【課題】チャンバーへ供給されるプロセスガス等の流体の供給量（総量）を補正することができる流量制御装置を提案する。
【解決手段】流路の弁機構３０より下流側に設置され、設置箇所において流れる流体の圧力値を検出すると共に、検出された圧力検出値を表す圧力検出信号を出力する圧力検出手段４０を有し、弁機構制御手段Ｐ５が、予め流体を流路に流して流量設定値と流量検出値とが一致するように弁機構３０を制御したときに、圧力検出手段４０が検出した圧力基準値の時間変化を示した、圧力基準値−時間テーブルがＲＯＭ１２からなる記憶手段に記憶されている。制御手段１０の弁機構補正制御手段Ｐ６は、圧力検出手段４０からの圧力検出信号を受けて、この圧力検出信号が表す圧力検出値と、圧力基準値−時間テーブルにおける圧力検出値の検出時に対応する時間の圧力基準値とに基づいて弁機構３０を補正制御する。 （もっと読む）

【課題】精度の高い流量計を提供する。
【解決手段】被測定流体が流入する流入口105と、被測定流体が流出する流出口205と、流入口105及び流出口205を連通する流路5が設けられ、流路5が第１の屈曲部11で屈曲する流量計において、流路5の第１の屈曲部11に、第１の屈曲部11前後の流路5の延伸方向に対して斜めに配置された第１の多孔板21、及び第1の屈曲部11より流出口205側の流路5の内壁に配置され、流路5を流れる被測定流体の流速又は流量を検出する流れセンサ8を備える。 （もっと読む）

流体調整器特徴付けシステム１００、２１２が、受け取った制御信号に応答して生じる流体調整器１０８の流量を特徴付けることができる。流体調整器特徴付けシステムは、特徴付けを使用して、流体調整器に関する全動作範囲にわたって（例えば、０パーセント移動から１００パーセント移動まで）、受け取った制御信号に対する線形流体調整器流量ゲインを達成することができる。線形流体調整器流量ゲインは、プロセス制御を改善し、プロセス変動性を低減することができる。
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本発明は、流体の圧力及び／又は流量を制御する方法に関する。この方法のため、パイプライン（１５）を流れる流体から流れエネルギーが引き出される。このエネルギーは、そのうちの少なくとも一部が電気エネルギーに変換され、流体の流量及び／又は圧力の電気制御（６５）に使用される。パイプライン（２０）における流体の流量及び／又は圧力を制御する装置は、流れる流体から流れエネルギーを引き出し、このエネルギーのうちの少なくとも一部を電気エネルギーに変換するように構成された、少なくとも１つの発電機（３５）を備える。本装置は、パイプライン（２０）における流体の流量及び／又は圧力を、発電機（３５）によって給電される電気駆動機構をもって制御する手段（６５）を備える。 （もっと読む）

【課題】配管内に生ずる圧力等の状態変化に対応可能な比例制御を行うに際して、比例ゲインを自動的に更新し、良好な制御を行う。
【解決手段】オフラインにおいて、予め制御弁２の開度と流量の関係から得られる勾配の逆数と、制御弁２に付したロータリエンコーダ４で検出した最大開度での流量と、各開度の流量を最大開度の流量で正規化した正規化流量と、勾配を制御弁２の最大開度における流量により除して得られる正規化比例定数とを予め設定し、
オンラインにおいて、制御弁２の開度と流量を計測し、計測した開度に対応する正規化流量を記憶したデータから読み出し、計測した流量を読み出した正規化流量で除して、変動後の制御弁２の最大開度時の流量を求め、それに予め設定してあった正規化比例定数Ｋｚを乗じて新たな比例勾配を算出し、その逆数から適切な比例ゲインを求めて制御動作に使用する。 （もっと読む）

【課題】質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および／動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成する方法を提供する。
【解決手段】さまざまな異なるタイプの流体および動作条件の下で一定の制御ループ利得を有するように質量流量コントローラを制御し、質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および／動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成するシステムおよび方法。さらに、このシステムおよび方法には、非動作信号をソレノイド作動装置に供給することによってソレノイド作動装置のヒステリシスの影響を減らすことによって制御を提供することが含まれる。 （もっと読む）

流体の流量を制御するマスフローコントローラのための弁システムが開示される。弁システムは流体の流量を所望の設定点に調整するように開位置と閉位置との間を移動できる弁と、弁コントローラとを含む。弁コントローラは、流体の実際の測定された流量が所望の設定点に実質上等しくなるまで、流体の流量を調整するように弁を通る弁電流を送る。弁コントローラは、弁電流、及び、弁が閉位置へ移動しているときの流量を監視し、流体がほぼゼロの流量を有するときの弁電流の値を決定し、更新される弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の値に設定することにより、次の運転のための弁クラッキング電流を更新する。 （もっと読む）

