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Fターム[5E339CF16]の内容

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【課題】ドライフィルムレジストの薄膜化処理方法において、DFRをムラ無く、均一に薄膜化することが可能で、除去液の再生が可能であり、これより、廃液量を大きく削減できる、環境に優しい処理方法を提供する。
【解決手段】ドライフィルムレジストが貼り付けられた基板の該ドライフィルムレジストを処理液で処理する工程、その後に、表面の不用なドライフィルムレジストを除去液を用いて除去する工程とからなるドライフィルムレジストの薄膜化処理方法において、除去液中に含まれるドライフィルムレジスト濃度が0.5質量%を超える前に、除去液中に溶解したドライフィルムレジストを、pHを一旦低下させることにより凝集、沈殿させ、固液分離し、分離後のろ過水のpHを中性に戻して、再度、除去液として再利用することを特徴とするドライフィルムレジストの薄膜化処理方法。 (もっと読む)


【課題】配線領域の形成に手間がかからず製造が容易であり、表示領域においては導電パターンが視認されにくい高品位な透明導電膜を形成できるとともに、該透明導電膜の絶縁部の絶縁性が十分に確保され電気的な信頼性が向上する導電パターン形成基板の製造方法及び導電パターン形成基板を提供する。
【解決手段】絶縁基板11上の表示領域13及び配線領域15に、透明基体内に網状部材が配置される基礎膜aを形成する工程と、基礎膜a上の表示領域13に対応する部位にマスク手段を形成して、基礎膜aのうち配線領域15に対応する部位をエッチングにより除去する工程と、基礎膜aのうち表示領域13に対応する部位にレーザ光Lを照射することにより、空隙を形成して、透明導電膜12とする工程と、配線領域15の絶縁基板11上に、透明導電膜12の導電部Cに電気的に接続する配線ライン14を形成する工程と、を備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】400〜420nmのレーザー光に対して高い光重合能力を発揮できると共に、十分な表面硬化性と深部硬化性が得られ、さらに熱安定性が優れた光硬化性、又は光硬化性・熱硬化性の樹脂組成物、及びその硬化物並びにそれを用いてパターン形成されたプリント配線板を提供する。
【解決手段】(A)カルボン酸含有樹脂、(B)一般式(I)で表されるオキシムエステル基を含むオキシムエステル系光重合開始剤、(C)一般式(II)で表される構造を持つアミノアセトフェノン系光重合開始剤、(D)分子中に1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物、及び(E)青色顔料を含有し、希アルカリ溶液により現像可能な組成物であって、その塗膜の400〜420nmの波長における吸光度が、25μm当たり0.5〜1.2である。 (もっと読む)


【課題】いっそうの高解像度化が求められるプリント配線板等の回路基板の効率的な製造に適したドライフィルムレジスト、及び、該ドライフィルムレジストに適する支持フィルムを提供すること。
【解決手段】支持フィルム、該支持フィルムの少なくとも片面のレジスト層、及び、所望により保護フィルムを有し、支持フィルムが、式−(O・CH・CO)−で表わされるグリコール酸繰り返し単位を70モル%以上有するポリグリコール酸を含有するフィルム、または該フィルムと他のポリマーを含有するフィルムとの積層フィルムであるドライフィルムレジスト、及び、ドライフィルムレジスト用支持フィルム、並びに、該ドライフィルムレジストを使用する回路基板の製造方法。 (もっと読む)


【課題】本発明は、高感度でホールドタイムによる感度低下(すなわち感度変化)が少なく(すなわち保存安定性に優れ)生産性が良好で、且つ凝集物の少ない感光性樹脂積層体を提供することを目的とする。また本発明は、該感光性樹脂積層体を用いて、基板上に感光性樹脂層を形成し、該感光性樹脂層を露光及び現像することを含むレジストパターンの形成方法及び導体パターンの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】支持体フィルムと感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層と保護フィルムとを少なくとも含む積層体であり、該保護フィルムが特定構造を含む酸化防止剤を含有し、該酸化防止剤のフェノール当量が3.1×10-3以下であり、該保護フィルム中の該酸化防止剤の含有量が1ppmより多く3000ppm以下であり、該感光性樹脂組成物が特定構造の光重合開始剤を含有する感光性樹脂積層体を提供する。 (もっと読む)


【課題】多層配線構造を有する配線基板において、上層配線の断線等による歩留まりの低下を抑制し、信頼性を向上させることのできる配線基板の製造方法、発光装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】配線基板の製造方法は、基板100上に形成されたAl−Ni合金膜102上に保護膜としてMo合金膜104を形成する工程と、Mo合金膜104上にレジスト105を形成する工程と、Al−Ni合金膜102をエッチングして、基板100側の幅がその反対側の幅よりも大きい順テーパ形状を有する信号線Ldを形成する工程と、を備える。 (もっと読む)


