ウェーハ用ホルダ
【課題】大きな機械的剛性を保持しながら軽量化、低コスト化、作業性の向上を図り、大口径ウェーハ用としても好適に用いられる。
【解決手段】金属薄板を素材とし、それぞれの外周縁と内周縁に沿って一体に立ち上がり形成した立壁状の外周嵌合部１０、１４と内周嵌合部１１、１５からなる嵌合部１２、１６を有する第１フレーム体６と第２フレーム体７を一体化して内部空間部８を有するリング状のフレーム体３を備え、第１フレームの底面９Ｂにダイシングフィルム５が貼り付けられている。
【解決手段】金属薄板を素材とし、それぞれの外周縁と内周縁に沿って一体に立ち上がり形成した立壁状の外周嵌合部１０、１４と内周嵌合部１１、１５からなる嵌合部１２、１６を有する第１フレーム体６と第２フレーム体７を一体化して内部空間部８を有するリング状のフレーム体３を備え、第１フレームの底面９Ｂにダイシングフィルム５が貼り付けられている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程に用いられて半導体ウェーハやガラス基板ウェーハ等（以下、ウェーハと総称する。）を保持するウェーハ用ホルダ（以下、ホルダと略称する。）に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程等においては、ウェーハ製造元から供給されたウェーハを１枚ずつ保持して各工程間の搬送或いは保管等を行う際に保持治具としてホルダ（テープフレーム）が用いられる（特許文献１）。ホルダは、主面上に多数の集積回路形成を行い、導通試験やバックグラインド処理を施したウェーハを保持し、検査工程やチップ形成のためのダイシング工程における保持治具としても用いられる。
ホルダは、金属や樹脂材等によりリング状に形成されたフレーム体と、このフレーム体の開口部を閉塞して着脱自在に貼り付けられる樹脂フィルムとから構成され、樹脂フィルム上にウェーハを載置して周囲をフレーム体により保護する。ホルダについては、半導体技術に関するスタンダード・仕様・ガイドラインについて日欧米を中心として規格化が図られたＳＥＭＩ規格にも「テープフレーム」として規格化が図られており、このＳＥＭＩ規格に適合する仕様により製造される。ホルダは、例えばフレーム幅１／３位置において３０Ｎの負荷を作用させてもフレーム体に変形等が生じない機械的剛性を有すること等の仕様が規定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−６５１２９公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ホルダは、上述した所定の規格仕様を満たすために、フレーム体が一般にある程度の厚み寸法、例えば１．５ｍｍ厚のステンレス板や鋼板等の金属板を素材として形成される。ホルダは、ウェーハの大口径化に伴ってフレーム体も大型となり、所定の規格仕様を満たす機械的剛性を得るために板厚の大きな金属素材を用いてフレーム体の製作が行われる。ホルダは、このために材料費コストがアップするとともに、重量も大きくなるといった問題があった。
ところで、ホルダは、特許文献１にも記載されるようにそれぞれにウェーハを収納した状態で整列収納構造を有する収納容器内に多数個が収納され、運搬やセット等の作業が行われる。収納容器は、全体として大きな重量となるためにその取り扱いに際して作業者に大きな負担を与えるとともに、各ホルダを取り出してダイシングマシーンにセットする等の作業性を低下させるといった問題があった。
【０００５】
特許文献１には、上下一対のリング状金属薄板と、これら金属薄板により挟持されて接着剤により固定された中空金属球、発泡金属、メッシュメタル、或いはエキスパンドメタルのいずれかからなるコア材とから構成されるウェーハ用フレーム体が記載されている。ウェーハ用フレーム体は、金属薄板と軽量コア体の積層体により構成することで、軽量化とともにねじれや曲げ等に対する強度向上が図られる。かかるウェーハ用フレーム体は、大径のウェーハ用として大型に形成されても軽量化を図って所定の規格仕様を満たすことが可能である。
上述した特許文献１に記載のウェーハ用フレーム体においては、上下一対のリング状金属薄板間に全周に亘ってコア体を均一な状態で配置するとともにこれらを均一に接合する作業が極めて面倒で効率が悪いために、軽量化や材料コストを低減しても全体のコスト低減を図ることが困難である。ウェーハ用フレーム体は、例えば使用後に洗浄処理を施した場合にコア体間に洗浄水が浸入して乾きが悪く、また残留した洗浄水により金属薄板に錆が発生しやすく、さらに内部に埃等を溜めて保持したウェーハに付着させる等の問題がある。
したがって、本発明は、ウェーハを確実に保護する充分な機械的剛性を保持しながら軽量化や低コスト化或いは作業性の向上を図り、大口径ウェーハ用としても好適に用いることが可能なウェーハ用ホルダを提供することを目的に提案されたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した目的を達成する本発明にかかるウェーハ用ホルダは、例えばステンレス薄板やメッキ処理を施した薄鋼板等の金属薄板を素材として外形抜き加工や絞り加工等のプレス加工を施してリング状の第１フレーム体及び第２フレーム体を製作し、これら第１フレーム体と第２フレーム体を一体化してフレーム体を構成し、このフレーム体にウェーハ保持体を着脱して構成する。ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体が、第１主面部の外周縁に沿って全周に亘って立ち上がる一体の環状立壁として形成された第１外周嵌合部及び内周縁に沿って全周に亘り第１外周嵌合部と相対向して立ち上がる一体の環状立壁として形成された第１内周嵌合部とからなる第１嵌合部を有し、全体が中央開口部を有するチャンネル形状のリング状部材として形成される。ウェーハ用ホルダは、第２フレーム体が、第２主面部の外周縁に沿って全周に亘り立ち上がる第１フレーム体の第１外周嵌合部の内径よりもやや小径とされた一体の環状立壁として形成された第２外周嵌合部及び内周縁に沿って全周に亘り第２外周嵌合部と相対向して立ち上がる第１フレーム体の第１内周嵌合部の内径よりもやや大径とされた一体の環状立壁として形成された第２内周嵌合部とからなる第２嵌合部を有し、全体が中央開口部を有するチャンネル形状のリング状部材として形成される。ウェーハ用ホルダは、ウェーハ保持体が、例えばダイシング用ホルダとして用いられる場合に、表面に粘着剤を塗布した樹脂フィルムが用いられ、第１フレーム体の第１主面部又は第２フレーム体の第２主面部に外周部を貼り付けられてフレーム体の中央開口部を閉塞することによりウェーハを保持するウェーハ収納空間部を構成する。
【０００７】
ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体と第２フレーム体が、第１嵌合部内に第２嵌合部を嵌合して組み合わされる。ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体側の第１外周嵌合部の内側面に第２フレーム体側の第２外周嵌合部の外側面を結合するとともに、第１フレーム体側の第１内周嵌合部の内側面に第２フレーム体側の第２内周嵌合部の外側面を結合して一体化する。ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体と第２フレーム体を一体化することにより、内部空間部を有する全体がリング状のフレーム体を構成する。ウェーハ用ホルダは、例えば第１フレーム体の底面に中央開口部を閉塞するようにしてウェーハ保持体の外周部位を貼り付けて、第１フレーム体と第２フレーム体を一体化したフレーム体によって外周を取り囲まれたウェーハ収納空間部を構成する。ウェーハ用ホルダは、ウェーハ収納空間部内にウェーハを収納して運搬・搬送等の取り扱いが行われるようにし、またウェーハ収納空間部内に収納した状態で集積回路の導通試験やウェーハを所定の大きさに裁断するダイシング工程が施されるようにする。
ウェーハ用ホルダは、上述したように従来の比較的厚みの大きな金属板、例えば１．５ｍｍ厚の金属板と比較して例えば０．２ｍｍ厚と低コストで軽量の金属薄板に簡易なプレス加工を施して相対する嵌合部を有する簡易な形状の第１フレーム体と第２フレーム体を形成し、これら第１フレーム体と第２フレーム体を一体化して内部空間部を有するリング状のフレーム体を製作する。ウェーハ用ホルダは、材料や工程のコスト低減が図られて廉価に提供され、軽量化とともに対曲げ特性や対捻れ特性が大きい充分な機械的剛性を有することから大口径のウェーハであっても大量かつ確実に処理することを可能とする。
【０００８】
また、ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体と第２フレーム体を一体化したフレーム体の内部空間部がほぼ密閉された空間部（略密閉空間部）を構成する。ウェーハ用ホルダは、フレーム体が、使用後に施される洗浄処理等においても内部空間部に浸入した洗浄水等による錆発生を防止して長寿命化や乾燥工程の簡易化が図られ、内部に埃等を溜めて保持したウェーハに付着させる等の不都合が生じないようにする。
ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体と第２フレーム体が、相対して結合される第１外周嵌合部の内側面と第２外周嵌合部の外側面及び第１内周嵌合部の内側面と第２内周嵌合部の外側面とを、かしめ結合、溶接又は接着剤による接合のいずれか１の方法により結合して一体化されてフレーム体を構成する。ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体と第２フレーム体が強固に一体化されることにより、軽量であっても充分な機械的剛性を有するフレーム体を構成する。
【０００９】
ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体の第１外周嵌合部と第１内周嵌合部に、それぞれ周方向に所定の間隔を以って厚み方向に貫通する複数個の接着剤充填孔が形成される。各接着剤充填孔は、例えば周方向を長軸とした長孔として形成される。ウェーハ用ホルダにおいては、接着剤充填孔から接着剤を充填して相対する第１外周嵌合部の内側面と第２外周嵌合部の外側面及び第１内周嵌合部の内側面と第２内周嵌合部の外側面とを結合して一体化されたフレーム体を構成する。
ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体側の第１外周嵌合部及び第１内周嵌合部に対して第２フレーム体側の第２外周嵌合部及び第２内周嵌合部が第１主面部の厚み寸法分低い高さ寸法を以って形成され、第１嵌合部内に第２嵌合部を嵌合した状態で相対する第１主面部の内面に突き当てられる。ウェーハ用ホルダは、相対する嵌合部の突当て構造により、第１フレーム体と第２フレーム体が位置決めされた状態で高精度に一体化されるとともに大きな機械的剛性を有する軽量化を図ったフレーム体を構成する。
ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体と第２フレーム体により構成されるリング状の内部空間部内に、第１主面部と第２主面部に相対する厚み方向の側面をそれぞれ結合されるリング状のコア体を設けてなる。ウェーハ用ホルダは、コア体が、第１嵌合部内に第２嵌合部を嵌合した状態で、金属薄板により形成した第１フレーム体と第２フレーム体の第１主面部と第２主面部の対向間隔を全周に亘って保持することで、高さ調整と変形を抑制して機械的剛性の向上が図られたフレーム体を構成する。
【００１０】
ウェーハ用ホルダは、コア体が、それぞれ内部空間部の高さとほぼ等しい厚みを有しかつ外径を異にする複数個のリング体からなり、これらコア体を内部空間部内に同心円状に配置するとともにそれぞれを第１フレーム体の第１主面部と第２フレーム体の第２主面部に結合してなる。ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体と第２フレーム体との間を複数個のコア体により保持してフレーム体の機械的剛性のさらなる向上を図ってより薄厚の金属薄板を用いることを可能とし、より軽量化やコスト低減を図ることを可能とする。
ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体の第１主面部又は第２フレーム体の第２主面部の内面に、第１外周嵌合部と第１内周嵌合部又は第２外周嵌合部と第２内周嵌合部との間において全周に亘り同心円状に立ち上がる環状立壁からなるコア凸部が一体に形成される。ウェーハ用ホルダは、コア凸部が、第１嵌合部内に第２嵌合部を嵌合した状態においてフレーム体の幅方向（直径方向）の途中位置において相手側の主面部の内面に突き当てられて、金属薄板を用いた第１フレーム体と第２フレーム体の変形を抑制して全周に亘って第１主面部と第２主面部の対向間隔を保持し、機械的剛性の向上が図られたフレーム体を構成する。
ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体の第１主面部の内面に、第１外周嵌合部と第１内周嵌合部との間において全周に亘り同心円状に立ち上がる環状立壁からなる第１コア凸部を一体に形成する。ウェーハ用ホルダは、第２フレーム体の第２主面部の内面に、第２外周嵌合部と第２内周嵌合部との間において全周に亘り同心円状に立ち上がりかつ第１コア凸部と半径を異にする環状立壁からなる第２コア凸部を一体に形成する。ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体側の第１コア凸部と第２フレーム体側の第２コア凸部が、第１嵌合部内に第２嵌合部を嵌合した状態で、フレーム体の幅方向の領域を２箇所において相手側の主面部の内面に上下から突き当てられる。ウェーハ用ホルダは、第１コア凸部と第２コア凸部により金属薄板を用いた第１フレーム体と第２フレーム体の変形をより確実に抑制して全周に亘って第１主面部と第２主面部の対向間隔を保持してさらに機械的剛性の向上が図られたフレーム体を構成する。
