【課題】 異常放電を防止できる基板搬送装置及びこれを用いた成膜装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置２は、駆動装置に接続されたシャフト２０と、このシャフトに固定部材２２を介して固定されたローラー２１とを備え、駆動装置によりシャフトを回転駆動させローラーを回転させて、ローラー上に載置された基板Ｓを搬送する基板搬送装置２であって、シャフトは導電性材料からなり、かつ、ローラーは絶縁体からなり、前記ローラーは、基板に当接して搬送するためのローラー部２３と、前記固定部材に固定され、前記ローラー部から突出した突出部２５とからなり、固定部材は、この突出部を覆うカバー部２６を有し、前記ローラーと前記シャフトとの間、並びに前記ローラーと前記カバー部との間に間隙が設けられている。成膜装置はこの基板搬送装置を備える。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板をエアコンベアで搬送する際に、エアによりガラス基板中央部が膨らむことを抑制して平面状に搬送する薄板状材料搬送方法及び装置を提供する。
【解決手段】薄板状材料搬送装置１０は、ガラス基板１２を、エアコンベア１６によって浮上させ、且つ、その幅方向両端においてサイド吸引駆動ユニット２２により吸引しつつ直進駆動ローラ２０により送り方向に駆動し、ガラス基板１２の幅方向中央部を、中央吸引ユニット２８により吸引して、中央駆動ローラ２６及び前側フリーローラ２７Ａと後側フリーローラ２７Ｂに接触させて、下方から水平に維持しつつ搬送する。 （もっと読む）

【課題】基板移送装置を提供する。
【解決手段】地面に対して平行に配される基板の少なくとも一領域を把持して、基板を強制に移送させる把持移送ユニットと、把持移送ユニットに隣接して配されて、基板を移送可能に支持する補助移送ユニットと、を含むことを特徴とする基板移送装置。本発明によれば、ノイズ発生及びパーティクルの発生を減らし、従来より効率的な構造で製作することができ、また基板に対する高速移送が可能である。 （もっと読む）

【課題】基板Ｗの搬送中における基板Ｗと浮上ユニット２３等との干渉を回避しつつ、浮上搬送装置１による基板Ｗの搬送効率を十分に高めること。
【解決手段】搬送方向に隣接関係にある搬送ローラ２３間に負圧を発生させるための負圧空間Ｓを区画する壁部材４１と、負圧空間Ｓに連通しかつ空気吸引源４９に接続された吸引パイプ４７と、を具備したこと。 （もっと読む）

【課題】搬送ローラを処理槽の外部からより確実に、かつ安定的に駆動する。
【解決手段】 基板処理装置は、基板搬送用の複数の搬送ローラ３０を内部に備えた処理槽１０と、搬送ローラ３０のローラ軸３０ａと同一軸線上に並ぶように処理槽１０の側壁１０３を隔ててその外側に配置されると共に磁気的作用により搬送ローラ３０と一体に回転する駆動軸５０と、当該駆動軸５０を駆動することにより処理槽１０の外側から非接触で搬送ローラ３０を回転駆動するモータ４２等を含む駆動手段とを備え、駆動軸５０および駆動手段が、前記処理槽１０を支持するための支持台１１側に支持されている。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で旋回半径を小さくすることができ、しかも搬送速度が大きい搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置１は、一方の端部Ａ、Ｂに第１及び第２の駆動軸１１、１２が同心状に配設された第１及び第２のアーム２１、２２を有する。第１及び第２のアーム２１、２２の他方の端部Ｃ、Ｄには、第３及び第４のアーム２３、２４の一方の端部Ｅ、Ｆが、支軸２３ａ、２４ａを中心としてそれぞれ回転自在に取り付けられている。第３及び第４のアーム２３、２４は、その他方の端部Ｇ、Ｈが、連結軸３０ａを中心として同心的に回転できるように構成されている。第２のアーム２２の駆動軸１２の回転動力を第３のアーム２３に伝達するための第１の動力伝達機構４と、第１のアーム２１の一方の端部Ｃにおける回転動力を連結軸３０ａに伝達するための第２の動力伝達機構５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板を水平状態にして連続的に搬送しながら、基板表面に処理液を均一に塗布あるいは浸漬して、短時間で均一な液処理を行う液処理装置および液処理方法を提供する。
【解決手段】基板をベルト搬送して処理液に浸漬すると共に、前記基板を液処理槽内の処理液中に投入する第一搬送ベルト１と、該第一搬送ベルトから移送される前記基板を処理液中を水平に搬送して処理液に浸漬する第二搬送ベルト２と、該第二搬送ベルトから前記基板を受け取り液処理槽から排出する第三搬送ベルト３とを設け、前記、第一、第二、第三搬送ベルトの搬送速度をそれぞれ異ならせた構成の液処理装置および液処理方法とした。 （もっと読む）

