【課題】 被検ガスの流量の変化を正確に測定することができるガス流量測定機構を備えることにより、ガスセンサに供給される被検ガスの流量を高い安定性をもって一定に維持することができ、信頼性の高い検知出力が得られるガス検知器を提供する。
【解決手段】 このガス検知器は、ガスセンサと、ガス流路を介して被検ガスをガスセンサに供給するガス供給ポンプと、ガス流路に設けられた超音波ガス流量測定機構と、この超音波ガス流量測定機構よりのガス流量信号により、ガスセンサに供給される被検ガスの流量が一定となるようガス供給ポンプを制御する制御機構とを有する。超音波ガス流量測定機構は、被検ガスの流通方向に互いに離間して位置された一対の超音波発信−受信素子により構成されており、各超音波発信−受信素子は、ガス流路の外部に配置することができる。 （もっと読む）

【課題】 地下水開発施設における地下水環境および地表水環境のモニタリングシステム、並びに環境への影響を考慮した地下水開発施設の運転管理システムを構築する。
【解決手段】 井戸１の近傍には、井戸水位Ｗ_１、揚水量、受水槽水位、浄水場５への送水量などを計測するための第一測定器７が設置されており、計測されたデータＤ_１は、浄水場５内に設置された監視・制御装置６に送信される。また、井戸１の周辺には、環境モニタリング地点として、観測孔２、堰３、地表点４が複数設定されており、それぞれ第二測定器１０が設置され、計測されたデータＤ_２は監視・制御装置６に送信される。監視・制御装置６は、受信した計測データＤ_１、Ｄ_２の保存および出力を行う機能、並びに計測データＤ_１、Ｄ_２を分析して井戸１およびその周辺水位Ｗ_１、Ｗ_２の将来予測を行なう機能に加え、井戸１に設置されたポンプ８に制御指令Ｓを発する機能を備えている。 （もっと読む）

【課題】流量を精度良く制御しつつ微小流量の液体を供給する。
【解決手段】液体供給装置１は、流路１１に液体を送出するポンプ機構１３、流路１１を流れる液体の単位時間当たりの流量を測定する流量計１４、および、これらの機構を制御する制御部１５を備える。ポンプ機構１３は、変形可能な樹脂製の可変容器１３１、可変容器１３１を内部に収容する耐圧容器１３２、および、耐圧容器１３２と可変容器１３１との間の圧力を調整する電空レギュレータ１３３を備える。可変容器１３１は、ベローズ１３１１を備える。液体供給装置１では、ポンプ機構１３の可変容器１３１に圧力が加えられて可変容器１３１内の液体が流路１１に送出されている間、流量計１４により測定される液体の流量に基づいて、可変容器１３１に加えられる圧力が制御部１５により制御されることにより、流量を精度良く制御しつつ微小流量の液体を供給することができる。 （もっと読む）

【課題】第１及び第２ポートを通じて弁ボディを流通する流体の流量を高精度に制御する。
【解決手段】処理室３７に接続される第１ポート１２と真空ポンプ３９に接続される第２ポート１４とを有する弁ボディ１６には、前記第１ポート１２に臨む内壁面に第１弁体３０が着座する第１弁座部３２が形成され、前記第１弁座部３２より半径外方向に第２弁体３４が着座する第２弁座部３６が形成されている。そして、ガイドボディ２２の内部に設けられたピストン２０を圧力流体によって変位させることにより、第２弁体３４が第２弁座部３６より離間して第１弁体３０と第１弁座部３２との間を通じて流体が流通し、駆動部２４による駆動作用下に第１弁体３０と第１弁座部３２との間の離間距離を変化させることにより、前記第１ポート１２から第２ポート１４へと流通する流体の流量を制御している。 （もっと読む）

【課題】差圧式流量計において高い精度にて安定して測定を行う。
【解決手段】差圧式流量計１は、円管状の圧損チューブ１３、圧損チューブ１３に流入する液体の圧力を計測する第１圧力計１１、圧損チューブ１３から流出する液体の圧力を計測する第２圧力計１２、情報を記憶する記憶部１５、および、種々の演算を行う演算部１６を備える。差圧式流量計１では、圧損チューブ１３内においてレイノルズ数が２０００以下である層流が形成される。そして、第１圧力計１１および第２圧力計１２からの出力が演算部１６に送られて圧損チューブ１３の両端における差圧が求められ、この差圧と記憶部１５に予め記憶された流量情報に基づいて圧損チューブ１３を流れる液体の流量が求められる。差圧式流量計１では、圧損チューブ１３内の流れを確実に層流とした上で差圧を求めることにより、高い精度にて安定して流量の測定を行うことができる。 （もっと読む）

