【課題】線幅見本を画像読取部で読み取ることによる線幅測定の結果の安定性を向上する。
【解決手段】画像読取部での読取画像を受け付ける読取画像受付部２５において、白黒２値画像取得部８１が、線幅測定用チャートの読取画像である白黒２値画像を取得し、領域決定部８２が、白黒２値画像上で線幅測定に用いる線幅測定領域を決定し、角度検出部８３が、線の読取角度を検出し、角度比較部８５が、この読取角度と線を読み込む角度として指定された指定角度との差分が閾値以下かどうか判定し、閾値以下でなければ、警告出力部８６が、線幅測定用チャートの再読み込みを画像読取部に指示し、閾値以下であれば、画素カウント部８７が、線を構成する画素のうち線幅測定領域内の画素数をカウントし、線幅決定部８８が、カウントされた画素数、線幅測定領域の線描画方向の長さに相当する画素数等に基づいて、線幅を決定する。 （もっと読む）

【課題】パターンの線幅情報の測定不良を抑制する。
【解決手段】表面検査方法は、基材と、その基材の表面を被覆し、かつ繰り返しパターンが形成された下地部とを含むウェハの表面に光を照射し、その光が照射されたウェハの表面からの反射光の光強度情報を、受光光学系の測定面で検出するステップ１２８と、その測定面において、第１位置での第１光強度の検出信号を求めるステップ１３０と、その下地部の情報とその第１光強度の検出信号とを用いて、その繰り返しパターンの線幅の情報を求めるステップ１４０とを含む。 （もっと読む）

【課題】２つの屈折率分布間の距離を、精度よく、非破壊で、高速に測定可能な光学的記録媒体、該光学的記録媒体の光学的測定方法及び光学的測定装置を実現する。
【解決手段】光を散乱させて測定・解析するための入射光波長の最小値をλとするとき、周囲と屈折率の異なる２つの光散乱体６０の距離が０．７λ以上１５λ以下であり、２つの光散乱体の全光線透過率または全光線反射率が５０％以上であり、散乱光強度の角度分布またはある角度での散乱光強度の波長分布を角度の正弦または１／波長を横軸としてフーリエ変換し、フーリエ変換後のピークの横軸を読み取ることで、２つの領域の距離を求める。 （もっと読む）

【課題】検測車走行時における車体動揺（ローリング及びヨーイング等）の影響を受けることなく検測できるようにする。
【解決手段】検測装置はレールに沿って走行する検測車両に搭載されており、車両の運行に関する周辺構造物の状態（サードレールの高さ）を測定する。検測車両には、検測車両の走行中に車両自体がレールに対して動揺する状態（車両のローリング及びヨーイング等）を測定する動揺状態測定手段が搭載されている。検測装置は、動揺状態測定手段によって測定された検測車両の動揺状態に基づいてその検測結果を補正する。これによって、検測装置は検測車走行時における車体動揺（ローリング及びヨーイング等）の影響を受けることなく正確な検測を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】グリーンタイヤのキャップトレッドのセンターオフセット位置を自動で検出する。
【解決手段】グリーンタイヤのキャップトレッドのオフセット測定方法であって、回転自在なドラム上に載置されたグリーンタイヤの形状を計測する工程と、計測結果に基づきグリーンタイヤの基準高さｈを算出する工程と、基準高さｈにおけるキャップトレッドの幅をセリアル側及び反セリアル側で算出する工程と、算出したキャップトレッドの幅に基づきキャップトレッドのセンターオフセットの異常を判断する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】船舶、橋梁、配管などに用いられている様々な溶接形状を計測し、実際の溶接形状に即した溶接の形状パラメータを算出し、自動的に溶接部の疲労強度を算出する溶接形状評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】溶接形状評価装置１が照射部１３からレーザーを照射し、溶接部を複数の２次元座標（直交座標又は極座標）を持った計測点で計測する計測装置１０と、前記計測点を用いて疲労強度を算出する演算装置２０とからなり、溶接形状評価方法が座標から計算式により溶接の形状パラメータを算出して簡易式により応力集中係数を算出する簡易式工程と、有限要素法（ＦＥＭ）を用いて溶接部を解析して応力集中係数を算出する有限要素法（ＦＥＭ）工程とを備えた応力集中係数算出工程と、複数の提案式と方法を備えて疲労強度を算出する疲労強度算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】回折構造体の測定パラメータモデルを利用する分光散乱システムおよび方法を提供する。
【解決手段】モデルの固有値を事前計算し、記憶し、ある共通の特性をもつ他の構造体に対して後に再利用する。１つ以上のパラメータの値を求めるために用いられる散乱データは、下敷フィルム特性に対して感度が低くなる波長におけるデータだけに制限することが可能である。代表的な構造体をスラブ２００’（ｉ）のスタックにスライスし、各スラブの近似を行うため四角形ブロック２１０，２１２，２１４，２１６，２１８のアレイを作成することによって三次元グレーティングに対するモデルを構築することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】観察対象物の表面の３次元ビューを表示し、表面の凹凸、寸法を取得する方法及び装置を提供する。
【解決手段】複数の表面点の第１の座標系における３次元座標を決定し、観察対象物の表面の複数の測定点を選択し、複数の測定点のうちの１つまたは複数に隣接した複数の表面点のうちの３つ以上の第１の座標系における３次元座標に基づいて基準表面２５０を決定し、基準表面および複数の測定点に基づいて第１の座標系とは異なる第２の座標系を設け、複数の表面点の第１の座標系における３次元座標を第２の座標系における３次元座標に変換し、複数の測定点に基づいて、観察対象物２０２の表面２１０の対象領域２６２内である複数の表面点のサブセットを決定し、第２の座標系の３次元座標に複数の表面点のサブセットの描画された３次元ビューを表示する。 （もっと読む）

【課題】コヒーレント光を用いて、被測定球体の球径を高精度で、且つ簡便な方法で短時間に測定できる球体の球径寸法測定方法及びその測定装置を提供する。
【解決手段】被測定球体１にコヒーレント光を照射することによって該被測定球体１の影中の部分に生じる干渉縞と輝点部で構成されるアラゴスポットの前記輝点部を用いて、前記アラゴスポットの輝点部の位置又は該被測定球体１の球径に応じて変位する前記アラゴスポットの輝点部の移動量から、該被測定球体１の球径を測定することを特徴とする。被測定球体１の球径は、幾何的手段、又は電気信号に変換されたアラゴスポットの輝点部の位置又はアラゴスポットの輝点部の移動量を用いてあらかじめ測定して得られたアラゴスポットの輝点部の移動量と球体１の球径との関係式から換算して求められる。 （もっと読む）

【課題】ラベルのサイズを自動的に決定することで操作負担を低減し、操作者の利便性を向上する。
【解決手段】操作端末１０の制御回路１０２は、対象物Ｆの実寸法Ｂを決定する基準となる基準物Ｋの実寸法Ａを取得し、タッチパネル１１２に表示される基準物Ｋの表示寸法Ａ′と貼り付け領域Ｚの表示寸法Ｂ′との寸法比Ａ′／Ｂ′を取得し、取得された基準物Ｋの実寸法Ａと寸法比Ａ′／Ｂ′とを用いて、貼り付け領域Ｚの実寸法Ｂを算出し、算出された貼り付け領域Ｚの実寸法Ｂに基づき、対象物Ｆに貼り付けるラベルＬのサイズを設定するための、ラベル作成用処理プログラムを実行する。 （もっと読む）