【課題】軟Ｘ線領域等の短波長を使用して形成される、より集積度の高い新世代の半導体回路の製造工程で使用されるマスクの運搬時及び保管時において、マスク表面に貼り付けるペリクル膜の使用を不要にすると共に、塵、埃、静電気、及びガスの発生を防止すること。
【解決手段】本発明のマスクケースは、マスク１０を収容する内ケース上部１及び内ケース下部２と、この内ケースを運搬中に振動を防止するための上緩衝材３，下緩衝材４と、全体を収納する出荷ケース上部５及び出荷ケース下部６と、を備えて構成する。内ケース上部１の左右両端には、内ケース下部２を係合するための留め具（クリップ）１１を取り付ける。内ケース下部２の上面周辺部には、マスク１０の下面周辺部と係合するパッキン２１を取り付ける。内ケース上部１の平板部には、該平板部を貫通するガス抜き穴１２を設ける。ガス抜き穴１２の下部には、ガスを吸着できる吸着膜を貼り付ける。 （もっと読む）

【課題】従来のようにカセット等の容器とアダプタユニットの切換作業をすることなく、被検査体の非自動搬送及び自動搬送に対応させることができるアダプタユニット内蔵型ローダ室を提供する。
【解決手段】本発明のローダ室１０は、カセット載置部１１とは別のバッファテーブル配置部１３に半導体ウエハＷを自動搬送するＲＧＶ４０に対応して設けられ、ＲＧＶ４０及びプローバ室２０それぞれとの間で搬送される半導体ウエハＷを複数保持するアダプタユニットを備えている。 （もっと読む）

【課題】チップを簡易な方法により、確実にチップの側面が底面となるように移動させる方法が求められている。
【解決手段】板状のチップ３を内在させるためのポケット９を含むチップトレイ１であって、該ポケット９がチップ３の向きを鉛直方向に変えるための誘導部１３を含むチップトレイ１の前記ポケット９に、前記チップ３を、前記チップ９の広い面を水平にして入れる工程と、前記ポケット９に入ったチップ３が誘導部１３に沿って回転運動する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】パネル情報を含む標識が直接付されたパネルを複数枚重ねて収納しても、その標識部分に荷重を集中させず、かつ各パネルの管理に特別なスペーサシートを要しない、パネル収納箱の提供。
【解決手段】パネル収納箱１は、パネル情報を含む標識４が端部４１に付された複数枚のパネル２が、重ねられて収納される収納室１１と、収納室１１内の何れかの面と、標識４が付された側の端面４３と対向する前記パネルの対向端面４４との間に介在され、収納室１１の床１２面側から上るような階段７を有する階段スペーサ５と、を備え、階段スペーサ５の各段が、前記パネル２の厚みに対応する一の面１５と、標識４から標識４が付された側の端面４３までの距離に対応する二の面２５とを有する。 （もっと読む）

【課題】バルブに双向性を付与して取付け作業の簡素化や迅速化を図ることができ、しかも、必要に応じてガス供給ポートの数等を迅速に増やすことのできるパージバルブ及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】容器本体の底板３の貫通孔４に嵌着されるバルブケース２１と、バルブケース２１にコイルバネ２７を介し往復動可能に挿入支持され、バルブケース２１を開閉する中空の内圧調整弁体３９と、内圧調整弁体３９内にコイルバネ４１を介し往復動可能に挿入支持され、内圧調整弁体３９を開閉する外圧調整弁体４４と、バルブケース２１と内圧調整弁体３９及び外圧調整弁体４４との間に介在されるガス濾過用のフィルタ４８とを備える。バルブケース２１の一端部から他端部方向にガスが流通する場合には、外圧調整弁体４４を往動させてその閉じた内圧調整弁体３９との間を開放し、バルブケース２１の他端部から一端部方向にガスが流通する場合には、内圧調整弁体３９を往動させてその閉じたバルブケース２１との間を開放する。 （もっと読む）