【発明の効果】
【００１１】
以上のように構成された本発明にかかるウェーハ用ホルダは、金属薄板を素材として簡易な工程により、それぞれの外周縁と内周縁に沿って一体に立ち上がり形成して相対する立壁状の外周嵌合部と内周嵌合部からなる嵌合部を有する第１フレーム体と第２フレーム体を製作し、これら第１フレーム体と第２フレーム体を一体化して構成した内部空間部を有するリング状のフレーム体を備える。ウェーハ用ホルダによれば、第１フレーム体と第２フレーム体を薄厚の金属板を用いて製作することにより、フレーム体が軽量化とともにコスト低減を図りながらウェーハを確実に保持する大きな機械的剛性を有する。ウェーハ用ホルダによれば、大口径ウェーハ用にも好適に用いられ、作業性の向上を図って半導体の生産効率を向上させる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態として示すウェーハ用ホルダの平面図である。
【図２】同ウェーハ用ホルダの要部断面図である。
【図３】同ウェーハ用ホルダの要部分解斜視図である。
【図４】第２の実施の形態として示すウェーハ用ホルダの要部斜視図である。
【図５】第３の実施の形態として示すウェーハ用ホルダの要部斜視図である。
【図６】第４の実施の形態として示すウェーハ用ホルダの要部斜視図である。
【図７】第５の実施の形態として示すウェーハ用ホルダの要部側面図である。
【図８】同ウェーハ用ホルダの要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態として示すウェーハ用ホルダ（以下、ホルダと略称する。）１について図面を参照して詳細に説明する。ホルダ１は、主面上に多数の集積回路形成を行ったウェーハ２を保持し、検査工程やチップ形成のためのダイシング工程等を施すために用いるＳＥＭＩ規格に適合する仕様を有するダイシング用ホルダである。なお、ホルダ１は、半導体製造工程において、１枚のウェーハ２を保持し、単独或いは収納容器内に収納されて各工程間の搬送或いは保管等を行う際の保持治具としても用いられる。
ホルダ１は、図１に示すようにウェーハ２の外径よりも大径の中央開口部４を有するリング状のフレーム体３と、このフレーム体３に対して中央開口部４を閉塞して着脱されるウェーハ保持体、すなわちダイシングフィルム５とから構成される。ホルダ１は、ダイシングフィルム５により底面側を閉塞された中央開口部４が、フレーム体３により周囲を囲まれたウェーハ収納空間部を構成する。ホルダ１は、ウェーハ２を、中央開口部４内においてダイシングフィルム５上に保持するとともにフレーム体３により外周部を取り囲む。なお、ホルダ１は、ダイシング用ホルダであることから、ウェーハ保持体として詳細を後述するダイシングフィルム５が着脱されるが、他の用途に用いるホルダである場合には所定のウェーハ保持体が着脱される。
【００１４】
ホルダ１は、例えば直径３００ｍｍのウェーハ２の保持用として用いられ、ウェーハ２を中央開口部４内に収納してダイシングフィルム５上に保持する。ホルダ１は、中央開口部４の内径、すなわちフレーム体３の口径が３５０ｍｍであり、フレーム体３の外径が４００ｍｍに形成される。したがって、ホルダ１は、フレーム体３が、全周に亘って５０ｍｍ／２、すなわち２５ｍｍ幅のリング体として形成される。ホルダ１は、ダイシングフィルム５が、例えば厚みが約０．３ｍｍ程度のポリプロピレン或いはＰＥＴのフィルム材を基材としてその表面に例えばアクリル系粘着接着剤が塗布される。
ダイシング用ホルダであるホルダ１には、ＳＥＭＩ規格に適合する仕様として、図１に示すように収納容器内に位置決め収納するためにフレーム体３の外周部に互いに９０°の間隔を以って３箇所に直線部位からなる係合部１Ａ、１Ｂ、１Ｃが形成される。ホルダ１には、中央の係合部１Ｂと対向する外周部側に位置して中心軸を挟む対称位置に、ダイシングマシーン側の位置決めピンが相対係合する一対の位置決め用凹部（ノッチ）１Ｄ、１Ｅが形成されている。
ホルダ１は、フレーム体３が、共同して中央開口部４を構成する第１中央開口部６Ａ、第２中央開口部７Ａを有する詳細を後述するリング状の第１フレーム体（下フレーム体）６と第２フレーム体（上フレーム体）７を一体に組み合わせて構成される。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、それぞれ後述するようにチャンネル形状のリング状部材からなる。フレーム体３は、第１フレーム体６が第２フレーム体７よりもやや大径に形成され、相対する開口部を突き合わせるように組み合わされることにより密閉された環状空間部からなる内部空間部８を構成して一体化される。フレーム体３は、底面部にダイシングフィルム５を貼り付けるとともに内部空間部８内に補強用かつ高さ調整用のリング状コア体１８を結合してホルダ１を構成する。
【００１５】
フレーム体３は、後述するように第１フレーム体６と第２フレーム体７が、例えばステンレス薄板や無電解ニッケルメッキ処理等を施した薄鋼板等の約０．２ｍｍ厚の金属薄板を素材として形成される。フレーム体３は、かかる金属薄板を素材として内部空間部８を有する中空部材として構成されることにより、重さが約１２０ｇである。したがって、フレーム体３は、厚みが１．５ｍｍの金属板を素材として形成した重さが約３００ｇの従来品と比較して大幅な軽量化が図られる。フレーム体３は、素材コストが低減されるとともにプレス金型或いは工程も簡易化されて製作されることにより、コスト低減が図られる。フレーム体３は、後述する構造から従来品と同等の機械的剛性を有する。
フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、それぞれ同一素材の金属薄板に対して、リング状の中間体を形成する外形抜きプレス加工と、外内周縁に沿って立壁部を一体に立ち上がり形成する絞り加工を施して形成される。なお、フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７の製作工程が、かかる工程に限定されないことは勿論である。
【００１６】
すなわち、第１フレーム体６は、素材に対してフレーム体３の幅寸法よりもやや大きな幅寸法を有するリング状の中間体を形成する外形抜き加工や、この中間体の外周縁及び内周縁に沿って全周に亘り立壁部位を一体に立ち上がり形成する絞り加工を施してチャンネル形状のリング状部材として形成される。第１フレーム体６は、図２及び図３に示すようにリング状の第１主面部９の外周縁に沿って第１外周嵌合部１０を一体に立設するとともに、内周縁に沿って第１内周嵌合部１１を一体に立設する。第１フレーム体６は、これら同心円状の第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１が第１嵌合部１２を構成する。
【００１７】
第１フレーム体６は、第１外周嵌合部１０が、第１主面部９の外周縁に沿って全周に亘って立ち上がる一体の環状立壁からなり、例えば立ち上がり寸法が約１．５ｍｍに形成される。なお、第１フレーム体６は、第１外周嵌合部１０が、上述した係合部１Ａ、１Ｂ、１Ｃの対応部位を直線状の立壁として形成されるとともに位置決め用凹部１Ｄ、１Ｅの対応部位を内周側に凹む立壁として形成される。
第１フレーム体６は、第１内周嵌合部１１が、第１主面部９の内周縁に沿って全周に亘って立ち上がり第１外周嵌合部９と全周に亘って対向することにより同心円をなす一体の環状立壁からなる。第１フレーム体６は、第１内周嵌合部１１も、第１外周嵌合部１０と同等の立ち上がり寸法を有し、例えば約１．５ｍｍに形成される。第１フレーム体６は、このように第１主面部９の外内周縁に沿って相対する第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１を一体に立ち上がり形成することにより、上述したように断面が上向きコ字状を呈するチャンネル形状のリング状部材として形成される。
【００１８】
第２フレーム体７は、素材に対して第１フレーム体６の中間体よりも板厚分小さな外形寸法を有するリング状の中間体を形成する外形抜き加工を施し、この中間体の外周縁及び内周縁に沿って立壁部を一体に立ち上がり形成する絞り加工を施してチャンネル形状のリング状部材として形成される。第２フレーム体７も、図２及び図３に示すように第２主面部１３の外周縁に沿った第２外周嵌合部１４と内周縁に沿った第２内周嵌合部１５を一体に形成してなる。第２フレーム体７は、これら同心円状の第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５により第２嵌合部１６を構成する。
第２フレーム体７も、第２外周嵌合部１４が、第２主面部１３の外周縁に沿って全周に亘り立ち上がる一体の環状立壁からなる。第２フレーム体７は、第２外周嵌合部１４が、外周面の外径を第１フレーム体６側の第１外周嵌合部１０の内周面の外径とほぼ等しくなるように全体がやや小径に形成される。第２フレーム体７は、後述するように第１フレーム体６に対して第２外周嵌合部１４を第１主面部９の内面に突き合わせて組み付けられて密閉された内部空間部８を構成することから、この第２外周嵌合部１４が立ち上がり寸法を例えば約１．３ｍｍに形成される。なお、第２フレーム体７も、第１フレーム体６側と同様に係合部１Ａ、１Ｂ、１Ｃの対応部位を直線状の立壁として形成するとともに位置決め用凹部１Ｄ、１Ｅの対応部位を内周側に凹む立壁として形成する。
【００１９】
第２フレーム体７も、第２内周嵌合部１５が、第２主面部１３の内周縁に沿って全周に亘って立ち上がり、第２外周嵌合部１４と全周に亘って対向することにより同心円をなす一体の環状立壁として形成される。第２フレーム体７は、第２内周嵌合部１５を、外周面の外径を第１フレーム体６側の第１内周嵌合部１１の内周面の外径とほぼ等しくなるようにして形成される。第２フレーム体７も、第２内周嵌合部１５が立ち上がり寸法を例えば約１．３ｍｍに形成される。第２フレーム体７も、このように第２主面部１３の外内周縁に沿って相対する第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５を一体に立ち上がり形成することにより、上述したように断面が下向きコ字状を呈するチャンネル形状のリング状部材として形成される。
【００２０】
フレーム体３は、上述した第１フレーム体６に対して第２フレーム体７が、図３矢印で示すように第１嵌合部１２に第２嵌合部１６を全周に亘って嵌合することにより組み合わされる。フレーム体３は、第１フレーム体６に対して第２フレーム体７が、図２に示すように第１フレーム体６側の第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａに沿って第２フレーム体７側の第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａが嵌合される。フレーム体３は、第１フレーム体６側の第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａに沿って第２フレーム体７側の第２内周嵌合部１５の外側面１５Ａが嵌合される。フレーム体３は、これにより第１フレーム体６の第１中央開口部６Ａと第２フレーム体７の第２中央開口部７Ａが共同して中央開口部４を構成し、全体がリング状となる。
フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が第１嵌合部１２と第２嵌合部１６を組み合わせた状態で、図２に示すように第２フレーム体７側の第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５がそれぞれの先端部を第１フレーム体６側の第１主面部９の内面９Ａに突き合わされる。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、第１フレーム体６の第１外周嵌合部１０及び第１内周嵌合部１１の先端部と、第２フレーム体７側の第２主面部１３がほぼ同一面を構成して組み合わされる。
【００２１】
フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、図２に示すように外周部において嵌合された第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａと第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａとの間に充填した接着剤１７により結合される。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、内周部において嵌合された第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａと第２内周嵌合部１５の外側面１５Ａとの間に充填した接着剤１７により結合される。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、突き合わされた第１主面部９の内面９Ａと第２外周嵌合部１４及び第２内周嵌合部１５の先端部との間に充填した接着剤１７により結合される。
フレーム体３は、上述したように第１フレーム体６と第２フレーム体７が、内部空間部８を構成して一体化される。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７の上述した組み合わせ構造により、第１フレーム体６側の第１外周嵌合部１０及び第１内周嵌合部１１の高さ寸法１．５ｍｍが全体の厚み寸法となる。フレーム体３は、図２に示すように結合された第１フレーム体６側の第１外周嵌合部１０と第２フレーム体７側の第２外周嵌合部１４が共同して、厚みが０．４ｍｍの外周壁部を構成する。フレーム体３は、結合された第１フレーム体６側の第１内周嵌合部１１と第２フレーム体７側の第２内周嵌合部１５が共同して、厚みが０．４ｍｍの内周壁部を構成する。
【００２２】
