【課題】追尾性能を改善する。
【解決手段】天頂から一定の距離よりも離れた第１範囲に移動体がある場合には、角度と追尾誤差検出値とを使用して、移動体を追尾するように第１回転手段および第２回転手段を駆動する第１角速度指令値を計算する第１計算手段と、天頂から一定の距離以内の第２範囲に移動体がある場合には、角度と追尾誤差検出値とを使用して、移動体の移動方向を推定する推定手段と、角度と追尾誤差検出値と移動方向とを使用して、天頂特異点を回避しながら移動体を追尾するように第１回転手段および第２回転手段を駆動する第２角速度指令値を計算する第２計算手段と、第１範囲に移動体がある場合には第１角速度指令値と角速度との差がなくなるように、移動体が第２範囲にある場合には第２角速度指令値と角速度との差がなくなるように、第１回転手段および第２回転手段を駆動制御する制御手段と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料と副ステージを確実に密着させても、試料を破損する危険の少ないステージ装置の制御方法を提供する。
【解決手段】試料９を載置する主基台１と、主基台１に対向配置された副基台７と、副基台７上のアクチュエータ６と、副基台７からバネで吊り下げられるアクチュエータ６によって制御される副ステージ８と、副基台７と前記副ステージ８との間の距離を計測する距離センサとを備え、試料９の厚さ方向の公差を接触時最大位置決め誤差と定義したとき、アクチュエータ６の各出力推力制限値ＦＬ[ｐ]を、予め求めた試料が存在しない場合の各出力推力に試料９が許容する押し当て力を加えた値とするステップと、副ステージ８の位置許容偏差を副ステージ８に設定された位置許容偏差に接触時最大置決め誤差を加えた値とするステップ等の５ステップより試料９にアクチュエータ６が接触したと判断する。 （もっと読む）

【課題】ステージの姿勢制御を優先して行う際に、位置決め制御の性能低下を可能な限り防止することができる位置決め装置を提供する。
【解決手段】位置決め装置１は、Ｘ方向及びＹ方向に推力を発生する平面モータ１１と、平面モータ１１が発生する推力によってＸ方向及びＹ方向への移動及びＺ軸周りの回転が可能なステージ１２と、Ｘ方向及びＹ方向のうちの予め設定された優先方向について、Ｚ軸の周りにステージ１２を回転させる推力を平面モータ１１に優先的に発生させる制御を行う制御装置２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】手動による煩わしさやミスの発生を無くして、制御手段の誤差データとモータユニットとを正しく適切に対応させるモータ回転制御システムを提供する。
【解決手段】モータ２１と、このモータ２１の回転角度を検出するレゾルバ２２とを含むモータユニット２と、このモータユニット２に対して交換自在な状態で電気的に接続され、レゾルバ２２により検出される検出角度と実角度との誤差データ２４を用いてレゾルバＩの検出角度から実角度を特定し、特定した実角度に基づいてモータ２１の回転を制御する制御手段３とを具備してなり、モータユニット２は、誤差データ２４を予め記憶するモータ側メモリ２３を備え、制御手段３は、実角度の特定時に用いる誤差データ２４を記憶する制御側メモリ３５を備え、両メモリの記憶に基づいてモータ側メモリ２３の誤差データ２４を取り込んで、制御側メモリ３５へ記憶する。 （もっと読む）

【課題】機械要素の増加を抑えつつバックラッシュによる影響を低減できるサーボ制御システムおよび作業機械を提供する。
【解決手段】サーボ制御システム８０は、回転体４に連結された第１の歯車７１と、第１の歯車７１と噛み合い、第１の歯車７１を駆動する第２の歯車７２と、第２の歯車７２を駆動する旋回用電動機２１と、旋回用電動機２１の動作を制御する旋回駆動制御部４０とを備え、旋回駆動制御部４０は、旋回用電動機２１の出力トルクを制限するための旋回制限部４１を有しており、旋回制限部４１は、旋回用電動機２１の静止状態から回転動作への移行、旋回用電動機２１の回転速度の減速、または旋回用電動機２１の回転方向の変更を行う際に、第１の歯車７１及び第２の歯車７２におけるバックラッシュ幅を第２の歯車７２が移動する際に要する時間に相当する所定時間が経過するまでの間、旋回用電動機２１の出力トルクを制限する。 （もっと読む）

