【課題】微少な吐出量を制御可能な液体流量制御装置を提供すること。
【解決手段】電気制御装置２００は、第２バルブ４を閉弁状態に維持しながら第１バルブ３を開弁することによって第１通路１３をダイアフラムポンプ２に連通し、ダイアフラムポンプ２に通電することによって第１通路１３内の液体をダイアフラムポンプ２内に吸引し、その後、第１バルブ３を閉弁することによって第１通路１３を遮断するとともにダイアフラムポンプ２への通電を停止することによってダイアフラムポンプ２を原状へ復帰可能な停止状態に維持し、第２バルブ４を開弁開始することによってダイアフラムポンプ２を原状へ復帰開始させ、ダイアフラムポンプ２の原状への復帰途中で第２バルブ４を閉弁する制御を行う。 （もっと読む）

流体送達プロファイルに基づいて流れ制御器を使用することにより、流体の特定量を送達するためのシステムおよび方法を説明する。一実施形態は、送達時間ウィンドウ内の時間における特定の瞬間とそれぞれ対応する複数の設定値を有する、送達時間ウィンドウを含む流体送達プロファイルを含む。この方法はまた、流れ制御器と、流れセンサからのフィードバック信号とを使用して、可変弁を介して流体送達プロファイルに従って流体を送達するステップを含む。
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【課題】検出手段の取付精度による弁開度の個体差を減少させて、高精度な流量制御を可能にした流量制御弁の制御方法を提供すること。
【解決手段】この流量制御弁１の制御方法では、ピストン２２が、弁閉に到達したことをオンからオフになること又はオフからオンになることで検出する検出手段２５を設け、検出手段２５がオンからオフになった又はオフからオンになったときの操作信号値と基準原点に対応する操作信号値との差を個体差値とし、基準曲線を、個体差値によって補整する。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、混合流体の連続的流動生成のためのシステム（１００、３００、５００）、および方法を提供する。該混合流体は、異なる流体の混合物、または温度等の異なる流入特性を有する、同一の流体の混合物を含み得る。さらに、本発明の実施形態は、アナログ設定点を多重化するためのシステム（９００、１１００）、および方法を提供する。第１の流体の流れを制御するための、第１の流量コントローラと、第２の流体の流れを制御するための、第２の流量コントローラと、第１の流量コントローラおよび第２の流量コントローラと流体連通し、かつそれらの下流にある第１のミキサであって、第１および第２の流体を混合し、第１の混合流体を生成する第１のミキサと、第１の混合流体の温度を測定するための、第１のミキサの下流にある、第１の温度センサとを備えた流体混合システムが提供される。
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【課題】少ない刺激によって高速かつ高精度に微粒子を分別できる微粒子分別マイクロシステムおよび微粒子分別方法を提供することを目的とする。
【解決手段】微粒子分別マイクロシステム１は、刺激感応物質としてのゾル-ゲル転移物質が添加された微粒子含溶液11が流れる微粒子含溶液流路３と、所定位置で当該微粒子含溶液流路３と合流するシース溶液12が流れるシース溶液流路４と、微粒子含溶液流路３とシース溶液流路４とが合流した合流流路９と、当該合流流路９に設けられた導入された微粒子10を計測するための微粒子計測部５と、合流流路９の下流に設けられ、分岐点６を介して分岐する微粒子10を分別するための微粒子回収流路７ａ及び微粒子廃棄流路７ｂとが、基板２上に設けられるとともに、当該微粒子廃棄流路７ｂ上に刺激付与手段としての赤外線照射装置８が設けられた構成を有する。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置の二次側流体の圧力変動が発生した場合であっても流体流量の安定化を高精度で実現することができる流量制御装置及びその方法を提供する。
【解決手段】流体供給部１１から所定の流体使用部１５に対して流通する流体の供給ラインＬに配される流量制御装置１０であって、流体供給部側に配置される第１圧力制御弁部２０と、第１圧力制御弁部と圧力損失部４０を介して流体使用部側に配置される第２圧力制御弁部６０とを含み、第１圧力制御弁部は、一次側流体の圧力変動に対して第１弁室２２内に配置された第１弁部３０が第１弁座２５に対して進退して二次側流体を所定の圧力に維持する第１圧力制御機構Ｃ１を備えており、第２圧力制御弁部は、二次側流体の圧力変動に対して第２弁室６２内に配置された第２弁部７０が第２弁座６５に対して進退して一次側流体を所定の圧力に維持する第２圧力制御機構Ｃ２を備えている。 （もっと読む）

