【課題】高耐圧の半導体装置であって、パルス的に変化する高基準電位のＯＦＦ直後においてもデッドタイムが発生しない、安価な半導体装置を提供する。
【解決手段】ｎ個（ｎ≧２）のＭＯＳトランジスタ素子Ｔｒ_１〜Ｔｒ_１２が、ＧＮＤ側を第１段、電源側を第ｎ段として、順次直列接続されてなり、第１段を除いた各段のＭＯＳトランジスタ素子Ｔｒ_２〜Ｔｒ_１２におけるゲート端子が、直列接続された各段の抵抗素子Ｒ_１〜Ｒ_１２の間に、それぞれ、順次接続されてなり、第１段を除いた少なくとも中央より低段のＭＯＳトランジスタ素子Ｔｒ_２〜Ｔｒ_６におけるゲート端子が、直列接続された各段の容量素子Ｃ_１〜Ｃ_１２の間に、容量素子側をアノードとしゲート端子側をカソードとしたダイオード素子Ａ_２〜Ａ_６を介して、それぞれ、順次接続されてなる半導体装置２２とする。 （もっと読む）

【課題】 相互かみ合い型導電線を有するキャパシタ構造体ならびにそれを製造する方法を提供する。
【解決手段】 相互かみ合い型構造体は、少なくとも１つの第１の金属線と、少なくとも１つの第１の金属線に平行で、しかも少なくとも１つの第１の金属線から分離されている少なくとも１つの第２の金属線と、少なくとも１つの第１の金属線の端部に接触し、しかも少なくとも１つの第２の金属線から分離されている第３の金属線とを含むことができる。少なくとも１つの第１の金属線はいずれの金属ビアにも垂直に接触しないが、少なくとも１つの第２の金属線は少なくとも１つの金属ビアに垂直に接触することができる。相互かみ合い型構造体の複数の層を垂直に積み重ねることができる。代わって、相互かみ合い型構造体は、複数の第１の金属線と複数の第２の金属線を含むことができ、それぞれの金属線はいずれの金属ビアにも垂直に接触しない。キャパシタを形成するために、回転の有無を問わず、相互かみ合い型構造体の複数の実例を横方向に複製し接合するか、あるいは垂直に積み重ねるか、またはその両方を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 入出力部の電源配線の近傍にバイパスコンデンサを配置する場合、ＬＳＩの端子数が多くなると、バイパスコンデンサを配置するための領域を確保することが困難になる。
【解決手段】 半導体基板の表面に、電子回路素子が形成されている電子回路領域が画定される。半導体基板の上に、一方に基準電位が印加され、他方に電源電圧が印加される第１及び第２の配線が配置される。シールリングが、電子回路領域を取り囲むように、半導体基板の上に配置される。シールリングは、第１の配線に電気的に接続される。第１の不純物拡散領域が、シールリングよりも内側において、半導体基板の表層部に形成される。第１の不純物拡散領域の上に誘電体膜が配置される。誘電体膜の上に、シールリングに電気的に接続され、導電材料で形成されたキャパシタ導電膜が配置される。 （もっと読む）

【課題】微細加工技術の進展に対応可能であって、設計自由度が高く、かつ効率よく容量素子を形成することが可能な半導体装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る半導体装置１は、半導体基板２の上方に形成された配線層Ｍ１と、平面視上の形状が粒状に配設され、上方側において配線層Ｍ１と接続されるように当該配線層Ｍ１から下層方向に延在し、かつ第１電極からなるコンタクトプラグ１０（Ａ）と第２電極からなるコンタクトプラグ１０（Ｂ）とを備え、隣接する第１電極からなるコンタクトプラグ１０（Ａ）と、第２電極からなるコンタクトプラグ１０（Ｂ）間において、容量を形成するようにした容量素子領域Ｒｂを具備する。また、容量電極の取り出し口となる配線層を、異なる配線層により構成する。 （もっと読む）

