説明

Fターム[5F053PP03]の内容

半導体装置を構成する物質の液相成長 (5,002) | 前処理・後処理 (287) | 熱処理・アニールを行うもの (150)

Fターム[5F053PP03]に分類される特許

41 - 60 / 150



【課題】蒸着法よりも一般に容易な溶液法を用いて、縮合多環芳香族化合物からなる有機半導体層の形成を可能にする新規な付加化合物を提供する。
【解決手段】ジナフトチエノチオフェン等の化合物に、ヘキサクロロシクロペンタジエン等の二重結合を有する化合物が脱離可能に付加されてなる構造を有する新規な付加化合物を提供する。また、このような新規な付加化合物を用いて、有機半導体膜、及び有機半導体デバイスを製造する方法を提供する。また更に、このような新規な付加化合物の合成方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】塗布法によって、In−Ga、In−Zn、Zn−Ga、In−Ga−Zn、Zn−Alの酸化物薄膜を、組成ずれを起こさず簡便に形成することの出来る塗布溶液を提供する。
【解決手段】
式(I)に示すβ−ジケトン錯体であって配位子1つの炭素数が10以上のIn、Ga、Al、Znの単一金属のβ−ジケトン錯体から構成される単一金属のβ−ジケトン錯体を、少なくとも2種以上を含む溶液を塗布溶液に用いる。
【化1】


(式中R、RがそれぞれC、H、N、Oの少なくとも1種以上からなる置換基であり、MがIn、Ga、Zn、Alのいずれかであり、MがIn、Ga、Alのいずれかである場合はn=3であり、MがZnである場合はn=2である) (もっと読む)


【課題】本発明は、薄膜材料となる微粒子を分散した液体を、被処理部材の表面に塗布して薄膜を製造する方法であって、均一な薄膜を製造する方法の提供を目的とする。
【解決手段】金属または半導体を含む薄膜の製造方法であって、溝(または凹部)4を有する被処理部材10の表面に、金属の微粒子、半導体の微粒子、金属の酸化物を含む微粒子、および半導体の酸化物を含む微粒子、のうちの少なくともいずれかを溶媒中に分散した液体8を塗布する塗布工程と、被処理部材10の表面に塗布した液体8の溶媒を揮発させる第1の熱処理工程と、マイクロ波を照射することにより、溶媒を揮発させた液体8に分散された微粒子を加熱し、液体8に含まれる微粒子または液体8に含まれる微粒子の成分で溝(または凹部)4を埋める第2の熱処理工程と、を備えたことを特徴とする薄膜の製造方法が提供される。 (もっと読む)


【課題】CZTS系半導体からなる光吸収層の上に良好な特性を持つCdSバッファ層を形成することが可能なCZTS系半導体用バッファ層の製造方法、このような方法に用いられるCZTS系半導体用CBD溶液、及び、このような方法により得られるバッファ層を備えた光電素子を提供すること。
【解決手段】酢酸カドミウム、硫黄源、及び、硫化物合成助剤を含むCZTS系半導体用CBD溶液。CZTS系半導体用CBD溶液に、CZTS系半導体層が形成された基板を浸漬し、前記CZTS系半導体層の表面にCdS膜を形成するCBD工程と、前記CdS膜を200℃以下で熱処理する熱処理工程とを備えたCZTS系半導体用バッファ層の製造方法。本発明に係る方法により得られるバッファ層を備えた光電素子。 (もっと読む)


【課題】CZTS系半導体やCIGS系半導体などの光吸収層の上に良好な特性を持つCdSバッファ層を形成することが可能な光電素子用バッファ層及びその製造方法、並びに、このような方法により得られるバッファ層を備えた光電素子を提供すること。
【解決手段】カドミウム塩、硫黄源、及び、硫化物合成助剤を含むCBD溶液に、光吸収層が形成された基板を浸漬し、前記光吸収層の表面にCdS膜を形成するCBD工程と、前記CdS膜を、酸化雰囲気下において200℃超350℃以下で熱処理する熱処理工程とを備えた光電素子用バッファ層の製造方法、及び、この方法により得られる光電素子用バッファ層。本発明に係る方法により得られるバッファ層を備えた光電素子。 (もっと読む)


【課題】光配向の感度が良好であり、高耐熱性によるキャリア移動度安定性を実現すると共に、有機半導体分子の高レベルでの異方的配向による優れたキャリア移動度を発揮可能な有機半導体配向膜を形成し得る有機半導体配向用組成物を提供する。
【解決手段】下式(1)及び(2)で表される化合物に由来する基からなる[A]光配向性基を有するポリオルガノシロキサン化合物を含有する有機半導体配向用組成物。
(もっと読む)


