【課題】回折次数の重なりを防止しつつ基板の特性を精度良く求める技術を提供する。
【解決手段】角度分解分光法に対しては、４つのクアドラントを有する照明プロファイルを有する放射ビームが使用される。第１および第３クアドラントが照明される一方、第２および第４クアドラントは照明されない。したがって、結果として生じる瞳面は４つのクアドラントに分けられ、ゼロ次回折パターンのみが第１および第３クアドラントに現れて一次回折パターンのみが第２および第３クアドラントに現れる。 （もっと読む）

【課題】遊戯盤に植設される釘は植設される位置、および高さが所定の範囲内でなければならない。しかし、所定の高さより高い釘を見つける方法は、すでに開示されているが、所定の高さより低い釘を高速にしかも釘にダメージを与えることなく見つけるのに、適した方法はなかった。
【解決手段】前記遊戯盤を所定の速度で搬送する移送手段と、前記遊戯盤の垂直方向に視軸が配置された第１のラインセンサと、視軸が前記第１のラインセンサの視軸から所定の角度傾き、かつ前記視軸が前記第１のラインセンサの視軸と交わる交線が、前記遊戯盤の前記釘の頭と同じ高さに配置される第２のラインセンサと、前記釘の頭を前記第１のラインセンサが撮影した地点と前記第２のラインセンサが撮影した地点の間の距離に基づいて、前記釘の高さを算出する制御装置を有する検出する検査装置。 （もっと読む）

【課題】計測結果が計測対象物のどの部分のどの計測結果であるのかを使用者が的確に把握することができる画像計測装置及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】撮像手段で取得した計測対象物の画像を表示し、表示された画像上で特徴画像、及び計測位置の指定を受け付ける。指定を受け付けた特徴画像と、計測位置及び該計測位置を示す寸法線の表示位置を表す、特徴画像に対する相対位置に関する情報とを記憶しておく。新たに取得した計測対象物の画像と記憶してある特徴画像とを照合し、計測対象物の画像の姿勢及び位置に関する情報を特定する。姿勢及び位置が特定された計測対象物の画像に対して計測位置を設定し、該計測位置のエッジ部分を検出して、所定の物理量を計測する。記憶された寸法線を表示する特徴画像に対する相対位置に関する情報に基づいて、計測位置を示す寸法線及び計測結果を所定の位置に表示する。 （もっと読む）

【課題】ホースクリップが周方向の所定位置に組付けられているかどうかを容易に管理することが可能なホースクリップ組付け状態検査方法を提供する。
【解決手段】ゴムホース及びこのゴムホースに組み付けられたホースクリップをカメラで撮像する工程と、これらのゴムホース及びホースクリップの画像を検査パターンに画像処理する工程と、この検査パターンを、予めホースクリップの合格パターンとして記憶されたホースクリップの所定周方向組付け位置のパターンと比較する工程と、ホースクリップの周方向組付け位置の合否を判定する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ワーク搭載用テーブルのワーク搭載面に対するワークの貼りつきを防止する。
【解決手段】ワークが搭載されるワーク搭載面１６ｃが研削されポリッシングされたガラス製のワーク搭載用テーブル１６であって、前記ワーク搭載面１６ｃの前記ワークが搭載される領域に溝１８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】被検査対象物であるワークに対して加工したり、他の部位を装着したりすることなく、ワーク全周の疵を安定して検出することが可能な検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】ワークＷの円筒面を検査部４にて検査するための検査装置および検査方法である。回転軸心Ｌ１，Ｌ２が相互に平行に配設されている一対の回転軸１１，１２にてワークを支持させた状態で、回転体１１，１２をワークに接触させる。一対の回転軸１１，１２を回転駆動させることにより、回転体３１をワークとともに回転させる。回転軸１１，１２とワークＷとの間に滑りが生じることなくワークＷがその軸心廻りに１回転する基準時間での回転体３１の回転状態を検出する。回転状態に基づいてワークＷと回転軸１１，１２との間に滑りがあるか否かを判断しつつ、ワークＷの画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】ロボットの座標系に依存しない、三次元計測システムを提供する。
【解決手段】計測対象の三次元形状を計測する三次元計測器２０と、この三次元計測器２０を移動させるロボット１０と、ロボット１０を駆動制御するロボット制御装置３０と、を備えた三次元計測システム１であって、ロボットのアーム先端に固定され三次元計測器を支持したベースプレート６０と、ベースプレートに固定された三次元計測器２０の傾きを計測するロボット計測装置４０と、ワーク計測箇所の座標及びワークの形状寸法を算出するデータ処理装置５０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】渡り線と背景の切り分けを高精度に行うことが可能な画像処理による渡り線測定装置を提供する。
【解決手段】車両の屋根上に設置されたラインセンサカメラ２と、車両の内部に設置された計測用コンピュータ３とを備えた画像処理による渡り線測定装置において、計測用コンピュータ３が、ラインセンサ画像作成部３ａと、標準偏差背景除去処理部３ｂと、判別分析二値化処理部３ｃと、ノイズ除去処理部３ｄと、渡り線部エッジ検出部３ｅと、渡り線部高さ計算部３ｆと、渡り線部偏位計算部３ｇとを備えるようにし、ラインセンサ画像に対して標準偏差背景除去処理を行ったうえで二値化処理を行うことにより渡り線と背景との切り分けを行うようにした。 （もっと読む）

【課題】スピンドルに取り付けられて高い回転数で回転する極小径丸棒若しくは極小径工具の動的振れを測定可能な極めて実用性に秀れた測定装置の提供。
【解決手段】光源と、光源からの光線を被測定部材へ導くレンズ系と、被測定部材を介して光線を受光する複数のフォトダイオードとを備える光学系を有し、フォトダイオードでの受光量をもとに被測定部材の位置若しくは振れ量を測定する測定装置であって、光学系の光軸方向視において、複数のフォトダイオードにして被測定部材の軸心と交差する辺部が全て直線であり、複数のフォトダイオード間には、被測定部材の軸方向に対して傾斜する少なくとも１つのギャップを設け、このギャップの両端部は被測定部材の外形より外方に位置させ、ギャップを形成するフォトダイオードの辺部以外の被測定部材の軸心と交差する辺部がギャップと平行でないように構成する。 （もっと読む）

【課題】成形ドラムに巻き付けられたシート状部材の巻き付け状態を精度良く測定する。
【解決手段】ドラム周方向Ｃに沿った検出範囲Ｄを持つ二次元レーザセンサ１２を用い、成形ドラム５０をドラム幅方向Ｘに移動させながら、成形ドラム５０に巻き付けられたシート状部材７０に対し、シート状部材７０の全幅を含む範囲で二次元レーザセンサ１２によりレーザ光Ｌを照射して、反射面までの距離データを取得し、得られた距離データに基づいてシート状部材７０の幅方向両端部７８，８０の位置を求める。好ましくは、成形ドラム５０の全幅を含む範囲で上記距離データを取得し、成形ドラム５０の幅方向両端部６２，６４の位置も求めることである。また、シート状部材７０の接合部７６が二次元レーザセンサ１２の検出範囲Ｄ内に入るように位置合わせした上で、上記距離データを取得して、接合部７６を検査することが好ましい。 （もっと読む）