【課題】基板保持装置と、作業ヘッドと、その作業ヘッドと基板保持装置に保持された回路基板とを相対的に移動させる相対移動装置とを含む対基板作業装置において、作業ヘッドに作動，停止を繰り返させる際の衝撃や振動を抑制する。
【解決手段】相対移動装置を、作業ヘッドと基板保持装置との一方を保持して移動可能な可動部材と、駆動源を備えて可動部材を駆動する駆動装置と、可動部材の加速度を０から増加させた後、０まで減少させて、その可動部材の移動速度を０から増加させ、後に、加速度を０から減少させた後、０まで増加させて、移動速度を０まで減少させ、可動部材を第１位置から第２位置へ作動させるように駆動源を制御する制御装置とを含むものとし、制御装置を、可動部材の加速度を増加させる期間である加速度増加期間と減少させる期間である加速度減少期間とにおいて加加速度を非対称に制御する非対称制御部を備えたものとする。 （もっと読む）

【課題】 先端に重量物が取り付けられた長尺のアームを移動させる場合でも、振動を伴うこともなく目標位置に停止させる機械制御装置を提供する。
【解決手段】 機械制御装置４０には、調節動作の際の比例ゲインが可変構造の位置調節器４１を備え、さらに、この機械制御装置４０には位置指令ブロック２４の出力である位置指令値に基づいて、位置調節器４１の比例ゲインを可変する指令を送出する比例ゲイン設定手段４２を備えている。
この比例ゲイン設定手段４２では、位置指令ブロック２４からの位置指令値に基づく移動速度が遅いとき、すなわち、移動距離が短い位置指令値のときには位置調節器４１の比例ゲインを大きく設定し、前記位置指令値に基づく前記移動速度が速いとき、すなわち、移動距離が長い位置指令値のときには前記比例ゲインを小さく設定するようにしている。 （もっと読む）

【課題】パラメータの調整なしで象限突起の高さを低減させることができる工作機械を提供する。
【解決手段】実制御部１０は、アンプ１４と、その出力電流によってトルク制御されるモータ１５と、モータによって駆動される送り駆動機構１６と、位置指令信号に応答して第１のトルク指令信号をアンプに入力して送り駆動機構の位置及び速度をフィードバック制御する第１の制御部（制御器１１、１２）とを含み、シミュレータ部２０は、仮想アンプ２４と、仮想モータ２５と、摩擦トルクをゼロと仮定して構築した仮想送り駆動機構２６と、位置指令信号に応答して第２のトルク指令信号を仮想アンプに入力して仮想送り駆動機構の位置及び速度をフィードバック制御する第２の制御部（制御器２１、２２）とを含み、トルク指令補正部３０は、第１と第２のトルク指令信号の偏差分を演算し、この偏差分によってアンプに入力されるトルク指令信号を補正する。 （もっと読む）