【課題】 従来の比例縮小側（係数α、α＞１）を適用した平面型ＭＯＳＴのしきい電圧のばらつきの標準偏差σ（Ｖ_Ｔ）が、微細化とともに、すなわちαを大きくするとともに大きくなり、動作電圧が低くできないという問題がある。
【解決手段】 フィンの高さをチャンネル長よりも高くしたＦｉｎＦＥＴ構造によって上記の問題を解決する。 （もっと読む）

【課題】回路を形成する領域を確保しつつ、十分な耐圧、容量を備えた容量素子を備える半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置は、ＤＲＡＭセルのキャパシタ上部電極１９と、上部電極１９の下方に形成されたキャパシタ下部電極１７とを含む情報記憶部と、情報記憶部へのアクセスを制御するアクセストランジスタとを有するメモリセルと、アクセストランジスタに接続され、情報記憶部にデータの書き込み又は読み出しを行うビット線１６と、アクセストランジスタのゲート電極に接続され、アクセストランジスタを制御するワード線と、キャパシタ上部電極１９の上方に形成された第１金属配線２１と同一層からなる上部電極２３と、キャパシタ上部電極１９と同一層の下部電極２２とを有し、メモリセルが形成された領域外に形成された容量素子とを備える。 （もっと読む）

【課題】新たな工程を追加することなく信頼性の高い半導体装置およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】半導体素子を表面側に有する基板１１と、半導体素子を覆うように基板１１に積層された第１絶縁膜１２と、第１絶縁膜１２を厚さ方向に貫通する貫通孔の内面に積層されたバリア導電層１３を介して貫通孔内に埋め込まれたコンタクトプラグ１４と、第１絶縁膜１２の表面に形成されてコンタクトプラグ１４を介して半導体素子と電気的に接続された１種類以上の機能層とを備え、前記機能層は、バリア導電層１３の材料と同じ材料からなり第１絶縁膜１２の表面の所定領域に積層された第１バリア導電層１３と、第１バリア導電層１３上に、直接積層されるか、または第２絶縁膜１５を介して積層されるか、またはそれらの両方の形態で積層された第２バリア導電層１６と、第２バリア導電層１６に積層された導電層１７とを有してなることを特徴とする半導体装置。 （もっと読む）

【課題】半導体基板に素子と貫通電極とが形成された半導体装置の製造方法において、貫通電極からの銅による素子の汚染を防止できる方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１０と、それに形成された素子ＺＤと、半導体基板１０を貫通するスルーホールＴＨと、半導体基板１０の両面側及びスルーホールＴＨの内面に形成されて、素子ＺＤを被覆する絶縁層１２とを備えた構造体を用意する工程と、スルーホールＴＨ内に貫通電極２０を形成する工程と、貫通電極２０を被覆する第１バリア金属層３０ａを形成する工程と、素子ＺＤの接続部に到達するコンタクトホールＣＨ１を形成する工程と、コンタクトホールＣＨ１内の素子ＺＤの接続部の自然酸化膜を除去する工程と、第１バリア金属層３０ａを利用して、貫通電極２０に接続される第１配線層４０と、コンタクトホールＣＨ１を通して素子ＺＤの接続部に接続される第２配線層４０ａとを形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】欠陥の発生を防止し且つ電気的特性に優れた強誘電体キャパシタを用いた半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】第１の導電層４０を形成し、第１の導電層４０の表面に酸化膜１０を形成し、酸化膜１０を大気にさらし、酸化膜１０を、減圧下且つ第１の温度で減圧加熱処理し、減圧加熱処理された酸化膜１０を大気にさらすことなく、減圧下且つ第１の温度よりも低い第２の温度で、非晶質の第１の誘電体層４１を酸化膜１０上に形成し、第１の温度よりも高い第３の温度で、非晶質の第１の誘電体層４１を結晶化する。 （もっと読む）