フレーム体３は、第１フレーム体６側の第１主面部９を底面部とし、第２フレーム体７側の第２主面部１３を天井部として、内部に内部空間部８を構成してなる。フレーム体３は、全体の幅が２５ｍｍ、高さが１．５ｍｍであり、平坦性を有して変形や歪み等の発生を防止した機械的剛性の大きなフレーム体を構成する。フレーム体３は、中空構造であり厚み寸法の小さな金属板を素材として形成することにより、軽量化が図られる。
フレーム体３には、図１乃至図３に示すように、内部空間部８内に第１フレーム体６の第１主面部９と第２フレーム体７の第２主面部１３の対向間隔を保持するリング状のコア体１８が設けられる。フレーム体３は、上述した第１フレーム体６と第２フレーム体７の組み合わせ構造により充分な機械的剛性を有しているが、コア体１８を設けることにより補強されてさらに機械的剛性の向上が図られる。フレーム体３は、例えば３０Ｎの偏倚荷重を１分間に亘って負荷しても変形や歪み発生が生じることはなく、ＳＥＭＩ規格に適合する仕様を有してウェーハ２を確実に保持する軽量のホルダ１を構成する。
【００２３】
コア体１８は、素材として例えば亜鉛メッキ処理を施した薄厚鋼板が用いられ、この素材に外形抜きプレス加工を施して、横長矩形の断面形状を有して第２フレーム体７の第２外周嵌合部１４よりも小径でありかつ第２内周嵌合部１５よりも大径のリング体として形成される。コア体１８は、後述するように内部空間部８内において第１フレーム体６と第２フレーム体７とに結合されるが、内部空間部８のほぼ中央部に配置される外径であることが好ましい。
コア体１８は、厚み寸法が内部空間部８の高さ寸法（１．１ｍｍ）よりもやや薄厚の１ｍｍであり、幅寸法が約３ｍｍに形成される。コア体１８は、かかる寸法値に限定されないことは勿論であるが、大きな幅寸法とした場合にフレーム体３の重量を大きくし、また小さな幅寸法とした場合にフレーム体３の補強作用が低下する。コア体１８は、上述した厚み寸法により内部空間部８を構成する第１フレーム体６の第１主面部９と第２フレーム体７の第２主面部１３との間において約０．１ｍｍの間隙が生じるが、図２に示すようにこの間隙に接着剤１７が充填されるようにする。
【００２４】
コア体１８は、図３に示すように例えば第１フレーム体６に対して第１主面部９の内面９Ａ上に接合される。コア体１８は、第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１と同心円を構成して第１フレーム体６の第１主面部９の内面９Ａに底面を結合される。コア体１８は、第１フレーム体６に対して第２フレーム体７が組み合わされることにより、第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５と同心円を構成して第２フレーム体７の第２主面部１３の内面１３Ａに上面を結合される。コア体１８は、これにより第１フレーム体６の第１主面部９と第２フレーム体７の第２主面部１３の対向間隔を保持する。
なお、コア体１８は、底面を第１フレーム体６の第１主面部９に結合するとともに上面を第２フレーム体７の第２主面部１３に結合するようにしたが、第１フレーム体６と第２フレーム体７がしっかりと固定されることから、例えば底面のみを第１フレーム体６側と固定し第２フレーム体７の第２主面部１３を支えるようにしてもよい。また、コア体１８は、底面側を第１主面部９に対して溶接によって結合し、上面側を接着剤１７により第２主面部１３と結合するようにしてもよい。
【００２５】
フレーム体３は、上述したように第１フレーム体６と第２フレーム体７及びコア体１８の相対する各部を接着剤１７により接合して一体化される。接着剤１７には、例えばアクリル系接着剤やエポキシ系接着剤等の金属用接着剤が用いられ、また室温硬化型或いは加熱硬化型接着剤が用いられる。フレーム体３は、上述したように略密閉空間部を構成する内部空間部８内において各部を接合することから、接着剤１７が流れ出してウェーハ２を汚損させる等の不都合が生じることは無い。
フレーム体３は、上述した第１フレーム体６と第２フレーム体７とコア体１８の結合を接着剤１７により接合して一体化する構造に限定されないことは勿論である。フレーム体３は、第１嵌合部１２と第２嵌合部１６をきつい嵌合、いわゆる「かしめ結合」構造とすることによって第１フレーム体６と第２フレーム体７を一体化するようにしてもよい。また、フレーム体３は、例えば第１外周嵌合部１０及び第１内周嵌合部１１の先端部と相対する第２外周嵌合部１４及び第２内周嵌合部１５の基端部との間を全周に亘って溶接することにより、第１フレーム体６と第２フレーム体７を一体化するようにしてもよい。
【００２６】
以上のように構成されたフレーム体３には、図２に示すように第１フレーム体６の第１主面部９の底面９Ｂにダイシングフィルム５が貼り付けられホルダ１を構成する。ダイシングフィルム５は、フレーム体３の外径よりもやや小径であり、接着剤として粘着性接着剤を用いることにより外周部位を第１主面部９の底面９Ｂに対して着脱される。ダイシングフィルム５は、第１フレーム体６に貼り付けることにより、図１に示すように中央開口部４の底面部を閉塞してフレーム体３により周囲を囲まれたウェーハ収納空間部を構成する。ダイシングフィルム５は、詳細を省略するがウェーハ収納空間部の構成領域において上面にウェーハ２を保持する粘着剤が塗布される。
以上のように構成されたホルダ１は、フレーム体３が、上述したようにそれぞれ従来品よりも薄厚であり低コスト化と加工性の向上が図られる金属薄板を素材として簡易なプレス加工を施して第１フレーム体６と第２フレーム体７を形成する。ホルダ１は、フレーム体３が、第１フレーム体６と第２フレーム体７を簡易な工程により一体化して内部を中空とする内部空間部８を有して構成することから軽量化が図られる。ホルダ１は、フレーム体３が、第１フレーム体６と第２フレーム体７の嵌合構造により大きな機械的剛性を以って構成される。ホルダ１は、フレーム体３の内部空間部８内に補強部材のコア体１８を設けたことによってさらに大きな機械的剛性を有する。
【００２７】
ホルダ１は、フレーム体３の中央開口部４により構成されるウェーハ収納空間部内にウェーハ２を収納してダイシングフィルム５上に保持する。ホルダ１は、ウェーハ２を収納保持した状態で運搬・搬送等の取り扱いを行い、ウェーハ２を所定の大きさに裁断するダイシング工程が施されるようにする。ホルダ１は、大きな機械的剛性を有するフレーム体３によりウェーハ２の周囲を取り囲んで確実に保護する。ホルダ１は、上述したように材料や工程のコスト低減が図られて廉価であり、大幅な軽量化が図られるも対曲げ特性や対捻れ特性が大きい充分な機械的剛性を有するフレーム体３を備えることにより、大口径のウェーハであっても大量かつ確実に処理することを可能とする。
上述したホルダ１においては、フレーム体３に薄厚鋼板を素材にして断面横長矩形のリング状に形成したコア体１８を設けたが、かかるコア体１８に限定されないことは勿論である。図４に第２の実施の形態として示したホルダ２０も、上述した第１フレーム体６と第２フレーム体７を組み合わせてフレーム体３を構成し、このフレーム体３にダイシングフィルム５を貼り付けてなる。ホルダ２０は、フレーム体３の内部空間部８内に２本の第１コア線材２１と第２コア線材２２からなるコア体を設けてなる。
【００２８】
第１コア線材２１及び第２コア線材２２は、メッキ処理を施した直径１ｍｍの鋼線を素材とし、それぞれ所定長に切断した後に両端部を突き合わせて溶接することによりリング状に形成される。第１コア線材２１は、第２フレーム体７の第２外周嵌合部１４よりもやや小径であり、内部空間部８の中心円径よりもやや大径とされたリング状線材からなる。第２コア線材２２は、第２フレーム体７の第２内周嵌合部１５よりもやや大径であり、内部空間部８の中心円径よりもやや小径とされたリング状線材からなる。
ホルダ２０は、上述したホルダ１と同様にして第１フレーム体６と第２フレーム体７を組み合わせてフレーム体３を構成するが、第１コア線材２１と第２コア線材２２がこのフレーム体３の内部空間部８に同心円状に配置される。第１コア線材２１と第２コア線材２２は、予め第１フレーム体６の第１主面部９の内面９Ａ上に、例えば接着剤１７或いは溶接等により固定される。
【００２９】
第１コア線材２１は、第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１と同心円を構成して第１フレーム体６の第１主面部９の内面９Ａに下側外周部を結合される。第２コア線材２２は、第１コア線材２１よりも内周側に位置し、この第１コア線材２１と第１内周嵌合部１１と同心円を構成して第１フレーム体６の第１主面部９の内面９Ａに下側外周部を結合される。第１コア線材２１と第２コア線材２２は、これにより同心円状に配置されて第１フレーム体６の第１主面部９に設けられる。
第１コア線材２１及び第２コア線材２２は、第１フレーム体６と第２フレーム体７を組み合わせた状態で、それぞれの上側外周部が第２フレーム体７側の第２主面部１３の内面１３Ａに突き当てられる。第１コア線材２１及び第２コア線材２２は、上側外周部が内面１３Ａに対して接着剤１７により接合されることで第２フレーム体７の第２主面部１３に結合される。
【００３０】
ホルダ２０は、上述したように鋼線により形成した第１コア線材２１と第２コア線材２２を用いることにより、上述したホルダ１よりもさらにコスト低減が図られる。ホルダ２０は、第１コア線材２１と第２コア線材２２により、内部空間部８の幅方向の２箇所で第１フレーム体６と第２フレーム体７との組み合わせ状態を補強したフレーム体３を構成する。フレーム体３は、軽量特性を保持して、より機械的剛性の向上が図られる。なお、フレーム体３は、鋼線により形成した１本のコア線材により補強を行う構造であってもよく、さらに大型のフレーム体であれば数本のコア線材を用いるようにしてもよい。
フレーム体３は、第１コア線材２１と第２コア線材２２を予め第１フレーム体６側に設けて第１フレーム体６と第２フレーム体７との組み合わせを行うようにしたが、かかる工程順によらないことは勿論である。フレーム体３は、第１コア線材２１と第２コア線材２２を予め第２フレーム体７側に設けて、第１フレーム体６と第２フレーム体７との組み合わせを行うようにしてもよい。また、フレーム体３は、第１コア線材２１を第１フレーム体６側に設けるとともに第２コア線材２２を第２フレーム体７に設けてもよい。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が第１コア線材２１と第２コア線材２２によりそれぞれの主面部を補強され、変形等を生じることなく組み合わせが行われる。
上述したホルダ１及びホルダ２０においては、第１フレーム体６と第２フレーム体７を組み合わせて構成したフレーム体３の内部空間部８内に別部材であるコア体１８或いは第１コア線材２１や第２コア線材２２を設けて補強構造を構成したが、かかる補強構造に限定されるものでは無いことは勿論である。図５に第３の実施の形態として示したホルダ３０は、第１フレーム体３２と第２フレーム体３３を組み合わせて内部空間部８を有するフレーム体３１を構成する基本的な構成をホルダ１及びホルダ２０と同様とする。
【００３１】
ホルダ３０は、第２フレーム体３３側に上述したコア体１８や第１コア線材２１及び第２コア線材２２と同等の機能を奏するコア体構造が一体に形成された構成に特徴がある。したがって、以下のホルダ３０の説明については、第２フレーム体３３の特徴的な構成についてのみ説明することとし、上述したホルダ１及びホルダ２０と対応する部位を有する第１フレーム体３２を含むその他の部位については同一符号を付すことにより説明を省略する。
第２フレーム体３３も、中間材に対して絞り加工を施して第２主面部１３の外内周縁部に沿って環状立壁からなる第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５を一体に立ち上がり形成するが、これら第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５間において第２主面部１３にコア凸部３４が一体に形成される。第２フレーム体３３は、素材から形成される中間体が、上述したホルダ１の第２フレーム体７に用いる中間体よりも約２ｍｍ程度大きな幅寸法を有している。
第２フレーム体３３は、第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５を形成する絞り加工と同時或いはこの絞り加工に先行して、第２主面部１３の幅方向のほぼ中央部に位置して環状の立壁部からなるコア凸部３４を一体に形成する。コア凸部３４は、第２主面部１３の一部を全周に亘って内面側に突出するように絞り出すことにより、第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５との間において約１ｍｍの高さを以って同心円状に一体に立ち上がり形成される。なお、第２フレーム体３３は、第２主面部１３に折り返し構造によりリブ作用を奏するコア凸部３４を形成したことにより、機械的剛性の向上も図られる。
【００３２】
ホルダ３０は、第１フレーム体３２に対してコア凸部３４を一体に形成した第２フレーム体３３を組み合わせてフレーム体３１を構成する。フレーム体３１は、第１フレーム体３２と第２フレーム体３３が、上述したように第１嵌合部１２と第２嵌合部１６の嵌合構造により、内部空間部８を構成して一体化される。フレーム体３１は、内部空間部８の幅方向の中央部位において、コア凸部３４の先端部が第１フレーム体３２側の第１主面部９の内面９Ａに突き当てられる。フレーム体３１は、コア凸部３４の先端部が接着剤１７により突き当てられた内面９Ａに接合される。したがって、フレーム体３１は、内部空間部８の幅方向の中央部位においてコア凸部３４により第１フレーム体３２の第１主面部９と第２フレーム体３３の第２主面部１３の対向間隔が保持され、またコア凸部３４により機械的剛性の向上も図られる。
