【課題】 モジュールのサイズを縮小する。
【解決手段】本実施形態の固体撮像装置は、第１の面と前記第１の面に対向する第２の面を有する半導体基板１０と、半導体基板１０内に設けられ、第２の面側のレンズを介して照射された光を光電変換する画素３と、第１の面上の素子７を覆う絶縁膜９２，９６上に設けられ、溝６９を有する支持基板１９と、絶縁膜９２，９６上に設けられ、支持基板１９の溝６９内に格納されるデバイス６０と、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】高温熱処理による不純物拡散を抑制することにより、基板性能に要求されるオーバーフロードレイン機能とゲッタリング能力を向上できて、製造工程も複雑化しない。
【解決手段】シリコン基板１の表面側に、砒素（またはアンチモン）がイオン注入されて高濃度Ｎ型層３が形成され、この高濃度Ｎ型層３上にエピタキシャル層４がエピタキシャル成長して形成されている。これによって、砒素（Ａｓ）の拡散係数がリン（Ｐ）に比べて小さいことから、従来手法によるリンドープ基板に比べて製造工程における熱処理による不純物拡散（プロファイル拡散）を大幅に抑制する。 （もっと読む）

【課題】画質の劣化を抑制する。
【解決手段】本実施形態の固体撮像装置は、フォトダイオード形成領域５０内に設けられ、少なくとも１つの不純物層５５を含むフォトダイオード５と、フォトダイオード形成領域５０内に設けられ、フォトダイオード５の下方に設けられる空洞５９とを、含んでいる。 （もっと読む）

【課題】クロストークを防止するために設けられた区画層を有する固体撮像素子において、高画質化のために受光部サイズが小型化された場合であっても、感度特性の劣化を抑制し、良好な画質の実現を図ることを目的とする。
【解決手段】半導体基板１１と、半導体基板１１内に行列状に配置され、光電変換する複数の受光部１２と、半導体基板１１の上側に配置され、受光部１２それぞれの上方に対応する部位に開口を有し、前記開口と開口の間の部位により受光部１２の上方を受光部１２毎に区画する区画層２０と、前記開口内部に配されたカラーフィルタ層２４と、を備え、区画層２０は、区画本体層２１と、区画本体層２１上に積層された密着層２２および金属層２３とで構成され、最上位に配された金属層２３は、金属から成る。 （もっと読む）

【課題】開口部が数μｍ、アスペクト比が５以上のトレンチ壁面に高濃度の不純物がドーピングされた縦型ｐｎ接合を形成する技術を確立する。
【解決手段】開口部の最小寸法が１０μｍ以下、アスペクト比５以上、かつ壁面の凹凸が０．２μｍ以下のＳｉトレンチ壁面に対し不純物をドープし、さらに、不純物がドープされたトレンチ壁面を、９００℃以上の熱処理でリフローが生じるＳｉＯ₂膜により被覆し、このＳｉＯ₂膜を固体拡散源としたトレンチ壁面にｐｎ接合膜を形成する高アスペクト比のトレンチ構造を有する半導体デバイスの製造方法。前記ドープに先立ち、トレンチ壁面の熱酸化処理を行い、この熱酸化処理によって形成された熱酸化膜を除去する処理によりトレンチ壁面の凹凸を０．１μｍ以下に抑える。 （もっと読む）

【課題】経時保存性が良好で、微細な着色パターンを露光マスクのパターンサイズ通りに形成することができ、且つ、赤緑青のカラーフィルタを形成したときに高い解像力を有する固体撮像素子用のカラーフィルタを形成しうる着色感放射性組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）顔料、（Ｂ）下記一般式（１）で表される化合物を共重合成分として含むバインダー、及び（Ｃ）重合性化合物を含有し、前記（Ａ）顔料がＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６と、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５と、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５０とを含む着色感放射線性組成物。
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【課題】被検体以外に起因する外部からの不要光の影響を受けることなく、良質の生体画像情報を得ることができると共に、製造歩留まりを向上させることができる低コストの撮像装置を提供する。
【解決手段】２次元配列された複数の集光レンズ３２と、複数の集光レンズ３２のそれぞれに対応して２次元配列された複数の画素ＰＸ（受光素子）とを備えた撮像装置１５０である。複数の集光レンズ３２を、透明基板３１の、複数の画素ＰＸ（受光素子）側と反対側の面上に形成する。透明基板３１の、複数の集光レンズ３２が形成された面上の、集光レンズ領域外に、集光レンズ３２を通過せずに透明基板３１の内部に入射した光を画素ＰＸ（受光素子）に到達させることなく除去するプリズム３３を設ける。 （もっと読む）

