【課題】搬送ミスが少なくイオンビームによるエッチング処理時に被加工物の冷却を充分に行うことができるミリング装置の提供。
【解決手段】真空チャンバ２０の外部にはロードロック扉４１が設けられており、ロードロック扉４１の開口部を、真空チャンバ２０を画成する壁部２０Ａに密着当接させて密閉することで、当該壁部２０Ａの部分とロードロック扉４１とでロードロック室４０を画成する。当該壁部２０Ａの部分には開口２０ａが形成されている。開口２０ａは真空チャンバ２０とロードロック室４０とを連通するように壁部２０Ａを貫通して形成されている。開口２０ａに基板保持端部６０Ａを挿入し、鍔部６５が開口２０ａを画成する壁部２０Ａの部分に密着当接することにより、真空チャンバ２０内とロードロック室４０内との連通が遮断される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、しかもウエハに特別な電流を流すことなく表面酸化膜を確実に突き破ることができ、アースを確保しながら該ウエハを静電チャックによって吸着保持すること。
【解決手段】ウエハＷを上面に載置するウエハホルダ１０と、ウエハホルダ及びウエハを、それぞれ別々に吸着保持する静電チャック２０を上面に有する試料台２１と、ウエハが吸着保持される際に該ウエハのアースを確保するアース端子２２とを備え、アース端子が、静電チャックよりも低い高さで試料台の上面に載置された筒体２２と、先端が突起状に形成され、筒体に対して移動自在に配置された導電性のアースピン２６と、アースピンをＺ軸方向に付勢して先端を静電チャックよりも上方に突出させる付勢部材と、アースピンがＺ軸方向に沿って移動する際に、該アースピンをＺ軸回りに回転させる回転機構２４と、を備えているウエハアース機構３を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は試料作製方法及びシステムに関し、集束イオンビーム装置と走査電子顕微鏡を利用することによる、ＦＩＢ装置の時間効率を改善することを目的としている。
【解決手段】集束イオンビーム装置１０内にイオンビーム照射により薄膜試料を作製する加工手段を設け、走査電子顕微鏡２０内には前記試料を前記集束イオンビーム装置１０から試料ホルダ１２ごと移し替えたものに、ガスを噴射させるガス供給手段２２と、プローブ２４を有するマニピュレータ２３とを設け、前記プローブ２４を試料に接触させた状態で前記ガス供給手段２２よりガスを噴射させつつ、試料に電子ビームを照射することにより、前記プローブ２４に試料を接着させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】従来の冷却技術の欠点を解消する。
【解決手段】サンプル１の冷却に適した超急速冷凍装置１００は、基板チップ１０と、少なくとも一のサンプル担持体２０と、を備える。基板チップ１０は、サンプル１の冷却に適している。少なくとも一のサンプル担持体２０は、サンプル１の収容に適していると共に少なくとも一の加熱可能支持体２１を備える。少なくとも一のサンプル担持体２０は、基板チップ１０に少なくとも一の加熱可能支持体２１を通じて取り付けられている。好ましくは、少なくとも一のサンプル担持体２０は、懸架状態で基板チップ１０に取り付けられている。さらに、サンプル１を超急速冷凍する方法が記載される。少なくとも一のサンプル担持体２０を、基板チップ１０に対して温度勾配が形成される加熱状態と、基板チップ１０に対して熱平衡が形成される冷却状態との間で切り替え可能である。 （もっと読む）