【課題】構造の大型化を防止しつつ、大型重量基板を安全且つ的確に搬送できるロボットを提供する。
【解決手段】本発明のロボット1は、基板が略水平に保持されるエンドエフェクタ22と、エンドエフェクタ22を垂直方向に駆動する垂直駆動手段18と、垂直駆動手段18を水平方向に駆動する水平駆動手段11と、水平駆動手段11を垂直方向の回転軸線17周りに回転駆動する回転駆動手段14と、を備える。垂直駆動手段18にエンドエフェクタ22の端部が接続される。水平駆動手段11に垂直駆動手段18の端部が接続される。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で基板移載装置による基板の移載が行い易い基板搬送設備を提供する。
【解決手段】収納容器２を、基板移載用の開口が形成され且つ内部に基板を複数枚収納する容器本体４１と、容器本体４１に対して着脱自在で容器本体４１に装着した状態において開口の全面を閉じる蓋部材４２とを備えて構成し、容器搬送手段１１１を、収納容器２を基板移載位置に下降移動させて搬送するように構成し、容器搬送手段１１１による収納容器２の基板移載位置への下降移動途中において蓋部材４２の被支持部１１９を受け止め支持して蓋部材４２を容器本体２から離脱させる受け止め支持体１２２を設ける。 （もっと読む）

【課題】コンパクトなレイアウトを採用可能とするロボットを備えた基板搬送システムを提供する。
【解決手段】本発明の基板搬送システムはロボット１を備え、その周囲に基板搬出入手段4及び基板処理装置5が配置される。ロボット1は、基板100が略水平に保持されるエンドエフェクタ22と、エンドエフェクタ22を垂直方向に駆動する垂直駆動手段18と、垂直駆動手段18を水平方向に駆動する水平駆動手段11と、水平駆動手段11を垂直軸線17周りに回転駆動する回転駆動手段と、を備える。垂直駆動手段18にエンドエフェクタ22の端部が接続され、水平駆動手段11に垂直駆動手段18の端部が接続される。 （もっと読む）

【課題】ガラス板表面を直接吸着パッドで吸着することなく、ガラス集合体からガラス板を取り出すことができるガラス板保護用合紙等を提供する。
【解決手段】通気性を有し、ガラス板１４上縁部がガラス板裏面側に傾くように、ガラス板移動装置１０に近接して配置される場合に、ガラス板１４表面を覆った状態でガラス板１４と交互に積層され、表面側からガラス板１４とともに吸着された状態で、ガラス板移動装置１０上に移動され、ガラス板１４から分離されるガラス板保護用合紙１５であって、一縁部側は、ガラス板１４がガラス板移動装置１０に近接して配置される場合にガラス板下縁部となるガラス板１４一縁部側の表面に対向して配置され、他縁部側は、ガラス板１４がガラス板移動装置１０に近接して配置される場合にガラス板１４上縁部となるガラス板１４他縁部側の表面側からガラス板１４裏面側に折り込まれ、ガラス板１４の一縁部を挟み込んだ構成とした。 （もっと読む）

