【課題】ＴＥＭ試料の観察時間を短縮することのできる技術を提供する。
【解決手段】プローブ１０は、中央部より先端部の径が小さい棒状のガラス体１１と、ガラス体１１の先端部１１ａの径断面１３よりも大きな面積の採取面１２ａを含むガラス体１２と、を有する。ガラス１２体は、採取面１２ａとそれとは反対の裏面１２ｂとを含む板状体である。ガラス体１１の先端部１１ａにガラス体１２が形成されている。棒状のガラス体１１の先端部１１ａは屈曲している。 （もっと読む）

【課題】 試料を有するカートリッジを受け取るように備えられたその場試料ホルダを用いた試料の交換、及び全体が取り外されるホルダを用いた試料の交換に適した荷電粒子光学系のより簡便な構成を提案する。
【解決手段】 たとえば電子顕微鏡のような荷電粒子光学系(100)は、操作用に多数の試料のうちの特別な1つを収容するための空間(104)を備えた真空チャンバ(102)を有する。当該荷電粒子光学系は、前記空間に対して出し入れできるように動かすことのできる部分(108)を備えた装着体(106)を有する。前記部分は、当該光学系外部から運ばれる試料キャリア(110)を第1ホルダ(112)へ取り付け、又は前記第1ホルダから前記キャリアを外して当該光学系内部から前記キャリアを取り外すように備えられている。前記キャリアは第1試料を収容する。当該光学系は、前記第1ホルダ又は上に第2試料がマウントされる第2ホルダを取り外し可能なように供するため、前記チャンバの壁内にインターフェースを有する。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子ビームの照射により表面を像形成する方法及び装置を提供する。
【解決手段】 表面を像形成する方法は、表面の第１領域を一次荷電粒子ビームで第１スキャン速度においてスキャニングして、その第１領域から第１の二次荷電粒子ビームを発生し、表面の第２領域を一次荷電粒子ビームで上記第１スキャン速度よりも速い第２スキャン速度においてスキャニングして、その第２領域から第２の二次荷電粒子ビームを発生することを含む。また、この方法は、第１の二次荷電粒子ビーム及び第２の二次荷電粒子ビームを、それに応答して信号を発生するように構成された検出器で受け取り、その信号に応答して第１領域及び第２領域の像を形成することも含む。 （もっと読む）

【課題】共焦点顕微鏡からの出力される各種画像情報と電子顕微鏡の出力画像情報とが合成された特有の画像情報を出力でき、試料分析に有用な複合型顕微鏡装置を実現する。
【解決手段】観察すべき試料を保持する試料ステージが配置される試料室と、試料の電子顕微鏡画像を撮像する電子顕微鏡と、試料の共焦点画像を撮像する共焦点顕微鏡と、電子顕微鏡及び共焦点顕微鏡からの出力信号とを受取り種々の画像信号を出力する信号処理装置を具える。共焦点顕微鏡及び電子顕微鏡のビーム軸は、互いに平行に設定する。試料ステージは、共焦点顕微鏡の対物レンズの光軸及び電子顕微鏡のビーム軸と直交する２次元平面内の位置を規定する２次元座標系を有し、共焦点顕微鏡及び電子顕微鏡は座標系を共有する。この結果、電子顕微鏡画像と共焦点顕微鏡により取得された２次元カラー情報や表面高さ情報とを合成して、カラー電子顕微鏡画像又は３次元電子顕微鏡画像を表示する。 （もっと読む）

【課題】本発明は生物試料を含む含水試料の薄膜試料観察システム及び冷却試料ホルダ並びに薄膜試料観察方法に関し、含水試料の薄膜を精度よく作製し、像観察を行なうことができる含水試料の薄膜試料観察システム及び冷却試料ホルダ並びに薄膜試料観察方法を提供することを目的としている。
【解決手段】生物試料に代表される含水試料を冷却凍結状態で薄膜加工するＦＩＢ装置１と、該ＦＩＢ装置１で薄膜加工された試料薄片２０ａを、冷却凍結状態を保ったまま搬送すると、冷却凍結状態を保ったまま前記試料ホルダ１０を用いて搬送されてきた冷却凍結状態の前記試料薄片２０ａのＴＥＭ像又はＳＴＥＭ像を得る試料観察装置とを有して構成される。 （もっと読む）

