【課題】基板を一時的に収納、保管するための大型基板収納装置において、ロボット等によるランダムアクセス可能で、基板収納効率が良く省スペースで、メンテナンスや目視確認実施を安全に行える基板収納装置を提供する。
【解決手段】多段の棚状の収納部を備え、任意の対象とする収納部にロボットハンド等の基板搬送装置により基板を一枚づつ一時的に収納・保管・払い出しを行う基板収納装置において、基板の格納／払い出し時に任意の対象とする収納部と該収納部上部の収納部間が開口してロボットハンド等の基板搬送装置がアクセス可能となる機構を備え、且つ、前記収納部のそれぞれは、ロボットハンド等の基板搬送装置と干渉しないスペースに所定の間隔で設けられた基板支持ピンを有する複数本の支持体が側壁フレームに横架され、前記支持体が個別の前記収納部毎に動くことで前記収納部毎の前記支持ピンが上下に可動な機構を備えている。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置において、基板を円滑且つ適切に処理する。
【解決手段】接合装置１の処理容器１０は、上側に位置する上部容器１１と下側に位置する下部容器１２がシールドベローズ１３によって接続された構成を有している。上部容器１１と下部容器１２との間にはウェハＷの接合処理を行うための処理空間Ｋが形成されている。下部容器１２内には熱処理板２０が設けられ、熱処理板２０の外周部には受渡部材４２を収容可能な切欠き溝２１が形成されている。上部容器１１には、上部容器１１の下面から鉛直下方に延伸する支持部材４１と、ウェハＷの外周部を保持すると共に熱処理板２０との間でウェハＷの受け渡しを行う受渡部材４２と、支持部材４１と受渡部材４２を連結する連結部と備えた受渡アーム４０が設けられている。受渡アーム４０は上部容器１１と共に鉛直方向に移動自在になっている。 （もっと読む）

【課題】紫外線ランプを用いて粘着テープに紫外線を照射しても、粘着層の一部がテープから剥がれてゴミとしてワークに付着せずに粘着テープからのワークの剥離を容易に行うことができる露光器を提供する。
【解決手段】紫外線ランプ１２が収納される内部空間１１Ａを有する本体１１と、この本体１１の内部空間１１Ａに配置されワークＷが貼付された粘着テープＴをセットするフレーム１３Ａと、本体１１の内部空間１１Ａを冷却する冷却装置であるファン１４及びペルチェ素子１８とを備え、粘着テープＴの粘着力を瞬時に低下させるために紫外線を粘着テープＴに照射するとともに、紫外線ランプ１２から発生する熱を、ファン１４及びペルチェ素子１８で冷却することにより粘着テープＴへの熱伝達を妨げる構成とする。 （もっと読む）

【課題】 環状フレームの撓み及び粘着テープの撓みを抑制可能な収容カセットを提供することである。
【解決手段】 ウエーハを収容する開口部を有する環状フレームと、該環状フレームの開口部を覆うように外周部が該環状フレームに貼着された粘着テープと、該粘着テープの中央に貼着されたウエーハとから構成されるウエーハユニットを収容する収容カセットであって、該収容カセットは、上壁と、底壁と、該上壁と底壁とを連結する一対の側壁と、ウエーハユニットが出し入れされる開口部とを有し、該一対の側壁の内側には該環状フレームを支える複数対のガイドレールが該上壁から該底壁に渡り所定の間隔を持って形成されており、該各ガイドレールは、該環状フレームのうち該粘着テープが貼着されていない外側を支える外側支持部と、該粘着テープが貼着された内側を支える内側支持部とを備え、該内側支持部は該外側支持部に対して該粘着テープの厚さに相当する段差分低く形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】使用環境に応じて，収納された基板に異物が付着することを効果的に防止する。
【解決手段】基板収納装置１００内に外気を取り込む給気部１１０と，給気部に対向して配置された排気部１２０と，給気部と排気部との間に設けられ，これらの間を連通する連通孔１４２を有する基板載置板１４０と，給気部に設けられた給気フィルタ１１２と，給気部又は排気部に設けられたファン１２２とを備え，基板収納装置１００内の状態を検出する状態センサと，パーティクル帯電装置と，温調装置とのいずれか又は２つ以上の組合せを装着孔１５０に着脱自在に設けた。 （もっと読む）

【課題】ウエハー容器内を容易にパージできる方法を提供する。
【解決手段】ウエハー容器の内部と外部を連通する流路と、該ウエハー容器の外側に露出した着座面と、を提供する弾性材で作られたグロメット１２４，１２５にパージガス源を連結する段階、及びパージガスをウエハー容器に導入する段階を備えた方法で達成する。 （もっと読む）