【課題】光感度、テント信頼性、密着性及び解像度に優れた感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造方法、プリント配線板の製造方法、リードフレームの製造方法およびプリント配線板の提供。
【解決手段】(A)バインダーポリマー、(B)エチレン性不飽和結合を少なくとも1つ有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤、及び(D)増感色素、を含有し、上記(B)成分がジペンタエリスリトール由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物を含み、上記(D)成分がピラゾリン化合物を含む感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】層間接続の導通信頼性を高めつつ高密度配線による高精細な回路パターンを簡易な方法で形成する。
【解決手段】両面銅張積層板3に貫通穴4を設け、全面をめっきした上でスルーホール部10の形成箇所に第1のエッチングレジスト7を形成し、エッチングによりスルーホール部10の形成箇所以外のめっき層6を除去する。その後、両面銅張積層板3の全面に第2のエッチングレジスト8を形成し、レジストパターンを形成したら銅箔2に配線パターン9を形成する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、ドライフィルムレジストを均一に薄膜化することが可能なドライレジストの薄膜化処理方法を提供するものである。
【解決手段】基板上にドライフィルムレジストを貼り付け、界面活性剤を含む水溶液にて水洗前処理を行った後、無機アルカリ性化合物の含有量が5〜20質量%のアルカリ水溶液によって薄膜化処理することを特徴とするドライフィルムレジストの薄膜化処理方法。 (もっと読む)


【課題】エッチング処理により基板上に設計データ通りの配線パターンを形成できるようにする、レジストパターンのデータを生成するデータ生成方法を実現する。
【解決手段】レジストパターンのデータ生成方法は、基板面に相当する仮想平面上において、設計データに規定された配線の外郭上の或るポイントを基準点として所定形状を有し、当該ポイント上に位置するエッチング液によって銅箔がエッチングされ得るエッチング影響エリアを含む第1の基準エリアを設定する設定ステップS101と、レジストパターンの外郭の位置を、第1の基準エリアに占めるエッチング影響エリアの面積を表わすエリア面積パラメータに応じて決定する決定ステップS102と、設計データに規定された配線の外郭上の任意の位置に順次設定されるポイントに対して設定ステップS101および決定ステップS102を繰り返し実行することで、レジストパターンの外郭を画定する画定ステップS103と、を備える。 (もっと読む)


【課題】サブトラクティブ法により配線導体が形成された配線基板において、配線導体の表面に必要な配線幅を確保することができるとともに絶縁層と接する側で十分な絶縁間隔を確保することが可能な配線基板およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】金属層2Pを、サイドエッチング抑制剤を含有する第1のエッチング液により、金属層2Pの幅がエッチングレジスト層3側から絶縁層1側に向けて広がるようにエッチングし、次に金属層2Pを、エッチング速度がエッチング液の攪拌速度に逆依存する第2のエッチング液により、金属層2Pの幅がエッチングレジスト層3側から金属層2Pの厚みの中央部に向けて広がるとともに金属層2Pの厚みの中央部から絶縁層1側に向けて狭まるようにエッチングして配線導体2を形成する。 (もっと読む)


【課題】エッチング性に優れたプリント配線板用銅箔及び積層体を提供する。
【解決手段】プリント配線板用銅箔は、銅箔基材と、銅箔基材の表面の少なくとも一部を被覆する被覆層とを備える。被覆層は、互いに平均間隔10nm未満で隣接し、且つ、直径が1〜15nmである貴金属粒子で構成された貴金属層と、貴金属層と銅箔基材との間に形成され、厚みが1nm以上である銅と貴金属との合金層とで構成されている。 (もっと読む)


【課題】導体幅が太くなるのを抑制できるプリント配線板の製造方法を提供する。
【解決手段】(a)金属張積層板1に接着されたドライフィルム2に対向させて、前端部3、後端部4、接続部5を有するマスクパターン6を設けて形成されたマスクフィルム7を配置した後、露光してレジストパターン8を形成する工程と、(b)レジストパターン8の後端部4とマスクパターン6の前端部3とが重なるようにマスクフィルム7を配置した後、露光して直前に形成されたレジストパターン8と連続するレジストパターン8を形成する工程と、(c)(b)の工程を所定回数繰り返した後、現像、エッチング、レジスト除去して導体パターン11を形成する工程とをこの順に経る。レジストパターン8の後端部4とマスクパターン6の前端部3との重なり部分12に照射される露光量が、接続部5において重なり部分12に相当する面積に照射される露光量の2倍よりも少ない。 (もっと読む)


