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国際特許分類[H01L21/60]の内容

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【課題】はんだの高さを確保し、接合の信頼性を向上させることができる接合体、該接合体を用いることで小面積化が可能な半導体装置、該接合体でプリント配線板に接合される半導体装置を有するプリント回路板を提供する。
【解決手段】プリント回路板100は、半導体素子1が実装され、片面に電極パッド8が形成されたインターポーザ2と、インターポーザ2に対向する片面に電極パッド9が形成されたプリント配線板3と、電極パッド8,9を接合する接合体70と、を備えている。接合体70は、はんだ層60と、電極パッド8,9に接合された金属層50,50と、を有している。各金属層50,50は、金属粒子同士が結合して形成された金属粒子集合体10と、金属粒子集合体10の隙間に埋められたはんだ11とからなる。 (もっと読む)


【課題】金めっき皮膜を薄くすることが可能で、半導体チップ搭載用基板の製造コストを低くすることが可能である。さらに、微細配線を形成する場合であっても、ブリッジの発生を低減でき、しかも優れたワイヤボンディング性及びはんだ接続信頼性を得ることが可能な半導体チップ搭載用基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】樹脂を主成分とする絶縁層21と、絶縁層21の上に形成された銅回路22、3、5と、銅回路22、3、5上の少なくとも一部に形成された電解ニッケルめっき皮膜7と、電解ニッケルめっき皮膜7の少なくとも一部に形成され、金めっき皮膜8を形成したワイヤボンディング用端子と、を有する半導体チップ搭載用基板であって、金めっき皮膜8のニッケルめっき皮膜7とは反対側の面の結晶粒径の平均値が、5μm以上である。 (もっと読む)


【課題】低温で接合でき、接合後にはんだバンプの溶融温度を上昇させることができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】第1の接続部材11の第1の主面11Aに第1の接続パッド11aを形成する工程と、半導体チップ21の回路形成面21Aに、第2の接続パッド21aを形成する工程と、第1の接続部材の上に半導体チップを、第1の接続パッドが前記第2の接続パッドに、Sn−Bi合金よりなるはんだバンプ31Aを介してコンタクトするように載置する工程と、はんだバンプをリフローさせ、前記第1の接続パッドと前記第2の接続パッドとを接合する工程と、前記接合工程の後、前記第1および第2の接続パッドの一方をアノード、他方をカソードとして、前記アノードから前記カソードへと直流電流を通電し、前記はんだバンプ中のBiを前記アノードの側に濃集させ、前記はんだバンプ中のSnを前記カソードの側に濃集させる工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】FPDモジュール組立装置において、表示パネル基板の搭載部材にACFを貼り付ける際に、気泡の発生を抑制し、ACFの接着特性を改善する。
【解決手段】テープ上に形成された搭載部材を打ち抜いて、ACFにより表示パネル基板の周縁部に搭載して、FPDモジュールを製造するFPDモジュール組立装置で、仮圧着工程において、上刃と下刃とで挟み込み、加熱・加圧することにより、搭載部材にACFを貼り付ける際に、上刃の搭載部材に接する面に、例えば、シリコンゴムなどの弾性体からなる保護材を、下刃のACFの下面に接する面に同じくシリコンゴムなどの弾性体からなる緩衝材を設ける。上刃の保護材、下刃の緩衝材は、例えば、それぞれにはめ込まれたT型パッドとして形成する。 (もっと読む)


【課題】 エレクトロマイグレーション(EM)の耐性があり、ハイエンドの半導体チップにも採用できるようなプロセスとして、半導体チップを3次元積層アセンブリへと多段に形成していく、はんだ接合プロセスの提供。
【解決手段】
電気接合部に異なる融点をもつ2種のはんだを積層させて構成しておき、3次元積層アセンブリを作成するにあたって、チップ積層時(一次)は低温はんだのみを溶融して積層接合して、アンダーフィルによって封止する。マザーボードへの積層時(二次)は高温はんだを溶融させる。マザーボードへの二次実装時においてもそのギャップとバンプ形状を保持することができる。 (もっと読む)


