が生じ難く、それと共に半導体製造装置におけるパーティクルの発生を十分に減少させることのできる半導体製造装置用部材を提供する。
【解決手段】搬送アーム１の載置部材１６にセラミックを溶射して溶射皮膜を形成し、この溶射皮膜にレーザービームを照射して、セラミック組成物を再溶融、再凝固させて変成させたセラミック再結晶物からなる高強度セラミック層５を形成し、半導体製造装置５０における外的要因により、載置部材１６から脱落する粒子を、半導体製造プロセスに影響を与えない程度に低減させる。 （もっと読む）

【課題】過大なクラックの発生を防止しつつ、十分な効果が得られる緻密化層を形成し、それ共にコストアップを招かない溶射皮膜における緻密化層の形成方法、及び溶射皮膜被覆部材を提供する。
【解決手段】Ａｌ_２Ｏ_３溶射皮膜５の表層６の皮膜組成物を再溶融、再凝固させる高エネルギービームを、Ａｌ_２Ｏ_３溶射皮膜５の表面５ａへ走査する際に、走査方向へ向けて先行して走査させる先行レーザービーム２０と、この先行レーザービーム２０と同一軌跡上で追従して走査させる追従レーザービーム２１とで構成し、先行レーザービーム２０をＡｌ_２Ｏ_３溶射皮膜５の表面５ａへ走査させながら照射すると共に、追従レーザービーム２１を当該先行レーザービーム２０で走査した被照射領域２２へ走査させながら重ねて照射し、当該被照射領域２２の表層６を緻密化する。 （もっと読む）

【課題】基材に溶射皮膜を設けた真空装置用部品において、膜剥がれ、微小パーティクルの発生を低減した真空装置用部品を溶射皮膜溶射皮膜提供する。
【解決手段】基材１と前記基材の上に設けられた溶射皮膜３とを有する真空装置用部品において、前記溶射皮膜は、高融点金属粒子またはセラミック粒子の少なくとも一種と、アルミニウム粒子を用いて形成し、前記溶射皮膜が、金属溶融膜膜片５と、粒子６と、空隙７とを有し、空隙率が１２％以上４０％以下である。 （もっと読む）

【課題】基材表面に、耐食性と耐摩耗性に優れた緻密表面層をもつサーメット皮膜を形成する方法と、この方法によって得られるサーメット皮膜被覆部材とを提案すること。
【解決手段】導電性基材の表面に形成した非導電性セラミック溶射皮膜を電気亜鉛めっき液中に浸漬して、電気亜鉛めっき処理を行うことによって、前記セラミック溶射皮膜の気孔中にめっき析出亜鉛を充填することにより、めっき析出亜鉛を充填したサーメット皮膜を形成し、次いで、高エネルギー照射処理を施して、皮膜表面を再溶融して緻密表面層を生成させる方法と、このようにして得られる皮膜被覆部材。 （もっと読む）

【課題】溶射時における溶融性に優れ、溶射後における炉壁れんがとの熱膨張率の一致性、圧縮強度、耐熱性に優れる溶射補修材料を提供する。
【解決手段】本発明に係る溶射補修材料は、ＳｉＯ_２成分が８５質量％以上、Ｌｉ_２Ｏ成分が０．２質量％〜２質量％、Ａｌ_２Ｏ_３成分が１質量％〜３質量％、全鉄成分が１質量％〜５質量％、ＣａＯ成分が０．１質量％〜１０質量％であることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、優れた耐高温性及び耐衝撃性を有する金属高温成型金型及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る金属高温成型金型は、キャビティーを有する金型基体と、前記金型基体のキャビティーの内表面に形成される、三酸化二クロム、二酸化ケイ素及び三酸化二アルミニウムからなるセラミック被覆層と、を備える。 （もっと読む）

【課題】プラズマ溶射ＥＢＣの表面粗度を向上させる方法を提供する。
【解決手段】プラズマ溶射耐環境コーティングを有する部品１０を用意するステップと、外層１８修復スラリーを部品の耐環境コーティングに塗布するステップと、塗布された外層修復スラリーを有する耐環境コーティングを乾燥させるステップと、部品を焼結させて、向上した表面粗度を有する部品を製造するステップとからなり、外層修復スラリーは、水と、ＢＳＡＳからなる主要外部材料と、希土類硝酸塩、希土類酢酸塩、希土類塩化物、希土類酸化物、リン酸アンモニウム、リン酸、ポリビニルホスホン酸、及びそれらの組み合わせからなる群から選択されるスラリー焼結助剤とからなる。 （もっと読む）