なお、ホルダ３０は、第２フレーム体３３に１個のコア凸部３４を一体に形成したが、幅方向に並んで複数のコア凸部を互いに同心円状に配列して一体に形成するようにしてもよい。また、ホルダ３０は、第２フレーム体３３に、上述した第１フレーム体３２側の内面９Ａに突き当てられるコア凸部３４と、このコア凸部３４と同心円状の折曲リブを一体に形成して第２フレーム体３３、換言すれば全体の機械的剛性の向上を図るようにしてもよい。さらに、ホルダ３０は、第２フレーム体３３側にコア凸部３４を一体に形成したが、第１フレーム体３２側に同等のコア凸部３４を一体に形成するようにしてもよい。
【００３３】
図６に第４の実施の形態として示したホルダ４０も、第１フレーム体４２と第２フレーム体４３を組み合わせて内部空間部８を有するフレーム体４１を構成した基本的な構成を上述した各実施の形態と同様とする。フレーム体４１は、第１フレーム体４２に第１コア凸部４４を一体に形成するとともに、第２フレーム体４３に第２コア凸部４５を一体に形成した構成に特徴を有している。以下のホルダ４０の説明においても、第１フレーム体４２と第１フレーム体４３の特徴的な構成についてのみ説明することとし、上述したホルダ１及びホルダ２０と対応するその他の部位については同一符号を付すことにより説明を省略する。
第１フレーム体４２は、第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１を形成する絞り加工と同時或いはこの絞り加工に先行して、第１主面部９のやや第１外周嵌合部１０側に位置して環状の立壁部からなる第１コア凸部４４を一体に形成する。第１コア凸部４４は、第１主面部９の一部を全周に亘って内面側に突出するように絞り出すことにより、第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１との間において約１ｍｍの高さを以って同心円状に一体に立ち上がり形成される。なお、第１フレーム体４２は、第１主面部９に折り返し構造によりリブ作用を奏する第１コア凸部４４を形成したことにより、機械的剛性の向上も図られる。
【００３４】
第２フレーム体４３にも、第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５を形成する絞り加工と同時或いはこの絞り加工に先行して、第２主面部９のやや第２内周嵌合部１５側に位置して環状の立壁部からなる第２コア凸部４５を一体に形成する。第２コア凸部４５も、第２主面部１３の一部を全周に亘って内面側に突出するように絞り出すことにより、第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５との間において約１ｍｍの高さを以って同心円状に一体に立ち上がり形成される。第２コア凸部４５は、第１フレーム体４２側の第１コア凸部４４に対して、やや小径の環状立壁部からなる。第２フレーム体４３も、第２主面部１３に折り返し構造によりリブ作用を奏する第２コア凸部４５を形成したことにより、機械的剛性の向上も図られる。
ホルダ４０は、第１コア凸部４４を一体に形成した第１フレーム体４２に対して第２コア凸部４５を一体に形成した第２フレーム体４３が組み合わされてフレーム体４１を構成する。フレーム体４１は、第１フレーム体４２と第２フレーム体４３が、上述したように第１嵌合部１２と第２嵌合部１６の嵌合構造により、内部空間部８を構成して一体化される。フレーム体４１は、内部空間部８内において第１コア凸部４４が外周側に位置するとともに第２コア凸部４５が内周側に位置して、同心円状に設けられる。
【００３５】
フレーム体４１は、内部空間部８内において、やや外周壁側に位置して第１フレーム体４２側の第１コア凸部４４がその先端部を第２フレーム体４３側の第２主面部１３の内面１３Ａに突き当てられるとともに接着剤１７により接合される。フレーム体４１は、やや内周側に位置して第２フレーム体４３側の第２コア凸部４５がその先端部を第１フレーム体４２側の第１主面部９の内面９Ａに突き当てられるとともに接着剤１７により接合される。フレーム体４１は、内部空間部８内に設けた第１コア凸部４４と第２コア凸部４５により、第１フレーム体４２の第１主面部９と第２フレーム体４３の内面１３Ａの対向間隔が保持され、また機械的剛性も大幅に向上される。
なお、フレーム体４１は、第１フレーム体４２側にやや外周壁側に位置する第１コア凸部４４を形成するとともに第２フレーム体４３側にやや内周側に位置する第２コア凸部４５を一体に形成したが、かかる構成に限定されないことは勿論である。フレーム体４１は、第１フレーム体４２と第２フレーム体４３に、逆位置となる第１コア凸部４４と第２コア凸部４５を一体に形成するようにしてもよい。
上述したようにフレーム体３においては、第１フレーム体６と第２フレーム体７を相対して形成した第１嵌合部１２と第２嵌合部１６を嵌合して一体化し、内部に略密閉空間部からなる内部空間部８を構成してなる。フレーム体３は、第１嵌合部１２と第２嵌合部１６を構成して嵌合される部位が内部空間部８内において接着剤１７により接合される。したがって、フレーム体３においては、接合部位に予め接着剤１７が塗布されて各部の組み合わせが行われる。
【００３６】
図７及び図８に第５の実施の形態として示したフレーム体５０は、後工程において接着剤１７の充填を可能として接着工程の簡易化を図った構造に特徴を有している。フレーム体５０についても、特徴とする接着剤充填構造についてのみ説明することとし、上述したホルダ１及びホルダ２０と対応するその他の部位については同一符号を付すことにより説明を省略する。なお、図７及び図８には、第１外周嵌合部５２側のみを図示している。フレーム体５０は、第１内周嵌合部１１側にも同等の接着剤充填孔が形成されており、以下第１外周嵌合部５２側の構成について代表して説明する。
フレーム体５０は、第１フレーム体５１の第１外周嵌合部５２と第１内周嵌合部１１に複数個の接着剤充填孔５３が形成される。第１フレーム体５１には、第１外周嵌合部５２に周方向に所定の間隔を以って、図８に示すように厚み方向に貫通する複数個の接着剤充填孔５３が形成される。接着剤充填孔５３は、図７に示すように周方向の長さ寸法ｌが高さ方向の寸法ｈよりも大きい楕円形状の貫通孔として形成される。なお、接着剤充填孔５３については、素材に外形抜きプレス加工を施す際に、同時に打ち抜いて形成することが可能である。
【００３７】
フレーム体５０は、第１フレーム体５１と第２フレーム体７を組み合わせた状態で、図８に示すように接着剤充填孔５３を介して第２フレーム体７の第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａを外方に臨ませる。フレーム体５０は、詳細を省略するが例えば注射器型充填器を用いて、接着剤充填孔５３内に接着剤１７を充填する。接着剤１７は、相対嵌合された第１フレーム体５１側の第１外周嵌合部５２の内側面５２Ａと第２フレーム体７の第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａとの間に流れ込んで硬化することにより、第１外周嵌合部５２と第２外周嵌合部１４を一体化する。
フレーム体５０は、上述したように第１フレーム体５１に周方向を長軸とした長孔からなる接着剤充填孔５３を形成したことにより、接着剤１７が周方向の広い範囲に亘って流れ出るようになり第１フレーム体５１と第２フレーム体７を強固に一体化する。フレーム体５０は、接着剤充填孔５３が、充填した接着剤１７が内部において硬化することにより閉塞されることから、内部空間部８の密閉状態が保持される。なお、フレーム体５０は、接着剤充填孔５３を第１外周嵌合部５２に対して高さ位置を異にして形成するようにしてもよい。フレーム体５０は、接着剤充填孔５３を第１外周嵌合部５２に対して第１主面部９寄りに形成することにより、充填した接着剤１７が第１主面部９の内面９Ａとこれに突き当てられる第２フレーム体７側の第２外周嵌合部１４の先端部との間にも流れ込んで硬化してこれらを一体化する。
なお、本発明は、図面を参照して説明した上述した各実施の形態に限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲及びその要旨を逸脱することなく、様々な変更、置換或いは同等に構成されることは当業者にとって明らかである。
【符号の説明】
【００３８】
１ ホルダ、２ ウェーハ、３ フレーム体、４ 中央開口部（ウェーハ収納空間部）、５ ダイシングフィルム（ウェーハ保持体）、６ 第１フレーム体、７ 第２フレーム体、８ 内部空間部、９ 第１主面部、１０ 第１外周嵌合部、１１ 第１内周嵌合部、１２ 第１嵌合部、１３ 第２主面部、１４ 第２外周嵌合部、１５ 第２内周嵌合部、１６ 第２嵌合部、１７ 接着剤、１８ コア体、２０ ホルダ、２１ 第１コア線材、２２ 第２コア線材、３０ ホルダ、３１ フレーム体、３２ 第１フレーム体、３３ 第２フレーム体、３４ コア凸部、４０ ホルダ、４１ フレーム体、４２ 第１フレーム体、４３ 第２フレーム体、４４ 第１コア凸部、４５ 第２コア凸部、５０ フレーム体、５１ 第１フレーム体、５２ 第１外周嵌合部、５３ 接着剤充填孔
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程に用いられて半導体ウェーハやガラス基板ウェーハ等（以下、ウェーハと総称する。）を保持するウェーハ用ホルダ（以下、ホルダと略称する。）に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程等においては、ウェーハ製造元から供給されたウェーハを１枚ずつ保持して各工程間の搬送或いは保管等を行う際に保持治具としてホルダ（テープフレーム）が用いられる（特許文献１）。ホルダは、主面上に多数の集積回路形成を行い、導通試験やバックグラインド処理を施したウェーハを保持し、検査工程やチップ形成のためのダイシング工程における保持治具としても用いられる。
ホルダは、金属や樹脂材等によりリング状に形成されたフレーム体と、このフレーム体の開口部を閉塞して着脱自在に貼り付けられる樹脂フィルムとから構成され、樹脂フィルム上にウェーハを載置して周囲をフレーム体により保護する。ホルダについては、半導体技術に関するスタンダード・仕様・ガイドラインについて日欧米を中心として規格化が図られたＳＥＭＩ規格にも「テープフレーム」として規格化が図られており、このＳＥＭＩ規格に適合する仕様により製造される。ホルダは、例えばフレーム幅１／３位置において３０Ｎの負荷を作用させてもフレーム体に変形等が生じない機械的剛性を有すること等の仕様が規定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−６５１２９公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ホルダは、上述した所定の規格仕様を満たすために、フレーム体が一般にある程度の厚み寸法、例えば１．５ｍｍ厚のステンレス板や鋼板等の金属板を素材として形成される。ホルダは、ウェーハの大口径化に伴ってフレーム体も大型となり、所定の規格仕様を満たす機械的剛性を得るために板厚の大きな金属素材を用いてフレーム体の製作が行われる。ホルダは、このために材料費コストがアップするとともに、重量も大きくなるといった問題があった。
ところで、ホルダは、特許文献１にも記載されるようにそれぞれにウェーハを収納した状態で整列収納構造を有する収納容器内に多数個が収納され、運搬やセット等の作業が行われる。収納容器は、全体として大きな重量となるためにその取り扱いに際して作業者に大きな負担を与えるとともに、各ホルダを取り出してダイシングマシーンにセットする等の作業性を低下させるといった問題があった。
【０００５】
特許文献１には、上下一対のリング状金属薄板と、これら金属薄板により挟持されて接着剤により固定された中空金属球、発泡金属、メッシュメタル、或いはエキスパンドメタルのいずれかからなるコア材とから構成されるウェーハ用フレーム体が記載されている。ウェーハ用フレーム体は、金属薄板と軽量コア体の積層体により構成することで、軽量化とともにねじれや曲げ等に対する強度向上が図られる。かかるウェーハ用フレーム体は、大径のウェーハ用として大型に形成されても軽量化を図って所定の規格仕様を満たすことが可能である。
上述した特許文献１に記載のウェーハ用フレーム体においては、上下一対のリング状金属薄板間に全周に亘ってコア体を均一な状態で配置するとともにこれらを均一に接合する作業が極めて面倒で効率が悪いために、軽量化や材料コストを低減しても全体のコスト低減を図ることが困難である。ウェーハ用フレーム体は、例えば使用後に洗浄処理を施した場合にコア体間に洗浄水が浸入して乾きが悪く、また残留した洗浄水により金属薄板に錆が発生しやすく、さらに内部に埃等を溜めて保持したウェーハに付着させる等の問題がある。
したがって、本発明は、ウェーハを確実に保護する充分な機械的剛性を保持しながら軽量化や低コスト化或いは作業性の向上を図り、大口径ウェーハ用としても好適に用いることが可能なウェーハ用ホルダを提供することを目的に提案されたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した目的を達成する本発明にかかるウェーハ用ホルダは、例えばステンレス薄板やメッキ処理を施した薄鋼板等の金属薄板を素材として外形抜き加工や絞り加工等のプレス加工を施してリング状の第１フレーム体及び第２フレーム体を製作し、これら第１フレーム体と第２フレーム体を一体化してフレーム体を構成し、このフレーム体にウェーハ保持体を着脱して構成する。ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体が、第１主面部の外周縁に沿って全周に亘って立ち上がる一体の環状立壁として形成された第１外周嵌合部及び内周縁に沿って全周に亘り第１外周嵌合部と相対向して立ち上がる一体の環状立壁として形成された第１内周嵌合部とからなる第１嵌合部を有し、全体が中央開口部を有するチャンネル形状のリング状部材として形成される。ウェーハ用ホルダは、第２フレーム体が、第２主面部の外周縁に沿って全周に亘り立ち上がる第１フレーム体の第１外周嵌合部の内径よりもやや小径とされた一体の環状立壁として形成された第２外周嵌合部及び内周縁に沿って全周に亘り第２外周嵌合部と相対向して立ち上がる第１フレーム体の第１内周嵌合部の内径よりもやや大径とされた一体の環状立壁として形成された第２内周嵌合部とからなる第２嵌合部を有し、全体が中央開口部を有するチャンネル形状のリング状部材として形成される。ウェーハ用ホルダは、ウェーハ保持体が、例えばダイシング用ホルダとして用いられる場合に、表面に粘着剤を塗布した樹脂フィルムが用いられ、第１フレーム体の第１主面部又は第２フレーム体の第２主面部に外周部を貼り付けられてフレーム体の中央開口部を閉塞することによりウェーハを保持するウェーハ収納空間部を構成する。
