【課題】バーンアウト工程に要する時間を短くし、真空浸炭処理の処理効率の向上を可能にする、真空加熱炉の絶縁抵抗改善方法を提供する。
【解決手段】加熱室３内にグラファイト製ヒーター５を有する真空加熱炉１の加熱室３内を予め設定した真空度に減圧するとともに、グラファイト製ヒーター５によって加熱室３内を予め設定した温度に加熱する減圧加熱工程と、減圧加熱工程後、加熱室３内に乾燥空気を導入するバーンアウト工程と、を備える真空加熱炉の絶縁抵抗改善方法。 （もっと読む）

【課題】可及的安価な構成で、且つ、吸気した清浄な空気を熱効率よく加温することのできる熱処理炉を提供する。
【解決手段】炉内に設けた加熱室３の空気を炉外へ排気しつつ、清浄な空気を前記加熱室に供給１２して同加熱室内を換気する熱処理炉において、前記加熱室に面する炉壁内に前記加熱室の空気を排気するための流路５を形成し、同流路を経た排気との熱交換によって加温した前記清浄な空気を前記加熱室に供給することとした。また、前記排気と前記清浄な空気との熱交換を行う熱交換器２５を前記炉内に設けたこと、前記清浄な空気を前記熱交換器に導く配管２６の少なくとも一部を前記炉内に配設したこと、前記炉内に前記加熱室を多段状に複数設け、各加熱室からの排気を前記流路に集合させたことにも特徴を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、焼成炉に関し、より詳細には熱電対を用いて内部温度を測定する焼成炉に関する。
【解決手段】本発明は、内部に空間が形成された本体と、前記本体の内部に位置し、前記本体と上下に移動可能に結合する複数の熱電対と、前記本体の内部に位置する複数の発熱体と、前記熱電対から温度データの入力を受けて前記発熱体の温度を制御する制御部と、を含み、内部空間の各部分ごとの温度を測定し制御することにより均一な温度分布を形成することができ、特に、焼成対象物に加えられる熱の温度分布を均一にして高品質の焼成物を得ることができるという長所がある。 （もっと読む）

【課題】加熱装置において昇温時間が変動するような要因が発生したとしても、無駄な電力消費の発生を小さくする。
【解決手段】複数の加熱ゾーンを有する加熱装置を制御する制御装置２０は、複数の加熱ゾーンのうちの少なくとも１つの参照ゾーンの温度を監視する計測温度取得部２３と、参照ゾーンの温度に基づいて、複数の加熱ゾーンのうちの少なくとも１つの昇温対象ゾーンの昇温を開始させる温調機制御部２４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】作業者が近付くことができない狭隘部であっても遠隔操作により異物を除去することができる狭隘部異物除去装置を提供する。
【解決手段】管台９１を有する炉内９２に形成された狭隘部Ｃを閉塞する異物Ｍの除去を行う装置であって、管台９１から挿入される支持部材２と、支持部材２に固定されたガイドパイプ３と、ガイドパイプ３に挿入されたフレキシブルシャフト４と、フレキシブルシャフト４の先端に接続されたドリル５と、フレキシブルシャフト４を介してドリル５を回転させる第一駆動手段６と、フレキシブルシャフト４を介してドリル５をガイドパイプ３に沿って移動させる第二駆動手段７と、を有する。 （もっと読む）

【課題】温度安定時に温度を均一に維持することができ、昇降温時に容易に制御することができる。
【解決手段】制御装置５１は個別に制御される制御ゾーンの数が多い多制御ゾーンモデル７２ａと、制御ゾーンの数が少ない少制御ゾーンモデル７２ｂをとることができる。昇降温時に少制御ゾーンモデル７２ｂをとって少ない数の制御ゾーンＣ_１、…Ｃ_５の温度センサ５０からの信号に基づいて、各制御ゾーンＣ_１、…Ｃ_５に設置されたヒータ１８Ａを個別に制御する。温度安定時に多制御ゾーンモデル７２ａをとって、多い数の制御ゾーンＣ_１、…Ｃ_１０の温度センサ５０からの信号に基づいて、各制御ゾーンＣ_１、…Ｃ_１０に設置されたヒータ１８Ａを個別に制御する。 （もっと読む）