【課題】工作機械の個体差や経年変化の影響を回避可能な機能を有する工作機械の数値制御装置を提供する。
【解決手段】加工プログラムに従って可動部を駆動するモータを駆動し、ワークに加工を行う工作機械を制御する数値制御装置において、加工プログラム名を読み込み、前回実行加工プログラム名を読み込み、加工プログラムを変更したか否かを判断する（ＳＡ１〜ＳＡ３）。変更した場合、最適制御パラメータを初期値に設定し、変更していない場合、設定された最適制御パラメータを読み込み、加工プログラムのブロックを読み込み、解釈し、実行し、早送り指令か否かを判断する（ＳＡ４〜ＳＡ７）。早送り指令の場合には、可動部重量推定フラグＦＬをオンし、加工プログラムの終了か否か判断し、加工プログラムが終了の場合には、実行した加工プログラム名と設定された最適制御パラメータを不揮発性メモリに記憶して処理を終了する（ＳＡ８〜ＳＡ１１）。 （もっと読む）

【課題】
位置制御周期が変動しても原点信号と位置関係に悪影響を及ぼすことのないモータ制御装置と位置制御方法を提供する。
【解決手段】
位置制御部は、位置制御周期をモータ位置生成時刻増分値で除し、予め設定された第１位置制御ゲインを乗じて第２位置制御ゲインを生成する第２位置制御ゲイン生成部（２１）と、位置指令増分値と第１位置制御ゲインを乗じた値からモータ速度増分値と第２位置制御ゲインを乗じた値を減算し、さらに前回の速度指令を加算して新たな速度指令とする速度指令生成部（２２）と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】垂直軸や外力が掛かる状況で大きなストロークで使用する電動機が含まれる複数軸の軸間を含む機械特性を多軸伝達関数として測定するとともに、制御器の安定度を把握し、機械特性に合わせた軸間を含めた制御器の調整度合いを把握できる相互一巡開ループ伝達関数を算出する電動機制御装置および該装置の相互一巡開ループ伝達関数算出方法並びに多軸伝達関数算出方法を提供する。
【解決手段】複数軸の電動機制御装置において、自己一巡開ループ伝達関数算出部８と、相互一巡開ループ伝達関数算出部９と、機械特性演算部１１と、特性演算部１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ユーザに繁雑な作業を強いることなく高い位置決め精度を実現することができ、モータの加速度を変えても位置決め精度の悪化を招くことがない位置決め装置を提供する。
【解決手段】位置決め装置１は、平面モータ１０に駆動されてＸＹ面内で移動可能なステージ２０と、平面モータ１０によるステージ２０の駆動を制御するモータ制御装置３０とを備えており、モータ制御装置３０は、ステージ２０が移動している状態における平面モータ１０の電流推力特性に合わせた駆動電流Ｃ１〜Ｃ３を平面モータ１０に供給する。 （もっと読む）

【課題】 従来からユニット間データを送受する際に用いられているバス（システムバス）を利用し、同期制御専用のバスを持たせることなく同期制御機能を実現すること
【解決手段】 ＣＰＵユニットは、通常のサイクリックに行う処理実行中にタイマ割り込みが入ると、その処理を中断し、同期制御を行う他の同期ユニットに対してシステムバスを用いて同期データを一斉同報で送信する。同期ユニットは、一斉同報による同期データを受信したことを契機として同期サイクルを実行し、その同期サイクルの開始に伴い、受信した同期データを取得し、入出力処理を実行後、ＩＮデータの同期データのリフレッシュ処理（ａ）を行う。ＣＰＵユニットは、そのＩＮデータの同期データリフレッシュを行い（ｂ）、同期割り込みタスク処理により次に送信する同期データを求める（ｃ）。同期ユニットは、常に最新の同期データを取得し、同時に動作する。 （もっと読む）

【課題】作業状況の変化によって生じるアクチュエータの制御パラメータの変化量を高精度で推定することができるパラメータ推定装置を提供する。
【解決手段】コントローラ６は、フィードバックループのゲインを測定するループゲイン測定手段２３と、ループゲイン測定手段２３により測定されたゲインが一定となるように該ゲインの調整値を決定するゲイン交点制御手段２４と、ゲイン交点制御手段２４により決定されたゲインの調整値から、アクチュエータ５の制御パラメータの規定値に対する変化量を推定するパラメータ推定手段２８とを備える。 （もっと読む）