【課題】金属酸化物半導体粒子の分散性を改善することによって所望の性能を有する金属酸化物半導体薄膜を安定して形成することが可能な金属酸化物半導体粒子分散組成物を提供する。更に、該金属酸化物半導体粒子分散組成物を用いた薄膜トランジスタを提供する。
【解決手段】金属酸化物半導体粒子、溶媒及び分散剤を含有する金属酸化物半導体粒子分散組成物であって、前記金属酸化物半導体粒子は、Zn、Ga、In、Sn、Al、Sb、Cd及びFeからなる群より選択される少なくとも1種の金属の酸化物を含有し、かつ、平均粒子径が1〜100nmであり、前記分散剤は、アニオン性極性基を有する有機化合物である金属酸化物半導体粒子分散組成物。 (もっと読む)


本発明は、少なくとも1つの基体、少なくとも1つの誘電体および少なくとも1つの半導体金属酸化物を含有する電子構造部品、殊に電界効果トランジスタ(FETs)の製造法に関し、この場合有機変性された酸化ケイ素化合物をベースとする、殊にシルセスキオキサンおよび/またはシロキサンをベースとする前記誘電体またはその前駆体化合物は、溶液から処理可能であり、室温ないし350℃の低い温度で熱処理され、および前記半導体金属酸化物、殊にZnO、またはその前駆体化合物は、同様に溶液から室温ないし350℃の低い温度で処理されうる。
(もっと読む)


【課題】p型半導体の性能を持つ酸化銅(I)膜の製造方法および該膜作成用の溶液の製造方法を提供する。
【解決手段】アンモニア、アミン化合物から選ばれる1種以上の化合物と銅アミノポリカルボン酸錯体、銅ポリカルボン酸錯体から選ばれる1種以上の銅のキレート錯体が極性溶媒に溶解している酸化銅膜を形成せしめるに適した溶液を基材表面に塗布した後、不活性ガス中にて300℃〜700℃で1分から3時間の熱処理することにより、p型半導体の性能を持つ酸化銅(I)膜を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】所望の厚みの半導体層を容易にかつ良好に作製することが可能な半導体層の製造方法および光電変換装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】半導体層の製造方法は、金属元素と、カルコゲン元素含有有機化合物と、第1のルイス塩基性有機化合物と、前記第1のルイス塩基性有機化合物とは異なる構造の第2のルイス塩基性有機化合物と、を具備する半導体層形成用溶液を基板の表面に塗布して前駆体層を作製する工程と、前記前駆体層を熱処理して半導体層3を作製する工程と、を具備する。 (もっと読む)


本発明は、一般式Sia2a+2(式中、a=3〜10)の少なくとも1種のヒドリドシランから製造可能な少なくとも1種の高級シランを基板上に塗布し、引き続き熱的に、主にシリコンからなる層に変換し、その際、この高級シランの熱的変換は500〜900℃の温度でかつ≦5分の変換時間で行う、基板上にシリコン層を熱的に製造する液相法、前記方法により製造可能なシリコン層及びその使用に関する。 (もっと読む)


【課題】高スループット低資本コストで、半導体材料の薄膜製作を可能にする方法を提供する。
【解決手段】化学式Cu2−xZn1+ySn(S1−zSe4+qの化合物を含むケステライト膜を堆積する方法を提供する。ここで、0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、−1≦q≦1である。本方法は、ヒドラジン、Cuの供給源、並びにSおよびSeの少なくとも一つの供給源を接触させて溶液Aを形成するステップと、ヒドラジン、Snの供給源、SおよびSeの少なくとも一つの供給源、並びにZnの供給源を接触させて分散液Bを形成するステップと、Zn含有固体粒子を含む分散液を形成するのに十分な条件の下で、溶液Aおよび分散液Bを混合するステップと、この分散混合液を基板上に塗付し、基板上に分散混合液の薄膜を形成するステップと、ケステライト膜を形成するのに十分な温度、圧力、および時間長でアニールするステップと、を含む。また、上記の方法で形成されたケステライト膜を含むアニール組成物および光起電デバイスを提供する。 (もっと読む)