【課題】高いシール性を確保し、ケース素材を原因とした半導体ウェーハの有機物汚染を解消可能で、航空輸送時の気圧変化によるウェーハやケースの変形、破損を防止できるウェーハケースを提供する。
【解決手段】各金属製の容器本体と蓋とを、第１，第２の波形シール部を有したシール構造で密閉するウェーハケースとし、第１，２の波形シール部を含む容器本体および蓋の各シール面の表面粗度を０．８Ｓ〜１．６Ｓとした。そのため、高いシール性を確保しながら、ウェーハケースの素材を原因とした半導体ウェーハの有機物汚染を解消できる。 （もっと読む）

【課題】優れた気密効果を具備したウェーハキャリアを提供する。
【解決手段】開口を形成する一側面を有し、複数個のウェーハを収納可能な複数個のスロットが内部に設けられた筐体を含み、ドアを利用して前記筐体の開口と結合してその内部のウェーハを保護する。筐体は、開口の内縁に磁性体が配置され、ドアの内面の磁性体に対抗する箇所に、断面が凹形を呈する導磁体中に設けられた磁石が配置されていることを特徴とする。これによって、ドア上の磁石が筐体の開口箇所の磁性体を吸引し、ドアを筐体にロックして一体化する。 （もっと読む）

【課題】クロスバータイプの基板収納装置やバックサポートタイプの基板収納装置よりも基板の収納効率の良いワイヤーカセットタイプの基板収納装置で、しかも更に従来のワイヤーカセットタイプよりも収納効率を高めた高密度基板収納装置を提供する。
【解決手段】基板を前面側から出し入れして、複数枚の基板を載置して収納、保持する基板収納装置であって、基板を載置するワイヤーを水平に複数本張架配列したワイヤー列を複数段有し、ワイヤーの張力を変化させる機構を備え、前記ワイヤー列の単位でワイヤーの張力を変化させて基板の出し入れを行うことを特徴とする高密度基板収納装置。 （もっと読む）

【課題】スライド機構により被加工物を収納する際に、被加工物が収納手段から飛び出してしまうのを確実に防止する。
【解決手段】搬送手段が収納手段３１から被加工物Ｗ１を搬出して保持手段に搬送し、保持手段に保持された被加工物Ｗ１が加工される加工装置において、収納手段３１は、搬送手段側に開口する第一の搬送口３２０とオペレータ側に開口する第二の搬送口３２１とを有する枠体３２と、第二の搬送口３２１を介して枠体３２から引き出し可能な被加工物載置台３３と、被加工物載置台３３を第二の搬送口３２１を介して引き出された状態から枠体３２の中に押し込む際の慣性力によって被加工物載置台３３０に載置された被加工物Ｗ１が第一の搬送口３２０から飛び出すのを一定の力で防止する掛止部３３４とを有し、搬送手段が被加工物Ｗ１を第一の搬送口３２０を介して搬出入する際には掛止部３３４による掛止を解除する。 （もっと読む）

【課題】基板を収納する基板収納容器を梱包して輸送するときに、外気温が変化しても基板収納容器に収納した基板が結露したり、汚染されてしまうことを防止できる基板収納容器及びその梱包体を提供する。
【解決手段】開口を有し基板を収納する容器本体と、開口を閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器１であって、この基板収納容器１を、梱包袋１１と、緩衝材１３と、梱包箱１４とからなる梱包資材を使用して梱包するときに、基板収納容器１または梱包資材の少なくとも１つに保温層１２を設けて、基板収納容器１を取り囲むことを特徴とする。前記保温層１２は、空気層を有しているようにすること、また、調湿剤を有しているようにすること、また、前記基板収納容器１が、外周部に保護部材８を備えてるようにし、これを梱包する基板収納容器１の梱包体とすること、が好ましい。 （もっと読む）