【課題】圧力変動に対する感度を実質的に取り除いた質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】質量流量コントローラは、圧力センサと組み合わされた熱質量流量センサを含んでおり、入力圧力における揺らぎに比較的敏感ではない質量流量コントローラを提供する。圧力センサと熱センサとは、それぞれが測定された入口流率とデッド・ボリュームの中の圧力とを示す信号を電子コントローラに提供する。電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。 （もっと読む）

弁組立体の制御装置は、弁要素の命令位置を表す一組の命令信号値を有する表とともに、流体経路を通じる所望の流速を得るように構成される。前記表は、前記流体経路を通じて所望の流速を得るのに必要とされる、前記弁要素の実際位置を表す一組の経験的に測定された駆動信号値も含む。動作中に、前記流体経路を通じて所望の流速を得るために、前記制御装置は命令信号源からの命令信号を妨害し、前記表の値に基づく対応する駆動信号を前記弁組立体に供給する。それ故、前記流体経路を通じて所望の流れを供給するために、前記弁要素が前記命令位置より大きい位置にも小さい位置にも開放されるように、前記制御装置は前記弁要素の位置付けを制御する。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置が相互干渉することなく設定器で設定された正確な流量を得ることができる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路の開閉を調節するソレノイドバルブ２０と、このバルブを駆動するバルブ駆動回路２１を有する流量制御装置であって、入力されるアナログ電圧値またはアナログ電流値を所定のデジタル値またはアナログ値に変換して伝達するアナログ入力回路２３と、この入力回路から伝達されたデジタル値またはアナログ値を、設定された流量に応じた指示信号を出力する制御部２２と、制御部とバルブ駆動回路を電気的に絶縁すると共に、制御部からの指示信号をバルブ駆動回路へ伝達する信号伝達部と、アナログ入力回路及び制御部とを電気的に絶縁すると共に、アナログ入力回路及び制御部へ電源供給する絶縁型電源回路と、バルブ駆動回路へ電源供給する非絶縁型電源回路と、を有する。 （もっと読む）

【課題】無駄な待ち時間を減らしつつ、流量制御の精度を向上させることができる流体分流供給ユニットを提供すること。
【解決手段】マスフローメータ８の二次側に第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂを接続する。第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂの第１及び第２設定流量Ｑａ，Ｑｂを流量特性に照合して、動作周期ｔのうちで弁開するパルスＯＮ時間ａ’，ｂ’を決定する。そして、第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂの動作周期ｔを一定にして、決定したパルスＯＮ時間に従って第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂを開閉させて流量制御を行う。このとき、マスフローメータ８が測定するユニット総流量Ｑを平均したユニット平均流量Ｑｍと、第１及び第２設定流量Ｑａ，Ｑｂを合計した指令総流量Ｑａ＋Ｑｂとの偏差ＱＰをゼロにするように、パルスＯＮ時間ａ’，ｂ’を補正する。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置等の稼働中において、流路を流れるプロセスガスの流量制御の検定処理を行なうことができる流量制御装置及びその検定方法を提供する。
【解決手段】 流路４の流量を流量設定値になるように流量を制御しているときに、プロセスガスの流量検出値と、圧力検出値と、流量制御弁機構７に出力したバルブ駆動制御情報とから構成される検定サンプリング情報の所定数を収集してこの流量設定値と関連付けて記憶する。そして、検定サンプリング情報として記憶された所定数の流量検出値とバルブ駆動制御情報について、その関連を示す関連係数（Ａ）を順次求め、この関連係数（Ａ）の値が予め設定した閾値の範囲を超えていると、新たに入力した流量検出値に基づいて求めてバルブ駆動制御情報と、予め検定処理用に登録したバルブ特性情報テーブルＫ１を参照して求めた基準となるバルブ駆動制御情報との差異量を求め、この差異量を検定情報としている。 （もっと読む）

【課題】刺激感応物質を制御流体に含有させ、該制御流体に瞬間的な刺激を与えることによって、該制御流体と合流させた被制御流体の流れを高速且つ高精度に制御する方法等を提供すること。
【解決手段】主流路と副流路に分岐した被制御流体流路を有するマイクロシステムにおいて被制御流体の流れを制御する方法であって、刺激感応物質を含む制御流体を合流させ、合流後に該被制御流体と並行する該制御流体に刺激を与えることによって主流路における被制御流体の流量を一時的に制御し、それによって該被制御流体の副流路における流量を間接的に制御する方法、及び該方法を用いるマイクロシステム。 （もっと読む）

