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Fターム[5E339BC01]の内容

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【課題】化学増幅型のレジスト膜を露光してレジストパターンを形成する際に、レジスト膜の膜厚のばらつきに起因するレジストパターンの線幅のばらつきを抑制する。
【解決手段】水酸基が溶解抑止基で保護されたポリヒドロキシスチレン樹脂と、フェノールノボラック樹脂と、露光により酸を発生する光酸発生剤と、ジアゾナフトキノン化合物とを含む。 (もっと読む)


【課題】 膜厚を均一化することができるパターン膜形成基板及びパターン膜形成基板の製造方法、並びに電気光学装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】 パターン膜としての正孔注入層20の材料をほぼ均一な膜厚で薄膜としての正孔注入膜20aを形成する薄膜形成工程(図3(a))と、正孔注入膜20aが形成された領域のうち、不要となる不要領域に向けて、正孔注入膜20aを溶解させる溶媒としての第1溶媒25を吐出して、不要領域以外の領域にパターン膜としての正孔注入層20を形成する溶媒吐出工程(同図(b))と、正孔注入層20を乾燥する乾燥工程(同図(c))とを有する。 (もっと読む)


ナノ転写印刷法の既知の方法は、厚さ10nm未満の金属層(40)でコーティングしたスタンプ(10)を使用して、スタンプ(10)の凸部(25)から第二の表面(45)へ層(40)を転写する。本発明によれば、スタンプ(10)の側壁(35)および凹部(30)の残りの層は、材料(60)の層(65)への電荷印刷(charge print)に使用するか、または化学的測定および生物学的測定における電極として使用することができる。
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【課題】金属のマスキングによって多段のエッチングを施し、高アスペクト比を持つ金属パターン、或いは回路基板を形成する。
【解決手段】銅板10の両面又は片面にレジスト12を塗布し、このレジスト12をパターニングしてレジストパターン12aを形成し、このレジストパターン12aを利用してスズめっき層14を形成し、このスズめっき層14をマスキングとして銅板10を選択ハーフエッチングし、ポジ型レジスト18の塗布、露光・現像して、スズめっき層14の下部のサイドエッチング部をポジ型レジスト18bで保護し、スズめっき層14及び保護レジスト層18bをマスキングとして再度ハーフエッチングを施す。この工程を繰り返し、最終的にマスキングとして使用したレジスト18b及びスズめっき層14を除去して金属パターンを得る。 (もっと読む)


【課題】ハロゲンフリーでかつ耐熱性、難燃性、打ち抜き加工性、絶縁性に優れるプリプレグおよびこれを用いた積層板とプリント配線板を提供することを目的とする。
【解決手段】アルコキシシラン誘導体および/またはアルコキシシラン誘導体の縮合物を含む組成物により予め含浸処理された紙基材に、フェノール樹脂を含む熱硬化性樹脂組成物を含浸、加熱乾燥して得られるプリプレグおよびこれを用いた積層板とプリント配線板を提供する。 (もっと読む)


【課題】 環境に対して問題のない方法で十分な密着性を得ることができる立体回路基板の製造方法を提供する。
【解決手段】 立体的な形状を有する成形体1の表面にチタン膜2を形成し、さらにその上に銅膜3を形成する工程と、銅膜3に対して、回路を構成する回路領域と回路を構成しない非回路領域の境界線に沿って電磁波を照射して、その境界線上の銅膜3及びチタン膜2を除去する工程と、回路領域の銅膜3aに銅めっきを施して銅めっき層4を形成する工程とを含む立体回路基板の製造方法。 (もっと読む)


【課題】 生産設備にかかるコストを抑制しつつ、フレキシブル配線基板を製造できるようにする。
【解決手段】 銅箔3の表面が露出するようにして絶縁性基材2を固定治具1に固定し、絶縁性基材2を固定治具1に固定したまま、レジストパターン4a、4b、4cをマスクとして銅箔3をエッチングすることにより、絶縁性基材2上に配線パターン3a、3b、3cを形成する。 (もっと読む)