【課題】気流によって目的部位に輸送される粉末を所望濃度に保持しつつ、輸送される粉末の総量管理が容易な粉末濃度調節装置を提供する。
【解決手段】送気系統61及び濃度コントローラ59を備える。補給される粉末を輸送気体で吹飛ばす噴射ノズル52を噴射部51に設ける。吹飛ばされた粉が混じった含粉気流を一端から受入れ他端に出口53ａを有した調節筒53に、この筒内に希釈気体を混入させる希釈ノズル55,56と、含粉気流の粉末濃度を測定する濃度センサ54とを設ける。系統61は、気体源に接続された流量調節弁65、流量調節弁68を有して弁65とノズル52を接続した送気経路66、及び流量調節弁73を有して弁65とノズル55,56を接続した送気経路71を備える。コントローラ59は、輸送気体の流量と希釈気体の流量とを合計した総流量が一定に保持されるように弁65を制御し、センサ54の測定結果に基づき弁69,73を制御することで輸送気体の流量と希釈気体の流量との割合を調節して、粉末濃度を目標濃度とする。 （もっと読む）

【課題】 混合比を一定に保ちながら各流体の流量を可変制御可能な流体混合器と、この流体混合器に用いるに好適な流体制御装置を提供する。
【解決手段】 流量制御装置に、デジタル指令値（流量設定値）をアナログ電圧値またはアナログ電流値に変換して出力するアナログ出力回路、入力されたアナログ電圧またはアナログ電流値をデジタル指令値に変換して取り込むアナログ入力回路、通信インターフェースを介して与えられたデジタル指令値、またはアナログ入力回路を介してアナログ電圧またはアナログ電流値を変換して入力したデジタル指令値に応じて流量制御弁の弁開度を比例制御する制御弁駆動回路、およびデジタル指令値とアナログ入出力電圧値との対応関係を可変設定するアナログスケーリング手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】 圧力式流量制御装置を分解、組立なしに、そのオリフィスを簡単に取り換えできるようにして、制御流量の切換を容易にする。
【解決手段】 コントロール弁２のバルブボディ２３の流体入口側と前記入口側取付用ブロック３９とを、並びに前記バルブボディ２３の流体出口側と前記出口側取付用ブロック４３とを、夫々解離可能に気密状に連結することにより、前記コントロール弁２を通して気体が流通する流路を形成すると共に、前記バルブボディ２３の出口側に設けたガスケット型オリフィス挿入孔４２ｃと出口側取付用ブロック４３のガスケット型オリフィス挿入孔４３ｂとの間に、圧力式流量制御装置Ａのガスケット型オリフィス３８を着脱自在に挿着する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、流量を幅広い流量範囲で微細に制御することができ、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができる流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する流体制御弁５と、流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器４と、流量計測器４からの前記電気信号と設定流量との偏差に基づいて、前記流体制御弁５の開口面積を制御するための指令信号を、前記流体制御弁５または該流体制御弁を操作する機器１０３へ出力する制御部８と、開口面積が調節可能な絞り弁６と、を具備し、前記流体制御弁５と前記流量計測器４と前記制御部８と前記絞り弁６とが全て一つのケーシング２内へ収納配設されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 基板処理時に実際に生じ得るサーマルサイフォン現象に基づくゼロ点シフト量を正確に検出して的確な補正をする。
【解決手段】 熱処理部１１０内にガスを供給するガス供給路２１０と，ガス供給路のガス流量を検出する検出部からの出力電圧と予め設定された設定流量に対応する設定電圧とを比較して，ガス供給路のガス流量が設定流量になるように制御するＭＦＣ２４０と，制御部３００とを備え，制御部は，基板処理を実行する前に予め，ＭＦＣ内を少なくとも基板処理時に使用するガスで置換してＭＦＣの上流側と下流側に設けられる遮断弁２３０，２５０を閉じた状態でＭＦＣからの出力電圧を検出して記憶手段に記憶しておき，基板処理を実行する際には基板処理時に使用するガスのガス流量に対応する設定電圧を記憶手段に記憶されたＭＦＣの出力電圧に基づいて補正し，補正した設定電圧をＭＦＣに設定する。 （もっと読む）

