【課題】流体の温度の範囲や流体の種類の制限を受け難く、長期間に亘り安定的に作動する圧力補償型の流量制御弁を提供する。
【解決手段】流体入口２２及び流体出口２８を有するハウジング１４と、ハウジング内に往復動可能に配置されハウジングと共働してそれぞれ流体入口及び流体出口と連通する容積可変の第一の室３０及び第二の室３２を郭定する弁体２４と、弁体を第一の室の容積が減少する方向へ付勢する付勢手段としての圧縮コイルばね３６とを有する流量制御弁１０。弁体２４には第一及び第二の室を相互に連通接続する連通路３４が設けられており、弁体が圧縮コイルばねのばね力に抗して第一の室の容積を増大する方向へ移動すると、流体出口２８に接近し第二の室と流体出口との連通度合を低減し、これにより流量制御弁１０を通過する流体の流量が一定に維持される。 （もっと読む）

【課題】小型で、かつ、流量制御の応答性が優れた流量制御装置を提供することである。
【解決手段】力が作用することによって変形する変形可能部を有する流体通路と、前記流体通路の前記変形可能部に、異なる方向から、力を作用させる力作用手段とを具備してなり、前記力作用手段は、チャンバ１０、１３と、該チャンバ１０、１３の少なくとも一部を構成する膜９，１２と、前記チャンバ１０、１３内の圧力を制御する圧力制御手段とを具備してなり、前記圧力制御手段による前記チャンバ１０、１３内の圧力変動による前記膜９，１２の変形によって、前記流体通路の前記変形可能部３には、異なる位置で、変形が起きるよう構成されてなり、前記流体通路の前記変形可能部３の変形度によって該流体通路を流れる流体の流量が制御される流量制御装置。 （もっと読む）

【課題】流れ特性を変更可能なスクリーンノズルを提供する。
【解決手段】可変流量制御ノズル５０は、頭部５２、筒部５４およびバルブ５６を備えている。頭部は、開口部２２に隣接して配置され、頭部の内部に流入し流出する流体流れの通路のためのスクリーン６０を有している。筒部は、頭部から開口部を通って延び、そこに頭部を固定している。筒部の流路は、頭部の内部と開口部の反対側とを連絡している。通路に配置されたバルブは、通路から頭部の内部への第１の流体流れを許容する第１の状態と、内部から通路への第２の流体流れを許容する第２の状態とを有する。第２の流体流れは、第１の流体流れよりも大きくし得る。筒部は、互いが異なる内径を有する第１および第２の筒部材７０，８０を備えていてよく、バルブは、筒部材内の位置間で移動可能なボール９０を使用することができる。 （もっと読む）

【課題】高い制御性を有し、小型で耐食性、耐久性に優れる排気圧力コントローラを提供する。
【解決手段】排気圧力コントローラの駆動部分にゴム膨張バルブを用いることにより、ダンパー制御を精度良く行うことができる。即ち、貫通流路を有する硬質なボディと、前記貫通流路内に配置される膨張部材と、前記膨張部材を含んで形成される気密空洞と、を有するバルブと、
前記貫通流路の圧力及び／又は流量を測定する圧力／流量計測手段と
前記気密空洞に制御用気体を給気又は排気することにより、前記膨張部材を膨張又は収縮させて前記貫通流路の流路断面積を変化させる給排気制御手段と
を用いて排気圧力コントローラを構成する。 （もっと読む）