【課題】従来よりも回路形成時の実態に即したエッチングレートの測定方法を提供すること。また、このエッチングレートの測定方法を用いたプリント配線板の製造方法を提供すること。
【解決手段】基板K上に金属層M、Mが形成された試料Sの端面Tをエッチングした後、基板Kの端面Tからエッチングされた金属層M、Mの端面T、Tまでの距離L、Lを測定し、この距離L、Lに基づいてエッチングレートを求める。また、このエッチングレート測定方法により求めたエッチングレートに少なくとも基づいて製造条件を設定して金属層を形成し、プリント配線板を製造する。 (もっと読む)


【課題】パターニングのための印刷装置を用いず、またそれによる複雑な処理工程を必要とすることなく、導電パターンの生成を簡易に行え、導電パターンの微細化を実現できる導電パターンの生成方法を提供する。
【解決手段】基板3の表面には、導電性粉体と熱硬化性樹脂を均一に分散した導電性ペーストによって、導電性ペースト膜4が塗着されている。基板3は導電性ペースト膜4を上方に向けて基台1の所定位置に載置されている。基台1の上方に配置されたレーザー描画装置10による熱線レーザービームが導電性ペースト膜4に入射してペースト成分中の熱硬化性樹脂が熱硬化され、かつ導電性粉体も焼結される。レーザー未照射の部分では熱硬化及び焼結が生じない。この焼結と未焼結がドット状に形成され、焼結された回路パターン2が形成される。 (もっと読む)


チオ硫酸溶液を使用してヨウ素をポリマーから除去する方法。 (もっと読む)


【課題】水等の冷媒を通流させることの可能な冷却回路を備えたプリント配線板の製造方法を提供する。
【解決手段】冷媒の通流可能な流路を内蔵した冷媒流路内蔵層を含む冷却層付プリント配線板の製造方法であって、第1行程として、冷媒流路内蔵板の表面をハーフエッチング加工して、冷却回路を形成する冷却回路形成工程、次に、前記冷却回路を形成した冷媒流路内蔵板の表面を、絶縁層構成材に当接するように積層し、張り合わせ積層体とするラミネート工程、最後に冷媒流路内蔵板の表面をエッチング加工して、導体回路を形成し冷却層付プリント配線板とする導体回路形成工程からなることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】低コストに導電性薄膜を形成するための導電性薄膜パターンの製造方法を提供する。
【解決手段】流動性の導電性液を基板100上に全面または部分的にウェット塗布および乾燥することで形成した薄膜導電層1上にスクリーンマスク102を介して選択的にレジスト膜3を堆積して前記レジスト膜で覆われていない薄膜導電層を除去することで精密な導電層パターン4を形成する導電層パターンの製造方法。 (もっと読む)


【課題】 優れた解像度(特に20μm以下)を維持したまま除去性を十分に向上させることが可能な感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 2以上のエチレン性不飽和結合を分子内に有する光重合性化合物と、光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物であって、光重合性化合物の分子内には、130〜250℃の温度条件で加熱した場合に切断される結合を有する下記一般式(1)で表わされる特性基が更に含まれている。


[式(1)中、Rはアルキル基を示し、Rは水素又はアルキル基を示す。] (もっと読む)


【課題】複数の側面電極を効率良く形成し、高品質と高い接続信頼性の側面電極用配線板を大量生産する方法を提供する。
【解決手段】絶縁性基板に複数の長孔を形成し、前記絶縁性基板の長孔壁面と絶縁性基板の上下面に金属めっき膜を形成し、上記絶縁性基板の長孔壁面を含めて、上記絶縁性基板の全表面に電着塗装法で感光性エッチングレジスト膜を形成し、上記絶縁性基板の上下面にパータン形成用のフォトマスクと、このフォトマスクに密着して光拡散シートとを重ねてUV光で露光し、上記絶縁性基板をエッチングして上下面のパータン回路と上記絶縁性基板の一つの長孔壁面に複数の独立した側面回路を形成する製造方法。 (もっと読む)


