保持容器及び保持容器ユニット
【課題】ウエハが保持容器の中で動きにくく、ウエハを保持したときにたわみにくく、且つウエハに傷が入りにくいような保持容器を提供する。
【解決手段】この保持容器は、内部にウエハを収容する略円形の貫通穴状収容部を有するスペーサと、前記スペーサの一方の面に当接し且つ第１切欠きを有する第１保持板と、前記スペーサの他方の面に当接し且つ第２切欠きを有する第２保持板と、からなり、前記第１切欠きは、前記第１保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持可能な形状を有し、前記第２切欠きは、前記第２保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持可能な形状を有する。
【解決手段】この保持容器は、内部にウエハを収容する略円形の貫通穴状収容部を有するスペーサと、前記スペーサの一方の面に当接し且つ第１切欠きを有する第１保持板と、前記スペーサの他方の面に当接し且つ第２切欠きを有する第２保持板と、からなり、前記第１切欠きは、前記第１保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持可能な形状を有し、前記第２切欠きは、前記第２保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持可能な形状を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハを保持するための保持容器及び保持容器ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエハはシリコン等の単結晶を薄くスライスして製造されるものであるが、脆性が高い上に汚染による物性への影響が大きいため、各種処理工程や輸送中において、その破損や汚染を防止するために最大限の努力が払われなければならない。
【０００３】
特に近年では、１２インチ（３００ｍｍ）の最大径をもつウエハが実用化される等、電子デバイスに用いられるウエハの大型化及び薄型化は進行しており、これらウエハの保持及び搬送にも一層の工夫が求められている。こうした大型のウエハを搬送し、保管し、又は処理するために保持する保持容器としては、例えば以下の特許文献１及び２で開示されたものが知られている。
【０００４】
特許文献１には、薄板を個別に保持する一側固定保持部と、一側固定保持部と互いに嵌合することで外部環境と隔離して収納空間に薄板を保持する他側固定保持部と、を備えた処理トレイを複数枚積層した薄板保持容器が開示されている。この薄板保持容器によれば、薄板の枚数に応じて処理トレイの枚数を任意に設定することができるとともに、積層された処理トレイを任意の位置で分離することにより、任意の位置で薄板を出し入れすることができる。
【０００５】
特許文献２には、外部機械装置側に嵌合するためのベーストレイと、各ベーストレイの間に挿入されて薄板を収納するための載置トレイと、各載置トレイの間やベーストレイと載置トレイとの間を結合し又は結合解除する結合・解除手段とを備え、載置トレイの側面の対向する２箇所の位置に、外部機械装置側の処理アームが嵌合して把持する把持部が形成されている薄板保持容器が開示されている。この薄板保持容器によれば、処理アームが載置トレイの把持部に嵌合して把持することで、把持部の２つの傾斜面によって載置トレイの上下方向の位置決めがなされるため、薄板を正確に位置決めすることができ、薄板の受け渡しを容易に行い、吸着位置のずれ等による薄板の破損を防止することができる。
【特許文献１】特開２００７−１０３４５４号公報
【特許文献２】特開２００７−１５３３９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１及び２の保持容器では、保持容器を鋳型によって成型する必要があり、その作製工程が複雑になる問題点があった。また、ウエハは収納空間内に留められるものの、収納空間内ではウエハに遊びが生じるため、薄板保持容器の取扱いによってウエハが保持容器の中で動き易く、保持容器に衝撃が与えられるとウエハに傷が入り、又はウエハに割れが生じる問題点があった。
【０００７】
さらに、近年のウエハの大型化の進行により、ウエハの取扱いはより困難なものになっており、大型のウエハでは保持した際のたわみの量が格段に大きくなるため、こうしたたわみをも考慮した保持容器をも求められていた。
【０００８】
本発明は上記問題点に鑑みてなされてものであって、その目的とするところは、鋳型を用いた成型を必要とせず作製が容易であり、ウエハが保持容器の中で動きにくく、ウエハを保持したときにたわみにくく、且つウエハに傷が入りにくいような保持容器及び保持容器ユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、ウエハを保持することのできる保持容器につき種々の検討を行った。その中で、ウエハを収容するスペーサの両側の面に、切欠きを有する保持板を積層することにより、ウエハが保持容器の中で動きにくく、ウエハを保持したときにたわみにくく、且つウエハに傷が入りにくくなることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１０】
（１） 内部にウエハを収容する略円形の貫通穴状収容部を有するスペーサと、前記スペーサの一方の面に当接し且つ第１切欠きを有する第１保持板と、前記スペーサの他方の面に当接し且つ第２切欠きを有する第２保持板と、からなり、前記第１切欠きは、前記第１保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持可能な形状を有し、前記第２切欠きは、前記第２保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持可能な形状を有することを特徴とする保持容器。
【００１１】
（１）の発明によれば、ウエハをスペーサの貫通穴状収容部に収容するとともに、ウエハの両面を第１保持板及び第２保持板で保持することにより、スペーサによってウエハの面方向への移動を抑えるとともに、第１保持板及び第２保持板の一方に押さえ役目を持たせ、他方に保持の役目を持たせることができるため、ウエハを保持容器の中で動きにくくすることができる。
【００１２】
また、（１）の発明によれば、第１保持板及び第２保持板に第１切欠き及び第２切欠きをそれぞれ設けることにより、ウエハの表面と保持容器との接触が低減されるため、ウエハの表面に傷が入りにくくすることができる。
【００１３】
さらに、（１）の発明によれば、ウエハを保持する第１保持板及び第２保持板に第１切欠き及び第２切欠きを設けることにより、ウエハと保持板との接触面積を減らすことができ、ウエハと保持板との接触によって生じるウエハのキズや汚れを減らすことができるため、ウエハの清浄度を保ち、保持後の洗浄工程を軽減し又は削減することができる。
【００１４】
ここで、本発明の保持容器は、板状材をカットして切欠きを設けることで保持容器の各構成部材を作製し、これら構成部材を積層することで保持容器を作製することができる。これにより、鋳型による成型によらなくとも保持容器を容易に作製することができる。
【００１５】
なお、本発明における「切欠き」は、第１保持板及び第２保持板を外縁から切欠いた形状を有するものに限定されず、第１保持板及び第２保持板の外縁と重ならない形状を有するものであってもよく、例えば貫通穴及び有底穴も切欠きに含まれる。
【００１６】
（２） 前記第１保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持する第１保持部位が４箇所以上形成され、前記第２保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持する第２保持部位が４箇所以上形成されることを特徴とする（１）記載の保持容器。
【００１７】
（２）の発明によれば、第１保持部位及び第２保持部位を各々４箇所以上に設けることで、少なくとも４方向からウエハが保持される。そのため、ウエハに生じるたわみをより小さくすることができ、ウエハの表面と保持容器との接触によるウエハの割れや傷を軽減することができる。
【００１８】
ここで、第１保持部位及び第２保持部位は、貫通穴状収容部の周縁に沿って交互に形成することができる。これにより、ウエハが第１保持部位及び第２保持部位によって互い違いに保持される。ウエハに外部から力が作用した場合に、保持板と接触する方向（保持方向）でウエハが保持されつつ、保持板と接触していない方向（空き方向）に力が逃げていく。そのため、ウエハへのチッピングの発生を低減することができる。
【００１９】
また、第１切欠き及び第２切欠きがウエハを間にして対向する重なり部位を有する保持容器とすることもできる。これにより、重なり部位が第１保持板及び第２保持板に上下から挟まれるため、ウエハが厚さ方向に遊ばないようにすることができ、特に小さい径のウエハを保持した場合にも、ウエハを保持容器の中で動きにくくすることができる。
【００２０】
また、スペーサに設けられる貫通穴状収容部の周縁の形状が円形である場合には、第１切欠き及び第２切欠きが、中心が貫通穴状収容部の中心と同軸となるような正多角形状である保持容器とすることもできる。これにより、ウエハが保持板と接触する部分と、保持板と接触していない部分とが、貫通穴状収容部の中心を軸としてラジアル方向について等間隔に設けられるため、ラジアル方向について均等な保持状態でウエハを保持することができる。
【００２１】
さらに、第１切欠き及び第２切欠きが、中心が貫通穴状収容部の中心と同軸となるような正多角形状である場合、第２切欠きが、第１切欠きの中心を軸に
【数１】
［ｎは正多角形の角の数とする］
回転させた形状を有する保持容器とすることもできる。これにより、第１保持部位及び第２保持部位が貫通穴状収容部に交互に隣接し易くなるため、ウエハへのチッピングの発生を低減することができる。
【００２２】
（３） 前記貫通穴状収容部の内部への外気の流通を抑制する構造をさらに備えることを特徴とする（１）又は（２）記載の保持容器。
【００２３】
（３）の発明によれば、貫通穴状収容部の内部への外気の流通を抑制する構造にすることにより、ウエハを保持している際に埃等が侵入し難くなるため、ウエハを清浄な状態で保持することができる。
【００２４】
ここで、ウエハの面方向から貫通穴状収容部の内部に流通する外気を抑制する構造としては、保持板の外周と重ならないように切欠きが設けられた構造、保持板を構成する保持部材の頂点が互いに接する構造、及び、保持板及びスペーサの外周に沿って外枠が設けられた構造を挙げることができる。一方、ウエハの厚さ方向から貫通穴状収容部の内部に流通する外気の流通を抑制する構造としては、保持板のうちスペーサと反対側の面に、例えば硬質材料からなる板状部材が設けられた構造を挙げることができる。
【００２５】
より具体的には、第１保持板及び第２保持板の少なくとも一方が複数の三角形をした保持部材からなり、隣接する保持部材の頂点が互いに接する保持容器とすることができる。これにより、隣接する保持部材の間に間隙が生じ難くなるため、ウエハの面方向から貫通穴状収容部の内部に流通する外気を抑制し、ウエハを清浄な状態で保持することができる。
【００２６】
さらに、隣接する保持部材の頂点が互いに接する場合、第１切欠き及び第２切欠きの正多角形状の中心が貫通穴状収容部の中心と同軸であり、保持部材の三角形の角が、それぞれ
【数２】
［ｎは前記正多角形の角の数とする］
である保持容器とすることができる。これにより、保持板が各々表裏反転した構造になるため、保持部材を合同な三角形にして保持部材の共通化を図ることができる。
【００２７】
また、この保持部材の頂点が接する部分に、硬質材料からなるコーナー板を有する保持容器とすることもできる。これにより、強度的に弱い保持部材の頂点がコーナー板によって補強される。そのため、保持容器を長く用いたとしても、保持容器の内部に形成された空間の密閉性を維持することができ、ウエハを清浄な状態で保持することができる。
【００２８】
また、第１保持板及び第２保持板の外縁に沿って、外枠を有する保持容器とすることもできる。これにより、外枠の内側にあるスペーサの貫通穴状収容部がウエハの面方向について覆われるため、ウエハの面方向から貫通穴状収容部の内部に流通する外気を抑制し、ウエハを清浄な状態で保持することができる。
【００２９】
また、第１保持板のうちスペーサと反対側の面に当接する第１硬質板と、第２保持板のうちスペーサと反対側の面に当接する第２硬質板とを有する保持容器とすることもできる。これにより、切欠きがウエハの厚さ方向について硬質板で覆われるとともに、保持板が硬質板によって支持される。そのため、ウエハの厚さ方向から切欠きを通じた外気の流通を抑制することができるとともに、保持板の材質としてより衝撃を吸収し易い材質を用いることができる。
【００３０】
なお、第１保持板及び第２保持板の少なくとも一方が三角形状をした複数の保持部材からなり、保持部材が互いに離れている保持容器とすることもできる。これにより、保持板のうちウエハを保持していない部分が省略されるため、保持容器をウエハの表面と平行な方向についてコンパクトな構造にすることができる。
【００３１】
（４） 前記第１保持板及び前記第２保持板の厚さが３ｍｍ以上であることを特徴とする（１）から（３）のいずれか記載の保持容器。
【００３２】
（４）の発明によれば、第１保持板及び第２保持板の厚さを３ｍｍ以上とすることにより、ウエハの中心部がたわんだ場合、ウエハを偏って保持した場合、及びウエハが保持板に沈み込んだ場合に、ウエハの表面が保持板の切欠きを超えて他のウエハや部材に接触することを低減することができる。