【課題】 フィードバック制御系のサンプリング速度とモデル制御系のサンプリング速度との差に起因する影響を、従来よりも少ない演算量で抑制して、モデル追従制御を実施できるモータ制御装置を提供する。
【解決手段】 速度制御器１１５は、モデル制御系１０５のサンプリング速度の遅れに相当する伝達関数を有するローパスフィルタ１１３と、速度積分器１１７を含む積分制御系１１６と、比例制御系１１８と、速度比例ゲイン乗算部１１９とを含んでいる。積分制御系１１６は、加算部ＳＰ２によって加算された速度指令とモデル速度指令とを合算した指令から、ローパスフィルタ１１３から出力された遅延速度情報を減算部ＳＰ４で減算した指令を、速度積分器１１７に入力する。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図るとともに、駆動電流制御の精度の向上を図ることが可能な半導体装置および撮像装置を提供する。
【解決手段】半導体集積回路１０１は、駆動電流値を示す複数ビットの駆動データのうち、最上位ビットまたは最上位ビットから連続する複数のビットである上位データに基づいて第１の駆動電流を生成し、負荷に供給する第１の駆動電流生成部２１Ａと、駆動データのうち、最下位ビットまたは最下位ビットから連続する複数のビットであり、かつ少なくとも駆動データのうちの上位データ以外のすべてのデータを含む下位データに基づいて第２の駆動電流を生成し、負荷に供給する第２の駆動電流生成部２１Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】目標位置が設定された移動可能な制御対象を含むシステムの制御装置とプリセットおよびリセットが可能なタイマとを組み合わせて外部装置にその目標位置で所定動作を行わせるためのトリガを高精度に発生することを可能とした位置制御装置を提供することである。
【解決手段】提案する位置制御装置は、制御対象を含むシステムに接続された位置制御部２とその位置制御部２によりプリセットおよびリセットが可能なトリガ発生部としてのタイマ６とを有する。上記位置制御部２は、サンプリング時刻において検出された位置における上記制御対象の速度および加速度を算出する速度・加速度算出部と、算出された速度および加速度を用いて、上記制御対象が上記検出された位置から上記目標位置に達するまでの所要時間を算出する所要時間算出部と、算出された所要時間をタイマ６にプリセットする所要時間設定部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 モータ動作中の位置偏差を小さく、または、モータ位置決め時のオーバーシュート量を小さくすることができた、更に、モータ動作中の速度またはトルクフィードフォワード信号が量子化誤差の影響によるばたつきを低減して、モータが一定速度で動作している時の騒音を小さくすることができるフィードフォワード信号を用いたディジタルサーボ制御装置を提供する。
【解決手段】 フィードフォワード制御系が、位置指令に基づいて速度フィードフォワード信号ｖｆｆ０を生成する速度フィードフォワード作成部６と、前記位置指令に基づいてトルクフィードフォワード信号ｔｆｆを生成するトルクフィードフォワード作成部８と、前記速度フィードフォワード信号ｖｆｆおよび前記トルクフィードフォワード信号ｔｆｆに基づいて速度フィードフォワード変更信号ｖｆｆを生成する速度フィードフォワード変更部７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】可動部材の移動が規制されないように可動範囲の両端部に適切にロック検出エリアを設定することが可能な位置制御装置を提供する。
【解決手段】位置制御装置１は、モータにより駆動される可動部材が機械的にロック状態となる両端部のロック位置に対して、可動範囲の側に設定されたロック検出エリア内からロック位置方向への移動が規制される位置制御装置１は、ロック位置の位置情報をロック位置情報として記憶するロック位置情報記憶部７８と、ロック位置に対して、少なくとも可動範囲の側にロック検出エリアを設定するロック検出エリア設定部８１と、ロック検出エリアの設定時に、両端部のロック位置の間の距離が予め設定された所定量未満である場合に、先に設定されたロック検出エリアを消去するロック検出エリア消去部８３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】２台のサーボアンプを通信ケーブルで接続するだけでマスター、スレーブの設定ができ、簡便に同期制御がおこなえるモータ制御システムを提供する。
【解決手段】サーボアンプ１（２）は、双方向通信手段１７（２８）の一方に駆動するサーボモータ３（４）のエンコーダ通信ケーブル５（６）が接続され、他方の双方向通信手段１８と双方向通信手段２７を通信ケーブ７で接続しており、装置コントロール部１１（２１）は、通信開始時のみ、出力するセレクタ切替信号１１ｅ（２１ｅ）によってセレクタ１６（２６）で双方向通信手段１７，１８（２７、２８）と信号レベル制御部１４または信号レベル検出部１５とを接続し、同期制御におけるマスター、スレーブを自動判定する。 （もっと読む）

