【課題】簡素な構成で可動部材の位置を高精度に検出するとともに、高精度に停止位置の制御ができる位置制御装置を提供する。
【解決手段】直流電気モータ３９〜４２と、電気モータによって可動部材を移動させる移動手段２と、ブラシとコミュテータとの間の断続によって電気モータへの供給電流に発生するリップル成分を抽出してパルス化したリップルパルスを出力するパルス検出部３８と、可動部材が移動されるときの現在位置を示す現在位置情報をリップルパルスに基づいて演算し記憶する現在位置情報記憶部４４と、電気モータ３９〜４２に供給される電流が０となる前に可動部材が停止するように電流を低下させる電流制御装置４５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 パターンの重ね合わせ精度の低下及び露光量の均一性の低下を抑制した走査露光装置を提供する。
【解決手段】 原版９と基板８とを走査しながら前記基板の複数のショット領域を露光する走査露光装置は、前記基板を保持して移動するステージ１０と、前記ステージの移動を規定する駆動プロファイルに基づいて前記ステージの移動を制御する制御部１５と、を備える。前記駆動プロファイルのうち少なくとも１つのショット領域の露光中の前記ステージの移動を規定する部分は、前記ステージの制御系における共振周波数よりも低い周波数の正弦波から構成されている。 （もっと読む）

【課題】制御性能を向上させる制御装置、および測定装置を提供する。
【解決手段】駆動制御回路３は、測定子を変位させる駆動機構２５を駆動制御し、駆動機構２５に流れる電流を検出する電流検出センサ２７と、駆動機構２５を駆動させる駆動速度に応じた目標電流を設定する速度制御部３２と、目標電流および電流検出センサ２７により検出された検出電流の電流偏差に、積分ゲインおよび比例ゲインをかけて駆動機構２５に出力する出力電流を設定する電流制御部３３と、を具備し、電流制御部３３は、駆動機構２５の駆動速度に応じて、積分ゲインおよび比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を切り替える。 （もっと読む）

【課題】コストの増大を招くことなく、複数の制御部による同期制御を実現する媒体搬送装置を提供する。
【解決手段】媒体搬送を行う媒体搬送装置に、媒体を搬送する第１搬送手段６０６と、第１搬送手段を制御する第１下層制御手段６０２と、第１搬送手段により搬送された媒体を受け取り、受け取った媒体を搬送する第２搬送手段６０９と、第２搬送手段を制御する第２下層制御手段６０５と、第１下層制御手段および第２下層制御手段を統括的に制御する上層制御手段６０１と、第１下層制御手段および第２下層制御手段に接続された媒体検知手段２５６とを設け、第１下層制御手段および第２下層制御手段は、媒体検知手段からの信号に基づいて同期して第１搬送手段および第２搬送手段を制御する同期駆動を行う。 （もっと読む）

【課題】回転位置決めが可能でありながらＸＹの２次元の長ストローク化が容易で、且つ２次元位置決めテーブルを大形化する必要がない二次元位置決め装置を提供する。
【解決手段】案内部材３ａに案内されて移動する移動部材３ｂとこの移動部材３ｂを駆動する駆動機構３ｅとを有し、所定間隔を保って平行に配設された一対の直動機構３Ａ，３Ｂと、該一対の直動機構の移動部材３ｂに支持されて前記案内部材３ａと交差する方向に配設された案内部材４ｂに案内されて移動する移動部材４ｃとこの移動部材４ｃを駆動する駆動機構４ｆとを有し、前記一対の直動機構間に配設された交差直動機構４とを備え、前記交差直動機構４は、一端が前記直動機構の一方の移動部材に．配設された固定支持部材５に回動可能に支持され、他端が前記直動機構の他方の移動部材との間に配設された前記第１の案内部材と交差する方向に移動可能な可動支持部材６に回動可能に支持されている。 （もっと読む）