【００３３】
（５） 前記スペーサの厚さから前記ウエハの厚さを引いた値が３００μｍ以下であることを特徴とする（１）から（４）のいずれか記載の保持容器。
【００３４】
（５）の発明によれば、スペーサの厚さからウエハの厚さを引いた値を３００μｍ以下とすることにより、水平にしたウエハをウエハの下側にある保持板で保持した場合に、ウエハ自体の反りやウエハを保持した際のたわみによって浮き上がるウエハの外周が、ウエハの上側にある保持板によって押さえられるため、ウエハの中心部に生じるたわみを軽減することができる。
【００３５】
（６） 前記スペーサが硬質材料からなることを特徴とする（１）から（５）のいずれか記載の保持容器。
【００３６】
（６）の発明によれば、スペーサを硬質材料から形成することにより、第１保持板及び第２保持板の間にウエハの厚さに応じたスペースを確実に持たせることができるため、ウエハに上部から重さが掛かることによるウエハへのダメージが及ばないようにすることができる。
【００３７】
（７） （１）から（６）のいずれか記載の保持容器が複数重畳されてなる保持容器ユニットであって、前記スペーサ、前記第２保持板、第１硬質板、及び前記第１保持板が順に積層された繰返し単位を繰返し積層することにより、隣接する前記繰返し単位におけるそれぞれの前記第１硬質板に挟まれて前記保持容器が形成されることを特徴とする保持容器ユニット。
【００３８】
（７）の発明によれば、上記繰返し単位を複数有することにより、一つの保持容器ユニットにウエハを保持するスペーサが複数設けられるため、ウエハを一つの保持容器ユニットにバッチ単位で収容することができ、保持容器ユニットをウエハの厚さ方向についてコンパクトにすることができる。
【００３９】
（８） 前記第１硬質板、前記第１保持板、前記スペーサ、及び前記第２保持板の互いに対応する位置に貫通穴を設けることを特徴とする（７）記載の保持容器ユニット。
【００４０】
（８）の発明によれば、保持容器ユニットのうち互いに対応する位置に貫通穴を設けることにより、貫通穴に連結支持棒や回動軸が挿入できるため、保持容器ユニットをより取扱い易くすることができる。
【００４１】
このとき、貫通穴に連結支持棒を挿入することにより、保持板がウエハからずれ難くなるため、ウエハへの傷の発生を低減することができる。
【００４２】
また、貫通穴に回動軸を挿入することにより、回動軸を中心に硬質板、保持板、及びスペーサからなる繰返し単位が水平方向に回動可能になるため、保持容器ユニットの各スペーサへのウエハの装填及び取出しを容易にすることができる。
【発明の効果】
【００４３】
本発明によれば、ウエハを収容するスペーサの両側の面に、切欠きの設けられた保持板を有する保持容器により、ウエハが保持容器の中で動きにくく、ウエハを保持したときにたわみにくく、ウエハに傷が入りにくく、且つ保持後の洗浄工程を軽減し又は削減することのできる保持容器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
以下、本発明について具体的に説明する。
【００４５】
本発明の保持容器は、内部にウエハを収容する略円形の貫通穴状収容部を有するスペーサと、前記スペーサの一方の面に当接し且つ第１切欠きを有する第１保持板と、前記スペーサの他方の面に当接し且つ第２切欠きを有する第２保持板と、からなり、前記第１切欠きは、前記第１保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持可能な形状を有し、前記第２切欠きは、前記第２保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持可能な形状を有することを特徴とする。
【００４６】
［用語の定義］
本発明における「多角形状」及び「正多角形状」とは、単に多角形及び正多角形の形状に限られず、各辺をそれぞれ延長したときに多角形及び正多角形となるような形状も含むものである。
【００４７】
また、本発明における「切欠き」とは、第１保持板及び第２保持板を外縁から切欠いた形状を有するものに限られず、第１保持板及び第２保持板の外縁と重ならない形状を有するものであってもよく、例えば貫通穴及び有底穴も含むものである。
【００４８】
以下、必要に応じて図１〜図１８を参照しながら、本発明の保持容器の実施形態について詳細に説明するが、本発明は、以下の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の目的の範囲内において、適宜変更を加えて実施することができる。尚、説明が重複する箇所については、適宜説明を省略する場合があるが、発明の趣旨を限定するものではない。
【００４９】
≪保持容器の基本形態≫
本発明の第一実施形態は、スペーサ４と、第１切欠き３１を有する第１保持板３と、第２切欠き５１を有する第２保持板５と、を備える保持容器１である。図１は保持容器１の各部品の一例を示す斜視図であり、図２は保持容器１の一例を示す（ａ）正面図、及び（ｂ）Ａ−Ａ’面で切断した断面図であり、図３は保持容器１の変形例である保持容器１ａ１〜１ａ１１の第１切欠き３１ａ１〜３１ａ１１及び第２切欠き５１ａ１〜５１ａ１１を例示する正面図である。
【００５０】
［スペーサ］
本実施形態の保持容器１は、内部にウエハＷを収容する略円形の貫通穴状収容部４１を設けたスペーサ４を有する。
【００５１】
ここで、スペーサ４の厚さは、ウエハＷの板厚よりも厚くなるようにする。より具体的には、スペーサ４の厚さは、ウエハＷの板厚より２００μｍ以上厚いことが好ましい。保持容器１ａで保持するウエハＷには、１００μｍ未満の範囲で歪みが生じていることがあり、さらにウエハＷを保持する際に外周が１００μｍ以下の範囲で盛り上がることがあるが、これにより、ウエハＷに歪み及び／又は盛り上がりが生じても、ウエハＷへの傷を低減することができる。また、スペーサ４の厚さは、ウエハＷの板厚よりも３００μｍ以下厚いこと、換言すれば、スペーサ４の厚さからウエハＷの厚さを引いた値が３００μｍ以下であることが好ましい。これにより、水平にしたウエハＷを保持した場合に、ウエハＷ自体の反りやウエハＷを保持した際のたわみによって浮き上がるウエハＷの外周が、ウエハＷの上側にある保持板（図１の第２保持板５）によって押さえられるため、ウエハＷの中心部に生じるたわみを軽減することができる。また、スペーサ４の厚さを上記範囲内にすることで、ウエハＷに対する加工の前後を通して、共通の保持容器１を用いることができる。
【００５２】
スペーサ４に形成する貫通穴状収容部４１の周縁の形状は、ウエハＷの形状と略同一の形状にすることができ、より具体的には略円形にすることができる。また、スペーサ４に形成する貫通穴状収容部４１のウエハＷの面方向についての大きさは、ウエハＷの直径と等しいことが好ましいが、５ｍｍ以上１０ｍｍ以下の範囲で遊びを設けてもよい。ここで、遊びの大きさを５ｍｍ以上にすることで、ウエハＷに加工による直径の変化や直径のばらつきが生じても、ウエハＷをより確実に保持することができる。一方で、遊びの大きさを１０ｍｍ以下にすることで、保持容器１を縦置きにした場合や、ウエハＷが保持容器１の中で偏った場合にも、ウエハＷの保持状態への影響を少なくすることができる。なお、貫通穴状収容部４１の周縁の一部を削るようにスペーサ４に溝を設けた場合は、ウエハＷの大きさと貫通穴状収容部４１の大きさとの間で遊びが小さいときにも、保持容器１からウエハＷを容易に取り出すことができる。
【００５３】
スペーサ４の材質は、硬質材料からなることが好ましく、より具体的には、硬質塩化ビニル樹脂、硬質ポリプロピレン樹脂、ＰＥＴ樹脂、発泡ポリウレタン樹脂、又はアクリル樹脂等からなることが好ましい。これにより、上方向から荷重が掛かってもウエハＷの厚さに応じたスペースが確保されるため、荷重によるウエハＷへのダメージを軽減することができる。
【００５４】
なお、スペーサ４の外形形状は、例えば図１及び図２に示すような矩形形状にすることができるが、これに限定されるものではない。
【００５５】
［第１保持板及び第２保持板］
本実施形態の保持容器１は、スペーサ４の一方の面に当接する第１保持板３と、スペーサ４の他方の面に当接する第２保持板５と、を有する。これにより、ウエハＷの両面が対向する第１保持板３及び第２保持板５によって保持されるため、保持容器１でウエハＷを安定して保持することができる。また、保持容器１を略水平に設置した場合に、下側の保持板３又は５によってウエハＷが保持されつつ、ウエハＷ自体の反りやウエハＷのたわみにより浮き上がるウエハＷの外周が、上側の保持板３又は５によって押さえられるため、ウエハＷに生じるたわみを軽減することができる。
【００５６】
これらの保持板３及び５には、第１切欠き３１及び第２切欠き５１を設ける。すなわち、第１切欠き３１は、第１保持板３をウエハＷの下側に位置させたときにウエハＷを保持可能な形状を有するように設けられ、第２切欠き５１は、第２保持板５をウエハＷの下側に位置させたときにウエハＷを保持可能な形状を有するように設けられる。このとき、スペーサ４並びに保持板３及び５の積層方向から見た場合に、貫通穴状収容部４１の内側に第１切欠き３１の周縁の少なくとも一部が位置し、且つ貫通穴状収容部４１の内側に第２切欠き５１の周縁の少なくとも一部が位置する。これにより、ウエハＷと保持板３及び５との接触面積が小さくなり、ウエハＷと保持板３及び５との接触によって生じるウエハＷのキズや汚れが低減されるため、ウエハＷの清浄度を保ち、保持後の洗浄工程を軽減し又は削減することができる。
【００５７】
切欠き３１及び５１の形状は、ウエハＷとの接触面積を減少する形状であれば特に限定されない。例えば、図３（ａ）から（ｇ）のように直線で囲まれた形状であってもよく、図３（ｈ）から（ｊ）のような曲線で囲まれた形状であってもよく、図３（ｋ）のような直線及び曲線で囲まれた形状であってもよい。その中でも、貫通穴状収容部４１の周縁の形状が円形である場合には、図３（ａ）から（ｆ）に示すように、切欠き３１ａ１〜３１ａ６及び５１ａ１〜５１ａ６の形状が、中心が貫通穴状収容部４１の円形の中心と同軸となるような正多角形状であることがより好ましい。これにより、ウエハＷが保持板３ａ１〜３ａ６又は５ａ１〜５ａ６と接触する部分と、保持板３ａ１〜３ａ６及び５ａ１〜５ａ６と接触しない部分とが、貫通穴状収容部４１の円形の中心を軸としてラジアル方向について等間隔に設けられるため、ラジアル方向について均等な保持状態でウエハＷを保持することができる。その中でも特に、図３（ａ）から（ｅ）に示すように、第２切欠き５１ａ１〜５１ａ５が第１切欠き３１ａ１〜３１ａ５の中心を軸に
【数３】
［ｎは前記正多角形の角の数とする］
回転した形状を有することが最も好ましい。これにより、第１保持板３をウエハＷの下側に位置させたときにウエハＷを保持する第１保持部位Ｈ１、及び、第２保持板５をウエハＷの下側に位置させたときにウエハＷを保持する第２保持部位Ｈ２が、貫通穴状収容部４１と交互に隣接し易くなる。
【００５８】
このとき、第１保持板３をウエハＷの下側に位置させたときにウエハＷを保持する第１保持部位Ｈ１が４箇所以上形成され、第２保持板５をウエハＷの下側に位置させたときにウエハＷを保持する第２保持部位Ｈ２が４箇所以上形成されることが好ましい。これにより、ウエハＷが第１保持部位Ｈ１及び第２保持部位Ｈ２によって少なくとも４方向で保持されるため、ウエハＷに生じるたわみを小さくし、ウエハＷの表面と保持容器１との接触によるウエハＷの割れや傷を軽減することができる。
【００５９】
切欠き３１及び５１のウエハＷの面方向についての大きさは、保持板３及び５でウエハＷを保持することができる大きさであればよく、図３（ａ）から（ｅ）に示すように、第１切欠き３１ａ１〜３１ａ５及び第２切欠き５１ａ１〜５１ａ５の大きさが略同一であってもよく、第１切欠き３１及び第２切欠き５１の大きさが異なっていてもよい。なお、切欠き３１及び５１には、図１及び図２に示すような、保持板３及び５の外縁と重ならない形状も含まれる。ここで、保持板３及び５の外縁と重ならないように切欠き３１及び５１を設けた場合には、ウエハＷの面方向から切欠き３１及び５１を通じる空気の流通を抑制することができる。
【００６０】
保持板３及び５の材質は、各々同一であることが好ましく、具体的には衝撃を吸収する材料から形成することが好ましい。衝撃を吸収する材料としては、発泡ポリウレタン、ポリエチレンフォーム、低反発ウレタン等を挙げることができる。これらの衝撃を吸収する材料を用いることで、ウエハＷへの傷や割れを低減することができる。その一方で、ウエハＷ及び保持容器１を水に漬ける場合には、水によって衝撃が吸収されるため、硬質塩化ビニル樹脂、硬質ポリプロピレン樹脂、ＰＥＴ樹脂、又はアクリル樹脂等の硬質材料も用いることができる。
【００６１】
図２（ｂ）に示す保持板３及び５の厚さＴは、３ｍｍ以上とすることが好ましい。その理由を説明するため、保持板３又は５に見立てた硬質アクリル板上に厚さの異なる３枚のウエハＷａｆｅｒ１〜３を装填し（ウエハＷの厚さは、Ｗａｆｅｒ１＜Ｗａｆｅｒ２＜Ｗａｆｅｒ３である）、Ｗａｆｅｒ１〜３を各々４方向から保持した場合における、硬質アクリル板と接触する方向（保持方向）及び硬質アクリル板と接触していない方向（空き方向）についての、Ｗａｆｅｒ１〜３の中心からの距離とたわみの大きさの関係を図４（ａ）〜（ｃ）にそれぞれ示す。図４（ａ）〜（ｃ）より、Ｗａｆｅｒ１〜Ｗａｆｅｒ３はいずれも中央部がたわんでおり、最もたわみが大きいＷａｆｅｒ１の中央部におけるたわみの大きさは２００μｍ程度であった（図４（ａ）参照）。これに、硬質アクリル板の周辺（保持方向のＥｄｇｅ部分）における反りあがりを含めても、ウエハＷの面内におけるたわみの変化は最大２５０μｍであると見積もられる。さらに、発泡ＰＰや低反発ウレタン等の柔らかい材質を保持板３又は５に用いた場合の保持板３及び５の沈み込みや、ウエハＷの一方向が保持されなった場合におけるウエハＷの外周の垂れ下がりを勘案しても、保持板３及び５の厚さＴを３ｍｍ以上とすることにより、ウエハＷが切欠き３１及び５１を通じて保持容器１の外部に接触しないようにすることができる。