【課題】ガスタービン用高温部品などの耐熱部材であって、低品位燃料を用いるなど腐食環境での使用に対する耐久性，信頼性を有するものを提供する。
【解決手段】Ｎｉ，ＣｏまたはＦｅを主成分とする合金基材と、結合層を介して前記基材の表面に形成された遮熱コーティングを有し、当該遮熱コーティングは、セラミックスからなる多孔質の遮熱層と耐食性の環境遮蔽層を有するものであって、環境遮蔽層，遮熱層の間には環境遮蔽層の一部が遮熱層に含浸した含浸層を有する。特に、遮熱層は多孔質のジルコニア層からなり、環境遮蔽層は主成分がシリカからなる層であって、環境遮蔽層の一部が多孔質のジルコニア層の気孔内に含浸している。その結果、高耐食性かつ耐熱性に優れた耐熱部材を実現した。 （もっと読む）

少なくとも１つの金属成分を有する金属マトリックス（２０１，２１１）と、該金属マトリックス（２０１，２１１）内に配置される少なくとも１つの補強成分（２０２）とを含んだ金属マトリックス複合材（２００，２１０）の製造方法において、前記成分の少なくとも１つを熱噴射方法により基板（５）上に噴射し、その際少なくとも１つの補強成分として、ナノチューブ（２０２）、ナノファイバー、グラフェン、フラーレン、フレーク、またはダイヤモンドの形態の炭素を使用することを提案する。さらに、対応する材料、特に被膜の形態の材料、および、この種の材料の使用方法を提案する。
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【課題】耐腐食性や耐エロージョン性、耐高温酸化性の高いコーティング層を作業性よく低コストで形成することができ、耐久性の向上を図ることが可能な耐食性を有する部材の製造方法およびその耐食性を有する部材を用いた発電機器を提供する。
【解決手段】還元剤粒子４と、酸化剤粒子３と、耐食性添加剤粒子５とを含有するテルミット剤１を調製する。圧縮ガスを使用する溶射装置１０を用い、前記テルミット剤１を引火させ、引火により前記テルミット剤１から導かれた溶射材料を対象物１５基材の表面に向けて噴射させ、前記対象物１５基材の表面に前記溶射材料からなる耐食性コーティング層１６を形成する。 （もっと読む）

本発明によれば、鋼鉄から成り高温にさらされる、廃棄物ガラス固化坩堝の円筒壁の角度のあるセクターは、主にガラスとセラミックからなる混合物で覆われ、そのコーティングは、開放孔を塞ぐ混合物の表面溶解を起こすために、６５０℃から８５０℃の段階を含む熱処理を受けるので、過度な熱膨張を起こすことも、コーティングの急速な剥落をもたらし得るいかなる基板酸化も伴わずに、絶縁抵抗及びコーティングの結合を強化することができる。 （もっと読む）

【課題】製造コストの上昇を抑制しつつ、摺動面が高い耐摩耗性を有する滑り軸受を提供する。
【解決手段】球面滑り軸受１は、外輪滑り面１１Ａを有する外輪１１と外輪滑り面１１Ａに対向し、外輪滑り面１１Ａに接触する内輪滑り面１２Ａを有する内輪１２とを備えている。そして、外輪滑り面１１Ａには、βサイアロンを主成分とし、残部不純物からなるβサイアロン皮膜１１Ｂが形成されている。さらに、内輪滑り面１２Ａにも、βサイアロンを主成分とし、残部不純物からなるβサイアロン皮膜１２Ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】プラズマビームにより基体を被覆及び表面処理する。
【解決手段】プラズマトーチ（４）を具えた加工室（２）を利用できるようにし、プラズマガスを前記プラズマトーチ（４）を通って送り、その中で電気ガス放電、電磁気誘導又はマイクロ波により加熱して、プラズマビーム（５）を生成させ、前記プラズマビーム（５）を、加工室中に導入した基体（３）上に送り、前記利用できるようにしたプラズマトーチ（４）が固体材料粒子をプラズマ溶射するための電力を有し、前記被覆及び／又は表面処理の間、前記加工室（２）中の圧力が０．０１〜１０ｍｂになり、液状又はガス状の少なくとも一種類の反応性成分を前記プラズマビーム（５）中に注入し、前記基体（３）の表面を被覆し又はそれを処理する。 （もっと読む）

【課題】基材に溶射皮膜が形成された溶射部材の製造に際し、密着性に優れた溶射皮膜を形成することができる溶射部材の製造方法を提供する。
【解決手段】基材に溶射皮膜が形成された溶射部材の製造に際し、主粉末２１の表面に硬質材料からなるラミネート層２４を形成した第１の溶射粉末２５と、前記ラミネート層の融点を低下させる材料からなる第２の溶射粉末２７とを同時に溶射し、前記第２の溶射粉末を前記第１の溶射粉末に付着させることにより、前記第１の溶射粉末の前記第２の溶射粉末との付着部において前記主粉末を露出させ、前記主粉末の露出した露出部を介して前記第１の溶射粉末と前記基材側とを結合させる、及び／又は、前記主粉末の露出した露出部を介して前記第１の溶射粉末どうしを結合させるようにする。 （もっと読む）