本発明は時間ベース流量制御装置、より詳細には制御性及び制御精度に優れた機械的同期式流量制御装置に関する。本装置は、貯蔵槽１ａ、１ｂ、流入路１４、流出路２４、開閉手段３及び制御部を含む。開閉手段３は流体が通過する通路３ａを具備し、機械的サイクルをもって作動して、流出路２４が閉鎖された状態で流入路１４が開放され、また流入路１４が閉鎖された状態で流出路２４が開放されるように、機械的サイクルは通路３ａの位置変化に従って、通路３ａが流入路１４と連通して流入路１４を開放する流入路開放期間と、通路３ａが流出路２４と連通して流出路２４を開放する流出路開放期間を、位相差を置いて含む。制御部は、開閉手段３の開閉サイクル速度及び／又は開閉手段３の単位開閉サイクル当たりの貯蔵槽１ａ、１ｂに貯蔵及び放出される流体の質量又は体積を制御することで、貯蔵槽１ａ、１ｂから流出する流体の質量流量又は体積流量を制御する。 （もっと読む）

【課題】市場で調達可能な各方式のディスペンサを用いて、流体媒体の配量システムの配量精度を改善する。
【解決手段】制御信号を伝送するためのインタフェース３６、及び、センサ出力信号を伝送するためのインタフェース５０を有する制御装置１０と、インタフェース３６からの制御信号により制御され、所定量の流体媒体を吐出させる流体媒体用ディスペンサ３０と、インタフェース５０からの制御信号により制御され、ディスペンサ３０に配送される流体媒体の流量率を連続的に検出し、その流量率に対応するセンサ出力信号４４を出力するセンサ・ユニット４０とを備え、制御装置１０は、センサ出力信号４４を検出して該センサ出力信号４４から配送された流体媒体の流量を演算し、その流量に従って設定された流体媒体の所定量に合致するように、ディスペンサ３０から吐出される流体媒体の量を制御する。 （もっと読む）

【課題】１次側の圧力変動だけでなく、２次側の圧力変動に対して優れた流量制御の応答性を発揮し、高精度の流量制御が可能になる液体用レギュレータを提供すること。
【解決手段】液体用レギュレータ１０は、空気等の気体による操作圧力を第１ダイアフラム１４に受けて弁開度の調整力を発生させる第１のダイアフラム室１６と、２次側から導入した液体の圧力変動を第２ダイアフラム１５に受けて弁開度の調整力を発生させる第２のダイアフラム室１７と、第１及び第２のダイアフラム室１６，１７で各々発生した調整力を受けて軸方向へスライドする軸部１２と、軸部１２と一体に動作して弁開度の調整を行う弁体１３と、第１のダイアフラム室１６と第２のダイアフラム室１７との間でお互いに干渉しないように遮断する仕切壁１１ａと、第１及び第２のダイアフラム室１６，１７間で流体の流通を遮断するベローズ２２とを具備して構成した。 （もっと読む）

【課題】流体の圧力等の条件変動の影響を受けにくい流量制御を実現する。
【解決手段】 流体流制御装置５は、装置に流体を流入させるための注入口１２０と、装置から流体を流出させるための排出口１２５を含んでいる。この装置は、流体を受け取ってその流体を制御された圧力で送出するように構成された圧力調整部１５も含んでいる。更に、圧力調整部により送出された流体を受け取って、その流体を制御された流量で送出するように構成された流量制御弁調節部を更に含んでいる。更に、流体の流量を測定するように構成された流量計２５と、少なくとも流量計により測定された流量に従って少なくとも流量制御弁調節部を制御する制御装置１１５とを含んでいる。本装置は、流体を半導体処理工具に流入させるため及び／又は複数の流体を配合するために使用される。 （もっと読む）

導管（３）を通る可変比率のガス混合物の流量を制御するための体積流量制御器（１）は、導管を通るガスの流量を調節するための弁手段（５）、この弁手段を駆動するための駆動手段（９）、導管を通るガスの流量を測定するための、例えばペルトンホイールなどの、体積流量計（７）を有し、そしてこの流量計が、駆動手段に供給される調整信号（１１）を発生させる増幅器（１５）での設定点信号（１７）との比較のためにフィードバック信号（２９）を提供する。設定点信号は、設定点信号発生手段（１９）により発生され、それは所望の流量に対応する値を入力するためのポテンショメーター（２１）と、以前の設定点から所望の設定点への変更を体積流量計に固有の応答の遅れを保証するのに十分な時間遅らせてガス流量を滑らか且つ安定に制御するための、抵抗器（２５）及びキャパシタ（２７）からなるスローダウン回路（２３）を含む。好ましくは、ポテンショメーターはディジタルポテンショメーター（４０３）であって、その電圧は回転エンコーダー（４１７）の独立した操作により変えることができる。
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【課題】 圧力式流量制御装置を用いて、真空チャンバ等へ供給するＨＦガス等のクラスター化する流体を、３〜３００ＳＣＣＭ程度の流量範囲について、高精度で流量制御できるようにしたものである。
【解決手段】 オリフィス上流側のガスの圧力Ｐ₁ とオリフィス下流側のガスの圧力Ｐ₂ との比Ｐ₂ ／Ｐ₁ を気体の臨界圧力比以下に保持した状態でオリフィスを流通するガスの流量ＱをＱ＝ＫＰ₁ （但しＫは定数）として演算するようにした圧力式流量制御装置を用いたクラスター化する流体の流量制御方法に於いて、前記圧力式流量制御装置を４０℃以上の温度に加温するか、或いはクラスター化する流体に希釈ガスを加えて分圧以下にすることにより、分子の会合を解離させ、その後単分状態にしたクラスター化する流体を前記オリフィスを通して流通させる。 （もっと読む）