【課題】Ni、Cr、Ni−Cr合金及びPdから選ばれる少なくとも一つの金属を速やかにエッチングすることができるエッチング液と補給液、及びこれを用いた導体パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】本発明のエッチング液は、Ni、Cr、Ni−Cr合金及びPdから選ばれる少なくとも一つの金属をエッチングするエッチング液であって、NO、N2O、NO2、N23及びこれらのイオンから選ばれる少なくとも一の成分と、酸成分とを含む水溶液である。本発明の導体パターン(1)の形成方法は、Ni、Cr、Ni−Cr合金及びPdから選ばれる少なくとも一つの金属を、前記エッチング液によりエッチングして導体パターン(1)を形成する。 (もっと読む)


【課題】 優れた解像度を有しつつ、レジストパターンの裾引き量を低減し、且つ、レジストパターン側面の形状が良好なレジストパターンを形成することが可能な感光性エレメントを提供すること。
【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、及び、(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物からなる感光層14を、樹脂フィルム10上に備える感光性エレメントであって、前記(A)成分の酸価が50〜120mgKOH/gであり、前記樹脂フィルム10のヘーズが1%以下であることを特徴とする感光性エレメント。 (もっと読む)


【課題】 基板上にレジストパターンを形成するために用いられたときに、解像度、密着性及びテント信頼性を同時に十分に高いレベルで達成するレジストパターンが得られ、更に、現像の際のスカムの発生も十分に抑制される感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】 (A)バインダポリマーと、(B)エチレン性不飽和基を有する光重合性モノマーと、(C)光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物において、(B)成分が、(B1)下記一般式(I)で表される化合物と、(B2)下記一般式(II)で表される化合物と、を含んでいる感光性樹脂組成物。
【化1】


[式(I)中、Rは水素原子又はメチル基を示し、Xは炭素数2〜6のアルキレン基を示し、l、m及びnはそれぞれ独立に1〜7の整数を示す。]
【化2】


[式(II)中、Rは水素原子又はメチル基を示し、Rは炭素数2〜31の直鎖状のアルキル基又は炭素数3〜10の環状のアルキル基を示し、Xは炭素数2〜6のアルキレン基を示し、pは4〜20の整数を示す。] (もっと読む)


【課題】 金又は金合金をエッチングするにあたり、高いエッチング速度をもち、かつ金又は金合金のみを高い選択性をもってエッチングでき、他の金属膜の腐食を抑制できる、エッチング液及びエッチング方法を提供する。
【解決手段】
基板上に形成された金又は金を含む合金よりなる薄膜をエッチングするためのエッチング液であって、少なくともヨウ素、ヨウ素化合物及びpH緩衝剤を含み、pHが6〜8の範囲であるエッチング液及びこれを用いたエッチング方法。 (もっと読む)


【課題】高密度・微細配線に対応できる両面配線基板の製造方法及び両面配線基板を提供する。
【解決手段】ステンレスからなる第1導体層11の一方の面に第1絶縁層12が形成された長尺搬送される基板材料に対して、第1絶縁層12の所定部位から、第1絶縁層12のみを貫通する又は第1絶縁層12及び第1導体層11の両方を貫通する導通孔13を形成し、第1絶縁層12の表面及び導通孔13の壁面に導電性薄膜層14を形成し、導電性薄膜層14上の所定部位に第2絶縁層15を形成し、導電性薄膜層14上の第2絶縁層15が形成されていない部位に、めっきによって第1導体配線16を形成し、第1導体配線16を耐薬液性を有する皮膜17で被覆し、第1導体層11の他方の面の所定部位を薬液によって化学的に溶解させることにより、第2導体配線18を形成し、第2絶縁層15及び皮膜17を除去する。 (もっと読む)


【課題】 パターンの線幅を安定させてプリント配線板を製造できるようにする。
【解決手段】 ラミネート装置2が基板にレジスト層をラミネートするとともに、ラミネート日時を表す情報を基板に露光する。露光装置3が露光前にラミネート日時情報を読み取り、ラミネート後現在までの経過時間が所定のホールドタイム内にあるか否かを判断する。この判断が否定されると露光装置3は警報を行い、ラミネート後現在までの経過時間が所定のホールドタイム内にないことをオペレータに知らせる。オペレータはその基板については所望の線幅を得られないため、露光装置3から取り除くことができる。 (もっと読む)


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