【課題】塗布形成により薄く、かつ深さ方向に焼結が進行した半導体膜を製造することができる半導体膜の製造方法、その方法により得られた半導体膜を有する半導体基板、及び該半導体基板を備えた電子部材を提供する。
【解決手段】基材上に、半導体微粒子分散体を含む塗布液を塗布又はパターン状に印刷して塗布液層を形成した後、この塗布液層を焼成処理して半導体膜を形成する半導体膜の製造方法であって、該半導体微粒子分散体が半導体微粒子とカルボン酸無水物類とを含み、マイクロ波エネルギーの印加により発生する表面波プラズマに該塗布液層を晒すことにより、該塗布液層の焼成処理を行うことを特徴とする半導体膜の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】有機半導体フィーチャの堆積性能が改善されたプロセスを提供する。
【解決手段】1つ又はそれ以上の有機半導体を含む液体組成物を準備し、液体組成物を、第1の温度における非ニュートン型から第2の温度におけるニュートン型へ変換し、変換された液体組成物を基板上に堆積させて1つ又はそれ以上の半導体フィーチャを形成するステップを含む、半導体フィーチャを形成するプロセス。 (もっと読む)


【課題】 半導体膜を曲げても半導体膜の剥がれが生じにくい可撓性を有した半導体膜の製造方法、当該製造方法によって得られる半導体膜および当該製造方法によって得られる半導体膜を具備してなる色素増感太陽電池を提供することを目的とする。
【解決手段】 第1の導電性基材上に、半導体微粒子とバインダーとを含む溶液を塗布し、該塗布液を乾燥させた後、20〜40MPaの圧力を加え、該圧力と並行して130〜300℃の範囲内で加温することにより、半導体層を形成することを特徴とする半導体膜の製造方法。 (もっと読む)


【課題】塗布法を適用したより簡便な方法で導電性の高いコンタクト層とイントリンシックなシリコン層とを積層させた構成のシリコン薄膜を得る方法を提供する。
【解決手段】鎖状の高次シラン化合物Bと、金属Mを含有する化合物と、高次シラン化合物Bよりも沸点が低く金属Mと相互作用する化合物からなる溶媒Cとを混合した塗布液を調整する。塗布液を用いて基板1上に塗布膜3を形成する。塗布膜3中から溶媒Cを除去して乾燥させる。この際塗布膜3を加熱する。これにより、表面側において金属Mの含有量が多いシリコン薄膜5を形成する。 (もっと読む)


【課題】金属性薄膜を簡単な製造設備で安価に製造することが出来、光電変換特性に富んだ導電性薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】貯室33内にある金属化合物(金属単体を含む;以下同様)の溶液をノズル3から噴霧する際に、前記ノズル3とステージ2との間に高電圧を印加する事で、アバランシェ増倍現象によって帯電させた液滴微粒子を生成する。これを飛翔させて基板上に膜層を形成し、この膜層に光、熱などのエネルギーを付加して結晶化させる。この場合に、金属及び/又は金属化合物は、その分子量が500以下であり、原溶液の溶融粘度は、25℃の環境下で0.3mPa・s乃至10mPa・sで、モル濃度が0.0001乃至0.1モル/リットルであることを特徴とする。これによってノズルから噴霧された金属化合物の液滴微粒子は非繊維状粒子の状態で基板に堆積され、微粒子状態で結晶化される。 (もっと読む)


IV族系ナノ粒子流体が開示される。ナノ粒子流体が、ナノ粒子流体の約1重量%〜約20重量%の量において存在する一群のナノ粒子を構成する一群のIV族原子を含有する。また、ナノ粒子流体は、ナノ粒子流体の約0重量%〜約5重量%の量において存在する一群のHMW分子を含有する。さらに、ナノ粒子流体は、少なくとも一部のキャッピング剤分子が一群のシリコンナノ粒子に結合している一群のキャッピング剤分子を含有する。
(もっと読む)


【課題】
反応性の単分子膜で被覆したシリコンナノ微粒子を用いたシリコンペーストを選択的に塗布し、レーザー照射することにより、単分子膜を分解除去し、微粒子から再結晶化されたポリシリコン薄膜を用いてTFTを形成することを特徴とする。
【課題を解決するための手段】
表面に共有結合した第1の反応性官能基を含む有機膜で被われたシリコン微粒子と、表面に共有結合した第2の反応性官能基を含む有機膜で被われたシリコン微粒子を有機溶媒中で混合して第1のシリコン微粒子ペーストを作成する工程と、
前記シリコン微粒子ペーストを基板表面に塗布する工程と、
硬化する工程と、
真空中または不活性ガス雰囲気中でレーザー照射してポリシリコン化する工程により、n(またはp)型のポリシリコン薄膜を製造する。
(もっと読む)


41 - 60 / 150