【課題】真空室内に配置された被加熱物の接触状態を検出して効率良く加熱する真空加熱装置および方法を提供する。
【解決手段】前記被加熱物に、ヒータ加熱面と温度検知部を接触させ、前記温度検知部から得られた情報に基づいて、加熱初期の被加熱物の温度上昇度を算出し、該温度上昇度が、所定規定値（Ｂ）以上のときは、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態が良好であると判別し、所定規定値（Ｂ）未満のときは、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態が不良であると、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態を判別し、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態が不良であると判別した場合には、前記ヒータ加熱面を前記被加熱物から離したのち、再度、前記ヒータ加熱面を前記被加熱物に接触させてから、前記温度検知部から得られた加熱初期の被加熱物の温度上昇度に基づいて、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態を判別する。 （もっと読む）

【課題】ヒーターの絶縁支持構造の信頼性を向上させることができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施の形態に係る熱処理装置１は、発熱体（ヒーター板Ｈ４）を支持する支持機構Ｓ４において、発熱体を支持する支持部材４０２が金属材料で構成されている。このため、発熱体が炭素系材料のような材料で構成されている場合でも、発熱体と第２の部材との間の熱反応による当該第２の部材の変質あるいは融解を防止できる。また、支持部材４０２は電気絶縁性の絶縁部材４０３を介して金属製の支持軸４０１に支持されているため、発熱体の絶縁耐圧を安定に確保することができる。 （もっと読む）

【課題】発熱体の給電端子との接続部における熱ロスを低減することができるヒーターユニット及び熱処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施の形態に係るヒーターユニットＨＵａは、発熱体Ｈａと、給電端子２０と、中間体４０とを具備する。給電端子２０は、金属材料でなり、発熱体Ｈａへ電力を供給する。中間体４０は、炭素系材料でなり、発熱体Ｈａと給電端子２０との間に接続されている。中間体４０は、発熱体Ｈａと給電端子２０との間を断熱する機能を有する。このため、給電端子２０が冷却操作されているような場合においても、発熱体Ｈａの熱ロスを抑制することが可能となる。したがって、上記ヒーターユニットＨＵａによれば、発熱体Ｈａの給電端子２０との接続部における温度低下を防止して、均熱性の向上を図ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】アークの熱エネルギーにより金属材料を溶解するアーク溶解炉に用いられるアーク溶解用電極であって、先端の電極材が脱落する可能性を低減させたアーク溶解用電極を提供する。
【解決手段】アークの熱エネルギーにより金属材料を溶解するアーク溶解炉１の溶解室２０の室内に配置された水冷電極保持材２３ｃに取り付けられるアーク溶解用電極であって、円柱状に形成され、その軸芯部に貫通孔２３ｂ２が形成されていると共に、水冷電極保持材２３ｃに着脱自在に取り付けられる接続部材２３ｂと、棒状に形成されていると共に、その後端部が接続部材２３ｂの貫通孔２３ｂ２に挿入されて接続部材２３ｂに接合される電極材（タングステン電極）２３ａとを備え、電極材２３ａと接続部材２３ｂとがビス２３ｄにより機械的に接合されている。 （もっと読む）

【課題】昇温および降温時におけるヒータの膨張および収縮による影響を適切に抑えつつ、ワークの大型化に対応することが可能なヒータユニットおよび熱処理装置を提供する。
【解決手段】ヒータユニット２０は、ヒータ２１、ヒータラック１８、およびサポートプレート１９を備える。ヒータ２１は、ワーク１４よりも小さなサイズの複数のヒータ片２１０〜２１９を有する。ヒータラック１８およびサポートプレート１９には、複数のヒータ片２１０〜２１９が載置される。ヒータラック１８およびサポートプレート１９に載置されるヒータ片２１０〜２１９の少なくとも一部は、ヒータラック１８に対して滑動可能に配置される。 （もっと読む）