【００６２】
なお、本発明の各実施形態では、保持板３及び５並びにスペーサ４の外縁形状は、各々同じ形状で図示しているが、これに限定されず、貫通穴状収容部４１の内側に第１保持部位Ｈ１及び第２保持部位Ｈ２が形成されていればよい。
【００６３】
≪第１切欠き及び第２切欠きが貫通穴状収容部の外側で交差する保持容器≫
本発明の第二実施形態は、スペーサ４並びに保持板３ｂ及び５ｂの積層方向から見た場合に、保持板３ｂ及び５ｂに設けられた第１切欠き３１ｂ及び第２切欠き５１ｂが、貫通穴状収容部４１の外側で各々交差する保持容器１ｂである。図５は保持容器１ｂの一例を示す（ａ）正面図、及び（ｂ）Ｂ−Ｂ’面における断面図である。
【００６４】
［スペーサ］
本実施形態の保持容器１ｂは、ウエハＷを収容するための貫通穴状収容部４１を設けるスペーサ４を有する。このスペーサ４は、上記第一実施形態と同様のものを用いることができる。
【００６５】
［第１保持板及び第２保持板］
本実施形態の保持容器１ｂでは、図５に示すように、保持板３ｂ及び５ｂに設けられた第１切欠き３１ｂ及び第２切欠き５１ｂが、貫通穴状収容部４１の外側で各々交差する。このとき、ウエハＷは、第１保持部位Ｈ１及び第２保持部位Ｈ２によって互い違いに保持される。これにより、ウエハＷに外部から力が作用しても、保持板３ｂ及び／又は５ｂとウエハＷとが接触する方向（保持方向）でウエハＷが保持されるとともに、保持板３ｂ及び５ｂとウエハＷとが接触していない方向（空き方向）に力が逃げていくため、ウエハＷへのチッピングの発生を低減することができる。
【００６６】
≪第１切欠き及び第２切欠きが貫通穴状収容部の内側で交差する保持容器≫
本発明の第三実施形態は、スペーサ４並びに保持板３ｃ及び５ｃの積層方向から見た場合に、保持板３ｃ及び５ｃに設けられた第１切欠き３１ｃ及び第２切欠き５１ｃが、貫通穴状収容部４１の内側で各々交差する保持容器１ｃである。図６は保持容器１ｃの一例を示す（ａ）正面図及び（ｂ）Ｃ−Ｃ’面における断面図である。
【００６７】
［スペーサ］
本実施形態の保持容器１ｃは、ウエハＷを収容するための貫通穴状収容部４１を設けるスペーサ４を有する。このスペーサ４は、上記第一実施形態と同様のものを用いることができる。
【００６８】
［第１保持板及び第２保持板］
本実施形態の保持容器１ｃでは、図６に示すように、保持板３ｃ及び５ｃに設けられた第１切欠き３１ｃ及び第２切欠き５１ｃが、貫通穴状収容部４１の内側で各々交差する。このとき、貫通穴状収容部４１を間にして第１保持板３ｃ及び第２保持板５ｃが対向する、重なり部位Ｋが形成される。これにより、重なり部位Ｋが保持板３ｃ及び５ｃに上下から挟まれてウエハＷが厚さ方向に遊び難くなるため、特に小さい径のウエハＷを保持しても、ウエハＷを保持容器１ｃの中で動き難くすることができる。
【００６９】
≪隣接する保持部材の頂点が互いに接する保持容器≫
本発明の第四実施形態は、保持板３ｄ及び５ｄの少なくとも一方が複数の三角形をした保持部材３３ｄ及び５３ｄからなり、隣接する保持部材３３ｄ及び５３ｄの頂点が互いに接するようにした保持容器１ｄである。図７は保持容器１ｄの各部品の一例を示す斜視図であり、図８は保持容器１ｄの変形例である保持容器１ｄ１〜１ｄ３の第１切欠き３１ｄ１〜３１ｄ３及び第２切欠き５１ｄ１〜５１ｄ３を例示する正面図である。
【００７０】
［スペーサ］
本実施形態の保持容器１ｄは、ウエハＷを収容するための貫通穴状収容部４１を設けるスペーサ４を有する。このスペーサ４は、上記≪保持容器の基本形態≫と同様のものを用いることができる。
【００７１】
［第１保持板及び第２保持板］
本実施形態の保持容器１ｄでは、例えば図７に示すように、保持板３及び５の少なくとも一方を、複数の三角形をした保持部材３３ｄ及び５３ｄで形成し、隣接する保持部材３３ｄ及び５３ｄの頂点が互いに接するように保持部材３３ｄ及び５３ｄを設ける。これにより、保持板３ｄ及び５ｄを作製し易くすることができるとともに、切欠き３１ｄ及び５１ｄを通じた外気の流通を抑制し、保持容器１ｄの内部に形成された空間の密閉性を得易くすることができる。
【００７２】
このとき、保持板３ｄ及び５ｄに設ける切欠き３１ｄ及び５１ｄが、貫通穴状収容部４１の中心と同軸の中心を有する正多角形状をしており、保持部材３３ｄ及び５３ｄの三角形の角が、それぞれ
【数４】
［ｎは切欠き３１ｄ及び５１ｄを構成する正多角形の角の数とする］
であることが好ましい。これにより、保持板３ｄ及び５ｄが表裏反転した構造になるため、保持部材３３ｄ及び５３ｄを合同な三角形にして保持部材３３ｄ及び５３ｄの共通化を図ることができる。例えば、図８（ａ）のように、切欠き３１ｄ１及び５１ｄ１の外縁形状を正方形とする場合は、保持部材３３ｄ１及び５３ｄ１の三角形の内角をそれぞれ２２．５°、６７．５°、及び９０°とすることで、上記条件が満たされる。この他、保持板３ｄ及び５ｄ並びに切欠き３１ｄ及び５１ｄの外縁形状を正ｎ角形とする場合の、保持部材３３ｄ及び５３ｄの三角形の内角について、以下の表１に示す。
【表１】
【００７３】
なお、図８（ｂ）に示すように、保持板３ｄ２及び切欠き３１ｄ２の外縁形状、又は保持板５ｄ２及び切欠き５１ｄ２の外縁形状は、互いに異なった数の角を有する正多角形であってもよい。また、図８（ｃ）及び（ｄ）に示すように、一方の保持板（例えば保持板５ｄ３及び５ｄ４）を二等辺三角形状の保持部材（例えば保持部材５３ｄ３及び５３ｄ４）から構成するとともに、他方の保持板（例えば保持板３ｄ３及び３ｄ４）の外縁に沿うように切欠き（例えば切欠き３１ｄ３及び３１ｄ４）を設けてもよい。
【００７４】
≪コーナー板を有する保持容器≫
本発明の第五実施形態は、第１保持板３ｅ及び第２保持板５ｅの少なくとも一方を構成する保持部材３３ｅ及び５３ｅが接する部分にコーナー板５２を有する保持容器１ｅである。図９は保持容器１ｅの各部品の一例を示す斜視図を示す。
【００７５】
［スペーサ及び保持板］
本実施形態の保持容器１ｅは、上記第一実施形態と同様のスペーサ４を有し、上記第四実施形態と同様の第１保持板３ｅ及び第２保持板５ｅを有する。
【００７６】
［コーナー板］
本実施形態の保持容器１ｅでは、図９に示すように、保持部材３３ｅ及び５３ｅが接する部分にコーナー板３２及び５２が設けられる。これにより、強度的に弱い保持部材３３ｅ及び５３ｅの頂点が補強されるとともに、保持容器１ｅの内部に形成された空間の密閉性が高められるため、保持容器１ｅの内部への埃等の侵入を低減し、より清浄な状態でウエハＷを保持することができる。ここで、コーナー板３２及び５２の材料としては、例えば硬質塩化ビニル樹脂、硬質ポリプロピレン樹脂、ＰＥＴ樹脂、又はアクリル樹脂等の硬質材料を用いることができる。
【００７７】
≪隣接する保持部材の頂点が互いに離れる保持容器≫
本発明の第六実施形態の保持容器１ｆは、保持板３ｆ及び５ｆの少なくとも一方が複数の三角形をした保持部材３３ｆ及び５３ｆからなり、隣接する保持部材３３ｆ及び５３ｆの頂点が互いに離れるように構成される。図１０は保持容器１ｆの各部品の一例を示す斜視図を示す。
【００７８】
［スペーサ］
本実施形態の保持容器１ｆは、ウエハＷを収容するための貫通穴状収容部４１を設けるスペーサ４を有する。このスペーサ４は、上記≪保持容器の基本形態≫と同様のものを用いることができる。
【００７９】
［第１保持板及び第２保持板］
本実施形態の保持容器１ｆでは、例えば図１０に示すように、切欠き３１ｆ及び５１ｆを有する保持板３ｆ及び５ｆの少なくとも一方が、複数の三角形の保持部材３３ｆ及び５３ｆから構成されており、隣接する保持部材３３ｆ及び５３ｆの頂点が互いに離れている。これにより、保持板３ｆ及び５ｆのうちウエハＷを保持していない部分を省略することができ、保持容器１ｆをウエハＷの表面と平行な方向についてコンパクトにすることができる。
【００８０】
≪硬質板を有する保持容器≫
本発明の第七実施形態は、第１保持板３に当接する第１硬質板２と、第２保持板５に当接する第２硬質板６を有する保持容器１ｇである。図１１は保持容器１ｇの各部品の一例を示す斜視図を示す。
【００８１】
［スペーサ及び保持板］
本実施形態の保持容器１ｇは、上記第一実施形態と同様のスペーサ４を有し、上記第一実施形態から第六実施形態のいずれかと同様の第１保持板３及び第２保持板５を有する。
【００８２】
［第１硬質板及び第２硬質板］
本実施形態の保持容器１ｇは、第１保持板３のうちスペーサ４と反対側の面に当接する第１硬質板２と、第２保持板５のうちスペーサ４と反対側の面に当接する第２硬質板６とを有する。これにより、保持板３及び５が硬質板２及び６によって支持されるため、保持板３及び５の材質により衝撃を吸収し易い材質を用いることができる。また、特に第五実施形態又は第六実施形態のように、保持板３及び５の少なくとも一方が複数の保持部材３３及び５３から構成される場合には、保持部材３３及び５３の硬質板２及び６への積層が可能であるため、保持部材３３及び５３を取扱い易くすることができる。それとともに、保持板３及び５の切欠き３１及び５１を通じた外気の流通を抑制することができる。ここで、硬質板２及び６を保持板３及び５に積層する方法は、特に限定するものではないが、例えば第一保持板３及び第一硬質板２の一方に凸部を設け、第一保持板３及び第一硬質板２の他方に及び凹部を設け、これらを嵌合して積層してもよい。これらを嵌合して積層することで、保持板３及び５と硬質板２及び６との間が横方向に動き難くなるため、硬質板２及び６が設けられたと保持容器１ｇを一体的に取扱うことができる。また、第１硬質板２の上に第１保持板３を積層し、その上にさらにスペーサ４を積層して下盤を形成し、スペーサ４の内径にウエハＷを装填し、第２硬質板６の上に第２保持板５を積層した蓋をスペーサ４の上に被せて保持容器１ｇを作製してもよい。
【００８３】
硬質板２及び６の形状は、各々同一の形状であることが好ましく、保持板３及び５、並びにスペーサ４と同一の形状であることがより好ましい。また、硬質板２及び６の材料も各々同一の材料であることが好ましく、硬質板２及び６の材料の具体例としては、硬質塩化ビニル樹脂、硬質ポリプロピレン樹脂、ＰＥＴ樹脂、又はアクリル樹脂等の硬質材料を用いることができる。硬質板２及び６に硬質材料を用いることで、保持容器１ｇの全体の形状を保持し易くすることができる。
【００８４】
硬質板２及び６の厚さは、硬質板２及び６がある程度の強度を持ち、且つ硬質板２及び６がたわまない程度であればよく、具体的には３ｍｍ以上であることが好ましい。
【００８５】
≪外枠を有する保持容器≫
本発明の第八実施形態は、第１保持板３及び第２保持板５の側面に硬質材料からなる外枠８を設けて、切欠き３１及び５１を通じた外気の流通を抑制する保持容器１ｈである。図１２は保持容器１ｈの一例の斜視図を示す。
【００８６】
［スペーサ及び保持板］
本実施形態の保持容器１ｈは、上記第一実施形態と同様のスペーサ４を有し、上記第一実施形態から第六実施形態のいずれかと同様の第１保持板３及び第２保持板５を有する。
【００８７】
［外枠］
本実施形態の保持容器１ｈは、例えば図１２に示すように、保持板３及び５の外縁に沿って外枠８を有する。これにより、外枠８の内側にあるスペーサ４の貫通穴状収容部４１がウエハＷの面方向について密閉され、ウエハＷを保持する際のウエハＷの面方向からの埃等の侵入が低減されるため、ウエハＷをより清浄な状態で保持することができる。外枠８の材料としては、硬質塩化ビニル樹脂、硬質ポリプロピレン樹脂、ＰＥＴ樹脂、又はアクリル樹脂等の硬質材料を用いることができる。
【００８８】
≪複数の繰返し単位を有する保持容器ユニット≫
本発明の第九実施形態から第十三実施形態は、保持容器が複数重畳されてなる保持容器ユニットに関する実施形態である。このうち、第九実施形態は、第１保持板３及び第２保持板５、並びに、第１硬質板２及び第２硬質板６からなる繰返し単位１１ｉを複数有する保持容器ユニット１２ｉである。図１３は保持容器ユニット１２ｉを構成する各繰返し単位１１ｉの一例を示す斜視図を示す。
【００８９】
［スペーサ、保持板及び硬質板］
本実施形態の保持容器ユニット１２ｉは、上記第一実施形態と同様のスペーサ４を有し、上記第一実施形態から第六実施形態のいずれかと同様の第１保持板３及び第２保持板５を有し、上記第七実施形態の第１硬質板２及び第２硬質板６を有する。
【００９０】
この保持容器ユニット１２ｉでは、スペーサ４、第１保持板３、第１硬質板２、第２硬質板６、及び第２保持板５が順に積層された繰返し単位１１ｉを複数有する。これにより、隣接する繰返し単位１１ｉにおけるそれぞれの第１硬質板２及び第２硬質板６に挟まれて保持容器が形成されるため、複数のウエハＷをバッチ単位で取り扱うことができる。このとき、保持容器ユニット１２ｉを構成する繰返し単位１１ｉは、図１３に示すように、第１硬質板２に第１保持板３及びスペーサ４を順に積層して下盤１１１を構成するとともに、第２硬質板６の他方の面に第２保持板５が積層して蓋１１２を構成することがより好ましい。これにより、繰返し単位１１ｉを構成する各部材を取り扱い易くすることができる。
【００９１】
≪複数の繰返し単位を有する保持容器ユニット≫
本発明の第十実施形態は、第１保持板３及び第２保持板５、並びに、第１硬質板２からなる繰返し単位１１ｊを複数有する保持容器ユニット１２ｊである。図１４は保持容器ユニット１２ｊを構成する各繰返し単位１１ｊの一例を示す断面図を示す。
