【課題】より効率的に機能することができる基板ハンドラを提供する。
【解決手段】露光前に基板８を基板テーブル６上にロードし、露光後に基板８を基板テーブル６からアンロードするように適合されており、複数の独立した基板８，８を同時に搬送するように適合された少なくとも１つの支持面又はプラットフォーム１４、１６を含む、基板８をリソグラフィ装置の基板テーブル６に対して動かす基板ハンドラ１２を有する。 （もっと読む）

【課題】被処理体を短時間で焼成処理を行うことが可能で、かつ炉内の焼成温度のばらつきを改善するとともに、省電力・省エネにも配慮した焼成炉、及びこの焼成炉による被処理体の焼成方法、並びに太陽電池素子の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】内側に処理空間９を有する炉体と、被処理体５を積載して、処理空間９内を搬送方向させる搬送手段１と、処理空間９内に配置され、被処理体５を加熱する中赤外線若しくは近赤外線を放射するヒーター２と、処理空間９内に少なくとも一つ配置された、熱を反射する熱反射面を有する熱反射部材６と、を備えた焼成炉であって、熱反射部材６は、熱反射面（６１ａ、６２ａ）が前記搬送手段の搬送方向と略同一方向となるように配置されて成る。 （もっと読む）

本発明は、洗浄能力に優れた、作業効率の良い半導体分野で用いられる部材の洗浄装置、洗浄システム及び洗浄方法を提供する。本発明は、半導体分野で用いられる部材を洗浄する洗浄装置であって、被洗浄物である該部材（Ｔ）に対し１又は複数のノズル（５２ａ）より霧状の洗浄液（Ｌ１）を高圧で噴射する噴射機構を有するようにした。半導体分野で用いられる部材を洗浄する洗浄システム（３０）であって、被洗浄物である該部材をセットするローダ部（４０）と、該部材を回収するアンローダ部（７０）と、該ローダ部から該アンローダ部へ連続して該部材を搬送する搬送ステージ（８０）とを有し、該搬送ステージに該部材を霧状の洗浄液により洗浄する洗浄部（５０）を設け、該部材を該搬送ステージによって搬送するとともに該洗浄部によって洗浄するようにした。
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【課題】 比較的簡単な構成でありかつ簡単な操作で、ガラス基板などの搬送対象部材を収納部に対して出し入れする搬送対象部材の出し入れ装置を提供する。
【解決手段】 スライダ２０は、フレーム２１によって軸が支持されているプーリ３１〜３３，３４〜３６，３７〜３９にベルト４１，４２，４３が掛けられて構成されていて、ベルト４１，４２，４３上にガラス基板が載置されている。ベルト４１，４３はカセット棚１６にねじ止めされており、取手２２，２３を引出すと、引出した長さの２倍分だけベルト４１，４２，４３が移動するので、ガラス基板の全長の半分の長さだけスライダ２０を引出せば、ガラス基板の全長を引出すことができる。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置、デバイス製造方法及びそれによって製造されたデバイスを提供すること
【解決手段】基板処理装置は、放射の投影ビームを供給するための照明システム、投影ビームの断面にパターンを付与するべく機能する個々に制御可能な複数のエレメントのアレイ、及びパターン化されたビームを基板の目標部分に投射するための投影システムを備えたリソグラフィ装置を備えている。また、基板処理装置は、少なくとも１つの完全な長さの基板を送り出すようになされた基板サプライと、投影システムがパターン化されたビームを個々の完全な長さの基板に沿った一連の目標部分に投射することができるよう、基板サプライから送り出される個々の完全な長さの基板を投影システムの先へ搬送するようになされた基板搬送システムとを備えている。特定の実施例では、長さの長い基板がロールから供給されるが、別法として一連の個別シートを供給することもできる。 （もっと読む）

