【課題】 気泡微細化に有利な高速流を大流量にて効果的に発生でき、ひいては気泡の微細化効果を劇的に向上させるとともに、マイクロバブル領域あるいはナノバブル領域の気泡の発生量を、従来達成し得なかったレベルにまで高めることができる気泡微小化ノズルを提供する。
【解決手段】 流れ方向下流側に下り勾配にて形成される流れガイド面２２Ｇと、流れ方向上流側にて流路ＦＰ内面に対し流れガイド面２２Ｇよりも急峻に立ち上がるように形成される流れ受け面２２Ａとを有する絞りギャップ材２２Ｑを流路ＦＰ内に配置する。それら流れ受け面２２Ａと流れガイド面２２Ｇとの交差位置に、流路ＦＰの軸断面内周縁上の第一位置ＰＰから該第一位置ＰＰと異なる第二位置ＰＳに向けて軸断面を横切るエッジ部２２Ｅが形成され、該エッジ部２２Ｅと流路ＦＰの内面との間に絞りギャップ２１Ｇがされる。 （もっと読む）

【課題】洗浄後の脱脂を不要とすることができる、機械加工品の洗浄方法を提供する。
【解決手段】まず、第１洗浄工程および第２洗浄工程が行われる。第１洗浄工程および第２洗浄工程では、シリンダヘッドに洗浄液が供給されて、シリンダヘッドが洗浄される。次に、第１乾燥工程が行われる。第１乾燥工程では、シリンダヘッドにエアが吹き付けられ、シリンダヘッドに付着した洗浄液が除去される。その後、ミスト工程が行われる。ミスト工程では、第１乾燥工程で一旦乾燥したシリンダヘッドに対して、洗浄液のミストが吹き付けられる。ミスト工程の後は、第２乾燥工程が行われ、シリンダヘッドにエアが再び吹き付けられて、シリンダヘッドから洗浄液が除去される。 （もっと読む）

【課題】貯留槽における飲食物容器の滞留によって水流の循環が停滞することがない飲食物容器搬送装置を提供すること。
【解決手段】貯留槽１２内の水が、貯留槽１２底部に設けた吸水口１２ｂにより、循環手段６０による水流６１で飲食物容器３を搬送する回収水路１４，１５，１６を形成して再び貯留槽１２内に戻る飲食物容器搬送装置１であって、貯留槽１２内には、回収水路１４，１５，１６で搬送される複数の飲食物容器３を載置する貯留部２０を備え、回収水路１４，１５，１６から貯留槽１２に戻った水は、貯留部２０と貯留槽１２との間に形成された連通部１８ｃを介して吸水口１２ｂに連通するとともに、貯留部２０に形成したバイパス手段２３ａ，２３ｂを介して吸水口１２ｂに連通している。 （もっと読む）

【課題】より簡素な構成によってダウンフローを発生させること。
【解決手段】スピンナ洗浄装置１は、ワークを保持するスピンナテーブル３０と、鉛直方向を回転軸としてスピンナテーブル３０を回転させるモータ４２と、スピンナテーブル３０に保持されたワークに洗浄水を供給する洗浄水供給ノズル５０と、スピンナテーブル３０を収容するケーシング２０と、モータ４２に接続された羽３６Ａを備え、羽３６Ａは、モータ４２によってスピンナテーブル３０が回転する際に同時に回転し、ケーシング２０内にダウンフローを発生させる。 （もっと読む）

【課題】処理液体を用いて基板表面に形成された膜を除去する除去装置で、ウエハ処理が中断され、ウエハ処理能力が低下し、かつ基板処理システムの動作コストが増大するのを解決する。
【解決手段】処理室４６、基板保持手段、処理液を供給するノズル６０、第１速度又は該第１速度以上の速度である第２速度で回転させる回転機構、処理液体格納容器７６を有し、処理液体を回収及び循環し、再度前記ノズル６０から供給する処理液体循環回収機構７３、処理液体を廃棄する処理液体廃棄機構、処理液体が前記基板保持手段が前記第１速度で回転するときには前記処理液体循環回収機構に、前記第２速度で回転して前記ノズル６０から前記処理液体が供給されるときには前記処理液体廃棄機構に導かれるように接続を変更する制御装置を有する。前記処理液体格納容器７６は、底部に廃液ライン１０７、壁面に前記処理液体格納容器内を洗浄するスプレーノズル１０９を有する。 （もっと読む）