【課題】ヒータ断線時に炉内の加熱バランスが大きく崩れるのを防止することができ、しかもヒータ交換などのメンテナンスが容易なシリコン加熱炉を提供する。
【解決手段】２つの円筒炉半体２４ａ，２４ｂを円筒状に組み合わせることによって構成され、その内部にて加熱対象となる原料シリコン塊１２を加熱するシリコン加熱炉１０において、２つの円筒炉半体２４ａ，２４ｂの内側に、円筒炉半体２４ａ，２４ｂの胴長と略同等の長さに形成され、且つ石英管６４で被覆された複数の直線状のヒータＨが、円筒炉半体２４ａ，２４ｂの内周方向にて互いに離間し且つ円筒炉半体２４ａ，２４ｂの胴長方向に沿って配置されると共に、ヒータＨのそれぞれが並列に電気接続されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】バッチ式熱処理装置において、複数枚の基板を面内の温度が均一になるように同時に熱処理する。
【解決手段】本発明に係るバッチ式熱処理装置は、複数枚の基板１０に対して熱処理空間を提供するチャンバ１００と、複数枚の基板１０を搭載支持するボート１０８と、基板１０の積載方向に一定間隔で配置されかつ各々が複数の主ヒータ２００で構成されるような複数の主ヒータユニット１２０とを含み、基板１０が、複数の主ヒータユニット１２０の間に配置されるようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

近接場浮揚によって１枚のシート材料を安定化させるための装置は、１個の加熱素子および一つの放射面を備えた１個のヒーター・プレートを有し、上記放射面は上記ヒーター・プレートが音波を受けたときに振動する。この装置は、上記ヒーター・プレートに結合され、かつこのヒーター・プレートに音波を伝送するように動作可能な少なくとも一つの振動発生源をさらに備えている。
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【課題】従来の加熱炉においては、蛇行状ヒータエレメントの湾曲部を炉壁用断熱材に固定しているため、加熱中のヒータエレメントの膨脹及び冷却中の収縮による歪みがヒータエレメントに蓄積し、そのため長期亘って使用しているとヒータエレメントがこれを配置した溝内から飛び出したり、ヒータエレメント同士が接触したり、ヒータエレメントが炉内の被加熱物に接触したり、熱疲労によりヒータエレメントが破断してしまうという欠点があった。
【解決手段】本発明の高温用加熱炉は、炉壁用断熱材と、この断熱材の炉芯側面に上下方向に互いに離間して多段に配置した、夫々上下端で蛇行状に折れ曲がるヒータエレメントと、上下に隣接する上記ヒータエレメントの互いに対向する蛇行部分を連結する、上記断熱材に固定されていない耐熱・絶縁性フックと、上記ヒータエレメントの最上段のものを吊下する手段とより成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】抵抗発熱体の熱膨張収縮時の支持体と抵抗発熱体との間の摩擦抵抗を低減して抵抗発熱体の残留応力による永久歪の発生を抑制し、耐久性の向上を図る。
【解決手段】被処理体ｗを収容して熱処理するための処理容器３を囲繞する筒状の断熱材４と、該断熱材４の内周面に沿って配置される螺旋状の抵抗発熱体５と、上記断熱材４の内周面に軸方向に沿って設けられ抵抗発熱体５を所定ピッチで支持する支持体１３と、上記抵抗発熱体５の外側に軸方向に適宜間隔で配置され断熱材４を径方向に貫通して外部に延出された複数の端子板１４とを備えた熱処理炉において、上記支持体１３は断熱材４に一端が埋め込まれ、他端が径方向内方へ突出された複数本の管状部材５１から成り、該管状部材５１の曲面状の上面部に上記抵抗発熱体５が支持され、上下に隣り合う上記管状部材５１の先端部間には、上記抵抗発熱体５の脱落を防止するための線状部材５５が掛け渡され、該線状部材５５の両端部５５ａが上下の上記管状部材５１の軸孔を通り断熱材４中に埋設されて固定されている。 （もっと読む）