【課題】リップルパルスに基づいて演算された位置と実際の位置との間のずれを適切に補正することが可能な位置制御装置を提供する。
【解決手段】位置制御装置１は、可動部材の現在位置情報をリップルパルスに基づき演算する現在位置情報演算部７７と、可動部材が機械的にロック状態となる端部の位置情報をロック位置情報として記憶しているロック位置情報記憶部７８と、端部に対して可動範囲の側と可動範囲から外れた側とに設定されたロック検出エリアを記憶しているロック検出エリア記憶部８２と、可動部材が移動して停止した時に現在位置情報により示される現在位置がロック検出エリア外から動き始め、可動範囲から外れた側のロック検出エリアで停止した場合にロック位置情報で現在位置情報を更新する現在位置情報更新部７５とを備える。 （もっと読む）

【課題】リップルパルスに基づいて演算された位置と実際の位置との間のずれを適切に補正することが可能な位置制御装置を提供する。
【解決手段】位置制御装置１は、モータにより駆動される可動部材の現在位置を示す現在位置情報を、リップルパルスに基づいて演算する現在位置情報演算部７７と、可動部材が機械的にロック状態となる端部の位置情報をロック位置情報として記憶しているロック位置情報記憶部７８と、端部に対して、少なくとも可動範囲の側に設定されたロック検出エリアを記憶するロック検出エリア記憶部８２と、可動部材が、可動範囲の側のロック検出エリアから動き始めて端部の反対側へ向かう場合に、可動部材がロック検出エリア内で停止することを禁止し、可動部材をロック検出エリア外まで移動させる停止位置補正制御部８４とを備える。 （もっと読む）

【課題】特定のエリアでは高い位置決め精度を確保しつつ、全体として比較的安価な位置決め装置を提供する。
【解決手段】 位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の位置を検出するレゾルバ３０ａ〜３０ｃ（以下レゾルバ３０とする。）と、
プラテン１０の特定のエリアＡにおけるスライダ１の位置をレゾルバ３０よりも高い精度で検出するレーザ干渉計２０ａ，２０ｂ（以下レーザ干渉計２０とする。）と、
スライダ１の位置に応じてレゾルバ３０またはレーザ干渉計２０のいずれかの位置検出装置を選択する切替スイッチ１００ｃと、
位置指令値および切替スイッチ１００ｃで選択された位置検出装置で検出される位置検出値に基づいてスライダ１の位置制御を実行する位置制御部１０２と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】高周波のノイズ成分を増大させることなく主状態量のフィードバック値に含まれる位相の遅れ分をキャンセルするように位相を進め，現在の正確な主状態量が得られなくても，従制御対象の状態量を振動や遅れなく精度良く主制御対象の状態量に追従できる同期制御装置を提供する。
【解決手段】 主状態量が主状態量指令に一致するように主操作量を生成する主制御器と，前記主状態量と前記従状態量が同期するように従状態量指令を生成する従状態量指令生成器と，従状態量が従状態量指令に一致するように従操作量を生成する従制御器と，を備えた同期制御装置において，従状態量指令生成器は，主操作量と前記主状態量に基づいて主状態量よりも位相の進んだ位相進み主状態量を生成する位相進み補償演算器（１１）と，位相進み主状態量を前記従状態量指令に変換する指令変換器（１５）とを備えた （もっと読む）