【０００７】
ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体と第２フレーム体が、第１嵌合部内に第２嵌合部を嵌合して組み合わされる。ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体側の第１外周嵌合部の内側面に第２フレーム体側の第２外周嵌合部の外側面を結合するとともに、第１フレーム体側の第１内周嵌合部の内側面に第２フレーム体側の第２内周嵌合部の外側面を結合して一体化する。ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体と第２フレーム体を一体化することにより、内部空間部を有する全体がリング状のフレーム体を構成する。ウェーハ用ホルダは、例えば第１フレーム体の底面に中央開口部を閉塞するようにしてウェーハ保持体の外周部位を貼り付けて、第１フレーム体と第２フレーム体を一体化したフレーム体によって外周を取り囲まれたウェーハ収納空間部を構成する。ウェーハ用ホルダは、ウェーハ収納空間部内にウェーハを収納して運搬・搬送等の取り扱いが行われるようにし、またウェーハ収納空間部内に収納した状態で集積回路の導通試験やウェーハを所定の大きさに裁断するダイシング工程が施されるようにする。
ウェーハ用ホルダは、上述したように従来の比較的厚みの大きな金属板、例えば１．５ｍｍ厚の金属板と比較して例えば０．２ｍｍ厚と低コストで軽量の金属薄板に簡易なプレス加工を施して相対する嵌合部を有する簡易な形状の第１フレーム体と第２フレーム体を形成し、これら第１フレーム体と第２フレーム体を一体化して内部空間部を有するリング状のフレーム体を製作する。ウェーハ用ホルダは、材料や工程のコスト低減が図られて廉価に提供され、軽量化とともに対曲げ特性や対捻れ特性が大きい充分な機械的剛性を有することから大口径のウェーハであっても大量かつ確実に処理することを可能とする。
【０００８】
また、ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体と第２フレーム体を一体化したフレーム体の内部空間部がほぼ密閉された空間部（略密閉空間部）を構成する。ウェーハ用ホルダは、フレーム体が、使用後に施される洗浄処理等においても内部空間部に浸入した洗浄水等による錆発生を防止して長寿命化や乾燥工程の簡易化が図られ、内部に埃等を溜めて保持したウェーハに付着させる等の不都合が生じないようにする。
ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体と第２フレーム体が、相対して結合される第１外周嵌合部の内側面と第２外周嵌合部の外側面及び第１内周嵌合部の内側面と第２内周嵌合部の外側面とを、かしめ結合、溶接又は接着剤による接合のいずれか１の方法により結合して一体化されてフレーム体を構成する。ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体と第２フレーム体が強固に一体化されることにより、軽量であっても充分な機械的剛性を有するフレーム体を構成する。
【０００９】
ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体の第１外周嵌合部と第１内周嵌合部に、それぞれ周方向に所定の間隔を以って厚み方向に貫通する複数個の接着剤充填孔が形成される。各接着剤充填孔は、例えば周方向を長軸とした長孔として形成される。ウェーハ用ホルダにおいては、接着剤充填孔から接着剤を充填して相対する第１外周嵌合部の内側面と第２外周嵌合部の外側面及び第１内周嵌合部の内側面と第２内周嵌合部の外側面とを結合して一体化されたフレーム体を構成する。
ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体側の第１外周嵌合部及び第１内周嵌合部に対して第２フレーム体側の第２外周嵌合部及び第２内周嵌合部が第１主面部の厚み寸法分低い高さ寸法を以って形成され、第１嵌合部内に第２嵌合部を嵌合した状態で相対する第１主面部の内面に突き当てられる。ウェーハ用ホルダは、相対する嵌合部の突当て構造により、第１フレーム体と第２フレーム体が位置決めされた状態で高精度に一体化されるとともに大きな機械的剛性を有する軽量化を図ったフレーム体を構成する。
ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体と第２フレーム体により構成されるリング状の内部空間部内に、第１主面部と第２主面部に相対する厚み方向の側面をそれぞれ結合されるリング状のコア体を設けてなる。ウェーハ用ホルダは、コア体が、第１嵌合部内に第２嵌合部を嵌合した状態で、金属薄板により形成した第１フレーム体と第２フレーム体の第１主面部と第２主面部の対向間隔を全周に亘って保持することで、高さ調整と変形を抑制して機械的剛性の向上が図られたフレーム体を構成する。
【００１０】
ウェーハ用ホルダは、コア体が、それぞれ内部空間部の高さとほぼ等しい厚みを有しかつ外径を異にする複数個のリング体からなり、これらコア体を内部空間部内に同心円状に配置するとともにそれぞれを第１フレーム体の第１主面部と第２フレーム体の第２主面部に結合してなる。ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体と第２フレーム体との間を複数個のコア体により保持してフレーム体の機械的剛性のさらなる向上を図ってより薄厚の金属薄板を用いることを可能とし、より軽量化やコスト低減を図ることを可能とする。
ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体の第１主面部又は第２フレーム体の第２主面部の内面に、第１外周嵌合部と第１内周嵌合部又は第２外周嵌合部と第２内周嵌合部との間において全周に亘り同心円状に立ち上がる環状立壁からなるコア凸部が一体に形成される。ウェーハ用ホルダは、コア凸部が、第１嵌合部内に第２嵌合部を嵌合した状態においてフレーム体の幅方向（直径方向）の途中位置において相手側の主面部の内面に突き当てられて、金属薄板を用いた第１フレーム体と第２フレーム体の変形を抑制して全周に亘って第１主面部と第２主面部の対向間隔を保持し、機械的剛性の向上が図られたフレーム体を構成する。
ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体の第１主面部の内面に、第１外周嵌合部と第１内周嵌合部との間において全周に亘り同心円状に立ち上がる環状立壁からなる第１コア凸部を一体に形成する。ウェーハ用ホルダは、第２フレーム体の第２主面部の内面に、第２外周嵌合部と第２内周嵌合部との間において全周に亘り同心円状に立ち上がりかつ第１コア凸部と半径を異にする環状立壁からなる第２コア凸部を一体に形成する。ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体側の第１コア凸部と第２フレーム体側の第２コア凸部が、第１嵌合部内に第２嵌合部を嵌合した状態で、フレーム体の幅方向の領域を２箇所において相手側の主面部の内面に上下から突き当てられる。ウェーハ用ホルダは、第１コア凸部と第２コア凸部により金属薄板を用いた第１フレーム体と第２フレーム体の変形をより確実に抑制して全周に亘って第１主面部と第２主面部の対向間隔を保持してさらに機械的剛性の向上が図られたフレーム体を構成する。
【発明の効果】
【００１１】
以上のように構成された本発明にかかるウェーハ用ホルダは、金属薄板を素材として簡易な工程により、それぞれの外周縁と内周縁に沿って一体に立ち上がり形成して相対する立壁状の外周嵌合部と内周嵌合部からなる嵌合部を有する第１フレーム体と第２フレーム体を製作し、これら第１フレーム体と第２フレーム体を一体化して構成した内部空間部を有するリング状のフレーム体を備える。ウェーハ用ホルダによれば、第１フレーム体と第２フレーム体を薄厚の金属板を用いて製作することにより、フレーム体が軽量化とともにコスト低減を図りながらウェーハを確実に保持する大きな機械的剛性を有する。ウェーハ用ホルダによれば、大口径ウェーハ用にも好適に用いられ、作業性の向上を図って半導体の生産効率を向上させる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態として示すウェーハ用ホルダの平面図である。
【図２】同ウェーハ用ホルダの要部断面図である。
【図３】同ウェーハ用ホルダの要部分解斜視図である。
【図４】第２の実施の形態として示すウェーハ用ホルダの要部斜視図である。
【図５】第３の実施の形態として示すウェーハ用ホルダの要部斜視図である。
【図６】第４の実施の形態として示すウェーハ用ホルダの要部斜視図である。
【図７】第５の実施の形態として示すウェーハ用ホルダの要部側面図である。
【図８】同ウェーハ用ホルダの要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態として示すウェーハ用ホルダ（以下、ホルダと略称する。）１について図面を参照して詳細に説明する。ホルダ１は、主面上に多数の集積回路形成を行ったウェーハ２を保持し、検査工程やチップ形成のためのダイシング工程等を施すために用いるＳＥＭＩ規格に適合する仕様を有するダイシング用ホルダである。なお、ホルダ１は、半導体製造工程において、１枚のウェーハ２を保持し、単独或いは収納容器内に収納されて各工程間の搬送或いは保管等を行う際の保持治具としても用いられる。
ホルダ１は、図１に示すようにウェーハ２の外径よりも大径の中央開口部４を有するリング状のフレーム体３と、このフレーム体３に対して中央開口部４を閉塞して着脱されるウェーハ保持体、すなわちダイシングフィルム５とから構成される。ホルダ１は、ダイシングフィルム５により底面側を閉塞された中央開口部４が、フレーム体３により周囲を囲まれたウェーハ収納空間部を構成する。ホルダ１は、ウェーハ２を、中央開口部４内においてダイシングフィルム５上に保持するとともにフレーム体３により外周部を取り囲む。なお、ホルダ１は、ダイシング用ホルダであることから、ウェーハ保持体として詳細を後述するダイシングフィルム５が着脱されるが、他の用途に用いるホルダである場合には所定のウェーハ保持体が着脱される。
【００１４】
ホルダ１は、例えば直径３００ｍｍのウェーハ２の保持用として用いられ、ウェーハ２を中央開口部４内に収納してダイシングフィルム５上に保持する。ホルダ１は、中央開口部４の内径、すなわちフレーム体３の口径が３５０ｍｍであり、フレーム体３の外径が４００ｍｍに形成される。したがって、ホルダ１は、フレーム体３が、全周に亘って５０ｍｍ／２、すなわち２５ｍｍ幅のリング体として形成される。ホルダ１は、ダイシングフィルム５が、例えば厚みが約０．３ｍｍ程度のポリプロピレン或いはＰＥＴのフィルム材を基材としてその表面に例えばアクリル系粘着接着剤が塗布される。
ダイシング用ホルダであるホルダ１には、ＳＥＭＩ規格に適合する仕様として、図１に示すように収納容器内に位置決め収納するためにフレーム体３の外周部に互いに９０°の間隔を以って３箇所に直線部位からなる係合部１Ａ、１Ｂ、１Ｃが形成される。ホルダ１には、中央の係合部１Ｂと対向する外周部側に位置して中心軸を挟む対称位置に、ダイシングマシーン側の位置決めピンが相対係合する一対の位置決め用凹部（ノッチ）１Ｄ、１Ｅが形成されている。
ホルダ１は、フレーム体３が、共同して中央開口部４を構成する第１中央開口部６Ａ、第２中央開口部７Ａを有する詳細を後述するリング状の第１フレーム体（下フレーム体）６と第２フレーム体（上フレーム体）７を一体に組み合わせて構成される。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、それぞれ後述するようにチャンネル形状のリング状部材からなる。フレーム体３は、第１フレーム体６が第２フレーム体７よりもやや大径に形成され、相対する開口部を突き合わせるように組み合わされることにより密閉された環状空間部からなる内部空間部８を構成して一体化される。フレーム体３は、底面部にダイシングフィルム５を貼り付けるとともに内部空間部８内に補強用かつ高さ調整用のリング状コア体１８を結合してホルダ１を構成する。
【００１５】
フレーム体３は、後述するように第１フレーム体６と第２フレーム体７が、例えばステンレス薄板や無電解ニッケルメッキ処理等を施した薄鋼板等の約０．２ｍｍ厚の金属薄板を素材として形成される。フレーム体３は、かかる金属薄板を素材として内部空間部８を有する中空部材として構成されることにより、重さが約１２０ｇである。したがって、フレーム体３は、厚みが１．５ｍｍの金属板を素材として形成した重さが約３００ｇの従来品と比較して大幅な軽量化が図られる。フレーム体３は、素材コストが低減されるとともにプレス金型或いは工程も簡易化されて製作されることにより、コスト低減が図られる。フレーム体３は、後述する構造から従来品と同等の機械的剛性を有する。
フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、それぞれ同一素材の金属薄板に対して、リング状の中間体を形成する外形抜きプレス加工と、外内周縁に沿って立壁部を一体に立ち上がり形成する絞り加工を施して形成される。なお、フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７の製作工程が、かかる工程に限定されないことは勿論である。
