【課題】本発明は、試験片（2）から微小サンプル（1）を分離する方法に関する。
【解決手段】そのような方法は、半導体産業分野においてウェハからTEM観察用のサンプルを入手するために、一般的に使用されている。発明者らによれば、試料担体（6）とサンプルの位置ずれのため、得られるサンプルの内の約20％は、適切に処理（薄膜化）されない。この位置ずれは、溶接前に、サンプルと接触する試料担体によって生じることが確認されている。溶接の間、試料担体がサンプルと接触することを回避し、試料担体とサンプルの間に微細な間隙を残しておくことにより、この位置ずれが解消される。例えば振動による、溶接の間の試料担体の移動を回避するため、試料担体は、ウェハ上のサンプルと近接する位置（8）に置載される。 （もっと読む）

少なくとも１個の試料容器または処理容器を受容および／またはアウトプットするためのモジュール、処理容器を輸送するためのモジュール、試料前処理のためのモジュール、および分析物に対する連続処理を開始するためのモジュールを含む、試料処理、特に試料前処理のための、および調製のためのおよび／または任意に生物試料由来の分析物に対する連続処理を実施するための装置。モジュールは少なくとも２個のユニットに分割され、それぞれが制御システムを有し、および第１のデータバスを通して接続される。
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【課題】高精度で再現性に優れ、信頼性の高い研磨スラリーの分析方法を提供すること。
【解決手段】シリコンウェーハを研磨することによって得られた研磨スラリー中の汚染物を分析する方法において、前記研磨スラリー中のシリコン成分を溶解してシリコン溶液とする溶解工程と、前記シリコン溶液２を蒸発乾固させる乾燥工程と、前記蒸発乾固させた前記残留物４中のシリコン成分を除去する除去工程と、前記除去工程後の残渣５を回収する回収工程とを備えるシリコンウェーハの研磨スラリーの分析方法とする。 （もっと読む）

液体及び固体を分析するのに透過分光法を利用する光分析システムは、光エネルギ源（２）、サンプル、可動光エネルギ透過窓、固定光エネルギ透過窓、及び検出システム（８）を含む。固定光エネルギ透過窓は、光エネルギ源に対して固定される。サンプルは、サンプルを分析するための可動光エネルギ透過窓及び固定光エネルギ透過窓の間に選択的に配置される。サンプルを透過する結果としての符号化された光エネルギを取得するため、光エネルギが、窓の１つ、サンプル、及び他の窓を通して伝送される。検出システムは、分析のための符号化された光エネルギを受け取る。可動光エネルギ透過窓は、繰り返し正確に位置合わせをするため、かつただちに窓とサンプルに近づけるために、固定光エネルギ透過窓に対して選択的に移動可能である。 （もっと読む）

【課題】２０ｍＫ前後の極低温あるいはそれ以上の様々の極低温から室温以上の温度範囲で測定することができ、連続運転可能で、製造コストと維持費が安価であり、クエンチを回避することができ、小型で、試料の装着・交換が短時間で容易に行えるクライオスタット、試料装着装置及び温度制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の試料装着装置５は、低温ステージ９に対して真空雰囲気中で外部から着脱自在に装着され、試料装着装置５に設けられたヒータによって試料３１の温度を局部的に上昇させる。本発明のクライオスタットと温度制御方法はこの試料装着装置５を備え、第１の温度制御レベルでは試料ホルダ３０を低温ステージ９に直接接触して熱的に接続し、第２の温度制御レベルで試料ホルダ３０を低温ステージ９に着脱部を介して熱的に接続し、第３の温度制御レベルでは着脱部を低温ステージ９と分離して熱的接続を断つことを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、１つ以上の化合物が濃度勾配に従って存在する溶液を含む１つ以上の結晶化チャンバを備えるマイクロ流体デバイスに関する。結晶化チャンバの形状によって、対流現象が制限される。また、本発明は、このデバイスの使用、詳細には液液拡散による結晶化における使用と、結晶化の方法とに関する。
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【課題】本発明は、安価な液体混合デバイスの提供を目的とする。
【解決手段】２種の液体を混合するためのデバイスであって、前記デバイスは、交差ユニットを具備するものであり、前記交差ユニットは、２度流路が屈折する第１の屈折流路と、２度流路が屈折し、１度目の屈折後の流路下面は、前記第１の屈折流路の１度目の屈折後の流路天面と連通した構造の第２の屈折流路を備えた液体混合デバイスを提供する。前記デバイスは、好ましくは、前記交差ユニットを複数具備する。さらに好ましくは、前記複数の交差ユニットから流出する液体を１つに収集する収集流路を具備するものである。特に好ましくは、前記収集流路に接続し、中心に向かって渦巻き状に収束してなる第１の渦巻流路と、前記第１の渦巻流路の端部に接続され、外方に向かって渦巻き状に発散してなる第２の渦巻流路を具備するものである。 （もっと読む）

周囲液体媒体中に磁性粒子（３）を混合及び操作するためのデバイスであって、ギャップを横切り互いに対向し、前記ギャップの狭い末端から前記ギャップの広い末端まで開散し、前記ギャップを有する前記磁極が電磁気回路を形成し、前記ギャップ領域中に磁場勾配を提供するように配置された少なくとも一対の磁極（１，１’）と；懸濁液中に前記磁性粒子を含む、マイクロ流体ネットワークの一部分であり、前記電磁極（１，１’）のギャップ内に配置された反応チャンバとを具えることを特徴とするデバイス。前記反応チャンバ（２）は好ましくは、開散する空洞を伴う少なくとも一部分を有し、前記磁極間の開散型ギャップ中に共通の開散状態で配置されている。 （もっと読む）

スライド処理用のキャリアが、生物試料を収容しているバイアルをそれぞれが保持するよう構成された複数の第１の位置と、それぞれがスライドを保持するよう構成された対応する複数の第２の位置とを具える。 （もっと読む）

【課題】ＦＩＢ加工時とＳＥＭ観察時とで試料台を共用するとともに、装置本体と試料台が衝突することを防止する。
【解決手段】試料台１０は、断面の形状が略正方形にされており、搭載面１０ｂに試料が搭載される。また、搭載面１０ｂと対向する対向面１０ｄには、ＦＩＢ加工時に試料台１０を試料ホルダ５０に装着するための装着金具４０が螺合される。また、搭載面１０ｂ及び対向面１０ｄに隣接する側面１０ｃには、ＳＥＭ観察時に装着金具４０が螺合される。また、側面１０ｃと対向する側面１０ａには、試料を位置決めするための位置決め金具２０が取り付けられる。位置決め治具２０によって、試料の端面を搭載面１０ｂと側面１０ａとで形成される角部の近傍に位置決めした後、試料が、固定金具３０によって搭載面１０ｂに固定される。 （もっと読む）