【課題】位置検出データの転送誤りを敏速に検出することにより、初回稼動時から不用意な暴走を確実に防止する駆動制御システムを提供する。
【解決手段】位置検出器に位置データの監視機能をもたせ、位置検出器が保持した最新位置データと、サーボ制御装置から出力させた最新位置データのエコーバック信号とを比較判定して、差異があるときには駆動禁止状態に遷移して、駆動禁止信号をサーボ制御装置に出力する。サーボ制御装置では、駆動禁止信号を入力すると駆動禁止状態に遷移して、フィードバック用位置データを最新位置データから推定位置データに切替え、指令信号を運転指令から所定の停止制御指令信号に切替え、速度、トルクがゼロに下がるまでは駆動を継続しながらモータを停止させる。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータが備える変位部材の移動距離及び移動時間を設定するだけで、変位部材の詳細な動作を決定し、該変位部材を精度よく変位させる。
【解決手段】アクチュエータ用駆動制御装置１０は、変位部材１６の移動距離を設定する移動距離領域３０と、移動時間を設定する移動時間領域３２と、移動距離及び移動時間に基づいて任意のタイミングにおける変位部材１６の変位量又は変位速度の目標値を演算する目標値演算部４０と、変位部材１６の変位量又は変位速度の目標値に基づいて駆動電力Ｐを生成して、該駆動電力Ｐをアクチュエータ１２に送る駆動制御部２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ダブルナット予圧方式の送り駆動機構においても低速から高速の領域まで摩擦力又は摩擦トルクを高精度で推定して象限突起を補正できる数値制御装置及び摩擦補償方法を提供する。
【解決手段】本発明の数値制御装置はオーバーサイズボール予圧方式だけでなく、ダブルナット予圧方式の送り駆動機構においても低速から高速の領域まで摩擦力又は摩擦トルクを高精度で推定する。故に数値制御装置は象限突起を補正できる。象限突起は指令軌跡よりも移動軌跡が外側に出る現象である。ダブルナット予圧方式の送り駆動機構はボール螺子軸が反転して一山目の象限突起を生じる。ダブルナット予圧方式の送り駆動機構はテーブルが反転後所定量移動した時に更に二山目の象限突起を生じる。数値制御装置はダブルナット予圧方式の時に二段階で生じる摩擦力の上昇を二つの近似式を用いて高精度に推定できる。 （もっと読む）

【課題】２自由度制御構成のサーボ制御器において、用いる位置検出器の分解能が低くてもフィードフォワード制御器からフィードバック制御器へ与える操作量に生ずるリップルを確実に低減でき、高い追従性による高精度制御を可能にするサーボ制御器を得ること。
【解決手段】指令生成器１０は入力される位置指令Ａをコントローラ２の分解能から位置検出器５の分解能よりも高い分解能の内部位置指令１５０へ変換する。フィードフォワード制御器１１ａは、内部位置指令１５０を元に微分器１１０、フィルタ１１１を用いて速度フィードフォワード成分１５２を生成し、それを元に微分器１１２、フィルタ１１３を用いてトルクフィードフォワード成分１５４を生成する。内部位置指令１５０の分解能は位置検出器５の分解能よりも高いので、フィードフォワード成分１５２，１５４に生ずるリップルは位置検出器５の分解能を有する内部位置指令を用いる場合よりも低減される。 （もっと読む）

【課題】サーボロック時の消費電力を削減することができる送り装置を提供する。
【解決手段】送り装置１は、ボールねじ２１，ナット２３，駆動モータ２４，ブレーキ機構２５及び制御装置５０を備え、移動体１３を上下方向に移動させる。制御装置５０は、移動体１３に関する早送りの移動指令を認識すると、移動体１３を現在位置から上方向に移動させる場合には、早送りの移動指令に係る目標移動位置を越えて移動体１３を移動させた後、移動方向を反転させて目標移動位置に移動体１３を移動，停止させる一方、現在位置から下方向に移動させる場合には、移動体１３を目標移動位置に直接移動，停止させるとともに、移動体１３を目標移動位置に移動，停止させた後、駆動モータ２４によって移動体１３の位置を停止位置に維持し、且つブレーキ機構２５によって移動体１３の移動を制動する。 （もっと読む）