カソード（２）と、カソードに対して環状に配置されそのカソードから離間して構成されたアノード（１）と、グロー放電によってカソードで電子を生成する手段と、少なくとも１つの開口（２５）を内部に有する抽出プレート（３）であって、その開口を通じて、生成した電子を使用時に抽出できる抽出プレートとを備える、プラズマブリッジ中和装置（１０）。
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【課題】
本発明は、試料の自重を押圧作用に変換して試料を保持する機構を備えると共に、試料の大きさに依らず安定して試料を保持する試料ホルダの提供を目的とする。
【解決手段】
上記課題を解決するために、試料押圧機構による試料の押圧によって、試料を保持する試料ホルダであって、２つのてこを用いた試料ホルダを提案する。前記２つのてこは、試料を試料ホルダに載せたときの自重による押圧力を受ける第１のてこと、第１のてこによってもたらされる押圧力を、試料端部を押圧する押圧力とする第２のてこから構成される。 （もっと読む）

【課題】
観察試料の周縁部での電界乱れを補正して分解能の低下を防ぐことができる試料保持装置、及び、荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
本発明の実施態様によれば、試料に荷電粒子線を照射し発生する二次信号から画像を生成する荷電粒子線装置に用いられる試料保持装置において、試料が載置される面に設けられた複数の電界補正電極と、荷電粒子線を減速させるリターディング電圧を試料へ印加するリターディング電圧印加用ケーブルとを備え、試料の画像に基づいて電界補正電極へ印加される電圧が調整されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ＴＥＭ観察に用いる試料をイオンミリング法により作製するに当たり、イオンビームが試料台をスパッタすることにより生じる試料台物質が試料表面に付着するいわゆるリデポジッションの少ない試料を作製する試料台を提供する。
【解決手段】頂角が１２０度以下の三角形あるいは扇形で、先端部の厚さが１μｍ以上５μｍ以下で、先端から離れるにつれて傾斜断面を有し、傾斜断面の鉛直方向に対する傾斜角を５度以下とする導電性材料であり、ＴＥＭ観察用試料ホルダ及びイオンミリング装置用試料ホルダに固定するための穴を有することを特徴とするイオンミリング用試料台である。 （もっと読む）

【課題】 ＤＢ−ＦＩＢを利用して透過型電子顕微鏡用の薄膜試料を作成する際、ＳＥＭにより観察可能面は、ＦＩＢプロセスを監視しながら作成することは可能だが、裏側のＦＩＢプロセス面はＳＥＭによる観察監視不可能であった。
【解決手段】 本発明のＤＢ−ＦＩＢ装置内に既存する試料ステージに追加、および脱着可能な被試料支持部の回転機構は、ＦＩＢ光軸に対し直行するアジマス上にて、被試料を取り付けた試料固定部を１８０°回転可能なθ軸回転機構を用いることで、それまで、ＳＥＭ観察不可能だったＢ面をＳＥＭ光軸へ向けることができ、さらにＦＩＢ装置に有する既存の５軸ステージローテーション機構を１８０°回転させることで、被試料のＡ面に対し、ＦＩＢ照射の入射方向と同一方向からＢ面からの薄膜化処理が可能となるので、Ｂ面もＳＥＭ観察監視可のもと、ＦＩＢエッチング処理が行える。 （もっと読む）

【課題】 ＦＩＢ加工で試料からより微小な試料片を摘出し、電子顕微鏡観察用試料に加工する際に、ＦＩＢのイオンビームが微小試料片固定用の電子顕微鏡観察用試料支持部材に照射されず、試料への再付着が生じない電子顕微鏡観察用試料支持部材を提供することにある。
【解決手段】 薄片固定部５が微小試料片２よりも充分に薄いため、イオンビーム６を傾斜し微小試料片２の中央部の電子顕微鏡観察用試料部に照射しても薄片固定部５を削らないようにしての加工が可能となり、これにより薄片固定部５からの微小粉末の発生も生じないため、観察試料への再付着も起こらない。 （もっと読む）

【課題】位置ずれ量を増加させることなく、位置決め時間を低減することができるステージ装置を提供することにある。
【解決手段】本発明によると、テーブルを、第１の移動速度によって高速移動目標位置まで移動させる高速移動工程と、テーブルを第１の移動速度より遅い第２の移動速度によって低速位置決め工程開始位置まで移動させる位置ずれ補正工程と、テーブルを第２の移動速度より遅い第３の移動速度によって目標位置まで移動させる低速位置決め工程と、を行う。低速位置決め工程が終了した後に、モータに接続されたロッドを戻すことによって、ロッド側のピンをテーブル側の凹部より離す。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、停止時のドリフトが小さいステージ機構およびそれを備えた電子顕微鏡装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
上記課題を解決するために、本発明では、２以上の伸縮或いは揺動が可能な駆動素子を有し、当該２つの駆動素子の協働によりステージを移動させる試料ステージを提供する。２つの駆動素子の協働により、当該２つの駆動素子の動作を組合わせることによる種々の制御が可能となり、結果として、ステージの移動のみならず、停止時のドリフトの抑制が可能なステージ機構の提供が可能となる。 （もっと読む）