【課題】水平多関節ロボットにおいて、高温基板搬送時の熱影響によるアームの姿勢変化を最小限に抑え、高精度な搬送を維持できるようにする。
【解決手段】ベルト１１１の張力を調整可能なテンション調整機構を有する水平多関節ロボットにおいて、テンション調整機構が、ベルト１１１に接触して張力を与えるアイドラ１３１と、アイドラ１３１を支持するとともにアームに対して第１支点１１９で回転可能に設けられたリンク１１８と、アームに対して第２支点１１７で回転可能に設けられ、リンク１１８の一部に接触するローラと、を備え、アームの温度上昇に伴って第１支点１１９と第２支点１１７とが離れると、リンク１１８がローラ１１７に接触しながら第１支点１１９で回転して張力を軽減するようにした。 （もっと読む）

【課題】搬送トラブルのおそれを防止することのできる基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】基板搬送装置Ｄのガイドプレート７には、複数の浮上用ガス噴出孔８，……，８が形成されている。すなわち、ガイドプレート７の上面には、搬送方向に直交する方向へ１列に８個、搬送方向に平行な方向へ１６列に配置された合計１２８個の円形ガス噴出孔８，……，８が形成されている。被処理物搬出室２におけるガイドプレート７には１枚の板状トレー５が載置されている。トレー５は、搬送方向に対して平行にされる両側縁がある長方形本体部５ａと、この本体部５ａにおける両側縁のそれぞれから部分的に外側へ張り出すように設けられて、トレー５が搬送用アーム２４によって搬送される際に搬送用アーム２４が当接状に係合／係合解除する合計６つの張出部５ｂ，５ｂ，５ｃ，５ｃ，５ｄ，５ｄとを有している。 （もっと読む）

【課題】搬送速度を上げて大型のガラス基板を梱包緩衝材ごと搬送したとしても、梱包緩衝材上においてガラス基板が滑るのを防止することが可能なガラス基板の搬送ユニット、及びこれらの搬送ユニットを連続配置した搬送装置、並びにガラス基板の搬送方法を提供すること。
【解決手段】通気性のない梱包緩衝材（２）を介してガラス基板（３）が載置される無端状ベルト（４）と、該無端状ベルトに形成された吸引孔（５）と、上面に前記無端状ベルトの吸引孔に対応する開口部（６１）を有し、前記無端状ベルトの内側に設けられた真空チャンバ（６）と、該真空チャンバ内を負圧状態にする真空発生源（７）とを備えてなることを特徴とするガラス基板の搬送ユニット（１）とする。 （もっと読む）

【課題】搬送速度を上げて大型のガラス基板を梱包緩衝材ごと搬送したとしても、梱包緩衝材上においてガラス基板が滑るのを防止することが可能なガラス基板の搬送ユニット、及びこれらの搬送ユニットを連続配置した搬送装置、並びにガラス基板の搬送方法を提供すること。
【解決手段】通気性のある梱包緩衝材（２）を介してガラス基板（３）が載置される無端状ベルト（４）と、該無端状ベルトに形成された吸引孔（５）と、上面に前記無端状ベルトの吸引孔に対応する開口部（６１）を有し、前記無端状ベルトの内側に設けられた真空チャンバ（６）と、該真空チャンバ内を負圧状態にする真空発生源（７）とを備えてなることを特徴とするガラス基板の搬送ユニット（１）とする。 （もっと読む）

