【課題】小型化が可能でかつパスラインを低くすることが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、本体部３と、第１アーム４と、第２アーム５と、第３アーム６と、本体部３と第１アーム４とを繋ぐ第１減速機２１と、第１アーム４と第２アーム５とを繋ぐ第２減速機２２と、第１減速機２１の入力軸２５と第２減速機２２の入力軸３２とを連結する連結機構２３と、第３アーム６を回転駆動する第２駆動用モータ４０とを備えている。産業用ロボット１では、第２アーム５と第３アーム６とを繋ぐ第３関節部の移動軌跡が直線状となるように、第１減速機２１の減速比および第２減速機２２の減速比が設定されるとともに、連結機構２３が所定の速比で入力軸２５と入力軸３２とを連結している。また、第２駆動用モータ４０は、第２アーム５の、第３関節部よりも先端側に、かつ、第１アーム４側へ突出するように第２アーム５に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】小ロット処理に対応した塗布現像処理装置を提供する。
【解決手段】塗布現像処理装置のカセット搬入出部１０のカセット載置台１２の上方に、２段の空カセット載置台２０、２１と、カセット移送機構２２が設けられる。空カセット載置台２０、２１は、外部カセット搬送装置Ａが上下に通過できるように構成されている。各空カセット載置台２０、２１は、カセットが載置される４台のカセット移動装置３０を有し、載置したカセットを隣のカセット移動装置に移送できる。外部カセット搬送装置Ａによりカセット載置台１２に搬入され、ウェハＷが処理ステーションに搬送された空のカセットは、カセット移送機構２２により空カセット載置台に一時的に貯め置かれる。空いたカセット載置台１２には次のカセットが搬入される。空カセット載置台の空のカセットは、ウェハ処理が終了する前にカセット載置台１２に戻される。 （もっと読む）

【課題】ウエハを正確に移載することによってウエハの破損を防止することができるウエハ移載装置及びウエハ移載方法を提供する。
【解決手段】ウエハを保持するウエハチャック部と、ウエハを所定の載置位置に案内する案内部材を備えるウエハガイド部と、ウエハチャック部によって保持されたウエハと案内部材とがウエハの落下方向において対向するように、ウエハチャック部及びウエハガイド部を保持する本体部と、を有することを特徴とするウエハ移載装置。 （もっと読む）

【課題】板ガラスの表面損傷発生率を顕著に低下するようにさせることができる板ガラス搬送装置を提供する。
【解決手段】表面にエア吐出孔２１ａが形成された上板２１と、エアファン２２と、異物を濾すためのフィルター２４を含むエアチャンバー２３が設けられたエア浮上部２０と、第１吸着搬送部３０と、前記エア浮上部２０の中央上方に配置されて上下に昇降されながら板ガラスを吸着した後軸回転される吸着ターニングマシン４０と、回転ベルト５２を具備する第２吸着搬送部５０とで構成される板ガラス搬送装置とする。 （もっと読む）

【課題】投光機能及び受光機能の光軸調整を容易とし、ウェハの有無を含む収納状態を検知できる半導体ウェハ搬送装置を提供する。
【解決手段】ウェハ収納ケースに対してウェハ７の出し入れ、搬送を行うにあたり、ウェハ７の収納状態を検知するための検知部４を具備し、検知部４はウェハ７との周端部の任意の２点を少なくとも挟み込むように離間配置させた投受光部４４及びリフレクタ４３を備え、投受光部４４が投光した検知光をウェハ７又はリフレクタ４３で反射させた後、その反射光を当該投受光部４４で受光するようにした。 （もっと読む）

【課題】太陽電池の生産性の向上において製造タクトを短くすることは有効な手段であり、その製造タクトのうち搬送タクトを短くする。
【解決手段】搬送ベルト２は搬送方向に対し搬送角度（１°〜２°）を有しており、また、位置決めローラ３はウエハ４を揃えるために搬送装置１の片側のみに備えられ搬送方向と平行に並んでいる。よって、ウエハ４は搬送ベルト２により搬送方向に対して搬送角度を有して搬送され、ウエハ４の搬送中に、ウエハ４の位置決めローラ３側の側面を位置決めローラ３に当てることにより、ウエハ４を搬送方向に揃える。ここで、位置決めローラ３は自ら回転しているのではなく従動する。 （もっと読む）

【課題】基板を一時的に収納、保管するための大型基板収納装置において、ロボット等によるランダムアクセス可能で、基板収納効率が良く省スペースで、メンテナンスや目視確認実施を安全に行える基板収納装置を提供する。
【解決手段】多段の棚状の収納部を備え、任意の対象とする収納部にロボットハンド等の基板搬送装置により基板を一枚づつ一時的に収納・保管・払い出しを行う基板収納装置において、基板の格納／払い出し時に任意の対象とする収納部と該収納部上部の収納部間が開口してロボットハンド等の基板搬送装置がアクセス可能となる機構を備え、且つ、前記収納部のそれぞれは、ロボットハンド等の基板搬送装置と干渉しないスペースに所定の間隔で設けられた基板支持ピンを有する複数本の支持体が側壁フレームに横架され、前記支持体が個別の前記収納部毎に動くことで前記収納部毎の前記支持ピンが上下に可動な機構を備えている。 （もっと読む）