【課題】高濃度の無機アルカリ性化合物を含む樹脂層薄膜化処理液の薄膜化能力を一定に保つことを可能にする管理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】(a)表面に導電層が設けられている基板上に光架橋性樹脂層を形成する工程、(b)アルカリ金属炭酸塩、アルカリ金属リン酸塩、アルカリ金属水酸化物、アルカリ金属ケイ酸塩から選ばれる少なくとも1種の無機アルカリ性化合物を5〜20質量%含む水溶液からなる樹脂層薄膜化処理液によって光架橋性樹脂層の薄膜化処理を行う工程、(c)回路パターンの露光工程、(d)現像工程、(e)エッチング工程をこの順に含む導電パターンの作製方法における樹脂層薄膜化処理液の管理方法において、樹脂層薄膜化処理液の無機アルカリ性化合物の濃度を中和滴定法によって求め、初期濃度と同濃度の液を補充することで、所定の範囲内に無機アルカリ性化合物の濃度を保持することを特徴とする樹脂層薄膜化処理液の管理方法。 (もっと読む)


【課題】放熱効率の良いフレキシブルプリント配線板の製造方法を提供する。
【解決手段】TCP型フレキシブルプリント配線板12Aの製造方法は、金属基材フィルム1に接着剤層1Aを積層する工程と、接着剤層1Aに導電体箔2を貼り付ける工程と、導電体箔2にフォトレジスト膜4を積層する工程と、フォトレジスト膜4を露光及び現像する工程と、金属基材フィルム1の導電体箔2に覆われていない部分にエッチング保護膜15を被せる工程と、エッチング保護膜15が被せられている状態で、露光及び現像後のフォトレジスト膜4(現像パターン4A)を介して導電体箔2をエッチングして導電パターン3を形成する工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】感光性組成物の室温での溶融粘度が好適であり、感光層の感度低下を抑制できると共に、パターン形成材料による基体への積層体形成時に、保護フィルムの剥離跡が発生せず、保護フィルムをスムーズに剥離でき、効率よくパターンが形成でき、高感度かつ高精細なパターンが得られるパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び該パターン形成材料を用いたパターン形成方法を提供。
【解決手段】支持体上に感光層を有し、該感光層が、アルカリ可溶性バインダー、重合性モノマー及び光重合開始剤を含む感光性組成物からなり、該感光性組成物の30〜40℃における溶融粘度が、1×10〜1×10mPa・sであり、前記感光層を露光、現像して得られるパターン厚みが未露光状態の厚みの90%となる波長405nmのレーザ光における最少露光量が、20mJ/cm以下のパターン形成材料である。 (もっと読む)


【課題】安全に銀を処理することができ、且つ銀の導体パターンを形成する場合に、所望のパターンどおりの形状であって且つパターンサイドの形状を良好にすることができる銀処理剤、銀の処理方法および導体パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】ハロゲンイオンと、銅および/または鉄イオンと、イミダゾール、1位、2位または4位の炭素または窒素原子に炭素数1−4のアルキル置換基を有するイミダゾール化合物及び1,2−ジアルキルイミダゾールからなる群より選ばれた少なくとも1種とを含むことを特徴とする銀処理剤、銀処理方法、およびこれらを使用する導体パターンの形成方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】透明基材の両面の透明金属膜上に設けたフォトレジスト膜に同時に、両面に異なるパターン露光を行っても、エッチング及び剥離処理後の透明基材の両面に位置精度の良好な透明金属膜パターンを効率よく、簡便に形成することのできる透明基材両面へのパターン形成方法を提供する。
【解決手段】透明基材21の表裏両面に設けた透明金属膜22A、22Bをパターンに形成する際に、透明金属膜の少なくとも一方の透明金属膜上に露光光を遮光する不透明層27を形成し、フォトレジスト膜23A、23Bを形成する。不透明層がエッチング及び剥膜処理にて溶解除去される材料である。 (もっと読む)


【課題】エッチングレジスト又はめっきレジスト等のレジスト材料として、レジストのしみ出しが抑制され、かつ密着解像性に優れたドライフィルムレジストロールの提供。
【解決手段】感光層を有するドライフィルムレジストを、ロール状に巻き取ったフィルムロールの端面に乾燥剤を設けて成るドライフィルムレジストロールであって、該感光層が感光性樹脂組成物を含有し、該感光性樹脂組成物が、該組成物全量に対して、(a)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600であり、かつ、重量平均分子量が5000〜500000であるバインダー用樹脂:20〜90質量%、(b)光重合可能な不飽和化合物:3〜70質量%、及び(c)光重合開始剤:0.1〜20質量%を含有し、該感光層の70℃における溶融粘度が10000Pa・sec以上100000Pa・sec以下であることを特徴とする、ドライフィルムレジストロール。 (もっと読む)


【課題】レジストのはく離性に優れ、密着性及び解像度を向上させることが可能な感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法、及びプリント配線板の製造法を提供。
【解決手段】(A)バインダーポリマー、(B)エチレン性不飽和結合を少なくとも1つ有する光重合性化合物及び(C)アクリジン化合物からなる光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物であって、上記(B)光重合性化合物が、ビスフェノールの水素添加体を母核とするジアクリレート化合物を含む感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


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