【課題】カセットの搬送過程においても、カセットの姿勢を正常な状態に維持することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置は、第１搬送台１１０および第２搬送台１１１と、カセット２００の第１側面との間の距離を検知可能なセンサと、センサからの出力に基づいて第１ローラと第２ローラの回転速度を調整する制御部２６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ハンドの移動状態に拘わらず、基板全体を確実に除電する。
【解決手段】基板搬送装置は、互いに並行して延びる複数のフォーク２０を有するハンド１０を備え、複数のフォーク２０の少なくとも一部に載置された基板１３を搬送する。そして、ハンド１０には、フォーク２０に載置された基板１３に対向するように固定配置され、該基板１３の全体を除電する除電手段３０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】小さい設置面積を維持すると共に、処理ステーション毎に個別に滞留時間を制御することができるコスト及びスループットを改善下装置及び方法を提供する。
【解決手段】線形搬送チャンバは、線形トラックと、線形トラックに乗せられて、処理チャンバの側面に沿って基板を線形に搬送するロボットアームとを含み、処理チャンバに到達させる方法として、基板を、制御された雰囲気中にロードロックを介してフィードし、次いで搬送チャンバに沿ってフィードする。線形平行移動、回転と分節、及びｚ運動が可能な４軸ロボットアームが開示される。 （もっと読む）

【課題】簡潔な搬送機構によって、必要かつ十分なピックアンドプレース動作を行う、小型化の容易なクリーン化搬送システムにおけるワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】クリーン化された空間にてワークに対する必要な加工、処理を行うために上記空間に配置された装置類に対してワーク授受を行うクリーン化搬送システムにおいて、各工程の装置類にワークを搬送するワーク搬送機２０を具備し、ワーク搬送機は機体２１の両端に設けた１対の回転輪２２、２３と動索２４とから成る搬送機構２５を複数個並設した構成を有しており、１番目の動索と２番目の機体、２番目の動索と１番目の機体、２番目の動索と３番目の機体、３番目の動索と２番目の機体というように動索と機体を順次結合し、上記搬送機構の任意の段の動索にワークを保持する保持部材３０を設ける。 （もっと読む）

【課題】ウエット状態で密着した半導体基板同士を破損することなく自動的に、高速で分離することが可能な装置および方法を提供し、分離した半導体基板を破損することなく安全に搬送できる装置および方法を提供する。
【解決手段】ウエット状態で密着配列した複数の基板を液中に配置するローダー部１０と、前記ローダー部１０の最前列に配置されている基板２を液中で保持して液外のアンローダー部３０に搬送する搬送部２０と、基板２を液外で載置し取り出し部まで搬送するアンローダー部３０とを有し、搬送部３０は回転軸２１に連結され所定半径の回転円運動を行う駆動部材２２と、この駆動部材２２に一端側が回動自在に固定されたリンクアーム２１０と、リンクアーム２１０の他端側が摺動しその軌道を規定する軌道路２０１と、リンクアーム２１０の他端側に固定されているチャック１００とを有する構成の半導体基板の分離処理装置とした。 （もっと読む）

【課題】パネル基板を複数のステージに順次搬送する際に、パネル基板を搬入・搬出する必要をなくし、搬送の効率化を図る。
【解決手段】液晶セル１を搬送する基板搬送コンベア３０は、複数の搬送ベルト３１からなり、液晶セル１の処理対象領域に最も近い位置に設けた搬送ベルト３１Ａには、下部位置には負圧配管４１を接続した負圧チャンバ４０が設けられており、この負圧チャンバ４０は搬入ステージ１０から本圧着ステージ１３までの部位に及ぶ長さを有し、搬送ベルト３１Ａで覆われており、この搬送ベルト３１Ａには、所定のピッチ間隔をもって吸着孔４２が穿設され、これら吸着孔４２は搬送ベルト３１Ａの搬送面に開口しており、搬送ベルト３１Ａ上に液晶セル１が載置されると、この吸着孔４２を介して液晶セル１に負圧吸着力が作用する。 （もっと読む）

【課題】基板と、当該基板を支持する支持基板を押圧して貼り合せる際の圧力差を低減し、基板の全面に亘って精度よく貼り合せる。
【解決手段】円形の平面形状を有するウェハＷと、当該ウェハＷを支持する支持基板Ｇとを貼り合せる貼り合せ装置１は、ウェハと支持基板Ｇを重ね合せた状態で、ウェハＷの外側面と支持基板Ｇの外側面に嵌め合される枠体１０と、枠体１０に嵌め合されたウェハと支持基板Ｇを枠体１０ごと押圧するローラ１１と、を有している。ローラ１１は軸方向の長さが、ウェハの径よりも大きく形成されている。 （もっと読む）

