【課題】非反証制御の考え方をオフラインでの制御系設計に適用し、制御ゲインの最適値を計算によって求め得るようにして、設定の容易化を図るとともに、多入力多出力系にも適用可能な画期的な方法を提供する。
【解決手段】制御対象（プラント）Ｐにステップ入力等を加えたときの入出力応答データを少なくとも１つ採取する（ステップＳ１）。このデータに基づいて所定数以上の仮想の入出力応答データを生成し（Ｓ２，Ｓ３）、これらをそれぞれ反証演算式に代入してパラメータ空間に所定数以上の非反証領域を規定する（Ｓ４）。反証演算式を線形制約式とすることで、所定数以上の非反証領域の積集合の領域において制御ゲインの最適値を計算により求めることができ（Ｓ５）、多入力多出力系にも適用可能になる。 （もっと読む）

【課題】パラメータ調整の工数を削減する。
【解決手段】ＰＩＤパラメータ調整装置１は、制御対象に一定振幅の操作量を繰り返し出力するリミットサイクルを発生させて、操作量の出力に応じた制御応答とＡＴ係数に基づきＰＩＤパラメータを算出してＰＩＤ制御機器２に設定するＡＴ実行部４と、検出された制御応答の情報を記憶するＡＴ情報記憶部６と、ＡＴ係数を記憶するＡＴ係数記憶部５と、ＰＩＤパラメータの再設定を行うことを指示するＡＴ再設定信号を生成するＡＴ再設定信号生成部９と、ＡＴ再設定信号が入力されたときに、記憶されている制御応答の情報とＡＴ係数記憶部５に記憶されているＡＴ係数に基づきＰＩＤパラメータを算出してＰＩＤ制御機器２に設定するＰＩＤパラメータ値再設定部１０とを有する。 （もっと読む）

【課題】ＥＥＰＲＯＭ等の不揮発性メモリが寿命に到達する確率を低く抑える。
【解決手段】ＰＩＤ制御機器は、パラメータの最新値を記憶するＲＡＭ３と、パラメータの確定値を記憶するＥＥＰＲＯＭ４と、ＲＡＭ３またはＥＥＰＲＯＭ４への書込み／読出しを行う書込／読出部５とを有する。書込／読出部５は、ＰＩＤパラメータの設定変更操作以外の操作を検出する操作検出部５０と、操作検出部５０がＰＩＤパラメータの設定変更操作以外の操作を検出したときに、ＲＡＭ３に記憶されているＰＩＤパラメータの最新値を確定値としてＥＥＰＲＯＭ４に書き込む書込処理部５１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】制御機器のオートチューニングにおいて確実に必要な回数だけ操作量を上下動させる。
【解決手段】パラメータ調整装置１は、制御対象に一定振幅の操作量ＭＶを繰り返し出力するリミットサイクルを発生させるＡＴ実行部３と、操作量ＭＶの出力に応じた制御量ＰＶの上下動幅を検出する上下動検出部４と、制御量ＰＶの上下動幅の増幅の停止と上下動幅の減衰の停止とを別個に確認できたときに、オートチューニングを完了可能な状況であると判定するＡＴ完了可否判定部５と、操作量ＭＶの出力に応じた制御量ＰＶの応答に基づきＰＩＤパラメータを算出してＰＩＤ制御機器２に設定するＰＩＤパラメータ値算出部７とを有する。ＡＴ実行部３とＰＩＤパラメータ値算出部７とは、オートチューニングを完了可能な状況であると判定された後に、オートチューニングを終える。 （もっと読む）

【課題】通常時は操作量の急変を抑制し、外乱抑制時などの緊急時には必要とされる操作量の急変を抑制しないようにする。
【解決手段】制御機器は、外部から入力された制御量目標値ＳＰ_nの変化率の変化率を上限値と下限値の範囲内に制限する上下限処理を行い、上下限処理後の制御量目標値ＳＰ_n’を算出する目標値変化量変化量制限部３と、算出された制御量目標値ＳＰ_n’と制御量ＰＶとの偏差に基づいて操作量ＭＶを算出して制御対象に出力するＰＩＤ制御演算部４とを備える。 （もっと読む）

