半導体発光装置及びその製造方法
【課題】半導体層に加わる応力を緩和し、発光効率の向上が可能な半導体発光装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、発光部10dと第1導電部30aと第2導電部30bと第1絶縁層21と封止部50と光学層60とを備えた半導体発光装置が提供される。発光部は、第1主面10bと第2主面10aとを有する半導体積層体10と、第2主面に設けられた第1、第2電極と、を含む。第1、第2導電部は、それぞれ第1、第2電極に接続され、第2主面に立設された第1、第2柱部を含む。第1絶縁層は第1、第2柱部の少なくとも一部と半導体積層体との間に設けられる。封止部は第1、第2導電部の側面を覆う。光学層は、半導体積層体の第1主面に設けられ発光部10dから放出された発光光の波長を変換する波長変換部を含む。
【解決手段】実施形態によれば、発光部10dと第1導電部30aと第2導電部30bと第1絶縁層21と封止部50と光学層60とを備えた半導体発光装置が提供される。発光部は、第1主面10bと第2主面10aとを有する半導体積層体10と、第2主面に設けられた第1、第2電極と、を含む。第1、第2導電部は、それぞれ第1、第2電極に接続され、第2主面に立設された第1、第2柱部を含む。第1絶縁層は第1、第2柱部の少なくとも一部と半導体積層体との間に設けられる。封止部は第1、第2導電部の側面を覆う。光学層は、半導体積層体の第1主面に設けられ発光部10dから放出された発光光の波長を変換する波長変換部を含む。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明の実施形態は、半導体発光装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
小型で低消費電力の発光装置として、青色LED(Light Emitting Diode)などの半導体発光素子と、蛍光体と、を組み合わせることで白色光を発する白色LED発光装置が開発されている。
【0003】
例えば、LEDチップをリードフレームや導電性基板にダイボンドしてワイヤーボンドを行った後、LEDチップ表面に蛍光体を塗布する構成の半導体発光装置が知られている。しかしながら、このような半導体発光装置においては、LEDチップの他に、リードフレーム、導電性基板及びボンディングワイヤなどのような部材が必要であるため、装置が大きくなり小型化の妨げとなる。
【0004】
半導体発光装置において、LEDチップに接続される電極材料と、LEDチップと、の線膨張係数の差によってLEDチップの半導体層に応力が加わり、半導体層の発光効率が低下することがある。半導体発光装置が小型化された場合においては、熱が蓄積されやすくなり特に問題となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開2001−210874号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明の実施形態は、半導体層に加わる応力を緩和し、発光効率の向上が可能な半導体発光装置及びその製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の実施形態によれば、発光部と、第1導電部と、第2導電部と、第1絶縁層と、封止部と、光学層と、を備えた半導体発光装置が提供される。前記発光部は、第1主面と、前記第1主面とは反対側の第2主面と、を有する半導体積層体と、前記半導体積層体の前記第2主面に設けられた第1電極及び第2電極と、を含む。前記第1導電部は、前記第1電極に電気的に接続され、前記第1主面の上に立設された第1柱部を含む。前記第2導電部は、前記第2電極に電気的に接続され、前記第1主面の上に立設された第2柱部を含む。前記第1絶縁層は、前記第1柱部の少なくとも一部と前記半導体積層体との間、及び、前記第2柱部の少なくとも一部と前記半導体積層体との間、の少なくともいずれかに設けられる。前記封止部は、前記第1導電部の側面及び前記第2導電部の側面を覆う。前記光学層は、前記半導体積層体の前記第1主面に設けられた光学層であって、前記発光層から放出された発光光を吸収し、前記発光光の波長とは異なる波長の光を放出する波長変換部を含む。
【0008】
本発明の別の実施形態によれば、発光部と、第1導電部と、第2導電部と、第1絶縁層と、封止部と、光学層と、を有する半導体発光装置の製造方法が提供される。前記発光部は、第1主面と、前記第1主面とは反対側の第2主面と、を有する半導体積層体と、前記半導体積層体の前記第2主面に設けられた第1電極及び第2電極と、を含む。前記第1導電部は、前記第1電極に電気的に接続され、前記第1主面の上に立設された第1柱部を含む。前記第2導電部は、前記第2電極に電気的に接続され、前記第1主面の上に立設された第2柱部を含む。前記第1絶縁層は、前記第1柱部の少なくとも一部と前記半導体積層体との間、及び、前記第2柱部の少なくとも一部と前記半導体積層体との間、の少なくともいずれかに設けられる。前記封止部は、前記第1導電部の側面及び前記第2導電部の側面を覆う。前記光学層は、前記半導体積層体の前記第1主面に設けられた光学層であって、前記発光層から放出された発光光を吸収し、前記発光光の波長とは異なる波長の光を放出する波長変換部を含む。前記製造方法においては、前記半導体積層体の前記第1主面の、前記第1柱部の少なくとも一部、及び、前記第2柱部の少なくとも一部、の少なくともいずれかに対応する領域に、前記第1絶縁層を形成し、前記第1絶縁層の上に、前記第1導電部の少なくとも一部及び前記第2導電部の少なくとも一部となる導電膜を形成する。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】図1(a)及び図1(b)は、第1の実施形態に係る半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
【図2】図2(a)〜図2(e)は、第1の実施形態に係る半導体発光装置の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
【図3】図3(a)〜図3(e)は、第1の実施形態に係る半導体発光装置の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
【図4】図4(a)〜図4(e)は、第1の実施形態に係る半導体発光装置の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
【図5】図5(a)〜図5(c)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式的断面図である。
【図6】図6(a)〜図6(c)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式的断面図である。
【図7】図7(a)及び図7(b)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
【図8】図8は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式的斜視図である。
【図9】図9(a)〜図9(c)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
【図10】図10(a)〜図10(d)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の要素の構成を例示する模式的平面図である。
【図11】図11(a)〜図11(c)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
【図12】図12(a)〜図12(d)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の要素の構成を例示する模式的平面図である。
【図13】図13(a)〜図13(c)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
【図14】図14(a)〜図14(d)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の要素の構成を例示する模式的平面図である。
【図15】図15(a)〜図15(c)は、第2の実施形態に係る半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
【図16】図16(a)〜図16(d)は、第2の実施形態に係る半導体発光装置の要素の構成を例示する模式的平面図である。
【図17】図17は、第3の実施形態に係る半導体発光装置の製造方法を例示するフローチャート図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【0011】
(第1の実施の形態)
図1(a)及び図1(b)は、第1の実施形態に係る半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
すなわち、図1(b)は模式的平面図であり、図1(a)は、図1(b)のA−A’線断面図である。
【0012】
図1(a)及び図1(b)に表したように、本実施形態に係る半導体発光装置110は、発光部10dと、第1導電部30aと、第2導電部30bと、第1絶縁層21と、封止部50と、光学層60と、を備える。
【0013】
発光部10dは、半導体積層体10と、第1電極14と、第2電極15と、を含む。
半導体積層体10は、第1導電形の第1半導体層11と、第2導電形の第2半導体層12と、第1半導体層11と第2半導体層12との間に設けられた発光層13と、を含む。
【0014】
半導体積層体10においては、第2半導体層12及び発光層13が選択的に除去されて第2半導体層12の側の第2主面10aにおいて第1半導体層11の一部が露出している。
【0015】
すなわち、半導体積層体10は、第1主面10bと、第1主面10bとは反対側の第2主面10aと、を有している。第2主面10aの側に第2半導体層12が配置され、第1主面10bの側に、第1半導体層11が配置される。第2半導体層12及び発光層13の面積は、第1半導体層11の面積よりも小さく、第2主面10aの側において、第1半導体層11の一部は、第2半導体層12及び発光層13に覆われていない。
【0016】
第1導電形は例えばn形であり、第2導電形は例えばp形である。ただし、実施形態はこれに限らず、第1導電形がp形であり、第2導電形がn形でも良い。以下では、第1導電形がn形であり、第2導電形がp形である場合として説明する。すなわち、第1半導体層11は、n形半導体層である。第2半導体層12は、p形半導体層である。
【0017】
第1半導体層11、第2半導体層12及び発光層13には、例えば、窒化物半導体を用いることができる。第1半導体層11は、例えばGaNを含むn形クラッド層である。第2半導体層12は、例えばp形クラッド層である。発光層13は、例えば量子井戸層と、量子井戸層に積層された障壁層と、を有する。発光層13は、例えば、単一量子井戸構造または多重量子井戸構造を有することができる。
【0018】
ここで、第2主面10aから第1主面10bに向かう方向をZ軸方向とする。すなわち、Z軸方向は、第1半導体層11、発光層13及び第2半導体層12の積層方向である。Z軸方向に対して垂直な1つの方向をX軸方向とする。Z軸方向とX軸方向とに対して垂直な方向をY軸方向とする。
【0019】
半導体積層体10は、例えば、サファイアなどの基板の上に、第1半導体層11となる結晶、発光層13となる結晶、及び、第2半導体層12となる結晶が順次成長され、その後、所定の領域の、第1半導体層11の一部、発光層13、及び、第2半導体層12が除去されて形成される。
【0020】
第1電極14は、第2主面10aの側において第1半導体層11に電気的に接続される。第2電極15は、第2主面10aの側において第2半導体層12に電気的に接続される。第1電極14は、例えばn側電極であり、第2電極15は、例えばp側電極である。発光部10dにおいて、第1電極14と第2電極15とを介して、半導体積層体10に電流を供給することで、発光層13から光(発光光)が放出される。