【課題】 たとえばワイヤソーによる切断の後に、人手を介することなく半導体ウエハを１枚ずつ分離することが可能なウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置を提供すること。
【解決手段】 積層された複数枚のウエハＷｆを搬送するウエハ搬送方法であって、液体Ｌｑ中に位置する複数枚のウエハＷｆどうしの間のいずれかに隙間を生じさせるべく、置台８１に載置された複数枚のウエハＷｆの端面に向けて液体Ｌｑを噴出する工程と、上記隙間を生じさせた状態で、複数枚のウエハＷｆのうち少なくとも最上位に位置するウエハＷｆを取り上げる工程と、を備え、置台８１には、液体Ｌｑが噴出される方向において貫通し且つ複数枚のウエハＷｆが載置される側に向かって露出している空間が形成されている。 （もっと読む）

【課題】ベルヌーイチャックで基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかなものとしながら、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なって、非接触状態での基板の移載を高速度で能率よく行なえる移載装置を提供する。
【解決手段】パラレルメカニズムのハンド部に、基板を非接触状態で吸引保持するベルヌーイチャックと、基板を位置決めする複数個のガイド体とを設ける。基板を吸引する際には、吸引開始位置におけるベルヌーイチャックをハンド部で位置保持して、ガイド体が基板の外郭線の外に位置する状態にして基板を吸引保持する。吸引保持された基板を、ノズル穴から吹き出される空気流で一方向へ旋回させ、旋回変位する基板の辺部をガイド体で受け止めて位置決めする。以上により、基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかにできる。さらに、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なえる。 （もっと読む）

【課題】 たとえばワイヤソーによる切断の後に、人手を介することなく半導体ウエハを１枚ずつ分離することが可能なウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置を提供すること。
【解決手段】 液体Ｌｑ中に積層された複数枚のウエハＷｆを搬送するウエハ搬送方法であって、方向ｘ１に向かう複数枚のウエハＷｆの移動を規制するサポート部材８２を、複数枚のウエハＷｆに対して方向ｘ１側に配置した状態で、複数枚のウエハＷｆどうしの間のいずれかに隙間を生じさせるべく、複数枚のウエハＷｆの端面に向けて液体Ｌｑを噴出する工程を備える。 （もっと読む）

【課題】 省スペースで、かつ処理装置との間のロードアンロードと並行して、搬送車との間でカセットの受け渡しができる、ローダアンローダを提供する。
【構成】 ローダアンローダに、カセットを載置する載置部と処理装置との間でカセット内の物品を受け渡しする移載装置とを備えたユニットを、搬送車の移動経路に沿って複数設ける。複数のユニットを搬送車の移動経路に沿って移動させる移動機構と、コントローラとを設け、１つのユニットが処理装置との間で物品を移載している際に、他のユニットを搬送車との間でカセットを移載する位置に配置する。 （もっと読む）

【課題】高速分離処理に対応でき、かつ、水中でウエハ同士が部分的に重なって密着してしまった場合であっても、確実に分離させて後工程へ搬送することのできるウエハ搬送装置を提供する。
【解決手段】ウエハセパレータ装置によってウエハスタックＷＳから分離されて順次供給される水中のウエハＷを水面上に搬送するウエハ搬送装置８であって、順次供給されるウエハＷを水面上に搬送する第１の無限ベルト式搬送装置４と、第１の無限ベルト式搬送装置４のウエハ搬送方向下流にあって第１の無限ベルト式搬送装置４によって搬送されるウエハＷを引き継いでさらに搬送する第２の無限ベルト式搬送装置５と、が設けられ、かつ、第２の無限ベルト式搬送装置５が、その無限ベルトを濡れた状態でかつウエハＷのウエハスタック側とは反対側の面に密着させて、ウエハＷを搬送する。 （もっと読む）