【課題】 クーロン摩擦の影響を除去し、クーロン摩擦の大きな制御対象の慣性モーメントを高精度に同定することができ、その同定結果に基づいて制御対象を高精度に動作制御できる慣性モーメント同定器を備えたモータ制御装置を提供する。
【解決手段】 モータ位置基本周波数成分を入力し正規化モータ加速度矩形波を出力する正規化モータ加速度矩形波演算器１０９と、トルク指令基本周波数成分と前記正規化モータ加速度矩形波を入力しトルク指令正規化モータ加速度矩形波乗算値を出力するトルク指令正規化モータ加速度矩形波乗算値演算器１１０と、前記トルク指令正規化モータ加速度矩形波乗算値を入力しトルク指令正規化モータ加速度矩形波乗算値平均値を出力するトルク指令正規化モータ加速度矩形波乗算値平均値演算器１１１と、前記トルク指令正規化モータ加速度矩形波乗算値平均値とモータ位置振幅を入力し慣性モーメント同定値を出力する慣性モーメント演算器１１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】少ないメモリのＣＰＵでも学習制御を可能とし、さらに学習時間の短縮を実現可能なサーボモータの駆動制御装置を提供する。
【解決手段】駆動制御装置１０は、位置ループ制御系に追加された学習制御部２４を有し、学習制御部２４は反転動作前後の所定時間に限って学習制御を行うように構成されている。学習制御によって得られる速度指令を解析して求められる速度補正データは、反転動作時に発生する位置偏差を低減すべく速度指令の補正を行うために使用される。 （もっと読む）

【課題】指令値に対する移動量の誤差を抑えることができるボール螺子熱変位補正装置を提供する。
【解決手段】軸長方向に沿って延びると共に中心軸心Ｐ１の回りで回転可能なボール螺子２と、ボール螺子２を回転可能に支持する支持部をもつ固定部と、ボール螺子２に接続され前記ボール螺子２を中心軸心の回りで回転させる駆動部５と、ボール螺子２に係合されボール螺子２の回転に伴い軸長方向に沿って移動する可動部６と、可動部６に保持され可動部６と共に軸長方向に沿って移動する可動側衝突子７と、固定部４において可動部６の前進端側に設けられ、可動部６と共に軸長方向に沿って移動する可動側衝突子７と衝突可能な固定側衝突子８と、可動側衝突子７および固定側衝突子８の衝突に基づく衝突変位量を求め、衝突変位量に基づいて可動部を移動させる補正移動量を設定する制御部９とを有する。 （もっと読む）

【課題】ステージを駆動する際に生じる振動を効果的に抑制する。
【解決手段】所定タイミングで検出された制御対象３０１の位置と所定位置との誤差を、前記タイミングからの時間経過に応じてフィードフォワード制御部１０２による操作量を変更することによって補正するとともに、フィードバック制御部１０３への外部入力をフィードフォワード制御部１０２による補正量に応じて変更する制御部１０４を備える。 （もっと読む）

【課題】安価な構成により高精度でかつ短時間に原点復帰を行うことができる位置決め装置の実現を実現する。
【解決手段】Ｘ軸方向およびＹ軸方向に位置制御されるスライダ２００，３００と、このスライダ２００，３００と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ２００，３００と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ２００，３００に設けられ、スライダ２００，３００のプラテン１０に対する位置を検出するＸ軸レゾルバおよびＹ軸レゾルバと、
Ｘ軸レゾルバおよびＹ軸レゾルバで得られる位置検出信号に基づいて、スライダ２００，３００をプラテン１０上に設定された原点位置にサーボ制御する原点復帰制御部４０２と、
を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、フィードバック制御系の構造および応答に無関係に、位置および速度フィードフォワード制御系を周波数応答に基づいて、個別に調整可能となる位置制御装置を提供する。
【解決課題】
本発明は、モータの位置検出値を位置指令値に追従させることを目的としたモータによる位置制御装置において、速度規範指令値を出力する速度規範モデルと、速度制御器と、速度フィードフォワード出力信号を出力する速度フィードフォワード部と、位置規範指令値を出力する位置規範モデルと、位置制御器と、位置フィードフォワード出力信号を出力する位置フィードフォワード部と、から構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 記録装置において、キャリッジの減速時に、モータの逆起電力のためにモータに流す電流の最小値が制限される。このために、振動や騒音が発生しやすい。
【解決手段】 キャリッジの減速時に、キャリッジの移動量と目標軌道とのいずれか一方あるいは両方が、所定の閾値よりも絶対値で大きい場合は、モータドライバへの入力信号を所定の値で保持する。 （もっと読む）