【課題】透過電子顕微鏡用試料の作製において、荷電粒子ビームによって加工して作製した薄片試料を試料ホルダに固定する際に、デポジションを用いないようにすることにより生産性を向上させる。
【解決手段】荷電粒子ビームによって加工して作製した薄片試料Ｗ１を、保持部材５０により保持して凹状の嵌合部Ｈ１ａを有する試料ホルダＨ１に固定する方法であって、試料ホルダの嵌合部と嵌合可能な被嵌合部Ｗ１ａを有する薄片試料を荷電粒子ビームによって加工して作製する薄片試料作製工程と、該薄片試料作製工程で作製した薄片試料を保持部材によって保持する薄片試料保持工程と、該薄片試料保持工程で保持した薄片試料を試料ホルダに対して位置決めし、薄片試料の被嵌合部を試料ホルダの嵌合部に嵌合する薄片試料嵌合工程とを備えることを特徴とする透過電子顕微鏡用試料作製方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】試料と電極との相互の位置調整を容易に行う。
【解決手段】保持した試料に電極を介して電界をかけて加工または分析する装置に用いられ、かつ、装置本体から取り外し可能とされた試料ホルダ電極ホルダ一体化ユニットを用いる。この試料ホルダ電極ホルダ一体化ユニットは、試料を固定する試料ホルダ２１と、電極５を固定する電極ホルダ２２と、試料ホルダにより固定される試料と電極ホルダにより固定される電極との間の相対的な位置決めを行う位置決め機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】 簡便に試料小片の姿勢を９０度、１８０度、あるいは任意の角度だけ回転させて試料台に固定可能な装置を提供すること。
【解決手段】 試料７の表面とマニピュレータ回転軸２の交点を一端とする試料表面に垂直な線分をマニピュレータ回転軸２の周りに回転して得られる円錐側面と、試料表面の２つの面によってつくられる交線１１に、試料小片の特定の方向を一致させた後、試料小片をマニピュレータで支持し、マニピュレータ回転軸２を動作させることを特徴とする試料作成装置。 （もっと読む）

【課題】
従来よりも加工時間を長くすることなくイオンビームによる試料の断面形成の加工精度を向上せしめ、試料を割断することなく微小試料を分離または分離準備する時間を短縮するイオンビーム加工技術を提供する。
【解決手段】
イオン源１からイオンビームを引き出す軸と、前記イオンビームを第１の試料ステージ１３に載置された試料１１に照射するイオンビーム照射軸とが傾斜関係にある構造とし、さらに、前記試料からイオンビーム加工により摘出した試料片３０３を載置する第２の試料ステージ２４が、傾斜軸周りに回転することによりイオンビームの前記試料への照射角度を可変できる傾斜機能を持ち、前記イオンビーム照射軸に垂直な面に前記イオン源からイオンビームを引き出す軸を投影した線分が、前記第２の試料ステージの傾斜軸を前記イオンビーム照射軸に垂直な面に投影した線分と少なくとも略平行関係とすることが可能な構造であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡観察用試料を容易に作製し且つ透過型電子顕微鏡ホルダに装着することができることを目的とする。
【解決手段】集束イオンビーム装置は、試料室、イオンビーム光学系、試料ステージ、サイドエントリ型ステージ及び透過型電子顕微鏡試料ホルダ、及び、マイクロサンプリングステージ及び試料ホルダ交換機構、を有し、試料ステージは、試料を移動させるｘテーブル、ｙテーブル、ｚテーブル、ローテーションテーブル及びチルトテーブルを有し、上記サイドエントリ型ステージは、ｘ微動部及びｙｚｔ微動部を有し、上記ｘ微動部とｙｚｔ微動部は、上記試料室にて対向するように配置され、上記ｘ微動部は、上記チルトテーブルに設けられたチルト軸に設けられた中空部に配置されている。 （もっと読む）

【課題】共通のイオンビームカラムを用いて試料の加工とダメージ層の除去とを迅速に実行することができるイオンビーム加工装置及び試料加工方法を提供する。
【解決手段】ガスイオン源１１から引き出されたイオンビーム１２を試料３１に導くイオンビーム光学系と、イオンビーム１２を通過させてイオンビーム１２の断面を成形する開口１５ａ〜１５ｃを有するマスク１５と、ガスイオン源１１に印加する加速電圧及びマスク１５の動作を制御するイオンビームカラム制御部１８とを備え、イオンビームカラム制御部１８は、マスク１５の開口１５ｂ，１５ｃに通して断面成形した高速加工用のイオンビーム１２を投射して試料３１又は試料片５０を加工する手順と、高速加工用のイオンビームに比較して加速電圧を下げ、加工後の試料３１又は試料片５０の観察面にイオンビーム１２を投射して観察面のダメージ層を除去する手順とを実行可能である。 （もっと読む）

