【課題】手動にて、ウェハをウェハキャリアに収納する場合もしくはウェハキャリアから取り出す場合において、ウェハ同士の接触を防ぎ、疵やチッピングの発生を防止する。
【解決手段】ウェハキャリア用の治具であって、ウェハキャリア１１が備える複数のスロット１２の数に対応し、スロット１２の並び間隔と等しい間隔で平行な状態で固定されたウェハ保護プレート群２０からなり、各ウェハ保護プレート２１は、スロット１２内に収納されるウェハ１０の直径以下の幅を有しスロット１２に差し込まれる挿入部２２と、挿入部２２の幅方向に延びてスロット１２の開口面１５に接する一対のストッパー部２３とを有し、挿入部２２が隣り合うウェハ１０同士の接触を防ぎ、疵やチッピングの発生を防止することを特徴とするウェハキャリア用治具１。 （もっと読む）

【課題】磁性シートを円滑に移載することができる磁性シートの移載システム、キャリア及び磁性シートの移載方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係るキャリア１０は、第１の非磁性基板１１と、第２の非磁性基板１２と、磁石１３とを有する。第１の非磁性基板１１は、磁性シートＭを支持する第１の面１１ａとこれとは反対側の第２の面１１ｂとを有する。第２の非磁性基板１２は、第２の面１１ｂに対向し、磁石１３は、第２の非磁性基板１２に固定され、第１の面１１ａに磁場を形成する。第１の非磁性基板１２は、第２の非磁性基板１２と近接した第１の支持位置と第２の非磁性基板１２から離間した第２の支持位置との間を移動可能に構成され、第２の支持位置で第２の非磁性基板１２からウェーハカセットへ磁性シートとともに移載される。 （もっと読む）

【課題】ウエハ収納容器を誤って横向きに落下させてしまったような場合でも、その内部に収納されている半導体ウエハが破損し難いウエハ収納容器を提供すること。
【解決手段】複数の半導体ウエハ（Ｗ）が格納された状態のウエハ収納容器に複数の半導体ウエハ（Ｗ）の自重の３５倍の荷重が側方から半導体ウエハ（Ｗ）の面と平行方向に作用したときに、ウエハ仮置部（１０）が半導体ウエハ（Ｗ）との当接部（１２Ａ）において変位量２．５ｍｍ〜１０ｍｍの範囲で弾性変形するよう、ウエハ仮置部（１０）の弾性変形量を増大させるための弾性変形幇助部（１１Ｘ，１２Ｘ）がウエハ仮置部（１０）に形成されている。 （もっと読む）

【課題】内部空間の雰囲気を仕切ることによって、相互汚染が生じるのを抑制することができる基板収容器を提供する。
【解決手段】ＦＯＵＰ１に仕切り板ＤＰ１を装着すると、収容器本体３の内部空間５を複数の雰囲気（第１の空間ＳＰ１，第２の空間ＳＰ２）に仕切ることができる。したがって、内部空間５の仕切られた各雰囲気を使い分けることにより、基板の相互汚染を抑制することができる。また、特殊なＦＯＵＰ１ではなく、規格化された標準的なＦＯＵＰ１を用いることができるので、コストの上昇を仕切り板ＤＰ１に相当する分だけですませることができる。したがって、ＦＯＵＰ１内における内部空間５の雰囲気を容易に低コストで分離することができる。 （もっと読む）