【００１６】
すなわち、第１フレーム体６は、素材に対してフレーム体３の幅寸法よりもやや大きな幅寸法を有するリング状の中間体を形成する外形抜き加工や、この中間体の外周縁及び内周縁に沿って全周に亘り立壁部位を一体に立ち上がり形成する絞り加工を施してチャンネル形状のリング状部材として形成される。第１フレーム体６は、図２及び図３に示すようにリング状の第１主面部９の外周縁に沿って第１外周嵌合部１０を一体に立設するとともに、内周縁に沿って第１内周嵌合部１１を一体に立設する。第１フレーム体６は、これら同心円状の第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１が第１嵌合部１２を構成する。
【００１７】
第１フレーム体６は、第１外周嵌合部１０が、第１主面部９の外周縁に沿って全周に亘って立ち上がる一体の環状立壁からなり、例えば立ち上がり寸法が約１．５ｍｍに形成される。なお、第１フレーム体６は、第１外周嵌合部１０が、上述した係合部１Ａ、１Ｂ、１Ｃの対応部位を直線状の立壁として形成されるとともに位置決め用凹部１Ｄ、１Ｅの対応部位を内周側に凹む立壁として形成される。
第１フレーム体６は、第１内周嵌合部１１が、第１主面部９の内周縁に沿って全周に亘って立ち上がり第１外周嵌合部９と全周に亘って対向することにより同心円をなす一体の環状立壁からなる。第１フレーム体６は、第１内周嵌合部１１も、第１外周嵌合部１０と同等の立ち上がり寸法を有し、例えば約１．５ｍｍに形成される。第１フレーム体６は、このように第１主面部９の外内周縁に沿って相対する第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１を一体に立ち上がり形成することにより、上述したように断面が上向きコ字状を呈するチャンネル形状のリング状部材として形成される。
【００１８】
第２フレーム体７は、素材に対して第１フレーム体６の中間体よりも板厚分小さな外形寸法を有するリング状の中間体を形成する外形抜き加工を施し、この中間体の外周縁及び内周縁に沿って立壁部を一体に立ち上がり形成する絞り加工を施してチャンネル形状のリング状部材として形成される。第２フレーム体７も、図２及び図３に示すように第２主面部１３の外周縁に沿った第２外周嵌合部１４と内周縁に沿った第２内周嵌合部１５を一体に形成してなる。第２フレーム体７は、これら同心円状の第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５により第２嵌合部１６を構成する。
第２フレーム体７も、第２外周嵌合部１４が、第２主面部１３の外周縁に沿って全周に亘り立ち上がる一体の環状立壁からなる。第２フレーム体７は、第２外周嵌合部１４が、外周面の外径を第１フレーム体６側の第１外周嵌合部１０の内周面の外径とほぼ等しくなるように全体がやや小径に形成される。第２フレーム体７は、後述するように第１フレーム体６に対して第２外周嵌合部１４を第１主面部９の内面に突き合わせて組み付けられて密閉された内部空間部８を構成することから、この第２外周嵌合部１４が立ち上がり寸法を例えば約１．３ｍｍに形成される。なお、第２フレーム体７も、第１フレーム体６側と同様に係合部１Ａ、１Ｂ、１Ｃの対応部位を直線状の立壁として形成するとともに位置決め用凹部１Ｄ、１Ｅの対応部位を内周側に凹む立壁として形成する。
【００１９】
第２フレーム体７も、第２内周嵌合部１５が、第２主面部１３の内周縁に沿って全周に亘って立ち上がり、第２外周嵌合部１４と全周に亘って対向することにより同心円をなす一体の環状立壁として形成される。第２フレーム体７は、第２内周嵌合部１５を、外周面の外径を第１フレーム体６側の第１内周嵌合部１１の内周面の外径とほぼ等しくなるようにして形成される。第２フレーム体７も、第２内周嵌合部１５が立ち上がり寸法を例えば約１．３ｍｍに形成される。第２フレーム体７も、このように第２主面部１３の外内周縁に沿って相対する第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５を一体に立ち上がり形成することにより、上述したように断面が下向きコ字状を呈するチャンネル形状のリング状部材として形成される。
【００２０】
フレーム体３は、上述した第１フレーム体６に対して第２フレーム体７が、図３矢印で示すように第１嵌合部１２に第２嵌合部１６を全周に亘って嵌合することにより組み合わされる。フレーム体３は、第１フレーム体６に対して第２フレーム体７が、図２に示すように第１フレーム体６側の第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａに沿って第２フレーム体７側の第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａが嵌合される。フレーム体３は、第１フレーム体６側の第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａに沿って第２フレーム体７側の第２内周嵌合部１５の外側面１５Ａが嵌合される。フレーム体３は、これにより第１フレーム体６の第１中央開口部６Ａと第２フレーム体７の第２中央開口部７Ａが共同して中央開口部４を構成し、全体がリング状となる。
フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が第１嵌合部１２と第２嵌合部１６を組み合わせた状態で、図２に示すように第２フレーム体７側の第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５がそれぞれの先端部を第１フレーム体６側の第１主面部９の内面９Ａに突き合わされる。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、第１フレーム体６の第１外周嵌合部１０及び第１内周嵌合部１１の先端部と、第２フレーム体７側の第２主面部１３がほぼ同一面を構成して組み合わされる。
【００２１】
フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、図２に示すように外周部において嵌合された第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａと第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａとの間に充填した接着剤１７により結合される。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、内周部において嵌合された第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａと第２内周嵌合部１５の外側面１５Ａとの間に充填した接着剤１７により結合される。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、突き合わされた第１主面部９の内面９Ａと第２外周嵌合部１４及び第２内周嵌合部１５の先端部との間に充填した接着剤１７により結合される。
フレーム体３は、上述したように第１フレーム体６と第２フレーム体７が、内部空間部８を構成して一体化される。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７の上述した組み合わせ構造により、第１フレーム体６側の第１外周嵌合部１０及び第１内周嵌合部１１の高さ寸法１．５ｍｍが全体の厚み寸法となる。フレーム体３は、図２に示すように結合された第１フレーム体６側の第１外周嵌合部１０と第２フレーム体７側の第２外周嵌合部１４が共同して、厚みが０．４ｍｍの外周壁部を構成する。フレーム体３は、結合された第１フレーム体６側の第１内周嵌合部１１と第２フレーム体７側の第２内周嵌合部１５が共同して、厚みが０．４ｍｍの内周壁部を構成する。
【００２２】
フレーム体３は、第１フレーム体６側の第１主面部９を底面部とし、第２フレーム体７側の第２主面部１３を天井部として、内部に内部空間部８を構成してなる。フレーム体３は、全体の幅が２５ｍｍ、高さが１．５ｍｍであり、平坦性を有して変形や歪み等の発生を防止した機械的剛性の大きなフレーム体を構成する。フレーム体３は、中空構造であり厚み寸法の小さな金属板を素材として形成することにより、軽量化が図られる。
フレーム体３には、図１乃至図３に示すように、内部空間部８内に第１フレーム体６の第１主面部９と第２フレーム体７の第２主面部１３の対向間隔を保持するリング状のコア体１８が設けられる。フレーム体３は、上述した第１フレーム体６と第２フレーム体７の組み合わせ構造により充分な機械的剛性を有しているが、コア体１８を設けることにより補強されてさらに機械的剛性の向上が図られる。フレーム体３は、例えば３０Ｎの偏倚荷重を１分間に亘って負荷しても変形や歪み発生が生じることはなく、ＳＥＭＩ規格に適合する仕様を有してウェーハ２を確実に保持する軽量のホルダ１を構成する。
【００２３】
コア体１８は、素材として例えば亜鉛メッキ処理を施した薄厚鋼板が用いられ、この素材に外形抜きプレス加工を施して、横長矩形の断面形状を有して第２フレーム体７の第２外周嵌合部１４よりも小径でありかつ第２内周嵌合部１５よりも大径のリング体として形成される。コア体１８は、後述するように内部空間部８内において第１フレーム体６と第２フレーム体７とに結合されるが、内部空間部８のほぼ中央部に配置される外径であることが好ましい。
コア体１８は、厚み寸法が内部空間部８の高さ寸法（１．１ｍｍ）よりもやや薄厚の１ｍｍであり、幅寸法が約３ｍｍに形成される。コア体１８は、かかる寸法値に限定されないことは勿論であるが、大きな幅寸法とした場合にフレーム体３の重量を大きくし、また小さな幅寸法とした場合にフレーム体３の補強作用が低下する。コア体１８は、上述した厚み寸法により内部空間部８を構成する第１フレーム体６の第１主面部９と第２フレーム体７の第２主面部１３との間において約０．１ｍｍの間隙が生じるが、図２に示すようにこの間隙に接着剤１７が充填されるようにする。
【００２４】
コア体１８は、図３に示すように例えば第１フレーム体６に対して第１主面部９の内面９Ａ上に接合される。コア体１８は、第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１と同心円を構成して第１フレーム体６の第１主面部９の内面９Ａに底面を結合される。コア体１８は、第１フレーム体６に対して第２フレーム体７が組み合わされることにより、第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５と同心円を構成して第２フレーム体７の第２主面部１３の内面１３Ａに上面を結合される。コア体１８は、これにより第１フレーム体６の第１主面部９と第２フレーム体７の第２主面部１３の対向間隔を保持する。
なお、コア体１８は、底面を第１フレーム体６の第１主面部９に結合するとともに上面を第２フレーム体７の第２主面部１３に結合するようにしたが、第１フレーム体６と第２フレーム体７がしっかりと固定されることから、例えば底面のみを第１フレーム体６側と固定し第２フレーム体７の第２主面部１３を支えるようにしてもよい。また、コア体１８は、底面側を第１主面部９に対して溶接によって結合し、上面側を接着剤１７により第２主面部１３と結合するようにしてもよい。
【００２５】
フレーム体３は、上述したように第１フレーム体６と第２フレーム体７及びコア体１８の相対する各部を接着剤１７により接合して一体化される。接着剤１７には、例えばアクリル系接着剤やエポキシ系接着剤等の金属用接着剤が用いられ、また室温硬化型或いは加熱硬化型接着剤が用いられる。フレーム体３は、上述したように略密閉空間部を構成する内部空間部８内において各部を接合することから、接着剤１７が流れ出してウェーハ２を汚損させる等の不都合が生じることは無い。
フレーム体３は、上述した第１フレーム体６と第２フレーム体７とコア体１８の結合を接着剤１７により接合して一体化する構造に限定されないことは勿論である。フレーム体３は、第１嵌合部１２と第２嵌合部１６をきつい嵌合、いわゆる「かしめ結合」構造とすることによって第１フレーム体６と第２フレーム体７を一体化するようにしてもよい。また、フレーム体３は、例えば第１外周嵌合部１０及び第１内周嵌合部１１の先端部と相対する第２外周嵌合部１４及び第２内周嵌合部１５の基端部との間を全周に亘って溶接することにより、第１フレーム体６と第２フレーム体７を一体化するようにしてもよい。
【００２６】
以上のように構成されたフレーム体３には、図２に示すように第１フレーム体６の第１主面部９の底面９Ｂにダイシングフィルム５が貼り付けられホルダ１を構成する。ダイシングフィルム５は、フレーム体３の外径よりもやや小径であり、接着剤として粘着性接着剤を用いることにより外周部位を第１主面部９の底面９Ｂに対して着脱される。ダイシングフィルム５は、第１フレーム体６に貼り付けることにより、図１に示すように中央開口部４の底面部を閉塞してフレーム体３により周囲を囲まれたウェーハ収納空間部を構成する。ダイシングフィルム５は、詳細を省略するがウェーハ収納空間部の構成領域において上面にウェーハ２を保持する粘着剤が塗布される。
以上のように構成されたホルダ１は、フレーム体３が、上述したようにそれぞれ従来品よりも薄厚であり低コスト化と加工性の向上が図られる金属薄板を素材として簡易なプレス加工を施して第１フレーム体６と第２フレーム体７を形成する。ホルダ１は、フレーム体３が、第１フレーム体６と第２フレーム体７を簡易な工程により一体化して内部を中空とする内部空間部８を有して構成することから軽量化が図られる。ホルダ１は、フレーム体３が、第１フレーム体６と第２フレーム体７の嵌合構造により大きな機械的剛性を以って構成される。ホルダ１は、フレーム体３の内部空間部８内に補強部材のコア体１８を設けたことによってさらに大きな機械的剛性を有する。