【課題】ポジションタンデム制御のモータ制御装置においてプリロードを付加することで、ショックを抑えることができるサーボ制御装置を提供する。
【解決手段】１つの被駆動体を駆動する２台のモータ１５，２５と、位置偏差値を演算処理して速度指令値を出力する位置制御部１１，２１と、速度指令値と速度検出器１７，２７から帰還される速度フィードバック値とに基づいて積分要素と比例要素で処理してトルク指令値を出力する速度制御部１２，２２と、トルク指令値に基づきモータの駆動電流を制御する電流制御部１３，２３と、速度制御部１２，２２の一方の積分要素の出力を他方の積分要素にコピーする速度積分器共通化手段５と、２台のモータ間のバックラッシュを抑制するために、各々のトルク指令値にそれぞれプリロードトルク値を付加する補正部６を備え、補正部は時定数回路を有し、プリロードトルク値を所定時定数に基づき徐々に付加する。 （もっと読む）

【課題】回転軸である追従軸が回転軸である被追従軸に同期する制御を行う同期制御装置を提供すること。
【解決手段】追従軸ｘの速度Ｖｃが被追従軸ｙの速度Ｖｐ（目標速度）に到達した時、１回転の移動量で丸めた目標位置との遅れ量を挽回するために更に加速してから減速させる制御を行う。追従軸ｘの速度Ｖｃが被追従軸ｙの速度Ｖｐ（目標速度）に到達した時、追従軸ｘの１回転の移動量で丸めた被追従軸ｙに対する目標位置との遅れ量は面積Ｓ４で表され、追従軸ｘを時間ｔ５まで加速しその後時間ｔ６まで減速する。従来方式による追従軸ｘの加減速方法に比較し、同期完了までの時間が（ｔ４−ｔ６）の長さ短縮されている。また、追従軸ｘの最大速度Ｖｃｍａｘも従来方式に比べて遅い速度である。 （もっと読む）

【課題】ロータリーエンコーダなどを追加することなく既存ラインシャフト式輪転印刷機に同期させて増設シャフトレス式輪転印刷機の高精度同期位置制御を実現すること。
【解決手段】電動機駆動制御装置８は、ラインシャフト（機械軸）１１に設けられたパルスジェネレータ（ＰＧ）９が出力する速度位置パルス信号６と速度指令３に基づき電動機１３を制御しラインシャフト１１の速度が速度指令に一致するよう制御する。速度パルス信号６はコントローラ２１で周波数がｎ（ｎ＞１）倍され、折機が一回転する毎に近接スイッチ１９から出力される機械位相信号２０とともにシャフトレス輪転印刷機の同期位置制御装置２３に送られる。各同期位置制御装置２３は、コントローラ２１の出力及び機械位相信号２０とロータリーエンコーダ２５の出力の速度位置検出信号２６及び近接スイッチ３２の出力の機械位相信号３３に基づき各電動機２４の高精度同期位置制御を行う。 （もっと読む）

【課題】二重ジンバル機構においてインナージンバルとアウタージンバルの駆動制御を行う制御装置に関し、アウタージンバルとインナージンバル間の衝突や視軸変動の発生を抑止する。
【解決手段】アウタージンバルとインナージンバルを有する二重多軸ジンバルの駆動制御を行う制御装置であって、ジョイスティク５１からのアウター用基準指令値とアウター速度センサ２４の出力値との偏差であるアウター偏差値に基づきアウタージンバルを駆動制御するアウター制御部６０Ａと、中心角度指令値とインナー角度センサ３６の出力値との偏差であるインナー偏差値とに基づきインナージンバルを駆動制御するインナー制御部７０Ａと、ジョイスティク５１から指向操作によりアウター用基準指令値が入力されている時、前記インナー偏差値をアウター制御部６０Ａに反映させる補正手段（差角指令補償器８２,加算器８３）を設ける。 （もっと読む）