【課題】大径基板に対応した搬送系を構成する基板収容器（フープ）に、サイズダウンした基板を格納できるようにする。
【解決手段】８インチウェーハを支持し得る第１支持溝１６ｅに支持される上部板４０１および下部板４０２と、上部板４０１および下部板４０２に設けられ、２インチウェーハであるウェーハ１４（必要に応じて、ウェーハホルダ１００およびホルダ部材４０５を介して）を支持し得る第２支持溝４０４を有する各保持柱４０３ａ〜４０３ｃとを備える。８インチウェーハに対応したポッド１６に、２インチウェーハであるウェーハ１４を格納でき、搬送系であるポッド１６を共通化して半導体製造装置のコストを削減できる。各ガス供給ノズルから各ウェーハ１４までを遠ざけて、各ウェーハ１４に到達する前に反応ガスを充分に混合させることができ、各ウェーハ１４への成膜精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】基板を一部はみ出させた状態で支持し、該基板の側面に接して囲むように、主面に保持部を設けたトレイが備えられた、半導体製造装置を提供する。
【解決手段】プロセス処理を行うチャンバ１０１と、チャンバ１０１内に配され、平坦な一面１０２Ｓを有する支持台１０２と、一方の主面１０３Ｓが、支持台の一面１０２Ｓに接して重なるように載置される、一枚の平板状のトレイ１０３と、を有し、トレイの他方の主面１０３Ｔに複数のウェハ状の基板１０４が載置され、基板１０４の非処理面１０４Ｂの一部が少なくともトレイの他方の主面１０３Ｔと非接触の領域Ｒ２をなすように、トレイ１０３の形状が規定され、トレイの他方の主面１０３Ｔのうち、基板の非処理面１０４Ｂが接していない領域に、基板の側面に接して囲むように基板の保持部１０５が設けられている、ことを特徴とする半導体製造装置１００。 （もっと読む）

【課題】長期に亘って、サポート治具の着脱を容易に行えると共に、サポート治具を取付けた場合、そのサポート治具を高い位置精度をもって保持できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】サポート治具３０を、上下動については、支持部材２５を第１、第２係合片部３３、３４で上下に挟持することにより、後方動については、サポート治具３０と進入規制部１０、２８ｂ、３６との当接関係により、前方動については、支持部材２５の段差面２９と第２係合片部３４ｂとの当接関係により、規制することで高い位置精度をもって保持する。支持部材２５への取付けは、撓み性を利用して第２係合片部３４ｂを、段部２７を乗り越えて支承部２６の一方の板面に当接させ、支持部材２５からの取り外しは、把持し易い一対の係合支持板部３１を互いに近づくようサポート治具３０を縮径させて、第２係合片部３４ｂと段差面２９との当接関係を解除することで、着脱を容易に行える。 （もっと読む）

【課題】供給側と排気側の何れにも用いることができるパージ用の開閉バルブを備えた基板収納容器及びこれを用いた気体の置換方法を提供する。
【解決手段】貫通孔４２が形成された円筒状のボール開閉弁４０を、下筒１０に回転自在に軸支し、ボール開閉弁４０を収容する保持筒３０を、下筒１０に対して軸線方向に移動可能に収容し、保持筒３０の内壁に、下筒１０を軸線方向に案内する第一カム溝４４と、下筒１０の移動に伴いボール開閉弁４２を回転させる第二カム溝４５とを形成する。そして、第一カム溝４４及び第二カム溝４５の案内によりボール開閉弁４０を回転させ、通常時は、貫通孔４２が軸線方向に対して垂直な方向を向かせることで、容器内部を気密に保持し、保持筒３０に対して下筒１０が容器内部側に移動させて、貫通孔４２が軸線方向に対して平行な方向を向かせることで、容器内外を連通させる。 （もっと読む）

【課題】容器本体と蓋体とが張り付いても蓋体を容器本体から容易に取り外すことができる薄板収納容器を提供する。
【解決手段】薄板収納容器１は、正面に開口部４を有する容器本体２と、開口部４に嵌め合わされて当該開口部４をシール可能に閉鎖する蓋体３と、を備えており、蓋体３は、蓋体本体１１と、蓋体本体１１に形成された出没孔１３から出没する係止部８を備えた施錠機構７と、を備えている。そして、蓋体本体１１のシール用溝２７に、容器本体２と蓋体３との間をシールする枠体３０及びリップ部３１と、リップ部３１に接続されて出没孔１３に延び、出没孔１３を出没する係止部８のローラ部２５に変位される被操作リブ３２と、を備えるガスケット２６を嵌め込む。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの発生を抑制しつつレチクルを容器に位置決めするのに有利な技術を提供する。
【解決手段】容器は、レチクルを収容するインナーケースと、アウターケースとを含む。インナーケースは、ベースプレートと、インナーカバーと、レチクルの面取り部と接触してレチクルを位置決めする第１位置決め部材と、を含む。第１位置決め部材は、面取り部との接触面がベースプレートの上面に対して同一方位での仰角をもって傾斜し、第１位置決め部材が押し付け部で押されて面取り部と最初に接触する第１傾斜面１２２と、第１傾斜面１２２より上方に形成されて第１傾斜面１２２より後に面取り部と接触する第２傾斜面１２１と、を含み、第１傾斜面１２２と第２傾斜面１２１とが第１位置決め部材の外に成す角は１８０°未満である。 （もっと読む）