【００９２】
［スペーサ、保持板及び硬質板］
本実施形態の保持容器ユニット１２ｊは、上記第一実施形態と同様のスペーサ４を有し、上記第一実施形態から第六実施形態のいずれかと同様の第１保持板３及び第２保持板５を有し、上記第七実施形態の第１硬質板２を有する。
【００９３】
この保持容器ユニット１２ｊでは、スペーサ４、第１保持板３、第１硬質板２、及び第２保持板５が順に積層された繰返し単位１１ｊを複数有する。これにより、隣接する繰返し単位１１ｊにおけるそれぞれの第１硬質板２に挟まれて保持容器が形成されるとともに、第２硬質板が省略されるため、保持容器ユニット１２ｊをウエハＷの厚さ方向についてコンパクトにすることができる。このとき、保持容器ユニット１２ｊを構成する繰返し単位１１ｊは、図１４に示すように、第１硬質板２の一方の面に第１保持板３及びスペーサ４が積層され、第１硬質板２の他方の面に第２保持板５が積層されることが好ましい。これにより、繰返し単位１１ｊごとの取扱いをより容易にすることができる。
【００９４】
≪貫通穴が設けられた保持容器ユニット≫
本発明の第十一実施形態は、第１硬質板２、第１保持板３、スペーサ４、及び第２保持板５の互いに対応する位置に貫通穴１３を設ける保持容器ユニット１２ｋである。図１５は保持容器ユニット１２ｋを構成する各繰返し単位１１の一例を示す斜視図を示す。
【００９５】
［スペーサ、保持板及び硬質板］
本実施形態の保持容器ユニット１２ｋは、上記第一実施形態のスペーサ４、上記第一実施形態から第六実施形態のいずれかの形態の第１保持板３及び第２保持板５、並びに上記第八実施形態の第１硬質板２が設けられた、上記第九実施形態又は第十実施形態のいずれかの形態の繰返し単位１１を有する。
【００９６】
この保持容器ユニット１２ｋでは、第１硬質板２、保持板３及び５、並びにスペーサ４のうちウエハＷと干渉しない位置、より好ましくは第１硬質板２、保持板３及び５、並びにスペーサ４の互いに対応する位置に、各々貫通穴１３を設ける。これにより、以下に述べる連結支持棒７又は回動軸９を貫通穴１３に挿入することができる。但し、本発明における貫通穴１３は、穴の形態に限定されるものではなく、連結支持棒７又は回動軸９が連通する位置に設けた切欠き等も含むものとする。
【００９７】
≪連結支持棒が設けられた保持容器ユニット≫
本発明の第十二実施形態は、第１硬質板２、第１保持板３、スペーサ４、及び第２保持板５に設けた貫通穴１３に連結支持棒７を設ける保持容器ユニット１２ｌである。図１６は保持容器ユニット１２ｌの各部品の一例を示す斜視図を示す。図１７は連結支持棒７を有する保持容器ユニット１２ｌの一例を示す（ａ）斜視図及び（ｂ）断面図を示す。
【００９８】
［スペーサ、保持板及び硬質板］
本実施形態の保持容器ユニット１２ｌは、上記第一実施形態のスペーサ４、上記第一実施形態から第六実施形態のいずれかの形態の第１保持板３及び第２保持板５、並びに上記第八実施形態の第１硬質板２が設けられた、上記第九実施形態又は第十実施形態のいずれかの形態の繰返し単位１１を有する。ここで、第１硬質板２、保持板３及び５、並びにスペーサ４には、第十一実施形態の貫通穴１３を各々設ける。
【００９９】
［連結支持棒］
この貫通穴１３には、図１６（ａ）及び（ｂ）に示すように、連結支持棒７を挿入して、複数の繰返し単位１１を連通する。これにより、繰返し単位１１を構成する保持板３及び５並びに第１硬質板２が、ウエハＷの表面と平行な方向に動き難くなるため、ウエハＷへの傷の発生を低減し、保持容器ユニット１２ｌを取扱い易くすることができる。ここで、連結支持棒７の直径は、保持容器ユニット１２ｌをバッチ単位で扱う際の荷重に耐えられる大きさが必要であり、例えば直径２５ｍｍ以上であることが好ましい。
【０１００】
≪回動軸が設けられた保持容器ユニット≫
本発明の第十三実施形態は、第１硬質板２、第１保持板３、スペーサ４、及び第２保持板５に設けた貫通穴１３に連結支持棒７を設ける保持容器ユニット１２ｍである。図１８は回動軸９を有する保持容器ユニット１２ｍの一例を示す（ａ）斜視図及び（ｂ）断面図を示す。
【０１０１】
［スペーサ、保持板及び硬質板］
本実施形態の保持容器ユニット１２ｍは、上記第一実施形態のスペーサ４、上記第一実施形態から第六実施形態のいずれかの形態の第１保持板３及び第２保持板５、並びに上記第八実施形態の第１硬質板２が設けられた、上記第九実施形態又は第十実施形態のいずれかの形態の繰返し単位１１を有する。ここで、第１硬質板２、保持板３及び５、並びにスペーサ４には、第十一実施形態の貫通穴１３を各々設ける。
【０１０２】
［回動軸］
この貫通穴１３には、図１８（ａ）及び（ｂ）に示すように、回動軸９を挿入する。これにより、回動軸９を中心に繰返し単位１１の一部又は全部が水平方向に回動可能になるため、保持容器ユニット１２ｍの各スペーサ４にウエハＷを装填し易くし、各スペーサ４からウエハＷを取出し易くすることができる。このとき、スペーサ４の上側の面及び第２保持板５の下側の面の互いに対応する位置に、ピンやリング等により浅い凹凸を設けることで、回動した繰返し単位１１と他の繰返し単位１１とを容易に重ね合わせることができる。ここで、回動軸９の直径は、繰返し単位１１を回動してウエハＷを取り出す際の荷重に耐えられる大きさが必要であり、例えば直径２５ｍｍ以上であることが好ましい。
【実施例】
【０１０３】
以下、実施例及び比較例を挙げ、本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれらに何ら制限されるものではない。
【０１０４】
［実施例１］
本実施例では、ウエハを収容する貫通穴状収容部を設ける矩形のスペーサを有する保持容器を作製した。
【０１０５】
一辺５５０ｍｍの正方形の形状を有する、厚さ２ｍｍのアクリル樹脂からなる第１硬質板を形成した。この第１硬質板の一方の側に、縦３８５ｍｍ、横１６５ｍｍの直角三角形状をしたアクリル樹脂からなる保持部材を、スペーサの四隅に沿って４枚積層し、正方形状の第１切欠きを有する正方形の形状をした第１保持板を形成した。この保持部材の直角三角形の一方の角は２２．５°であり、他方の角は６７．５°である。ここで、第１保持板を構成する４個の保持部材が接する部分には、アクリル樹脂からなる、縦５０ｍｍ、横５０ｍｍの三角形状をした厚さ２ｍｍのコーナー板を嵌め込んだ。そして、この第１保持板が露出する面に、中央に直径４５０ｍｍの円形の周縁を有する貫通穴状収容部が設けられた、一辺が５５０ｍｍの正方形の形状をした厚さ１．２ｍｍのアクリル樹脂からなるスペーサを積層し、下盤を形成した。
【０１０６】
また、一辺５５０ｍｍの正方形の形状を有する、厚さ２ｍｍのアクリル樹脂からなる第２硬質板の一方の側に、縦３８５ｍｍ、横１６５ｍｍの直角三角形状をした保持部材を、スペーサの四隅に沿って４枚積層し、正方形状の第２切欠きを有する正方形の形状をした第２保持板を形成した。ここで、第２保持板は、スペーサ及び保持板の積層方向から見た場合に、互いに交差するように第２硬質板上に配置した。そして、第２保持板を構成する４個の保持部材が接する部分には、第１保持板側と同様にコーナー板を嵌め込み、蓋を形成した。
【０１０７】
本実施例では、硬質板及びスペーサの四隅の角と、保持板を構成する直角三角形の直角な角には、それらの角から縦方向に５０ｍｍ、横方向に５０ｍｍ内側に入ったところを中心にして、直径２５ｍｍの円形の貫通穴を形成した。
【０１０８】
そして、下盤のスペーサに直径４５０ｍｍのウエハを嵌め込み、その上に蓋をかぶせてウエハを保持するとともに、四隅にあけられた穴に直径２５ｍｍの連結支持棒を連通し、複数の保持容器を有する保持容器ユニットを作製した。
【０１０９】
その結果、第１切欠き及び第２切欠きは、その正方形状の四辺が貫通穴状収容部の外側で互いに交差しており、第２切欠きは第１切欠きについて貫通穴状収容部の中心を軸に４５°回転した形状となった。この保持容器ユニットで保持したウエハは、保持容器の中で動きにくく、ウエハを保持したときにたわみにくく、且つウエハに傷が入りにくいものになった。
【０１１０】
［実施例２］
スペーサ及び硬質板の外形の一辺の長さを４００ｍｍとするとともに、スペーサの貫通穴状収容部の周縁の形状を直径３００ｍｍの円形とし、保持板を形成する直角三角形状の保持部材を縦３８５ｍｍ、横１６５ｍｍとして、実施例１と同様に、スペーサ、第１保持板、及び第１硬質板から下盤を構成し、第２保持板及び第２硬質板から蓋を構成して保持容器を作製した。ここで、硬質板及びスペーサの四隅の角と、保持部材の直角な角とで、互いに対応する位置に、直径２５ｍｍの円形の貫通穴を形成した。
【０１１１】
そして、保持容器の下盤のスペーサに直径３００ｍｍのウエハを嵌め込み、その上に蓋をかぶせてウエハを保持するとともに、四隅にあけられた穴に直径２５ｍｍの連結支持棒を連通し、複数の保持容器を有する保持容器ユニットを作製した。
【０１１２】
その結果、実施例１と同様に、保持したウエハが保持容器の中で動きにくく、ウエハを保持したときにたわみにくく、且つウエハに傷が入りにくいような保持容器及び保持容器ユニットを作製することができた。
【図面の簡単な説明】
【０１１３】
【図１】第一実施形態における保持容器の各部品の一例を示す斜視図を示す。
【図２】第一実施形態における保持容器の一例を示す（ａ）正面図、及び（ｂ）Ａ−Ａ’面で切断した断面図を示す。
【図３】第一実施形態における保持容器の変形例の第１切欠き及び第２切欠きを例示する正面図を示す。
【図４】ウエハ厚さとウエハ中心の下方向へのたわみ量の測定値との関係を示す。
【図５】第二実施形態における保持容器の一例を示す（ａ）正面図、及び（ｂ）Ｂ−Ｂ’面で切断した断面図を示す。
【図６】第三実施形態における保持容器の一例を示す（ａ）正面図、及び（ｂ）Ｃ−Ｃ’面で切断した断面図を示す。
【図７】第四実施形態における保持容器の各部品の一例を示す斜視図を示す。
【図８】第四実施形態における保持容器の変形例の第１切欠き及び第２切欠きを例示する正面図を示す。
【図９】第五実施形態における保持容器の各部品の一例を示す斜視図を示す。
【図１０】第六実施形態における保持容器の各部品の一例を示す斜視図を示す。
【図１１】第七実施形態における保持容器の各部品の一例を示す斜視図を示す。
【図１２】第八実施形態における保持容器の一例を示す斜視図を示す。
【図１３】第九実施形態における保持容器ユニットを構成する各繰返し単位の一例を示す斜視図を示す。
【図１４】第十実施形態における保持容器ユニットを構成する各繰返し単位の一例を示す（ａ）斜視図及び（ｂ）断面図を示す。
【図１５】第十一実施形態における保持容器ユニットを構成する各繰返し単位の一例を示す斜視図を示す。
【図１６】第十二実施形態における保持容器ユニットの各部品の一例を示す斜視図を示す。
【図１７】第十二実施形態における保持容器ユニットの一例を示す（ａ）斜視図及び（ｂ）断面図を示す。
【図１８】第十三実施形態における保持容器ユニットの一例を示す（ａ）斜視図及び（ｂ）断面図を示す。
【符号の説明】
【０１１４】
１ 保持容器
２ 第１硬質板
３ 第１保持板
３１ 第１切欠き
３２ コーナー板
４ スペーサ
４１ 貫通穴状収容部
５ 第２保持板
５１ 第２切欠き
５２ コーナー板
６ 第２硬質板
７ 連結支持棒
８ 外枠
９ 回動軸
１１ 繰返し単位
１２ 保持容器ユニット
Ｈ１、Ｈ２ 保持部位
Ｔ 厚さ
Ｋ 重なり部位
Ｗ ウエハ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハを保持するための保持容器及び保持容器ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエハはシリコン等の単結晶を薄くスライスして製造されるものであるが、脆性が高い上に汚染による物性への影響が大きいため、各種処理工程や輸送中において、その破損や汚染を防止するために最大限の努力が払われなければならない。
【０００３】
特に近年では、１２インチ（３００ｍｍ）の最大径をもつウエハが実用化される等、電子デバイスに用いられるウエハの大型化及び薄型化は進行しており、これらウエハの保持及び搬送にも一層の工夫が求められている。こうした大型のウエハを搬送し、保管し、又は処理するために保持する保持容器としては、例えば以下の特許文献１及び２で開示されたものが知られている。
【０００４】
特許文献１には、薄板を個別に保持する一側固定保持部と、一側固定保持部と互いに嵌合することで外部環境と隔離して収納空間に薄板を保持する他側固定保持部と、を備えた処理トレイを複数枚積層した薄板保持容器が開示されている。この薄板保持容器によれば、薄板の枚数に応じて処理トレイの枚数を任意に設定することができるとともに、積層された処理トレイを任意の位置で分離することにより、任意の位置で薄板を出し入れすることができる。
【０００５】
特許文献２には、外部機械装置側に嵌合するためのベーストレイと、各ベーストレイの間に挿入されて薄板を収納するための載置トレイと、各載置トレイの間やベーストレイと載置トレイとの間を結合し又は結合解除する結合・解除手段とを備え、載置トレイの側面の対向する２箇所の位置に、外部機械装置側の処理アームが嵌合して把持する把持部が形成されている薄板保持容器が開示されている。この薄板保持容器によれば、処理アームが載置トレイの把持部に嵌合して把持することで、把持部の２つの傾斜面によって載置トレイの上下方向の位置決めがなされるため、薄板を正確に位置決めすることができ、薄板の受け渡しを容易に行い、吸着位置のずれ等による薄板の破損を防止することができる。
【特許文献１】特開２００７−１０３４５４号公報