【課題】従来の産業用ロボットの速度位置解析システムは、ドリフト安定度の高い慣性センサからの慣性信号に基づいて産業用ロボットの位置等を検出するように構成しているので、高価な慣性センサが必要となり、部品コストの増大の要因になっている。
【解決手段】本発明による産業用ロボットの速度位置解析システムでは、移動制御部２０は、産業用ロボット１を静止させているときにデータ蓄積部３０に対して静止情報２０ａを入力する。データ蓄積部３０は、静止情報２０ａを検出したときの慣性信号１１ａのデータに関連付けて静止情報２０ａを記憶する。速度位置後解析部３１は、静止情報２０ａが関連付けられている慣性信号１１ａのデータに基づいて求められる産業用ロボット１の速度をゼロとする補正値を求めて、求めた補正値を用いて慣性信号１１ａのデータを補正して産業用ロボット１の速度及び位置を求める。 （もっと読む）

【課題】 ４つの各駆動ユニット同士の機械的な姿勢の干渉による過剰な出力を防止する。
【解決手段】 ベース１と上部プレート２との間における上部プレート２の一方の対角位置と対応する２個所に、ＸＹθガイド４とＸ軸方向のボールねじ直動機構６からなるＸ軸方向駆動ユニット３ｘを介装し、上部プレート２の他方の対角位置と対応する２個所に、ＸＹθガイド４とＹ軸方向のボールねじ直動機構６からなるＹ軸方向駆動ユニット３ｙを介装する。リニアスケール１３の検出値に基づくフィードバック制御を行うＸ軸方向駆動ユニット３ｘに比して、Ｙ軸方向駆動ユニット３ｙは、ボールねじ直動機構６のサーボモータ１２に設けたモータエンコーダ１６による検出値に基づくフィードバック制御を行うことでサーボ剛性が小さくなるようにして、姿勢干渉による推力上昇分をＹ軸方向駆動ユニット３ｙで機械的に吸収させる。 （もっと読む）

【課題】車両等に搭載される障害物検出装置と連携し、障害物の存在または接近等をシフトレバーの操作感覚の変化によって提示するシフト装置を提供する。
【解決手段】シフト装置は、シフトレバーと、シフトレバーに反力を生じさせるＸモータ及びＹモータとを備える。メモリには、通常の操作に対して設定される通常パターンＰ０と特別な操作に対して設定される特別パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３の力覚パターンデータがそれぞれ記憶される。力覚制御部は、障害物センサが車両近くの障害物を検出しているときには、シフトレバーに振動を加えたり操作荷重を増したりする等の通常とは異なる特別パターンで力覚制御を行う。これにより、シフトレバーを介して利用者に障害物の存在を認識させるとともに、危険な運転操作に対する注意を喚起することができる。 （もっと読む）

【課題】角度同期方式の長所を生かしつつ、基準角度が与えられない場合でも角度同期方式の学習制御の適用を可能にするサーボ制御システムの提供。
【解決手段】サーボ制御システム１０は、各軸を駆動するＸ軸サーボモータ１２、Ｙ軸サーボモータ１４及びＺ軸サーボモータ１６をそれぞれ制御するＸ軸サーボ制御装置１８、Ｙ軸サーボ制御装置２０及びＺ軸サーボ制御装置２２を有する。またＸ軸サーボ制御装置１８及びＹ軸サーボ制御装置２０は、上位制御装置２４から送られる各軸指令に基づいて、単調増加又は一方向に変化する基準信号θを作成する基準信号生成部２８及び３２をそれぞれ有し、学習制御器２６及び３０は該基準信号に基づいて学習制御を行う。 （もっと読む）