【0021】
このように、発光部10dは、第1主面10bと、第1主面10bとは反対側の第2主面10aと、第2主面10aに設けられた第1電極14と及び第2電極15と、を有する。
第1導電部30aは、第1電極14に電気的に接続される。第1導電部30aは、第2主面10aの上に立設された第1柱部31aを含む。第1柱部31aは、例えばZ軸方向に沿って延在する部分を少なくとも含む。
【0022】
第2導電部30bは、第2電極15に電気的に接続される。第2導電部30bは、第2主面10aの上に立設された第2柱部31bを含む。第2柱部31bは、Z軸方向に沿って延在する部分を少なくとも含む。
【0023】
第1絶縁層21は、第1柱部31aの少なくとも一部と半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bの少なくとも一部と半導体積層体10との間、の少なくともいずれかに設けられる。
【0024】
本具体例は、第1絶縁層21が第1柱部31aの一部と半導体積層体10との間に設けられている例である。
【0025】
第1絶縁層21は、第1導電部30aと、第1電極14の一部と、の間にさらに設けることができる。本具体例では、第1絶縁層21は、第1導電部30aのうちの第1柱部31aの少なくとも一部と、第1電極14の一部と、の間にさらに設けられている。なお、第1導電部30aと第1電極14との電気的な接続を実現するために、第1絶縁層21は、第1電極14の少なくとも一部の上には設けられていない。第1絶縁層21は、例えば、第1開口部20o1を有し、第1開口部20o1において、第1導電部30aと第1電極14との電気的な接続が行われる。なお、第1開口部20o1は、第1絶縁層21を貫通する孔を含むことができる。ただし、実施形態はこれに限らず、第1開口部20o1は、第1絶縁層21の端部のうち、第1電極14の端部から後退し、第1電極14を露出させる部分を便宜的に含むことができる。すなわち、第1開口部20o1は、第1絶縁層21のうちで第1電極14の少なくとも一部を露出させる部分を含むことができ、その形状は任意である。第1開口部20o1の数は、任意である。
【0026】
本具体例では、第1柱部31aから第2柱部31bに向かう方向に沿った、半導体積層体10の辺の方向が、X軸方向に設定されている。
【0027】
なお、後述するように、第1絶縁層21は、第2導電部30bと、第2電極15の一部と、の間にさらに設けられても良い。例えば、第1絶縁層21は、第2柱部31bの少なくとも一部と、第2電極15の一部と、の間にさらに設けられても良い。
【0028】
なお、第2導電部30bと第2電極15との電気的な接続を実現するために、第1絶縁層21は、第2電極15の少なくとも一部の上には設けられていない。すなわち、第1絶縁層21は、例えば、第2電極15の側の第2開口部20o2を有し、第2開口部20o2において、第2導電部30bと第2電極15との電気的な接続が行われる。
【0029】
なお、第1絶縁層21の厚さは、例えば、1μm以上5μm以下程度とされる。ただし、実施形態はこれに限らず、第1絶縁層21の厚さは任意である。
【0030】
封止部50は、第1導電部30aの側面、及び、第2導電部30bの側面を覆う。すなわち、封止部50は、第1柱部31aの側面、及び、第2柱部31bの側面を覆う。封止部50は、第1絶縁層21を覆うことができる。封止部50は、第1導電部30aの半導体積層体10とは反対の側の第1端面31aeを露出する。封止部50は、第2導電部30bの半導体積層体10とは反対の側の第2端面31beを露出する。なお、第1端面31aeは、第1柱部31aの半導体積層体10とは反対の側の端面である。第2端面31beは、第2柱部31bの半導体積層体10とは反対の側の端面である。
【0031】
光学層60は、半導体積層体10の第2主面10aとは反対側の第1主面10bの側に設けられる。光学層60は、蛍光体層61(波長変換部)を含む。蛍光体層61は、発光層13から放出された発光光を吸収し、発光光の波長とは異なる波長の光を放出する。
【0032】
本具体例では、光学層60は、例えば蛍光体を含む蛍光体層61と、蛍光体層61と半導体積層体10との間に設けられた透光部62と、を含む。透光部62は、発光層13から放出される発光光に対する透光性を有する。透光部62は、例えばレンズ作用や屈折作用などの光の進行方向を変化させる作用を有することができる。これにより、発光層13で発生した光の放射角や色ずれを調整することができる。透光部62は必要に応じて設けられ、透光部62は場合によっては省略できる。
【0033】
蛍光体層61は、例えば透光性の樹脂と、この樹脂に分散された蛍光体と、を含む。蛍光体は、発光層13から放出された発光光を吸収し、発光光の波長とは異なる波長の光を放出する。なお、蛍光体層61は、複数種の蛍光体を含むことができる。蛍光体には、例えば、黄色光を放出する蛍光体、緑色光を放出する蛍光体、及び、赤色光を放出する蛍光体など、任意の色を放出する蛍光体を用いることができる。蛍光体層61は、波長が異なる蛍光体を含む積層された複数の層を含むこともできる。
【0034】
半導体発光装置110においては、第1導電部30a、第1電極14、第2導電部30b及び第2電極15を介して、半導体積層体10に電流が供給され、これにより、発光層13から光(発光光)が放出される。発光光は、例えば、青色光、紫色光及び紫外光などの比較的短い波長の光とすることができる。
【0035】
発光層13から放出された例えば青色の発光光は、光学層60の内部に進行し、蛍光体層61によって例えば黄色の光に波長が変換される。そして、発光層13から放出された例えば青色の発光光と、蛍光体層61で得られた例えば黄色の光と、が合成される。これにより、半導体発光装置110は、白色光を発光することができる。
【0036】
なお、発光層13から放出される発光光の波長、及び、蛍光体層61で変換された光の波長は任意である。半導体発光装置110から出射する光の色は、白色の他、任意の色とすることができる。
【0037】
本具体例では、発光部10dは、半導体積層体10の第2主面10aの側の第1電極14及び第2電極15を除く部分に設けられた保護層18をさらに含む。保護層18は、半導体積層体10の端部を覆う。保護層18には、絶縁材料を用いることができる。これにより、例えば、第1電極14と第2電極15との間の絶縁性が向上する。保護層18は、半導体積層体10の端部の全部を覆うこともできる。保護層18は、半導体積層体10の端部の一部を覆うこともできる。この保護層18には、例えば酸化シリコンなどを用いることができる。ただし、実施形態はこれに限らず、保護層18には任意の絶縁材料を用いることができる。保護層18は必要に応じて設けられ、場合によっては省略できる。
【0038】
第2電極15は積層構造を有することができる。例えば、第2電極15は、導電層と、その導電層と第2半導体層12との間に設けられた反射層(図示しない)を含むことができる。これにより、発光層13から放出され、第2主面10aの側に進行する光が反射層で反射され、光を光学層60の側に効率良く進行させることができる。
【0039】
本具体例では、第1導電部30aは、第1接続部32aをさらに含む。第1接続部32aは、第1絶縁層21の半導体積層体10とは反対の側の面の少なくとも一部を覆い、第1電極14と第1柱部31aとを電気的に接続する。第1接続部32aは、例えばX−Y平面に沿って延在する部分を含むことができる。
【0040】
このように、第1絶縁層21が、第1柱部31aの少なくとも一部と半導体積層体10との間に設けられるときにおいて、第1導電部30aは、第1接続部32aをさらに含むことができる。
【0041】
第2導電部30bは、第2接続部32bをさらに含むことができる。第2接続部32bは、第2電極15と第2柱部31bとを電気的に接続する。第2接続部32bは、例えばX−Y平面に沿って延在する部分を含むことができる。
【0042】
すなわち、後述するように、第1絶縁層21が、第2柱部31bの少なくとも一部と半導体積層体10との間に設けられるときにおいて、第2導電部30bは、第1絶縁層21の半導体積層体10とは反対の側の面の少なくとも一部を覆い第2電極15と第2柱部31bとを電気的に接続する第2接続部32bをさらに含むことができる。
【0043】
第1柱部31a、第1接続部32a、第2柱部31b及び第2接続部32bには、例えば、Cu(銅)、Ni(ニッケル)、及び、Al(アルミニウム)などの金属を用いることができる。ただし、実施形態はこれに限らず、第1柱部31a、第1接続部32a、第2柱部31b及び第2接続部32bに用いられる材料は任意である。
【0044】
封止部50は、例えばエポキシ樹脂などの樹脂を用いることができる。封止部50に用いられる樹脂は、例えば石英フィラーやアルミナフィラーなどのフィラーを含有することができる。これにより、封止部50の熱伝導率を上昇させることができ、これにより放熱性を高め、半導体積層体の温度上昇を抑制でき、発光効率を向上できる。
【0045】
第1絶縁層21の弾性率は、半導体積層体10の弾性率よりも低く設定されることができる。第1絶縁層21の弾性率は、第1柱部31aの弾性率及び第2柱部31bの弾性率よりも低く設定されることができる。
【0046】
第1絶縁層21には、例えば、ポリイミドなどの樹脂を用いることができる。
すなわち、半導体積層体10に含まれる半導体層は例えばGaNであり、GaNの弾性率は、約180ギガパスカル(GPa)である。第1柱部31b及び第2柱部31bに用いられる例えばCuの弾性率は110GPaである。そして、第1絶縁層21に用いられるポリイミドの弾性率は、2.8GPaである。このように、第1絶縁層21としてポリイミドなどの樹脂を用いた場合には、第1絶縁層21の弾性率は、半導体積層体10の弾性率、第1柱部31aの弾性率及び第2柱部31bの弾性率よりも著しく低くすることができる。
【0047】
このように、半導体発光装置110においては、第1導電部30aの第1柱部31aと、半導体積層体10との間に、半導体積層体10の弾性率よりも低い弾性率を有する第1絶縁層21を設けることで、半導体積層体10に加わる応力を緩和できる。
【0048】
例えば、半導体積層体10の窒化物半導体(例えばGaN)の線膨張係数は、5.6ppm/℃であるのに対し、第1導電部30a及び第2導電部30b(例えば第1柱部31a及び第2柱部31b)に用いられる金属(例えばCu)の線膨張係数は、16.5ppm/℃である。このため、例えば、半導体積層体10の半導体層と、第1導電部30a(第1柱部31a)の金属と、が隣接または近接している場合には、両者の線膨張係数の差によって、半導体積層体10に大きな応力が加わり、これにより、半導体積層体10の発光層13の発光効率が低下するなど、所望の特性が得られない場合がある。また、信頼性が低下する場合もある。
【0049】
これに対し、第1柱部31aと半導体積層体10との間に、弾性率が低い第1絶縁層21を設けることで、半導体積層体10に加わる応力を緩和でき、発光効率の低下が抑制でき、所望の特性が得られる。また、信頼性の低下も抑制できる。
【0050】
なお、例えば発光部をリードフレームなどに実装し、ワイヤボンディングなどの手法によって電気的な接続を行う場合は、発光部の熱はリードフレームを介して放熱され、発光部の半導体層に大きな応力が加わることはあまり問題にならない。
【0051】
これに対し、本実施形態に係る半導体発光装置110においては、リードフレームやワイヤなどを用いず、第1柱部31a及び第2柱部31bによって電気的な接続を行うことで、半導体発光装置110を小型化している。そして、例えば、第1柱部31a及び第2柱部31bを介して半導体積層体10で発生する熱を放熱させるために、半導体積層体10に近接または接触して、大きな断面積を有する第1柱部31a及び第2柱部31bが設けられる。このような構成においては、半導体積層体10と、第1柱部31a及び第2柱部31bと、の間の線膨張係数の差に起因した応力が半導体積層体10に加わり易い。
