【課題】基板の一面を複数のショットに分けて露光する際、ショット毎に、マスクと基板とがより平行な状態でギャップ合わせを行って、露光精度を向上させる。
【解決手段】マスクホルダ２０とチャック１０とを相対的にＺ方向へ移動及びチルトする複数のＺ−チルト機構３０と、マスク２と基板１とのギャップを複数箇所で測定する複数のギャップセンサー３０とを設ける。予め露光した基板のパターンを測定して、各ギャップセンサー４０の測定点におけるショット毎のオフセット値を決める。ショット毎に、各ギャップセンサー４０の測定値を、各測定点におけるショット毎のオフセット値で補正し、補正後の補正値に基づいて、複数のＺ−チルト機構３０によりマスク２と基板１とのギャップ合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】１つの実施形態は、例えば、基板の表面の位置の計測精度を向上できる位置制御システム、露光装置、及び露光方法を提供することを目的とする。
【解決手段】１つの実施形態によれば、面位置計測部と制御部とを有する位置制御システムが提供される。面位置計測部は、基板の表面の高さ方向の位置を計測する。制御部は、面位置計測部による計測結果に基づいて、光学系と基板の表面との相対的な位置を制御する。面位置計測部は、複数のフォーカスセンサ４１−１〜４１−３と駆動部４２とを有する。駆動部は、基板の表面に対する複数のフォーカスセンサの基板面内方向の位置を独立して駆動する。 （もっと読む）

【課題】検査作業者の技量にかかわらず、圧着端子を精度よく検査できる、圧着端子検査装置および圧着端子検査方法を提供する。
【解決手段】圧着端子３の検査時には、検査作業者により、圧着端子検査装置１の端子配置部に圧着端子３が配置されて、圧着端子３が延伸方向に延びる軸線を中心に揺動される。この揺動中に、ハイト測定用エリアイメージセンサ１４の撮像面１４１への圧着端子３の投影における第１測定位置Ｐｉおよび第２測定位置ＰｗでのＹ軸方向寸法Ｙｉ，Ｙｗが測定される。そして、Ｙ軸方向寸法Ｙｗの極小値Ｙｗ_minが圧着端子３のワイヤバレル部３２のクリンプハイトＨｗとして取得される。 （もっと読む）

【課題】過去のトロリ線データと現在のトロリ線データとで走行位置を正確に一致させることを可能としたトロリ線データ比較装置を提供する。
【解決手段】車両の屋根上に配置されて鉛直上方のトロリ線を撮影するラインセンサカメラ２と、ラインセンサカメラ２から入力される映像信号を収録する画像録画部と、画像録画部から現在のトロリ線画像を入力するラインセンサ画像入力部５ａ、現在のトロリ線画像からトロリ線の摩耗及び偏位を抽出する摩耗・偏位抽出部５ｂ、過去のトロリ線画像と現在のトロリ線画像とから車両の偏位の位置ずれ量を検出する偏位位置ずれ検出部５ｃ、及び位置ずれ量を現在のトロリ線画像に反映し、過去のトロリ線画像と比較する摩耗量比較部５ｄを備える画像処理部とから構成した。 （もっと読む）

【課題】簡単に精度よく鉄筋の配筋情報を取得する。
【解決手段】携帯端末４は、鉄筋の画像から、背景板Ｂに対して垂直方向の１ピクセルずつの位置に対応する連続的な径長を抽出する（Ｓ１００１）。次に、抽出した鉄筋径分布の全データのうち、上部５％のデータと、下部５％のデータとをノイズとして除去する（Ｓ１００２）。そして、中央部９０％のデータにおける最大値を特定し、最大径ｄ１として取得する（Ｓ１００３）。続いて、鉄筋規格情報４５２を参照し（Ｓ１００４）、最大径ｄ１に対応する鉄筋規格を特定できるか否かを判定する（Ｓ１００５）。鉄筋規格を特定できる場合には（Ｓ１００５のＹＥＳ）、該当した鉄筋規格を取得する（Ｓ１００６）。該当する鉄筋規格を特定できない場合には（Ｓ１００５のＮＯ）、その旨をオペレータに通知することにより、角度を変えて鉄筋を再度撮影し、画像を抽出し（Ｓ１００７）、Ｓ１００１の処理から再試行する。 （もっと読む）

【課題】平坦でない路面上に存在する対象物の高さを正確に計算することができる計測装置、計測方法、及びプログラムを提供する。
【解決手段】センサ情報取得部２１は、基準位置から路面上の複数の点へ向けてレーザを射出し、当該レーザの反射光に基づいて、基準位置から当該レーザが反射された点である反射点までの距離を計測するレーザセンサから計測結果を取得する。路面高特定部２３は、記憶部２２が記憶する路面高情報に基づいて反射点それぞれにおける路面高を特定する。高さ算出部２９は、レーザセンサが算出したそれぞれの距離と路面高特定部２３が特定した路面高とに基づいて、路面から前記反射点までの長さを対象物の高さとして算出する。 （もっと読む）

【課題】操作者の手間が少なく、画像中の図形情報の測定を迅速且つ確実に行う。
【解決手段】ＣＰＵ４１は、撮像ユニット１７で撮像された被測定対象物の画像を取り込み、取り込んだ画像に含まれる図形の輪郭線をハフ変換によって検出し、検出した輪郭線上にエッジ検出ツールを設定し、設定されたエッジ検出ツールにより、前記図形に関する図形情報の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】温度に依存する長さの変化を正確に測定することができる膨張計を提供する。
【解決手段】試料３を固定することのできる試料ホルダ４、１４と、試料３を加熱するために試料３に配置される少なくとも１つの誘導コイル５と、試料３の温度を測定する少なくとも１つのセンサとを備える、金属試料３を測定する膨張計１であって、試料３の長さの変化を検出する光学測定装置６、９が備えられている。これにより、温度に依存する、試料の長さの変化を正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】被計測物が様々な屈折率で、かつ様々な厚さの透明媒質の下に配置されていても、その被計測物の高さを容易に計測する。
【解決手段】高さ計測装置１は、照明光から分岐された第１照明光を被計測物６に導く対物レンズ２４と、照明光から分岐された第２照明光を参照ミラー２８に導く対物レンズ２６と、第２照明光の光路長を調整する移動部３６と、被計測物６及び参照ミラー２８で反射される２つの照明光の干渉像を撮像する高速度カメラ１２と、対物レンズ２４と被計測物６とを光軸方向に相対移動するピエゾ駆動装置１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】回折次数の重なりを防止しつつ基板の特性を精度良く求める技術を提供する。
【解決手段】角度分解分光法に対しては、４つのクアドラントを有する照明プロファイルを有する放射ビームが使用される。第１および第３クアドラントが照明される一方、第２および第４クアドラントは照明されない。したがって、結果として生じる瞳面は４つのクアドラントに分けられ、ゼロ次回折パターンのみが第１および第３クアドラントに現れて一次回折パターンのみが第２および第３クアドラントに現れる。 （もっと読む）