【課題】波動歯車減速機を備えたアクチュエータの角度伝達誤差に含まれている非線形弾性変形成分を効果的に抑制可能な補償方法を提案すること。
【解決手段】波動歯車減速機付きアクチュエータの角度伝達誤差に含まれる非線形弾性変形成分は、モータ軸の回転方向が変化した際に、可撓性外歯歯車の弾性変形により発生する角度伝達誤差の成分であるので、モータを正弦波状に駆動し解析を行うことができる。この解析結果から得られた非線形弾性変形成分モデル（非線形モデル）を用いて、モータ制御装置内にその補償のための関数あるいはデータを記憶させ、非線形弾性変形成分補償（θ_Hys）をフィードフォワード補償用の補償入力（Ｎθ^*_TE）として、モータ軸角度指令（θ^*_M）に加える。この結果、非線形弾性変形成分（θ_Hys）を効果的に低減でき、アクチュエータの位置決め精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】デジタル制御化されたＰＩＤ制御装置の制御動作を低振動化および低騒音化し、制御精度を向上させる。
【解決手段】デジタルＰＩＤ制御装置であって、制御対象１の現在のアナログ状態量を検出する検出器２と、現在のアナログ状態量を現在のデジタル状態量に変換するＡＤ変換器１１と、制御対象１の目標のデジタル状態量と現在のデジタル状態量との差分である偏差量を入力とし、制御対象１に対するデジタル操作量を生成するデジタルＰＩＤ制御手段９とを備え、デジタルＰＩＤ制御手段９は、偏差量の絶対値が設定値以下の場合には偏差量を抑圧して出力する積分用不感帯部１２および微分用不感帯部１３のうち少なくとも一方を備え、積分用不感帯部１２の出力に対するデジタル積分演算及び微分用不感帯部１３の出力に対するデジタル微分演算のうち少なくとも一方の演算を実行することによりデジタル操作量を生成する。 （もっと読む）

【課題】電流値の総和を制限する。
【解決手段】優先側上限処理部Ｌ＿ＭＨ1と非優先側上限算出部Ｃ＿ＭＨ2と優先側上限算出部Ｃ＿ＭＨ1 とは、コントローラＰＩＤ1，ＰＩＤ2から出力される操作量出力ＭＶ1 ，ＭＶ2 の総和が制御装置全体の操作量出力上限値ＭＴ1以下となるように抑制する。一方、総電流値算出部Ｃ＿ＣＴaは、操作量出力ＭＶ1 ，ＭＶ2に応じて２個のヒータに流れる電流値の総和である総電流値を算出し、総操作量値算出部Ｃ＿ＭＴaは、操作量出力ＭＶ1，ＭＶ2の総和である総操作量値を算出する。全体操作量出力上限値算出部Ｃ＿ＭＴ1は、総電流値と総操作量値とから制御装置全体の操作量出力上限値ＭＴ1を修正する。 （もっと読む）

【課題】冷却制御において、適切な制御パラメータを得られるようにする。
【解決手段】加熱冷却制御において、加熱側のオートチューニングは、期間Ｔ１において、１００％のステップ状の加熱操作量を印加してステップ応答波形から加熱側のＰＩＤゲインを算出し、冷却側のオートチューニングは、期間Ｔ３において、５０％以下である３０％のステップ状の冷却操作量を印加して冷却側のＰＩＤゲインを算出するようにしている。これによって、水冷のような非線形特性を示す冷却方式の場合に、１００％の冷却操作量を印加して冷却側のＰＩＤゲインを算出する従来例に比べて、より正確に制御対象の特性を同定して、適切な冷却制御の制御パラメータを求めることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ハンチングの発生を確実に回避する。
【解決手段】ＰＩＤパラメータ調整装置１は、リミットサイクル式のオートチューニング（ＡＴ）によりＰＩＤパラメータを算出してＰＩＤ制御装置２に設定するＡＴ実行部３と、ＰＩＤ制御装置２がＰＩＤパラメータに基づいて制御対象に対する制御を開始した後に、制御量ＰＶにハンチングが発生した場合に、ハンチングを抑制すべくＰＩＤパラメータを修正するハンチング抑制部５と、制御の整定状態を検出したときに、ハンチング抑制部５によるハンチング検出とハンチング抑制とを終了させる整定検出部６と、ＰＩＤ制御装置２の修正前のＰＩＤパラメータと修正後のＰＩＤパラメータとの変化比率に基づき、ＡＴ実行部３の算出係数を修正するＡＴ算出係数修正部７とを有する。 （もっと読む）