【課題】小さな加振或いは打撃によって焼成帯における炉心管内の被加熱物の付着を防止できるロータリーキルンを提供する。
【解決手段】加振装置８４は、加熱ヒータ３９により加熱される加熱帯に位置する炉心管３４の外周面に、その加振シャフト８０の一端から振動を伝達することから、炉心管３４の加熱帯に直接的に振動が加えられるので、比較的小さな加振或いは打撃によって焼成帯における炉心管３４内の被加熱物、たとえばリチウムイオン電池の正極材料やチタン酸バリウム材料など、焼成帯での加熱中に反応により付着性を生じる被加熱物が加熱帯において炉心管３４の内壁面に付着することを好適に防止でき、炉心管３４に損傷が発生するおそれが解消される。 （もっと読む）

【課題】熱電対の設置コスト低減を図り、かつ熱電対からの信号を校正する必要がない熱処理装置を提供する。
【解決手段】基準領域Ａ_１の炉内温度センサはＲ熱電対またはＳ熱電対からなる第１熱電対８１と、それ以外の熱電対からなる第２熱電対８２とを有し、他の領域Ａ_２、…Ａ_１０の炉内温度センサは第２熱電対８２を有し、基準領域Ａ_１の第２熱電対８２と他の領域Ａ_２、…Ａ_１０の第２熱電対８２は、起電力差回路８３に接続され、この起電力差回路８３によって基準領域Ａ_１と他の領域Ａ_２、…Ａ_１０との間の温度差が求められ、基準領域Ａ_１の第１熱電対８１により基準領域Ａ_１の温度が求められ、この基準領域Ａ_１の温度と起電力差回路８３で求めた温度差により、各他の領域Ａ_２、…Ａ_１０の温度が求められる。 （もっと読む）

【課題】電気気抵抗式溶融炉における電極の長さを正確に測定して、少なくとも溶融スラグ層と溶融金属層との界面を正確に検知するとともに、上熱現象や電極の折損事故等の不具合を防ぐ。
【解決手段】炉内に堆積した被溶融物に、炉内に垂下する炭素電極を差し入れ、電極間を通電して被溶融物を溶融する電気抵抗式溶融炉における炭素電極の長さを測定する方法であって、少なくとも１本の炭素電極に、軸線に沿って下端まで延びる空孔を形成して上端にマイクロ波送受信器を装着するか、内部に電極下端に達する金属製パイプを挿通し、上端にマイクロ波送受信器を装着してマイクロ波を送信し、空孔または金属製パイプの下端で反射されたマイクロ波を受信して電極の長さを求める。 （もっと読む）

【課題】炉芯管内へ供給する雰囲気ガスで回転するガス流束を形成して雰囲気ガスに直進性を誘導させ、それにより、被処理物の近傍における雰囲気ガスの滞留を抑制するばかりでなく、乱流の発生を防止し、雰囲気ガス、発生ガスを炉芯管内に沿って排気口へ向け安定した流れで直進させて処理ムラの発生を防止する熱処理炉を提供する。
【解決手段】加熱手段３を有する炉本体１内に円筒状の炉芯管２を配置し、その炉芯管の一端部に雰囲気ガスの供給口５ａを、他端部に排気口７ａを設けた熱処理炉Ａにおいて、前記ガス供給口５ａの前位置に、供給されるガス流の乱流を抑制しながら雰囲気ガスを排気口方向へ誘導させる整流ファン１４を配設した。 （もっと読む）

【課題】抵抗加熱ヒーターにより溶融物を加熱する溶融炉において、抵抗加熱ヒーターに流れている電流により磁場が発生し、この磁場が溶融物に作用して溶融物が回転することにより、ルツボの内面が不均一に削られることを防止できる加熱溶融炉を提供し、また、これを用いた加熱溶融方法を提供する。
【解決手段】ルツボの外壁面外側に抵抗加熱ヒーターが配設されて、前記抵抗加熱ヒーターから発生する磁場の影響を受け、ルツボ内に収容された溶融物がルツボの内壁側面に沿って回転する加熱溶融炉において、溶融物の回転方向を逆転させる手段を備えて、所望のタイミングで溶融物の回転方向を逆転させることができる加熱溶融炉であり、また、この加熱溶融炉を用いて、所望のタイミングで溶融物の回転方向を逆転させる加熱溶融方法である。 （もっと読む）