【課題】板状ワークの移送時間および移送に要するスペースの低減化を図る。
【解決手段】板状ワークの移送設備１０は、多関節を有する一連の可動アーム１３を有し、一連の可動アーム１３の先端に板状ワーク３の一面を保持取得するための保持部２３を設けた多関節ロボット１１を備え、この多関節ロボット１１により、取得位置４に供給された板状ワーク３の供給側の下面３ａを保持して、下面３ａとは反対側の上面３ｂを載置位置の載置面２６に載置するように構成される。取得位置４と載置位置とは対向配置されると共に、対向空間９の側方に多関節ロボット１１が配置される。多関節ロボット１１は、一連の可動アーム１３の旋回・屈伸運動により板状ワーク３を取得位置４から対向空間９上を通って載置位置まで移送する動作を行い、かつ、この移送動作の一部で板状ワーク３の上面３ｂを載置面２６に載置するための反転動作を兼ねるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】クロスエリア搬送制御システム及びその制御方法を提供する。
【解決手段】第一搬送整合システム１と、第二搬送整合システム２とは、異なるエリアにあり、第一搬送整合システム１と、第二搬送整合システム２とは、互いに電気的に接続され、且つ、第一搬送整合システム１は、さらに、クロスエリア制御システム４に電気的に接続され、クロスエリアストッカー３は、クロスエリア制御システム４と、第二搬送整合システム２に電気的に接続される。上述のシステム機構は、クロスエリア制御システム４が、独立して設置されるため、あるエリアの製造執行システムが故障停止した時でも、クロスエリアシステムは、正常に処理運転を行い、ウェーハが、クロスエリア伝送するときに影響を受け、停止することがない。 （もっと読む）

【課題】この発明は傾斜して搬送される基板の傾斜方向下端面を支持するガイドローラによって基板に欠けが生じるのを防止した搬送装置を提供することにある。
【解決手段】第１のアーム３７と第２のアーム３８が設けられたアーム体３５、第１のアームが基板の搬送方向の上流側に位置するようアーム体の基部を揺動可能に支持した支持体３２、第１のアームの先端部に設けられた第１のガイドローラ３９、第２のアームの先端部に設けられた第２のガイドローラ４０を有し、第１、第２のガイドローラによって基板の傾斜方向の下側の端面を支持して基板の搬送ローラによる搬送をガイドするガイド手段３１を具備し、第１のガイドローラが搬送される基板の搬送方向先端部の傾斜方向の下側の端面を受けたとき、アーム体は基板の搬送方向上流側に向かって揺動し、その状態で第２のガイドローラが基板の搬送方向先端部の傾斜方向の下側の端面を受けたとき、アーム体は基板の搬送方向下流側に揺動する。 （もっと読む）

【課題】粘着力を低下させた粘着テープから被着体を簡単に効率よく剥離できる治具および剥離方法を提供することである。
【解決手段】粘着力を低下させた粘着テープを被着体と共に挟持搬送する上側平ベルト１６，下側平ベルト１５と、上側平ベルト１６，下側平ベルト１５を介して配置された上部シャフト１１，下部シャフト１０と、を備え、上部シャフト１１の軸心１１ａを下部シャフト１０の軸心１０ａより粘着テープの搬送方向下流側に位置させ、かつ上部シャフト１１，下部シャフト１０を相対的に押し付けて、下側平ベルト１５を下部シャフト１０の表面および上部シャフト１１の表面にそれぞれ沿わせ、下側平ベルト１５の表面に凸曲面部２６，凹曲面部２７をこの順に形成する剥離用治具２０および剥離方法。 （もっと読む）

【課題】平流しの搬送ライン上で被処理基板に供給した第１の処理液を分別回収して第２の処理液に置き換える動作を効率よくスムースに行い、現像斑の発生を抑制する。
【解決手段】水平な搬送路を有する第１の搬送区間Ｍ１と、上り傾斜の搬送路を水平な搬送路から形成可能な第２の搬送区間Ｍ２と、第２の搬送区間Ｍ２が上り傾斜の状態で、第２の搬送区間Ｍ２に続く下り傾斜の搬送路を形成する第３の搬送区間Ｍ３とを含む平流しの搬送ライン２と、搬送体６を駆動する搬送駆動部と、第１の搬送区間Ｍ１内で基板Ｇ上に第１の処理液Ｄを供給する第１の処理液供給部９と、第３の搬送区間Ｍ３内で基板Ｇ上に第２の処理液Ｗを供給する第２の処理液供給部１３と、第２の搬送区間Ｍ２に被処理基板Ｇが載置された状態で、該第２の搬送区間Ｍ２に敷設された搬送体６を上昇移動させ、第１の搬送区間Ｍ１に続く上り傾斜の搬送路を形成する昇降手段とを備える。 （もっと読む）