【0052】
本実施形態に係る半導体発光装置110においては、第1柱部31aと半導体積層体10との間に、弾性率が低い第1絶縁層21を設けることで、半導体積層体10に加わる応力を緩和する。このように、半導体発光装置110によれば、半導体層に加わる応力を緩和し、発光効率の向上が可能な半導体発光装置が提供できる。
そして、この効果は、第1柱部31a及び第2柱部31bを設け、これらを介して電気的な接続を行うことで小型化を実現する構成において特に効果的に発揮される。
【0053】
すなわち、このような構成を採用することで、半導体発光装置110において、小型化が可能となる。
例えば、半導体発光装置110のX−Y平面に平行な面の大きさは、下面電極タイプの電子部品の最小サイズとされることができる。例えば、半導体発光装置110のX−Y平面に平行な面は、600μm×300μmの長方形とすることができる。例えば、半導体発光装置110の外形は、例えば600μm×300μm×300μmの直方体とすることができる。半導体発光装置110のX−Y平面に平行な面は、1000μm×500μmの長方形とすることができる。例えば、半導体発光装置110の外形は、例えば1000μm×500μm×500μmの直方体とすることができる。ただし、実施形態はこれに限らず、半導体発光装置110のX−Y平面に対して平行な面の大きさ及び形状、並びに、半導体発光装置110の大きさ及び形状は、任意である。
【0054】
なお、第1絶縁層21は、耐熱性が高いことが望ましい。すなわち、第1絶縁層21は、例えば、はんだのリフロー工程における260℃程度の温度に対する耐熱性を有することが望ましい。第1絶縁層21は、半導体発光装置の信頼性及び安全性の観点で、絶縁性が高いことが望ましい。例えば、第1絶縁層21は、400kV/mm以上の高い絶縁性を有することが望ましい。第1絶縁層21は、一般的な半導体工程で使用可能なことが望ましい。このような観点で、第1絶縁層21には、ポリイミドが好適に用いられる。
【0055】
以下、半導体発光装置110の構成の例についてさらに説明する。
蛍光体層61には、例えば、光を吸収し、その光の波長よりも長い波長を有する光を放出する蛍光体の粒子を混合した樹脂を用いることができる。この蛍光体は、例えば、青色光、紫光、及び、紫外光の少なくともいずれかの光を吸収し、その光よりも長い波長を有する光(例えば、緑色光、黄色光及び赤色光など)を放出する。蛍光体が混合される樹脂には、例えばシリコーン樹脂が用いられる。蛍光体層61の厚さは、例えば200μmとされる。蛍光体層61に用いられるシリコーン樹脂には、例えば、屈折率が約1.5のメチルフェニルシリコーンを用いることができる。ただし、実施形態はこれに限らず、蛍光体層61に含まれる樹脂及び蛍光体は任意である。
【0056】
なお、既に説明したように、第2電極15は、導電層と、その導電層と第2半導体層12との間に設けられた反射層を含むことができる。この反射層は、例えばAg及びAlの少なくともいずれかを含有することができる。この反射層の厚さは、例えば0.3μmとすることができる。この反射層は、例えば、第2半導体層12の第2主面10aの側の実質的に全部の領域に設けることができる。これにより、発光層13から放出された発光光を効率的に第1主面10bに向けて反射することができる。ただし、反射層が設けられる領域は、任意であり、例えば、反射層は、第2半導体層12の第2主面10aの側の一部の領域に設けられても良い。
【0057】
また、第2電極15は、上記の反射層と、第2半導体層12と、の間に設けられたコンタクト電極層をさらに含んでも良い。このコンタクト電極層は、例えば、Au層(金層)と、Au層と第2半導体層12との間に設けられたNi層(ニッケル層)と、を含むことができる。なお、Ni層の厚さは0.1μmとすることができ、Au層の厚さは0.1μmとすることができる。
【0058】
第1電極14は、例えば、Au層と、Au層と第1半導体層11との間に設けられたNi層と、を含むことができる。このAu層の厚さは例えば0.1μmとすることができ、このNi層の厚さは0.1μmとすることができる。第1電極14は、例えば、第1半導体層11の第2主面10aの側の実質的に全部の領域に設けられることができる。ただし、第1電極14が設けられる領域は任意であり、第1電極14は第1半導体層11の第2主面10aの側の少なくとも一部に設けられる。
なお、第1電極14は、導電層と、その導電層と第1半導体層11との間に設けられた反射層と、を含んでも良い。このように、第1電極14は積層構造を有することができる。
第2電極15の導電層は、例えば、Au層と、Au層と第2半導体層12との間に設けられたNi層と、を含むことができる。このAu層の厚さは例えば0.1μmとすることができ、このNi層の厚さは0.1μmとすることができる。第2電極15は、例えば、第2半導体層12の第2主面10aの側の実質的に全部の領域に設けられることができる。ただし、第2電極15が設けられる領域は任意であり、第2電極15は第2半導体層12の第2主面10aの側の少なくとも一部に設けられる。
【0059】
第1導電部30aに含まれる第1接続部32aには、例えばCu等の金属が用いられる。第1接続部32aは、第1層と、第2層と、を含むことができる。第1層は、第2層と第1電極14との間に設けられる。すなわち、第1層は第1電極14に接する。第1層は、例えばシード層であり、第2層は、例えばメッキ層である。第1層の厚さは、例えば約1μmとすることができる。第2層の厚さは、例えば10μmとすることができる。
【0060】
第2導電部30bに含まれる第2接続部32bには、例えばCu等の金属が用いられる。第2接続部32bは、第3層と、第4層と、を含むことができる。第3層は、第4層と第2電極15との間に設けられる。すなわち、第3層は第2電極15に接する。第3層は、例えばシード層であり、第4層は、例えばメッキ層である。第3層は、第1層と同層であり、第3層には、第1層に用いられる材料と同じ材料を用いることができる。第4層は第2層と同層であり、第4層には、第2層に用いられる材料と同じ材料を用いることができる。第3層の厚さは、例えば約1μmとすることができる。第4層の厚さは、例えば10μmとすることができる。
【0061】
ただし、第1〜第4層の面積、形状及び厚さは任意である。第1接続部32a及び第2接続部32bは、単層の薄膜でも良く、上記のように、積層膜でも良い。第1接続部32aは、第1層及び第2層に積層された他の層をさらに有しても良い。第2接続部32bは、第3層及び第4層に積層された他の層をさらに有しても良い。
【0062】
第1柱部31a及び第2柱部31bには、例えばCu等の金属を用いることができる。第1柱部31a及び第2柱部31bの厚さ(Z軸方向に沿った長さ)は、例えば60μm程度とすることができる。第1接続部32aによって、第1電極14と第1柱部31aとが電気的に接続される。第2接続部32bによって、第2電極15と第2柱部31bとが電気的に接続される。
【0063】
第1柱部31a及び第2柱部31bに用いられる材料、断面の形状、断面積及び厚さは上記に限らず任意である。
【0064】
封止部50には、例えば、熱硬化性樹脂を用いることができる。封止部50の厚さは、第1柱部31a及び第2柱部31bの厚さと同程度であり、例えば、60μm程度である。封止部50は、第1導電部30aの第1端面31ae、及び、第2導電部30bの第2端面31beを露出しつつ、第1導電部30aの側面(第1柱部31aの側面及び第1接続部32aの側面)、及び、第2導電部30bの側面(第2柱部31bの側面及び第2接続部32bの側面)を覆う。封止部50は、さらに、第1接続部32a及び第2接続部32bの半導体積層体10とは反対側の面を覆うことができる。さらに、封止部50は、半導体積層体10の第2主面10aの側の全体を覆うことができる。
【0065】
以下、半導体発光装置110の製造方法の例について説明する。
図2(a)〜図2(e)、図3(a)〜図3(e)、及び、図4(a)〜図4(e)は、第1の実施形態に係る半導体発光装置の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
すなわち、これらの図は、図1(b)のA−A’線断面に相当する断面図である。
本製造方法は、複数の半導体発光装置110をウェーハレベルで一括して製造する方法である。
【0066】
図2(a)に表したように、半導体積層体10が形成された基板10sが用いられる。なお、基板10sには、例えばサファイア基板が用いられる。基板10sのサイズは、例えば直径が4インチであり、基板10sの厚さは、例えば500μm程度である。なお、半導体積層体10の形成方法は、例えば以下である。すなわち、基板10s上に、窒化物半導体の、第1半導体層11となる結晶膜、発光層13となる結晶膜、及び、第2半導体層12となる結晶膜が、エピタキシャル成長され、これらの結晶膜が、例えばRIE(Reactive Ion Etching)処理によりエッチングされ、第2主面10aの側に第1半導体層11の一部を露出させる。さらに、これらの結晶膜が、例えばRIE処理により加工され、個別化され、複数の半導体積層体10が形成される。
【0067】
次に、図2(b)に表したように、半導体積層体10の第2主面10aに、第1電極14及び第2電極15となる膜を形成し、所定の形状にこの膜を加工し、第1電極14及び第2電極15を形成する。さらに、保護層18を形成する。なお、図2(b)においては、煩雑さを避けるために、保護層18は図示されていない。
【0068】
具体的には、例えば、半導体積層体10の第2主面10aに、コンタクト電極層となる膜を形成する。すなわち、厚さが0.1μmのNi膜を形成し、その上に厚さが0.1μmのAu膜を形成する。これにより、コンタクト電極層となる膜が形成される。Ni膜及びAu膜の形成には例えばスパッタ法を用いることができる。さらに、このAu膜の上に、反射層となる膜が形成される。すなわち、反射層となる膜として、Ag及びAlの少なくともいずれかを含む、例えば厚さが0.3μmの膜が形成される。この場合にもスパッタ法を用いることができる。これにより、反射層となる膜が形成される。
【0069】
さらに、反射層となる膜の上に、第1電極14及び第2電極15の導電層となる導電膜が形成される。すなわち、反射層となる膜の上に、例えば0.1μmのNi膜を形成し、その上に厚さが0.1μmのAu膜を形成する。このNi膜及びAu膜の形成にも、例えばスパッタ法を用いることができる。
【0070】
上記のコンタクト電極層となる膜、反射層となる膜、第1電極14及び第2電極15の導電層となる導電膜を所定の形状に加工する。これにより、第1電極14及び第2電極15が形成される。なお、上記の各膜の加工には、例えばリフトオフ法などの任意の方法を用いることができる。なお、コンタクト電極層、反射層、及び、第1電極14の導電層は、互いに異なるパターン形状を有することができる。コンタクト電極層、反射層、及び、第2電極15の導電層は、互いに異なるパターン形状を有することができる。
【0071】
さらに、第1電極14の少なくとも一部を除き、第2電極15の少なくとも一部を除く領域に、保護層18となる、例えば、厚さが0.3μmのSiO2膜を例えばCVD法により形成し、例えばドライエッチングやウエットエッチングによって加工し、保護層18を形成する。
【0072】
次に、図2(c)に表したように、半導体積層体10の第2主面10aの、第1柱部31aの少なくとも一部、及び、第2柱部31bの少なくとも一部、の少なくともいずれかに対応する領域に、第1絶縁層21を形成する。本具体例では、第1柱部31aの一部に対応する領域の半導体積層体10の上に第1絶縁層21が設けられる。この第1絶縁層21は、第1電極14の少なくとも一部を除き、第2電極15の少なくとも一部を除く領域に形成される。なお、本具体例では、第1絶縁層21は、複数の半導体積層体10どうしの間にさらに設けられる。
【0073】