【課題】 排気側の背圧を低めることで、ポッドの内部の塵を排気側へ集められる。
【解決手段】 基板を収納するためポッドであって、基板を収納する中空部と開口とを有する本体容器と、その開口を密閉可能な蓋部材と、その本体容器の中空部の置換ガスを排気する排気ポートと、その排気ポートに連通し、その中空部内に画定される排気空間を有する基板収納ポッドにより解決する。排気空間は、複数の孔を有する多孔仕切部材と本体容器の内面とによって中空部内に画定される。 （もっと読む）

【課題】 減圧環境下であっても変形を回避でき、収納された基板の信頼性ある保管を実現できる基板収納容器を提供することにある。
【解決手段】 ボトムプレートと、前記ボトムプレートに載置される基板収納カセットと、前記基板収納カセットを被って前記ボトムプレート上に配置されるシェルとを備える。前記シェルは、前記ボトムプレート側の一端が開口され、他端が閉じられた天面を有する円筒形状をなしている。前記天面は、外側に凸面となるドーム状の湾曲面となっているとともに、前記シェルの周側面とのコーナにＲ加工がなされている。前記ボトムプレートと前記シェルによって形成される容器内を真空環境から大気圧の環境に変化させた際に最大変形量が１ｍｍ以下となる。 （もっと読む）

【課題】レチクルとの接触箇所に弾性を有する複数の支持材を配置したレチクルポッドを提供すること。
【解決手段】上部蓋体、下部蓋体、及び、複数の下部蓋体の四隅に配置された支持部品からなり、支持部品は、垂直方法により一体的に相互連結し、且つ、両端にそれぞれ留め具が配置される座体と、それぞれ座体に配置され、各弾性部材が座体の縦方向から１つの段部を延伸した後、更に座体の内側横方向に沿ってもう１つの段部を延伸する１対の弾性部材と、それぞれ弾性部材の横方向延伸段部と連結した後、更に縦方向に凸起部を延伸して、凸起部の座体内側にある側面に第１傾斜面と第２傾斜面を形成する１対のガイド部材、及び、その第１端と第２端がそれぞれガイド部材の第２傾斜面と連結して、その第３端箇所に支持柱が配置される支持底板とを含む。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で基板や容器に付着している汚染物質及び容器内に存在する汚染物質を取り除くことができるだけでなく、二次的に発生する汚染物質が基板や容器に付着することを抑制することができる可搬容器を提供する。
【解決手段】基板１の容器であって、容器内を区画するための隔壁５を備え、前記隔壁５には前記基板１を収納する区画Ｋ１とその他の区画とを連通する孔５ａ，５ｂが設けられており、前記その他の区画Ｋ２には前記基板１を収納する区画に存在する汚染物質を取り除くための除去手段６を備えた。 （もっと読む）

【課題】基板の直径が大きくなる傾向にある近年、重ね合わされる互いの基板全面においてサブミクロンの精度で位置合わせをすることが困難になってきている。このような事情から、基板をより高い精度で位置合わせするために、それを保持する基板ホルダを精密に管理する機構が求められている。
【解決手段】基板を保持して搬送するための基板ホルダを収容するホルダラックであって、基板ホルダを収容する収容空間を除湿する除湿部を備える。 （もっと読む）

【課題】チップ管付きプラズマディスプレイパネル等の突起を有する板状体を安定した姿勢で収容することができ、かつ、板状体の周縁が他の部材と接触するのを効果的に回避することができ、さらに、板状体が搬送中の振動で面方向に移動するのを阻止することができる板状体搬送容器を得る。
【解決手段】突起を有する板状体のための搬送容器２０は、突起を有する形態の板状体を収容するものであり、収容凹部２３の１つの隅部であってチップ管付きプラズマディスプレイパネルを収容したときに突起が位置する隅部には貫通孔２５が形成されている。４周の側壁２２に沿って収容したチップ管付きプラズマディスプレイパネルが接触しない凹部２６ａ，２６ｂが形成されている。さらに、収容凹部２３の４つの隅部には収容したチップ管付きプラズマディスプレイパネルの隅部を側方から支持する入り隅状の隅部支持壁２４ａ〜２４ｄが形成されている。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の電気的特性がウェハ（半導体基板）間でばらつくことを抑制し得る半導体装置の製造方法及び基板収容構造を提供する。
【解決手段】この製造方法は、トレー１０の上に２次電子吸収材を含む保護シート２２Ａ，２２Ｂを配置し、半導体基板２１Ａ，２１Ｂを保護シート２２Ａ，２２Ｂ上に配置してトレー１０に収容する工程と、半導体基板２１Ａ，２１Ｂにトレー１０側とは反対側から荷電粒子線を照射して半導体基板２１Ａ，２１Ｂ内に格子欠陥を形成する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】ウェハ特性に影響がでたり、ウェハトレイ自体にひび割れが生じたりするのを防ぐため、温度分布が均一となるＣＶＤ装置用ウェハトレイ、ＣＶＤ装置用加熱ユニット及びＣＶＤ装置を提供する。
【解決手段】一面にウェハを載置可能なキャビティが設けられたウェハトレイ本体と、前記ウェハトレイ本体の他面に突出して形成された接続部と、を備え、前記接続部には、ウェハトレイ本体を回転可能な回転軸を着脱自在に接続できる接続用凹部が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プロセス条件測定装置と処理システムとを製造環境と高度に統合化する。
【解決手段】統合化において、プロセス条件測定装置の寸法は製造基板の寸法に近い寸法となり、処理システム８８０は製造基板用として使用する基板搬送装置と類似のものとなる。製造環境に対する障害をほとんど伴うことなくプロセス条件の測定が可能となる。人間の介在をほとんど或いは全く伴うことなくプロセス条件測定装置からユーザへデータ転送を行うことも可能となる。 （もっと読む）