【課題】アルカリ現像によって、赤外領域における遮光性が高く、耐久性（冷熱衝撃耐性や、基板に対する密着性など）に優れるとともに、所望の矩形形状を有するパターンを高感度で形成可能な固体撮像素子用硬化性組成物、並びに、これを用いた感光層、永久パターン、ウエハレベルレンズ、固体撮像素子、及び、パターン形成方法を提供する。
【解決手段】 （Ａ）赤外線遮蔽材、（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、
（Ｃ）酸の作用により架橋反応を示す化合物、及び、（Ｄ）バインダー樹脂を含有する固体撮像素子用硬化性組成物、並びに、これを用いた感光層、永久パターン、ウエハレベルレンズ、固体撮像素子、及び、パターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】吸収スペクトルをシャープにし且つ暗電流を低くすることが可能な光電変換素子を提供する。
【解決手段】一対の電極１１，１３と、一対の電極１１，１３の間に配置された光電変換層１２ａとを含む光電変換部を有し、一対の電極１１，１３間にバイアス電圧を印加して光電流を取り出す光電変換素子Ａの光電変換層１２ａを、特定波長域の光を吸収して前記光に応じた電荷を発生する１種類の光電変換材料（例えばスズフタロシアニン）と、前記特定波長域を含む前記特定波長域よりも広い範囲の波長域の光に対して透明で且つ前記光電変換材料で発生した電荷の輸送性を有するマトリックス材料（例えばＴＭＭ−１）とを、真空中で気化させた後に混合して形成する。 （もっと読む）

【課題】 撮影画質を低下させることなく、高速な焦点調節を行うこと。
【解決手段】 撮像素子の出力に応じた被写体像のコントラストに基づき、撮像光学系のフォーカシングレンズ群を光軸方向に移動させて焦点調節を行うフォーカシング手段を備えた撮像装置において、撮像素子は、各画素に対応する複数のマイクロレンズを有し、これらマイクロレンズの各位置をそれぞれ光軸方向に異ならせて設け、光軸方向の異なる各位置に複数の結像面を形成し、フォーカシング手段は、撮像素子の複数の結像面に対応する各電気信号に基づいてコントラスト値の高くなるフォーカシングレンズ群の移動方向を判定する。 （もっと読む）

【課題】複数の層間膜からなる積層構造体中に光導波路を有する固体撮像装置であって、集光効率を改善することができる固体撮像装置を提供する。
【解決手段】基板上に形成された光電変換を行う受光部１と、受光部１上に形成され、配線層（第１Ｃｕ配線９、第２Ｃｕ配線１２）を含む複数の膜からなる積層構造体と、積層構造体における受光部１に対応する位置に形成された導波路孔１４ａの側壁を覆うサイドウォール膜１６と、サイドウォール膜１６で囲まれた空間に光透過性材料が埋め込まれて形成された光導波路１４とを備え、光の入射方向から見た光導波路１４の平面形状の大きさが当該光の入射側の面から受光部１側に向けて小さくなる順テーパー形状となっている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、固体撮像装置とその製造方法、およびこの固体撮像装置を備えた撮像モジュールに関する。
【解決手段】撮像エリアに複数の画素が二次元配列されてなる固体撮像装置であって、画素毎に光電変換部が形成された半導体基板と、半導体基板上に形成され、光電変換部上の領域毎に凹部を有する第１屈折率膜と、第１屈折率膜の凹部に一部が埋め込まれた、第１屈折率よりも高い屈折率を有する第２屈折率膜とを備え、複数の画素には、撮像エリアの中央領域にある第１の画素と、撮像エリアの周辺領域にある第２の画素とが含まれ、第２の画素における第２屈折率膜の上面は、第１の画素側の端部が、第１の画素側とは反対側の端部よりも低くなるように傾斜していることを特徴とする固体撮像装置。 （もっと読む）

【課題】光学デバイス全体の小型化を図れるようにする。
【解決手段】光学デバイスは、第１の表面及び第１の表面とは反対側の第２の表面を有する光学素子２と、光学素子２における第１の表面の上方に配置された光学部材３と、光学素子２における第１の表面の上方に配置され、且つ、光学部材２の横側に配置された基板７とを備えている。光学部材３は、第１の表面と対向する第３の表面及び該第３の表面とは反対側の第４の表面を有し、平面視において、第２の表面の全てが第１の表面よりも内側に位置するか又は第４の表面の全てが第３の表面よりも内側に位置する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、固体撮像装置とその製造方法に関する。
【解決手段】第１受光部及び第２受光部が形成された半導体基板と、半導体基板上に積層され、第１受光部上の領域に第１開口部を有し、第２受光部上の領域に第２開口部を有する平坦化膜と、第１開口部に一部が埋め込まれると共に第１開口部から残りの一部が突出し、突出部上面がレンズ状であり、平坦化膜よりも高い屈折率の第１カラーフィルターと、第２開口部に一部が埋め込まれると共に第２開口部から残りの一部が突出し、突出部上面がレンズ状であり、平坦化膜よりも高い屈折率の第２カラーフィルターとを備え、第１カラーフィルターの突出部と第２カラーフィルターの突出部とは離間しており、カラーフィルターの離間領域には、第１カラーフィルターと第２カラーフィルターとのどちらとも異なる屈折率の物質が存在することを特徴とする固体撮像装置。 （もっと読む）