【課題】特性の変化を防止し、かつ十分な剛性と耐熱性を有する軽量のウェーハ用フレームを提供する。
【解決手段】天井部２１ｂと底部２２ｂと側壁２１ａ、２２ａとが金属材料から成り、かつ内部に空間を有するウェーハ用フレーム。 （もっと読む）

【課題】ＦＯＵＰの蓋部を開けることなくＦＯＵＰ内のウェーハに対する検出処理を適切に行うことができるとともに、ウェーハの損傷を防止しつつ構造の簡素化を図ることが可能なウェーハ検出機構を提供する。
【解決手段】開閉可能な蓋部１２を有するＦＯＵＰ１の内部に高さ方向へ複数段に亘って収容したウェーハＷに対して検出を行うウェーハ検出機構Ｘを、蓋部１２に設けた各ウェーハＷのエッジを保持し得るリテーナ１２Ｂと、リテーナ１２Ｂの弾性変形又は移動を検出することでウェーハＷの少なくとも有無を検出する検出部Ｓとによって構成した。 （もっと読む）

【課題】ＦＯＵＰの蓋部を開けることなくＦＯＵＰ内のウェーハに対するマッピング処理を適切に行うことができるとともに、構造の簡素化及び不要なコストアップ抑制を図ることが可能なマッピング機構を提供する。
【解決手段】高さ方向へ複数段に亘ってウェーハＷを載置し得るウェーハ載置部と開閉可能な蓋部１２とを有するＦＯＵＰ１に対してマッピングを行うマッピング機構Ｍを、ロードポートに設けた投光部２４１及び受光部２４２と、投光部２４１と受光部２４２との間においてＦＯＵＰ１におけるウェーハ載置部の各段部に載置されたウェーハＷの少なくとも一部を横切り得る光路Ｌ上に設けられ光を透過させる窓部１２Ｂ、１２Ｃとから構成した。 （もっと読む）

【課題】粘着層の変形に支障を来たすことが少なく、電子部品の保持を容易にし、しかも、電子部品の面粗度に応じて粘着層の厚さや柔軟性を考慮する必要のない粘着保持トレーを提供する。
【解決手段】平面円形のトレー１と、このトレー１の平坦な表面２に周縁部が粘着固定されて半導体デバイス５を着脱自在に粘着保持する可撓性の粘着層１０と、トレー１の中心部に穿孔されて粘着層１０に被覆される真空防止孔１４とを備える。また、トレー１の表面２と粘着層１０の対向面に非密着加工をそれぞれ施し、粘着層１０を非シリコーン系の材料により形成してそのトレー１の表面２に対する粘着固定部を半導体デバイス５の粘着保持領域１３の外側とする。従来のトレー１の凸部を省略するので、半導体デバイス保持の困難化に伴い、輸送中の振動や衝撃で半導体デバイス５が衝突して欠け、割れが生じたり、パーティクルや異物が発生するのを防止できる。 （もっと読む）

【課題】比較的重量に富み、脆弱な板状部材を損傷することなく、位置決め搬送する方法及び装置を提供する。
【解決手段】搬送ロボットＢによって位置決め部１２の第１ガラス基板受け部２０Ａ、２０Ｂを構成する溝にガラス基板１００を載置位置決めする。第１ガラス基板受け部２０Ａ、２０Ｂは緩衝部材で構成されているために衝撃なくガラス基板１００を受け止める。次いで、リフター７４が搬送処理部１４を上方へと変位させると、前記ガラス基板１００は搬送処理部１４の第２ガラス基板受け部５０Ａ、５０Ｂに移載され、且つガラス基板側部受け部３２Ａ〜３２Ｄ、３４Ａ〜３４Ｄによって横方向への変位を阻止されながら、トランスファーマシンＥによりセレン化処理炉Ｆへと搬送される。 （もっと読む）