【課題】コストを低減した制御装置により、粘性の低い液体と粘性の高い液体とを混合する場合であっても所望の比率で混合することができる。
【解決手段】複数の液体供給源Ｔ１，Ｔ２に接続する給液配管ＳＰ１，ＳＰ２を分岐させ、分岐管路を複数の混合タンクＭＴ１，ＭＴ２に接続して第１液体と混合用液体とからなる液体を供給可能とし、混合タンクに供給された第１液体の積算流量を測定し、この測定値から混合タンクに供給することが必要な液体の積算流量を算出し混合用液体の理論上の必要量を求め、混合タンクに供給された混合用液体の積算流量を測定し、この測定値と混合用液体の理論上の必要量とから混合用液体の不足量を算出し、混合用液体の積算流量の測定値が混合用液体の理論上の必要量に対し不足する場合には、予め求めておいた混合用液体の不足量に対する流量制御弁の弁開度に基づいて流量制御弁の弁開度を制御し混合用液体を混合タンクに供給する。 （もっと読む）

【課題】小型且つ軽量な構成で、カソード側電極に供給される酸化剤ガスの流量調整を行うとともに、消費電力を良好に低減させることを可能にする。
【解決手段】燃料電池システム１０は、燃料電池スタック１４から使用済みの前記酸化剤ガスを排出するオフガス供給配管４０に設けられ、前記燃料電池スタック１４に供給される前記酸化剤ガスの圧力を調整する圧力調整装置４２を備える。圧力調整装置４２は、油圧シリンダ４６と、前記油圧シリンダ４６の作用下に、オフガス供給配管４０の流れ方向と交差する方向に進退するとともに、前記オフガス供給配管４０を閉塞可能な弁部材４８と、前記弁部材４８を前記油圧シリンダ４６による押圧方向とは逆方向に押圧するリターンスプリング５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】レベリングバルブの流量特性の設定の自由度を拡大する。
【解決手段】レベリングバルブ１は、負荷の昇降に応じてスプール孔８内を軸方向に変位する中空のスプール３と、スプール３の外周に形成した大径部３Ｃと、スプール３に相対してスプール孔８の開口部を閉鎖する弁体１１と、空気圧供給源及びドレーンの一方をスプール３の中空部３Ａに接続する第１の通路５と、負荷を支持する空気ばねに連通し、スプール３の外周に臨む空気ばね通路４とを備える。スプール孔８を大径に形成する一方、大径部３Ｃとの間に環状隙間を形成する縮径部８Ａをスプール孔８に形成し、大径部３Ｃと縮径部８Ａの軸方向長さを互いに異なる値ａ，ｂに設定する。 （もっと読む）

【課題】気体の検出圧力と目標圧力との偏差が大きくなった場合に偏差を迅速に小さくすることのできる圧力制御装置および圧力の制御された気体を用いる流量制御装置を提供する。
【解決手段】電空レギュレータ４０は、エアの供給源に接続されるとともに所定周期を有するパルス信号により開閉駆動される給気用電磁弁４３と、電磁弁４３の下流に接続されるとともに所定周期を有するパルス信号により開閉駆動される排気用電磁弁４４とを備える。エア通路３５に導出されるエアの圧力センサ７２による検出圧力を目標圧力にするために、電磁弁４３，４４を各周期において駆動するパルス信号をエアの検出圧力と目標圧力との偏差に基づいてＰＩＤ演算により生成するともに、エアの検出圧力と目標圧力との偏差が判定値以上であることを条件に、電磁弁４３，４４が駆動される周期おいて偏差を小さくするように、ＰＩＤ演算により生成されるパルス信号を変更する。 （もっと読む）

流量を制御する装置が開示される。本明細書で開示される流量制御装置の例は、第１の端部で弁座、および第２の端部で排気座と動作可能に接続される供給プラグを有する信号段継電器を備える信号段と、シールが、流圧フィードバック力を排気座へ加えるためのフィードバック面積を提供するように、供給プラグと動作可能に連結されるシールと、を含む。 （もっと読む）

【課題】装置の損傷程度を検知し、損傷部位を特定する装置を提供する。
【解決手段】圧力調整器１０は流体流路に配置されて、流路内を移動可能な絞り要素２２を有している。軸３０が絞り要素２２に取りつけられている。その装置は、絞り要素の上流圧力を測定するための第一圧力センサ３４、絞り要素２２の下流圧力を測定するための第二圧力センサ３５および絞り要素２２の位置を検知するための作動センサ４４とを有している。測定された圧力と作動距離に基づいて流量を定めるためのアルゴリズムを備えたプロセッサ５２が提供される。 （もっと読む）