【課題】ガスケットのコーナ領域におけるシール性が悪化するのを防止し、基板が汚染したり、容器本体と蓋体が接触して発塵するおそれの少ない基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを収納可能な容器本体１と、容器本体１の開口した正面２に嵌合される蓋体２０と、容器本体１と蓋体２０の間に介在されるシール用のガスケット４０とを備え、容器本体１の正面内周にガスケット用のシール形成面７を形成し、蓋体２０に、ガスケット用の嵌合取付溝２５を形成した基板収納容器であり、ガスケット４０を、蓋体２０の嵌合取付溝２５に嵌合される枠体４１と、枠体４１から突出して容器本体１のシール形成面７に変形接触してシールするリップ片４７とから形成し、リップ片４７の変形量を枠体４１のコーナ領域と他領域とで相違させる。 （もっと読む）

【課題】 基板収納容器を自動で梱包可能であり、簡単な構造で、輸送時の振動や衝撃に対して確実にウェーハを保護できる基板収納容器の輸送箱を提供する。
【解決手段】 上部に開口部を有し基板収納容器を収納可能なコンテナと、該コンテナの開口部を閉鎖する上蓋とを有し、前記コンテナの内底部には、基板収納容器を載置する支承部材が設けられ、該支承部材の上面に、基板収納容器を所定の位置に誘導する位置決め機構と、輸送時の振動を吸収するための防振部材とが設けられ、前記開口部の上縁に第一の固定手段を有し、前記上蓋が、該第一の固定手段と係合する第二の固定手段と、基板収納容器を上部から固定する手段とを有していることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの損傷や欠け、割れ、チッピングを防止して円滑に搬送したり、輸送することのできるウェーハ保護治具及びウェーハの取り扱い方法を提供する。
【解決手段】薄化されることにより周縁部２２がシャープエッジとなり、基板収納容器の容器本体に収納されるウェーハ２０用のウェーハ保護治具３０であり、表面の粘着層３２に薄い半導体ウェーハ２１を着脱自在に粘着保持する治具板３１と、治具板３１の表面周縁部に周設されるシャープエッジ用の周壁３３とを備え、治具板３１を半導体ウェーハ２１の直径よりも拡径の円板に形成し、周壁３３を断面矩形に形成してその高さを半導体ウェーハ２１の厚さよりも高くする。治具板３１と半導体ウェーハ２１とを一体化して剛性を確保し、周壁３３により半導体ウェーハ２１やその脆い周縁部２２を外部との接触から保護する。 （もっと読む）

【課題】大型の平板状基板を個別に安全かつ清浄さを保ち、簡便な方法で収納・開梱するための基板収納ケースを提供すること。
【解決手段】平板状の基板を略水平に載置するための複数の基板受けピンを設け縁辺部に側壁を付設した下底部と、前記下底部の側壁と係合する縁辺部を有する蓋部と、からなる基板収納ケースであって、下底部の所定の位置に接続して基板の各辺の端部を保持するための基板保持治具を設けてあり、前記基板保持治具の内、少なくとも１コーナーを挟む２辺に関わる２つの基板保持治具が、基板の中央に向けて基板端部を押し付ける方向にスライドできるスライド式基板保持治具であり、前記スライド式基板保持治具に対向する蓋部の所定の位置に、スライド式基板保持治具をスライドさせる押し込み治具を蓋部に垂直に設け、蓋部を閉めた時に押し込み治具がスライド式基板保持治具を基板の中央方向に押し付ける機構を有する。 （もっと読む）