【００２７】
ホルダ１は、フレーム体３の中央開口部４により構成されるウェーハ収納空間部内にウェーハ２を収納してダイシングフィルム５上に保持する。ホルダ１は、ウェーハ２を収納保持した状態で運搬・搬送等の取り扱いを行い、ウェーハ２を所定の大きさに裁断するダイシング工程が施されるようにする。ホルダ１は、大きな機械的剛性を有するフレーム体３によりウェーハ２の周囲を取り囲んで確実に保護する。ホルダ１は、上述したように材料や工程のコスト低減が図られて廉価であり、大幅な軽量化が図られるも対曲げ特性や対捻れ特性が大きい充分な機械的剛性を有するフレーム体３を備えることにより、大口径のウェーハであっても大量かつ確実に処理することを可能とする。
上述したホルダ１においては、フレーム体３に薄厚鋼板を素材にして断面横長矩形のリング状に形成したコア体１８を設けたが、かかるコア体１８に限定されないことは勿論である。図４に第２の実施の形態として示したホルダ２０も、上述した第１フレーム体６と第２フレーム体７を組み合わせてフレーム体３を構成し、このフレーム体３にダイシングフィルム５を貼り付けてなる。ホルダ２０は、フレーム体３の内部空間部８内に２本の第１コア線材２１と第２コア線材２２からなるコア体を設けてなる。
【００２８】
第１コア線材２１及び第２コア線材２２は、メッキ処理を施した直径１ｍｍの鋼線を素材とし、それぞれ所定長に切断した後に両端部を突き合わせて溶接することによりリング状に形成される。第１コア線材２１は、第２フレーム体７の第２外周嵌合部１４よりもやや小径であり、内部空間部８の中心円径よりもやや大径とされたリング状線材からなる。第２コア線材２２は、第２フレーム体７の第２内周嵌合部１５よりもやや大径であり、内部空間部８の中心円径よりもやや小径とされたリング状線材からなる。
ホルダ２０は、上述したホルダ１と同様にして第１フレーム体６と第２フレーム体７を組み合わせてフレーム体３を構成するが、第１コア線材２１と第２コア線材２２がこのフレーム体３の内部空間部８に同心円状に配置される。第１コア線材２１と第２コア線材２２は、予め第１フレーム体６の第１主面部９の内面９Ａ上に、例えば接着剤１７或いは溶接等により固定される。
【００２９】
第１コア線材２１は、第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１と同心円を構成して第１フレーム体６の第１主面部９の内面９Ａに下側外周部を結合される。第２コア線材２２は、第１コア線材２１よりも内周側に位置し、この第１コア線材２１と第１内周嵌合部１１と同心円を構成して第１フレーム体６の第１主面部９の内面９Ａに下側外周部を結合される。第１コア線材２１と第２コア線材２２は、これにより同心円状に配置されて第１フレーム体６の第１主面部９に設けられる。
第１コア線材２１及び第２コア線材２２は、第１フレーム体６と第２フレーム体７を組み合わせた状態で、それぞれの上側外周部が第２フレーム体７側の第２主面部１３の内面１３Ａに突き当てられる。第１コア線材２１及び第２コア線材２２は、上側外周部が内面１３Ａに対して接着剤１７により接合されることで第２フレーム体７の第２主面部１３に結合される。
【００３０】
ホルダ２０は、上述したように鋼線により形成した第１コア線材２１と第２コア線材２２を用いることにより、上述したホルダ１よりもさらにコスト低減が図られる。ホルダ２０は、第１コア線材２１と第２コア線材２２により、内部空間部８の幅方向の２箇所で第１フレーム体６と第２フレーム体７との組み合わせ状態を補強したフレーム体３を構成する。フレーム体３は、軽量特性を保持して、より機械的剛性の向上が図られる。なお、フレーム体３は、鋼線により形成した１本のコア線材により補強を行う構造であってもよく、さらに大型のフレーム体であれば数本のコア線材を用いるようにしてもよい。
フレーム体３は、第１コア線材２１と第２コア線材２２を予め第１フレーム体６側に設けて第１フレーム体６と第２フレーム体７との組み合わせを行うようにしたが、かかる工程順によらないことは勿論である。フレーム体３は、第１コア線材２１と第２コア線材２２を予め第２フレーム体７側に設けて、第１フレーム体６と第２フレーム体７との組み合わせを行うようにしてもよい。また、フレーム体３は、第１コア線材２１を第１フレーム体６側に設けるとともに第２コア線材２２を第２フレーム体７に設けてもよい。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が第１コア線材２１と第２コア線材２２によりそれぞれの主面部を補強され、変形等を生じることなく組み合わせが行われる。
上述したホルダ１及びホルダ２０においては、第１フレーム体６と第２フレーム体７を組み合わせて構成したフレーム体３の内部空間部８内に別部材であるコア体１８或いは第１コア線材２１や第２コア線材２２を設けて補強構造を構成したが、かかる補強構造に限定されるものでは無いことは勿論である。図５に第３の実施の形態として示したホルダ３０は、第１フレーム体３２と第２フレーム体３３を組み合わせて内部空間部８を有するフレーム体３１を構成する基本的な構成をホルダ１及びホルダ２０と同様とする。
【００３１】
ホルダ３０は、第２フレーム体３３側に上述したコア体１８や第１コア線材２１及び第２コア線材２２と同等の機能を奏するコア体構造が一体に形成された構成に特徴がある。したがって、以下のホルダ３０の説明については、第２フレーム体３３の特徴的な構成についてのみ説明することとし、上述したホルダ１及びホルダ２０と対応する部位を有する第１フレーム体３２を含むその他の部位については同一符号を付すことにより説明を省略する。
第２フレーム体３３も、中間材に対して絞り加工を施して第２主面部１３の外内周縁部に沿って環状立壁からなる第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５を一体に立ち上がり形成するが、これら第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５間において第２主面部１３にコア凸部３４が一体に形成される。第２フレーム体３３は、素材から形成される中間体が、上述したホルダ１の第２フレーム体７に用いる中間体よりも約２ｍｍ程度大きな幅寸法を有している。
第２フレーム体３３は、第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５を形成する絞り加工と同時或いはこの絞り加工に先行して、第２主面部１３の幅方向のほぼ中央部に位置して環状の立壁部からなるコア凸部３４を一体に形成する。コア凸部３４は、第２主面部１３の一部を全周に亘って内面側に突出するように絞り出すことにより、第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５との間において約１ｍｍの高さを以って同心円状に一体に立ち上がり形成される。なお、第２フレーム体３３は、第２主面部１３に折り返し構造によりリブ作用を奏するコア凸部３４を形成したことにより、機械的剛性の向上も図られる。
【００３２】
ホルダ３０は、第１フレーム体３２に対してコア凸部３４を一体に形成した第２フレーム体３３を組み合わせてフレーム体３１を構成する。フレーム体３１は、第１フレーム体３２と第２フレーム体３３が、上述したように第１嵌合部１２と第２嵌合部１６の嵌合構造により、内部空間部８を構成して一体化される。フレーム体３１は、内部空間部８の幅方向の中央部位において、コア凸部３４の先端部が第１フレーム体３２側の第１主面部９の内面９Ａに突き当てられる。フレーム体３１は、コア凸部３４の先端部が接着剤１７により突き当てられた内面９Ａに接合される。したがって、フレーム体３１は、内部空間部８の幅方向の中央部位においてコア凸部３４により第１フレーム体３２の第１主面部９と第２フレーム体３３の第２主面部１３の対向間隔が保持され、またコア凸部３４により機械的剛性の向上も図られる。
なお、ホルダ３０は、第２フレーム体３３に１個のコア凸部３４を一体に形成したが、幅方向に並んで複数のコア凸部を互いに同心円状に配列して一体に形成するようにしてもよい。また、ホルダ３０は、第２フレーム体３３に、上述した第１フレーム体３２側の内面９Ａに突き当てられるコア凸部３４と、このコア凸部３４と同心円状の折曲リブを一体に形成して第２フレーム体３３、換言すれば全体の機械的剛性の向上を図るようにしてもよい。さらに、ホルダ３０は、第２フレーム体３３側にコア凸部３４を一体に形成したが、第１フレーム体３２側に同等のコア凸部３４を一体に形成するようにしてもよい。
【００３３】
図６に第４の実施の形態として示したホルダ４０も、第１フレーム体４２と第２フレーム体４３を組み合わせて内部空間部８を有するフレーム体４１を構成した基本的な構成を上述した各実施の形態と同様とする。フレーム体４１は、第１フレーム体４２に第１コア凸部４４を一体に形成するとともに、第２フレーム体４３に第２コア凸部４５を一体に形成した構成に特徴を有している。以下のホルダ４０の説明においても、第１フレーム体４２と第１フレーム体４３の特徴的な構成についてのみ説明することとし、上述したホルダ１及びホルダ２０と対応するその他の部位については同一符号を付すことにより説明を省略する。
第１フレーム体４２は、第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１を形成する絞り加工と同時或いはこの絞り加工に先行して、第１主面部９のやや第１外周嵌合部１０側に位置して環状の立壁部からなる第１コア凸部４４を一体に形成する。第１コア凸部４４は、第１主面部９の一部を全周に亘って内面側に突出するように絞り出すことにより、第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１との間において約１ｍｍの高さを以って同心円状に一体に立ち上がり形成される。なお、第１フレーム体４２は、第１主面部９に折り返し構造によりリブ作用を奏する第１コア凸部４４を形成したことにより、機械的剛性の向上も図られる。
【００３４】
第２フレーム体４３にも、第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５を形成する絞り加工と同時或いはこの絞り加工に先行して、第２主面部９のやや第２内周嵌合部１５側に位置して環状の立壁部からなる第２コア凸部４５を一体に形成する。第２コア凸部４５も、第２主面部１３の一部を全周に亘って内面側に突出するように絞り出すことにより、第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５との間において約１ｍｍの高さを以って同心円状に一体に立ち上がり形成される。第２コア凸部４５は、第１フレーム体４２側の第１コア凸部４４に対して、やや小径の環状立壁部からなる。第２フレーム体４３も、第２主面部１３に折り返し構造によりリブ作用を奏する第２コア凸部４５を形成したことにより、機械的剛性の向上も図られる。
ホルダ４０は、第１コア凸部４４を一体に形成した第１フレーム体４２に対して第２コア凸部４５を一体に形成した第２フレーム体４３が組み合わされてフレーム体４１を構成する。フレーム体４１は、第１フレーム体４２と第２フレーム体４３が、上述したように第１嵌合部１２と第２嵌合部１６の嵌合構造により、内部空間部８を構成して一体化される。フレーム体４１は、内部空間部８内において第１コア凸部４４が外周側に位置するとともに第２コア凸部４５が内周側に位置して、同心円状に設けられる。
【００３５】
フレーム体４１は、内部空間部８内において、やや外周壁側に位置して第１フレーム体４２側の第１コア凸部４４がその先端部を第２フレーム体４３側の第２主面部１３の内面１３Ａに突き当てられるとともに接着剤１７により接合される。フレーム体４１は、やや内周側に位置して第２フレーム体４３側の第２コア凸部４５がその先端部を第１フレーム体４２側の第１主面部９の内面９Ａに突き当てられるとともに接着剤１７により接合される。フレーム体４１は、内部空間部８内に設けた第１コア凸部４４と第２コア凸部４５により、第１フレーム体４２の第１主面部９と第２フレーム体４３の内面１３Ａの対向間隔が保持され、また機械的剛性も大幅に向上される。
なお、フレーム体４１は、第１フレーム体４２側にやや外周壁側に位置する第１コア凸部４４を形成するとともに第２フレーム体４３側にやや内周側に位置する第２コア凸部４５を一体に形成したが、かかる構成に限定されないことは勿論である。フレーム体４１は、第１フレーム体４２と第２フレーム体４３に、逆位置となる第１コア凸部４４と第２コア凸部４５を一体に形成するようにしてもよい。
上述したようにフレーム体３においては、第１フレーム体６と第２フレーム体７を相対して形成した第１嵌合部１２と第２嵌合部１６を嵌合して一体化し、内部に略密閉空間部からなる内部空間部８を構成してなる。フレーム体３は、第１嵌合部１２と第２嵌合部１６を構成して嵌合される部位が内部空間部８内において接着剤１７により接合される。したがって、フレーム体３においては、接合部位に予め接着剤１７が塗布されて各部の組み合わせが行われる。
【００３６】
図７及び図８に第５の実施の形態として示したフレーム体５０は、後工程において接着剤１７の充填を可能として接着工程の簡易化を図った構造に特徴を有している。フレーム体５０についても、特徴とする接着剤充填構造についてのみ説明することとし、上述したホルダ１及びホルダ２０と対応するその他の部位については同一符号を付すことにより説明を省略する。なお、図７及び図８には、第１外周嵌合部５２側のみを図示している。フレーム体５０は、第１内周嵌合部１１側にも同等の接着剤充填孔が形成されており、以下第１外周嵌合部５２側の構成について代表して説明する。
フレーム体５０は、第１フレーム体５１の第１外周嵌合部５２と第１内周嵌合部１１に複数個の接着剤充填孔５３が形成される。第１フレーム体５１には、第１外周嵌合部５２に周方向に所定の間隔を以って、図８に示すように厚み方向に貫通する複数個の接着剤充填孔５３が形成される。接着剤充填孔５３は、図７に示すように周方向の長さ寸法ｌが高さ方向の寸法ｈよりも大きい楕円形状の貫通孔として形成される。なお、接着剤充填孔５３については、素材に外形抜きプレス加工を施す際に、同時に打ち抜いて形成することが可能である。