【課題】炉幅が大きい加熱炉であっても、ヒーターユニットの取り外しが容易な構造の加熱炉を提供する。
【解決手段】被加熱物を、トンネル状の炉体１の炉長方向に移送しつつ、炉内上部に配設されたヒーターユニット４で加熱する加熱炉であって、炉体側壁１ｂ上に、炉幅方向を橋渡す梁状部材５ａを設け、梁状部材５ａに、ヒーターユニット４を、スライド部材６を介して炉幅方向にスライド可能に取り付けたことを特徴とする。なお、ヒーターユニット４を炉幅方向に複数に分割することが好ましい。また、隣接する梁状部材５ａを接合し、この隣接する梁状部材５ａに、ヒーターユニット４を炉幅方向にスライド可能に取り付けることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】耐熱及び冷却に関し望ましい効果を有し、電極に純水を供給する必要がなく、費用節約や安全上の課題を解決しうる結晶成長炉の電極構造体を提供する。
【解決手段】少なくとも１つのグラファイト電極柱２と、少なくとも１つの金属電極柱と、少なくとも１つの固着基部４と、少なくとも１つのロックナットとを含み、グラファイト電極柱は、金属電極柱のナット基部に係合し、少なくとも１つの金属電極柱は、固着基部を通って炉壁に固締される。従って、少なくとも１つのグラファイト電極柱は、重量支持体としても導電性の電極としても働く。炉壁に溶接されたフランジ４１は、大気に晒される面積が大きくなることから、望ましい冷却効果を達成することができ、散水が実施されれば温度降下を促進することができる。固着基部には弾性座金が設けられているので、弾性力を用いてグラファイト各電極柱の荷重を軸方向に調整することができる。 （もっと読む）

【課題】抵抗発熱体の熱膨張収縮に伴う径方向の移動を許容しつつ抵抗発熱体が重力で下方に移動するのを防止し、抵抗発熱体の耐久性の向上を図る。
【解決手段】被処理体ｗを収容して熱処理するための処理容器３を囲繞する筒状の断熱材４と、該断熱材４の内周面に沿って配置される螺旋状の抵抗発熱体５と、断熱材４の内周面に軸方向に所定のピッチで設けられ、抵抗発熱体５を径方向に熱膨張収縮可能に支持する支持体１３と、抵抗発熱体５の外側に軸方向に適宜間隔で配置され断熱材４を径方向に貫通して外部に延出された複数の端子板１４と、抵抗発熱体５に所定のターンごとに設けられ、上記支持体１３の一側面に当接して抵抗発熱体５の下方への移動を阻止する移動阻止部材１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】内部応力および隅部亀裂が発生せず、所望品質のシリコン結晶インゴットが得られる対流冷却構造を有する結晶成長炉を提供する。
【解決手段】炉本体、加熱室、ヒータを含み、加熱室は炉本体に収容され、上側隔壁、複数の側方隔壁、および下側隔壁を含む。上側隔壁には、上側開口部と、中央開口部を有する下側隔壁とが設けられる。加熱室には、上側ドア、下側ドア、上側ドライバ、および下側ドライバが設けられ、シリコンスラリーが冷却および凝固される際、冷却ガス流が中央開口部を通って加熱室の下部に流れ込む。次に、上側開口部が、上側ドライバによって駆動される上側ドアにより開放されるため、加熱されたガス流が上側開口部から排出され、炉内壁に沿って下方に流れ、中央開口部から加熱室へ戻り、自動対流循環冷却流れ場が形成されるので、時間を節減し、生産効率を向上させた状態で、シリコンスラリーを迅速に冷却することができる。 （もっと読む）