【課題】様々なサイズのワークに個別に対応する必要のないカセットを提供する。
【解決手段】板状ワークＷ１を収容する溝２２が所定間隔ごとに複数形成された左右の側壁２と、左右の側壁２を連結する連結部３ａと、板状ワークＷ１を出し入れする開口部２３ａとを有するカセット１０において、側壁２と連結部３とを脱着可能とし、連結部３は左右方向に延びる部材で構成し、板状ワークＷ１の大きさに応じて長さの異なる連結部３ａを使用することにより複数の大きさの板状ワークに対応した開口部２３ａを有するカセットに調整可能とする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ又は基板を支持するための新規な装置を提供する。
【解決手段】基板容器は、基板を包囲するハウジングを備え、ハウジングはハウジングの包囲体の中にアクセスするための容器ドアを有する。ハウジングの中に配置された支持構造体は前記包囲体の中に延びる複数のタインを有する。タインは外縁を有する。複数のタインは水平方向に配置される。基板の張り出し部分はタインの外縁を越えて延び、基板に係合するアクセス領域を形成する。タインは基板を支持するための支持パッドを含む。タインのうちの１つの支持パッドのうちの１つは前記アクセス領域のうちの一方の側に配置され、タインのうちの１つの支持パッドのうちの他の１つは前記アクセス領域のうちの他方の側に配置される。 （もっと読む）

【課題】ウエハの処理の効率または装置への作業の効率を向上させた真空処理装置を提供する。
【解決手段】減圧された内部に供給された処理用ガスを用いて生成したプラズマを用いて前記内部に配置された試料を処理する真空容器と、雰囲気圧下で前記真空容器と連結されて配置されこの真空容器で処理される試料がその内部の空間で搬送される搬送容器５と、この搬送容器５内に前記雰囲気の流れを生成するための送風機及び前記搬送容器５に配置された排出口と、前記搬送容器５内の前記流れ中に配置され前記真空容器で処理された後の試料が収納される収納容器と、この収納容器内の気体を排気する排気手段とを備えた試料処理装置。 （もっと読む）

【課題】専用のテーブルや治具等を省略して作業を簡素化でき、ダイシング工程やピックアップ工程でそのまま使用して作業の迅速化を実現し、粘着保持層の材料が制約されることのない半導体ウェーハ用保持具及び半導体ウェーハの取り扱い方法を提供する。
【解決手段】薄化された半導体ウェーハＷを中空部に収容可能な保持フレーム１と、保持フレーム１に支持されて半導体ウェーハＷを着脱自在に粘着保持する粘着保持層１０とを備えた半導体ウェーハ用保持具であり、保持フレーム１を、中空部を区画する内フレーム２と、内フレーム２に着脱自在に嵌合する外フレーム４とから形成し、内フレーム２と外フレーム４をそれぞれ１．０〜２．８ｍｍの厚さに形成してその間には粘着保持層１０の周縁部を挟持させ、内フレーム２、外フレーム４、及び粘着保持層１０に耐熱性をそれぞれ付与し、外フレーム４の外周縁部の前後左右をそれぞれ直線的に切り欠く。 （もっと読む）

【課題】 基板製造装置の仕様、ユーザ、各国の使用状況等に関わらず、適切に使用することのできる保持フレーム用収納カセットを提供する。
【解決手段】 中空部に収容した半導体ウェーハを粘着保持層で粘着保持する保持フレームを収納し、半導体製造装置に位置決めして搭載される保持フレーム用収納カセット２０であり、保持フレーム用収納空間を介して相対向する両側壁２１と、両側壁２１の上部間に架設される天板３３とを備え、両側壁２１の内面に、保持フレーム１の周縁側部を支持する支持溝をそれぞれ形成して各側壁２１の支持溝を上下方向に所定の間隔で配列し、支持溝に、保持フレーム用のがたつき防止片を形成する。そして、両側壁２１の下部に、前後方向に伸びる支持レール２６をそれぞれ取り付け、この一対の支持レール２６の間には架設部材４０として一対の架設板４１を着脱自在に螺着して架設する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等の板状体を平置き状態で収納する搬送用容器として、振動や落下衝撃等により容器本体の側壁に強い力がかかった場合にも、側壁基部内側での亀裂損傷を防止でき、耐久性に優れたものとする。
【解決手段】上方に開口する平面矩形の容器本体１を有する搬送用容器であり、容器本体１の底部１３の上面１３ａの側壁内面に沿う周縁部に、底部１３上に収納される板状体Ｂの周縁の当接を回避するための凹部１５が形成され、凹部１５の底面１５ａの外縁側が側壁１４ｄの外方への弾性変形時の応力集中を回避できるアール曲面で側壁１４ｄ内面に連続している。 （もっと読む）