【００３７】
フレーム体５０は、第１フレーム体５１と第２フレーム体７を組み合わせた状態で、図８に示すように接着剤充填孔５３を介して第２フレーム体７の第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａを外方に臨ませる。フレーム体５０は、詳細を省略するが例えば注射器型充填器を用いて、接着剤充填孔５３内に接着剤１７を充填する。接着剤１７は、相対嵌合された第１フレーム体５１側の第１外周嵌合部５２の内側面５２Ａと第２フレーム体７の第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａとの間に流れ込んで硬化することにより、第１外周嵌合部５２と第２外周嵌合部１４を一体化する。
フレーム体５０は、上述したように第１フレーム体５１に周方向を長軸とした長孔からなる接着剤充填孔５３を形成したことにより、接着剤１７が周方向の広い範囲に亘って流れ出るようになり第１フレーム体５１と第２フレーム体７を強固に一体化する。フレーム体５０は、接着剤充填孔５３が、充填した接着剤１７が内部において硬化することにより閉塞されることから、内部空間部８の密閉状態が保持される。なお、フレーム体５０は、接着剤充填孔５３を第１外周嵌合部５２に対して高さ位置を異にして形成するようにしてもよい。フレーム体５０は、接着剤充填孔５３を第１外周嵌合部５２に対して第１主面部９寄りに形成することにより、充填した接着剤１７が第１主面部９の内面９Ａとこれに突き当てられる第２フレーム体７側の第２外周嵌合部１４の先端部との間にも流れ込んで硬化してこれらを一体化する。
なお、本発明は、図面を参照して説明した上述した各実施の形態に限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲及びその要旨を逸脱することなく、様々な変更、置換或いは同等に構成されることは当業者にとって明らかである。
【符号の説明】
【００３８】
１ ホルダ、２ ウェーハ、３ フレーム体、４ 中央開口部（ウェーハ収納空間部）、５ ダイシングフィルム（ウェーハ保持体）、６ 第１フレーム体、７ 第２フレーム体、８ 内部空間部、９ 第１主面部、１０ 第１外周嵌合部、１１ 第１内周嵌合部、１２ 第１嵌合部、１３ 第２主面部、１４ 第２外周嵌合部、１５ 第２内周嵌合部、１６ 第２嵌合部、１７ 接着剤、１８ コア体、２０ ホルダ、２１ 第１コア線材、２２ 第２コア線材、３０ ホルダ、３１ フレーム体、３２ 第１フレーム体、３３ 第２フレーム体、３４ コア凸部、４０ ホルダ、４１ フレーム体、４２ 第１フレーム体、４３ 第２フレーム体、４４ 第１コア凸部、４５ 第２コア凸部、５０ フレーム体、５１ 第１フレーム体、５２ 第１外周嵌合部、５３ 接着剤充填孔
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面部の外周縁に沿って全周に亘り立ち上がる一体の環状立壁として形成された第１外周嵌合部と、内周縁に沿って全周に亘り前記第１外周嵌合部と相対向して立ち上がる一体の環状立壁として形成された第１内周嵌合部とからなる第１嵌合部を有し、全体が中央開口部を有するリング状のチャンネル体として形成された第１フレーム体と、
第２主面部の外周縁に沿って全周に亘り立ち上がり前記第１外周嵌合部の内径よりもやや小径とされた一体の環状立壁として形成された第２外周嵌合部と、内周縁に沿って全周に亘り前記第２外周嵌合部と相対向して立ち上がり前記第１内周嵌合部の内径よりもやや大径とされた一体の環状立壁として形成された第２内周嵌合部とからなる第２嵌合部を有し、全体が中央開口部を有するリング状のチャンネル体として形成された第２フレーム体と、
前記第１フレーム体の前記第１主面部又は前記第２フレーム体の前記第２主面部に貼り付けられて前記開口部を閉塞してウェーハ収納空間部を構成するウェーハ保持体とから構成され、
前記第１フレーム体と前記第２フレーム体が、前記第１嵌合部内に前記第２嵌合部を嵌合し、前記第１外周嵌合部の内側面に前記第２外周嵌合部の外側面を結合するとともに前記第１内周嵌合部の内側面に前記第２内周嵌合部の外側面を結合して一体化されて、内部空間部を有するリング状のフレーム体を構成するウェーハ用ホルダ。
【請求項２】
前記第１フレーム体と前記第２フレーム体を一体化してなるフレーム体が、前記内部空間部を略密閉空間部として構成する請求項１に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項３】
前記第１フレーム体と前記第２フレーム体が、相対して結合される前記第１外周嵌合部の内側面と前記第２外周嵌合部の外側面及び前記第１内周嵌合部の内側面と前記第２内周嵌合部の外側面とを、かしめ結合、溶接又は接着剤による接合のいずれか１の結合方法により結合して一体化されてフレーム体を構成する請求項１又は２に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項４】
前記第１フレーム体には、前記第１外周嵌合部と前記第１内周嵌合部に、それぞれ周方向に所定の間隔を以って厚み方向に貫通する複数個の接着剤充填孔が形成され、
前記接着剤充填孔から接着剤を充填して相対する前記第１外周嵌合部の内側面と前記第２外周嵌合部の外側面及び前記第１内周嵌合部の内側面と前記第２内周嵌合部の外側面とを結合して一体化されてフレーム体を構成する請求項１又は２に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項５】
前記第１フレーム体と前記第２フレーム体により構成される前記内部空間部内に、前記第１主面部と前記第２主面部に対して相対する厚み方向の側面をそれぞれ結合されることにより前記第１主面部と前記第２主面部の対向間隔を保持するリング状のコア体を設けてなる請求項１乃至４のいずれか１項に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項６】
前記コア体が、それぞれ前記内部空間部の高さとほぼ等しい厚みを有しかつ外径を異にする複数個のリング体からなり、これらコア体を前記内部空間部内に同心円状に配置するとともにそれぞれを前記第１主面部と前記第２主面部に結合してなる請求項５に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項７】
前記第１フレーム体又は前記第２フレーム体には、前記第１主面部又は前記第２主面部の内面に、前記第１外周嵌合部と前記第１内周嵌合部又は前記第２外周嵌合部と前記第２内周嵌合部との間において全周に亘って立ち上がる同心円状の環状立壁からなるコア凸部が一体に形成され、
前記第１嵌合部内に前記第２嵌合部を嵌合した状態で、前記コア凸部が相手側の主面部の内面に突き当てられて前記第１主面部と前記第２主面部の対向間隔を保持する請求項１乃至４のいずれか１項に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項８】
前記第１フレーム体には、前記第１主面部の内面に、前記第１外周嵌合部と前記第１内周嵌合部との間において全周に亘って立ち上がる同心円状の環状立壁からなる第１コア凸部が一体に形成され、
前記第２フレーム体には、前記第２主面部の内面に、前記第２外周嵌合部と前記第２内周嵌合部との間において全周に亘って立ち上がることにより同心円状をなしかつ前記第１コア凸部と半径を異にする環状立壁からなる第２コア凸部が一体に形成され、
前記第１コア凸部と前記第２コア凸部が、前記第１嵌合部内に前記第２嵌合部を嵌合した状態で、半径方向の異なる位置で相手側の主面部の内面に突き当てられて前記第１主面部と前記第２主面部の対向間隔を保持する請求項１乃至４のいずれか１項に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項１】
第１主面部の外周縁に沿って全周に亘り立ち上がる一体の環状立壁として形成された第１外周嵌合部と、内周縁に沿って全周に亘り前記第１外周嵌合部と相対向して立ち上がる一体の環状立壁として形成された第１内周嵌合部とからなる第１嵌合部を有し、全体が中央開口部を有するリング状のチャンネル体として形成された第１フレーム体と、
第２主面部の外周縁に沿って全周に亘り立ち上がり前記第１外周嵌合部の内径よりもやや小径とされた一体の環状立壁として形成された第２外周嵌合部と、内周縁に沿って全周に亘り前記第２外周嵌合部と相対向して立ち上がり前記第１内周嵌合部の内径よりもやや大径とされた一体の環状立壁として形成された第２内周嵌合部とからなる第２嵌合部を有し、全体が中央開口部を有するリング状のチャンネル体として形成された第２フレーム体と、
前記第１フレーム体の前記第１主面部又は前記第２フレーム体の前記第２主面部に貼り付けられて前記開口部を閉塞してウェーハ収納空間部を構成するウェーハ保持体とから構成され、
前記第１フレーム体と前記第２フレーム体が、前記第１嵌合部内に前記第２嵌合部を嵌合し、前記第１外周嵌合部の内側面に前記第２外周嵌合部の外側面を結合するとともに前記第１内周嵌合部の内側面に前記第２内周嵌合部の外側面を結合して一体化されて、内部空間部を有するリング状のフレーム体を構成するウェーハ用ホルダ。
【請求項２】
前記第１フレーム体と前記第２フレーム体を一体化してなるフレーム体が、前記内部空間部を略密閉空間部として構成する請求項１に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項３】
前記第１フレーム体と前記第２フレーム体が、相対して結合される前記第１外周嵌合部の内側面と前記第２外周嵌合部の外側面及び前記第１内周嵌合部の内側面と前記第２内周嵌合部の外側面とを、かしめ結合、溶接又は接着剤による接合のいずれか１の結合方法により結合して一体化されてフレーム体を構成する請求項１又は２に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項４】
前記第１フレーム体には、前記第１外周嵌合部と前記第１内周嵌合部に、それぞれ周方向に所定の間隔を以って厚み方向に貫通する複数個の接着剤充填孔が形成され、
前記接着剤充填孔から接着剤を充填して相対する前記第１外周嵌合部の内側面と前記第２外周嵌合部の外側面及び前記第１内周嵌合部の内側面と前記第２内周嵌合部の外側面とを結合して一体化されてフレーム体を構成する請求項１又は２に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項５】
前記第１フレーム体と前記第２フレーム体により構成される前記内部空間部内に、前記第１主面部と前記第２主面部に対して相対する厚み方向の側面をそれぞれ結合されることにより前記第１主面部と前記第２主面部の対向間隔を保持するリング状のコア体を設けてなる請求項１乃至４のいずれか１項に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項６】
前記コア体が、それぞれ前記内部空間部の高さとほぼ等しい厚みを有しかつ外径を異にする複数個のリング体からなり、これらコア体を前記内部空間部内に同心円状に配置するとともにそれぞれを前記第１主面部と前記第２主面部に結合してなる請求項５に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項７】
前記第１フレーム体又は前記第２フレーム体には、前記第１主面部又は前記第２主面部の内面に、前記第１外周嵌合部と前記第１内周嵌合部又は前記第２外周嵌合部と前記第２内周嵌合部との間において全周に亘って立ち上がる同心円状の環状立壁からなるコア凸部が一体に形成され、
前記第１嵌合部内に前記第２嵌合部を嵌合した状態で、前記コア凸部が相手側の主面部の内面に突き当てられて前記第１主面部と前記第２主面部の対向間隔を保持する請求項１乃至４のいずれか１項に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項８】
前記第１フレーム体には、前記第１主面部の内面に、前記第１外周嵌合部と前記第１内周嵌合部との間において全周に亘って立ち上がる同心円状の環状立壁からなる第１コア凸部が一体に形成され、
前記第２フレーム体には、前記第２主面部の内面に、前記第２外周嵌合部と前記第２内周嵌合部との間において全周に亘って立ち上がることにより同心円状をなしかつ前記第１コア凸部と半径を異にする環状立壁からなる第２コア凸部が一体に形成され、
前記第１コア凸部と前記第２コア凸部が、前記第１嵌合部内に前記第２嵌合部を嵌合した状態で、半径方向の異なる位置で相手側の主面部の内面に突き当てられて前記第１主面部と前記第２主面部の対向間隔を保持する請求項１乃至４のいずれか１項に記載のウェーハ用ホルダ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１１−２９２１７（Ｐ２０１１−２９２１７Ａ）
【公開日】平成２３年２月１０日（２０１１．２．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１７０１２０（Ｐ２００９−１７０１２０）
【出願日】平成２１年７月２１日（２００９．７．２１）
【出願人】（３９６０２３７１９）株式会社大川金型設計事務所 (4)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年２月１０日（２０１１．２．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年７月２１日（２００９．７．２１）
【出願人】（３９６０２３７１９）株式会社大川金型設計事務所 (4)
【Ｆターム（参考）】
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