レイアウト検証装置及びレイアウト検証方法
【課題】汎用性が高く、効率的に検証処理を行うことができるレイアウト検証技術を提供する。
【解決手段】レイアウトデータがデザインルールに反するか否かの検証を行うに際し、所定の設計値に基づき、レイアウトデータ（１）を、擬似エラー領域内のものとそれ以外のものとに区分し、通常のデザインルール（４）からの許容範囲内のものとして擬似エラー領域用のデザインルール（１３）を作成し、擬似エラー領域外のレイアウトデータについては通常のデザインルールで検証を行い、擬似エラー領域内のレイアウトデータについては擬似エラー領域用のデザインルールで検証を行う。
【解決手段】レイアウトデータがデザインルールに反するか否かの検証を行うに際し、所定の設計値に基づき、レイアウトデータ（１）を、擬似エラー領域内のものとそれ以外のものとに区分し、通常のデザインルール（４）からの許容範囲内のものとして擬似エラー領域用のデザインルール（１３）を作成し、擬似エラー領域外のレイアウトデータについては通常のデザインルールで検証を行い、擬似エラー領域内のレイアウトデータについては擬似エラー領域用のデザインルールで検証を行う。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路の製造に用いるマスクパターンについてのレイアウト検証を行うレイアウト検証装置及びレイアウト検証方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
レイアウト検証とは、製作されたマスクパターンが、半導体製造プロセス上の不具合又は製品仕様上の不具合を生じさせるおそれがあるかどうかについてレイアウト上の検証を行うことである。レイアウトとは、具体的には、マスクパターンに描かれたパターンの形状、幅、隙間などをいう。
【０００３】
半導体製造技術では、所定のルールファイルに基づき、規定されたルールに違反するかどうかを判定することよってレイアウト検証がなされる。しかしながら、このようなレイアウト検証に際し、エラーでないとみなしても何ら問題のない擬似エラーが発生するという問題がある。そこで、擬似エラーについてはエラーとせずにパスさせ、真のエラーのみを抽出する手段が種々講じられている（たとえば、特許文献１）。
【０００４】
また、擬似エラー発生領域を特定する規則を設けて全体のレイアウトの中から擬似エラー発生領域を抽出し、この領域のみについて、他の領域とは異なる緩やかなルールでレイアウト検証を行うようにした技術も提案されている（たとえば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−１０１８５９号公報
【特許文献２】特開２０００−９９５５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述のように、擬似エラーについてはパスさせ、真のエラーのみを抽出する手段を講ずるにしても、レイアウトパターンには様々な種類のものが存在する。したがって、個々のパターンに対応した解決策は講じられているが、汎用的な解決手段の構築は困難である。
【０００７】
また、上述の擬似エラー発生領域について緩やかなルールでレイアウト検証を行う技術によれば、そのようなルールによる検証と通常のルールによる検証とを併せて２回の検証を行う必要があるため、レイアウト検証の処理が冗長となる。
【０００８】
また、一度、通常のルールでレイアウト検証を行い、疑似エラーを含有しているエラーデータを作成し、設計システム上で疑似エラー領域用のパラメータを指定するやり方も考えられるが、このような方法によれば、ミスの発生を誘起したり、操作が煩雑になったりするなど、問題が多い。
【０００９】
本発明の目的は、かかる従来技術の問題点に鑑み、汎用性が高く、効率的に検証処理を行うことができるレイアウト検証技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この目的を達成するため、本発明のレイアウト検証装置は、レイアウトデータがデザインルールに反するか否かの検証を行うレイアウト検証装置であって、通常の第１デザインルールとは異なる第２デザインルールが適用される擬似エラー領域を特定するために用意された設計値に基づき、レイアウトデータを、該擬似エラー領域内のレイアウトデータと該擬似エラー領域外のレイアウトデータとに区分するデータ区分手段と、前記第２デザインルールを特定するために定められた前記第１デザインルールからの許容範囲に基づき、該第２デザインルールを該許容範囲内のものとして作成するルール作成手段と、前記擬似エラー領域外のレイアウトデータが前記第１デザインルールに反するか否かを検証し、前記擬似エラー領域内のレイアウトデータが前記第２デザインルールに反するか否かを検証する検証手段とを具備することを特徴とする。
【００１１】
これによれば、擬似エラー領域を設計値に基づいて自動的に特定し、レイアウトデータを擬似エラー領域内のものとそれ以外の領域内のものとに区分し、各領域内のレイアウトデータについてそれぞれ異なるデザインルールを適用してルール違反の有無を検証するようにしたため、従来のように、擬似エラー領域についての緩やかなデザインルールによる検証と、通常のデザインルールによる検証とを重複して行う必要がないので、効率的に検証を行うことができる。
【００１２】
また、擬似エラー領域とそれ以外の領域とで異なるデザインルールを適用するようにしたため、擬似エラー領域内のレイアウトデータに通常の第１デザインルールを適用することによって発生する擬似エラーを排除することができる。また、設計値に応じて、異なる第２デザインルールを作成し、異なる擬似エラー領域を抽出することができるので、種々のレイアウトデータについての検証に対応することができる。
【００１３】
本発明においては、前記擬似エラー領域を特定するために用意された設計値は、円弧形状のレイアウトパターンに係るレイアウトデータを含む領域を擬似エラー領域として特定するためのものであってもよい。これによれば、絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ等の高耐圧デバイスにおけるガードリング部のレイアウトデータについて、四隅の円弧部を擬似エラー領域として特定し、検証を行うことができる。
【００１４】
本発明においてはさらに、前記設計値は、第１の半径の円弧形状及び第２の半径の円弧形状の各レイアウトパターンに係るレイアウトデータを含む各領域をそれぞれ第１及び第２の擬似エラー領域として特定するための第１及び第２の設計値であり、前記データ区分手段は、前記第１及び第２設計値に基づき、レイアウトデータを、前記第１擬似エラー領域内のレイアウトデータと、前記第２擬似エラー領域内のレイアウトデータと、該第１及び第２擬似エラー領域以外のレイアウトデータとに区分するものであり、前記第１デザインルールについての許容範囲は、前記第１及び第２設計値にそれぞれ対応する第１及び第２の許容範囲であり、前記ルール作成手段は、前記第１及び第２許容範囲に基づき、前記第２デザインルールとして、それぞれ前記第１擬似エラー領域用のデザインルール及び第２擬似エラー領域用のデザインルールを作成するものであり、前記検証手段は、前記擬似エラー領域内のレイアウトデータについての検証として、前記第１擬似エラー領域内のレイアウトデータについて前記第１擬似エラー領域用のデザインルールを適用した検証を行い、前記第２擬似エラー領域内のレイアウトデータについて前記第２擬似エラー領域用のデザインルールを適用した検証を行うものであってもよい。
【００１５】
これによれば、異なるレイアウトパターンに係るレイアウトデータのそれぞれについての擬似エラー領域を抽出し、それぞれの擬似エラー領域について異なるデザインルールでルールチェックを行うようにしたため、各レイアウトパターンの擬似エラー領域ごとに異なるデザインルールが適用される場合であっても、検証の対象となる領域を重複させることなく効率的に検証を行うことができる。また、一度、通常のルールでレイアウト検証を行った結果を見なくても、擬似エラー領域を区分することができるので、より効率的に検証を行うことができる。
【００１６】
本発明のレイアウト検証方法は、レイアウトデータがデザインルールに反するか否かの検証を行うレイアウト検証方法であって、通常の第１デザインルールとは異なる第２デザインルールが適用される擬似エラー領域を特定するために用意された設計値に基づき、レイアウトデータを、該擬似エラー領域内のレイアウトデータと該擬似エラー領域外のレイアウトデータとに区分するデータ区分工程と、前記第２デザインルールを特定するために定められた前記第１デザインルールからの許容範囲に基づき、該第２デザインルールを該許容範囲内のものとして作成するルール作成工程と、前記擬似エラー領域外のレイアウトデータが前記第１デザインルールに反するか否かを検証し、前記擬似エラー領域内のレイアウトデータが前記第２デザインルールに反するか否かを検証する検証工程とを具備することを特徴とする。
【００１７】
これによれば、本発明のレイアウト検証装置の場合と同様に、効率的に検証を行うことができ、擬似エラーを排除し、また、種々のレイアウトデータについての検証に対応することができる。
【００１８】
本発明のレイアウト検証方法においては、前記擬似エラー領域を特定するために用意された設計値は、円弧形状のレイアウトパターンに係るレイアウトデータを含む領域を擬似エラー領域として特定するためのものであってもよい。これによれば、本発明のレイアウト検証装置の場合と同様に、高耐圧デバイスにおけるガードリング部のレイアウトデータについて、四隅の円弧部を擬似エラー領域として特定し、検証を行うことができる。
【００１９】
