【課題】従来よりも省スペース化、省電力化及び低価格を実現する。
【解決手段】基板洗浄乾燥装置Ａは、上部が開口６ａであり、垂直姿勢のプリント基板Ｐを当該開口６ａから収容かつ排出する乾燥槽６と、当該乾燥槽６内のプリント基板Ｐに両面から圧縮空気を噴射する圧縮空気噴射ノズル７と、圧縮空気を発生するコンプレッサ８と、コンプレッサ８から導入された圧縮空気を圧縮空気噴射ノズル７に導入する分岐部１０と、コンプレッサ８と後段の分岐部１０との接続を開閉する開閉弁９と、乾燥槽６内のプリント基板６を両面から加温するヒータ１１と、ヒータ１１に電力を供給する電源１２と、コンプレッサ８、開閉弁９、ヒータ１１及び電源１２を制御する制御部１３とを具備し、圧縮空気噴射ノズル７は、プリント基板Ｐの乾燥槽６への進入方向においてヒータ１１よりも手前に設けられている （もっと読む）

【課題】より低コストかつ省資源な洗浄を行うために、ガス溶解水を用いた高圧ジェット洗浄又は二流体洗浄のみにより、超音波洗浄を組み合わせる必要がない程度に十分な洗浄効果をあげる洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄流体吐出ノズルから洗浄液又は洗浄液と気体との混合流体を被洗浄物に向けて吐出させて、被洗浄物を高圧ジェット洗浄又は二流体洗浄する洗浄方法において、流体吐出ノズルに導入される洗浄液に溶存ガスを含ませる。溶存ガスは、所定の圧力が加えられることにより洗浄液に溶解され、溶存ガスの洗浄液への溶解量は、洗浄液の液温における飽和溶解度を第１飽和溶解度とし、洗浄液の液温を保ったまま所定の圧力を加えた状態における飽和溶解度を第２飽和溶解度とした場合に、第２飽和溶解度と第１飽和溶解度との差の１０〜７０％を第１飽和溶解度に加えたものとする。 （もっと読む）

【課題】振動モータにより容器を振動させて、容器内に収容した処理対象物に対して、洗浄、滅菌等の処理をする場合に、容器の振動を効率的に処理対象物に伝達することができる振動処理装置を提供すること。
【解決手段】両端部が壁部２１Ａ、２１Ｂにより閉塞され、処理対象物を収容する容器２０と、前記容器２０を振動させる振動モータ５０と、前記容器２０を支持する支持部材と、洗浄液供給部材６０と、蒸気供給部材６５と、前記容器２０から処理液を排出する処理液排出手段７０と、前記処理対象物を排出する処理対象物排出部２７とを備えた滅菌装置１であって、前記容器２０は、前記処理対象物と接触することで、前記振動モータ５０の振動を前記処理対象物に伝達するためのシリコンゴムライニング２３を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有する樹脂成形体に付着した付着物を有効に洗浄できるとともに、上記樹脂成形体を脱臭することができる樹脂成形体の洗浄処理装置を提供する。
【解決手段】樹脂成形体が投入される投入口１１と、水平方向に長さを有し、一端側には上記投入口１１と連通し、内部には上記樹脂成形体が収容される収容空間を有してなり下面には複数の開口が形成された処理槽３１と、この処理槽３１内に配置され、駆動装置２１により回転駆動する回転軸７２と、基端が上記回転軸７２にそれぞれ固定され、先端は上記処理槽３１の内側に位置してなる複数の回転羽根と、上記処理槽３１の他端側に形成され、上記樹脂成形体が洗浄された後に排出される排出路６９と、上記処理槽内の上流側に洗浄水を噴射する洗浄水噴射ノズル７６と、この洗浄水噴射ノズル７６よりも下流側に殺菌水を噴射する殺菌水噴射ノズル７８と、がそれぞれ配置されてなる。 （もっと読む）

【課題】チャンバー内のダクトから遠い位置にあるミストもダクト側に運ぶことができ、従来よりも効率よくチャンバー内を排気する。
【解決手段】チャンバー４０内の保持テーブル１０上にワークＷを保持し、保持テーブル１０を回転させた状態でワークＷの上面に洗浄水Ｃを供給するスピンナ洗浄装置において、保持テーブル１０の外周側面１２に形成した複数の羽１３によって保持テーブル１０の外周周囲に該外周周囲に沿った空気の流れを発生させ、この空気の流れによってチャンバー４０内におけるダクト５０の反対側のミストもダクト５０側に導く。 （もっと読む）