【課題】急冷と破損防止の両立
【解決手段】加熱部（１）と成膜部（２）と冷却部（１３）とに一連に搬送路（６）が通される。ガラス基板は、搬送路の搬送方向に搬送される。冷却部は、ガラス基板の搬送方向に直交する直交方向に対向する両側領域を冷却する第１冷却部（１７−１）と、ガラス基板の両側領域に挟まれる中央領域を冷却する第２冷却部（１７−２）とで形成されている。第２冷却部の第２冷却能力は第１冷却部の第１冷却能力より高い。温度が高い中央領域は両側領域の冷却能力より高い冷却能力で冷却されるので、冷却されるガラス基板は横方向に均一な温度に冷却される。その冷却速度が速くても、基板は幅方向に均一であって、鞍型曲面に反り曲がることが有効に防止される。 （もっと読む）

【課題】太陽電池セルを破損させることなく高速で搬送することが出来る搬送装置を提供する。
【解決手段】駆動側歯付きプーリーおよび従動側歯付きプーリー間に巻回された搬送ベルト４と、これらのプーリー間の搬送ベルト４の背面側に設けられた真空ボックス５から構成される。搬送ベルト４の背面側に溝部によって幅方向に複数個に分割された歯部が形成され、溝部に貫通孔４ａ群が設定間隔をおいて全周にわたって形成される。また、真空ボックス５は内部が空気源に接続された始端側移載部、作業部および終端側移載部に区画される。さらに、真空ボックス５には、搬送ベルト４の溝部を支持する一方、搬送ベルト４の貫通孔４ａ群に対向して移載部，および作業部毎に通気溝５ａが形成されるとともに、各通気溝５ａに内部と連通する通気孔５ｂが形成された支持部が形成され、また、搬送ベルト４の歯部が嵌入されるガイド溝５３が形成される。 （もっと読む）

【課題】 真空室内でも基板を略直立状態で安定かつ適正に搬送することができる縦型基板搬送機構及びこれを備えた基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 基板Ｗの下端を受ける受け治具７が複数間隔をおいて整列配置されたベルト部材６を有する搬送コンベア２と、この搬送コンベア２の上方に配置され、基板Ｗの上縁を支持し当該基板Ｗの搬送方向（矢印Ａ方向）へ搬送するべく回転する複数の支持ローラ８とを備えた縦型基板搬送機構４を構成する。この構成により、基板は、その略直立姿勢を安定に保持された状態で直線的に搬送される。特に、基板上縁を複数の支持ローラ８で支持し送り動作されることにより、真空室内でも基板の安定した略直立姿勢を保持できるとともに、基板に負荷をかけることなく適正な搬送が可能となる。 （もっと読む）

自動保管システム１が、少なくとも１つの搬送移載機構２０と、棚３０（３０Ｌ、３０Ｒ）と、少なくとも１つの搬送機構４０（４０Ｌ、４０Ｒ）とを備えている。搬送移載機構２０は、ワーク（被処理物またはキャリア）５０を保持する保持機構２１を少なくとも１つ備え、ワーク５０を保持して所定の範囲を搬送可能であり、ワーク５０を保持機構２１の到達範囲内の任意の位置へ載置することができる。棚３０（３０Ｌ、３０Ｒ）は、搬送移載機構２０の保持機構２１の到達範囲内に、ワーク５０を保管する。搬送機構４０（４０Ｌ、４０Ｒ）は、保持機構２１の到達範囲内に、ワーク５０を搬送する。
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【課題】 簡単な構成により、より正確な直線移動行程を実現できる直線移動機構およびこれを用いた搬送ロボット、さらにはハンドを２つ備えることによってワークの搬送効率を高めた搬送ロボットを提供する。
【解決手段】 ガイド部材１と、このガイド部材１上に設定された水平直線状の移動行程に沿って移動可能な移動部２Ａ，２Ｂ材と、これら移動部材２Ａ，２Ｂを駆動する駆動機構３Ａ，３Ｂと、を備えた直線移動機構Ｂ１であって、駆動機構３Ａは、移動行程ＧＬを挟んで配置され、かつ同期駆動される一対の往復動機構を含んでおり、移動部材２Ａは、移動行程を挟んで離間する一対の連結部材２４ａにおいて、上記一対の往復動機構に連結されている。 （もっと読む）

