【課題】異物や生産バッチ間での物性のばらつきが少なく、高い収率で高機能な、電子材料やディスプレイ材料等に用いられる樹脂組成物溶液を製造することができる攪拌装置を提供する。
【解決手段】攪拌装置１は、樹脂組成物溶液の製造に用いられ、攪拌槽２内に、回転可能な回転軸５と、回転軸５に設けられ、回転軸５の回転に伴って回転して樹脂組成物溶液を攪拌する攪拌翼７と、を備える。攪拌翼７は、上方より投入された樹脂組成物溶液の原料が下方に落下するように水平面に対して傾斜構造とされている上面を有する。また、攪拌槽２内に備えられた邪魔板１０も同様に、水平面に対して傾斜構造とされている上面を有する。 （もっと読む）

本発明は、デバイス上に反転トーン像を形成するための方法であって、ａ）基材上に吸光性下層を形成し； ｂ）下層の上にポジ型フォトレジストの被膜を形成し； ｃ）フォトレジストパターンを形成し； ｄ）この第一のフォトレジストパターンを硬化化合物で処理し、それによって硬化したフォトレジストパターンを形成し； ｅ）硬化したフォトレジストパターンの上に、ケイ素コーティング組成物からケイ素被膜を形成し； ｆ）ケイ素被膜をドライエッチングし、ケイ素被膜がフォトレジストパターンと概ね同じ厚さとなるまで、ケイ素被膜を除去し、及びｇ）ドライエッチングを行ってフォトレジスト及び下層を除去し、それによってフォトレジストパターンが元々在った位置の下にトレンチを形成することを含む、前記方法に関する。更に本発明は、上記方法の製造物及び上記方法を用いて製造される微細電子デバイスにも関する。 （もっと読む）

【課題】感光性組成物を充填された容器は、黒色の袋体で包装されている。このため、包装をはがして、容器に貼付されているラベルを確認し、容器に充填されている感光性組成物に関する情報を取得する必要があった。また、黒色の袋体にも、内部の容器に充填された感光性組成物に関する情報が記録されたラベルが貼付されていることが多いが、その場合には、袋体に貼付されたラベルと容器に貼付されたラベルとが同一であるかどうかを確認する必要があり、また、両者のラベルが異なっている場合には、どちらが正しいラベルであるかを確認する作業が必要であった。
【解決手段】２００ｎｍ〜５００ｎｍの波長領域における光線透過率が５％以下であり、６２０〜９４０ｎｍの波長領域における光線透過率が１０％以上であるフィルムからなることを特徴とする感光性組成物が充填された容器を包装するための包装体。 （もっと読む）

【課題】複雑な構成を用いることない、描画開始から終了に至るまでの全体にわたって欠陥のない滑らかなパターン形成方法を実現することを目的とする。
【解決手段】保護剤で被覆して安定化した超微粒子を基板に接触させ、基板上にエネルギービームを照射しながら基板上を走査することで超微粒子を基板上に固定するパターン形成法において、エネルギービームの照射開始時にエネルギービームのエネルギーをエネルギービームの照射開始点のパターン中央部に欠陥が生じないよう所定時間かけて増加させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】製造過程においてディフェクト要因となり得る異物の混入を十分に抑制することができ、異物含有量が極力低減された半導体製造用組成物溶液の送液方法、製造方法、配管、及び製造装置を提供する。
【解決手段】表面平滑度を示す算術平均粗さの値（Ｒａ；μｍ）が、送液される半導体製造用組成物溶液中の異物サイズ（Ｘ；μｍ）との間に以下の関係式Ｒａ＜Ｘが成立するような内面の配管を用いて送液する。或いは、表面平滑度を示す十点平均粗さの値（Ｒｚ；μｍ）が、半導体製造用組成物溶液中の異物サイズ（Ｘ；μｍ）との間に以下の関係式Ｒｚ＜３Ｘが成立するような内面の配管を用いて送液する。 （もっと読む）

【課題】液浸露光用組成物から気体の発生を抑制する手段を提供すること。
【解決手段】樹脂成分と溶剤とを含む液浸露光用組成物をフィルタで濾過する工程Ａと、液浸露光用組成物の溶存気体を脱気する工程Ｂと、工程Ａ及び工程Ｂを終えた後に液浸露光用組成物を充填する工程Ｃと、を有する液浸露光用組成物の製造方法の提供による。 （もっと読む）

【課題】フォトレジスト用樹脂に対する熱履歴を少なくすることができ、且つフォトレジスト用樹脂溶液を効率良く製造できるフォトレジスト用樹脂溶液の製造方法を提供する。
【解決手段】本フォトレジスト用樹脂溶液の製造方法は、重合性化合物を重合させることにより、レジスト用樹脂を含有する樹脂溶液を調製する工程と、樹脂溶液に含まれる樹脂を再沈殿により精製し、スラリーを得る工程と、スラリーを濾過し、洗浄溶剤を用いて洗浄することにより湿粉を得る工程と、恒率乾燥領域内で湿粉を乾燥して乾燥物を得る工程と、乾燥物を再溶解し、洗浄溶剤をフォトレジスト用溶剤に置換する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】印刷版用パッケージングアセンブリーを提供する。
【解決手段】本発明は、底部を有するパッケージング容器と、底部に隣接して容器の中に定置された少なくとも１枚の印刷版と、を含み、０．３０未満の摩擦係数を有するインターフェースが版と底部との間に配設される、印刷版用パッケージングアセンブリーと印刷版の梱包方法とに関する。 （もっと読む）

【課題】反射防止能に優れたレジスト下層膜を形成することができる多層レジストプロセス用下層膜形成組成物を提供すること。
【解決手段】（Ａ）ノボラック樹脂と、（Ｂ）有機溶剤と、を含有し、（Ａ）ノボラック樹脂が、（ａ１）分子中にフェノール性水酸基を２つ以上有する化合物を１〜９９質量％、（ａ２）ナフトールを１〜１０質量％、（ａ３）フェノール性水酸基を有する化合物（但し、前記（ａ１）化合物及び前記（ａ２）ナフトールを除く）を０〜９８質量％（但し、（ａ１）＋（ａ２）＋（ａ３）＝１００質量％とする）、及び（ａ４）アルデヒド、を縮合して得られる樹脂である多層レジストプロセス用下層膜形成組成物。 （もっと読む）

【課題】精製前のフォトレジスト用樹脂を含有する樹脂溶液中に含まれる、樹脂の重合の際に副生したオリゴマーや低分子量のポリマー、目的とする重量平均分子量よりも高分子量のポリマーを効果的に除去することができ、分子量分布が狭く且つ残留金属濃度の低いフォトレジスト用樹脂を得ることができるフォトレジスト用樹脂の精製方法を提供する。
【解決手段】本フォトレジスト用樹脂の精製方法は、フォトレジスト用樹脂と溶剤とを含有する樹脂溶液におけるフォトレジスト用樹脂の精製を、カラムクロマトグラフィー（充填剤；例えば、シリカゲル等の無機材料）により行う。 （もっと読む）