【課題】十分な経験や専門的知識のないユーザーであっても、短時間で最適な制御性を得ることができるとともに、各定数の変更の仕方が適切でないために却って制御性を悪化させることを防止することもでき、ユーザーにとって使い勝手のよい弁制御装置を提供する。
【解決手段】検出される温度（過熱度）Ｔshと、目標温度（過熱度）Ｔsとが一致するように、膨張弁４の弁開度を制御する弁制御装置８であって、検出温度と目標温度との偏差ｅ(t)を求め、少なくともこの偏差と、設定された制御パラメータ（ＰＢ、Ｔｉ、Ｔｄ）とを演算式に代入して弁開度の変化量ｍ（ｔ）を求めるとともに、制御パラメータを自動的に設定するオートチューニング手段と、オートチューニング手段で設定された制御パラメータを用いて求めた弁開度の大きさを、設定された制御レベルに応じて段階的に調整する制御レベル調整手段とを備える弁制御装置８等。 （もっと読む）

【課題】エラー制御信号はしばしばそれ自身がエラーを有し、所定の周波数範囲においてしか信頼できない。
【解決手段】サーボ制御ループを用いてリソグラフィ装置のエラー制御モジュールの位置を制御する方法、システムおよびコンピュータプログラムが説明される。システムは、フィルタと、フィルタとつながれ制御信号を受け取るサーボコントローラと、サーボコントローラとつながれエラー制御モジュールの位置を制御するアクチュエータと、を有する。フィルタは、サーボ制御ループの前段において、制御信号の振幅と位相を所望の周波数範囲で変調することによって、制御信号をフィルタする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、予測モデルの特性が実際のプラントの特性と相違する場合でも、プラントの制御特性を良好に維持できるプラントの制御装置を提供する。
【解決手段】本発明のプラントの制御装置は、プラントに対する操作信号を生成する操作信号生成手段と、プラントの特性を模擬するモデルと、モデルで模擬した出力信号が予め設定された目標を満足するようにモデルの入力信号を生成する学習手段と、学習手段での学習結果に従って学習信号を計算する学習信号生成手段とを備え、更に、ある操作信号及び更新した操作信号をプラントに与えた結果として取得した該プラントの第１の計測信号及び第２の計測信号とその目標値との誤差である第１の誤差及び第２の誤差をそれぞれ計算する操作結果評価手段と、第２の誤差が第１の誤差よりも大きい場合に操作信号生成手段で生成する操作信号の補正信号を生成する補正信号生成手段とを備えるように構成した。 （もっと読む）

【課題】制御パラメータの調整テストを適切に終了させることが可能な制御パラメータ調整システムを提供する。
【解決手段】制御パラメータ調整システムは、制御パラメータ調整装置１０とテスト監視装置２０とを備える。テスト監視装置２０は、予め定められた終了条件を満たす場合、制御パラメータ調整装置１０にテスト終了信号を送出する。制御パラメータ調整装置１０は、テスト監視装置２０からテスト終了信号を受信した場合、該テスト終了信号受信時に算出された制御パラメータを制御装置６に適用する。 （もっと読む）

【課題】加熱冷却制御において、１回のオートチューニングによって、加熱側および冷却側の制御パラメータを得られるようにすることを目的とする。
【解決手段】加熱側の比例帯が２位置制御によるリミットサイクル波形の設定温度ＳＰを基準とした昇温側の振幅Ａｕｐに比例する加熱側の算出式、および、冷却側の比例帯が、前記リミットサイクル波形の設定温度ＳＰを基準とした降温側の振幅Ａｄｏｗｎに比例する冷却側の算出式をそれぞれ用いて、加熱側の比例帯および冷却側の比例帯を算出するようにしている。 （もっと読む）