第1絶縁層21には、例えばポリイミドやPBO(ポリベンゾオキサゾール)が用いられる。すなわち、例えば、半導体積層体10の第2主面10aの全面に、第1絶縁層21となるポリイミド膜を形成し、例えばマスクを用いた露光と、現像と、を行うことにより、選択的に第1絶縁層21を形成する。加工された第1絶縁層21は、必要に応じてベーキングされる。
【0074】
そして、この後、第1絶縁層21の上に、第1導電部30aの少なくとも一部、及び、第2導電部30bの少なくとも一部となる導電膜を形成する。この導電膜は、第1絶縁層21に覆われていない第1電極14の少なくとも一部と、第1絶縁層21に覆われていない第2電極15の少なくとも一部と、を覆うように、形成されることができる。具体的には以下の処理が行われる。
【0075】
すなわち、図2(d)に表したように、例えば、基板10sの第2主面10aの側の全面に、第1接続部32aの第1層、及び、第2接続部32bの第3層、となるシード層33を形成する。シード層33は、例えば、蒸着法やスパッタ法などの物理的被着法により形成される。シード層33は、後述するメッキ工程における給電層として機能する。シード層33には、例えば、Ti膜とCu膜との積層膜を用いることができる。なお、シード層33のTi層により、Cu膜と、レジストやパッド(第1電極14及び第2電極15)と、の密着強度を高めることができる。Ti層の厚さは、例えば0.2μm程度とされる。一方、シード層33のCu膜は、主に給電に寄与する。Cu膜の厚さは、0.2μm以上とすることが望ましい。
【0076】
次に、図2(e)に表したように、第1接続部32a及び第2接続部32bに対応する領域を除く領域に、第1レジスト層37を形成する。第1レジスト層37には、例えば、感光性の液状レジストやドライフィルムレジストを用いることができる。第1レジスト層37は、第1レジスト層37となる膜を形成した後に、所定の開口部を有する遮光マスクを用いた露光と、現像と、を実施することにより形成される。なお、必要に応じて第1レジスト層37はベーキングされる。
【0077】
次に、図3(a)に表したように、第1レジスト層37が設けられていない領域に、第1接続部32aの第2層、及び、第2接続部32bの第4層、となる接続部導電膜32fを形成する。接続部導電膜32fは、例えば、電気メッキ法により形成される。電気メッキ法においては、例えば、硫酸銅と硫酸とからなるメッキ液中に、上記の被加工体が設けられた基板10sを浸漬し、シード層33と直流電源の負極とを接続し、基板10sの被メッキ面と対向するように設置したアノードとなるCu板と直流電源の陽極とを接続する。そして、負極と陽極との間に電流を通電し、Cuのメッキを行う。メッキ工程において、メッキ膜の厚さは時間の経過と共に増加し、メッキ膜の厚さが必要な厚さに達したときに通電が停止されてメッキが完了する。これにより、メッキ膜からなる接続部導電膜32fが、第1レジスト層37の開口部に形成される。
【0078】
第1電極14に対応する位置のシード層33(第1層)と、第1電極14に対応する位置の接続部導電膜32f(第2層)と、が第1接続部32aとなる。第2電極15に対応する位置のシード層33(第3層)と、第2電極15に対応する位置の接続部導電膜32f(第4層)と、が第2接続部32bとなる。
【0079】
このように、シード層33及び接続部導電膜32fが、第1導電部30aの少なくとも一部、及び、第2導電部30bの少なくとも一部となる導電膜に相当する。
【0080】
この導電膜となるシード層33及び接続部導電膜32fは、第1絶縁層21に覆われていない第1電極14の少なくとも一部と、第1絶縁層21に覆われていない第2電極15の少なくとも一部と、を覆うように形成されている。
【0081】
この後、第1接続部32aの上に、第1柱部31aを形成し、第2接続部32bの上に、第2柱部31bを形成する。具体的には、例えば以下の処理が行われる。
【0082】
図3(b)に表したように、第1柱部31a及び第2柱部31bに対応する領域を除く領域に第2レジスト層38を形成する。第2レジスト層38に用いられる材料、及び、第2レジスト層38の形成には、第1レジスト層37に関して説明した材料及び方法を採用することができる。
【0083】
次に、図3(c)に表したように、第2レジスト層38が設けられていない領域に、第1柱部31a及び第2柱部31bとなる柱部導電膜31fを形成する。柱部導電膜31fも、例えば、電気メッキ法により形成される。柱部導電膜31fの形成には、接続部導電膜32fの形成に関して説明した材料及び方法を適用することができる。第1接続部32aに接続される部分の柱部導電膜31fが第1柱部31aとなり、第2接続部32bに接続される部分の柱部導電膜31fが第2柱部31bとなる。なお、柱部導電膜31fは、第1導電部30aの少なくとも一部、及び、第2導電部30bの少なくとも一部となる導電膜に含まれることができる。
【0084】
次に、図3(d)に表したように、第1レジスト層37及び第2レジスト層38を除去する。さらに、露出したシード層33を、例えば、酸洗浄により除去する。なお、接続部導電膜32fに覆われているシード層33は、第1層及び第3層として残存し、それぞれ第1接続部32a及び第2接続部32bに含まれる。
【0085】
次に、図3(e)に表したように、基板10sの第2主面10aの側の面に、封止部50となる樹脂層50fを形成する。樹脂層50fには、例えば、熱硬化性樹脂を用いることができる。例えば、印刷等の手法によって、第1柱部31a及び第2柱部31bが埋没する程度の厚さで、基板10sの第2主面10aの側の面に樹脂層50fとなる膜を形成し、加熱して硬化させ樹脂層50fを形成する。樹脂層50fの硬化の際の加熱条件は、例えば、150℃程度で2時間程度とされる。
【0086】
次に、図4(a)に表したように、樹脂層50fの表面を研削し、第1柱部31a及び第2柱部31bを露出させる。これにより、封止部50が形成される。なお、この研削において、樹脂層50fの研削と共に、第1柱部31aの一部と、第2柱部31bの一部と、を研削することができ、これにより、第1柱部31aの第1端面31ae、及び、第2柱部31bの第2端面31beは、封止部50の第2主面10aとは反対の側の面を含む面内に配置される。
【0087】
なお、上記の研削には、例えば、回転研磨ホイールを用いることができる。回転研削によって、平坦性を確保しながら研削を実施することができる。なお、研削後に、必要に応じて、乾燥が行われる。
【0088】
次に、図4(b)に表したように、半導体積層体10から基板10sを除去する。すなわち、例えば、基板10sの半導体積層体10とは反対側の面から、基板10sを介して、半導体積層体10に含まれる層(例えばGaN層)にレーザ光を照射し、この層の少なくとも一部を分解することで、半導体積層体10から基板10sを分離する。このレーザ光には、例えば、GaNの禁制帯幅に基づく禁制帯幅波長よりも短い波長を有するレーザ光を用いることができる。例えば、Nd:YAGの三倍高調波レーザを用いることができる。ただし、用いられるレーザ光は任意である。
【0089】
次に、図4(c)に表したように、本具体例では、半導体積層体10の第1主面10bに、光学層60の一部となる透光部62を形成する。すなわち、半導体積層体10の第1主面10bに、例えば、液状の透明樹脂層を印刷等によって塗布し、所定の形状を有する型をこの透明樹脂層に押し付け、透明樹脂層を所定の形状に変形させた後に、型を離型し、必要に応じて加熱及び紫外線照射の少なくともいずれかの処理を施して硬化させ、透光部62を形成する。この方法を採用することにより、所望の形状を有する型を用いることで任意の形状を有する透光部62を容易に形成することができる。
【0090】
次に、図4(d)に表したように、透光部62を覆うように蛍光体層61となる蛍光体膜61fを形成する。蛍光体膜61fは、例えば、蛍光体の粒子と、シリコーン樹脂と、が混合された樹脂材料を、透光部62を覆うように、スピンコートまたは印刷により塗布し、その後、樹脂材料を加熱硬化して形成される。この樹脂材料には、例えば、150℃で1時間の加熱により硬化する材料が用いられる。
【0091】
そして、図4(e)に表したように、封止部50となる樹脂層50f、及び、蛍光体層61となる蛍光体膜61fを切断し、複数の半導体積層体10のそれぞれを分離する。これにより、複数の半導体発光装置110が一括して製造できる。なお、上記の切断には、例えばダイサによるダイシング法を採用することができる。
【0092】
上記の製造方法においては、ウェーハレベルで一括して、電極、封止部及び光学層を形成することができ、生産性が高い。また、ウェーハレベルでの検査も可能となる。これにより生産性高く半導体発光装置を製造できる。また、リードフレーム、導電性基板及びボンディングワイヤなどのような部材を必要としないため、小型化が容易にできる。また、低コスト化も可能になる。
【0093】
なお、図4(b)に関して説明した、半導体積層体10から基板10sを分離する工程において、第1絶縁層21となる膜に高い温度が加わる場合があることがある。すなわち、基板10sの半導体積層体10とは反対側の面から、基板10sを介して、半導体積層体10にレーザ光を照射する際に、複数の半導体積層体10どうしの間において、第1絶縁層21となる膜が加熱されることがある。このときの加熱による第1絶縁層21となる膜の劣化を抑制するために、第1絶縁層21となる膜には、耐熱性の高い材料を用いることが望ましい。
【0094】
例えば、第1絶縁層21には、封止部50に用いられる樹脂よりも耐熱性が高い樹脂を用いることが、より望ましい。すなわち、第1絶縁層21の熱分解温度は、封止部50の熱分解温度よりも高いことが、より望ましい。例えば、第1絶縁層21には、熱分解温度が380℃程度以上のポリイミドを用いることができ、封止部50には、例えば、熱分解温度が280℃以上300℃以下程度のエポキシ樹脂を用いることができる。なお、熱分解温度は、例えば、加熱によって重量が一定の割合(例えば5パーセント)で減少するときの温度を採用することができる。
【0095】
また、第1絶縁層21となる膜がフィラーを含んだ場合においては、第1絶縁層21となる膜に加わる高温によってフィラーに起因した不良が発生することがある。この不良を抑制するため、第1絶縁層21に含まれるフィラーの含有率は、封止部50に含まれるフィラーの含有率よりも低く設定されることが望ましい。例えば、第1絶縁層21には、実質的にフィラーを含まないポリイミドを用いることができる。
【0096】
図5(a)〜図5(c)、及び、図6(a)〜図6(c)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式的断面図である。
すなわち、これらの図は、図1(b)のA−A’線断面に相当する断面図である。
【0097】
図5(a)に表したように、本実施形態に係る別の半導体発光装置110aにおいては、透光部62が凸レンズの形状を有している。
【0098】
さらに、透光部62の厚さが一定であっても良い。すなわち、透光部62は、レンズ作用を有する他、半導体積層体10の温度上昇を抑制する作用を有することもできる。すなわち、蛍光体層61においては、波長変換の際に一部のエネルギーが吸収され発熱するが、透光部62を蛍光体層61と半導体積層体10との間に設けることで、蛍光体層61を半導体積層体10から離すことができ、半導体積層体10の温度の上昇を抑制できる。
このように、透光部62の形状は任意である。
【0099】
図5(b)に表したように、別の半導体発光装置110bにおいては、光学層60には、蛍光体層61が設けられているが、透光部62が設けられていない。このように、透光部62は、必要に応じて設けられる。
【0100】
図5(c)に表したように、本実施形態に係る別の半導体発光装置110cにおいては、光学層60は、蛍光体を含む蛍光体層61と、蛍光体層61の半導体積層体10とは反対側に設けられた硬質膜63と、を有する。硬質膜63は、蛍光体層61の硬度よりも高い硬度を有する。硬質膜63は透光性を有する。硬質膜63には、例えば硬度の高いシリコーン樹脂を用いることができる。硬質膜63の形成には、例えば、スピンコート法または印刷法を採用できる。また、硬質膜63には、例えば窒化シリコンや酸化シリコンなどを用いることができる。この場合には、硬質膜63は、例えばスパッタなどの方法によって形成される。ただし、硬質膜63の材料及び形成方法は任意である。