【課題】 光を光電変換部に精度よく入射させる。
【解決手段】 複合部材３００は、絶縁膜３１０と、各々が別々の光電変換部３に対応して設けられ、絶縁層３１０に囲まれた、絶縁膜３１０の屈折率よりも高い屈折率を有する複数の高屈折率部材３２０と、複数の高屈折率部材３２０同士を連結するように絶縁膜３１０上に設けられた、絶縁膜３１０の屈折率よりも高い屈折率を有する高屈折率膜３３０とを、少なくとも有しており、複数のレンズ部１１０のうちの、互いに隣り合うレンズ部同士が接している。 （もっと読む）

【課題】撮像領域を三次元に湾曲させた湾曲部の周囲に平坦部を残すことが可能で、これによりクラックなどの損傷が発生し難い固体撮像素子の製造方法を提供する。
【解決手段】一主面側に光電変換部を配列した素子チップ２を作製する。素子チップ２よりも膨張係数の大きい材料を用いて構成されると共に、開口２３を有し開口２３の周囲が平坦面２５として整形された台座２１を用意する。台座２１を加熱して膨張させる。台座２１の開口２３を塞ぐ状態で、台座２１の平坦面２５上に素子チップ２を載置する。その後、膨張させた台座２１の平坦面２５に素子チップ２を固定した状態で台座２１を冷却して収縮させる。これにより、素子チップ２において開口２３に対応する部分を三次元に湾曲させる。 （もっと読む）

【課題】撮像素子における位相差検出画素の特性を向上させる。
【解決手段】マイクロレンズ３１４は、被写体からの光を集光する。受光素子３１３は、マイクロレンズ３１４により集光された被写体光を受光することにより位相差検出による合焦判定を行うための信号を生成する。遮光層３１２は、マイクロレンズ３１４と受光素子３１３との間に配置されて、被写体光の一部を遮光して被写体光を瞳分割する。また、遮光層３１２は、マイクロレンズ３１４の結像点の位置と遮光層３１２の入射口側の端部の位置とが、像高の変化に応じて離れるように設定される。 （もっと読む）

【課題】不純物濃度のピーク位置までの深さが互いに異なる複数の不純物領域を半導体基板内に従来よりも少ない工数で形成するための技術を提供する。
【解決手段】複数の不純物領域を半導体基板内に有し、半導体基板の表面から複数の不純物領域の不純物濃度のピーク位置までの深さが互いに異なる半導体装置の製造方法が提供される。本方法は、光透過率が互いに異なる複数の領域を含むフォトマスクを用いて、半導体基板に塗布されたフォトレジストを露光する露光工程と、フォトレジストを現像して、フォトレジストの露光量に依存した互いに異なる膜厚を有する複数の領域を含むレジストパターンを形成する現像工程と、レジストパターンの膜厚が互いに異なる複数の領域を通して半導体基板に不純物イオンを注入して、半導体基板の表面からピーク位置までの深さが互いに異なる複数の不純物領域を形成する注入工程とを有し、ピーク位置までの深さは、注入される不純物イオンが通るレジストパターンの膜厚に依存することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な加工プロセスにより、高感度化および微細化を実現することが可能な撮像素子を提供する。
【解決手段】イメージセンサ１は、２次元配置された複数の画素Ｐを備え、各画素Ｐが、フォトダイオードを含む受光部２０と、入射光を受光部２０へ向けて集光する集光部１０とを有する。集光部１０では、その画素位置に応じた特定の凹凸構造１１Ａを表面に有する１または複数の光学機能層（例えばオンチップレンズ１１）を含んでいる。特定の凹凸構造１１Ａを有することにより、オンチップレンズ１１表面における反射率が低減すると共に、瞳補正の効果が得られる。 （もっと読む）

【課題】多色の膜形成をする場合において、残渣混色、拡散混色を抑制することができる着色硬化膜を形成しうる着色感放射性組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料、（Ｂ）下記一般式（１）で表される化合物を共重合成分として５．０〜１５．０モル％含むバインダー、及び（Ｃ）ヒドロキシル基を含む重合性化合物およびオキシエチレン基を有する重合性化合物から選ばれる１種以上の重合性化合物を含む着色感放射線性組成物。 （もっと読む）