【課題】 信号線の形成位置に関わらず、信号線とＭＩＭ構造のキャパシタ１１との間で発生する寄生容量が抑制できるようにする。
【解決手段】 ＭＩＭ構造のキャパシタ１１と、絶縁膜１２ａ，１２ｂを介してＭＩＭ構造のキャパシタ１１を挟む、少なくとも一対の遮蔽部１３ａ，１３ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】容量素子を構成する第１電極及び第２電極を形成するためのリソグラフィ工程で重ね合わせズレが生じた場合にも容量ばらつきを抑制できる半導体装置を提供する。
【解決手段】複数の配線層Ｌ１〜Ｌ５のそれぞれは、絶縁膜１０３〜１０６と、当該絶縁膜中に相互に離隔し且つ向かい合うように埋め込まれた第１電極１０１及び第２電極１０２とを有する。一の配線層の第１電極１０１と、その上方又は下方に設けられた他の配線層の第２電極１０２とは相互に向かい合うように配置されている。一の配線層の第１電極１０１の幅と、他の配線層の第２電極１０２の幅とは異なっている。 （もっと読む）

【課題】容量素子のサイズの増大化を生ぜしめることなく、しかも製造工程数を増加させずに、極めて容量の大きい容量素子を容易に得ることができ、微細化及び高集積化の要請に応えることが可能な電子装置を実現する。
【解決手段】通常の容量絶縁膜の成膜温度よりも高い４３０℃以上５００℃以下の範囲内の成膜温度で、下部電極膜１上に絶縁材料を堆積して、下部電極膜１の上面との間で微細な隙間２ｂを複数有し、隙間２ｂに伴って上面２ａが凹凸状とされた誘電体膜２を形成する。 （もっと読む）

【課題】容量値としての変動（ばらつき）が細密構造に比べて小さいデバイス構造を設計する。
【解決手段】多層配線の各配線に関するパラメータを統計的処理で変化させた複数のデバイス構造に対する総容量値、線間容量値および層間容量値を算出する。次いで、複数のデバイス構造の中から、デバイス構造間における総容量値の差分が例えば０．１以下でかつ総容量値に対する線間容量値の比と総容量値に対する層間容量値の比の差分が例えば０．０１以内のデバイス構造を特定する。そして、この特定したデバイス構造についてのパラメータを、容量素子を形成する多層配線の各配線のパラメータとする。 （もっと読む）

【課題】基板の面内方向のばらつきに関わらず、素子の特性値の設計値からのずれを低減する。
【解決手段】半導体装置１００は、基板に形成され、それぞれ、長軸方向と短軸方向とを有する所定パターンの膜を含み、基板の面内方向の同一層に分散配置された複数の分割素子（２００ａまたは２００ｂ）を含む。複数の分割素子は、第１の方向において隣接する分割素子の膜の長軸方向が異なるか、または、第１の方向において隣接する分割素子が、第１の方向と直交する第２の方向に、当該第２の方向における分割素子の長さよりも小さい量だけずらして配置される。 （もっと読む）