【特許文献２】特開２００７−１５３３９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１及び２の保持容器では、保持容器を鋳型によって成型する必要があり、その作製工程が複雑になる問題点があった。また、ウエハは収納空間内に留められるものの、収納空間内ではウエハに遊びが生じるため、薄板保持容器の取扱いによってウエハが保持容器の中で動き易く、保持容器に衝撃が与えられるとウエハに傷が入り、又はウエハに割れが生じる問題点があった。
【０００７】
さらに、近年のウエハの大型化の進行により、ウエハの取扱いはより困難なものになっており、大型のウエハでは保持した際のたわみの量が格段に大きくなるため、こうしたたわみをも考慮した保持容器をも求められていた。
【０００８】
本発明は上記問題点に鑑みてなされてものであって、その目的とするところは、鋳型を用いた成型を必要とせず作製が容易であり、ウエハが保持容器の中で動きにくく、ウエハを保持したときにたわみにくく、且つウエハに傷が入りにくいような保持容器及び保持容器ユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、ウエハを保持することのできる保持容器につき種々の検討を行った。その中で、ウエハを収容するスペーサの両側の面に、切欠きを有する保持板を積層することにより、ウエハが保持容器の中で動きにくく、ウエハを保持したときにたわみにくく、且つウエハに傷が入りにくくなることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１０】
（１） 内部にウエハを収容する略円形の貫通穴状収容部を有するスペーサと、前記スペーサの一方の面に当接し且つ第１切欠きを有する第１保持板と、前記スペーサの他方の面に当接し且つ第２切欠きを有する第２保持板と、からなり、前記第１切欠きは、前記第１保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持可能な形状を有し、前記第２切欠きは、前記第２保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持可能な形状を有することを特徴とする保持容器。
【００１１】
（１）の発明によれば、ウエハをスペーサの貫通穴状収容部に収容するとともに、ウエハの両面を第１保持板及び第２保持板で保持することにより、スペーサによってウエハの面方向への移動を抑えるとともに、第１保持板及び第２保持板の一方に押さえ役目を持たせ、他方に保持の役目を持たせることができるため、ウエハを保持容器の中で動きにくくすることができる。
【００１２】
また、（１）の発明によれば、第１保持板及び第２保持板に第１切欠き及び第２切欠きをそれぞれ設けることにより、ウエハの表面と保持容器との接触が低減されるため、ウエハの表面に傷が入りにくくすることができる。
【００１３】
さらに、（１）の発明によれば、ウエハを保持する第１保持板及び第２保持板に第１切欠き及び第２切欠きを設けることにより、ウエハと保持板との接触面積を減らすことができ、ウエハと保持板との接触によって生じるウエハのキズや汚れを減らすことができるため、ウエハの清浄度を保ち、保持後の洗浄工程を軽減し又は削減することができる。
【００１４】
ここで、本発明の保持容器は、板状材をカットして切欠きを設けることで保持容器の各構成部材を作製し、これら構成部材を積層することで保持容器を作製することができる。これにより、鋳型による成型によらなくとも保持容器を容易に作製することができる。
【００１５】
なお、本発明における「切欠き」は、第１保持板及び第２保持板を外縁から切欠いた形状を有するものに限定されず、第１保持板及び第２保持板の外縁と重ならない形状を有するものであってもよく、例えば貫通穴及び有底穴も切欠きに含まれる。
【００１６】
（２） 前記第１保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持する第１保持部位が４箇所以上形成され、前記第２保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持する第２保持部位が４箇所以上形成されることを特徴とする（１）記載の保持容器。
【００１７】
（２）の発明によれば、第１保持部位及び第２保持部位を各々４箇所以上に設けることで、少なくとも４方向からウエハが保持される。そのため、ウエハに生じるたわみをより小さくすることができ、ウエハの表面と保持容器との接触によるウエハの割れや傷を軽減することができる。
【００１８】
ここで、第１保持部位及び第２保持部位は、貫通穴状収容部の周縁に沿って交互に形成することができる。これにより、ウエハが第１保持部位及び第２保持部位によって互い違いに保持される。ウエハに外部から力が作用した場合に、保持板と接触する方向（保持方向）でウエハが保持されつつ、保持板と接触していない方向（空き方向）に力が逃げていく。そのため、ウエハへのチッピングの発生を低減することができる。
【００１９】
また、第１切欠き及び第２切欠きがウエハを間にして対向する重なり部位を有する保持容器とすることもできる。これにより、重なり部位が第１保持板及び第２保持板に上下から挟まれるため、ウエハが厚さ方向に遊ばないようにすることができ、特に小さい径のウエハを保持した場合にも、ウエハを保持容器の中で動きにくくすることができる。
【００２０】
また、スペーサに設けられる貫通穴状収容部の周縁の形状が円形である場合には、第１切欠き及び第２切欠きが、中心が貫通穴状収容部の中心と同軸となるような正多角形状である保持容器とすることもできる。これにより、ウエハが保持板と接触する部分と、保持板と接触していない部分とが、貫通穴状収容部の中心を軸としてラジアル方向について等間隔に設けられるため、ラジアル方向について均等な保持状態でウエハを保持することができる。
【００２１】
さらに、第１切欠き及び第２切欠きが、中心が貫通穴状収容部の中心と同軸となるような正多角形状である場合、第２切欠きが、第１切欠きの中心を軸に
【数１】
［ｎは正多角形の角の数とする］
回転させた形状を有する保持容器とすることもできる。これにより、第１保持部位及び第２保持部位が貫通穴状収容部に交互に隣接し易くなるため、ウエハへのチッピングの発生を低減することができる。
【００２２】
（３） 前記貫通穴状収容部の内部への外気の流通を抑制する構造をさらに備えることを特徴とする（１）又は（２）記載の保持容器。
【００２３】
（３）の発明によれば、貫通穴状収容部の内部への外気の流通を抑制する構造にすることにより、ウエハを保持している際に埃等が侵入し難くなるため、ウエハを清浄な状態で保持することができる。
【００２４】
ここで、ウエハの面方向から貫通穴状収容部の内部に流通する外気を抑制する構造としては、保持板の外周と重ならないように切欠きが設けられた構造、保持板を構成する保持部材の頂点が互いに接する構造、及び、保持板及びスペーサの外周に沿って外枠が設けられた構造を挙げることができる。一方、ウエハの厚さ方向から貫通穴状収容部の内部に流通する外気の流通を抑制する構造としては、保持板のうちスペーサと反対側の面に、例えば硬質材料からなる板状部材が設けられた構造を挙げることができる。
【００２５】
より具体的には、第１保持板及び第２保持板の少なくとも一方が複数の三角形をした保持部材からなり、隣接する保持部材の頂点が互いに接する保持容器とすることができる。これにより、隣接する保持部材の間に間隙が生じ難くなるため、ウエハの面方向から貫通穴状収容部の内部に流通する外気を抑制し、ウエハを清浄な状態で保持することができる。
【００２６】
さらに、隣接する保持部材の頂点が互いに接する場合、第１切欠き及び第２切欠きの正多角形状の中心が貫通穴状収容部の中心と同軸であり、保持部材の三角形の角が、それぞれ
【数２】
［ｎは前記正多角形の角の数とする］
である保持容器とすることができる。これにより、保持板が各々表裏反転した構造になるため、保持部材を合同な三角形にして保持部材の共通化を図ることができる。
【００２７】
また、この保持部材の頂点が接する部分に、硬質材料からなるコーナー板を有する保持容器とすることもできる。これにより、強度的に弱い保持部材の頂点がコーナー板によって補強される。そのため、保持容器を長く用いたとしても、保持容器の内部に形成された空間の密閉性を維持することができ、ウエハを清浄な状態で保持することができる。
【００２８】
また、第１保持板及び第２保持板の外縁に沿って、外枠を有する保持容器とすることもできる。これにより、外枠の内側にあるスペーサの貫通穴状収容部がウエハの面方向について覆われるため、ウエハの面方向から貫通穴状収容部の内部に流通する外気を抑制し、ウエハを清浄な状態で保持することができる。
【００２９】
また、第１保持板のうちスペーサと反対側の面に当接する第１硬質板と、第２保持板のうちスペーサと反対側の面に当接する第２硬質板とを有する保持容器とすることもできる。これにより、切欠きがウエハの厚さ方向について硬質板で覆われるとともに、保持板が硬質板によって支持される。そのため、ウエハの厚さ方向から切欠きを通じた外気の流通を抑制することができるとともに、保持板の材質としてより衝撃を吸収し易い材質を用いることができる。
【００３０】
なお、第１保持板及び第２保持板の少なくとも一方が三角形状をした複数の保持部材からなり、保持部材が互いに離れている保持容器とすることもできる。これにより、保持板のうちウエハを保持していない部分が省略されるため、保持容器をウエハの表面と平行な方向についてコンパクトな構造にすることができる。
【００３１】
（４） 前記第１保持板及び前記第２保持板の厚さが３ｍｍ以上であることを特徴とする（１）から（３）のいずれか記載の保持容器。
【００３２】
（４）の発明によれば、第１保持板及び第２保持板の厚さを３ｍｍ以上とすることにより、ウエハの中心部がたわんだ場合、ウエハを偏って保持した場合、及びウエハが保持板に沈み込んだ場合に、ウエハの表面が保持板の切欠きを超えて他のウエハや部材に接触することを低減することができる。
【００３３】
（５） 前記スペーサの厚さから前記ウエハの厚さを引いた値が３００μｍ以下であることを特徴とする（１）から（４）のいずれか記載の保持容器。
【００３４】
（５）の発明によれば、スペーサの厚さからウエハの厚さを引いた値を３００μｍ以下とすることにより、水平にしたウエハをウエハの下側にある保持板で保持した場合に、ウエハ自体の反りやウエハを保持した際のたわみによって浮き上がるウエハの外周が、ウエハの上側にある保持板によって押さえられるため、ウエハの中心部に生じるたわみを軽減することができる。
【００３５】
（６） 前記スペーサが硬質材料からなることを特徴とする（１）から（５）のいずれか記載の保持容器。
【００３６】
（６）の発明によれば、スペーサを硬質材料から形成することにより、第１保持板及び第２保持板の間にウエハの厚さに応じたスペースを確実に持たせることができるため、ウエハに上部から重さが掛かることによるウエハへのダメージが及ばないようにすることができる。
【００３７】
（７） （１）から（６）のいずれか記載の保持容器が複数重畳されてなる保持容器ユニットであって、前記スペーサ、前記第２保持板、第１硬質板、及び前記第１保持板が順に積層された繰返し単位を繰返し積層することにより、隣接する前記繰返し単位におけるそれぞれの前記第１硬質板に挟まれて前記保持容器が形成されることを特徴とする保持容器ユニット。
【００３８】
（７）の発明によれば、上記繰返し単位を複数有することにより、一つの保持容器ユニットにウエハを保持するスペーサが複数設けられるため、ウエハを一つの保持容器ユニットにバッチ単位で収容することができ、保持容器ユニットをウエハの厚さ方向についてコンパクトにすることができる。
【００３９】
（８） 前記第１硬質板、前記第１保持板、前記スペーサ、及び前記第２保持板の互いに対応する位置に貫通穴を設けることを特徴とする（７）記載の保持容器ユニット。
【００４０】
（８）の発明によれば、保持容器ユニットのうち互いに対応する位置に貫通穴を設けることにより、貫通穴に連結支持棒や回動軸が挿入できるため、保持容器ユニットをより取扱い易くすることができる。
【００４１】
このとき、貫通穴に連結支持棒を挿入することにより、保持板がウエハからずれ難くなるため、ウエハへの傷の発生を低減することができる。
【００４２】
また、貫通穴に回動軸を挿入することにより、回動軸を中心に硬質板、保持板、及びスペーサからなる繰返し単位が水平方向に回動可能になるため、保持容器ユニットの各スペーサへのウエハの装填及び取出しを容易にすることができる。
【発明の効果】
【００４３】
本発明によれば、ウエハを収容するスペーサの両側の面に、切欠きの設けられた保持板を有する保持容器により、ウエハが保持容器の中で動きにくく、ウエハを保持したときにたわみにくく、ウエハに傷が入りにくく、且つ保持後の洗浄工程を軽減し又は削減することのできる保持容器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
以下、本発明について具体的に説明する。
【００４５】
本発明の保持容器は、内部にウエハを収容する略円形の貫通穴状収容部を有するスペーサと、前記スペーサの一方の面に当接し且つ第１切欠きを有する第１保持板と、前記スペーサの他方の面に当接し且つ第２切欠きを有する第２保持板と、からなり、前記第１切欠きは、前記第１保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持可能な形状を有し、前記第２切欠きは、前記第２保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持可能な形状を有することを特徴とする。