【0101】
硬質膜63を設けることで、半導体発光装置110cの発光面(光学層60の側の面)において高い硬度が得られるため、例えば、半導体発光装置110cのハンドリングが容易になる。
【0102】
例えば、蛍光体層61に用いられるシリコーン樹脂の硬度が低い場合において、光学層60の最表面(半導体積層体10から最も離れた面)に蛍光体層61が露出していると、例えば、半導体発光装置をコレットでピックアップする際に、蛍光体層61がコレットに密着し適切な実装が行われ難い場合がある。このとき、蛍光体層61よりも硬度が高い硬質膜63を蛍光体層61の上に設けることで、良好な実装がより実施し易くなる。
【0103】
図6(a)、図6(b)及び図6(c)に表したように、本実施形態に係る別の半導体発光装置110d、110e及び110fにおいては、第1接続部32a及び第2接続部32bが設けられていない。この場合にも、第1柱部31aと半導体積層体10との間に第1絶縁層21が設けられることで、半導体層に加わる応力を緩和し、発光効率の向上が可能な半導体発光装置が得られる。
【0104】
なお、図6(a)に例示した半導体発光装置110dにおいては、透光部62は、凸レンズの形状を有しているが、半導体発光装置110のように、透光部62の形状を凹レンズの形状としても良い。また、透光部62の厚さは一定としても良い。
【0105】
なお、図6(b)に例示した半導体発光装置110eは、透光部62が省略される例であり、図6(c)に例示した半導体発光装置110fは、図5(c)に関して説明した硬質膜63が設けられる例である。
【0106】
図7(a)及び図7(b)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
すなわち、図7(b)は模式的平面図であり、図7(a)は、図7(b)のB−B’線断面図である。
【0107】
図7(a)及び図7(b)に表したように、本実施形態に係る半導体発光装置111においては、第1絶縁層21は、第1柱部31aの少なくとも一部と半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bの少なくとも一部と半導体積層体10との間に設けられている。
【0108】
この場合にも、第1絶縁層21は、第1導電部30aと、第1電極14の一部と、の間にさらにも設けられることができる。本具体例では、第1絶縁層21は、第1柱部31aの少なくとも一部と、第1電極14の一部と、の間にさらに設けられている。ただし、第1導電部30aと第1電極14との電気的な接続を実現するために、第1絶縁層21は、第1電極14の少なくとも一部の上には設けられていない。第1絶縁層21は、例えば、第1開口部20o1を有し、第1開口部20o1において、第1導電部30aと第1電極14との電気的な接続が行われる。
【0109】
さらに、本具体例では、第1絶縁層21は、第2導電部30bと、第2電極15の一部と、の間にさらに設けられている。そして、第2導電部30bと第2電極15との電気的な接続を実現するために、第1絶縁層21は、第2電極15の少なくとも一部の上には設けられていない。すなわち、第1絶縁層21は、例えば、第2電極15の側の第2開口部20o2を有し、第2開口部20o2において、第2導電部30bと第2電極15との電気的な接続が行われる。第2開口部20o2は、第1絶縁層21を貫通する孔を含む。第2開口部20o2は、第2電極15の端部から後退し第2電極15を露出させる部分を便宜的に含むことができる。すなわち、第2開口部20o2は、第1絶縁層21のうちで第2電極15の少なくとも一部を露出させる部分を含むことができ、その形状は任意である。第2開口部20o2の数は、任意である。
【0110】
このような構成を有する半導体発光装置111においても、第1柱部31aと半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bと半導体積層体10との間に、第1絶縁層21が設けられることで、半導体層に加わる応力を緩和し、発光効率の向上が可能な半導体発光装置が提供できる。
【0111】
なお、半導体発光装置111においては、第1絶縁層21は、第1柱部31aと半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bと半導体積層体10との間、の両方に設けられている。すなわち、半導体発光装置111においては、第2柱部31bの半導体積層体10の側の面(例えば全面)と、第2電極15と、の間に第1絶縁層21が設けられている。これにより、応力の緩和効果がより大きくなる。
【0112】
なお、既に説明した半導体発光装置110、及び、110a〜110fにおいては、第1絶縁層21は、第1柱部31aと半導体積層体10との間に設けられているが、第1絶縁層21は、第2柱部31bと半導体積層体10との間には設けられていない。第1絶縁層21として、弾性率が低い例えばポリイミドを用いた場合において、ポリイミドの熱伝導率が比較的低いため、応力緩和のために第1絶縁層21を設けることによって放熱性が低下する場合がある。
【0113】
このため、半導体発光装置110、及び、110a〜110fのように、第1絶縁層21を、第1柱部31aと半導体積層体10との間に設け、第2柱部31bと半導体積層体10との間には設けない構成として、応力緩和と放熱性との両方の特性を向上させる構成を採用することができる。また、半導体発光装置111のように、第1絶縁層21を、第1柱部31aと半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bと半導体積層体10との間の両方に設け、応力緩和の特性を大きく向上させる構成を採用することもできる。このように、応力緩和と放熱性との観点から、第1絶縁層21を設ける領域を適切に設定することができる。
【0114】
なお、第1絶縁層21を、第1柱部31aと半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bと半導体積層体10との間、の両方に設ける構成は、半導体発光装置110a〜110fのいずれかにも適用できる。
【0115】
図8は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式的斜視図である。
図9(a)、図9(b)及び図9(c)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
すなわち、図9(c)は模式的平面図であり、図9(a)は、図9(c)のC−C’線断面図であり、図9(b)は、図9(c)のD−D’線断面図である。
図10(a)、図10(b)、図10(c)及び図10(d)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の要素の構成を例示する模式図である。
すなわち、これらの図は、本実施形態に係る別の半導体発光装置112に含まれる構成要素のZ軸方向に沿ってみたときのパターン形状を例示する図である。図10(a)は、第1電極14及び第2電極15のパターン形状を例示し、図10(b)は、第1絶縁層21のパターン形状を例示し、図10(c)は、第1接続部32a及び第2接続部32bのパターン形状を例示し、図10(d)は、第1柱部31a及び第2柱部31bのパターン形状を例示している。
【0116】
図8、図9(a)〜図9(c)に表したように、本実施形態に係る別の半導体発光装置112においては、第2柱部31bが2つ設けられている。そして、半導体発光装置112及び半導体積層体10をZ軸方向からみたときの形状が、略正方形とされている。
【0117】
なお、第1導電部30aの第1柱部31aの半導体積層体10とは反対の側の端に、第1接続部材72aが設けられ、第2導電部30bの第2柱部31bの半導体積層体10とは反対の側の端に、第2接続部材72bが設けられている。第1接続部材72a及び第2接続部材72bには、はんだを用いることができる。第1接続部材72a及び第2接続部材72bは省略しても良い。なお、第1柱部31aの第1端面31ae(第1接続部材72aと接する部分)、及び、第2柱部31bの第1端面31be(第2接続部材72bと接する部分)に、表面層を設けても良い。この表面層には、例えば、水溶性プリフラックス、無電解Ni/Ajuメッキ、及び、AuSnメッキなどの少なくともいずれかの処理が行われた層を用いることができる。これにより、第1端面31ae及び第2端面31beにおけるはんだとの濡れ性が向上でき、実装性が向上する。
【0118】
本具体例においても、光学層60は、蛍光体層61を有し、さらに、透光部62及び硬質膜63を有しても良い。
【0119】
図10(a)に表したように、第1電極14は、半導体積層体10の1つの辺の中央部に近接して設けられている。一方、第2電極15は、半導体積層体10の第1電極14を除く領域に設けられている。第2電極15の面積は、第1電極14の面積よりも大きい。これにより、放熱性が向上し、また、電流の注入効率が向上し、発光効率が向上できる。
【0120】
図10(b)及び図9(a)に表したように、第1絶縁層21には、第1開口部20o1と、複数の第2開口部20o2と、が設けられている。複数の第2開口部20o2の1つのパターン形状は、例えば10μm×10μmの略正方形である。
【0121】
図9(a)に例示したように、第1開口部20o1により、第1電極14の少なくとも一部が露出されている。そして、図9(b)に例示したように、複数の第2開口部20o2により、第2電極15の一部が露出されている。
【0122】
図10(c)及び図9(a)に表したように、第1接続部32aは、第1開口部20o1から露出された第1電極14の少なくとも一部を覆うパターン形状を有している。そして、図10(c)及び図9(b)に表したように、第2接続部32bは、複数の第2開口部20o2から露出された第2電極15の一部を覆うパターン形状を有している。
【0123】
図10(d)に表したように、第1柱部31aは、Z軸方向に沿ってみたときに、第1接続部32aと重なるパターン形状を有している。そして、図10(d)に表したように、第2柱部31bは、Z軸方向に沿ってみたときに、第2接続部32bと重なるパターン形状を有している。
【0124】
このようなパターン形状を採用することで、第1柱部31aは、第1接続部32aを介して、第1開口部20o1から露出する第1電極14と電気的に接続される。そして、第2柱部31bは、第2接続部32bを介して、複数の第2開口部20o2から露出する第2電極15と電気的に接続される。
【0125】
そして、本具体例では、第1絶縁層21は、第1柱部31aの半導体積層体10の側の面(例えば全面)と、半導体積層体10と、の間に設けられている。第1絶縁層21は、第2柱部31bの半導体積層体10の側の面(例えば全面)と、半導体積層体10と、の間にさらに設けられている。具体的には、第1絶縁層21は、第2柱部31bの半導体積層体10の側の面(例えば全面)と、第2電極15と、の間に設けられている。
【0126】
このように、第1柱部31aの直下、及び、第2柱部31bの直下、に、第1絶縁層21を設けることで、第1柱部31a及び第2柱部31bの両方に対応する領域において、半導体層に加わる応力を緩和することができる。
【0127】
図11(a)、図11(b)及び図11(c)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
すなわち、図11(c)は模式的平面図であり、図11(a)は、図11(c)のE−E’線断面図であり、図11(b)は、図11(c)のF−F’線断面図である。
図12(a)、図12(b)、図12(c)及び図12(d)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の要素の構成を例示する模式図である。