本発明の実施例は、一般的に化学蒸着（ＣＶＤ）プロセス用装置に関する。一の実施例では、蒸着反応装置システム内のウエハキャリアを浮上させて移動させるウエハキャリアトラックが設けられており、このトラックはトラックアセンブリの上側及び下部を具え、その間にガスキャビティが形成されている。上部の上面に沿って、及び２つの側面に沿ってガイドパスが延びており、これらの側面は、ガイドパスに沿ってその上に及び互いに平行に延在している。ガイドパスに沿って複数のガス孔が、上部の上面から、上部を通って、ガスキャビティへ延在している。いくつかの実施例では、トラックアセンブリの上側及び下部が、独立して石英を具えており、いくつかの実施例では、互いに結合されている。 （もっと読む）

【課題】基板を縦に収納する基板収納容器の基板収納状態に関し、測定や検討を容易にする基板収納容器の検討用治具を提供する。
【解決手段】正面の開口した容器本体に半導体ウェーハをＶ溝を介して縦に収納する基板収納容器の半導体ウェーハの収納状態に関して検討する治具であり、台座１０と、この台座１０の支柱１２上部に回転可能に軸支される複数のアーム１３と、各アーム１３の先端部に設けられ、接離可能な第一、第二の対向片２１・２４の間に半導体ウェーハ用のＶ溝２３を区画する溝形成ブロック２０とを備える。市販されている汎用の測定器ではなく、専用の検討用治具の使用により、支持ブロックによる半導体ウェーハの支持位置、Ｖ溝の形状、角度、間隔等を正確、かつ迅速に測定して検討できるので、実用性に優れる新たな基板収納容器を早期に開発することができる。 （もっと読む）

【課題】一方向に搬送される基板を一時的に退避させる基板バッファユニットにおいて、バッファ空間の空気洗浄を効率的に行うことのできる基板バッファユニットを提供する。
【解決手段】基板搬送路を搬送される基板Ｇを一時的に収容し、前記基板搬送路から退避させる基板バッファユニット１００であって、上面が開放された箱状の筐体１と、前記基板搬送路から前記筐体内に搬入された基板を載置する載置部６と、前記載置部を前記基板搬送路から外れた所定位置に移動可能に設けられた箱状の棚部２と、前記棚部の一側面に設けられ、前記載置部に清浄空気を導入する空気導入口６ａと、前記棚部に接続され、該棚部内の空気を吸引して前記筐体外に排気する排気手段３０と、前記棚部よりも下方の前記筐体側面に設けられ、該筐体内の雰囲気を排気する排気窓４０とを備える （もっと読む）

【課題】処理装置と基板収容部との間での基板の搬送の時間を短縮し、基板処理システムのスループットを向上させる。
【解決手段】処理装置２２に対して基板Ｗの搬送行う基板搬送装置２４は、処理装置２２に搬入される複数の基板Ｗを鉛直方向に多段に収容する基板収容部５０と、処理装置２２から搬出される複数の基板Ｗａを鉛直方向に多段に収容する基板収容部５１と、基板収容部５０から処理装置２２に基板Ｗを搬送する基板保持部５６と、処理装置２２から基板収容部５１に基板を搬送する基板保持部５７を有している。基板収容部内５０は基板Ｗと基板保持部５６とを相対的に上下方向に移動させる昇降機構５４を備え、基板収容部内５１は基板Ｗａと基板保持部５７とを相対的に上下方向に移動させる昇降機構５５を備えている。 （もっと読む）

【課題】基板搬送用治具への基板の着脱によりその基板を用いて製造した素子基板における素子特性の変化及び異物の付着を抑制する。
【解決手段】被搬送基板１を表面に保持するための保持体１０を備え、保持体１０の表面に被搬送基板１を吸着させるように構成された吸着機構１５，２０と、吸着機構１５，２０による被搬送基板１の吸着及びその吸着の解除を行うように構成された吸着制御機構１６とを有している。 （もっと読む）