【課題】洗浄・現像処理装置における基板を搬送する搬送ローラーの洗浄、清掃を自動化し、洗浄清掃操作の手間や労力を省力化し、洗浄・清掃作業を短時間で実施し、搬送ローラーの洗浄、清掃操作による洗浄・現像装置の長期の稼動停止ロスの発生を防止する。
【解決手段】基板材料ｐを水平に載置して洗浄・現像チャンバー１内の洗浄処理手段Ｂと現像処理手段Ｃとに水平搬送する搬送ローラー40を備えた洗浄・現像処理装置Ａにおいて、基板材料ｐが載置、搬送されていない搬送ローラーを特定する検出手段を備え、特定された搬送ローラーの回転中又は回転停止中に、洗浄・現像チャンバー１内の搬送ローラー40上方に対峙する専用の清掃ノズル31にて該搬送ローラーに清掃液ｄを噴射し、搬送ローラーに付着する汚損物を自動清掃除去して搬送ローラーを清掃する。 （もっと読む）

【課題】ガスタービンエンジンは高温度にて作動するため、高温のガスに曝される構成部材の壁に対し保護熱バリア被覆を施す。保護熱バリア被覆は、構成部材の壁に冷却通路が穿孔された後、被覆されるが、その際、被覆材が冷却通路を覆い、冷却通路を通る冷却空気の流れを制限し、構成部材の冷却を不十分にすることがあるため、冷却通路から不要被覆材を除去する方法を提供する。
【解決手段】冷却通路１６を液体中に浸漬させるステップと、浸漬液体内の供給源から付着物の少なくとも一部を除去するのに十分な速度にて液体ジェット３８を冷却通路１６に向けるステップとを備え、冷却通路１６から不要な被覆付着物３０を除去する。 （もっと読む）

【課題】金属帯の表面を電解洗浄するにあたって、板幅方向に均一に電解洗浄することを可能とする。
【解決手段】連続的に搬送される金属帯１の表面を電解洗浄する金属帯１の連続電解洗浄方法において、金属帯１の電解洗浄すべき洗浄面１ａと相対向してその金属帯１の搬送方向Ｐに順に第１電極３１及び第２電極３３を配設する。第１電極３１及び第２電極３３から金属帯１の洗浄面１ａに金属帯１の板幅以上の幅をもつ層状のラミナー流Ｗｒとしての電解液を噴射する。第１電極３１及び第２電極３３の何れか一方を陽極、他方を陰極としてこれらの間で電圧を印加して、噴射している電解液Ｗｒ及び金属帯１を通して通電させる。これにより、金属帯１の板幅方向端部での電流集中を抑えて、金属帯１の板幅方向に均一に電解洗浄することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】表面処理に使用した処理容器を簡単な作動で洗浄できる水洗装置を、提供すること。
【解決手段】処理容器９を載せる受板７１と、受板７１に処理容器９を固定する固定機構と、受板７１及び処理容器９を共に上下反転させる反転機構と、上下反転された処理容器９を下方から覆うホッパ７４と、を備えており、上下反転された処理容器９内に、噴出部から水を吹きかけて、処理容器９内を水洗するよう、構成されていることを特徴とする水洗装置である。 （もっと読む）

【課題】装置全体での熱消費量を抑えた洗浄装置を実現することを目的とする。
【解決手段】
外部の給水箇所から水を供給する水供給ラインと、水供給ラインから供給された水を加熱して温水を生成する加熱手段と、加熱手段により生成された温水を第二洗浄手段に供給する第二供給ラインと、第一洗浄手段及び第二洗浄手段から噴射された温水を回収する回収タンクと、回収タンクに回収された温水を第一洗浄手段に供給する第一供給ラインと、回収タンクに溜まった温水を排出する排水ラインと排水ラインを流れる温水と加熱手段より上流において水供給ラインを流れる水との間で熱交換させる熱交換器とを備えた洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】 簡易の構造であって廉価にて構築可能な流体加熱装置を提供する。
【解決手段】 流体加熱装置の構造を、流体の流入口と流出口をと有する流体通路、加熱源、流体通路と加熱源とを内部に包含するヒータケース、該ヒータケース内に充填されて加熱源の発する熱を流体通路に伝達する熱伝導小片と、を有するものとし、熱伝導小片は、加熱源と流体通とを覆うように充填される。 （もっと読む）

【課題】通風部材の清掃成果を向上させながらも清掃作業時間の短縮も図ることができる洗浄装置等の提供。
【解決手段】洗浄装置１は、フィルタ１７を清掃するものであり、送風部５と、送水部７と、フィルタを支持する支持部９と、送風部からの送風及び送水部からの送水を制御する制御部１３とを備える。制御部は、フィルタに対する第１の送風と、その第１の送風の後、フィルタに対する送水と、その送水の後、フィルタに対する第２の送風とを行うように、送風部の送風及び送水部の送水を制御する。 （もっと読む）

【課題】化石燃料の使用量の削減を図ることができ、ランニングコストおよびＣＯ_２排出量を抑制することができ、且つ作業者の作業環境の改善を図ることが可能な洗浄システムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明にかかる洗浄システムの構成は、湯を用いて被処理体（番重１０２）を洗浄する洗浄システム１００であって、被処理体を移動させる被処理体移動経路１０４と、被処理体移動経路の下方に配置され、湯を貯留する貯湯槽１１０ａおよび１１０ｂと、貯湯槽に接続され、貯留された湯を被処理体に散水する散水手段１２０ａおよび１２０ｂと、空気を熱源として貯湯槽に供給する湯を生成するヒートポンプ１３０と、ヒートポンプで冷却された空気を被処理体移動経路が設置される室内の所定位置に噴出する冷気噴出器１０８ａ〜１０８ｃと、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エッチングエンドのタイミングを確実に判別し、エッチングに必要な薬液の使用量を低減する。
【解決手段】エッチング室の入口から導入された処理基板を傾斜した状態で搬送する送りローラと、エッチング室内において送りローラによって搬送される処理基板に向けてエッチングに必要な薬液を吐出する吐出ノズルと、エッチング室内の入口側に設けられ傾斜した状態で搬送される処理基板の傾斜上方に位置する一端部に対向する第１センサ、エッチング室内の入口側に設けられ傾斜した状態で搬送される処理基板の傾斜下方に位置する他端部に対向する第２センサ、エッチング室内の出口側に設けられ処理基板の一端部と他端部との間の中央部に対向する第３センサを含むセンサ群と、センサ群に含まれる第１乃至第３センサの各々からの出力信号に基づいてエッチングエンドを判別する演算装置と、を備えたエッチング装置。 （もっと読む）

【課題】往復揺動による表面処理において、処理効率が高く、かつ処理時間の短い、耐久性に優れた表面処理方法を提供する。
【解決手段】揺動槽１内に処理材１２及び被処理物１３を収容し、揺動槽１を略等速で往復揺動させて被処理物１３の表面を処理する表面処理方法であって、往復揺動において、少なくとの２以上の速度の異なる揺動区間を有し、揺動区間のうち、揺動端を含む揺動区間における速度が最も小さい。 （もっと読む）