【課題】工作機械等に適用するサーボ制御装置において、送り機構や機械要素で発生する捩れや撓みに起因する遅れや振動を抑制する。
【解決手段】制御回路２０，３０と電流制御部３とサーボモータ１と送り機構１０とテーブル２を含むサーボ制御系Ｉの周波数特性を測定する。しかも、テーブル２の移動範囲を多数に区分した各区間に対応して周波数特性を測定する。この周波数特性と逆特性となっている逆周波数特性を、各区間毎に求める。そして、実作業時には、テーブル２が位置している区間に対応した逆周波数特性をディジタルフィルタ１２１に設定する。そうすると、ディジタルフィルタ１２１とサーボ制御系Ｉを合わせた伝達関数が１となり、送り機構や機械要素で発生する捩れや撓みに起因する遅れや振動を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】工作機械のサーボモータ駆動軸の位置制御装置において、駆動系を含む構造体を支持固定する機械構造物の剛性が低い場合や、リニアスケール等を用いて検出を行っている負荷位置よりも先の部分に剛性の低い要素を含む場合などで、高加減速駆動した時、機械系において撓みによる変位を生じ、加工ワークと工具先端部との間において相対的な軌跡誤差が発生する。さらに、機械姿勢によって機構剛性が変化するため、発生する撓み量の大きさが変化する。
【解決手段】機械系の撓みにより生じる工具先端部での変位量を推定し、補償する。さらに、その推定量の算出にあたり、機構剛性に相当するパラメータを機械姿勢に基づき可変とすることにより、工具先端の軌跡が、加工ワークに対し常時所望の動きと一致するように駆動する。 （もっと読む）

【課題】サーボシステムの現在位置がインポジション幅に入ったか否かに関係なく、次動作に移行することのできるサーボシステムの停止制御方法等を提供する。
【解決手段】シーケンスコントローラ８０からの指令により、移動対象物を、目標位置での偏差であるインポジション幅１０２に停止させるサーボシステムの停止制御方法であって、移動対象物の停止応答の過渡状態における減衰振動動作に対し、インポジション幅１０２を設定するインポジション幅設定工程と、設定したインポジション幅１０２を通過する減衰振動動作の通過回数を設定する通過回数設定工程と、通過回数をカウントする通過回数カウント工程１１２と、カウントした通過回数が、設定した通過回数になったときに、シーケンスコントローラ８０に停止動作完了信号を出力する完了信号出力工程１１３と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 モータを駆動する場合に機械系に発生する機械共振の抑制機能を向上させる。
【解決手段】 モータ１の速度を検出する検出器２と、該検出器からの速度検出値とモータの速度指令値ω_ｓとの差を演算する演算器５と、前記差に基づいてモータのトルク指令値を生成する速度制御手段６と、前記トルク指令値に応じてモータを制御するトルク制御手段８を含む閉ループ制御系を備えたモータ制御装置に適用される。更に、モータを加振させる信号を発生するための信号発生器１２と、前記信号を前記トルク指令値に重畳する加算器１３と、第１、第２のノッチフィルタ７、１０とこれらの係数を修正してノッチ周波数を更新する調整器１１を含む適応ノッチフィルタとを備え、前記調整器は、前記ノッチ周波数の更新結果に応じてスイッチ１４をオン、オフして前記加算器への前記信号の供給をオン、オフする。 （もっと読む）

【課題】基板保持装置と、作業ヘッドと、その作業ヘッドと基板保持装置に保持された回路基板とを相対的に移動させる相対移動装置とを含む対基板作業装置において、作業ヘッドに作動，停止を繰り返させる際の衝撃や振動を抑制する。
【解決手段】相対移動装置を、作業ヘッドと基板保持装置との一方を保持して移動可能な可動部材と、駆動源を備えて可動部材を駆動する駆動装置と、可動部材の加速度を０から増加させた後、０まで減少させて、その可動部材の移動速度を０から増加させ、後に、加速度を０から減少させた後、０まで増加させて、移動速度を０まで減少させ、可動部材を第１位置から第２位置へ作動させるように駆動源を制御する制御装置とを含むものとし、制御装置を、可動部材の加速度を増加させる期間である加速度増加期間と減少させる期間である加速度減少期間とにおいて加加速度を非対称に制御する非対称制御部を備えたものとする。 （もっと読む）