【課題】試料の元素分析機構を、試料を観察する顕微鏡機構に搭載してなる複合的な元素分析装置において、試料を顕微鏡機構及び元素分析機構の双方に最適な位置及び角度に容易且つ性格に調整し、顕微鏡像と元素分析機構の３次元情報とを正確に対応させて、３次元再構築時のスケールや検出効率の不足を容易に補正し、高精度な元素分析を行う。
【解決手段】試料１１が設置される試料ホルダ３１にＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向への各平行移動と、Ｘ軸回り及びＹ軸回りの各回転移動とを行う機能（第１の移動部３５）を付加することに加えて、試料１１から離脱した元素を検出する位置敏感型検出器３に、電子顕微鏡機構における光軸と一致するＺ軸回りの回転移動を行う機能（第２の移動部２６）を付加する。 （もっと読む）

【課題】外部から真空チャンバ内に引き込まれた移動体に外力を作用させることなく、真空チャンバと移動体との間を気密する。
【解決手段】
ガイド部材５１の一側及び他側と、スライダ６０のバランスプレート６０ｂの一側と他側とに、伸縮可能で相互に外径の異なる第１ベローズ６１及び第２ベローズ６２の一側と他側をそれぞれ固定することで、ガイド部材５１の内部を第１ベローズ６１と第２ベローズ６２とに囲まれる空間Ｖ２、Ｖ３と、その他の空間Ｖ１の相互に気密された３つの空間Ｖ１〜Ｖ３に分割する。そして、空間Ｖ１の内部圧力を調圧ユニット８０によって調圧することで、中空シャフト５２Ａの位置に応じて作用する第１ベローズ６１と第２ベローズ６２の復元力の合力と、空間Ｖ１,Ｖ２相互間の差圧等によって移動体に作用する外力をキャンセルする。 （もっと読む）

【課題】ＴＥＭやＦＩＢ装置に用いられる試料搭載部材において、試料に再付着物が付く度合いを低減し、試料設置時には試料を回転中心に合わせやすいようにする。
【解決手段】試料搭載部材１０１は、透過型電子顕微鏡または集束イオンビーム加工装置に３次元の試料１０を導入するための試料ホルダにおいて試料１０を直接支持するための試料搭載部材であって、下端に接続部を含む柱状の下部２と、試料１０を搭載するための上面３を有する上部１とを備える。上部１は上面３の外縁のうち第１の側に、下方に向けてほぼ垂直に切り立った第１絶壁部４を含む。 （もっと読む）