【課題】 無溶剤の熱可塑性残渣を生成し、その熱可塑性残渣がアンダーフィル成分と反応して熱硬化性樹脂を形成する無洗浄フラックス、を提供すること。
【解決手段】 フラックス活性剤としてジカルボン酸、樹脂成分として平均官能基数が約2.0を有するエポキシのプレポリマー、および粘度調整剤として沸点260度以下の溶剤を含む無洗浄フラックスが、リフロー時にはんだの酸化膜を除去するとともに、ガラス転移温度が100℃以下でアンダーフィル塗布時に液状となる熱可塑性エポキシ硬化物を形成する。粘度調整剤としての溶剤は、リフロー中にそのほとんど全量が揮発し、リフロー後、洗浄することなく、アンダーフィルを塗布する際、その硬化物はアンダーフィルと相溶してアンダーフィルに含まれる硬化剤と反応し、アンダーフィルとともに3次元架橋構造を形成できる。 (もっと読む)


【課題】好適に空間を封止することが可能な電子部品の実装構造体を提供する。
【解決手段】実装構造体1は、支持部材5と、該支持部材5上にバンプ8を介して実装された複数の圧電素子7と、複数の圧電素子7を共に覆い、複数の圧電素子7と支持部材5との間の空間Sを密閉する封止樹脂(樹脂部9)とを有する。複数の圧電素子7は、隣り合う圧電素子7の下面19a間の距離d1が下面19aよりも上方側の所定位置間(例えば上面19b間)の距離d2よりも大きい。そして、樹脂部9は、隣り合う圧電素子7間の間隙Wの少なくとも上方側の一部に充填された介在部9eを有する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、脱脂対象であるボンディングワイヤにキズを発生させず、かつ十分な脱脂効果が得られるボンデシィングワイヤの脱脂方法及びこれを用いた被覆ボンディングワイヤの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】電気泳動を用いてボンディングワイヤ5を脱脂するボンディングワイヤの脱脂方法であって、
第1のアルカリ溶液30が収容され、該第1のアルカリ溶液内に前記電気泳動を行うための陽極50が設けられた第1の槽10内に前記ボンディングワイヤを浸漬させて通過させる第1の脱脂工程と、
第2のアルカリ溶液40が収容され、該第2のアルカリ溶液内に前記電気泳動を行うための陰極が設けられた第2の槽20内に、前記第1の槽内を通過した前記ボンディングワイヤを浸漬させて通過させる第2の脱脂工程と、を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】積層された半導体ウエハーが備える接続部間の電気的な接続を安定的に行い得るとともに、効率よく複数の半導体素子を製造し得る半導体ウエハーの接合方法および信頼性の高い半導体装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の半導体ウエハーの接合方法では、半導体ウエハー210と半導体ウエハー220との間に、フラックス活性を有する硬化剤と、熱硬化性樹脂とを含む接合層60を介在させて、半導体ウエハー210、220が積層された半導体ウエハー積層体230を得た後に、半導体ウエハー積層体230を、加熱しつつ、その厚さ方向に加圧することにより、半田バンプ224を溶融・固化するとともに、前記熱硬化性樹脂を硬化して、半導体ウエハー210と半導体ウエハー220とが固着することにより、接続部(半田バンプの固化物)225で、接続部212と接続部222とが電気的に接続された半導体ウエハー接合体240を得る。 (もっと読む)


【課題】アンダーフィルの収縮が半導体チップの電気特性に及ぼす影響を低減できる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置1は、半導体チップ2とベース材3との積層構造を有する。半導体チップ2の表面上に電極21が形成されており、ベース材3の表面上に電極31が形成されている。半導体チップ2の前記表面とベース材3の前記表面とが対向すると共に電極21と電極31とが突起電極4を介して電気的に接続されている。半導体チップ2の前記表面とベース材3の前記表面とに挟まれた領域のうち、電極配置領域B以外の他の領域に位置する部分のアンダーフィル5に分断領域6が設けられている。 (もっと読む)


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