電子線露光装置やオージェ電子分光装置等に好適な、高い角電流密度動作においても全放射電流量が少ない電子源を提供する。
タングステン又はモリブテンの単結晶からなり、その表面に２Ａ族、３Ａ族及び４Ａ族からならる群から選ばれる１種以上の金属元素と酸素との被覆層を設けてなる陰極（１）を具備する電子銃であって、前記陰極（１）の端部が円錐台形状を有し、しかも円錐台形状部分（８）の円錐全角が２５°以上９５°以下であり、上面（９）の直径が５μｍ以上２００μｍ以下であることを特徴とする電子銃。
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本発明は、２つの電極を収容する密封バルブを有する放電ランプに係る。該電極の少なくとも一方は、第１の粒子寸法分布（１１）によって定義付けられる第１の平均粒子寸法（μ１）を有する第１の粒子と、第２の粒子寸法分布（２１）によって定義付けられる第２の平均粒子寸法（μ２）を有する第２の粒子（２０）とを有する、少なくとも１つの多孔性の部分を有する。第１の平均粒子寸法（μ１）は、第２の平均粒子寸法（μ２）より小さい。その結果、より高い多孔率及びより長い寿命を有する電極部分は、得られる。
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【課題】本発明は、陰極の電子放出性能を低下させることなく、該陰極の加工精度を高くし、また、陰極の局部蓄熱を防止するようにする。
【解決手段】陰極本体（３１）の先端部に先端側が開口した収容室（３２）を設け、該収容室（３２）の底部側に粉状にした少なくとも易電子放射性物質粉末（３３ａ）を充填し、前記収容室（３２）の先端側にタングステン粉末または顆粒タングステン焼結体（３４ａ）を充填し、これらを易電子放射性物質の溶融温度以上の温度で加熱して先端側に前記易電子放射性物質粉末（３３ａ）の溶融物が含浸された多孔質焼結体（３４）を形成する。 （もっと読む）

【課題】従来製法よりも、製造されるランプ間における輝度むらを抑制することが可能な高圧放電ランプの製造方法を提供すること。
【解決手段】本管部４６の容積の大きさを測定する[測定工程]。１本の金属軸体５２の一部をレーザ切断により切断幅ＤＬで、電極軸素体５２Ａと電極軸素体５２Ｂとに切断する[（ａ）切断工程]。電極軸素体５２Ａの先端部分と電極軸素体５２Ｂの先端部分とにそれぞれレーザビームＬＢ３、ＬＢ４を照射して、当該先端部分を溶融させて縮退させる[（ｂ）溶融工程]。この際、前記測定結果に応じて溶融量（縮退量）を調整し、電極間距離をＤ１、Ｄｓ、Ｄ２（Ｄ１＜Ｄｓ＜Ｄ２）のいずれかに設定する。 （もっと読む）

【課題】 外側電極を安価且つ確実に製造可能なエキシマランプの電極製造方法を提供すること。
【解決手段】 同軸円筒状に形成された内管11および外管12よりなる放電管10を含み、内管10の内側の内側電極15と外管12の外表面に配置された外側電極14との間に高電圧を印加し、内管11と外管12との間の空間15に封入されたガスを放電発光させるエキシマランプの電極製造方法であって、表面に予め澱粉質31を塗布した転写紙３に導電性物質により電極パターン14cを形成する第一の工程と、澱粉質31および電極パターン14cを覆うカバーコート17を形成する第二の工程と、第二の工程で得た転写紙３を湿らせて外管11の表面に貼り付ける第三の工程と、転写紙３を剥離して外管11の表面にカバーコート17ととともに電極パターン14cを残存させる第四の工程と、この第四の工程で残存させた電極パターン14cを焼成して電極14とする第五の工程を経る方法である。 （もっと読む）

【課題】パターン精度ならびに歩留まりの高いステンシルマスクの製造方法を提供すること。
【解決手段】基板上にマスク材料層を形成した構造を準備する工程、前記マスク材料層上に無機レジスト層を形成する工程、前記無機レジスト層上に有機レジスト層を塗布した後、リソグラフィーによりパターニングし、有機レジストパターンを形成する工程、前記有機レジストパターンをエッチングマスクとして用いて、前記無機レジスト層をエッチングし、無機レジストパターンを形成する工程、前記基板の裏面を加工し、ステンシルマスク基体を形成する工程、前記無機レジストパターンをエッチングマスクとして用いて、前記マスク材料層をエッチングし、マスク母体を形成する工程、及び前記無機レジストパターンを除去する工程を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】研磨処理を行なう必要がなく、かつろう材の流れの問題のない含浸型陰極基体の製造方法を提供すること。
【解決手段】高融点金属又はその合金の粉末を成形する工程、成形体を焼結する工程、銅を含有させることなく焼結体を酸化処理する工程、及び水素を含む高温雰囲気で還元処理する工程を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 寿命の長いショートアーク放電ランプを提供する。
【解決手段】 不純ガス除去装置１は、ベルジャーカバー３，ベルジャー底板５、Oリング７，第１絶縁スリーブ９，第２絶縁スリーブ１１、および制御部１７を備えている。ランプ電極２３を第１絶縁スリーブ９に保持させ、真空引きポート１３から真空ポンプなどを用いて、空間２５を真空状態とする。ガス封入ポート１５からアルゴンガスを０．６気圧で封入する。制御部１７から、２００Ａで電力供給をおこない、アーク放電によりランプ電極を加熱する。アーク放電によりランプ電極を点灯時の温度と同等に加熱できるので、ランプ電極内に存在する不純ガスを電極外に放出することができる。よって点灯時の黒化を防止できる。 （もっと読む）

液晶パネルのバックライトとしての冷陰極蛍光管の電極のカップ材と接続（リード）線との接合強度のみならず、冷陰極蛍光管の電極として優れた特性を付与させる。
Ｍｏ、Ｗ、Ｔａ、Ｎｂ等の高融点金属のいずれか一種以上または、これに高融点金属の温間における加工性の改良機能と結晶粒成長の調整機能を有する少量のＮｉ、Ｃｕ等のような合金材を添加した高融点金属の一種以上からなり、または、これらの単結晶金属からなる冷陰極蛍光管の電極において、カップ部又は、リード線部（ロッド）とカップ部を温間又は熱間においてプレス、押出し、しごき等の加工によって一体成型した放電電極である。 （もっと読む）

金属蒸気を含有する放電ランプのための電極（３５）は高溶融性で導電性の材料、有利にはタングステン又はタングステンを主として含有する材料から成っている。この電極は長手方向軸線Ｌを規定するピン状のヘッド部（３７）を備えたシャフト（３６）から成っている。この場合、ヘッド部分（３７）の領域には少なくとも１つの孔（３９）が長手方向軸線に対しほぼ横方向に、特に長手方向軸線に対し６０°から９０°の角度を成して配置されている。
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