【課題】イオンビームの照射により断面を露出させた試料を作製するため試料をイオンビームに対する所定位置に保持する試料作製装置において、イオンビームによる試料の加工中にイオンビームを遮断する遮蔽板のイオンビームに接近する方向への移動を防止し、良好な断面が現れた試料を作製する。
【解決手段】基端側を支持され先端側が自由端である第１の支持部材２と、第１の支持部材２の先端側に基端側を支持され先端側が第１の支持部材２の基端側に向けた自由端である第２の支持部材９と、第２の支持部材９に支持された遮蔽板１０とを備え、第２の支持部材９は、第１の支持部材２よりも熱膨張率の大きな材料によって形成され、遮蔽板１０の第１の支持部材２の先端側に向かう一側縁をイオンビームＢの照射位置として保持し、遮蔽板１０によりイオンビームＢが遮蔽される位置に設置された試料１０１の遮蔽板１０の一側縁より露出した箇所への加工を行う。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハやデバイスチップから所望の特定領域を含む試料片のみをサンプリング（摘出）して、分析／計測装置の試料ステ−ジに、経験や熟練や時間のかかる手作業の試料作り工程を経ることなく、マウント（搭載）する試料作製方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】FIB加工と、摘出試料の移送、さらには摘出試料の試料ホルダへの固定技術
を用いる。
【効果】分析や計測用の試料作製に経験や熟練技能工程を排除し、サンプリング箇所の決定から各種装置への装填までの時間が短縮でき、総合的に分析や計測の効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】 十分なビーム強度が得られる多価イオン源を提供すると共に、その多価イオンビームを制御し、照射位置を制御して、効率よく精確に照射することができる多価イオンビーム照射方法及び装置を提供すること。
【解決手段】 多価イオンを発生させる多価イオン源と、その多価イオン源から導出された多価イオンビームを試料に向けて誘導するビームガイドと、試料を保持する試料保持部とを少なくとも備える多価イオンビーム照射装置において、試料に対向するビームガイド端部と試料保持部とを、支持すると共に並進移動させて位置調整する基盤ステージと、試料保持部に対してビームガイド端部を相対的に、２次元で並進移動させて位置調整するＸＹステージと、試料保持部のみを独立に、ＸＹステージの移動方向と略垂直なＺ方向へ並進移動させて位置調整するＺ並進移動機構とを有する照射位置制御部を設ける。 （もっと読む）

【課題】粒子ビーム装置と、この粒子ビーム装置に適用可能であり、試料を前処理するためのおよび／または試料を検査するための方法とを提供すること。
【解決手段】この課題は、夫々１つの試料を受け取るための２つの受け取り部材（６，７）を具備し、受け取り部材が支持部材（５）に着脱自在に設けられていてなる粒子ビーム装置（１）によって解決される。 （もっと読む）

【課題】ライトギャップの測定精度を向上させる薄膜磁気ヘッドのライトギャップ測定方法を得る。
【解決手段】薄膜磁気ヘッドの媒体対向面となる位置にイオンビームを照射してウエハを一部切断し、該切断面を測定対象面とする。次に、測定対象面にカーボンガスを供給しつつイオンビームを照射することにより、測定対象面にカーボンを付着させ、グレインの見えないＳＩＭ像を得る。このグレインの見えないＳＩＭ像を用いて所定の演算を行い、薄膜磁気ヘッドのライトギャップを算出する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、たとえば電子顕微鏡又は集束イオンビーム装置のような荷電粒子装置内での光学顕微鏡スライド(10)の使用に関する。従来の顕微鏡スライドは電子顕微鏡内での使用に適していない。その理由は、従来の顕微鏡スライドは、電子顕微鏡内で観察される際に荷電粒子ビームが入射することで帯電するからである。
【解決手段】 しかしたとえばインジウムスズ酸化物(ITO)のような導電性層でコーティングされた顕微鏡スライドが存在する。前記顕微鏡スライドは通常、導電性層に電流を流すことによって、スライド上にマウントされた対象物を加熱するのに用いられる。これらの顕微鏡スライドは荷電粒子装置内で、導電性層を接地電位と接続して、入射荷電粒子の戻り路を生成することで、帯電を防止するのに有利に用いることができることが実験によって示されている。
本発明はさらに、光学顕微鏡(130)が備えられた荷電粒子装置にも関する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハやデバイスチップから所望の特定領域を含む試料片のみをサンプリング（摘出）して、分析／計測装置の試料ステ−ジに、経験や熟練や時間のかかる手作業の試料作り工程を経ることなく、マウント（搭載）する試料作製方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】FIB加工と、摘出試料の移送、さらには摘出試料の試料ホルダへの固定技術
を用いる。
【効果】分析や計測用の試料作製に経験や熟練技能工程を排除し、サンプリング箇所の決定から各種装置への装填までの時間が短縮でき、総合的に分析や計測の効率が向上する。 （もっと読む）