【課題】 極めて小型の構成によって、加圧された流体を微小定流量の流量に制御、供給することを可能にする超小型減圧流量制御装置を提供する。
【解決手段】 超小型減圧流量制御装置１００は、流体を流して流体の圧力を低減させる第１微細流体流路１と、第１微細流体流路１に連結され、第１微細流体流路１からの流体を流すためのＮ本（Ｎは２以上の整数）の第２微細流体流路３と、各第２微細流体流路３にそれぞれ設けられたマイクロバルブ２と、各第２微細流体流路３からの流体を合流させて外部へ排出するための流体集積流路４とを備える。 （もっと読む）

制御装置（３０）は、フローを受け入れるための流入口（３２）；フローをフロー・システムの他の構成要素に導くための流出口（３４）；圧力低減エレメント（３６）；上流の圧力を測定するよう構成された、圧力低減エレメント（３６）の上流の圧力センサ（３８）；下流の圧力を測定するよう構成された、圧力低減エレメント（３６）の下流の圧力センサ（４０）；プロセッサ、メモリ、及び流体の流量を算定しバルブ制御信号を発生させるためのソフトウエア命令を包含させることが可能なコントローラ（４２）；ならびに、バルブ制御信号に反応して流体フローを調節する、ちょう型バルブ、油圧駆動バルブなどのバルブ（４４）を含む。
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【解決手段】制御弁（１００）は、弾性流管（１２６）、第１及び第２端部を有するプランジャ（１２４）、前記プランジャ（１２４）の第１端部に接続されているピンチ部材（５０２）を含んでいる。ピンチ部材（５０２）は、流管に隣接して配置されている。基準面（１２８）は、ピンチ部材（５０２）のほぼ反対側に配置されており、弾性管（１２６）をピンチ部材（５０２）と基準面（１２６）の間で絞り、流管を通る流体の流れを制御できるようになっている。第１ガイドばね（５１１）は、ピンチ部材（５０２）と、プランジャ（１２４）の第１端部の間に配置されており、第２ガイドばね（５１０）は、プランジャ（１２４）の第２端部に隣接して配置されている。減衰器（５５２、５５４、５５６）は、プランジャに接続されている。更に、圧力封入部材（１３０）は、流管の少なくとも一部の周りに配置されている。 （もっと読む）

【課題】
連続生産において電磁且つ機械特性における出来るだけ僅かな偏差を有する弁を提供すること。
【解決手段】
流体の流量を制御するのに適している電磁制御可能なアクチュエータを製造及び／又は調整する方法と装置は、アクチュエータが励起コイル（９）によって作動できる電磁装備を包含し、これが少なくとも一つの可動アーマチュア（６）を有し、そして電磁装備は機械的にアクチュエータを開閉する弁作動装置に作用し、弁作動装置が少なくとも一つの閉鎖要素（５）、励起コイルが励起されないと閉鎖要素を開放するか、或いは閉鎖するリセット要素と、閉鎖要素がアクチュエータを開放するか、或いは閉鎖するよう作用する弁座（４）を包含し、アクチュエータの少なくとも一つの電磁特性が測定され、測定された電磁特性自体或いは測定電磁特性から導かれた値は調整量を制御する実効値として使用されて、この調整量は直接にアクチュエータを製造或いは調整するよう考慮されることを特徴とする。
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磁界センサを含むソレノイド装置、および該装置を操作する方法を記述する。装置は、少なくとも一部は強磁性体で形成され、あらゆる強磁性体から実質的に独立しているギャップを定義する、磁束回路部を介して延びる磁束を生成する磁界生成器を含む。ギャップを横切って延びる磁束を感知するために、磁束センサが配置されている。装置は、流体の流量制御バルブとして実行され得る。磁束回路部は、ハウジングと、移動可能なようにハウジングに対して装着されているプランジャとを備える。
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【課題】 高精度な汚水流入量の予測を実現しうる汚水流予測制御装置を提供すること。
【解決手段】 汚水ポンプ４を制御することによって汚水の揚水量を制御している汚水揚水計画制御装置において、管理区域からの汚水流量を予測する汚水流入量予測演算部１と、この汚水流入量予測演算部１による演算結果によって汚水揚水量を制御する汚水揚水計画制御部３とを備え、さらに前記汚水流入量予測演算部１では管理区域での人口分布データ、工場の有無等の環境条件及び下水排水設備の状態とを考慮に入れた演算パラメータに基いて汚水流入量の予測を行う。 （もっと読む）