【課題】サンプリング周期を細かくすることなく、モータの速度変動等に精度よく対応することが可能な制御システム及びこの制御システムに用いる位置推定方法を提供する。
【解決手段】第２モータ４３と、第２モータ４３の回転角度に基づくウェハのノッチの位置データを所定の周期で検出する第２エンコーダ４４と、第２モータ４３をサーボ制御するサーボ制御器３２と、サーボ制御器３２に対して動作指令を発する位置制御部２と、を有する制御システム１において、位置制御部２は、サーボ制御器３２の動作指令を生成するとともに、所定周期で第２エンコーダ４４から取得した位置データを取得時刻と共に記憶し、時刻ｔにおける被制御体の位置ｆ（ｔ）を位置データに基づいてｎ次の多項式で表し、ｎ次の多項式補間により任意の時刻におけるウェハ（ノッチ）の位置を推定する。 （もっと読む）

【課題】 移動機構の位置に基づく信号を出力するリニアエンコーダの原点位置を検出する動作を不要にでき、短時間で測定を開始できる産業機械を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、所定の軸方向へ制御対象物を移動させるスピンドル２と、スピンドル２の位置を制御することにより制御対象物の位置を制御する制御装置３とを備えるものであって、スピンドル２の絶対位置を出力するアブソリュート型のリニアエンコーダ１１を備える。このため、三次元測定機１による測定を短時間で開始できる。 （もっと読む）

【課題】 制御装置の機種の増加を抑えることができてコスト増を防止できる産業機械を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、複数の軸方向へ制御対象物を移動させる移動機構２と、移動機構２に接続されて移動機構２を各軸方向に制御する各軸の制御信号を送受信する第１ポート３２１と第２ポート３２２と第３ポート３２３とを有し、移動機構２を制御する制御装置３とを備えるものであって、制御装置３は、各軸の制御信号を生成する制御信号生成部３２４と、各ポート３２１〜３２３で送受信する各軸の制御信号をそれぞれ設定させる設定部３２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 上位コントローラと、該上位コントローラからの起動信号に基づいて被搬送物を搬送するサーボモータと、該サーボモータを可変速駆動するサーボアンプとを用いて形成される位置決め制御装置の省配線を図る。
【解決手段】 フィルム１をローラ２で一定量だけ定寸送りしつつ、カッター４で裁断するときに、ローラ２を駆動するサーボモータ１１を可変速制御するサーボアンプ４０を位置指令生成部４１、移動量メモリ部４２、位置・速度・電流制御部４３、位置ラッチ部４４、状態監視フラグ部４５、位置決め完了判定部４６で形成することにより、フィルム１上に印刷されたマーク１ａ，１ｂ，・・・をその都度通過したタイミングで発生する信号がオンされると状態監視フラグ部４５の状態監視フラグをセットし、この状態監視フラグの状態を上位コントローラ３１に出力する。 （もっと読む）

【課題】 短時間で容易かつ確実に原点位置の検出ができる産業機械および産業機械の制御方法を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、所定の軸方向へ制御対象物を移動させるスピンドル２と、スピンドル２を移動させる駆動力を発生する駆動モータ３と、スピンドル２の位置を制御するとともに駆動モータ３の回転速度を制御する制御装置４とを備えるものであって、スピンドル２の位置に基づく信号を検出するインクリメンタル型のリニアエンコーダ１１と、駆動モータ３の絶対角度に基づく信号を検出するアブソリュート型のロータリーエンコーダ１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 制御対象物を適切に制御できない場合であっても、制御対象物の移動を確実に停止できる産業機械および産業機械の制御方法を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、所定の軸方向へ制御対象物を移動させる移動機構２と、移動機構２を制御する制御装置３とを備えるものであって、制御装置３は、制御対象物の軸方向への移動を停止させる停止手段３０を有し、停止手段３０は、制御対象物の軸方向への移動速度を監視する速度監視部３０２と、制御対象物の軸方向への移動速度が所定の閾値を超えているか否かを判定する判定部３０３と、制御対象物の軸方向への移動速度が所定の閾値を超えている場合に、制御対象物の移動を停止させる停止部３０４とを備える。 （もっと読む）