本発明のレイアウト検証方法においては、さらに、前記設計値は、第１の半径の円弧形状及び第２の半径の円弧形状の各レイアウトパターンに係るレイアウトデータを含む各領域をそれぞれ第１及び第２の擬似エラー領域として特定するための第１及び第２の設計情報であり、前記データ区分工程では、前記第１及び第２設計情報に基づき、レイアウトデータを、前記第１擬似エラー領域内のレイアウトデータと、前記第２擬似エラー領域内のレイアウトデータと、該第１及び第２擬似エラー領域以外のレイアウトデータとに区分し、前記第１デザインルールについての許容範囲は、前記第１及び第２設計値にそれぞれ対応する第１及び第２の許容範囲であり、前記ルール作成工程では、前記第１及び第２許容範囲に基づき、前記第２デザインルールとして、それぞれ前記第１擬似エラー領域用のデザインルール及び第２擬似エラー領域用のデザインルールを作成し、前記検証工程では、前記擬似エラー領域内のレイアウトデータについての検証として、前記第１擬似エラー領域内のレイアウトデータについて前記第１擬似エラー領域用のデザインルールを適用した検証を行い、前記第２擬似エラー領域内のレイアウトデータについて前記第２擬似エラー領域用のデザインルールを適用した検証を行うものであってもよい。
【００２０】
これによれば、本発明のレイアウト検証装置の場合と同様に、各レイアウトパターンの擬似エラー領域ごとに異なるデザインルールが適用される場合であっても、検証の対象となる領域を重複させることなく効率的に検証を行うことができる。また、検証の対象となる領域毎に自動的に領域分けが行われ、それぞれの領域に対応したデザインルールが適用されるため、より効率的に検証を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態に係るレイアウト検証装置の構成を示すブロック図である。
【図２】図１の装置において、レイアウトデータが区分される様子を示す図である。
【図３】図１の装置を用いたレイアウト検証処理を示すフローチャートである。
【図４】図１の装置によるルールチェックの対象となる高耐圧デバイスのガードリング部についてのレイアウトデータに係るレイアウトパターンの一部を示す図である。
【図５】図１の装置において、レイアウトデータが区分される様子の別の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を用いて本発明の実施形態について説明する。図１は本発明の一実施形態に係るレイアウト検証装置の構成を示すブロック図である。このレイアウト検証装置はＣＡＤシステムにおいてデザインルールチェックツール（以下、「ＤＲＣツール」という。）１０として組み込まれている。
【００２３】
ＤＲＣツール１０は、ＣＡＤによりデザインされたレイアウトデータ１が、デザインルールに違反するか否かを検証してその結果を示す検証結果データ２を出力する。そして、ユーザは検証結果データ２に基づき、必要に応じてレイアウトデータ１を修正して、再度ＤＲＣツール１０を起動させることにより、最終的には違反のないことが検証されたレイアウトデータ３を得ることができる。
【００２４】
本実施形態においては、レイアウトデータ１として、ＩＧＢＴ（絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ）等の高耐圧デバイスにおけるガードリング部のレイアウトデータが用いられ、検証の対象とされる。デザインルールは、集積回路の設計における素子や配線の寸法を規定するものであり、ガードリング部のレイアウトデータの場合、ガードリングの幅や間隔を規定する。
【００２５】
レイアウトデータ１の中には、ガードリングにおける曲率が付与された角部のように、使用するＣＡＤシステムにおいて所定のグリッド間隔以下の座標が入力できないために、ガードリングの幅が正確に表現できない部分のデータも存在する。そのようなレイアウトデータの中には、通常のデザインルールを適用した場合にはルールに違反し、検証の結果としてはエラーと判定されるが、エラーとはせずに許容し得るようなレイアウトデータ、つまり擬似的にエラーとなるレイアウトデータも存在する。
【００２６】
そこで、ＤＲＣツール１０においては、このような擬似的エラーが発生し得るレイアウトデータが存在する領域を擬似エラー領域とし、擬似エラー領域内のレイアウトデータについては、通常のデザインルールよりも緩やかなデザインルールを適用することにより、検証結果データ２には擬似的エラーを示すデータが含まれないようにしている。
【００２７】
ＤＲＣツール１０は、図１に示すように、デザインルールファイル４と、擬似エラー領域及び領域限定ルールの定義ファイル５とに基づいて、擬似エラーに対応したデザインルールファイル１１を作成する擬似エラー領域ルール抽出部１２を備える。デザインルールファイル４には、レイアウトデータ１のレイアウト検証に適用される通常のデザインルールが格納されている。擬似エラー領域ルール抽出部１２により、本発明におけるルール作成手段が構成される。
【００２８】
定義ファイル５には擬似エラー領域を定義する情報として、レイアウトデータ１に係る回路チップのチップサイズやガードリングの曲線部の半径などの設計値が記録される。また、レイアウトデータ１に係る擬似エラー領域に限定して適用される限定的デザインルールを定義する情報として、通常のデザインルールからの許容範囲が記録される。この許容範囲の範囲内で通常のデザインルールを変更することにより、限定的デザインルールを得ることができる。
【００２９】
これらの定義ファイル５に記録される設計値及び許容範囲の選択は、レイアウト検証の対象となるレイアウトデータ１に対応させて、ユーザにより行われる。定義ファイル５への設計値の記録は、設計仕様が格納された設計仕様ファイル６の内容に基づいて行うことができる。許容範囲の記録は、プロセス仕様が記録されたプロセス仕様ファイル７の内容に基づいて行うことができる。
【００３０】
擬似エラー領域ルール抽出部１２はデザインルールファイル４に対し、擬似エラー領域用ルール１３及び擬似エラー領域抽出ルール１４を追加することにより擬似エラー対応デザインルールファイル１１を作成する。擬似エラー領域用ルール１３は、デザインルールの適用領域についてのルールを、デザインルールファイル４に基づくレイアウト検証から擬似エラー領域を除外するように改変したものと、擬似エラー領域について適用する限定的デザインルールとを含む。
【００３１】
擬似エラー領域抽出ルール１４は、定義ファイル５に記録されている設計値に基づいて擬似エラー領域を特定するためのルールである。つまり、定義ファイル５に設計値として記録されているチップサイズ及びガードリングの曲線部の半径に対してこのルールを適用することにより、そのガードリングのレイアウトデータにおける擬似エラー領域として、そのレイアウトパターンにおける四隅の曲線部を含む領域が特定される。
【００３２】
ＤＲＣツール１０はまた、擬似エラー領域抽出ルール１４と、レイアウトデータ１とに基づいて擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５を生成する擬似エラー領域抽出部１６を備える。擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５は、レイアウトデータ１を、擬似エラー領域内のレイアウトデータである擬似エラー領域データ１７と、擬似エラー領域以外のレイアウトデータとに区分したものである。擬似エラー領域ルール抽出部１２と擬似エラー領域抽出部１６とにより、本発明におけるデータ区分手段が構成される。
【００３３】
擬似エラー領域抽出部１６は、定義ファイル５の設計値を擬似エラー領域抽出ルール１４に適用することにより、擬似エラー領域を特定する。そして、レイアウトデータ１を、擬似エラー領域データ１７と、擬似エラー領域以外のレイアウトデータとに区分して擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５を生成する。これにより、擬似エラー領域以外のレイアウトデータと、擬似エラー領域内のレイアウトデータとを区別して処理することができるようになる。
【００３４】
さらに、ＤＲＣツール１０は、擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５内のレイアウトデータが、擬似エラー対応デザインルールファイル１１内のデザインルールに違反するかどうかの検証（以下、「ルールチェック」という。）を行うデザインルールチェック部１８を備える。デザインルールチェック部１８により、本発明における検証手段が構成される。
【００３５】
デザインルールチェック部１８は、擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５中の擬似エラー領域データ１７については、擬似エラー領域用ルール１３を用いてルールチェックを行い、擬似エラー領域データ１７以外のレイアウトデータについては、擬似エラー対応デザインルールファイル１１における擬似エラー領域用ルール１３以外の通常のデザインルールに基づいてルールチェックを行う。
【００３６】
ユーザは検証結果を、検証結果データ２により確認することができる。また、検証後のレイアウトデータ３を得ることができる。
【００３７】
図２はレイアウトデータ１が擬似エラー領域抽出部１６により区分される様子を示す。レイアウトデータ１に基づくレイアウトが、同図（ａ）のガードリングのレイアウトパターン２１を有するものであるとする。
【００３８】
この場合、擬似エラー領域抽出部１６は、定義ファイル５において設計値として記録されているチップサイズ及びガードリングの曲線部の半径を擬似エラー領域抽出ルール１４に適用することにより、擬似エラー領域２２を特定する。これにより、擬似エラー領域２２以外の非擬似エラー領域２３も特定されることになる。