【課題】鋼板を部分的に異なる温度に加熱する際に、部分的に異なる温度に１回の加熱処理で同時に加熱できるようにする。
【解決手段】ブランク材に密着させられる平坦な加熱面（上面１２ｆ）を有するとともに、多数のシーズヒータ１８ａ〜１８ｍによってその加熱面が複数の加熱領域２０ａ、２０ｂ、・・・に区分して異なる加熱温度に加熱されるホットプレート１２により、その加熱面の複数の加熱領域２０ａ、２０ｂ、・・・の加熱温度に応じてブランク材を部分的に異なる温度に１回の加熱処理で同時に加熱することができる。これにより、例えばセンターピラー用の補強部材のように、ブランク材を部分的に焼き入れ硬化させるために部分的に異なる温度に加熱する場合に、その加熱処理を容易に且つ短時間で行うことができるとともに、一度に加熱するため温度管理が容易であり、高い精度で目的とする温度分布が得られる。 （もっと読む）

【課題】溶湯を循環させるための装置が場所を取らず、しかも投入した非鉄金属を沈めるための装置も場所を取らない非鉄金属用溶解炉及び非鉄金属の溶解方法を提供する。
【解決手段】溶湯を加熱する溶解室３１を備え、溶湯を内部で循環させるとともに溶湯に投入された非鉄金属を溶解する非鉄金属用溶解炉３０であって、溶解室３１において溶湯に浸漬され、水平方向に所定間隔を開けて対向する少なくとも一対の電極３３と、溶解室３１の上方又は下方のうち少なくとも一方に配置され、一対の電極３３間を流れる電流に対して略垂直に交差する磁界を生じさせる磁石３４と、を備え、溶湯に推力を与えるとともに、さらに一対の電極３３に接続され、一対の電極３３間を流れる電流を脈流とする整流器３５を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、被測定金属板の幅が変化した際にも、被測定金属板の幅が変化した部分に対応する参照板の幅方向の部分の温度の変化（温度偏差）が軽減され、被測定金属板の温度測定誤差を小さくすることが可能な金属板の温度測定装置における参照板の温度制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】補助ヒータ１３を参照板２に沿って、参照板２と対向する最小幅Ｗｓｍｉｎの鋼板３の両端部よりそれぞれ外側であり、かつ、最大幅Ｗｓｍａｘの鋼板３の両端部よりそれぞれ内側の位置に対応するように設け、温度コントローラ１２の指示に基づき鋼板３の幅Ｗｓ（最小幅Ｗｓｍｉｎ〜最大幅Ｗｓｍａｘ）に応じた所定の電力を補助ヒータ１３に供給し、参照板２の温度分布が所定の温度分布となるように制御する。 （もっと読む）

【課題】基板の異物付着を低減し、生産性を向上させることができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】処理室内に収納された基板を加熱する加熱部と、加熱部近傍の温度を検出する第１の温度検出部と、第１の温度検出部よりも基板の近傍に位置し、基板近傍の温度を検出する第２の温度検出部と、基板が入炉されてから所定時間内の加熱部の加熱制御を第１の温度検出部の検出温度に基づいて行う制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】被加熱体の加熱による損傷の発生頻度が低く、かつエネルギーの効率が高い加熱装置の運転方法を提供する。
【解決手段】波長１．６〜２．６μｍにおける熱放射率０．７以上の材質から形成されている内壁面２４を有する壁部２５に囲まれた収容室２３に被加熱体２９を収容する収容部２５と、収容室２３内の雰囲気温度および被加熱体内の温度分布に基づき雰囲気温度の昇温速度を制御しつつ収容室内を加熱する加熱手段２８と、を備える加熱装置において、収容室２３に被加熱体２９を収容し、被加熱体２９に不具合を生じさせないための温度分布の最大許容値が定められている雰囲気温度において、加熱手段２８が、前記最大許容値の０．９〜１．０倍になるように、雰囲気温度の昇温速度を制御しつつ収容室２３内を加熱する加熱装置２１の運転方法。 （もっと読む）