【課題】Ｎａ成分を含有することによって溶射対象にした熱膨張係数の設計を容易とし、溶射後のガラス質表面を平滑にできるガラス質被膜形成ロール体の製造方法及びこれに用いるガラス質溶射材料、さらに当該製造方法により製造したオゾン発生装置の無声放電用電極を提供する。
【解決手段】主成分：｛ＳｉＯ₂，Ｂ₂Ｏ₃，Ｌｉ₂Ｏ，Ｎａ₂Ｏ，ＢａＯ，ＺｎＯ，ＴｉＯ₂，Ａｌ₂Ｏ₃の全て｝及び補助成分を含む粒状のガラス質溶射材料を用い、被塗物表面にブラスト処理で表面の算術平均粗さを２〜７μｍとする表面粗し工程、この表面を２００〜１０００℃に加熱する加熱工程、表面から４〜８ｃｍの距離よりガラス質溶射材料をプラズマ溶射して少なくとも３層以上からなるガラス質被膜を形成すると共にプラズマ溶射後に形成されるガラス質被膜表面の算術平均粗さを０．２〜３．０μｍとするガラス質被膜を得るプラズマ溶射工程を含む。 （もっと読む）

本発明は、合計１００％の質量パーセントで、酸化物ベースで、次の組成、０≦ＢａＯ≦４０．８％、０≦ＳｒＯ≦３１．８％、２７．２％≦Ａｌ_２Ｏ_３≦３１．３％、３２％≦ＳｉＯ_２≦３６．９％、他の化学種≦１％、を有する溶融グレインを、個数で少なくとも９５％含み、ＢａＯおよびＳｒＯ酸化物の少なくとも一方の含量が０．３％より大きく、前記グレインの大きさが５から１５０ミクロンの範囲にある粉末に関する。 （もっと読む）

【課題】タービン部品を減衰するための構造を提供する。
【解決手段】 本願では、ガスタービン部品用の皮膜であって、振動減衰特性を有する１種以上の材料を含む皮膜について開示する。さらに、翼形基板と該翼形基板に設けられた皮膜とを含む振動減衰特性を有するガスタービン翼形部であって、上記皮膜が振動減衰特性を有する１種以上の材料を含む翼形部についても開示する。ガスタービン部品の振動減衰方法は、減衰特性を有する１種以上の材料を含む皮膜をガスタービン部品に施工することを含む。 （もっと読む）

【課題】 溶射固化し形成された溶射体（被覆体）の表面（被覆体表面）に存する凹凸を平滑化する方法を提供する。
【解決手段】既存の溶射体である被覆体の凹凸を有する被覆体表面に酸素を含む気体と共に溶射体被覆材料を吹き付け、溶射体被覆材料が被覆体表面において溶融することで被覆体表面に溶着し被覆体表面を覆うことにより該凹凸を平滑化する方法であって、該溶射体被覆材料は、耐火性粒子と、金属粒子と、耐火性粒子の軟化点よりも低い軟化点を有する軟化性粒子と、を含むものである、方法である。 （もっと読む）

【課題】水蒸気等の有害な環境派生種に対してバリアとなる優れた能力を有する頑強な皮膜系により保護された物品を経済的、再現性のある態様で製造する方法を提供する。
【解決手段】基材２０２及びボンドコート２０４上に配置された自己封止性の実質的に気密なシール層２１０に希土類アミノケイ酸塩を含む混合物を適用する。基材は、ケイ素含有セラミックス及びセラミック母材複合材料などの耐熱性材料とする。基材上に自己封止性シール層を配置し、シール層をシール層の少なくとも一部が流れる封止温度に加熱する工程を採用する。 （もっと読む）

【課題】高温においても基礎材の腐食防止を達成する、特にＦｅ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｍｇ、および／またはＴｉに基づいた金属製の基礎材のための前記の種類の溶射された気密な保護層ならびにその製造方法を提供する。
【解決手段】特にＦｅ、Ｎｉ、Ａｌ，Ｍｇ、および／またはＴｉに基づいた金属製の基礎材のための溶射された気密な保護層であり、そのため噴射粉末が少なくとも２つの成分を有し、そのうち第１のものが珪酸塩鉱物あるいは鉱石であり、第２のものは金属粉および／またはさらに別の珪酸塩鉱物あるいは鉱石である保護層において、噴射粉末中の珪酸塩鉱物あるいは鉱石の成分が６重量％未満のアルカリ含有量を有する。 （もっと読む）