すなわち、これらの図は、本実施形態に係る別の半導体発光装置112aに含まれる構成要素のZ軸方向に沿ってみたときのパターン形状を例示する図である。図12(a)〜図12(d)は、第1電極14及び第2電極15のパターン形状、第1絶縁層21のパターン形状、第1接続部32a及び第2接続部32bのパターン形状、並びに、第1柱部31a及び第2柱部31bのパターン形状を、それぞれ例示している。
【0128】
図11(a)〜図11(c)に表したように、半導体発光装置112aにおいても、第2柱部31bが2つ設けられている。
【0129】
図12(a)に表したように、第1電極14及び第2電極15のパターン形状は、半導体発光装置112と同様であるので説明を省略する。
【0130】
図12(b)に表したように、半導体発光装置112aにおいては、第1絶縁層21には、1つの第1開口部20o1と、1つの第2開口部20o2と、が設けられている。そして、第1絶縁層21は、第2柱部31bが設けられる領域には設けられていない。すなわち、第2柱部31bが設けられる領域には、第2開口部20o2が配置される。
【0131】
図11(a)に例示したように、第1開口部20o1により、第1電極14の少なくとも一部が露出されている。そして、図11(b)に例示したように、第2開口部20o2により、第2電極15の一部が露出されている。
【0132】
図12(c)及び図11(a)に表したように、第1接続部32aは、第1開口部20o1から露出された第1電極14の少なくとも一部を覆うパターン形状を有している。そして、図12(c)及び図11(b)に表したように、第2接続部32bは、第2開口部20o2から露出された第2電極15の一部を覆うパターン形状を有している。この場合には、第2接続部32bの実質的な全面が、半導体積層体10の第2電極15に直接的に接続されている。
【0133】
図12(d)に表したように、第1柱部31aは、Z軸方向に沿ってみたときに、第1接続部32aと重なるパターン形状を有している。そして、図12(d)に表したように、第2柱部31bは、Z軸方向に沿ってみたときに、第2接続部32bと重なるパターン形状を有している。
【0134】
このようなパターン形状を採用することで、第1柱部31aは、第1接続部32aを介して、第1開口部20o1から露出する第1電極14と電気的に接続される。第2柱部31bは、第2接続部32bを介して、第2開口部20o2から露出する第2電極15と電気的に接続される。
【0135】
本具体例においても、第1絶縁層21は、第1柱部31aの半導体積層体10の側の面(例えば全面)と、半導体積層体10と、の間に設けられている。これにより、第1柱部31aの部分において、半導体層に加わる応力を緩和することができる。そして、本具体例においては、第1絶縁層21は、第2柱部31bと、半導体積層体10と、の間には設けられていない。このため、第2柱部31bは、第1絶縁層21を介さないで、第2接続部32bを介して、半導体積層体10に対向する。このため、半導体積層体10と、第2導電部30b(第2接続部32b及び第2柱部31b)とが、(第2電極15を介して)熱的に接続されるため。熱抵抗が低下でき、放熱性を高めることができる。
【0136】
このように、第1絶縁層21を、第1柱部31aと半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bと半導体積層体10との間、の両方に設ける構成(例えば半導体発光装置112の構成)と、第1絶縁層21を、第1柱部31aと半導体積層体10との間に設け、第2柱部31bと半導体積層体10との間には設けない構成(例えば半導体発光装置112aの構成)とが、応力緩和と放熱性向上とに関する所望の特性に応じて適切に選択される。
【0137】
図13(a)、図13(b)及び図13(c)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
すなわち、図13(c)は模式的平面図であり、図13(a)は、図13(c)のG−G’線断面図であり、図13(b)は、図13(c)のH−H’線断面図である。
図14(a)、図14(b)、図14(c)及び図14(d)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の要素の構成を例示する模式図である。
すなわち、これらの図は、本実施形態に係る別の半導体発光装置112bに含まれる構成要素のZ軸方向に沿ってみたときのパターン形状を例示する図である。図14(a)〜図14(d)は、第1電極14及び第2電極15のパターン形状、第1絶縁層21のパターン形状、第1接続部32a及び第2接続部32bのパターン形状、並びに、第1柱部31a及び第2柱部31bのパターン形状を、それぞれ例示している。
【0138】
図13(a)〜図13(c)に表したように、半導体発光装置112bにおいても、第2柱部31bが2つ設けられている。
【0139】
図14(b)に表したように、半導体発光装置112bにおいては、第1絶縁層21が、第1柱部31aと半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bと半導体積層体10との間、の領域に設けられ、第1絶縁層21は、第1柱部31a及び第2柱部31bに対向する領域を除く領域には設けられていない。これ以外は、半導体発光装置112と同様とすることができるので説明を省略する。
【0140】
このように、第1接続部21は、第1柱部31aの少なくとも一部と半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bの少なくとも一部と半導体積層体10との間の少なくともいずれかに設けられれば良く、第1接続部21は、第1柱部31a及び第2柱部31bに対向する領域を除く領域には設けられなくても良い。
【0141】
(第2の実施の形態)
図15(a)、図15(b)及び図15(c)は、第2の実施形態に係る半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
すなわち、図15(c)は模式的平面図であり、図15(a)は、図15(c)のI−I’線断面図であり、図15(b)は、図15(c)のJ−J’線断面図である。
図16(a)、図16(b)、図16(c)及び図16(d)は、第2の実施形態に係る半導体発光装置の要素の構成を例示する模式図である。
すなわち、これらの図は、本実施形態に係る半導体発光装置120に含まれる構成要素のZ軸方向に沿ってみたときのパターン形状を例示する図である。図16(a)〜図16(d)は、第1電極14及び第2電極15のパターン形状、第1絶縁層21のパターン形状、第1接続部32a及び第2接続部32bのパターン形状、並びに、第1柱部31a及び第2柱部31bのパターン形状を、それぞれ例示している。
【0142】
図15(a)〜図15(c)に表したように、半導体発光装置120においても、第2柱部31bが2つ設けられている。
【0143】
そして、図16(b)に表したように、半導体発光装置120においては、第1絶縁層21が、第1柱部31aと半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bと半導体積層体10との間、の領域に設けられている。
【0144】
さらに、図15(b)及び図16(b)に表したように、半導体積層体10の第1主面に第2絶縁層22が設けられている。この第2絶縁層22は、第1主面10bにおいて第1絶縁層21が設けられていない領域に設けられている。
【0145】
本具体例では、第1絶縁層21は、第1柱部31a及び第2柱部31bに対向する領域を除く領域には設けられていない。そして、第2絶縁層22は、第2主面10aにおいて第1柱部31aに対向する領域を除く領域に設けられている。第2絶縁層22は、第2主面10aにおいて第2柱部31bに対向する領域を除く領域に設けられている。
【0146】
そして、第2絶縁層22は、第1絶縁層21の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する。 例えば、第1絶縁層21には有機材料が用いられ、第2絶縁層22には無機材料が用いられる。なお、第1絶縁層21には、例えば、少量の無機物質が添加された有機材料を用いても良い。
【0147】
例えば、第1絶縁層21としてポリイミドが用いられ、第2絶縁層22としてアルミナが用いられる。ポリイミドの熱伝導率は、例えば約0.15W/(m・K)であり、アルミナの熱伝導率は、約38W/(m・K)である。なお、本実施形態はこれに限らず、第2絶縁層22には、第1絶縁層21に用いられる材料よりも熱伝導率が高い任意の絶縁材料を用いることができる。
【0148】
このように、半導体発光装置120は、半導体積層体10の第2主面10aにおいて、第1絶縁層21が設けられていない領域に設けられ、第1絶縁層21の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する第2絶縁層22をさらに備える。なお、第1電極14と第1導電部30aとの電気的な接続、及び、第2電極15と第2導電部30bとの電気的な接続を実現するために、第2絶縁層22は、第1電極14の少なくとも一部の上、及び、第2電極15の少なくとも一部の上には設けられていない。
【0149】
すなわち、第1柱部31aと半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bと半導体積層体10との間に、半導体積層体10よりも弾性率が低い第1絶縁層21を設け、半導体積層体10に加わる応力を緩和しつつ、熱伝導率が高い第2絶縁層22を設けることで、半導体積層体10の熱を効率良く放熱できる。これにより、半導体層に加わる応力を緩和しつつ、放熱性を向上できる。これにより、例えばさらに発光効率を向上することができる。
【0150】
なお、第2絶縁層22は、第1の実施形態に係る半導体発光装置110、110a〜110f、112、112a及び112bのいずれかにおいても設けることができ、同様の効果を発揮することができる。
【0151】
(第3の実施の形態)
図17は、第3の実施形態に係る半導体発光装置の製造方法を例示するフローチャート図である。
本実施形態は、上記の実施形態に係るいずれかの半導体発光装置を製造する方法である。すなわち、本製造方法は、第1主面10bと、第1主面10bとは反対側の第2主面10aと、を有する半導体積層体10と、半導体積層体10の第2主面10aに設けられた第1電極14及び第2電極15と、を含む発光部10dと、第1電極14に電気的に接続され、第2主面10aの上に立設された第1柱部31aを含む第1導電部30aと、第2電極15に電気的に接続され、第2主面10aの上に立設された第2柱部31bを含む第2導電部30bと、第1柱部31aの少なくとも一部と半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bの少なくとも一部と半導体積層体10との間、の少なくともいずれかに設けられた第1絶縁層21と、第1導電部30aの側面及び第2導電部30bの側面を覆う封止部50と、半導体積層体10の第1主面10bに設けられた光学層であって、発光層13から放出された発光光を吸収し、発光光の波長とは異なる波長の光を放出する波長変換部(蛍光体層61)を含む光学層60と、を有する半導体発光装置の製造方法である。半導体積層体10は、第1主面10bの側に設けられた第1導電形の第1半導体層11と、第2主面10aの側に設けられた第2導電形の第2半導体層12と、第1半導体層11と第2半導体層12との間に設けられた発光層13と、を含む。半導体積層体10においては、第2半導体層12及び発光層13が選択的に除去されて第2主面10aに第1半導体層11の一部が露出する。第1電極14は、第2主面10aの側において第1半導体層11に電気的に接続され、第2電極15は、第2主面10aの側において第2半導体層12に電気的に接続される。
【0152】