【００４６】
［用語の定義］
本発明における「多角形状」及び「正多角形状」とは、単に多角形及び正多角形の形状に限られず、各辺をそれぞれ延長したときに多角形及び正多角形となるような形状も含むものである。
【００４７】
また、本発明における「切欠き」とは、第１保持板及び第２保持板を外縁から切欠いた形状を有するものに限られず、第１保持板及び第２保持板の外縁と重ならない形状を有するものであってもよく、例えば貫通穴及び有底穴も含むものである。
【００４８】
以下、必要に応じて図１〜図１８を参照しながら、本発明の保持容器の実施形態について詳細に説明するが、本発明は、以下の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の目的の範囲内において、適宜変更を加えて実施することができる。尚、説明が重複する箇所については、適宜説明を省略する場合があるが、発明の趣旨を限定するものではない。
【００４９】
≪保持容器の基本形態≫
本発明の第一実施形態は、スペーサ４と、第１切欠き３１を有する第１保持板３と、第２切欠き５１を有する第２保持板５と、を備える保持容器１である。図１は保持容器１の各部品の一例を示す斜視図であり、図２は保持容器１の一例を示す（ａ）正面図、及び（ｂ）Ａ−Ａ’面で切断した断面図であり、図３は保持容器１の変形例である保持容器１ａ１〜１ａ１１の第１切欠き３１ａ１〜３１ａ１１及び第２切欠き５１ａ１〜５１ａ１１を例示する正面図である。
【００５０】
［スペーサ］
本実施形態の保持容器１は、内部にウエハＷを収容する略円形の貫通穴状収容部４１を設けたスペーサ４を有する。
【００５１】
ここで、スペーサ４の厚さは、ウエハＷの板厚よりも厚くなるようにする。より具体的には、スペーサ４の厚さは、ウエハＷの板厚より２００μｍ以上厚いことが好ましい。保持容器１ａで保持するウエハＷには、１００μｍ未満の範囲で歪みが生じていることがあり、さらにウエハＷを保持する際に外周が１００μｍ以下の範囲で盛り上がることがあるが、これにより、ウエハＷに歪み及び／又は盛り上がりが生じても、ウエハＷへの傷を低減することができる。また、スペーサ４の厚さは、ウエハＷの板厚よりも３００μｍ以下厚いこと、換言すれば、スペーサ４の厚さからウエハＷの厚さを引いた値が３００μｍ以下であることが好ましい。これにより、水平にしたウエハＷを保持した場合に、ウエハＷ自体の反りやウエハＷを保持した際のたわみによって浮き上がるウエハＷの外周が、ウエハＷの上側にある保持板（図１の第２保持板５）によって押さえられるため、ウエハＷの中心部に生じるたわみを軽減することができる。また、スペーサ４の厚さを上記範囲内にすることで、ウエハＷに対する加工の前後を通して、共通の保持容器１を用いることができる。
【００５２】
スペーサ４に形成する貫通穴状収容部４１の周縁の形状は、ウエハＷの形状と略同一の形状にすることができ、より具体的には略円形にすることができる。また、スペーサ４に形成する貫通穴状収容部４１のウエハＷの面方向についての大きさは、ウエハＷの直径と等しいことが好ましいが、５ｍｍ以上１０ｍｍ以下の範囲で遊びを設けてもよい。ここで、遊びの大きさを５ｍｍ以上にすることで、ウエハＷに加工による直径の変化や直径のばらつきが生じても、ウエハＷをより確実に保持することができる。一方で、遊びの大きさを１０ｍｍ以下にすることで、保持容器１を縦置きにした場合や、ウエハＷが保持容器１の中で偏った場合にも、ウエハＷの保持状態への影響を少なくすることができる。なお、貫通穴状収容部４１の周縁の一部を削るようにスペーサ４に溝を設けた場合は、ウエハＷの大きさと貫通穴状収容部４１の大きさとの間で遊びが小さいときにも、保持容器１からウエハＷを容易に取り出すことができる。
【００５３】
スペーサ４の材質は、硬質材料からなることが好ましく、より具体的には、硬質塩化ビニル樹脂、硬質ポリプロピレン樹脂、ＰＥＴ樹脂、発泡ポリウレタン樹脂、又はアクリル樹脂等からなることが好ましい。これにより、上方向から荷重が掛かってもウエハＷの厚さに応じたスペースが確保されるため、荷重によるウエハＷへのダメージを軽減することができる。
【００５４】
なお、スペーサ４の外形形状は、例えば図１及び図２に示すような矩形形状にすることができるが、これに限定されるものではない。
【００５５】
［第１保持板及び第２保持板］
本実施形態の保持容器１は、スペーサ４の一方の面に当接する第１保持板３と、スペーサ４の他方の面に当接する第２保持板５と、を有する。これにより、ウエハＷの両面が対向する第１保持板３及び第２保持板５によって保持されるため、保持容器１でウエハＷを安定して保持することができる。また、保持容器１を略水平に設置した場合に、下側の保持板３又は５によってウエハＷが保持されつつ、ウエハＷ自体の反りやウエハＷのたわみにより浮き上がるウエハＷの外周が、上側の保持板３又は５によって押さえられるため、ウエハＷに生じるたわみを軽減することができる。
【００５６】
これらの保持板３及び５には、第１切欠き３１及び第２切欠き５１を設ける。すなわち、第１切欠き３１は、第１保持板３をウエハＷの下側に位置させたときにウエハＷを保持可能な形状を有するように設けられ、第２切欠き５１は、第２保持板５をウエハＷの下側に位置させたときにウエハＷを保持可能な形状を有するように設けられる。このとき、スペーサ４並びに保持板３及び５の積層方向から見た場合に、貫通穴状収容部４１の内側に第１切欠き３１の周縁の少なくとも一部が位置し、且つ貫通穴状収容部４１の内側に第２切欠き５１の周縁の少なくとも一部が位置する。これにより、ウエハＷと保持板３及び５との接触面積が小さくなり、ウエハＷと保持板３及び５との接触によって生じるウエハＷのキズや汚れが低減されるため、ウエハＷの清浄度を保ち、保持後の洗浄工程を軽減し又は削減することができる。
【００５７】
切欠き３１及び５１の形状は、ウエハＷとの接触面積を減少する形状であれば特に限定されない。例えば、図３（ａ）から（ｇ）のように直線で囲まれた形状であってもよく、図３（ｈ）から（ｊ）のような曲線で囲まれた形状であってもよく、図３（ｋ）のような直線及び曲線で囲まれた形状であってもよい。その中でも、貫通穴状収容部４１の周縁の形状が円形である場合には、図３（ａ）から（ｆ）に示すように、切欠き３１ａ１〜３１ａ６及び５１ａ１〜５１ａ６の形状が、中心が貫通穴状収容部４１の円形の中心と同軸となるような正多角形状であることがより好ましい。これにより、ウエハＷが保持板３ａ１〜３ａ６又は５ａ１〜５ａ６と接触する部分と、保持板３ａ１〜３ａ６及び５ａ１〜５ａ６と接触しない部分とが、貫通穴状収容部４１の円形の中心を軸としてラジアル方向について等間隔に設けられるため、ラジアル方向について均等な保持状態でウエハＷを保持することができる。その中でも特に、図３（ａ）から（ｅ）に示すように、第２切欠き５１ａ１〜５１ａ５が第１切欠き３１ａ１〜３１ａ５の中心を軸に
【数３】
［ｎは前記正多角形の角の数とする］
回転した形状を有することが最も好ましい。これにより、第１保持板３をウエハＷの下側に位置させたときにウエハＷを保持する第１保持部位Ｈ１、及び、第２保持板５をウエハＷの下側に位置させたときにウエハＷを保持する第２保持部位Ｈ２が、貫通穴状収容部４１と交互に隣接し易くなる。
【００５８】
このとき、第１保持板３をウエハＷの下側に位置させたときにウエハＷを保持する第１保持部位Ｈ１が４箇所以上形成され、第２保持板５をウエハＷの下側に位置させたときにウエハＷを保持する第２保持部位Ｈ２が４箇所以上形成されることが好ましい。これにより、ウエハＷが第１保持部位Ｈ１及び第２保持部位Ｈ２によって少なくとも４方向で保持されるため、ウエハＷに生じるたわみを小さくし、ウエハＷの表面と保持容器１との接触によるウエハＷの割れや傷を軽減することができる。
【００５９】
切欠き３１及び５１のウエハＷの面方向についての大きさは、保持板３及び５でウエハＷを保持することができる大きさであればよく、図３（ａ）から（ｅ）に示すように、第１切欠き３１ａ１〜３１ａ５及び第２切欠き５１ａ１〜５１ａ５の大きさが略同一であってもよく、第１切欠き３１及び第２切欠き５１の大きさが異なっていてもよい。なお、切欠き３１及び５１には、図１及び図２に示すような、保持板３及び５の外縁と重ならない形状も含まれる。ここで、保持板３及び５の外縁と重ならないように切欠き３１及び５１を設けた場合には、ウエハＷの面方向から切欠き３１及び５１を通じる空気の流通を抑制することができる。
【００６０】
保持板３及び５の材質は、各々同一であることが好ましく、具体的には衝撃を吸収する材料から形成することが好ましい。衝撃を吸収する材料としては、発泡ポリウレタン、ポリエチレンフォーム、低反発ウレタン等を挙げることができる。これらの衝撃を吸収する材料を用いることで、ウエハＷへの傷や割れを低減することができる。その一方で、ウエハＷ及び保持容器１を水に漬ける場合には、水によって衝撃が吸収されるため、硬質塩化ビニル樹脂、硬質ポリプロピレン樹脂、ＰＥＴ樹脂、又はアクリル樹脂等の硬質材料も用いることができる。
【００６１】
図２（ｂ）に示す保持板３及び５の厚さＴは、３ｍｍ以上とすることが好ましい。その理由を説明するため、保持板３又は５に見立てた硬質アクリル板上に厚さの異なる３枚のウエハＷａｆｅｒ１〜３を装填し（ウエハＷの厚さは、Ｗａｆｅｒ１＜Ｗａｆｅｒ２＜Ｗａｆｅｒ３である）、Ｗａｆｅｒ１〜３を各々４方向から保持した場合における、硬質アクリル板と接触する方向（保持方向）及び硬質アクリル板と接触していない方向（空き方向）についての、Ｗａｆｅｒ１〜３の中心からの距離とたわみの大きさの関係を図４（ａ）〜（ｃ）にそれぞれ示す。図４（ａ）〜（ｃ）より、Ｗａｆｅｒ１〜Ｗａｆｅｒ３はいずれも中央部がたわんでおり、最もたわみが大きいＷａｆｅｒ１の中央部におけるたわみの大きさは２００μｍ程度であった（図４（ａ）参照）。これに、硬質アクリル板の周辺（保持方向のＥｄｇｅ部分）における反りあがりを含めても、ウエハＷの面内におけるたわみの変化は最大２５０μｍであると見積もられる。さらに、発泡ＰＰや低反発ウレタン等の柔らかい材質を保持板３又は５に用いた場合の保持板３及び５の沈み込みや、ウエハＷの一方向が保持されなった場合におけるウエハＷの外周の垂れ下がりを勘案しても、保持板３及び５の厚さＴを３ｍｍ以上とすることにより、ウエハＷが切欠き３１及び５１を通じて保持容器１の外部に接触しないようにすることができる。
【００６２】
なお、本発明の各実施形態では、保持板３及び５並びにスペーサ４の外縁形状は、各々同じ形状で図示しているが、これに限定されず、貫通穴状収容部４１の内側に第１保持部位Ｈ１及び第２保持部位Ｈ２が形成されていればよい。
【００６３】
≪第１切欠き及び第２切欠きが貫通穴状収容部の外側で交差する保持容器≫
本発明の第二実施形態は、スペーサ４並びに保持板３ｂ及び５ｂの積層方向から見た場合に、保持板３ｂ及び５ｂに設けられた第１切欠き３１ｂ及び第２切欠き５１ｂが、貫通穴状収容部４１の外側で各々交差する保持容器１ｂである。図５は保持容器１ｂの一例を示す（ａ）正面図、及び（ｂ）Ｂ−Ｂ’面における断面図である。
【００６４】
［スペーサ］
本実施形態の保持容器１ｂは、ウエハＷを収容するための貫通穴状収容部４１を設けるスペーサ４を有する。このスペーサ４は、上記第一実施形態と同様のものを用いることができる。
【００６５】
［第１保持板及び第２保持板］
本実施形態の保持容器１ｂでは、図５に示すように、保持板３ｂ及び５ｂに設けられた第１切欠き３１ｂ及び第２切欠き５１ｂが、貫通穴状収容部４１の外側で各々交差する。このとき、ウエハＷは、第１保持部位Ｈ１及び第２保持部位Ｈ２によって互い違いに保持される。これにより、ウエハＷに外部から力が作用しても、保持板３ｂ及び／又は５ｂとウエハＷとが接触する方向（保持方向）でウエハＷが保持されるとともに、保持板３ｂ及び５ｂとウエハＷとが接触していない方向（空き方向）に力が逃げていくため、ウエハＷへのチッピングの発生を低減することができる。
【００６６】
≪第１切欠き及び第２切欠きが貫通穴状収容部の内側で交差する保持容器≫
本発明の第三実施形態は、スペーサ４並びに保持板３ｃ及び５ｃの積層方向から見た場合に、保持板３ｃ及び５ｃに設けられた第１切欠き３１ｃ及び第２切欠き５１ｃが、貫通穴状収容部４１の内側で各々交差する保持容器１ｃである。図６は保持容器１ｃの一例を示す（ａ）正面図及び（ｂ）Ｃ−Ｃ’面における断面図である。
【００６７】
［スペーサ］
本実施形態の保持容器１ｃは、ウエハＷを収容するための貫通穴状収容部４１を設けるスペーサ４を有する。このスペーサ４は、上記第一実施形態と同様のものを用いることができる。
【００６８】
［第１保持板及び第２保持板］
本実施形態の保持容器１ｃでは、図６に示すように、保持板３ｃ及び５ｃに設けられた第１切欠き３１ｃ及び第２切欠き５１ｃが、貫通穴状収容部４１の内側で各々交差する。このとき、貫通穴状収容部４１を間にして第１保持板３ｃ及び第２保持板５ｃが対向する、重なり部位Ｋが形成される。これにより、重なり部位Ｋが保持板３ｃ及び５ｃに上下から挟まれてウエハＷが厚さ方向に遊び難くなるため、特に小さい径のウエハＷを保持しても、ウエハＷを保持容器１ｃの中で動き難くすることができる。
【００６９】
≪隣接する保持部材の頂点が互いに接する保持容器≫
本発明の第四実施形態は、保持板３ｄ及び５ｄの少なくとも一方が複数の三角形をした保持部材３３ｄ及び５３ｄからなり、隣接する保持部材３３ｄ及び５３ｄの頂点が互いに接するようにした保持容器１ｄである。図７は保持容器１ｄの各部品の一例を示す斜視図であり、図８は保持容器１ｄの変形例である保持容器１ｄ１〜１ｄ３の第１切欠き３１ｄ１〜３１ｄ３及び第２切欠き５１ｄ１〜５１ｄ３を例示する正面図である。