【課題】平板表示装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板と、ＴＦＴ活性層と、キャパシタの第１下部電極及び第１下部電極上に形成されたキャパシタの第１上部電極と、第１絶縁層と、チャンネル領域に対応する領域に順次に形成されたゲート下部電極及びゲート上部電極と、キャパシタの第１上部電極に対応する領域に順次に形成されたキャパシタの第２下部電極及び上部電極と、画素下部電極及び画素下部電極を露出させるように画素下部電極エッジの上部に配された画素上部電極と、活性層のソース及びドレイン領域を露出させるコンタクトホール、及び画素上部電極エッジの一部を露出させるビアホールによって貫通される第２絶縁層と、第２絶縁層上に形成され、コンタクトホール及びビアホールを通じて、ソース、ドレイン領域及び画素上部電極と接続するソース及びドレイン電極と、を備える平板表示装置。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の製造歩留りを向上させる。
【解決手段】素子分離領域２を含む半導体基板１上に多結晶シリコン膜７と絶縁膜８を形成してパターニングし、多結晶シリコン膜７かならる下部電極１１ａ，１１ｂおよび下部電極１１ａ，１１ｂ間のダミーパターン１２を形成する。下部電極１１ａ，１１ｂおよびダミーパターン１２とそられの上に形成された絶縁膜８を覆うように多結晶シリコン膜１７を形成し、多結晶シリコン膜１７上にキャップ保護膜を形成する。キャップ保護膜上に反射防止膜およびフォトレジストパターンを形成し、フォトレジストパターンをエッチングマスクとして用いて反射防止膜、キャップ保護膜および多結晶シリコン膜１７を順次ドライエッチングすることで、下部電極１１ａ，１１ｂ上に容量絶縁膜としての絶縁膜８を介して多結晶シリコン膜１７からなる上部電極２１ａ，２１ｂを形成してキャパシタ３６ａ，３６ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】キャパシタ構造において、電極間を流れる電流を抑制しつつ電極間の絶縁層を極限まで薄層化する。
【解決手段】ゲート電極Ｓｉ層１０と対向する電極としてのチャネルＳｉ層３０との間に所望の電圧を印加した際に、少なくともどちらか一方の電極物質でキャリアが存在しうるエネルギー範囲に存在する両電極物質の全エネルギーバンドについて、少なくとも片方の電極の該当エネルギーバンドの一部に関して、対向して配置した面の面方向の運動量の一致するエネルギーバンドがもう一方の電極の同一エネルギーのエネルギーバンドに存在しないように接合面及び接合面に垂直な軸に関する相対的回転角度を選択することで、電極間のキャリアの透過を抑制する。本発明のキャパシタ構造では、面方向の運動量が一致しないエネルギーバンドが存在するため、このエネルギーバンドが関与するキャリアの透過による電流を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】ＰＩＮダイオードとＭＩＭキャパシタとを備え、その製造工程の短縮を可能とする構造を有する半導体装置を提供する。
【解決手段】ＧａＡｓ基板１０Ａ上に、オーミック電極４２ａ、４４ａを備えたＰＩＮダイオードと、下側電極４５と上側電極４８ｃとの間に誘電体層４６が介在するＭＩＭキャパシタとが設けられた半導体装置であって、ＰＩＮダイオードは、ＧａＡｓ基板１０Ａ上に設けられたｎ型半導体層３２およびｐ型半導体層３８と、ｎ型半導体層３２上に設けられた第１のオーミック電極４２ａと、ｐ型半導体層３８上に設けられた第２のオーミック電極４４ａとを具備し、下側電極４５は第１のオーミック電極４２ａと同じ構造を有し、かつ、ＧａＡｓ基板１０Ａと下側電極４５との間には絶縁膜４０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】段差上に被覆された被エッチング膜を大幅にオーバーエッチングすることなく、エッチング残渣を除去することができるとともに、下地酸化膜を薄膜化することができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】配線パターンが形成された半導体基板上に酸化膜を被覆する工程と、酸化膜上に導電材料の被エッチング膜を被覆する工程と、炭素を含まず硫黄を含む化合物を添加して、被エッチング膜を酸化膜に対して選択性を持たせつつプラズマエッチングしてパターニングする工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】外部からの電気的な干渉が十分に低減されるとともに、所望の特性を発揮する容量素子が形成される半導体装置、を提供する。
【解決手段】半導体装置は、主表面１ａを含む半導体基板１と、主表面１ａ上に規定された容量形成領域２２に形成され、所定の方向に延在する複数の配線１１と、容量形成領域２２の周縁に配置された配線１１ｐに隣り合い、所定の方向に延在し、電位固定された複数の配線１２と、主表面１ａ上に形成され、複数の配線１１の各々の間と、隣り合う配線１１および配線１２の間とを充填する絶縁体層５とを備える。複数の配線１１および１２は、主表面１ａに平行な平面２１内においてほぼ等しい間隔を隔てて配置され、かつ所定の方向に対してほぼ直角方向に並んで配置されている。 （もっと読む）