【課題】面倒な校正、調整作業を行うことなく、各種の供給気体の質量流量制御を高精度で行うことのできる気体供給装置を提案すること。
【解決手段】気体供給装置１では、重量計測部１３によって材料の重量変化量ΔＷ、すなわち実際の材料消費量を測定し、これに基づき算出した実際の質量流量Ｑｍが目標質量流量Ｑｍｒｅｑに収束するように、流量制御部６に設定されている設定質量流量Ｑｍｓｅｔを補正している。材料の実際の消費重量に基づき、流量制御部６を適宜、校正することができる。校正、調整作業を定期的に行うことなく、また、取り扱う供給気体の種類、使用する流量制御部６の制御精度に左右されることなく、再現性良く、質量流量制御を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 配水区域の予測される需要量より、各配水場の複数の配水ポンプによる最適な水配計画を立案する。
【解決手段】 配水区域３３についての需要量予測パターンを基に、各配水場１８，２３，２８にて配水ポンプの組合せ毎に作成されるポンプ運転特性と配水区域３３の目標末端圧力パターンより、この目標末端圧力パターンを満たす配水ポンプの組合せを考慮して各配水場１８，２３，２８の配水流量パターンを作成する。次に、その各配水場１８，２３，２８の配水流量パターンより、各配水場の現在時間帯の配水流量値を抽出する。抽出された配水流量値を各配水場の配水ポンプの運転を制御する制御装置２２，２７，３２に対し送信し、各配水場１８，２３，２８の配水ポンプ２１，２６，３１の運転を制御する。 （もっと読む）

【課題】流量設定値の変化に対する追随速度を犠牲にすることなく、圧力変動が生じても流量変動を抑制でき、クロストークが生じ得るようなシステムにも採用できるコントローラの提供。
【解決手段】流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部２と、その流量センサ部２の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ３と、前記流量測定信号から得られる流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部６と、前記フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブ３に出力する開度制御信号出力部７と、を備えたものにおいて、前記比例演算におけるゲイン値を算出するための関数を、前記流量設定値を所定量以上変化させた時点からの所定期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間とにおいて異ならせた。 （もっと読む）

【課題】 取り扱いが容易で、汎用性の高い流量コントローラ、これに用いるレギュレータユニット、バルブユニットを提供する。
【解決手段】 流量コントローラ１０を、レギュレータ２１と第１圧力センサ２２とを有するレギュレータユニット１１と、第２圧力センサ３１と流量制御弁３２とを有するバルブユニット１２と、レギュレータユニット１１およびバルブユニット１２に対して着脱可能にして接続されてレギュレータユニット１１とバルブユニット１２とを接続する流体流路およびオリフィスを構成するオリフィスユニット１３とを有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】特に半導体製造等に使用される流量調節弁に関し、ダイヤフラムの膜部の応力を小さくしてヒステリシスエラーを低減させることにより、弁部の開閉時における作動の再現性を実現し、制御の応答性や安定性を向上させることができる空圧式流量調節弁を提供する。
【解決手段】弁座２５をシールする弁部３５と第１開口側２１に配された第１ダイヤフラム４０と第２開口側２２に配された第２ダイヤフラム５０とを一体に有する弁機構体３０が配置され、第１，第２ダイヤフラム４０，５０を加圧手段６０，７０によって弁室２０方向に加圧して流量を制御するようにした弁において、第１，第２ダイヤフラム４０，５０の外周をサポートリング４５，５５によって挟持して、第１，第２ダイヤフラム４０，５０のダイヤフラム部の膜部最大径Ｌ１，Ｌ２と膜部最小径Ｓ１，Ｓ２を２分した位置での中間直径距離Ｍ１，Ｍ２をオリフィス径Ｏの約０．５〜２倍の範囲内とした。 （もっと読む）