【課題】ミクロンサイズの試料を確実に、素早く、熟練を要さず簡単にハンドリングでき、製造も容易な微細試料ハンドリング装置を提供する。
【解決手段】基部１１から所定の距離をおいて略平行に延びる一対のアーム１２ａ，１２ｂ、及び一対のアームのそれぞれから互いに接近する方向に延びる一対のアーム先端部１３ａ，１３ｂを有する本体部材、形状記憶合金ワイヤを敷設する溝と固定する導電性膜を半導体プロセスによって作製し、形状記憶合金線に通電することにより収縮させて、アーム先端部１３ａ，１３ｂを閉じる。 （もっと読む）

【課題】従来の１個の試料を搭載固定した試料台を有する透過電子顕微鏡用試料の作製方法と比べて、作製時間とＴＥＭによる観察時間が大幅に短縮することができる透過電子顕微鏡用試料の作製方法の提供。
【解決手段】イオンビームの光軸に対して垂直な面内を回転する機構を有するホルダー上の試料台に最大４個まで微小試料を搭載し、各微小試料は隣の微小試料とは９０度以上の角度になるように離すように固定することを特徴とする透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法及び最大４個まで使用される微小試料が、隣の微小試料とは９０度以上の角度になるように離すように搭載固定されている保持台並びに該保持台を有することを特徴とする透過電子顕微鏡観察用薄片試料ホルダーにて提供。 （もっと読む）

【課題】 走査電子顕微鏡における一般的な対物レンズを用いて試料の走査透過電子像を取得する際に、像取得時での分解能を向上させることのできる試料ホルダ及び電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 試料ホルダ２１は、電子線照射による観察対象とされた試料９が保持される試料保持部２１ａと、試料保持部２１ａに取付けられた複数の板バネ２１ｂとを備え、電子線が通過する開口２０ｂが形成されたホルダ支持部材２０の該開口２０ｂに該板バネが係合する。これにより、電子顕微鏡の対物レンズ内で試料ホルダ２１を支持することができ、該開口２０ｂを通過した電子線が試料ホルダ２１内の試料９に到達し、これにより試料９から発生する走査透過電子の信号を検出できる。 （もっと読む）

【課題】 微量で均一な濃度のアシストガスを供給する。
【解決手段】マスフローコントローラ２でガスの供給量を断続させ、マスフローコントローラ２に接続される拡散機構３を通すことで均一で微量な濃度のアシストガスを供給する。 （もっと読む）

【課題】高分子材料や有機材料等の熱に弱い材料の断面を、イオンビームの熱による影響を抑制し、かつ、短時間で加工可能な集束イオンビームによる高分子材料加工方法及び装置を実現する。
【解決手段】試料７から微小試料片を大電流イオンビームにより切り出す前に、微小試料１８に熱影響を与えない小電流イオンビーム１６により微小試料１８の周囲に熱伝達抑制用の溝１９を形成し、その後、形成した溝１９の外周を大電流イオンビームにより微小試料片を切り出す。試料に熱影響を与えない小電流イオンビームにより微小試料片１８を切り出すことも考えられるが、微小試料片１８を切り出すまでに長時間を要する。試料７に熱影響を与えない小電流イオンビーム１６による溝１９の形成加工は、試料片の切り出し加工より短時間で終了可能である。 （もっと読む）

直接連続して、サンプル表面の各部分を荷電粒子ビームに露光させるステップを含み、前記サンプル表面の前記各部分は、第１の方向に列を形成し、前記荷電粒子ビームが前記サンプル表面において平均スポットサイズｆを有し、前記各部分は、それぞれ隣接部分から、第１方向に少なくとも距離ｄだけ離れており、比率ｄ／ｆは２以上であることを特徴とする方法を開示する。 （もっと読む）

【課題】集束イオンビームの切削断面から発生する熱はエポキシ樹脂を介して放熱されるので、放熱効果が小さく、熱損傷のために良好な切削断面が得られなかった。
【解決手段】ＭＥＡサンプル１の両側をケース２内で２つの冷却ブロック３，４によって抑える。冷却ブロック３はケース２に固定され、冷却ブロック４はケース２内で可動とされる。ケース２には集束イオンビーム照射用の窓２ａを設ける。 （もっと読む）