【００３９】
ガードリングは、四隅を角状に形成すると、耐圧性が劣化するので、四隅は半径Ｒの部分円形状となるように設計される。つまりガードリングの四隅には半径Ｒから計算できる部分円形状の部分が存在する領域が必ず存在し、設計仕様から半径Ｒを特定すれば、その領域を擬似エラー領域として抽出することができる。擬似エラー領域抽出ルール１４に対してガードリングの半径Ｒを適用することにより、この擬似エラー領域の抽出が行われる。
【００４０】
そして、特定された擬似エラー領域２２に基づき、擬似エラー領域抽出部１６はレイアウトデータ１を、同図（ｃ）に示す擬似エラー領域２２内のパターン部分２４に対応する擬似エラー領域データ１７と、同図（ｄ）に示す非擬似エラー領域２３内のパターン部分２５のレイアウトデータとに区分し、擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５を生成する。
【００４１】
デザインルールチェック部１８は、パターン部分２４に対応する擬似エラー領域データ１７について、擬似エラー領域用ルール１３を用いてルールチェックを行い、パターン部分２５のレイアウトデータについて、擬似エラー対応デザインルールファイル１１内の通常のデザインルールに基づいてルールチェックを行うことができる。
【００４２】
図３は、ＤＲＣツール１０を用いたレイアウト検証処理を示すフローチャートである。同図に示すように、処理を開始すると、まずユーザが、ステップ３１において、設計仕様ファイル６及びプロセス仕様ファイル７に基づき、擬似エラー領域及び領域限定ルール定義ファイル５を作成する。また、ステップ３２において、すべての階層のレイアウトデータを有する最上位階層のレイアウトデータ１を作成する。そして、ＤＲＣツール１０を起動させる。
【００４３】
これに応じて、まず擬似エラー領域ルール抽出部１２が、ステップ３３において、定義ファイル５の設計値に基づき、対応する擬似エラー領域を特定するための領域特定用ルールを抽出する。さらに、定義ファイル５の許容範囲に基づき、該擬似エラー領域について適用されるデザインルールを抽出する。
【００４４】
そして、ステップ３４において、デザインルールファイル４に対し、抽出した領域特定用ルールを擬似エラー領域抽出ルール１４として追加し、抽出したデザインルールを擬似エラー領域用ルール１３として追加し、また、デザインルールの適用領域についてのルールを、デザインルールファイル４に基づくレイアウト検証から擬似エラー領域を除外するように改変することにより、擬似エラー対応デザインルールファイル１１を作成する。
【００４５】
次に、ステップ３５において、擬似エラー領域抽出部１６が、定義ファイル５の設計値を擬似エラー領域抽出ルール１４に適用することにより、擬似エラー領域を抽出する。次に、ステップ３６において、擬似エラー領域抽出部１６が、抽出した擬似エラー領域に基づき、レイアウトデータ１を、擬似エラー領域データ１７と、擬似エラー領域以外のレイアウトデータとに区分して、擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５を作成する。
【００４６】
次に、ステップ３７において、デザインルールチェック部１８が、作成された擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５について、ルールチェックを行う。すなわち、擬似エラー領域データ１７については擬似エラー領域用ルール１３を適用し、擬似エラー領域データ１７以外のレイアウトデータについては、擬似エラー対応デザインルールファイル１１内の通常のデザインルールを適用し、ルールチェックを行う。また、チェックの結果を、検証結果データ２として出力する。
【００４７】
次に、ステップ３８において、検証後のレイアウトデータ３が作成される。なお、擬似エラー領域データ１７については擬似エラー領域用ルール１３を適用してルールチェックが行われているので、検証結果データ２においては、擬似エラーに該当するエラーは記録されない。すなわち、検証結果データ２において計上されたエラーはすべて真のエラーとされる。
【００４８】
次に、ステップ３９において、検証結果データ２に基づき、真のエラーがあったことを認識した場合には、ユーザは、ステップ３２に戻り、最上位階層レイアウトデータを修正し、再度ＤＲＣツール１０を起動させ、ルールチェックを行うことができる。検証結果データ２において真のエラーがなかった場合には、ユーザは、エラーの無いことが検証されたレイアウトデータ３を取得することができる。
【００４９】
図４は、ルールチェックの対象となる高耐圧デバイスのガードリング部についてのレイアウトデータに係るレイアウトパターンの一部を示す。このレイアウトデータに係るガードリングの設計値は、設計仕様ファイル６に記録されており、幅が１０μｍ、間隔が２０μｍ、最外周のガードリングの四隅に位置する部分円形状を有する曲線部の半径Ｒが２７０μｍ、最内周のガードリングの四隅に位置する曲線部の半径Ｒが１５０μｍ、ガードリングの本数が５本である。
【００５０】
図４においては、曲線部の半径Ｒが１５０μｍである最内周のガードリングのパターン４１についての１つの曲線部が実線で示されている。Ｒ１は曲線部の内側の半径であり、Ｒ２は外側の半径である。半径Ｒは曲線部の内側線についての値であると定義すると、Ｒ１は１５０μｍ、Ｒ２は１６０μｍとなる。図４において、設計値に従った曲線部の外形を破線４２で示す。
【００５１】
ＣＡＤにおいては入力可能な最小グリッドの間の点は表現できないため、レイアウトデータは最小グリッド上の点に丸められた値により構成される。したがって、同図のように、グリッドの縦横のラインに沿ったパターン４１の直線部の幅は設計値１０μｍに正確に従ったものとなるが、曲線部の幅は設計値１０μｍに従ったものとはならず、たとえば図中に示されるように、１０μｍ−１６ｎｍとなる。
【００５２】
この場合、デザインルールにおいて、ガードリングの幅はすべて１０μｍでチェックする旨が規定されているとすれば、これを適用して曲線部におけるレイアウトデータのルールチェックを行うと、チェック結果はエラーとなる。このエラーの中には、許容し得る擬似エラーも含まれる。
【００５３】
そこで、このような曲線部のレイアウトデータを含む領域を擬似エラー領域４３とし、擬似エラー領域４３内のレイアウトデータについては、通常のデザインルールによる１０μｍではなく、それよりも緩やかな擬似エラー領域用のルール、たとえば（１０−０．０２）μｍを適用し、これよりも幅が狭くなければエラーとはしないようにしている。
【００５４】
上述の図４のガードリングの設計値に従い、たとえば最内周のガードリングについてルールチェックを行う場合には、設計仕様ファイル６に基づき、チップサイズの値１０ｍｍ、及び最内周のガードリングにおける曲線部の半径Ｒの値１５０μｍが定義ファイル５に記録される。また、プロセス仕様ファイル７に基づき、ガードリングの幅又はスペースについてのルールチェックを行う際の許容範囲として±０．０２μｍが記録される。
【００５５】
デザインルールファイル４には、ガードリングのルールチェックに用いるデザインルール「ガードリングの幅はすべて１０μｍでチェックする」が記録されているものとする。また、レイアウトデータ１には、最内周のガードリングについて作成されたレイアウトデータが記録されているものとする。
【００５６】
この状態で、ＤＲＣツール１０が起動されると、定義ファイル５においてチップサイズ及びガードリングの曲線部の半径Ｒが記録されていることに基づき、擬似エラー領域ルール抽出部１２により、該チップサイズ及び半径Ｒから曲線部が存在する擬似エラー領域を特定するための擬似エラー領域抽出ルール１４がデザインルールファイル４に追加される。
【００５７】
また、デザインルールの適用領域についてのルールが、デザインルールファイル４に基づくルールチェックから擬似エラー領域を除外するルールに変更され、定義ファイル５の許容範囲±０．０２μに従い、「ガードリングの幅は（１０−０．０２）μｍでチェックする」という擬似エラー領域用ルール１３が追加される。これにより擬似エラー対応デザインルールファイル１１が生成される。
【００５８】
追加された擬似エラー領域抽出ルール１４に対しては、擬似エラー領域抽出部１６によって定義ファイル５のチップサイズ１０ｍｍ、及び曲線部の半径１５０μｍが適用され、図４の擬似エラー領域４３がチップの四隅について抽出される。そして、再内周のガードリングのレイアウトデータ１が、擬似エラー領域内のデータ１７と、擬似エラー領域以外のデータとに区分され、擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５が作成される。
【００５９】
作成された擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５内の擬似エラー領域内データ１７については、デザインルールチェック部１８により、「ガードリングの幅は（１０−０．０２）μｍでチェックする」という擬似エラー領域用ルール１３が適用され、ルールチェックが行われる。また、擬似エラー領域内データ１７以外のデータについては、「ガードリングの幅は１０μｍでチェックする」という通常のルールが適用され、ルールチェックが行われる。
【００６０】
図５は、レイアウトデータ１が擬似エラー領域抽出部１６により区分される様子の別の例を示す。この場合、定義ファイル５における設計値として、チップサイズに加え、隣接する２つのガードリングにおける曲線部の半径Ｒの値が記録されており、かつ該２つのガードリングのレイアウトデータのそれぞれについて、幅又はスペースに関するルールチェックを行う際の許容範囲が記録されている。