【課題】 窒素ガスに基づいて校正をした圧力式流量制御装置を用いて窒素以外の実ガスを簡単且つ正確に測定できるようにすると共に、熱式流量制御装置（マスフローコントローラ）とも容易に取り替えできるようにする。
【解決手段】 オリフィス上流側圧力Ｐ₁とオリフィス下流側圧力Ｐ₂を用いて、オリフィス８を流通する流体の流量をＱｃ＝ＫＰ₁（Ｋは比例定数）又はＱ_c＝ＫＰ₂^m(P₁−Ｐ₂)ⁿ（Ｋは比例定数、ｍとｎは定数）として演算するようにした圧力式流量制御装置において、入出力コンバータ２５の設定流量信号Ｑｅｒと設定入力信号Ｑｅ′との比である変換率（Ｑｅ′／Ｑｅｒ）及び流量出力信号Ｑｏｒと制御流量出力Ｑｏ′との比である変換率（Ｑｏ′／Ｑｏｒ）を調整可能な構成とする。 （もっと読む）

【課題】 精度の高いエアの流量調整を容易にする。
【解決手段】 弁箱２１には、負荷側に接続される第１のエア通路２４と、大気側に接続される第２のエア通路２５と、これらエア通路２４，２５が合流しブロアーに接続される第３のエア通路２６とが設けられている。第１のエア通路２４と第３のエア通路２６との間は、第１の接続部２７によって接続され、第２のエア通路２５と第３のエア通路２６との間は、第２の接続部２８によって接続されている。これら第１および第２の接続部２７，２８は、矢印Ｂ−Ｃ方向に移動するエア流量調整プレート２２の第１および第２の連通窓３１，３２によって連動して開口される。第１の連通窓３１による第１の接続部２７の開口面積と、第２の連通窓３２による第２の接続部２８の開口面積との総和を常に一定したものである。 （もっと読む）

可変容量ポンプを制御する燃料計量ユニット。燃料計量ユニットは可変容量ポンプの吐出量を計量するため可変容量ポンプと流体連通している主計量弁と、戻り燃料流を生成するため主計量弁と流体連通している圧力調節器と、再循環で発生する熱を最小に保つため可変容量ポンプの吐出量を設定することで、戻り燃料流が低レベルで実質的に一定に維持されるように、戻り燃料量を調節する、圧力調節器と可変容量ポンプとに流体連通している調節弁とを備える。
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【課題】 タンク内に貯留した液体をポンプを介して送る種々の送液系において、流量計を使用せずに供給流量を高精度に設定可能とし、配管を簡素化してコスト低減と故障によるトラブルの防止を図り、衛生面での問題も解消し得る送液システムを提供する。
【解決手段】 タンクＴ１，Ｔ２内に貯留した液体Ｌ１，Ｌ２をポンプＰ１，Ｐ２を介して送る送液系において、液面センサーＳ１，Ｓ２によってポンプ稼働に伴うタンクＴ１，Ｔ２内の液面低下量を計測し、その単位時間当たりの液面低下量からコントローラーＣによってポンプＰ１，Ｐ２の回転数に対する液体吐出量を演算し、簡易体積流量として表示すると共に、演算値に基づいてポンプＰ１，Ｐ２をコントローラーＣで設定送液量に対応した稼働速度に制御する。 （もっと読む）