【課題】ヒータ及びヒータ保護管の状態を簡易に監視することができるとともに、ヒータ保護管及びヒータの寿命を予測し、的確な保全を行うことが可能なダイカスト電気溶解炉ヒータの監視方法及び監視装置を提供する。
【解決手段】ダイカスト電気溶解炉Ｄ内部を加温するための複数のヒータ線を被覆するヒータ保護管４１を備えたダイカスト電気溶解炉ヒータの監視方法が、ダイカスト電気溶解炉内部を加圧する第１の工程と、ヒータ保護管に配設された圧力測定手段４２により、圧力を測定する第２の工程と、第２の工程により検出された圧力が一定値以上であるか否かを判定し、検出された圧力が一定値以上であった場合に異常報知を行う第３の工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 溶湯に浸漬していない保護管の上部では、保護管表面から空気中への放熱や、炉に設けられた保護管を固定するための被固定部材への放熱を抑えることができる。また、溶湯に浸漬される保護管の下部では、加熱エネルギーを高出力できる加熱体の熱効率に優れる加熱体保護管を提供する。
【解決手段】 炉内の溶湯に浸漬させて溶湯を加熱する加熱体の保護管が、溶湯に浸漬され閉塞した底部を有する下部管体と、下部管体の上部に配置され中空管状の上部管体とを焼結により接合してなり、下部管体および上部管体はセラミックスから形成され、下部管体の熱伝導率が上部管体の熱伝導率より大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】抵抗発熱体の熱膨張収縮時の支持体と抵抗発熱体との間の摩擦抵抗を低減して抵抗発熱体の残留応力による永久歪の発生を抑制し、耐久性の向上を図る。
【解決手段】被処理体ｗを収容して熱処理するための処理容器３を囲繞する筒状の断熱材４と、該断熱材４の内周面に沿って配置される螺旋状の抵抗発熱体５と、上記断熱材４の内周面に軸方向に沿って設けられ抵抗発熱体５を所定ピッチで支持する支持体１３と、上記抵抗発熱体５の外側に軸方向に適宜間隔で配置され断熱材４を径方向に貫通して外部に延出された複数の端子板１４とを備えた熱処理炉において、上記支持体１３は抵抗発熱体５の内側に位置する基部１７と、該基部１７から抵抗発熱体５のピッチ間を通って炉の半径方向外方へ延出する複数の支持片１８とを有するように櫛状に形成され、該支持片１８の上面部が抵抗発熱体５の熱膨張収縮移動時の摩擦抵抗を低減するべく曲面状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】故障した熱源を工業炉の作動中に交換することが可能な工業炉天井用の充填要素を提供する。
【解決手段】本発明による充填要素は、下部、モジュール、開口、隆起部、穴および熱源を備えている。本発明は更に、故障した熱源を工業炉の作動中に交換する、工業炉の作動方法に関する。
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【課題】波形に形成した発熱体を炉壁に設けた溝内に配置し、発熱体の端子部を炉壁に固定し、上記発熱体の波高部を上記溝の両側壁に埋め込むことにより、上記発熱体を炉壁に固定する発熱体の固定方法では、発熱体の加熱膨張・収縮により上記発熱体が溝から飛び出し、発熱体同士が接触したりしてしまう欠点がある。
【解決手段】炉壁１と、上記炉壁内面に設けた発熱体収納溝２と、上記発熱体収納溝２内に配置せしめた波形に形成した発熱体３と、上記炉壁１に設けた、上記発熱体３の端子部４を貫通せしめる貫通孔９とよりなり、上記貫通孔９が上記発熱体収納溝２の延びる方向に大きく延びる空隙とする。また、発熱体収納溝２の下側には上記発熱体３の波形端部収納溝８を有する。 （もっと読む）

【課題】 加熱板一枚当りの実質的な重量軽減、使用電気容量の低減、分割・軽量による加熱板交換・組立の容易化、加熱板厚み低減による多段段数の確保を可能とした、熱板、複合熱板及びこれらを備えた加熱炉を、提供することを目的とする。
【解決手段】 中空部４を有する支持体５と、この支持体５の上面に積層される発熱体６と、この発熱体６の上に積層される伝熱体７とを備えた熱板１、さらに、中空部４が、上下２枚の支持層と、この支持層を保持する長手方向に走る梁３とに囲まれた熱板。 （もっと読む）