【課題】ワークを治具により姿勢制御可能な洗浄装置において、省スペースで安定した治具を提供することを目的とする。
【解決手段】治具２は、外枠３と、基台１０と接続可能な接続台４と、ワークＷを保持するための支持台５と、リンク機構とを備える。リンク機構は、外枠３に一端が回転可能にジョイントされ、他端が支持台５に回転可能にジョイントされた２つのリンク６ａと、接続台４にヒンジ８ｂにより回転可能にジョイントされたロッド８ａを備えた２つのエアシリンダ８とを有する。この構成により、エアシリンダ８のロッド８ａが動作することで、リンク６ａが回転すると共に、ワークＷの中心を回転中心としてワークＷの姿勢制御をすることができる。 （もっと読む）

【課題】洗浄液やすすぎ液を昇温するためのエネルギ使用量を大幅に削減し、しかも二酸化炭素排出量の削減にも寄与することができる、洗浄機を提供する。
【解決手段】少なくとも上部が開口された略箱状の洗浄機本体２内に、搬送手段を介して順次搬送されてくる容器８に対し、加温された洗浄液による洗浄と、加温されたすすぎ液によるすすぎとを行い、さらに洗浄に使用された洗浄液と、すすぎに使用されたすすぎ液とを、洗浄機本体２の下方に配置されたタンク１２内に戻すようにした洗浄機１０であって、洗浄機本体２の上部開口を覆うように天蓋９の内部に、排熱回収装置２０を設置し、箱状の洗浄機本体２内に充満する水蒸気を、排熱回収装置２０に導入し、導入された水蒸気から熱交換により回収した余剰熱量を供給水に蓄熱し、蓄熱され温水となった供給水を再使用することを特徴とする洗浄機。 （もっと読む）

【課題】大型のモールドを製造する場合でも短時間で斑なく乾燥でき、シミの発生を抑制できるモールドの製造方法と、この製造方法に好適に用いられる乾燥装置の提供。
【解決手段】周面に微細凹凸構造を有する円筒状のモールド本体１０を乾燥させる乾燥装置１において、モールド本体１０を回転させる回転手段２０と、回転するモールド本体１０の周面に一定幅でエアを吹き掛け、モールド本体１０を乾燥させる第１のエアノズル３０と、エアの吹き掛けと同時に、エアが吹き掛かっていないモールド本体１０の周面に水を吹き掛ける水掛ノズル４０とを備えた乾燥装置１、および円筒状の基材の表面に微細凹凸構造を形成し、モールド本体１０を得る微細凹凸形成工程と、モールド本体１０を洗浄する洗浄工程と、洗浄後のモールド本体１０を前記乾燥装置１を用いて乾燥する乾燥工程とを有するモールドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】サンプリングした高温流体のｐＨあるいは成分を高温状態のままで測定可能な成分計測装置およびその洗浄機構を提供する。
【解決手段】主管路１から流体を取り出す配管の下流側に前記流体のｐＨあるいは成分濃度を測定する計測装置３と、前記計測装置３で測定後の前記流体を細管に通して前記細管外部を空気で冷却する空冷式熱交換器４と、前記主管路１と前記計測装置３の間の配管に洗浄液を注入する三方バルブ５と、前記三方バルブ５と接続された洗浄液注入装置６と、前記三方バルブ５を開閉して前記計測装置３へ流入する洗浄液の注入有無を制御する制御部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】液中洗浄と気中洗浄とを行うことができるタレット式洗浄装置を提供すること。
【解決手段】タレット式洗浄装置１は、クイル２１に固定されたセンターポスト２２と、センターポスト２２に軸支されたタレットヘッド４と、ワークＷを洗浄するための洗浄工具Ｔと、タレットヘッド４を旋回させるタレット駆動装置６と、タレットヘッド４が配置された洗浄室３と、洗浄液Ｃを貯溜する洗浄槽７と、ワークＷを回動させる回動ユニット８と、洗浄液Ｃを供給する第１洗浄液供給流路１４と、洗浄液Ｃを供給する第２洗浄液供給流路１５と、第１洗浄液供給流路１４及び第２洗浄液供給流路１５に洗浄液Ｃを供給する洗浄液供給源１６と、洗浄槽７内の洗浄液Ｃを排出する排出口７ａと、を備えている。タレット式洗浄装置１は、選択された洗浄工具ＴからワークＷに洗浄液Ｃを噴射することによって液中洗浄、半液中洗浄及び気中洗浄することが可能である。 （もっと読む）