【課題】 複数のモータで同一方向の座標軸を駆動する機械に対して、汎用的な電機品を用いて各軸間相互に加わる無効反力を抑制すると共に、作業位置に対する同期制御を高精度に行なう同期制御装置を提供する。
【解決手段】 位置指令１２１を生成する位置指令生成部２１と、２台の位置情報１３１，１４１に基づいてＸＹ軸座標系である作業位置１２２を演算し、位置指令１２１と作業位置の一方の軸座標系位置１２２との差に基づいて新たな位置指令１２５を演算する第１の位置制御系を有する指令装置２と、新たな位置指令１２５と位置情報１３１，１４１との差に基づいてモータを駆動する指令を演算する第２の位置制御系をそれぞれ有する２台のモータ制御装置３，４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】移動量及び動作を開始して終了するまでの時間の入力を受け付けることにより、自動的に移動軌跡データ及び速度データを生成して工作機械の動作を制御することができる数値制御装置及び数値制御方法を提供する。
【解決手段】移動量データ及び移動時間データの入力を受け付け、入力を受け付けた移動量データ及び移動時間データに基づいて、制御対象の移動軌跡を示す移動軌跡データ及び速度の変化を示す速度データを生成する。生成した移動軌跡データ及び速度データに基づいて、工作機械の各軸を駆動するサーボモータの動作を制御するサーボデータを出力する。 （もっと読む）

【課題】発電をより適切に行うことができるようにする。
【解決手段】掃除機１００の筺体は、側面１０２によって、八角形が形成される。その側面１０２の内側は、山型の形状をなしている。つまり、各上面１０１は、側面１０２側から中央に向かって高くなるような、互いに異なる方向を向く斜面として形成される。各上面１０１に設置される太陽電池ユニット１１１が、互いに異なる方向に向くので、光が一方向から照射されると、ユニット間で発電量に偏りが生じる。掃除機１００は、各太陽電池ユニット１１１の発電量を比較することにより、どの方向から光が照射されているのか把握する。移動制御部１５１は、移動機能部１７１を制御して掃除機１００の筺体を、光の照射方向に向かう方向に移動させる。本発明は、例えば、発電装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】可動体に載せられる物体の重さの影響を排除できる位置決め機構を提供すること。
【解決手段】固定体３と固定体３に対して移動する可動体２とからなる装置において、可動体２の一方に設けられ、固定体３に向って延出する係止具４１を有する凸部材４と、固定体３に設けられ、二箇所の突出部であるピン５１，５１を有し、位置決めの際にピン５１とピン５１との間に係止具４１が嵌入することによって可動体２を固定部３に対して位置決めすることができる凹部材５と、係止具４１をピン５１とピン５１との間から離脱させる変位手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、特定の速度域において最適となるように調整された制御ゲインがその速度域以外では最適な制御ゲインとならないことに起因する速度の不安定性を解消でき、制御の応答性を向上できる自動ドア駆動制御装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明による自動ドア駆動制御装置では、フィードバック速度制御部３２は、自動ドアのドア体を開閉するモータ１０への入力電圧２０ａを、速度指令４３ａと検出開閉速度６０ａとに基づいて制御することで、ドア体の開閉速度制御を行う。ゲイン変更部３３は、ドア体の現在位置４２ａに応じてゲイン変更指令３３ａをフィードバック速度制御部３２に入力して、フィードバック速度制御部３２の開閉速度制御の制御ゲインを変更する。 （もっと読む）

【課題】減速機角度伝達誤差によるうねりを補正する。
【解決手段】ロボットの手先部に発生するうねりの振幅を求める手段と、複数の関節の所定の関節Ｊiに対応するうねりの振幅値Ｄｉを求める手段と、所定の関節Ｊｉをモータの位置指令θrefｉで単軸動作させた際に、関節の軸に現れる位置フィードバック信号Ｂｉを計測する手段と、関節Ｊｉに対する位置指令値θrefｉに振幅Ｃのうねりを重畳的に加え、更に、他の軸Ｊｘに位置指令θrefｘが加えたと仮定した場合に、手先位置において発生するうねりＣ’ｉを計算する手段と、Ａｉ＝（Ｃｉ／Ｃ’ｉ）×Ｄｉという式に従って、Ｂiに対応するＡｉを求める手段と複数のロボットに対して、以上の各手段を用いて、Ｂiに対応するＡｉを求める手段とを備える、ロボット制御装置の補正パラメータ同定装置。 （もっと読む）