【課題】紫外線ランプを用いて粘着テープに紫外線を照射しても、粘着層の一部がテープから剥がれてゴミとしてワークに付着せずに粘着テープからのワークの剥離を容易に行うことができる露光器を提供する。
【解決手段】紫外線ランプ１２が収納される内部空間１１Ａを有する本体１１と、この本体１１の内部空間１１Ａに配置されワークＷが貼付された粘着テープＴをセットするフレーム１３Ａと、本体１１の内部空間１１Ａを冷却する冷却装置であるファン１４及びペルチェ素子１８とを備え、粘着テープＴの粘着力を瞬時に低下させるために紫外線を粘着テープＴに照射するとともに、紫外線ランプ１２から発生する熱を、ファン１４及びペルチェ素子１８で冷却することにより粘着テープＴへの熱伝達を妨げる構成とする。 （もっと読む）

【課題】ワークの種類に関わらずワークを精度よく搬送可能なワーク搬送方法およびワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】同心円周上に所定ピッチで複数個の貫通孔が形成さえた、保持面から僅かに突出したパッド７７を先端のＵ形の保持アーム３４に、さらに所定ピッチで複数個有し、当該パッド７７から保護シートに向けて圧縮空気を吹き付けて保持アーム３４の保持面と保護シートとの間に負圧を発生させて保護シートを浮遊させた状態で懸垂保持し、あるいは当該パッド７７で表面の回路の露出したウエハの裏面を吸着保持してそれぞれを搬送する。 （もっと読む）

【課題】ワークの裏面の擦り傷を防止し、また、静電気の発生を抑制する吸着装置および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】平坦面１０ａを有しワークを吸着する吸着穴１１が設けられたステージ１０と、ステージ１０の吸着穴１１に接続され負圧を発生させる減圧ポンプ１５と、環状の無終端となる多孔質ベルト２１が駆動ローラー２５と従動ローラー２６とに掛け渡されたベルト駆動装置２０と、を備え、駆動ローラー２５と従動ローラー２６との間にステージ１０が配置され、ワークの搬送方向と同じ方向に多孔質ベルト２１が駆動可能であり、多孔質ベルト２１がステージ１０に吸着され、多孔質ベルト２１を介してワークがステージ１０に吸着される。 （もっと読む）

【課題】アーム部自体の温度上昇を抑制して搬送精度を高く維持することが可能な搬送機構を提供する。
【解決手段】処理容器５６内で被処理体Ｗに熱処理を施す処理装置に対して被処理体を搬出入させる搬送機構において、複数のアーム９４、９６、９８を有して屈伸及び旋回が可能になされたアーム部３６Ａ、３６Ｂと、アーム部の先端に連結されて被処理体を保持するフォーク部３８Ａ、３８Ｂと、アーム部の内で処理容器内に侵入する部分に設けた熱遮蔽板１０４とを備える。これにより、アーム部自体の温度上昇を抑制して搬送精度を高く維持する。 （もっと読む）

【課題】 反りを有する薄板であっても簡易な構成により確実に高速搬送することができる薄板搬送装置を提供する。
【解決手段】 搬送体１１６と、搬送体１１６に設けられた一対の突状体１２１と、搬送体１１６の駆動により一対の突状体１２１を水平搬送する駆動手段とを備え、一対の突状体１２１間に平板状の薄板が保持される薄板搬送装置であって、一対の突状体１２１は、搬送方向に沿って互いに対向する傾斜面１２４をそれぞれ備え、傾斜面１２４には、複数の係止微細突起が傾斜方向に鋸歯状に連設されており、一対の突状体１２１の係止微細突起が薄板の搬送方向両側端面にそれぞれ当接して薄板を保持するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 より効率的に複数枚のウエハの供給作業および分離作業を行うことが可能なウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置を提供すること。
【解決手段】 ウエハ搬送装置Ａは、ウエハ群Ｗｆを支持する支持手段２と、支持手段２に支持されたウエハ群Ｗｆのうち少なくとも最上位に位置するウエハＷｆ１を送り出す送出手段４と、ウエハ群Ｗｆを保持可能な保持部材３３を有し、保持部材３３と支持手段２との距離が比較的遠くなる第１の状態と、保持部材３３と支持手段２との距離が比較的近くなる第２の状態と、を切り替え可能な保持手段３と、を備えており、保持手段３が上記第１の状態であるときに、保持部材３３にウエハ群Ｗｆを供給可能であり、保持手段３が上記第２の状態であるときに、ウエハ群Ｗｆを保持部材３３から支持手段２に移し替えることが可能なことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の変形および熱割れを防止することができる、薄膜形成システムおよび薄膜形成方法を提供する。
【解決手段】処理室の一つであり、基板１６を加熱する加熱装置、および、基板１６と加熱装置とを相対的に移動させる駆動装置が配置された加熱室３と、処理室の一つであり、加熱された基板１６に薄膜を形成するスパッタ装置２６が配置されたＺｎＯスパッタ室４と、駆動装置を操作する制御装置２２とを備えている。駆動装置は、加熱室３からの基板１６の搬送が不能となった際に、加熱室３内の基板１６と加熱装置とを相対的に移動させ続けるように制御装置２２により操作される。 （もっと読む）