【課題】パラメータの調整を少ない試行回数で実現する制御パラメータ調整装置を得る。
【解決手段】大きくすると指令追従性を向上させる追従性パラメータを第一の間隔で順次変化させて位置決め制御を行い整定特徴量を測定し、この整定特徴量が許容値を超えない領域に属する追従性パラメータ、及び許容値を超える領域に属する追従性パラメータを求め、二つから決定される領域を精探索の範囲とし、この範囲を、第一の間隔よりも小さい第二の間隔で追従性パラメータを増加或いは減少させ、増減の度に位置決め制御を行い、整定特徴量を測定して適切な制御パラメータを探索する。 （もっと読む）

【課題】温度制御などにおいて、干渉の強い制御対象であっても、ハンチング等が生じない安定な制御を可能とする。
【解決手段】各チャンネルのコントローラＣ１，Ｃ２の比例ゲインを、各チャンネル間の干渉を考慮して、操作量を変化させたチャンネルのみの検出温度の応答に基づいて求められる比例ゲインよりも小さな比例ゲインとしている。 （もっと読む）

【課題】ＰＩＤ調節器のパラメータの調節にかかる手間を軽減しつつ、複数の制御対象間で起こる干渉を考慮した制御を実現する。
【解決手段】伝達関数行列パラメータ同定手段１６は、操作量ＭＶの時系列データと、操作量ＭＶに応じて制御対象１３から出力される制御量ＰＶの時系列データに基づいて、予め構造が設定された制御対象１３を表現する伝達関数行列のパラメータを同定し、ＰＩＤパラメータ計算手段１５は、伝達関数行列パラメータ同定手段１６にて同定された伝達関数行列のパラメータに基づいて、制御対象１３を制御するＰＩＤ調節器１２のパラメータを計算し、モデル予測制御パラメータ計算手段１４は、伝達関数行列パラメータ同定手段１６にて同定された伝達関数行列のパラメータに基づいて、ＰＩＤ調節器１２の設定値ＳＶ_PIDをモデル予測制御にて制御するパラメータを計算する。 （もっと読む）

【課題】熟練を要することなく、ＰＩＤパラメータを適正に調節できるようにする。
【解決手段】複数伝達関数パラメータ同定手段１４は、制御対象１３に入力される操作量ＭＶの時系列データと、操作量ＭＶに応じて制御対象１３から出力される制御量ＰＶの時系列データに基づいて、予め構造が設定された制御対象１３を表現する複数の伝達関数のパラメータを同定し、適合率計算手段１５は、その伝達関数による制御量ＰＶの推定値と、制御対象１３から出力された制御量ＰＶの実測値との適合率を計算し、最良適合率伝達関数選択手段１６は、適合率計算手段１５にて計算された適合率の最も良い伝達関数を制御対象１３のモデルとして選択し、最適ＰＩＤパラメータ探索手段１７は、最良適合率伝達関数選択手段１６にて選択された伝達関数を対象として、予め決められた評価指標が満たされるようにＰＩＤパラメータを探索する。 （もっと読む）

【課題】流量の測定を必要とせず呼吸システム内の温度測定に依拠する信頼性のあるPIDフィードバック制御を提供すること。
【解決手段】呼吸システム(10)のために設けられる加熱器システム(16)は、PIDフィードバック制御(100)を有し、PIDフィードバック制御(100)では、ウォームアッププロセスなどの際に係数が調整され、係数は、流量または湿度レベルを直接監視することを必要とせずに、温度目標値に関する熱入力と熱出力の間の差に基づいて、加熱された水(27)のチャンバ(20)を通る気体の推定流量に対応するように調整される。目標値に関する測定された温度の挙動に基づく係数の定常状態調整もまた開示される。 （もっと読む）