【課題】 ボールねじ装置の共振を良好に抑制する。
【解決手段】 ボールねじ装置は、ボールねじを回転させて移動体を移動させるためのモータ１１を備えている。モータ１１は、駆動制御装置により駆動制御される。駆動制御装置は、ボールねじの長さに応じてボールねじの長さに固有のボールねじ装置の共振周波数を決定する共振周波数決定部３３と、モータ１１を駆動制御するための駆動制御信号から決定された共振周波数に対応した周波数成分を除去するフィルタ部３７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度位置決めを実現できるステージ装置，それを用いた荷電粒子線装置及び縮小投影露光装置，およびステージ制御方法を提供することにある。
【解決手段】ステージ装置は、ステージ１０を駆動するモータ３０と、モータにより駆動されるステージの位置が最終目標位置となるような前記アクチュエータの駆動量を算出するステージ制御演算器１００を有する。ステージ制御演算器１００は、ステージの目標位置とステージの位置の差分に基づいて、ＰＩＤ制御する補償演算器１２０を有する。また、ステージの特性を同定するモデル同定器１３０と、モデル同定器によって得られた情報を基に、補償演算器におけるステージ制御用補償パラメータを演算する制御ゲイン演算器１４０を備える。 （もっと読む）

【課題】従来の位置決めでは、位置決めする際の整定範囲をゼロとして目標値に位置決めさせた場合、被駆動体がモータにより目標値に位置決めされた後もモータが常に小刻みに振動したり、外乱により被駆動体が整定範囲外に移動してしまう問題が発生する可能性があった。
【解決手段】位置センサが検出した位置決めステージが位置する現在値が第１の整定範囲内の場合は、位置決めステージの整定範囲を第２の整定範囲内に変更し、位置センサが検出した位置決めステージが位置する現在値が第１の整定範囲外の場合は、再度位置決めステージを第１の整定範囲内に位置するように移動させる。 （もっと読む）

【課題】温度センサを用いずに温度変化に伴う波動歯車減速機の摩擦特性変動下における制御性能の向上を達成可能なアクチュエータの適用型摩擦補償方法を提案すること。
【解決手段】波動歯車減速機１を備えたアクチュエータ２の適応型摩擦補償法では、モータ駆動電流に印加する摩擦補償電流として、モータ軸６が偏差を持って静止した際には静止摩擦補償電流ｉｓを採用し、それ以外の場合にはクーロン摩擦補償電流ｉｃを採用する。静止摩擦補償電流ｉｓはステップ関数の補償量ｉｓｓに単調増加なランプ関数の補償量ｉｓｒを加えたものであり、クーロン摩擦補償電流ｉｃとしてステップ関数の補償量ｉｃｓを用いる。位置決め制御の応答中のデータに基づき摩擦補償量を適応的に変化させることができるので、周囲温度が変化して波動歯車減速機１の摩擦特性が変動しても、モータ軸６を大きな振動を伴うことなく目標角度に整定可能である。 （もっと読む）

【課題】駆動効率及び動作速度を確保できるとともにコンパクトに構成でき、しかも、製造コストを低減することのできるアライメントステージ及び処理装置を提供する。
【解決手段】本発明のアライメントステージ１０は、第１の回転駆動手段と、第２の回転駆動手段と、第１の回転軸線１１ｘを中心に回転可能に軸支されるとともに第１の回転駆動手段により回転駆動される第１の回転体１１と、第１の回転体に対して第１の回転軸線と平行な第２の回転軸線１２ｘを中心に回転可能に軸支されるとともに第２の回転駆動手段により回転駆動される第２の回転体１２と、第２の回転体と一体に構成され、或いは、第２の回転体に固定若しくは連結された移動ステージ１３と、を具備し、第２の回転駆動手段は、第１の回転軸線を中心に回転する第２の回転駆動軸４と、第２の回転駆動軸と第２の回転体との間に接続された第２の回転伝達機構９と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 迅速にかつ正確な位置制御を行うことのできるプロジェクターを提供する。
【解決手段】 制御部２により、フラッシュＲＯＭ１１に保存されたレンズユニット５の目標位置とエンコーダー１０によるレンズユニット５の現在の位置との偏差が一定値以上ある場合に、現在の位置と目標位置とが一致するまでフィードフォワード制御により駆動モーター６の駆動を行うとともに、フィードフォワード制御による駆動停止位置と目標位置との偏差に基づいて制御可能な最小移動量の単位で駆動モーター６の駆動制御を行う。 （もっと読む）

【課題】速度制御で動作するモータ駆動装置において、バックラッシュ補正を行う手段を提供することを目的とする。
【解決手段】コントローラ２は、モータ駆動装置１からのモータ位置フィードバックパルス１１３をパルスカウンタ２０２で受信し、モータ位置２０３を得る。モータ位置２０３を位置指令２０１と減算器２０４で比較し、位置偏差２０５を得る。位置偏差２０５は位置比例制御器２０６で位置比例ゲイン倍されて速度指令２０７となる。これをＤ／Ａ変換器２０８でアナログ速度指令２０９に変換し、モータ駆動装置１に出力する。 （もっと読む）