【課題】接着シートの残留応力を低減することにより製造効率を向上させることができる接着シート用支持媒体および支持フレームを提供すること。
【解決手段】接着シートＳをウェハＷの裏面ＷＢに貼付する際に、リング部材３が弾性変形して接着シートＳの張力を吸収することで、接着シートＳの残留応力を低減することができる。従って、ダイシング工程でウェハＷを切断した際のチップの移動を最小限に抑えることができるとともに、個片化したチップををピックアップする際の各チップの位置ずれに伴うピックアップ不良が防止でき、製造効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】基板の直径が大きくなる傾向にある近年において、回路が形成された２枚の基板を、接合すべき電極同士が接触するように高い精度で位置合わせするために、その２枚の基板をそれぞれ保持する２枚の基板ホルダを精密に管理する機構が求められている。
【解決手段】基板を挟持して搬送するときに対で用いられる第１基板ホルダと第２基板ホルダを対で収容するホルダ対ケースと、ホルダ対ケースを載置する棚とを備えるホルダラック。 （もっと読む）

【課題】基板の汚染を排除し、基板を高精度に支持でき、しかも、基板に関する作業の簡素化や容易化を図り得る基板収納容器を提供する。
【解決手段】ガラスウェーハＷ収納用の容器本体１と、ガラスウェーハＷをサポートするサポート治具３０とを備え、容器本体１の内部両側に、ガラスウェーハＷとサポート治具３０を水平支持可能な支持体５を配設したもので、支持体５は、ガラスウェーハＷ用の支持片７を備え、支持片７の前部に、ガラスウェーハＷの飛び出しを規制する段差部８を形成し、支持片７の後部に、ガラスウェーハＷの収納位置を規制する位置規制壁９を形成する。サポート治具３０は、ガラスウェーハＷに対向する治具本体３１と、治具本体３１に形成されて容器本体１の上下方向に湾曲する屈曲支持部３２・３２Ａと、治具本体３１の両側端部に突出形成されて支持片７に支持される平坦なレール３６とを備え、段差部８と位置規制壁９に挟持される。 （もっと読む）

【課題】ケース内に収納された大型ガラス基板の清浄性を確保しつつ基板の損傷無く保管および輸送する手法を提供すること。
【解決手段】本発明では、ガラス基板搬送用ケース（１０）の４辺の各周辺部のうちの対向する２辺の周辺部の中央部のそれぞれに、ガラス基板（１１）を収容した状態のケースを水平面に対して傾斜可能とするための旋回治具（１８ａ、１８ｂ）を設け、この旋回治具（１８ａ、１８ｂ）を搬送用台車３０の枠体３１の柱部の頂部に設けられた治具（３２）で支持し、所定の角度範囲での傾斜を可能とした。これにより、高さおよび幅方向どちらも制限された通路でもケース（１０）を傾斜させて搬送することが可能となり、ケース（１０）内に収納された大型ガラス基板（１１）の清浄性を確保しつつ基板の損傷無く保管および輸送することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】基板の表面およびエッジ部分を汚染することなく、且つ、基板を容易に容器に着脱させることを可能にした基板収納容器およびそれを搬送するための搬送容器を提供する。
【解決手段】本発明の基板収納容器５０は、周縁部同士を対向配置することによって中空部１３を形成することができる一対のプレート体１を備え、下側プレート体１１には収納する基板の片面におけるエッジ部分よりも内側において貼着して当該基板を支持固定する台座１４であって、下側プレート体１１の下側周縁部１１ａよりも、対向配置させた上側プレート体１２に向けて突出している台座１４を有している。これにより、基板のエッジ部分と下側周縁部１１ａとの間に比較的広い隙間を形成することができ、治具を挿入することによって、容易に、且つ基板のエッジ部分を汚染することなく、基板を台座１４から取り外すことができる。 （もっと読む）