【００６１】
この例では、擬似エラー領域抽出部１６は、定義ファイル５において設計値として記録されているチップサイズ及び２種類の曲線部の半径Ｒを擬似エラー領域抽出ルール１４に適用することにより、図５（ａ）に示すように、各ガードリングのパターン５１及び５２に対応する擬似エラー領域５３及び５４を特定する。これにより、擬似エラー領域５３及び５４以外の非擬似エラー領域５５も特定されることになる。
【００６２】
そして、特定された擬似エラー領域５３及び５４に基づき、擬似エラー領域抽出部１６はレイアウトデータ１を、図５（ｂ）に示す擬似エラー領域５３内のパターン部分５６に対応する擬似エラー領域データと、図５（ｃ）に示す擬似エラー領域５４内のパターン部分５７に対応する擬似エラー領域データと、図５（ｄ）に示す非擬似エラー領域５５内のパターン部分５８のレイアウトデータとに区分し、擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５を生成する。この場合、擬似エラー領域データ１７には、擬似エラー領域５３の擬似エラー領域データ及び擬似エラー領域５４の擬似エラー領域データが含まれる。
【００６３】
この場合、擬似エラー領域ルール抽出部１２は、擬似エラー領域用ルール１３として、各ガードリングについての許容範囲に基づき、擬似エラー領域５３及び５４のそれぞれについての擬似エラー領域用ルールをデザインルールファイルに対して追加する。また、擬似エラー領域抽出ルール１４としては、チップサイズ及び２種類の曲線部の半径Ｒに基づき、擬似エラー領域５３及び５４を特定するためのルールを追加する。
【００６４】
このとき、外側の曲線部の半径は、設計仕様に基づいて定義するようにしてもよい。すなわち、内側の曲線部の半径がＲｉ、曲線部の幅がＷ、両曲線部の間の間隔がＳであるとすれば、外側の曲線部の半径Ｒｏを、Ｒｏ＝Ｒｉ＋Ｗ＋Ｓにより求めるようにしてもよい。また、本実施例では２種類の曲線部を対象とした場合の例を示しているが、これに限定されず、対象とする曲線部は３種類以上であってもよい。
【００６５】
また、デザインルールチェック部１８は、擬似エラー領域データ１７内の擬似エラー領域５３のデータについて、擬似エラー領域用ルール１３における擬似エラー領域５３用の擬似エラー領域用ルールを適用してルールチェックを行う。擬似エラー領域５４のデータについては、擬似エラー領域５４用の擬似エラー領域用ルールを適用してルールチェックを行う。擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５における擬似エラー領域データ１７以外のデータについては、擬似エラー対応デザインルールファイル１１における通常のデザインルールを適用して検証を行う。
【００６６】
本実施形態によれば、レイアウトデータを擬似エラー領域内のものと非擬似エラー領域内のものとに区分し、各領域内のレイアウトデータについてそれぞれ異なるデザインルールでルールチェックを行うようにしたため、従来のように、擬似エラー領域についての緩やかなルールでのルールチェックと、通常のルールによるルールチェックとを重複して行う必要がないので、効率的にルールチェックを行うことができる。
【００６７】
また、異なるレイアウトパターンに係るレイアウトデータのそれぞれについての擬似エラー領域を抽出し、それぞれの擬似エラー領域について異なるデザインルールでルールチェックを行うようにしたため、各レイアウトパターンの擬似エラー領域ごとに異なるデザインルールが適用される場合であっても、ルールチェックの対象とする領域を重複させることなく効率的にルールチェックを行うことができる。
【００６８】
また、擬似エラー領域及びそれ以外の領域ごとに異なるデザインルールを適用するようにしたため、擬似エラー領域に通常のデザインルールを適用することによって発生する擬似エラーを排除することができる。
【００６９】
また、検証の対象となる領域毎に自動的に領域を区分し、それぞれの領域に対応したデザインルールを適用するようにしたため、効率的に検証を行うことができる。
【００７０】
さらに、設計仕様等に応じて異なる擬似エラー領域用ルール１３を作成し、異なる擬似エラー領域抽出ルール１４を使用して擬似エラー領域を抽出することができるので、種々のレイアウトデータについて、通常のデザインルールから適用するデザインルールへ緩やかにする幅を最小限にしながら、対応することができる。
【符号の説明】
【００７１】
４…デザインルールファイル、５…擬似エラー領域及び領域限定ルール定義ファイル、１１…擬似エラー対応デザインルールファイル、１２…擬似エラー領域ルール抽出部、１３…擬似エラー領域用ルール、１４…擬似エラー領域抽出ルール、１６…擬似エラー領域抽出部、１５…擬似エラー領域付加レイアウトデータ、１７…擬似エラー領域データ、１８…デザインルールチェック部。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路の製造に用いるマスクパターンについてのレイアウト検証を行うレイアウト検証装置及びレイアウト検証方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
レイアウト検証とは、製作されたマスクパターンが、半導体製造プロセス上の不具合又は製品仕様上の不具合を生じさせるおそれがあるかどうかについてレイアウト上の検証を行うことである。レイアウトとは、具体的には、マスクパターンに描かれたパターンの形状、幅、隙間などをいう。
【０００３】
半導体製造技術では、所定のルールファイルに基づき、規定されたルールに違反するかどうかを判定することよってレイアウト検証がなされる。しかしながら、このようなレイアウト検証に際し、エラーでないとみなしても何ら問題のない擬似エラーが発生するという問題がある。そこで、擬似エラーについてはエラーとせずにパスさせ、真のエラーのみを抽出する手段が種々講じられている（たとえば、特許文献１）。
【０００４】
また、擬似エラー発生領域を特定する規則を設けて全体のレイアウトの中から擬似エラー発生領域を抽出し、この領域のみについて、他の領域とは異なる緩やかなルールでレイアウト検証を行うようにした技術も提案されている（たとえば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−１０１８５９号公報
【特許文献２】特開２０００−９９５５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述のように、擬似エラーについてはパスさせ、真のエラーのみを抽出する手段を講ずるにしても、レイアウトパターンには様々な種類のものが存在する。したがって、個々のパターンに対応した解決策は講じられているが、汎用的な解決手段の構築は困難である。
【０００７】
また、上述の擬似エラー発生領域について緩やかなルールでレイアウト検証を行う技術によれば、そのようなルールによる検証と通常のルールによる検証とを併せて２回の検証を行う必要があるため、レイアウト検証の処理が冗長となる。
【０００８】
また、一度、通常のルールでレイアウト検証を行い、疑似エラーを含有しているエラーデータを作成し、設計システム上で疑似エラー領域用のパラメータを指定するやり方も考えられるが、このような方法によれば、ミスの発生を誘起したり、操作が煩雑になったりするなど、問題が多い。
【０００９】
本発明の目的は、かかる従来技術の問題点に鑑み、汎用性が高く、効率的に検証処理を行うことができるレイアウト検証技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この目的を達成するため、本発明のレイアウト検証装置は、レイアウトデータがデザインルールに反するか否かの検証を行うレイアウト検証装置であって、通常の第１デザインルールとは異なる第２デザインルールが適用される擬似エラー領域を特定するために用意された設計値に基づき、レイアウトデータを、該擬似エラー領域内のレイアウトデータと該擬似エラー領域外のレイアウトデータとに区分するデータ区分手段と、前記第２デザインルールを特定するために定められた前記第１デザインルールからの許容範囲に基づき、該第２デザインルールを該許容範囲内のものとして作成するルール作成手段と、前記擬似エラー領域外のレイアウトデータが前記第１デザインルールに反するか否かを検証し、前記擬似エラー領域内のレイアウトデータが前記第２デザインルールに反するか否かを検証する検証手段とを具備することを特徴とする。
【００１１】
これによれば、擬似エラー領域を設計値に基づいて自動的に特定し、レイアウトデータを擬似エラー領域内のものとそれ以外の領域内のものとに区分し、各領域内のレイアウトデータについてそれぞれ異なるデザインルールを適用してルール違反の有無を検証するようにしたため、従来のように、擬似エラー領域についての緩やかなデザインルールによる検証と、通常のデザインルールによる検証とを重複して行う必要がないので、効率的に検証を行うことができる。
【００１２】
また、擬似エラー領域とそれ以外の領域とで異なるデザインルールを適用するようにしたため、擬似エラー領域内のレイアウトデータに通常の第１デザインルールを適用することによって発生する擬似エラーを排除することができる。また、設計値に応じて、異なる第２デザインルールを作成し、異なる擬似エラー領域を抽出することができるので、種々のレイアウトデータについての検証に対応することができる。
【００１３】