【００７０】
［スペーサ］
本実施形態の保持容器１ｄは、ウエハＷを収容するための貫通穴状収容部４１を設けるスペーサ４を有する。このスペーサ４は、上記≪保持容器の基本形態≫と同様のものを用いることができる。
【００７１】
［第１保持板及び第２保持板］
本実施形態の保持容器１ｄでは、例えば図７に示すように、保持板３及び５の少なくとも一方を、複数の三角形をした保持部材３３ｄ及び５３ｄで形成し、隣接する保持部材３３ｄ及び５３ｄの頂点が互いに接するように保持部材３３ｄ及び５３ｄを設ける。これにより、保持板３ｄ及び５ｄを作製し易くすることができるとともに、切欠き３１ｄ及び５１ｄを通じた外気の流通を抑制し、保持容器１ｄの内部に形成された空間の密閉性を得易くすることができる。
【００７２】
このとき、保持板３ｄ及び５ｄに設ける切欠き３１ｄ及び５１ｄが、貫通穴状収容部４１の中心と同軸の中心を有する正多角形状をしており、保持部材３３ｄ及び５３ｄの三角形の角が、それぞれ
【数４】
［ｎは切欠き３１ｄ及び５１ｄを構成する正多角形の角の数とする］
であることが好ましい。これにより、保持板３ｄ及び５ｄが表裏反転した構造になるため、保持部材３３ｄ及び５３ｄを合同な三角形にして保持部材３３ｄ及び５３ｄの共通化を図ることができる。例えば、図８（ａ）のように、切欠き３１ｄ１及び５１ｄ１の外縁形状を正方形とする場合は、保持部材３３ｄ１及び５３ｄ１の三角形の内角をそれぞれ２２．５°、６７．５°、及び９０°とすることで、上記条件が満たされる。この他、保持板３ｄ及び５ｄ並びに切欠き３１ｄ及び５１ｄの外縁形状を正ｎ角形とする場合の、保持部材３３ｄ及び５３ｄの三角形の内角について、以下の表１に示す。
【表１】
【００７３】
なお、図８（ｂ）に示すように、保持板３ｄ２及び切欠き３１ｄ２の外縁形状、又は保持板５ｄ２及び切欠き５１ｄ２の外縁形状は、互いに異なった数の角を有する正多角形であってもよい。また、図８（ｃ）及び（ｄ）に示すように、一方の保持板（例えば保持板５ｄ３及び５ｄ４）を二等辺三角形状の保持部材（例えば保持部材５３ｄ３及び５３ｄ４）から構成するとともに、他方の保持板（例えば保持板３ｄ３及び３ｄ４）の外縁に沿うように切欠き（例えば切欠き３１ｄ３及び３１ｄ４）を設けてもよい。
【００７４】
≪コーナー板を有する保持容器≫
本発明の第五実施形態は、第１保持板３ｅ及び第２保持板５ｅの少なくとも一方を構成する保持部材３３ｅ及び５３ｅが接する部分にコーナー板５２を有する保持容器１ｅである。図９は保持容器１ｅの各部品の一例を示す斜視図を示す。
【００７５】
［スペーサ及び保持板］
本実施形態の保持容器１ｅは、上記第一実施形態と同様のスペーサ４を有し、上記第四実施形態と同様の第１保持板３ｅ及び第２保持板５ｅを有する。
【００７６】
［コーナー板］
本実施形態の保持容器１ｅでは、図９に示すように、保持部材３３ｅ及び５３ｅが接する部分にコーナー板３２及び５２が設けられる。これにより、強度的に弱い保持部材３３ｅ及び５３ｅの頂点が補強されるとともに、保持容器１ｅの内部に形成された空間の密閉性が高められるため、保持容器１ｅの内部への埃等の侵入を低減し、より清浄な状態でウエハＷを保持することができる。ここで、コーナー板３２及び５２の材料としては、例えば硬質塩化ビニル樹脂、硬質ポリプロピレン樹脂、ＰＥＴ樹脂、又はアクリル樹脂等の硬質材料を用いることができる。
【００７７】
≪隣接する保持部材の頂点が互いに離れる保持容器≫
本発明の第六実施形態の保持容器１ｆは、保持板３ｆ及び５ｆの少なくとも一方が複数の三角形をした保持部材３３ｆ及び５３ｆからなり、隣接する保持部材３３ｆ及び５３ｆの頂点が互いに離れるように構成される。図１０は保持容器１ｆの各部品の一例を示す斜視図を示す。
【００７８】
［スペーサ］
本実施形態の保持容器１ｆは、ウエハＷを収容するための貫通穴状収容部４１を設けるスペーサ４を有する。このスペーサ４は、上記≪保持容器の基本形態≫と同様のものを用いることができる。
【００７９】
［第１保持板及び第２保持板］
本実施形態の保持容器１ｆでは、例えば図１０に示すように、切欠き３１ｆ及び５１ｆを有する保持板３ｆ及び５ｆの少なくとも一方が、複数の三角形の保持部材３３ｆ及び５３ｆから構成されており、隣接する保持部材３３ｆ及び５３ｆの頂点が互いに離れている。これにより、保持板３ｆ及び５ｆのうちウエハＷを保持していない部分を省略することができ、保持容器１ｆをウエハＷの表面と平行な方向についてコンパクトにすることができる。
【００８０】
≪硬質板を有する保持容器≫
本発明の第七実施形態は、第１保持板３に当接する第１硬質板２と、第２保持板５に当接する第２硬質板６を有する保持容器１ｇである。図１１は保持容器１ｇの各部品の一例を示す斜視図を示す。
【００８１】
［スペーサ及び保持板］
本実施形態の保持容器１ｇは、上記第一実施形態と同様のスペーサ４を有し、上記第一実施形態から第六実施形態のいずれかと同様の第１保持板３及び第２保持板５を有する。
【００８２】
［第１硬質板及び第２硬質板］
本実施形態の保持容器１ｇは、第１保持板３のうちスペーサ４と反対側の面に当接する第１硬質板２と、第２保持板５のうちスペーサ４と反対側の面に当接する第２硬質板６とを有する。これにより、保持板３及び５が硬質板２及び６によって支持されるため、保持板３及び５の材質により衝撃を吸収し易い材質を用いることができる。また、特に第五実施形態又は第六実施形態のように、保持板３及び５の少なくとも一方が複数の保持部材３３及び５３から構成される場合には、保持部材３３及び５３の硬質板２及び６への積層が可能であるため、保持部材３３及び５３を取扱い易くすることができる。それとともに、保持板３及び５の切欠き３１及び５１を通じた外気の流通を抑制することができる。ここで、硬質板２及び６を保持板３及び５に積層する方法は、特に限定するものではないが、例えば第一保持板３及び第一硬質板２の一方に凸部を設け、第一保持板３及び第一硬質板２の他方に及び凹部を設け、これらを嵌合して積層してもよい。これらを嵌合して積層することで、保持板３及び５と硬質板２及び６との間が横方向に動き難くなるため、硬質板２及び６が設けられたと保持容器１ｇを一体的に取扱うことができる。また、第１硬質板２の上に第１保持板３を積層し、その上にさらにスペーサ４を積層して下盤を形成し、スペーサ４の内径にウエハＷを装填し、第２硬質板６の上に第２保持板５を積層した蓋をスペーサ４の上に被せて保持容器１ｇを作製してもよい。
【００８３】
硬質板２及び６の形状は、各々同一の形状であることが好ましく、保持板３及び５、並びにスペーサ４と同一の形状であることがより好ましい。また、硬質板２及び６の材料も各々同一の材料であることが好ましく、硬質板２及び６の材料の具体例としては、硬質塩化ビニル樹脂、硬質ポリプロピレン樹脂、ＰＥＴ樹脂、又はアクリル樹脂等の硬質材料を用いることができる。硬質板２及び６に硬質材料を用いることで、保持容器１ｇの全体の形状を保持し易くすることができる。
【００８４】
硬質板２及び６の厚さは、硬質板２及び６がある程度の強度を持ち、且つ硬質板２及び６がたわまない程度であればよく、具体的には３ｍｍ以上であることが好ましい。
【００８５】
≪外枠を有する保持容器≫
本発明の第八実施形態は、第１保持板３及び第２保持板５の側面に硬質材料からなる外枠８を設けて、切欠き３１及び５１を通じた外気の流通を抑制する保持容器１ｈである。図１２は保持容器１ｈの一例の斜視図を示す。
【００８６】
［スペーサ及び保持板］
本実施形態の保持容器１ｈは、上記第一実施形態と同様のスペーサ４を有し、上記第一実施形態から第六実施形態のいずれかと同様の第１保持板３及び第２保持板５を有する。
【００８７】
［外枠］
本実施形態の保持容器１ｈは、例えば図１２に示すように、保持板３及び５の外縁に沿って外枠８を有する。これにより、外枠８の内側にあるスペーサ４の貫通穴状収容部４１がウエハＷの面方向について密閉され、ウエハＷを保持する際のウエハＷの面方向からの埃等の侵入が低減されるため、ウエハＷをより清浄な状態で保持することができる。外枠８の材料としては、硬質塩化ビニル樹脂、硬質ポリプロピレン樹脂、ＰＥＴ樹脂、又はアクリル樹脂等の硬質材料を用いることができる。
【００８８】
≪複数の繰返し単位を有する保持容器ユニット≫
本発明の第九実施形態から第十三実施形態は、保持容器が複数重畳されてなる保持容器ユニットに関する実施形態である。このうち、第九実施形態は、第１保持板３及び第２保持板５、並びに、第１硬質板２及び第２硬質板６からなる繰返し単位１１ｉを複数有する保持容器ユニット１２ｉである。図１３は保持容器ユニット１２ｉを構成する各繰返し単位１１ｉの一例を示す斜視図を示す。
【００８９】
［スペーサ、保持板及び硬質板］
本実施形態の保持容器ユニット１２ｉは、上記第一実施形態と同様のスペーサ４を有し、上記第一実施形態から第六実施形態のいずれかと同様の第１保持板３及び第２保持板５を有し、上記第七実施形態の第１硬質板２及び第２硬質板６を有する。
【００９０】
この保持容器ユニット１２ｉでは、スペーサ４、第１保持板３、第１硬質板２、第２硬質板６、及び第２保持板５が順に積層された繰返し単位１１ｉを複数有する。これにより、隣接する繰返し単位１１ｉにおけるそれぞれの第１硬質板２及び第２硬質板６に挟まれて保持容器が形成されるため、複数のウエハＷをバッチ単位で取り扱うことができる。このとき、保持容器ユニット１２ｉを構成する繰返し単位１１ｉは、図１３に示すように、第１硬質板２に第１保持板３及びスペーサ４を順に積層して下盤１１１を構成するとともに、第２硬質板６の他方の面に第２保持板５が積層して蓋１１２を構成することがより好ましい。これにより、繰返し単位１１ｉを構成する各部材を取り扱い易くすることができる。
【００９１】
≪複数の繰返し単位を有する保持容器ユニット≫
本発明の第十実施形態は、第１保持板３及び第２保持板５、並びに、第１硬質板２からなる繰返し単位１１ｊを複数有する保持容器ユニット１２ｊである。図１４は保持容器ユニット１２ｊを構成する各繰返し単位１１ｊの一例を示す断面図を示す。
【００９２】
［スペーサ、保持板及び硬質板］
本実施形態の保持容器ユニット１２ｊは、上記第一実施形態と同様のスペーサ４を有し、上記第一実施形態から第六実施形態のいずれかと同様の第１保持板３及び第２保持板５を有し、上記第七実施形態の第１硬質板２を有する。
【００９３】
この保持容器ユニット１２ｊでは、スペーサ４、第１保持板３、第１硬質板２、及び第２保持板５が順に積層された繰返し単位１１ｊを複数有する。これにより、隣接する繰返し単位１１ｊにおけるそれぞれの第１硬質板２に挟まれて保持容器が形成されるとともに、第２硬質板が省略されるため、保持容器ユニット１２ｊをウエハＷの厚さ方向についてコンパクトにすることができる。このとき、保持容器ユニット１２ｊを構成する繰返し単位１１ｊは、図１４に示すように、第１硬質板２の一方の面に第１保持板３及びスペーサ４が積層され、第１硬質板２の他方の面に第２保持板５が積層されることが好ましい。これにより、繰返し単位１１ｊごとの取扱いをより容易にすることができる。
【００９４】
≪貫通穴が設けられた保持容器ユニット≫
本発明の第十一実施形態は、第１硬質板２、第１保持板３、スペーサ４、及び第２保持板５の互いに対応する位置に貫通穴１３を設ける保持容器ユニット１２ｋである。図１５は保持容器ユニット１２ｋを構成する各繰返し単位１１の一例を示す斜視図を示す。
【００９５】
［スペーサ、保持板及び硬質板］
本実施形態の保持容器ユニット１２ｋは、上記第一実施形態のスペーサ４、上記第一実施形態から第六実施形態のいずれかの形態の第１保持板３及び第２保持板５、並びに上記第八実施形態の第１硬質板２が設けられた、上記第九実施形態又は第十実施形態のいずれかの形態の繰返し単位１１を有する。
【００９６】
この保持容器ユニット１２ｋでは、第１硬質板２、保持板３及び５、並びにスペーサ４のうちウエハＷと干渉しない位置、より好ましくは第１硬質板２、保持板３及び５、並びにスペーサ４の互いに対応する位置に、各々貫通穴１３を設ける。これにより、以下に述べる連結支持棒７又は回動軸９を貫通穴１３に挿入することができる。但し、本発明における貫通穴１３は、穴の形態に限定されるものではなく、連結支持棒７又は回動軸９が連通する位置に設けた切欠き等も含むものとする。
【００９７】
≪連結支持棒が設けられた保持容器ユニット≫
本発明の第十二実施形態は、第１硬質板２、第１保持板３、スペーサ４、及び第２保持板５に設けた貫通穴１３に連結支持棒７を設ける保持容器ユニット１２ｌである。図１６は保持容器ユニット１２ｌの各部品の一例を示す斜視図を示す。図１７は連結支持棒７を有する保持容器ユニット１２ｌの一例を示す（ａ）斜視図及び（ｂ）断面図を示す。
【００９８】
［スペーサ、保持板及び硬質板］
本実施形態の保持容器ユニット１２ｌは、上記第一実施形態のスペーサ４、上記第一実施形態から第六実施形態のいずれかの形態の第１保持板３及び第２保持板５、並びに上記第八実施形態の第１硬質板２が設けられた、上記第九実施形態又は第十実施形態のいずれかの形態の繰返し単位１１を有する。ここで、第１硬質板２、保持板３及び５、並びにスペーサ４には、第十一実施形態の貫通穴１３を各々設ける。
【００９９】
［連結支持棒］
この貫通穴１３には、図１６（ａ）及び（ｂ）に示すように、連結支持棒７を挿入して、複数の繰返し単位１１を連通する。これにより、繰返し単位１１を構成する保持板３及び５並びに第１硬質板２が、ウエハＷの表面と平行な方向に動き難くなるため、ウエハＷへの傷の発生を低減し、保持容器ユニット１２ｌを取扱い易くすることができる。ここで、連結支持棒７の直径は、保持容器ユニット１２ｌをバッチ単位で扱う際の荷重に耐えられる大きさが必要であり、例えば直径２５ｍｍ以上であることが好ましい。