【課題】極薄のウェーハを安全、簡単、確実かつ迅速に単離させることができ、かつ従来と比べて処理スピードが改善されたウェーハ単離方法及びウェーハ単離装置を提供する。
【解決手段】多数枚又は複数枚のウェーハが積層されたウェーハ積層体を液体中に浸漬させて準備するステップと、前記最上層のウェーハの一端部を吸着し、前記最上層のウェーハの他端部は吸着せずにおさえ、前記最上層のウェーハを水平方向で傾斜させる吸着ステップと、前記最上層のウェーハの下面と隣接する下側のウェーハの上面との間に流体を吹き込む流体吹き込みステップと、前記傾斜させた最上層のウェーハを、その傾斜の延長線上に沿って変位させて液中から前記最上層のウェーハを取出せしめるウェーハ変位ステップと、を含み、ウェーハを単離するようにした。 （もっと読む）

【課題】直動機構を用いることなくワークを出し入れすることができると共に、高速動作が可能で、かつ、低発塵、省スペース化に寄与する水平多関節ロボットおよびそれを備えた搬送装置を提供すること。
【解決手段】エンドエフェクタ２０、第１アーム３０、第２アーム４０に、さらに第３アーム５０を備え、第３アーム５０を揺動回転動作させることによって、例えば、アクセス位置Ｐ１の軸線Ｐ１ａの延長線上に第３回転軸Ｎ３がくるようにしてから直線状にエンドエフェクタ２０を移動させてワークの出し入れを行う。 （もっと読む）

【課題】ＵＶインクを用いる場合に起因する不具合の発生を防止した液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板に紫外線硬化型の液滴を吐出する液滴吐出ヘッド６０と、液滴が吐出された基板に紫外線を照射するランプ部を有する紫外線処理ユニット７と、紫外線処理ユニット７における基板入口７１ａ又は基板出口７１ａの開閉動作に対応させるようにランプ部のオンオフ動作を制御する制御部１０３と、を備えた液滴吐出装置３である。 （もっと読む）

【課題】振動が発生しても、ウェハの移動や破損を回避して正確に検査をすること。
【解決手段】ウェハが載置されて当該ウェハを搬送方向に搬送する第１搬送ユニットと、ウェハが載置されて当該ウェハを搬送方向に搬送し、当該ウェハに対し載置された状態で検査が行われる第２搬送ユニットと、前記第１搬送ユニット及び前記第２搬送ユニットの間に設置され、ウェハを前記第１搬送ユニットから前記第２搬送ユニットまでフローティングしつつ受け渡すフローティング方式の搬送ユニットと、前記フローティング方式の搬送ユニットの搬送方向に沿った側辺に設置され、ウェハを搬送方向に案内する案内ユニットと、を備える。 （もっと読む）

【課題】ＵＶインクを用いる場合において信頼性の高い吐出を行うことのできる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板に紫外線硬化型の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴が吐出された基板に紫外線を照射する紫外線処理部７０と、液滴吐出ヘッド及び紫外線処理部７０を収容する装置本体と、を備えた液滴吐出装置３である。紫外線処理部７０は、処理チャンバー７０ａと、処理チャンバー７０ａ内に収容され、紫外線を照射するランプ部７３を有している。ランプ部７３は、紫外線を照射するランプ７３ａと、ランプ７３ａを収容する筐体７３ｂと、筐体７３ｂ内の雰囲気を装置本体の外部に排気する排気手段７４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ検査の精度を向上させること。
【解決手段】ウェハを載置して当該ウェハを搬送する第１搬送ユニットと、前記第１搬送ユニットに隣接し、前記第１搬送ユニットにより搬送されたウェハを受け取り、当該ウェハを載置して当該ウェハを搬送する第２搬送ユニットと、前記第２搬送ユニットの上のウェハを検査する検査ユニットと、前記検査ユニットに連結されて、前記検査ユニットを前記第２搬送ユニットの上で移動させる駆動装置と、を備え、前記第２搬送ユニットがウェハの搬送を一時的に停止したとき、前記駆動装置が前記検査ユニットを移動させつつ前記検査ユニットが前記第２搬送ユニットの上のウェハを検査する。 （もっと読む）