本発明においては、前記擬似エラー領域を特定するために用意された設計値は、円弧形状のレイアウトパターンに係るレイアウトデータを含む領域を擬似エラー領域として特定するためのものであってもよい。これによれば、絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ等の高耐圧デバイスにおけるガードリング部のレイアウトデータについて、四隅の円弧部を擬似エラー領域として特定し、検証を行うことができる。
【００１４】
本発明においてはさらに、前記設計値は、第１の半径の円弧形状及び第２の半径の円弧形状の各レイアウトパターンに係るレイアウトデータを含む各領域をそれぞれ第１及び第２の擬似エラー領域として特定するための第１及び第２の設計値であり、前記データ区分手段は、前記第１及び第２設計値に基づき、レイアウトデータを、前記第１擬似エラー領域内のレイアウトデータと、前記第２擬似エラー領域内のレイアウトデータと、該第１及び第２擬似エラー領域以外のレイアウトデータとに区分するものであり、前記第１デザインルールについての許容範囲は、前記第１及び第２設計値にそれぞれ対応する第１及び第２の許容範囲であり、前記ルール作成手段は、前記第１及び第２許容範囲に基づき、前記第２デザインルールとして、それぞれ前記第１擬似エラー領域用のデザインルール及び第２擬似エラー領域用のデザインルールを作成するものであり、前記検証手段は、前記擬似エラー領域内のレイアウトデータについての検証として、前記第１擬似エラー領域内のレイアウトデータについて前記第１擬似エラー領域用のデザインルールを適用した検証を行い、前記第２擬似エラー領域内のレイアウトデータについて前記第２擬似エラー領域用のデザインルールを適用した検証を行うものであってもよい。
【００１５】
これによれば、異なるレイアウトパターンに係るレイアウトデータのそれぞれについての擬似エラー領域を抽出し、それぞれの擬似エラー領域について異なるデザインルールでルールチェックを行うようにしたため、各レイアウトパターンの擬似エラー領域ごとに異なるデザインルールが適用される場合であっても、検証の対象となる領域を重複させることなく効率的に検証を行うことができる。また、一度、通常のルールでレイアウト検証を行った結果を見なくても、擬似エラー領域を区分することができるので、より効率的に検証を行うことができる。
【００１６】
本発明のレイアウト検証方法は、レイアウトデータがデザインルールに反するか否かの検証を行うレイアウト検証方法であって、通常の第１デザインルールとは異なる第２デザインルールが適用される擬似エラー領域を特定するために用意された設計値に基づき、レイアウトデータを、該擬似エラー領域内のレイアウトデータと該擬似エラー領域外のレイアウトデータとに区分するデータ区分工程と、前記第２デザインルールを特定するために定められた前記第１デザインルールからの許容範囲に基づき、該第２デザインルールを該許容範囲内のものとして作成するルール作成工程と、前記擬似エラー領域外のレイアウトデータが前記第１デザインルールに反するか否かを検証し、前記擬似エラー領域内のレイアウトデータが前記第２デザインルールに反するか否かを検証する検証工程とを具備することを特徴とする。
【００１７】
これによれば、本発明のレイアウト検証装置の場合と同様に、効率的に検証を行うことができ、擬似エラーを排除し、また、種々のレイアウトデータについての検証に対応することができる。
【００１８】
本発明のレイアウト検証方法においては、前記擬似エラー領域を特定するために用意された設計値は、円弧形状のレイアウトパターンに係るレイアウトデータを含む領域を擬似エラー領域として特定するためのものであってもよい。これによれば、本発明のレイアウト検証装置の場合と同様に、高耐圧デバイスにおけるガードリング部のレイアウトデータについて、四隅の円弧部を擬似エラー領域として特定し、検証を行うことができる。
【００１９】
本発明のレイアウト検証方法においては、さらに、前記設計値は、第１の半径の円弧形状及び第２の半径の円弧形状の各レイアウトパターンに係るレイアウトデータを含む各領域をそれぞれ第１及び第２の擬似エラー領域として特定するための第１及び第２の設計情報であり、前記データ区分工程では、前記第１及び第２設計情報に基づき、レイアウトデータを、前記第１擬似エラー領域内のレイアウトデータと、前記第２擬似エラー領域内のレイアウトデータと、該第１及び第２擬似エラー領域以外のレイアウトデータとに区分し、前記第１デザインルールについての許容範囲は、前記第１及び第２設計値にそれぞれ対応する第１及び第２の許容範囲であり、前記ルール作成工程では、前記第１及び第２許容範囲に基づき、前記第２デザインルールとして、それぞれ前記第１擬似エラー領域用のデザインルール及び第２擬似エラー領域用のデザインルールを作成し、前記検証工程では、前記擬似エラー領域内のレイアウトデータについての検証として、前記第１擬似エラー領域内のレイアウトデータについて前記第１擬似エラー領域用のデザインルールを適用した検証を行い、前記第２擬似エラー領域内のレイアウトデータについて前記第２擬似エラー領域用のデザインルールを適用した検証を行うものであってもよい。
【００２０】
これによれば、本発明のレイアウト検証装置の場合と同様に、各レイアウトパターンの擬似エラー領域ごとに異なるデザインルールが適用される場合であっても、検証の対象となる領域を重複させることなく効率的に検証を行うことができる。また、検証の対象となる領域毎に自動的に領域分けが行われ、それぞれの領域に対応したデザインルールが適用されるため、より効率的に検証を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態に係るレイアウト検証装置の構成を示すブロック図である。
【図２】図１の装置において、レイアウトデータが区分される様子を示す図である。
【図３】図１の装置を用いたレイアウト検証処理を示すフローチャートである。
【図４】図１の装置によるルールチェックの対象となる高耐圧デバイスのガードリング部についてのレイアウトデータに係るレイアウトパターンの一部を示す図である。
【図５】図１の装置において、レイアウトデータが区分される様子の別の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を用いて本発明の実施形態について説明する。図１は本発明の一実施形態に係るレイアウト検証装置の構成を示すブロック図である。このレイアウト検証装置はＣＡＤシステムにおいてデザインルールチェックツール（以下、「ＤＲＣツール」という。）１０として組み込まれている。
【００２３】
ＤＲＣツール１０は、ＣＡＤによりデザインされたレイアウトデータ１が、デザインルールに違反するか否かを検証してその結果を示す検証結果データ２を出力する。そして、ユーザは検証結果データ２に基づき、必要に応じてレイアウトデータ１を修正して、再度ＤＲＣツール１０を起動させることにより、最終的には違反のないことが検証されたレイアウトデータ３を得ることができる。
【００２４】
本実施形態においては、レイアウトデータ１として、ＩＧＢＴ（絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ）等の高耐圧デバイスにおけるガードリング部のレイアウトデータが用いられ、検証の対象とされる。デザインルールは、集積回路の設計における素子や配線の寸法を規定するものであり、ガードリング部のレイアウトデータの場合、ガードリングの幅や間隔を規定する。
【００２５】
レイアウトデータ１の中には、ガードリングにおける曲率が付与された角部のように、使用するＣＡＤシステムにおいて所定のグリッド間隔以下の座標が入力できないために、ガードリングの幅が正確に表現できない部分のデータも存在する。そのようなレイアウトデータの中には、通常のデザインルールを適用した場合にはルールに違反し、検証の結果としてはエラーと判定されるが、エラーとはせずに許容し得るようなレイアウトデータ、つまり擬似的にエラーとなるレイアウトデータも存在する。
【００２６】
そこで、ＤＲＣツール１０においては、このような擬似的エラーが発生し得るレイアウトデータが存在する領域を擬似エラー領域とし、擬似エラー領域内のレイアウトデータについては、通常のデザインルールよりも緩やかなデザインルールを適用することにより、検証結果データ２には擬似的エラーを示すデータが含まれないようにしている。
【００２７】
ＤＲＣツール１０は、図１に示すように、デザインルールファイル４と、擬似エラー領域及び領域限定ルールの定義ファイル５とに基づいて、擬似エラーに対応したデザインルールファイル１１を作成する擬似エラー領域ルール抽出部１２を備える。デザインルールファイル４には、レイアウトデータ１のレイアウト検証に適用される通常のデザインルールが格納されている。擬似エラー領域ルール抽出部１２により、本発明におけるルール作成手段が構成される。
【００２８】
定義ファイル５には擬似エラー領域を定義する情報として、レイアウトデータ１に係る回路チップのチップサイズやガードリングの曲線部の半径などの設計値が記録される。また、レイアウトデータ１に係る擬似エラー領域に限定して適用される限定的デザインルールを定義する情報として、通常のデザインルールからの許容範囲が記録される。この許容範囲の範囲内で通常のデザインルールを変更することにより、限定的デザインルールを得ることができる。
【００２９】
これらの定義ファイル５に記録される設計値及び許容範囲の選択は、レイアウト検証の対象となるレイアウトデータ１に対応させて、ユーザにより行われる。定義ファイル５への設計値の記録は、設計仕様が格納された設計仕様ファイル６の内容に基づいて行うことができる。許容範囲の記録は、プロセス仕様が記録されたプロセス仕様ファイル７の内容に基づいて行うことができる。
【００３０】