【課題】従来の燃焼炉付小型脱脂炉に比較して、消費電力を大幅に削減することができ、且つ高温の排気の排出量を抑制することが可能な脱脂炉を提供する。
【解決手段】脱脂炉１は、成型体に脱脂処理を施すための脱脂炉本体１０、脱脂炉本体１０の排気に含まれる有害物質を燃焼するための燃焼炉２０、燃焼炉２０から排出された高温の排気に外気を取り込んで冷却すると共に酸素を供給するための外気取込部３０、外気取込部３０の上端部と脱脂炉本体１０の脱脂室１０１の底部と連通してなる循環路４０、排気を循環させるための循環ファン５０、排気の一部を外部に排出するための排気部６０等から構成されている。 （もっと読む）

【課題】廃棄物を燃焼させずに短時間で炭化し、発生する有害物質も無害化する装置の提供。
【解決手段】内部に廃棄物を投入可能な多角柱状の枠体２ａの側面に対し、棒状の発熱体５ａ、５ｂ、５ｃが中央に向かって延び発熱体の下に燃焼を抑えるマイナスイオンガス６ｂを噴出可能な供給パイプ６を通した加熱部５を間欠的に設け、加熱部を各段が互い違いに間を補うように複数段にすることで、発熱体により廃棄物全体を所定温度まで上げ廃棄物自体の熱で温度を上げ炭化させる炭化物生成機２と、炭化物生成機で発生した排気ガスを電気発熱体３ｂにより高温維持された通路３ｃを時間を掛けて通過させることで分解する高熱分解室３と、高熱分解室で分解した排気ガスをブロワ４ｇで吸引して複数の吸着筒４ａ、４ｂ、４ｃ内を通過させて排出する際に吸着材４ｆで冷却すると共に吸着材に有害物質を吸着させて無害化する吸着室４とからなる炭化装置１。 （もっと読む）

【課題】最大供給電力を越える電力量が電源設備から加熱ユニットへ供給される事態を回避できるようにすると共に、過電流を原因とするケーブルの焼損や、ブレーカーの不本意な断動作等を無くすことができるようにする。
【解決手段】炉体内に設けられた複数のヒーターユニット３、炉体１の目標加熱温度を設定する操作部５４と、各々のゾーンにおける現在の温度を測定する温度センサー８と、現在の温度と目標加熱温度との差分を基準にしてヒーターユニット３を出力制御する制御装置５０とを備え、炉体内のヒーターユニット３の出力と炉内温度上昇との関係を予めゾーン毎に求めた出力対温度特性情報と、温度センサー８から得られる温度測定情報と、操作部５４から得られる温度設定情報とに基づいてヒーターユニット３に供給する電力をゾーン毎に制御するものである。 （もっと読む）

【課題】電圧供給側の急激な電圧変動が発生しても、低コストで熱処理炉のヒータ出力の変動幅を制御して熱処理する半導体ウェーハにスリップ転位が発生するのを抑制できる熱処理炉のヒータ出力制御方法、ヒータ出力制御装置及びそのヒータ出力制御装置を具備した抵抗加熱式熱処理炉を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも、熱処理炉内の温度を検出する温度センサと、熱処理炉のヒータ出力を調整する温度コントローラと、熱処理炉のヒータへの供給電圧の変動を検出し、該供給電圧の変動に応じた補正値を算出し、該補正値を前記温度コントローラに出力するフィードバック手段とを具備し、半導体ウェーハを熱処理する際に、温度コントローラが温度センサで検出した温度及びフィードバック手段から出力された補正値に従ってヒータ出力を調整することによって、供給電圧の変動に伴うヒータ出力の変動幅を制御する熱処理炉のヒータ出力制御装置。 （もっと読む）