図17に表したように、本実施形態に係る半導体発光装置の製造方法は、半導体積層体10の第2主面10aの、第1柱部31aの少なくとも一部、及び、第2柱部31bの少なくとも一部、の少なくともいずれかに対応する領域に、第1絶縁層21を形成する(ステップS110)。すなわち、例えば、図2(c)に関して説明した処理を行う。
【0153】
なお、既に説明したように、第1絶縁層21は、第1電極14の少なくとも一部を除き、第2電極15の少なくとも一部を除く領域に形成することができる。第1絶縁層21は、複数の半導体積層体10どうしの間にさらに設けることができる。
【0154】
そして、図15に表したように、第1絶縁層21の上に、第1導電部30aの少なくとも一部及び第2導電部30bの少なくとも一部となる導電膜を形成する(ステップS120)。すなわち、例えば、図2(d)、図2(e)及び図3(a)に関して説明した処理を行う。
【0155】
すなわち、ステップS120は、例えば、シード層33を形成する工程、第1接続部32a及び第2接続部32bに対応する領域を除く領域に第1レジスト層37を形成する工程、並びに、第1レジスト層37が設けられていない領域に、第1接続部32aの第2層及び第2接続部32bの第4層となる接続部導電膜32fを形成する工程を含むことができる。
【0156】
なお、既に説明したように、第1導電部30aの少なくとも一部、及び、第2導電部30bの少なくとも一部となる導電膜は、第1絶縁層21に覆われていない第1電極14の少なくとも一部と、第1絶縁層21に覆われていない第2電極15の少なくとも一部と、を覆うように、形成されることができる。
【0157】
これにより、半導体層に加わる応力を緩和し、発光効率の向上が可能な半導体発光装置を製造することができる。
【0158】
そして、既に説明したように、上記の第1絶縁層21の形成(ステップS110)と、上記の導電膜の形成(ステップS120)と、は、複数の半導体積層体10が設けられた基板10sにおいて、複数の半導体積層体10について一括して実施されることができる。これにより、半導体層に加わる応力を緩和し、発光効率の向上が可能な半導体発光装置を高い生産性で製造することができる。
【0159】
なお、図6(a)〜図6(c)に関して説明した半導体発光装置110d、110e及び110fのように、接続部導電膜32fが省略される場合には、ステップS120における第1導電部30aの少なくとも一部、及び、第2導電部30bの少なくとも一部となる導電膜は、第1柱部31a及び第2柱部31bを形成する工程(例えば図3(b)及び図3(c)に関して説明した工程)に相当する。この方法においても、半導体層に加わる応力を緩和し、発光効率の向上が可能な半導体発光装置を製造することができる。
【0160】
第2実施形態に係る半導体発光装置120を製造する場合には、本製造方法は、例えば、第1絶縁層21を形成する前に、半導体積層体10の第2主面10aの、第1絶縁層21が形成される領域を除く領域に第2絶縁層22を形成する工程をさらに備えることができる。すなわち、まず、半導体積層体10の第2主面10aのうち、第1絶縁層21が形成される領域を除く領域に、例えば、アルミナなどの第2絶縁層22を形成する。なお、第2絶縁層22は、第1電極14の少なくとも一部を除き、第2電極15の少なくとも一部を除いた領域に設けられる。そして、この後、第1絶縁層21を形成するステップS110を実施する。これにより、半導体発光装置120が製造できる。
【0161】
赤色の蛍光体として例えば以下が挙げられる。ただし、実施形態に用いられる赤色の蛍光体は、これに限定されない。
Y2O2S:Eu、
Y2O2S:Eu+顔料、
Y2O3:Eu、
Zn3(PO4)2:Mn、
(Zn,Cd)S:Ag+In2O3、
(Y,Gd,Eu)BO3、
(Y,Gd,Eu)2O3、
YVO4:Eu、
La2O2S:Eu,Sm、
LaSi3N5:Eu2+、
α−sialon:Eu2+、
CaAlSiN3:Eu2+、
CaSiNX:Eu2+、
CaSiNX:Ce2+、
M2Si5N8:Eu2+、
CaAlSiN3:Eu2+、
(SrCa)AlSiN3:EuX+、
Srx(SiyAl3)z(OxN):EuX+ 。
【0162】
緑色の蛍光体として例えば以下が挙げられる。ただし、実施形態に用いられる緑色の蛍光体は、これに限定されない。
ZnS:Cu,Al、
ZnS:Cu,Al+顔料、
(Zn,Cd)S:Cu,Al、
ZnS:Cu,Au,Al,+顔料、
Y3Al5O12:Tb、
Y3(Al,Ga)5O12:Tb、
Y2SiO5:Tb、
Zn2SiO4:Mn、
(Zn,Cd)S:Cu、
ZnS:Cu、
Zn2SiO4:Mn、
ZnS:Cu+Zn2SiO4:Mn、
Gd2O2S:Tb、
(Zn,Cd)S:Ag、
ZnS:Cu,Al、
Y2O2S:Tb、
ZnS:Cu,Al+In2O3、
(Zn,Cd)S:Ag+In2O3、
(Zn,Mn)2SiO4、
BaAl12O19:Mn、
(Ba,Sr,Mg)O・aAl2O3:Mn、
LaPO4:Ce,Tb、
Zn2SiO4:Mn、
ZnS:Cu、
3(Ba,Mg,Eu,Mn)O・8Al2O3、
La2O3・0.2SiO2・0.9P2O5:Ce,Tb、
CeMgAl11O19:Tb、
CaSc2O4:Ce、
(BrSr)SiO4:Eu、
α−sialon:Yb2+、
β−sialon:Eu2+、
(SrBa)YSi4N7:Eu2+、
(CaSr)Si2O4N7:Eu2+、
Sr(SiAl)(ON):Ce 。
【0163】
青色の蛍光体として例えば以下が挙げられる。ただし、実施形態に用いられる青色の蛍光体はこれに限定されない。
ZnS:Ag、
ZnS:Ag+顔料、
ZnS:Ag,Al、
ZnS:Ag,Cu,Ga,Cl、
ZnS:Ag+In2O3、
ZnS:Zn+In2O3、
(Ba,Eu)MgAl10O17、
(Sr,Ca,Ba,Mg)10(PO4)6Cl2:Eu、
Sr10(PO4)6Cl2:Eu、
(Ba,Sr,Eu)(Mg,Mn)Al10O17、
10(Sr,Ca,Ba,Eu)・6PO4・Cl2、
BaMg2Al16O25:Eu 。
【0164】
黄色の蛍光体として例えば以下が挙げられる。ただし、実施形態に用いられる黄色の蛍光体はこれに限定されない。
Li(Eu,Sm)W2O8、
(Y,Gd)3,(Al,Ga)5O12:Ce3+、
Li2SrSiO4:Eu2+、
(Sr(Ca,Ba))3SiO5:Eu2+、
SrSi2ON2.7:Eu2+ 。
【0165】
なお、本明細書において「窒化物半導体」とは、BxInyAlzGa1−x−y−zN(0≦x≦1,0≦y≦1,0≦z≦1,x+y+z≦1)なる化学式において組成比x、y及びzをそれぞれの範囲内で変化させた全ての組成の半導体を含むものとする。またさらに、上記化学式において、N(窒素)以外のV族元素もさらに含むものや、導電形などを制御するために添加される各種のドーパントのいずれかをさらに含むものも、「窒化物半導体」に含まれるものとする。
【0166】
以上説明したように、実施形態によれば、半導体層に加わる応力を緩和し、発光効率の向上が可能な半導体発光装置及びその製造方法を提供することができる。
【0167】
なお、本願明細書において、「垂直」及び「平行」は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれは良い。
【0168】
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明の実施の形態は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、発光部に含まれる半導体層、発光層、電極、導電層、反射層及びコンタクト電極層、並びに、半導体発光装置に含まれる導電部、柱部、接続部、絶縁層、封止部、光学層、波長変換部、蛍光体層、蛍光体、透光部及び硬質膜などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
【0169】
その他、本発明の実施の形態として上述した半導体発光装置及びその製造方法を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての半導体発光装置及びその製造方法も、本発明の実施の形態の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
【0170】
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【0171】
10…半導体積層体、 10a…第2主面、 10b…第1主面、 10d…発光部、 10s…基板、 11…第1半導体層、 12…第2半導体層、 13…発光層、 14…第1電極、 15…第2電極、 18…保護層、 20o1、20o2…第1及び第2開口部、 21…第1絶縁層、 22…第2絶縁層、 30a…第1導電部、 30b…第2導電部、 31a…第1柱部、 31ae…第1端面、 31b…第2柱部、 31be…第2端面、 31f…柱部導電膜、 32a…第1接続部、 32b…第2接続部、 32f…接続部導電膜、 33…シード層、 37…第1レジスト層、 38…第2レジスト層、 50…封止部、 50f…樹脂層、 60…光学層、 61…蛍光体層(波長変換部)、 61f…蛍光体膜、 62…透光部、 63…硬質膜、 72a、72b…第1及び第2接続部材、 110、110a〜110f、111、112、112a、112b、120…半導体発光装置
【技術分野】
【0001】
本発明の実施形態は、半導体発光装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
小型で低消費電力の発光装置として、青色LED(Light Emitting Diode)などの半導体発光素子と、蛍光体と、を組み合わせることで白色光を発する白色LED発光装置が開発されている。
【0003】
例えば、LEDチップをリードフレームや導電性基板にダイボンドしてワイヤーボンドを行った後、LEDチップ表面に蛍光体を塗布する構成の半導体発光装置が知られている。しかしながら、このような半導体発光装置においては、LEDチップの他に、リードフレーム、導電性基板及びボンディングワイヤなどのような部材が必要であるため、装置が大きくなり小型化の妨げとなる。
【0004】
半導体発光装置において、LEDチップに接続される電極材料と、LEDチップと、の線膨張係数の差によってLEDチップの半導体層に応力が加わり、半導体層の発光効率が低下することがある。半導体発光装置が小型化された場合においては、熱が蓄積されやすくなり特に問題となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開2001−210874号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明の実施形態は、半導体層に加わる応力を緩和し、発光効率の向上が可能な半導体発光装置及びその製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の実施形態によれば、発光部と、第1導電部と、第2導電部と、第1絶縁層と、封止部と、光学層と、を備えた半導体発光装置が提供される。前記発光部は、第1主面と、前記第1主面とは反対側の第2主面と、を有する半導体積層体と、前記半導体積層体の前記第2主面に設けられた第1電極及び第2電極と、を含む。前記第1導電部は、前記第1電極に電気的に接続され、前記第1主面の上に立設された第1柱部を含む。前記第2導電部は、前記第2電極に電気的に接続され、前記第1主面の上に立設された第2柱部を含む。前記第1絶縁層は、前記第1柱部の少なくとも一部と前記半導体積層体との間、及び、前記第2柱部の少なくとも一部と前記半導体積層体との間、の少なくともいずれかに設けられる。前記封止部は、前記第1導電部の側面及び前記第2導電部の側面を覆う。前記光学層は、前記半導体積層体の前記第1主面に設けられた光学層であって、前記発光層から放出された発光光を吸収し、前記発光光の波長とは異なる波長の光を放出する波長変換部を含む。