擬似エラー領域ルール抽出部１２はデザインルールファイル４に対し、擬似エラー領域用ルール１３及び擬似エラー領域抽出ルール１４を追加することにより擬似エラー対応デザインルールファイル１１を作成する。擬似エラー領域用ルール１３は、デザインルールの適用領域についてのルールを、デザインルールファイル４に基づくレイアウト検証から擬似エラー領域を除外するように改変したものと、擬似エラー領域について適用する限定的デザインルールとを含む。
【００３１】
擬似エラー領域抽出ルール１４は、定義ファイル５に記録されている設計値に基づいて擬似エラー領域を特定するためのルールである。つまり、定義ファイル５に設計値として記録されているチップサイズ及びガードリングの曲線部の半径に対してこのルールを適用することにより、そのガードリングのレイアウトデータにおける擬似エラー領域として、そのレイアウトパターンにおける四隅の曲線部を含む領域が特定される。
【００３２】
ＤＲＣツール１０はまた、擬似エラー領域抽出ルール１４と、レイアウトデータ１とに基づいて擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５を生成する擬似エラー領域抽出部１６を備える。擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５は、レイアウトデータ１を、擬似エラー領域内のレイアウトデータである擬似エラー領域データ１７と、擬似エラー領域以外のレイアウトデータとに区分したものである。擬似エラー領域ルール抽出部１２と擬似エラー領域抽出部１６とにより、本発明におけるデータ区分手段が構成される。
【００３３】
擬似エラー領域抽出部１６は、定義ファイル５の設計値を擬似エラー領域抽出ルール１４に適用することにより、擬似エラー領域を特定する。そして、レイアウトデータ１を、擬似エラー領域データ１７と、擬似エラー領域以外のレイアウトデータとに区分して擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５を生成する。これにより、擬似エラー領域以外のレイアウトデータと、擬似エラー領域内のレイアウトデータとを区別して処理することができるようになる。
【００３４】
さらに、ＤＲＣツール１０は、擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５内のレイアウトデータが、擬似エラー対応デザインルールファイル１１内のデザインルールに違反するかどうかの検証（以下、「ルールチェック」という。）を行うデザインルールチェック部１８を備える。デザインルールチェック部１８により、本発明における検証手段が構成される。
【００３５】
デザインルールチェック部１８は、擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５中の擬似エラー領域データ１７については、擬似エラー領域用ルール１３を用いてルールチェックを行い、擬似エラー領域データ１７以外のレイアウトデータについては、擬似エラー対応デザインルールファイル１１における擬似エラー領域用ルール１３以外の通常のデザインルールに基づいてルールチェックを行う。
【００３６】
ユーザは検証結果を、検証結果データ２により確認することができる。また、検証後のレイアウトデータ３を得ることができる。
【００３７】
図２はレイアウトデータ１が擬似エラー領域抽出部１６により区分される様子を示す。レイアウトデータ１に基づくレイアウトが、同図（ａ）のガードリングのレイアウトパターン２１を有するものであるとする。
【００３８】
この場合、擬似エラー領域抽出部１６は、定義ファイル５において設計値として記録されているチップサイズ及びガードリングの曲線部の半径を擬似エラー領域抽出ルール１４に適用することにより、擬似エラー領域２２を特定する。これにより、擬似エラー領域２２以外の非擬似エラー領域２３も特定されることになる。
【００３９】
ガードリングは、四隅を角状に形成すると、耐圧性が劣化するので、四隅は半径Ｒの部分円形状となるように設計される。つまりガードリングの四隅には半径Ｒから計算できる部分円形状の部分が存在する領域が必ず存在し、設計仕様から半径Ｒを特定すれば、その領域を擬似エラー領域として抽出することができる。擬似エラー領域抽出ルール１４に対してガードリングの半径Ｒを適用することにより、この擬似エラー領域の抽出が行われる。
【００４０】
そして、特定された擬似エラー領域２２に基づき、擬似エラー領域抽出部１６はレイアウトデータ１を、同図（ｃ）に示す擬似エラー領域２２内のパターン部分２４に対応する擬似エラー領域データ１７と、同図（ｄ）に示す非擬似エラー領域２３内のパターン部分２５のレイアウトデータとに区分し、擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５を生成する。
【００４１】
デザインルールチェック部１８は、パターン部分２４に対応する擬似エラー領域データ１７について、擬似エラー領域用ルール１３を用いてルールチェックを行い、パターン部分２５のレイアウトデータについて、擬似エラー対応デザインルールファイル１１内の通常のデザインルールに基づいてルールチェックを行うことができる。
【００４２】
図３は、ＤＲＣツール１０を用いたレイアウト検証処理を示すフローチャートである。同図に示すように、処理を開始すると、まずユーザが、ステップ３１において、設計仕様ファイル６及びプロセス仕様ファイル７に基づき、擬似エラー領域及び領域限定ルール定義ファイル５を作成する。また、ステップ３２において、すべての階層のレイアウトデータを有する最上位階層のレイアウトデータ１を作成する。そして、ＤＲＣツール１０を起動させる。
【００４３】
これに応じて、まず擬似エラー領域ルール抽出部１２が、ステップ３３において、定義ファイル５の設計値に基づき、対応する擬似エラー領域を特定するための領域特定用ルールを抽出する。さらに、定義ファイル５の許容範囲に基づき、該擬似エラー領域について適用されるデザインルールを抽出する。
【００４４】
そして、ステップ３４において、デザインルールファイル４に対し、抽出した領域特定用ルールを擬似エラー領域抽出ルール１４として追加し、抽出したデザインルールを擬似エラー領域用ルール１３として追加し、また、デザインルールの適用領域についてのルールを、デザインルールファイル４に基づくレイアウト検証から擬似エラー領域を除外するように改変することにより、擬似エラー対応デザインルールファイル１１を作成する。
【００４５】
次に、ステップ３５において、擬似エラー領域抽出部１６が、定義ファイル５の設計値を擬似エラー領域抽出ルール１４に適用することにより、擬似エラー領域を抽出する。次に、ステップ３６において、擬似エラー領域抽出部１６が、抽出した擬似エラー領域に基づき、レイアウトデータ１を、擬似エラー領域データ１７と、擬似エラー領域以外のレイアウトデータとに区分して、擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５を作成する。
【００４６】
次に、ステップ３７において、デザインルールチェック部１８が、作成された擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５について、ルールチェックを行う。すなわち、擬似エラー領域データ１７については擬似エラー領域用ルール１３を適用し、擬似エラー領域データ１７以外のレイアウトデータについては、擬似エラー対応デザインルールファイル１１内の通常のデザインルールを適用し、ルールチェックを行う。また、チェックの結果を、検証結果データ２として出力する。
【００４７】
次に、ステップ３８において、検証後のレイアウトデータ３が作成される。なお、擬似エラー領域データ１７については擬似エラー領域用ルール１３を適用してルールチェックが行われているので、検証結果データ２においては、擬似エラーに該当するエラーは記録されない。すなわち、検証結果データ２において計上されたエラーはすべて真のエラーとされる。
【００４８】
次に、ステップ３９において、検証結果データ２に基づき、真のエラーがあったことを認識した場合には、ユーザは、ステップ３２に戻り、最上位階層レイアウトデータを修正し、再度ＤＲＣツール１０を起動させ、ルールチェックを行うことができる。検証結果データ２において真のエラーがなかった場合には、ユーザは、エラーの無いことが検証されたレイアウトデータ３を取得することができる。
【００４９】
図４は、ルールチェックの対象となる高耐圧デバイスのガードリング部についてのレイアウトデータに係るレイアウトパターンの一部を示す。このレイアウトデータに係るガードリングの設計値は、設計仕様ファイル６に記録されており、幅が１０μｍ、間隔が２０μｍ、最外周のガードリングの四隅に位置する部分円形状を有する曲線部の半径Ｒが２７０μｍ、最内周のガードリングの四隅に位置する曲線部の半径Ｒが１５０μｍ、ガードリングの本数が５本である。
【００５０】
図４においては、曲線部の半径Ｒが１５０μｍである最内周のガードリングのパターン４１についての１つの曲線部が実線で示されている。Ｒ１は曲線部の内側の半径であり、Ｒ２は外側の半径である。半径Ｒは曲線部の内側線についての値であると定義すると、Ｒ１は１５０μｍ、Ｒ２は１６０μｍとなる。図４において、設計値に従った曲線部の外形を破線４２で示す。
【００５１】
ＣＡＤにおいては入力可能な最小グリッドの間の点は表現できないため、レイアウトデータは最小グリッド上の点に丸められた値により構成される。したがって、同図のように、グリッドの縦横のラインに沿ったパターン４１の直線部の幅は設計値１０μｍに正確に従ったものとなるが、曲線部の幅は設計値１０μｍに従ったものとはならず、たとえば図中に示されるように、１０μｍ−１６ｎｍとなる。