【課題】商用電源を用いることなく流量を正確に制御すること。
【解決手段】流体が流れる管の途中に回転装置であるタービン１を設置する。タービン１は流路の高圧側と低圧側を完全に隔絶し、その圧力差を利用して回転する。発電機２は、タービン１の回転力を動力にして発電し、整流回路３で整流して蓄電素子４へと蓄積する。周波数カウンタ７は、蓄電素子４を電源に駆動し、タービンの回転数を監視する。制御回路６は、蓄電素子４を電源に駆動し、周波数カウンタ７からの情報を取り込んで目的の周波数になるように蓄電素子に流れる電流を調整することで、流路での流量を制御する。 （もっと読む）

低い流入圧力において広い流量検証範囲にわたって高い測定精度をもたらす高精度質量流量検証器（ＨＡＭＦＶ）が、流体送達デバイスによる流量測定値を検証するために開示される。ＨＡＭＦＶは、上流バルブを有する複数Ｎの流入口を画定するチャンバ、１つの下流バルブを有する１つの流出口、チャンバ内の流体圧力を測定するように構成される圧力センサ、およびチャンバ内の流体温度を測定するように構成される温度センサを備える。複数Ｎの臨界流ノズルが、対応する上流バルブに隣接して配設される。ＨＡＭＦＶは、所望の流量検証範囲および流体の種類に基づいて、対応する上流バルブを開き、他の全ての上流バルブを閉じることによって、複数Ｎの臨界流ノズルの１つを起動するように構成されるコントローラをさらに備える。複数Ｎの臨界流ノズルの少なくとも２つは、異なる断面積を有する。 （もっと読む）

提供される方法と装置は、ガス・フロー・コントローラを通過する流量を正確に測定するために、ガス・フロー・コントローラ（ＧＦＣ）の上流の圧力の低下率を用いる。今日、生産使用されている多くのガス・フロー・コントローラを通過するガス流の測定が、特殊で高機能な圧力調整器もしくはその他の特殊な構成要素を必要とすることなしに可能となる。提供される様々な施策等により、測定の最中もしくは後に生じる圧力変化により、テスト対象のガス・フロー・コントローラを通過するガスの一定の流れが乱されないようにすることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置等の稼働中において、流路を流れる流体の流量制御の精度を検定することが可能な流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路４の流量を流量設定値になるようにバルブ駆動制御情報を流量制御弁機構７に出力する制御手段８と、流体の流量を検出する流量検出手段５と、流体の圧力を検出する圧力検出手段６とを備えている。制御手段８は、流量制御弁機構７にバルブ駆動制御情報を出力したときに、出力したバルブ駆動制御情報と流路の流量との関係を示す情報を、流路の流体の圧力に関連付けして記憶したバルブ特性情報Ｋを予め備えている。流量の制御中に、流量設定値と圧力検出手段６が検出した圧力値とに関連付けされる基準となるバルブ駆動制御情報を、バルブ特性情報Ｋを参照して求め、この求めたバルブ駆動制御情報と制御手段８が流量制御弁機構７に出力したバルブ駆動制御情報との差異量を流量制御の検定情報としている。 （もっと読む）

材料放出システムの放出操作（例えば、実際の放出量）を測定し、確認するための放出確認メータ。この放出確認メータは好ましくは自動的にゼロオフセットドリフトを補正し、好ましくは十分に大きなサンプル率で放出された材料の流速をサンプルし、所望の放出操作がなされたか否かを確認する。 （もっと読む）

【課題】 腐食性ガスを含めて、あらゆるガス種を対象とする流量制御器の流量校正を簡単に行うことが出来、しかも安価で且つ高流量制御精度を備えた圧力制御式流量基準器を提供する。
【解決手段】 校正用ガス供給源からの校正ガスの圧力を調整する圧力制御器と、圧力制御器の下流側に設けたボリュームと、ボリュームの下流側に設けた被校正流量制御器の接続口と、被校正流量制御器の下流側の接続孔に接続した基準圧力式流量制御器と、基準圧力式流量制御器の下流側に設けたボリュームと、ボリュームの下流側に設けた真空ポンプとから圧力制御式流量器準器を校正する。 （もっと読む）

【課題】操作者が直接開閉バルブを操作しなくても、自動で流体格納容器のバルブを操作可能にし、格納容器から排出される流体量を制御できる流量制御装置を提供する。
【解決手段】本発明の流量制御装置１００は、開閉バルブを備えた流体格納容器から排出される流量を制御する流量制御装置であって、回転アクチュエータ６０と、回転アクチュエータ６０の回転軸の回転角に応じた信号を発生する回転角検出ユニット７０と、回転アクチュエータ６０の回転軸に軸結合して回転し、流体格納容器の開閉バルブの開閉バルブつまみと分離可能に結合するバルブ開閉アーム１０と、流体格納容器に残存する流体の量による感知信号を受信して基準回転角を算出し、回転角検出ユニット７０の信号を入力して実際回転角を検出し、前記基準回転角と実際回転角の誤差を補正するように回転アクチュエータ６０を駆動させる制御ユニットと、を含むことを特徴としている。 （もっと読む）