【０１００】
≪回動軸が設けられた保持容器ユニット≫
本発明の第十三実施形態は、第１硬質板２、第１保持板３、スペーサ４、及び第２保持板５に設けた貫通穴１３に連結支持棒７を設ける保持容器ユニット１２ｍである。図１８は回動軸９を有する保持容器ユニット１２ｍの一例を示す（ａ）斜視図及び（ｂ）断面図を示す。
【０１０１】
［スペーサ、保持板及び硬質板］
本実施形態の保持容器ユニット１２ｍは、上記第一実施形態のスペーサ４、上記第一実施形態から第六実施形態のいずれかの形態の第１保持板３及び第２保持板５、並びに上記第八実施形態の第１硬質板２が設けられた、上記第九実施形態又は第十実施形態のいずれかの形態の繰返し単位１１を有する。ここで、第１硬質板２、保持板３及び５、並びにスペーサ４には、第十一実施形態の貫通穴１３を各々設ける。
【０１０２】
［回動軸］
この貫通穴１３には、図１８（ａ）及び（ｂ）に示すように、回動軸９を挿入する。これにより、回動軸９を中心に繰返し単位１１の一部又は全部が水平方向に回動可能になるため、保持容器ユニット１２ｍの各スペーサ４にウエハＷを装填し易くし、各スペーサ４からウエハＷを取出し易くすることができる。このとき、スペーサ４の上側の面及び第２保持板５の下側の面の互いに対応する位置に、ピンやリング等により浅い凹凸を設けることで、回動した繰返し単位１１と他の繰返し単位１１とを容易に重ね合わせることができる。ここで、回動軸９の直径は、繰返し単位１１を回動してウエハＷを取り出す際の荷重に耐えられる大きさが必要であり、例えば直径２５ｍｍ以上であることが好ましい。
【実施例】
【０１０３】
以下、実施例及び比較例を挙げ、本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれらに何ら制限されるものではない。
【０１０４】
［実施例１］
本実施例では、ウエハを収容する貫通穴状収容部を設ける矩形のスペーサを有する保持容器を作製した。
【０１０５】
一辺５５０ｍｍの正方形の形状を有する、厚さ２ｍｍのアクリル樹脂からなる第１硬質板を形成した。この第１硬質板の一方の側に、縦３８５ｍｍ、横１６５ｍｍの直角三角形状をしたアクリル樹脂からなる保持部材を、スペーサの四隅に沿って４枚積層し、正方形状の第１切欠きを有する正方形の形状をした第１保持板を形成した。この保持部材の直角三角形の一方の角は２２．５°であり、他方の角は６７．５°である。ここで、第１保持板を構成する４個の保持部材が接する部分には、アクリル樹脂からなる、縦５０ｍｍ、横５０ｍｍの三角形状をした厚さ２ｍｍのコーナー板を嵌め込んだ。そして、この第１保持板が露出する面に、中央に直径４５０ｍｍの円形の周縁を有する貫通穴状収容部が設けられた、一辺が５５０ｍｍの正方形の形状をした厚さ１．２ｍｍのアクリル樹脂からなるスペーサを積層し、下盤を形成した。
【０１０６】
また、一辺５５０ｍｍの正方形の形状を有する、厚さ２ｍｍのアクリル樹脂からなる第２硬質板の一方の側に、縦３８５ｍｍ、横１６５ｍｍの直角三角形状をした保持部材を、スペーサの四隅に沿って４枚積層し、正方形状の第２切欠きを有する正方形の形状をした第２保持板を形成した。ここで、第２保持板は、スペーサ及び保持板の積層方向から見た場合に、互いに交差するように第２硬質板上に配置した。そして、第２保持板を構成する４個の保持部材が接する部分には、第１保持板側と同様にコーナー板を嵌め込み、蓋を形成した。
【０１０７】
本実施例では、硬質板及びスペーサの四隅の角と、保持板を構成する直角三角形の直角な角には、それらの角から縦方向に５０ｍｍ、横方向に５０ｍｍ内側に入ったところを中心にして、直径２５ｍｍの円形の貫通穴を形成した。
【０１０８】
そして、下盤のスペーサに直径４５０ｍｍのウエハを嵌め込み、その上に蓋をかぶせてウエハを保持するとともに、四隅にあけられた穴に直径２５ｍｍの連結支持棒を連通し、複数の保持容器を有する保持容器ユニットを作製した。
【０１０９】
その結果、第１切欠き及び第２切欠きは、その正方形状の四辺が貫通穴状収容部の外側で互いに交差しており、第２切欠きは第１切欠きについて貫通穴状収容部の中心を軸に４５°回転した形状となった。この保持容器ユニットで保持したウエハは、保持容器の中で動きにくく、ウエハを保持したときにたわみにくく、且つウエハに傷が入りにくいものになった。
【０１１０】
［実施例２］
スペーサ及び硬質板の外形の一辺の長さを４００ｍｍとするとともに、スペーサの貫通穴状収容部の周縁の形状を直径３００ｍｍの円形とし、保持板を形成する直角三角形状の保持部材を縦３８５ｍｍ、横１６５ｍｍとして、実施例１と同様に、スペーサ、第１保持板、及び第１硬質板から下盤を構成し、第２保持板及び第２硬質板から蓋を構成して保持容器を作製した。ここで、硬質板及びスペーサの四隅の角と、保持部材の直角な角とで、互いに対応する位置に、直径２５ｍｍの円形の貫通穴を形成した。
【０１１１】
そして、保持容器の下盤のスペーサに直径３００ｍｍのウエハを嵌め込み、その上に蓋をかぶせてウエハを保持するとともに、四隅にあけられた穴に直径２５ｍｍの連結支持棒を連通し、複数の保持容器を有する保持容器ユニットを作製した。
【０１１２】
その結果、実施例１と同様に、保持したウエハが保持容器の中で動きにくく、ウエハを保持したときにたわみにくく、且つウエハに傷が入りにくいような保持容器及び保持容器ユニットを作製することができた。
【図面の簡単な説明】
【０１１３】
【図１】第一実施形態における保持容器の各部品の一例を示す斜視図を示す。
【図２】第一実施形態における保持容器の一例を示す（ａ）正面図、及び（ｂ）Ａ−Ａ’面で切断した断面図を示す。
【図３】第一実施形態における保持容器の変形例の第１切欠き及び第２切欠きを例示する正面図を示す。
【図４】ウエハ厚さとウエハ中心の下方向へのたわみ量の測定値との関係を示す。
【図５】第二実施形態における保持容器の一例を示す（ａ）正面図、及び（ｂ）Ｂ−Ｂ’面で切断した断面図を示す。
【図６】第三実施形態における保持容器の一例を示す（ａ）正面図、及び（ｂ）Ｃ−Ｃ’面で切断した断面図を示す。
【図７】第四実施形態における保持容器の各部品の一例を示す斜視図を示す。
【図８】第四実施形態における保持容器の変形例の第１切欠き及び第２切欠きを例示する正面図を示す。
【図９】第五実施形態における保持容器の各部品の一例を示す斜視図を示す。
【図１０】第六実施形態における保持容器の各部品の一例を示す斜視図を示す。
【図１１】第七実施形態における保持容器の各部品の一例を示す斜視図を示す。
【図１２】第八実施形態における保持容器の一例を示す斜視図を示す。
【図１３】第九実施形態における保持容器ユニットを構成する各繰返し単位の一例を示す斜視図を示す。
【図１４】第十実施形態における保持容器ユニットを構成する各繰返し単位の一例を示す（ａ）斜視図及び（ｂ）断面図を示す。
【図１５】第十一実施形態における保持容器ユニットを構成する各繰返し単位の一例を示す斜視図を示す。
【図１６】第十二実施形態における保持容器ユニットの各部品の一例を示す斜視図を示す。
【図１７】第十二実施形態における保持容器ユニットの一例を示す（ａ）斜視図及び（ｂ）断面図を示す。
【図１８】第十三実施形態における保持容器ユニットの一例を示す（ａ）斜視図及び（ｂ）断面図を示す。
【符号の説明】
【０１１４】
１ 保持容器
２ 第１硬質板
３ 第１保持板
３１ 第１切欠き
３２ コーナー板
４ スペーサ
４１ 貫通穴状収容部
５ 第２保持板
５１ 第２切欠き
５２ コーナー板
６ 第２硬質板
７ 連結支持棒
８ 外枠
９ 回動軸
１１ 繰返し単位
１２ 保持容器ユニット
Ｈ１、Ｈ２ 保持部位
Ｔ 厚さ
Ｋ 重なり部位
Ｗ ウエハ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にウエハを収容する略円形の貫通穴状収容部を有するスペーサと、
前記スペーサの一方の面に当接し且つ第１切欠きを有する第１保持板と、
前記スペーサの他方の面に当接し且つ第２切欠きを有する第２保持板と、からなり、
前記第１切欠きは、前記第１保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持可能な形状を有し、
前記第２切欠きは、前記第２保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持可能な形状を有することを特徴とする保持容器。
【請求項２】
前記第１保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持する第１保持部位が４箇所以上形成され、前記第２保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持する第２保持部位が４箇所以上形成されることを特徴とする請求項１記載の保持容器。
【請求項３】
前記貫通穴状収容部の内部への外気の流通を抑制する構造をさらに備えることを特徴とする請求項１又は２記載の保持容器。
【請求項４】
前記第１保持板及び前記第２保持板の厚さが３ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１から３のいずれか記載の保持容器。
【請求項５】
前記スペーサの厚さから前記ウエハの厚さを引いた値が３００μｍ以下であることを特徴とする請求項１から４のいずれか記載の保持容器。
【請求項６】
前記スペーサが硬質材料からなることを特徴とする請求項１から５のいずれか記載の保持容器。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか記載の保持容器が複数重畳されてなる保持容器ユニットであって、
前記スペーサ、前記第２保持板、第１硬質板、及び前記第１保持板が順に積層された繰返し単位を繰返し積層することにより、隣接する前記繰返し単位におけるそれぞれの前記第１硬質板に挟まれて前記保持容器が形成されることを特徴とする保持容器ユニット。
【請求項８】
前記第１硬質板、前記第１保持板、前記スペーサ、及び前記第２保持板の互いに対応する位置に貫通穴を設けることを特徴とする請求項７記載の保持容器ユニット。
【請求項１】
内部にウエハを収容する略円形の貫通穴状収容部を有するスペーサと、
前記スペーサの一方の面に当接し且つ第１切欠きを有する第１保持板と、
前記スペーサの他方の面に当接し且つ第２切欠きを有する第２保持板と、からなり、
前記第１切欠きは、前記第１保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持可能な形状を有し、
前記第２切欠きは、前記第２保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持可能な形状を有することを特徴とする保持容器。
【請求項２】
前記第１保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持する第１保持部位が４箇所以上形成され、前記第２保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持する第２保持部位が４箇所以上形成されることを特徴とする請求項１記載の保持容器。
【請求項３】
前記貫通穴状収容部の内部への外気の流通を抑制する構造をさらに備えることを特徴とする請求項１又は２記載の保持容器。
【請求項４】
前記第１保持板及び前記第２保持板の厚さが３ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１から３のいずれか記載の保持容器。
【請求項５】
前記スペーサの厚さから前記ウエハの厚さを引いた値が３００μｍ以下であることを特徴とする請求項１から４のいずれか記載の保持容器。
【請求項６】
前記スペーサが硬質材料からなることを特徴とする請求項１から５のいずれか記載の保持容器。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか記載の保持容器が複数重畳されてなる保持容器ユニットであって、
前記スペーサ、前記第２保持板、第１硬質板、及び前記第１保持板が順に積層された繰返し単位を繰返し積層することにより、隣接する前記繰返し単位におけるそれぞれの前記第１硬質板に挟まれて前記保持容器が形成されることを特徴とする保持容器ユニット。
【請求項８】
前記第１硬質板、前記第１保持板、前記スペーサ、及び前記第２保持板の互いに対応する位置に貫通穴を設けることを特徴とする請求項７記載の保持容器ユニット。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【公開番号】特開２００９−２７２３４９（Ｐ２００９−２７２３４９Ａ）
【公開日】平成２１年１１月１９日（２００９．１１．１９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１１９３２６（Ｐ２００８−１１９３２６）
【出願日】平成２０年４月３０日（２００８．４．３０）
【出願人】（０００１８４７１３）ＳＵＭＣＯ ＴＥＣＨＸＩＶ株式会社 (265)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年１１月１９日（２００９．１１．１９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年４月３０日（２００８．４．３０）
【出願人】（０００１８４７１３）ＳＵＭＣＯ ＴＥＣＨＸＩＶ株式会社 (265)
【Ｆターム（参考）】
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