【００５２】
この場合、デザインルールにおいて、ガードリングの幅はすべて１０μｍでチェックする旨が規定されているとすれば、これを適用して曲線部におけるレイアウトデータのルールチェックを行うと、チェック結果はエラーとなる。このエラーの中には、許容し得る擬似エラーも含まれる。
【００５３】
そこで、このような曲線部のレイアウトデータを含む領域を擬似エラー領域４３とし、擬似エラー領域４３内のレイアウトデータについては、通常のデザインルールによる１０μｍではなく、それよりも緩やかな擬似エラー領域用のルール、たとえば（１０−０．０２）μｍを適用し、これよりも幅が狭くなければエラーとはしないようにしている。
【００５４】
上述の図４のガードリングの設計値に従い、たとえば最内周のガードリングについてルールチェックを行う場合には、設計仕様ファイル６に基づき、チップサイズの値１０ｍｍ、及び最内周のガードリングにおける曲線部の半径Ｒの値１５０μｍが定義ファイル５に記録される。また、プロセス仕様ファイル７に基づき、ガードリングの幅又はスペースについてのルールチェックを行う際の許容範囲として±０．０２μｍが記録される。
【００５５】
デザインルールファイル４には、ガードリングのルールチェックに用いるデザインルール「ガードリングの幅はすべて１０μｍでチェックする」が記録されているものとする。また、レイアウトデータ１には、最内周のガードリングについて作成されたレイアウトデータが記録されているものとする。
【００５６】
この状態で、ＤＲＣツール１０が起動されると、定義ファイル５においてチップサイズ及びガードリングの曲線部の半径Ｒが記録されていることに基づき、擬似エラー領域ルール抽出部１２により、該チップサイズ及び半径Ｒから曲線部が存在する擬似エラー領域を特定するための擬似エラー領域抽出ルール１４がデザインルールファイル４に追加される。
【００５７】
また、デザインルールの適用領域についてのルールが、デザインルールファイル４に基づくルールチェックから擬似エラー領域を除外するルールに変更され、定義ファイル５の許容範囲±０．０２μに従い、「ガードリングの幅は（１０−０．０２）μｍでチェックする」という擬似エラー領域用ルール１３が追加される。これにより擬似エラー対応デザインルールファイル１１が生成される。
【００５８】
追加された擬似エラー領域抽出ルール１４に対しては、擬似エラー領域抽出部１６によって定義ファイル５のチップサイズ１０ｍｍ、及び曲線部の半径１５０μｍが適用され、図４の擬似エラー領域４３がチップの四隅について抽出される。そして、再内周のガードリングのレイアウトデータ１が、擬似エラー領域内のデータ１７と、擬似エラー領域以外のデータとに区分され、擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５が作成される。
【００５９】
作成された擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５内の擬似エラー領域内データ１７については、デザインルールチェック部１８により、「ガードリングの幅は（１０−０．０２）μｍでチェックする」という擬似エラー領域用ルール１３が適用され、ルールチェックが行われる。また、擬似エラー領域内データ１７以外のデータについては、「ガードリングの幅は１０μｍでチェックする」という通常のルールが適用され、ルールチェックが行われる。
【００６０】
図５は、レイアウトデータ１が擬似エラー領域抽出部１６により区分される様子の別の例を示す。この場合、定義ファイル５における設計値として、チップサイズに加え、隣接する２つのガードリングにおける曲線部の半径Ｒの値が記録されており、かつ該２つのガードリングのレイアウトデータのそれぞれについて、幅又はスペースに関するルールチェックを行う際の許容範囲が記録されている。
【００６１】
この例では、擬似エラー領域抽出部１６は、定義ファイル５において設計値として記録されているチップサイズ及び２種類の曲線部の半径Ｒを擬似エラー領域抽出ルール１４に適用することにより、図５（ａ）に示すように、各ガードリングのパターン５１及び５２に対応する擬似エラー領域５３及び５４を特定する。これにより、擬似エラー領域５３及び５４以外の非擬似エラー領域５５も特定されることになる。
【００６２】
そして、特定された擬似エラー領域５３及び５４に基づき、擬似エラー領域抽出部１６はレイアウトデータ１を、図５（ｂ）に示す擬似エラー領域５３内のパターン部分５６に対応する擬似エラー領域データと、図５（ｃ）に示す擬似エラー領域５４内のパターン部分５７に対応する擬似エラー領域データと、図５（ｄ）に示す非擬似エラー領域５５内のパターン部分５８のレイアウトデータとに区分し、擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５を生成する。この場合、擬似エラー領域データ１７には、擬似エラー領域５３の擬似エラー領域データ及び擬似エラー領域５４の擬似エラー領域データが含まれる。
【００６３】
この場合、擬似エラー領域ルール抽出部１２は、擬似エラー領域用ルール１３として、各ガードリングについての許容範囲に基づき、擬似エラー領域５３及び５４のそれぞれについての擬似エラー領域用ルールをデザインルールファイルに対して追加する。また、擬似エラー領域抽出ルール１４としては、チップサイズ及び２種類の曲線部の半径Ｒに基づき、擬似エラー領域５３及び５４を特定するためのルールを追加する。
【００６４】
このとき、外側の曲線部の半径は、設計仕様に基づいて定義するようにしてもよい。すなわち、内側の曲線部の半径がＲｉ、曲線部の幅がＷ、両曲線部の間の間隔がＳであるとすれば、外側の曲線部の半径Ｒｏを、Ｒｏ＝Ｒｉ＋Ｗ＋Ｓにより求めるようにしてもよい。また、本実施例では２種類の曲線部を対象とした場合の例を示しているが、これに限定されず、対象とする曲線部は３種類以上であってもよい。
【００６５】
また、デザインルールチェック部１８は、擬似エラー領域データ１７内の擬似エラー領域５３のデータについて、擬似エラー領域用ルール１３における擬似エラー領域５３用の擬似エラー領域用ルールを適用してルールチェックを行う。擬似エラー領域５４のデータについては、擬似エラー領域５４用の擬似エラー領域用ルールを適用してルールチェックを行う。擬似エラー領域付加レイアウトデータ１５における擬似エラー領域データ１７以外のデータについては、擬似エラー対応デザインルールファイル１１における通常のデザインルールを適用して検証を行う。
【００６６】
本実施形態によれば、レイアウトデータを擬似エラー領域内のものと非擬似エラー領域内のものとに区分し、各領域内のレイアウトデータについてそれぞれ異なるデザインルールでルールチェックを行うようにしたため、従来のように、擬似エラー領域についての緩やかなルールでのルールチェックと、通常のルールによるルールチェックとを重複して行う必要がないので、効率的にルールチェックを行うことができる。
【００６７】
また、異なるレイアウトパターンに係るレイアウトデータのそれぞれについての擬似エラー領域を抽出し、それぞれの擬似エラー領域について異なるデザインルールでルールチェックを行うようにしたため、各レイアウトパターンの擬似エラー領域ごとに異なるデザインルールが適用される場合であっても、ルールチェックの対象とする領域を重複させることなく効率的にルールチェックを行うことができる。
【００６８】
また、擬似エラー領域及びそれ以外の領域ごとに異なるデザインルールを適用するようにしたため、擬似エラー領域に通常のデザインルールを適用することによって発生する擬似エラーを排除することができる。
【００６９】
また、検証の対象となる領域毎に自動的に領域を区分し、それぞれの領域に対応したデザインルールを適用するようにしたため、効率的に検証を行うことができる。
【００７０】
さらに、設計仕様等に応じて異なる擬似エラー領域用ルール１３を作成し、異なる擬似エラー領域抽出ルール１４を使用して擬似エラー領域を抽出することができるので、種々のレイアウトデータについて、通常のデザインルールから適用するデザインルールへ緩やかにする幅を最小限にしながら、対応することができる。
【符号の説明】
【００７１】
４…デザインルールファイル、５…擬似エラー領域及び領域限定ルール定義ファイル、１１…擬似エラー対応デザインルールファイル、１２…擬似エラー領域ルール抽出部、１３…擬似エラー領域用ルール、１４…擬似エラー領域抽出ルール、１６…擬似エラー領域抽出部、１５…擬似エラー領域付加レイアウトデータ、１７…擬似エラー領域データ、１８…デザインルールチェック部。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レイアウトデータがデザインルールに反するか否かの検証を行うレイアウト検証装置であって、
通常の第１デザインルールとは異なる第２デザインルールが適用される擬似エラー領域を特定するために用意された設計値に基づき、レイアウトデータを、該擬似エラー領域内のレイアウトデータと該擬似エラー領域外のレイアウトデータとに区分するデータ区分手段と、
前記第２デザインルールを特定するために定められた前記第１デザインルールからの許容範囲に基づき、該第２デザインルールを該許容範囲内のものとして作成するルール作成手段と、
前記擬似エラー領域外のレイアウトデータが前記第１デザインルールに反するか否かを検証し、前記擬似エラー領域内のレイアウトデータが前記第２デザインルールに反するか否かを検証する検証手段とを具備することを特徴とするレイアウト検証装置。
【請求項２】