【課題】薄くて剛性の低いフレキシブル基板であっても安定して搬送可能で、コンパクトな機構で搬送効率に優れたワークの搬送装置および搬送方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板６を保持した基板保持部２０を循環経路に沿って移動させることにより基板６を作業位置に搬送するワークの搬送装置において、基板保持部２０の移動をガイドし相互に一方から他方への基板保持部２０の乗り移りが可能な可動レール１１ｂ、１２ｂ、１６，１７および固定レール１８によって、基板６を載置したワーク保持部が循環する循環経路を形成し、循環経路に設定された停留位置において基板保持部２０を停留させる構成を採用する。これにより、少ない個数の基板保持部２０によって、薄くて剛性の低い基板６を安定して効率よく搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】 研削、ラップ、ポリッシング等の研磨加工後のウエーハを効率よく洗浄する。
【解決手段】 洗浄装置本体（３）は、研磨加工後のウエーハ（１）を搬送するスライダ部（４）と、ウエーハを水中に浸漬保持するよう昇降可能に設けたストッカ部（５）と、該ストッカ部（５）から取り出したウエーハを洗浄するスクラブ洗浄部（６）を具備する。上記スライダ部は、上記ストッカ部（５）のウエーハ保持棚間に挿入することができ、研磨加工後のウエーハは、すべてストッカ部（５）に搬入されて水中に浸漬される。その後、上記ストッカ部（５）を上昇して上記スライダ部をストッカ部に挿入し、上段のウエーハから順次、上記スクラブ洗浄部へ送り出して洗浄する。 （もっと読む）

【課題】 基板の種類に応じて吸着部材を変更させることがなく、基板を吸着する際に基板にダメージを与えることがなく、また、基板を確実に吸着することを課題とする。
【解決手段】 基板搬送装置１０の取付板４４には、吸着パッドの径が異なる２種類以上の大径吸盤４８及び小径吸盤５０が取り付けられており、基板材料２００の種類によって使用する吸盤の種類を選択し、選択した大径吸盤４８又は小径吸盤５０に、真空ポンプ７４で負圧を発生させて基板材料２００を吸着して、次工程へ搬送する。取付板４４に大径吸盤４８及び小径吸盤５０を取り付けることで、基板材料２００の種類によって使用する吸盤を変えるだけで、基板材料２００にダメージを与えたり、搬送途中で落下させたりすることなく、安定して搬送することができる。また、基板材料２００の種類に応じてその都度吸盤を取り替える必要がなく、作業効率のアップに繋がる。 （もっと読む）

【課題】小ロットサイズのリソグラフィーベイを提供する。
【解決手段】小ロットサイズのリソグラフィーベイ３００は、（１）複数のリソグラフィーツール３１４〜３２８と、（２）小ロットサイズの基板キャリアをリソグラフィーツール３１４〜３２８へ搬送するように適応された小ロットサイズの搬送システム３３０とを備えている。各小ロットサイズの基板キャリアは、１３個より少数の基板を保持するように適応される。多数の他の態様も提供される。 （もっと読む）