【課題】同期電動機の相順とＣＳ信号の検出方向を自動設定できるモータ駆動装置を提供する。
【解決手段】モータ駆動装置１００は、モータ２０に接続され、モータ２０を駆動する。モータ２０は、例えば、一般的に知られているように、駆動用の巻線を有した固定子と永久磁石を有した可動子とを含む構成である。モータ２０の巻線に電圧を印加して電流を流すことによって、可動子が移動する。モータ駆動装置１００は、可動子の位置を所定の位置に移動させる位置制御機能を有している。この機能実現のため、モータ２０には、位置検出器２１が取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】フルクローズ位置制御において、極低速域の送りで発生するスティックスリップを抑制することができる位置制御装置を提供する。
【解決手段】加算器５および加算器２４が、実速度偏差Ｅｌに比例ゲインＰｌを乗算して得られた出力と、実速度偏差Ｅｌを積分補償器２５に入力して得られた実速度偏差の積分成分Ｔｉｌと、モータ速度偏差Ｅｍに比例ゲインＰｍを乗算して得られた出力と、モータ速度偏差Ｅｍを積分補償器９に入力して得られたモータ速度偏差の積分成分Ｔｉｍと、を加算しトルクフィードバック指令Ｔｆｂとして出力する。このとき、積分補償器２５と積分補償器９は、積分ゲインＫｌと積分ゲインＫｍを速度フィードフォワード指令Ｖｒまたは速度指令Ｖｃの値に応じて調節するために、０から１の間で可変できる係数可変器を備え、ロストモーションの影響が小さい極低速域において積分ゲインＫｌを大きく設定することで静摩擦トルクから動摩擦トルクへの切換応答速度を早め、スティックスリップを抑制する。 （もっと読む）

【課題】 数値制御機械のフルクローズド位置制御装置において、対象プラントの条件に関わらず、プラント変動に応じて、システムの安定性（振動抑制性を含む）と、高い指令追従性能及び負荷外乱抑制性能が両立するフルクローズド位置制御装置を提供する。
【解決手段】 フルクローズド位置制御装置は、位置指令値の時間微分である速度指令値と、位置指令値と対象プラントの負荷位置との位置偏差を増幅する位置偏差増幅器の出力と、を加算した結果から、対象プラントの負荷速度を減算して速度偏差を算出する加減算器３と、速度指令値と撓み速度補償値との加算値である速度補償値をモータ速度から減算する減算器２と、速度偏差と減算器の出力とを入力として、対象プラントへの制御入力を求めて出力する速度制御器１（Ｋr）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】レーザ測長機等の高度な装置や複雑な手間を要することなく、しかも部品実装装置のＸ軸およびＹ軸の座標の補正を行う補正用治具を提供する。
【解決手段】マウントヘッドをＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させて目標位置に部品を実装する部品実装装置の、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の移動の補正値を求めるための補正用治具７５であって、部品実装装置のＸ軸およびＹ軸にそれぞれ沿って配置される辺を有する矩形状の表面を有するガラスからなる本体部と、表面に形成され、マウントヘッドに搭載されたカメラでそれぞれ認識される、本体部の辺に沿ってＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ1列で配置された複数の観測点７７，７８と、を含み、表面内で１列に配置された複数の観測点７７，７８よりも内側の領域には他の観測点が設けられていない。 （もっと読む）

【課題】移動体を高精度に位置決め制御することができる制御装置などを提供する。
【解決手段】制御装置１は、与えられた目標移動位置及び移動速度を基に指令移動位置を生成し、生成した指令移動位置を基に送り装置５０の駆動モータ７３を制御する制御信号生成部１２と、学習制御部１６と、移動体５２を往復動させたときに生じる送り装置５０の転動体に起因した摩擦力又はこれと等価な力で定義される外力と移動体５２の移動位置との相対データを基に、移動体５２を目標移動位置に移動させた際に生じると推定される外力と移動体５２の移動位置との相対データを推定するデータ推定部２２、推定された相対データを基に推定外力を算出して各指令移動位置における移動誤差量を推定する誤差推定部２３、及び推定された移動誤差量を基に補正量を算出して学習制御の初期値として設定する補正量設定部２４から構成される初期値設定部２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】並列スライダ装置において、二つのスライダが相互に干渉することなくスムーズな動きをもって移動することを実現すること。
【解決手段】
前側リニアサーボモータ７２のための前側サーボコントローラ１１０と後側リニアサーボモータ８０のための後側サーボコントローラ１３０とに互いに同一の位置指令を与える一方で、前側リニアサーボモータ７２は比例要素と少なくとも積分要素と微分要素の何れか一方を含むＰＩ制御あるいはＰＤ制御あるいはＰＩＤ制御を行い、後側サーボコントローラ１３０は比例要素のみを含むＰ制御を行い、前側サーボコントローラ１１０と後側サーボコントローラ１３０とで制御ゲインを互いに相違させる。 （もっと読む）