前記擬似エラー領域を特定するために用意された設計値は、円弧形状のレイアウトパターンに係るレイアウトデータを含む領域を擬似エラー領域として特定するためのものであることを特徴とする請求項１に記載のレイアウト検証装置。
【請求項３】
前記設計値は、第１の半径の円弧形状及び第２の半径の円弧形状の各レイアウトパターンに係るレイアウトデータを含む各領域をそれぞれ第１及び第２の擬似エラー領域として特定するための第１及び第２の設計値であり、
前記データ区分手段は、前記第１及び第２設計値に基づき、レイアウトデータを、前記第１擬似エラー領域内のレイアウトデータと、前記第２擬似エラー領域内のレイアウトデータと、該第１及び第２擬似エラー領域以外のレイアウトデータとに区分するものであり、
前記第１デザインルールについての許容範囲は、前記第１及び第２設計値にそれぞれ対応する第１及び第２の許容範囲であり、
前記ルール作成手段は、前記第１及び第２許容範囲に基づき、前記第２デザインルールとして、それぞれ前記第１擬似エラー領域用のデザインルール及び第２擬似エラー領域用のデザインルールを作成するものであり、
前記検証手段は、前記擬似エラー領域内のレイアウトデータについての検証として、前記第１擬似エラー領域内のレイアウトデータについて前記第１擬似エラー領域用のデザインルールを適用した検証を行い、前記第２擬似エラー領域内のレイアウトデータについて前記第２擬似エラー領域用のデザインルールを適用した検証を行うものであることを特徴とする請求項２に記載のレイアウト検証装置。
【請求項４】
レイアウトデータがデザインルールに反するか否かの検証を行うレイアウト検証方法であって、
通常の第１デザインルールとは異なる第２デザインルールが適用される擬似エラー領域を特定するために用意された設計値に基づき、レイアウトデータを、該擬似エラー領域内のレイアウトデータと該擬似エラー領域外のレイアウトデータとに区分するデータ区分工程と、
前記第２デザインルールを特定するために定められた前記第１デザインルールからの許容範囲に基づき、該第２デザインルールを該許容範囲内のものとして作成するルール作成工程と、
前記擬似エラー領域外のレイアウトデータが前記第１デザインルールに反するか否かを検証し、前記擬似エラー領域内のレイアウトデータが前記第２デザインルールに反するか否かを検証する検証工程とを具備することを特徴とするレイアウト検証方法。
【請求項５】
前記擬似エラー領域を特定するために用意された設計値は、円弧形状のレイアウトパターンに係るレイアウトデータを含む領域を擬似エラー領域として特定するためのものであることを特徴とする請求項４に記載のレイアウト検証方法。
【請求項６】
前記設計値は、第１の半径の円弧形状及び第２の半径の円弧形状の各レイアウトパターンに係るレイアウトデータを含む各領域をそれぞれ第１及び第２の擬似エラー領域として特定するための第１及び第２の設計情報であり、
前記データ区分工程では、前記第１及び第２設計情報に基づき、レイアウトデータを、前記第１擬似エラー領域内のレイアウトデータと、前記第２擬似エラー領域内のレイアウトデータと、該第１及び第２擬似エラー領域以外のレイアウトデータとに区分し、
前記第１デザインルールについての許容範囲は、前記第１及び第２設計値にそれぞれ対応する第１及び第２の許容範囲であり、
前記ルール作成工程では、前記第１及び第２許容範囲に基づき、前記第２デザインルールとして、それぞれ前記第１擬似エラー領域用のデザインルール及び第２擬似エラー領域用のデザインルールを作成し、
前記検証工程では、前記擬似エラー領域内のレイアウトデータについての検証として、前記第１擬似エラー領域内のレイアウトデータについて前記第１擬似エラー領域用のデザインルールを適用した検証を行い、前記第２擬似エラー領域内のレイアウトデータについて前記第２擬似エラー領域用のデザインルールを適用した検証を行うことを特徴とする請求項５に記載のレイアウト検証方法。
【請求項１】
レイアウトデータがデザインルールに反するか否かの検証を行うレイアウト検証装置であって、
通常の第１デザインルールとは異なる第２デザインルールが適用される擬似エラー領域を特定するために用意された設計値に基づき、レイアウトデータを、該擬似エラー領域内のレイアウトデータと該擬似エラー領域外のレイアウトデータとに区分するデータ区分手段と、
前記第２デザインルールを特定するために定められた前記第１デザインルールからの許容範囲に基づき、該第２デザインルールを該許容範囲内のものとして作成するルール作成手段と、
前記擬似エラー領域外のレイアウトデータが前記第１デザインルールに反するか否かを検証し、前記擬似エラー領域内のレイアウトデータが前記第２デザインルールに反するか否かを検証する検証手段とを具備することを特徴とするレイアウト検証装置。
【請求項２】
前記擬似エラー領域を特定するために用意された設計値は、円弧形状のレイアウトパターンに係るレイアウトデータを含む領域を擬似エラー領域として特定するためのものであることを特徴とする請求項１に記載のレイアウト検証装置。
【請求項３】
前記設計値は、第１の半径の円弧形状及び第２の半径の円弧形状の各レイアウトパターンに係るレイアウトデータを含む各領域をそれぞれ第１及び第２の擬似エラー領域として特定するための第１及び第２の設計値であり、
前記データ区分手段は、前記第１及び第２設計値に基づき、レイアウトデータを、前記第１擬似エラー領域内のレイアウトデータと、前記第２擬似エラー領域内のレイアウトデータと、該第１及び第２擬似エラー領域以外のレイアウトデータとに区分するものであり、
前記第１デザインルールについての許容範囲は、前記第１及び第２設計値にそれぞれ対応する第１及び第２の許容範囲であり、
前記ルール作成手段は、前記第１及び第２許容範囲に基づき、前記第２デザインルールとして、それぞれ前記第１擬似エラー領域用のデザインルール及び第２擬似エラー領域用のデザインルールを作成するものであり、
前記検証手段は、前記擬似エラー領域内のレイアウトデータについての検証として、前記第１擬似エラー領域内のレイアウトデータについて前記第１擬似エラー領域用のデザインルールを適用した検証を行い、前記第２擬似エラー領域内のレイアウトデータについて前記第２擬似エラー領域用のデザインルールを適用した検証を行うものであることを特徴とする請求項２に記載のレイアウト検証装置。
【請求項４】
レイアウトデータがデザインルールに反するか否かの検証を行うレイアウト検証方法であって、
通常の第１デザインルールとは異なる第２デザインルールが適用される擬似エラー領域を特定するために用意された設計値に基づき、レイアウトデータを、該擬似エラー領域内のレイアウトデータと該擬似エラー領域外のレイアウトデータとに区分するデータ区分工程と、
前記第２デザインルールを特定するために定められた前記第１デザインルールからの許容範囲に基づき、該第２デザインルールを該許容範囲内のものとして作成するルール作成工程と、
前記擬似エラー領域外のレイアウトデータが前記第１デザインルールに反するか否かを検証し、前記擬似エラー領域内のレイアウトデータが前記第２デザインルールに反するか否かを検証する検証工程とを具備することを特徴とするレイアウト検証方法。
【請求項５】
前記擬似エラー領域を特定するために用意された設計値は、円弧形状のレイアウトパターンに係るレイアウトデータを含む領域を擬似エラー領域として特定するためのものであることを特徴とする請求項４に記載のレイアウト検証方法。
【請求項６】
前記設計値は、第１の半径の円弧形状及び第２の半径の円弧形状の各レイアウトパターンに係るレイアウトデータを含む各領域をそれぞれ第１及び第２の擬似エラー領域として特定するための第１及び第２の設計情報であり、
前記データ区分工程では、前記第１及び第２設計情報に基づき、レイアウトデータを、前記第１擬似エラー領域内のレイアウトデータと、前記第２擬似エラー領域内のレイアウトデータと、該第１及び第２擬似エラー領域以外のレイアウトデータとに区分し、
前記第１デザインルールについての許容範囲は、前記第１及び第２設計値にそれぞれ対応する第１及び第２の許容範囲であり、
前記ルール作成工程では、前記第１及び第２許容範囲に基づき、前記第２デザインルールとして、それぞれ前記第１擬似エラー領域用のデザインルール及び第２擬似エラー領域用のデザインルールを作成し、
前記検証工程では、前記擬似エラー領域内のレイアウトデータについての検証として、前記第１擬似エラー領域内のレイアウトデータについて前記第１擬似エラー領域用のデザインルールを適用した検証を行い、前記第２擬似エラー領域内のレイアウトデータについて前記第２擬似エラー領域用のデザインルールを適用した検証を行うことを特徴とする請求項５に記載のレイアウト検証方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１２−２２１３９８（Ｐ２０１２−２２１３９８Ａ）
【公開日】平成２４年１１月１２日（２０１２．１１．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−８９０２５（Ｐ２０１１−８９０２５）
【出願日】平成２３年４月１３日（２０１１．４．１３）
【出願人】（０００００５３２６）本田技研工業株式会社 (23,863)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１１月１２日（２０１２．１１．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年４月１３日（２０１１．４．１３）
【出願人】（０００００５３２６）本田技研工業株式会社 (23,863)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]