材料加工の間における自動材料ハンドリングシステム（例えば１１１／１１２）の積載量低減装置及び方法が開示される。１個以上のロードポート（１０４Ａ）／（１０４Ｂ）を備えた材料加工ツール（１０２）には、ツール（１０２）の前端部に取り付けられる少なくとも１個の可動バッファ（１０６Ａ）／（１０６Ｂ）が装備される。バッファ（１０６Ａ）／（１０６Ｂ）は保管位置（１０８Ａ）／（１０８Ｂ）において、自動材料ハンドリングシステム（例えば１１１／１１２）から材料ポッド（１０１）を受け取ると共に、１個又はそれより多くのロードポート（１０４Ａ）／（１０４Ｂ）の１個以上へポッド（１０１）を移動させ、及び／又は１個又はそれより多くのロードポート（１０４Ａ）／（１０４Ｂ）の１個以上からポッドを受け取り、ポッドを保管位置（１０８Ａ）／（１０８Ｂ）へ移動させるように構成される。バッファ（１０６Ａ）／（１０６Ｂ）のいかなるポッド（１０１）へも、手により或いは材料ハンドリングシステム（例えば１１１／１１２）によって接近可能である。
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【課題】 ワーク搬送システムのスケールダウンおよび装置の小型化を図ることができ、かつ、ゴミなどの付着を防止しつつワークをスムーズに受け渡しすることができるトランスファロボットを提供する。
【解決手段】 トランスファロボットＡ１は、上下方向に開放したオープンスペース４０をもつフレーム部材４と、オープンスペース４０を跨いでフレーム部材４に梁状に設けられているとともに、ワークＷの下面を支持しながら水平方向に伸縮する複数のスライドアーム機構５と、複数のスライドアーム機構５と上下方向に干渉することなくオープンスペース４０内に収まるように設けられているとともに、フレーム部材４が下降移動して所定の位置にある状態では、相対的にオープンスペース４０よりも上方に位置し、その際、ワークＷを空気圧により浮上させて保持するエアベントステージ６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 オープンループ制御により、精確な動作が可能な駆動装置及び駆動装置の制御方法を提供する。
【解決手段】 駆動制御部１０から出力される制御信号に基づいて、ドライバ１１から所定の駆動信号が出力されて駆動源１５を動作させる。駆動制御部１０による制御動作が終了すると、振動制御部１２が駆動源を一定期間に正逆方向に交互に駆動させるような駆動制御信号を発生する。これにより駆動源１５は微振動する。駆動源の微振動による駆動力方向の力が、摩擦力等の負荷により抑制され最後まで動作できずに残存している駆動力と合算されて、駆動方向の力が摩擦等の負荷よりも大きくなると、動作部は残存駆動力に応じた距離だけ移動する。これにより、駆動制御部１０の制御信号に基づく動作が精確に実行される。 （もっと読む）

【課題】複数カテゴリのいずれか一つに割り当てられるようにしたデバイスをハンドリングする装置および方法を開示する。
【解決手段】上記装置は、垂直経路に沿ってトレイ群を移動させるようにした昇降機、当該トレイ群のトレイを選択的に固定し、当該固定されたトレイの上方に配置された追加トレイと当該固定トレイを支持するようにしたロッキング機構、および、一定の垂直位置に配置され、単数または複数のトレイを支持するための支持機構を有し、垂直経路の内外を水平移動するようにしたトレイロードアームを有する。 （もっと読む）

【課題】複数のクリーンルーム間で電子部品を遣り取りする場合の搬送効率アップによる生産性向上を図る。
【解決手段】 複数のクリーンルームの少なくとも１つに設けられるクレーン付のストッカー 21 と、該ストッカーの受渡領域に載置されるコンテナ 22 と、クリーンルーム内で移動する第一の搬送車 23 と、一般通路用のカバー付の第二の搬送車とを含んで構成し、ストッカー 21 と第一の搬送車 23 と第二の搬送車のそれぞれに、ストッカーと第一の搬送車間及び第一と第二の搬送車間で前記コンテナ 22 が自動的に受渡しできる移載手段 211,231 を設ける。 （もっと読む）

【課題】 パーティクルやダストがウエハの裏面に付着し難いようにしたエッチング装置を提供する。
【解決手段】 本エッチング装置は、ウエハを上面で支持して、下部ステージを貫通して昇降するウエハ支持板３０と、ウエハ支持板を昇降させる昇降機構とを備え、ウエハ支持板の上面にウエハを載せ、次いでウエハを載せたウエハ支持板を昇降機構により一旦押し上げ、次いで下降して、下部ステージのウエハ載置面にウエハを載置し、ウエハにドライエッチング処理を施す。ウエハ支持板３０は、ウエハを先端で支持する高さ２ｍｍの５個の突起部３２を、ウエハ支持板３０の上面に等間隔に離隔して有する。 （もっと読む）