【課題】流量制御弁に対する気体の供給および排出を制御することにより流量制御弁の操作圧を調整するレギュレータの腐食を抑制することのできる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流量制御装置は、ダイアフラムを有してその一方の面に供給されるエアにより操作圧を印加して他方の面に接触する薬液の流量を調整するパイロットレギュレータ２０と、パイロットレギュレータ２０に対するエアの供給および排出を制御することにより操作圧を調整する電空レギュレータ１８とを備える。流量制御装置は、パイロットレギュレータ２０と電空レギュレータ１８とを接続してエアを流通させるエア通路１５と、電空レギュレータ１８による操作圧の調整を可能としつつエア通路１５からエアを排出させるオリフィス４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】見かけ上差圧の生じない、コリオリ流量計による流量計測と流量制御装置を提供する。
【解決手段】コリオリ流量計２４と，コリオリ流量計２４の上流位置に配置されコリオリ流量計２４へ流体を輸送するポンプ２５と，ポンプ２５の上流側近傍位置とコリオリ流量計２４の下流側近傍位置との差圧を計測する差圧計測手段２６と，コリオリ流量計２４、ポンプ２５及び差圧計測手段２６が電気的に接続され、且つ差圧がゼロ若しくはゼロに近づくようにポンプ２５の吐出量を制御する制御手段２７と，を備えて流量計測・流量制御装置２１を構成する。 （もっと読む）

【課題】構成の簡易化を図りつつ、しかも外乱に強い流量制御を実現する。
【解決手段】流体制御弁１０は、吸入通路２３と排出通路２４とを開通する流路面積を調整するための弁部材３１を有するとともに、弁部材３１に連結され二次側圧力とパイロット圧との圧力バランスにより作動するダイアフラム部材３８を有する。コントローラ５０は、電空レギュレータ４５によるパイロット圧を調整することで弁部材３１を変位させ流体流量を制御する。また、コントローラ５０は、電空レギュレータ４５によるパイロット圧調整値に基づいて二次側圧力を推定するとともに、一次側圧力と二次側圧力との圧力差に基づいて流体流量を算出する。 （もっと読む）

【課題】流体の流量制御を簡単、かつ連続的に変動無く行う。
【解決手段】圧力流体の流路に連通した圧力室２にその圧力によりピストン作用するプランジャー６を設けて、プランジャーによりニードルバルブ状の弁体６を作動させる。プランジャーはコイルスプリング８の押圧力が圧力室の圧力、若しくは負圧と平衡する関係におかれ、弁の開度は調整ネジ9によって行う。
予め、調整ネジによる弁体の開度とそれに平衡する圧力との関係を確認しておき、流体入口３を導入すべき流体供給源、出口４を圧力流体の流路に接続して、調整ネジにより弁体の開度を設定する。
該流路の圧力とコイルスプリングの押圧力により開放された弁体から流体が供給されると、流路圧力が低下、若しくは上昇し、その圧力変化に応じて弁体の開度がコイルスプリングの押圧力に抗して調整されて連続的に平衡状態に至るまで、弁体の開度が制御される。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、流量を幅広い流量範囲で微細に制御することができ、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができる流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する流体制御弁５と、流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器４と、流量計測器４からの前記電気信号と設定流量との偏差に基づいて、前記流体制御弁５の開口面積を制御するための指令信号を、前記流体制御弁５または該流体制御弁を操作する機器１０３へ出力する制御部８と、開口面積が調節可能な絞り弁６と、を具備し、前記流体制御弁５と前記流量計測器４と前記制御部８と前記絞り弁６とが全て一つのケーシング２内へ収納配設されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】特に半導体製造等に使用される流量調節弁に関し、ダイヤフラムの膜部の応力を小さくしてヒステリシスエラーを低減させることにより、弁部の開閉時における作動の再現性を実現し、制御の応答性や安定性を向上させることができる空圧式流量調節弁を提供する。
【解決手段】弁座２５をシールする弁部３５と第１開口側２１に配された第１ダイヤフラム４０と第２開口側２２に配された第２ダイヤフラム５０とを一体に有する弁機構体３０が配置され、第１，第２ダイヤフラム４０，５０を加圧手段６０，７０によって弁室２０方向に加圧して流量を制御するようにした弁において、第１，第２ダイヤフラム４０，５０の外周をサポートリング４５，５５によって挟持して、第１，第２ダイヤフラム４０，５０のダイヤフラム部の膜部最大径Ｌ１，Ｌ２と膜部最小径Ｓ１，Ｓ２を２分した位置での中間直径距離Ｍ１，Ｍ２をオリフィス径Ｏの約０．５〜２倍の範囲内とした。 （もっと読む）