【課題】２本のアームを個別に伸縮させることが可能であっても、２本のアームの伸縮動作や本体部に対する回動動作を安定させることが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】第１アーム５は、第１アーム部１１と、第１アーム部１１に保持される第２アーム部１２とを備え、第２アーム６は、第３アーム部１３と、第３アーム部１３に保持される第４アーム部１４とを備えている。ロボット１では、第１アーム５と第２アーム６とを個別に伸縮させることが可能となっている。また、ロボット１では、第１アーム部１１の回動中心と第３アーム部１３の回動中心とは同軸上に配置されるとともに、第１アーム５と第２アーム６とは、第１アーム５および第２アーム６が縮んでいる状態で仮想線Ｌに対して略線対称になるように構成され、第１アーム部１１と第３アーム部１３と第２アーム部１２と第４アーム部１４とは、上下方向においてこの順番で配置されている。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布される液状体の状態を改善することが可能な塗布装置を提供すること。
【解決手段】所定の塗布位置において基板を立てた状態で回転させつつ前記基板の表面及び裏面にそれぞれ液状体を吐出するノズルを有する塗布機構と、前記基板を基板搬入位置、前記塗布位置及び基板搬出位置の間で搬送する搬送機構と、前記基板搬入位置、前記塗布位置及び前記基板搬出位置とは異なる位置であって前記搬送装置が接続可能な保持位置でダミー基板を保持するダミー基板保持機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】 たとえばワイヤソーによる切断の後に、人手を介することなく半導体ウエハを１枚ずつ分離することが可能なウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置を提供すること。
【解決手段】 積み上げられた複数枚のウエハＷｆを搬送するウエハ搬送方法であって、液体中に置かれた複数枚のウエハＷｆの端面に向けてノズル３１から液体を噴出することにより、複数枚のウエハＷｆのうち少なくとも最上位に位置するウエハＷｆを含む複数枚のウエハＷｆどうしの間に隙間を生じさせた状態で、最上位に位置するウエハＷｆを吸着コンベア２により取り上げる。 （もっと読む）

【課題】 たとえばワイヤソーによる切断の後に、人手を介することなく半導体ウエハを１枚ずつ分離することが可能なウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置を提供すること。
【解決手段】 液体中に積み上げられた複数枚のウエハＷｆを搬送するウエハ搬送方法であって、液体Ｌｑをヒータ４１により加熱するとともに、加熱された液体Ｌｑから複数枚のウエハＷｆのうち最上位にあるものを吸着コンベア２により取り上げる。 （もっと読む）

【課題】連続する入庫を効率的に行う。
【解決手段】保管庫２０は、内部が鉛直方向に複数段に分断され、荷３を出し入れ可能な出入口が設けられている筐体と、筐体外にて出入口に隣接し、荷を載置可能である入出庫ポートと、筐体内にて荷を水平一方向及び鉛直方向に移動可能な内部移動手段３０と、筐体内に、複数段の各々において水平一方向に広がるように配列され、内部移動手段により移動される荷を載置可能に夫々構成されている複数の棚部分２１，２３ａ，２３ｂのうち相互に連結される一及び二の棚部分を、一の棚部分が出入口に隣接する第１位置と二の棚部分が出入口に隣接する第２位置との間で、一体に変位可能な棚部分変位手段４０と、第１位置に変位された一の棚部分又は第２位置に変位された二の棚部分と入出庫ポートとの間で出入口を介して荷を水平移動可能な外内移動手段４１ａ，４１ｂとを備える。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、再現可能かつ正確な基板処理を維持しながら、システム処理量を増大させ、システム稼働時間を改善し、かつデバイス歩留り性能を改善した処理システム内で基板を処理する装置および方法を提供する。システムは、システム制御装置によって制御される複数の平面の移動子を介して平面のモータを使用することによって横方向に位置決めできる複数の処理ネストを含むことができる。各処理ネストによって支持される基板は、回転アクチュエータによってその角度を決定できる。システムは、とりわけ、スクリーン印刷、インクジェット印刷、熱処理、デバイス試験、および材料除去プロセスに使用することができる。
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【課題】基板接触部材を定期的に自動清掃可能な構成を安価に構築し得る枚葉搬送ユニットを適用することで、現像装置のようなウェット搬送設備だけでなく、プロセス装置、検査装置等のドライ搬送設備へも適用可能な枚葉基板搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送方向に平行に複数本のワイヤーをループ状に駆動可能な軸間に張架して形成された搬送部のループ状ワイヤーの上方側に基板を担持して、該ループ状ワイヤーを回転駆動させることで前記基板を搬送する枚葉基板搬送装置において、前記ループ状ワイヤー搬送部の下方側の基板とは接触しない位置で、前記ワイヤーを回転駆動中に洗浄する自動洗浄機構を具備している。 （もっと読む）

方法は、感光材料の層を上に有する基板を用意する工程と、連続する第１、第２、及び第３の部分を有するマスクを用意する工程であって、順次、ｉ）第１の部分を第１の速度の光線で走査し、その後露光領域で感光材料に衝突させ、ｉｉ）第２の部分内に走査する工程を固定し、ｉｉｉ）第３の部分にわたって走査を再開する、工程と、を含む。該プロセスにわたって、該基板が露光領域を通って移動する。該プロセスを実行するための装置は、光線源と、マスクマウントと、マスクステージと、コンベヤーアセンブリと、光線を矩形光線に操作するための少なくとも１つの光学素子と、を含む。 （もっと読む）