【課題】少ない工程数で、必要十分な洗浄を行うことができる容器内洗浄装置を提供する。
【解決手段】容器内洗浄装置１は、開口部を下にした状態で被洗浄容器２を収納可能な受け容器３と、受け容器３から被洗浄容器２の開口部を通って上方に伸びる洗浄管４と、この洗浄管４に取付けられて被洗浄容器２の内壁に向かって高圧の液剤を噴射する噴射部５と、受け容器３の底面または側面に取付けられる廃液ダクト６と、被洗浄容器２を受け容器３内で回転させる回転機構７とを備えている。受け容器３内の溝８ａに被洗浄容器２の開口部の端部を嵌合させて被洗浄容器２を回転させた状態で、被洗浄容器２の内壁に高圧の液剤を噴射し、洗浄後の廃液は受け容器３から廃液ダクト６に流すようにすることで、被洗浄容器２の内壁に塗料等がへばりついている場合でも、一回の洗浄できれいに除去することができる。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板の研磨された端面を迅速且つ適正に洗浄して、ガラス基板の特に表面におけるパーティクル付着の問題に的確に対処する。
【解決手段】 ガラス基板製造工程で、一枚のみのガラス基板３の研磨された端面を洗浄用液体により洗浄するガラス基板洗浄装置であって、洗浄用液体７をガラス基板３の研磨された端面３ａの微小凹部内に存する異物を掻き出すために必要な噴射圧力であって且つガラス基板３を損傷させない噴射圧力で該端面３ａに対して噴射する液体噴射手段５が、ガラス基板３の端面３ａの外方側から、該端面３ａが存する辺の長手方向と直交する面内に存し且つ該ガラス基板３の表裏面と平行であって該ガラス基板３の表裏方向の中心を通る直線Ｌ、を基準として、その表側と裏側とにおけるそれぞれの角度が２０〜７０°の範囲で当該端面３ａに対して洗浄用液体７を噴射するように構成される。 （もっと読む）

【課題】ノズル内の流路における異物の付着を防止し、被処理基板に対する塗布液の塗布
の際に、ノズル吐出口から処理液を均一に吐出する。
【解決手段】吐出口１６ａから塗布液を吐出するノズル１６と、前記ノズル１６の待機期間において前記ノズル１６内の流路が前記塗布液から前記塗布液の溶剤Ｔに置換された状態で保持するメンテナンス手段２６とを具備し、前記メンテナンス手段２６は、前記ノズル１６に前記溶剤Ｔを供給する溶剤供給手段３３，３４と、前記ノズル１６の吐出口１６ａとの間に所定の間隙を形成する液保持板２８の液保持面２８ａと、この液保持面２８ａを洗浄する液保持面洗浄手段５１とを有する。 （もっと読む）

【課題】洗浄音を低減させ、水の消費量を抑え、耐久性を向上させると共に、洗浄能力の高い調理鍋の洗浄装置を提供する。
【解決手段】調理鍋１２の内側面を洗浄してから仕上げ濯ぎを行う調理鍋の洗浄装置１１であって、調理鍋１２を垂直に位置させて保持する保持部１３と、洗浄水を貯留する洗浄タンク１４と、該洗浄タンク１４と配管３１を介して連通する洗浄ポンプ１５と、該洗浄ポンプ１５から洗浄水が所定圧力で送出される洗浄ノズルパイプ１６と、該洗浄ノズルパイプ１６に設けられ、洗浄水を調理鍋１２に向けて噴射する洗浄ノズル１７と、電磁弁と、該電磁弁を介して仕上げ濯ぎ水が送出される仕上げ濯ぎノズルパイプと、該仕上げ濯ぎノズルパイプに設けられ、仕上げ濯ぎ水を調理鍋１２に向けて噴射する仕上げ濯ぎノズルとを備え、当該洗浄タンク１４内の洗浄水が繰り返し循環使用される構成の調理鍋の洗浄装置１１である。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、超音波による洗浄装置および洗浄方法に関するものである。
【解決手段】 本発明の洗浄装置は、超音波を発生する超音波振動子と、超音波振動子に固定されて超音波を洗浄液に照射する超音波照射面が扁平な振動体とを具備する振動体ユニットと、振動体ユニットを回転して超音波照射面に交わる方向を軸として超音波照射面の角度を変える照射面角度制御部と、洗浄対象の基板を保持し基板を回転させる基板回転部と、振動体の超音波照射面を洗浄面に向けて一定間隔を保持しながら振動体ユニットを移動させる振動体移動機構と、超音波照射面と洗浄面との間に洗浄液を供給する洗浄液供給部と、を備えるよう構成する。 （もっと読む）