総合的な流体流量制御を提供するプロセス装置（１０、１００）が提供される。装置（１０、１００）は、流導管（１６、１０４）中に設けられた閉止機構（１２、１０６）を含む。好ましくはアイリス型ダイヤフラムである閉止機構（１２、１０６）は可変性の内径を提供する。装置（１０、１００）は、ダイヤフラムの両側での差圧を感知するための差圧センサ（２０、２２、１２０、１２２）を含む。制御装置（１１２）が差圧の指示を受信し、制御信号をアクチュエータに発すると、そのアクチュエータが閉止機構（１２、１０６）を作動させる。閉止機構（１２、１０６）、差圧センサ（２０、２２、１２０、１２２）及び制御装置（１１２）が一つのプロセス装置（１０、１００）の中で閉ループ流量制御装置を形成する。
（もっと読む）

【課題】 半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、配管接続による圧力損失を低減し、各モジュールの配置変更を容易に行なうもので、また流体に腐食性流体を使用しても腐食が起こることがなく、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、超音波を流体中に発信する超音波振動子１２と超音波振動子１２からの超音波を受信し信号を流量計アンプ部６４に出力する超音波振動子１３とを有する流量計センサ部４と、流体の圧力を制御する圧力制御弁５とを有し、流量計センサ部４と圧力制御弁５とが、流体流入口３と流体流出口６とを有するケーシング２内に設置されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 極めて小型の構成によって、加圧された流体を微小定流量の流量に制御、供給することを可能にする超小型減圧流量制御装置を提供する。
【解決手段】 超小型減圧流量制御装置１００は、流体を流して流体の圧力を低減させる第１微細流体流路１と、第１微細流体流路１に連結され、第１微細流体流路１からの流体を流すためのＮ本（Ｎは２以上の整数）の第２微細流体流路３と、各第２微細流体流路３にそれぞれ設けられたマイクロバルブ２と、各第２微細流体流路３からの流体を合流させて外部へ排出するための流体集積流路４とを備える。 （もっと読む）

非対称性ボリュームブースタ組立体は、第一の方向および第二の方向に移動可能な差動アクチュエータ（24）と、アクチュエータと連通している第一のブースタ（44）と、アクチュエータと連通している第二のブースタ（48）とを備えている。第一のブースタは、第一の供給流路（60）と、第一の排出流路とを備えており。第一の供給流路は、第一の流体流抵抗を生じるように構成されている。第二のブースタは、第二の供給流路（58）と、第二の排出流路とを備えている。第二の供給流路は、流体をアクチュエータに供給し、第二の排出流路はアクチュエータからの流体を排出する。第二の排出流路は、第二の流体流抵抗を生じるように構成されている。第一の流体流抵抗は、第二の流体流抵抗よりも大きくなっているので、アクチュエータは、第一の方向および第二の方向に対して略対称に移動するようになっている。 （もっと読む）