【0008】
本発明の別の実施形態によれば、発光部と、第1導電部と、第2導電部と、第1絶縁層と、封止部と、光学層と、を有する半導体発光装置の製造方法が提供される。前記発光部は、第1主面と、前記第1主面とは反対側の第2主面と、を有する半導体積層体と、前記半導体積層体の前記第2主面に設けられた第1電極及び第2電極と、を含む。前記第1導電部は、前記第1電極に電気的に接続され、前記第1主面の上に立設された第1柱部を含む。前記第2導電部は、前記第2電極に電気的に接続され、前記第1主面の上に立設された第2柱部を含む。前記第1絶縁層は、前記第1柱部の少なくとも一部と前記半導体積層体との間、及び、前記第2柱部の少なくとも一部と前記半導体積層体との間、の少なくともいずれかに設けられる。前記封止部は、前記第1導電部の側面及び前記第2導電部の側面を覆う。前記光学層は、前記半導体積層体の前記第1主面に設けられた光学層であって、前記発光層から放出された発光光を吸収し、前記発光光の波長とは異なる波長の光を放出する波長変換部を含む。前記製造方法においては、前記半導体積層体の前記第1主面の、前記第1柱部の少なくとも一部、及び、前記第2柱部の少なくとも一部、の少なくともいずれかに対応する領域に、前記第1絶縁層を形成し、前記第1絶縁層の上に、前記第1導電部の少なくとも一部及び前記第2導電部の少なくとも一部となる導電膜を形成する。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】図1(a)及び図1(b)は、第1の実施形態に係る半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
【図2】図2(a)〜図2(e)は、第1の実施形態に係る半導体発光装置の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
【図3】図3(a)〜図3(e)は、第1の実施形態に係る半導体発光装置の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
【図4】図4(a)〜図4(e)は、第1の実施形態に係る半導体発光装置の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
【図5】図5(a)〜図5(c)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式的断面図である。
【図6】図6(a)〜図6(c)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式的断面図である。
【図7】図7(a)及び図7(b)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
【図8】図8は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式的斜視図である。
【図9】図9(a)〜図9(c)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
【図10】図10(a)〜図10(d)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の要素の構成を例示する模式的平面図である。
【図11】図11(a)〜図11(c)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
【図12】図12(a)〜図12(d)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の要素の構成を例示する模式的平面図である。
【図13】図13(a)〜図13(c)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
【図14】図14(a)〜図14(d)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の要素の構成を例示する模式的平面図である。
【図15】図15(a)〜図15(c)は、第2の実施形態に係る半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
【図16】図16(a)〜図16(d)は、第2の実施形態に係る半導体発光装置の要素の構成を例示する模式的平面図である。
【図17】図17は、第3の実施形態に係る半導体発光装置の製造方法を例示するフローチャート図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【0011】
(第1の実施の形態)
図1(a)及び図1(b)は、第1の実施形態に係る半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
すなわち、図1(b)は模式的平面図であり、図1(a)は、図1(b)のA−A’線断面図である。
【0012】
図1(a)及び図1(b)に表したように、本実施形態に係る半導体発光装置110は、発光部10dと、第1導電部30aと、第2導電部30bと、第1絶縁層21と、封止部50と、光学層60と、を備える。
【0013】
発光部10dは、半導体積層体10と、第1電極14と、第2電極15と、を含む。
半導体積層体10は、第1導電形の第1半導体層11と、第2導電形の第2半導体層12と、第1半導体層11と第2半導体層12との間に設けられた発光層13と、を含む。
【0014】
半導体積層体10においては、第2半導体層12及び発光層13が選択的に除去されて第2半導体層12の側の第2主面10aにおいて第1半導体層11の一部が露出している。
【0015】
すなわち、半導体積層体10は、第1主面10bと、第1主面10bとは反対側の第2主面10aと、を有している。第2主面10aの側に第2半導体層12が配置され、第1主面10bの側に、第1半導体層11が配置される。第2半導体層12及び発光層13の面積は、第1半導体層11の面積よりも小さく、第2主面10aの側において、第1半導体層11の一部は、第2半導体層12及び発光層13に覆われていない。
【0016】
第1導電形は例えばn形であり、第2導電形は例えばp形である。ただし、実施形態はこれに限らず、第1導電形がp形であり、第2導電形がn形でも良い。以下では、第1導電形がn形であり、第2導電形がp形である場合として説明する。すなわち、第1半導体層11は、n形半導体層である。第2半導体層12は、p形半導体層である。
【0017】
第1半導体層11、第2半導体層12及び発光層13には、例えば、窒化物半導体を用いることができる。第1半導体層11は、例えばGaNを含むn形クラッド層である。第2半導体層12は、例えばp形クラッド層である。発光層13は、例えば量子井戸層と、量子井戸層に積層された障壁層と、を有する。発光層13は、例えば、単一量子井戸構造または多重量子井戸構造を有することができる。
【0018】
ここで、第2主面10aから第1主面10bに向かう方向をZ軸方向とする。すなわち、Z軸方向は、第1半導体層11、発光層13及び第2半導体層12の積層方向である。Z軸方向に対して垂直な1つの方向をX軸方向とする。Z軸方向とX軸方向とに対して垂直な方向をY軸方向とする。
【0019】
半導体積層体10は、例えば、サファイアなどの基板の上に、第1半導体層11となる結晶、発光層13となる結晶、及び、第2半導体層12となる結晶が順次成長され、その後、所定の領域の、第1半導体層11の一部、発光層13、及び、第2半導体層12が除去されて形成される。
【0020】
第1電極14は、第2主面10aの側において第1半導体層11に電気的に接続される。第2電極15は、第2主面10aの側において第2半導体層12に電気的に接続される。第1電極14は、例えばn側電極であり、第2電極15は、例えばp側電極である。発光部10dにおいて、第1電極14と第2電極15とを介して、半導体積層体10に電流を供給することで、発光層13から光(発光光)が放出される。
【0021】
このように、発光部10dは、第1主面10bと、第1主面10bとは反対側の第2主面10aと、第2主面10aに設けられた第1電極14と及び第2電極15と、を有する。
第1導電部30aは、第1電極14に電気的に接続される。第1導電部30aは、第2主面10aの上に立設された第1柱部31aを含む。第1柱部31aは、例えばZ軸方向に沿って延在する部分を少なくとも含む。
【0022】
第2導電部30bは、第2電極15に電気的に接続される。第2導電部30bは、第2主面10aの上に立設された第2柱部31bを含む。第2柱部31bは、Z軸方向に沿って延在する部分を少なくとも含む。
【0023】
第1絶縁層21は、第1柱部31aの少なくとも一部と半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bの少なくとも一部と半導体積層体10との間、の少なくともいずれかに設けられる。
【0024】
本具体例は、第1絶縁層21が第1柱部31aの一部と半導体積層体10との間に設けられている例である。
【0025】
第1絶縁層21は、第1導電部30aと、第1電極14の一部と、の間にさらに設けることができる。本具体例では、第1絶縁層21は、第1導電部30aのうちの第1柱部31aの少なくとも一部と、第1電極14の一部と、の間にさらに設けられている。なお、第1導電部30aと第1電極14との電気的な接続を実現するために、第1絶縁層21は、第1電極14の少なくとも一部の上には設けられていない。第1絶縁層21は、例えば、第1開口部20o1を有し、第1開口部20o1において、第1導電部30aと第1電極14との電気的な接続が行われる。なお、第1開口部20o1は、第1絶縁層21を貫通する孔を含むことができる。ただし、実施形態はこれに限らず、第1開口部20o1は、第1絶縁層21の端部のうち、第1電極14の端部から後退し、第1電極14を露出させる部分を便宜的に含むことができる。すなわち、第1開口部20o1は、第1絶縁層21のうちで第1電極14の少なくとも一部を露出させる部分を含むことができ、その形状は任意である。第1開口部20o1の数は、任意である。
【0026】
本具体例では、第1柱部31aから第2柱部31bに向かう方向に沿った、半導体積層体10の辺の方向が、X軸方向に設定されている。
【0027】
なお、後述するように、第1絶縁層21は、第2導電部30bと、第2電極15の一部と、の間にさらに設けられても良い。例えば、第1絶縁層21は、第2柱部31bの少なくとも一部と、第2電極15の一部と、の間にさらに設けられても良い。
【0028】
なお、第2導電部30bと第2電極15との電気的な接続を実現するために、第1絶縁層21は、第2電極15の少なくとも一部の上には設けられていない。すなわち、第1絶縁層21は、例えば、第2電極15の側の第2開口部20o2を有し、第2開口部20o2において、第2導電部30bと第2電極15との電気的な接続が行われる。
【0029】
なお、第1絶縁層21の厚さは、例えば、1μm以上5μm以下程度とされる。ただし、実施形態はこれに限らず、第1絶縁層21の厚さは任意である。
【0030】
封止部50は、第1導電部30aの側面、及び、第2導電部30bの側面を覆う。すなわち、封止部50は、第1柱部31aの側面、及び、第2柱部31bの側面を覆う。封止部50は、第1絶縁層21を覆うことができる。封止部50は、第1導電部30aの半導体積層体10とは反対の側の第1端面31aeを露出する。封止部50は、第2導電部30bの半導体積層体10とは反対の側の第2端面31beを露出する。なお、第1端面31aeは、第1柱部31aの半導体積層体10とは反対の側の端面である。第2端面31beは、第2柱部31bの半導体積層体10とは反対の側の端面である。
【0031】
光学層60は、半導体積層体10の第2主面10aとは反対側の第1主面10bの側に設けられる。光学層60は、蛍光体層61(波長変換部)を含む。蛍光体層61は、発光層13から放出された発光光を吸収し、発光光の波長とは異なる波長の光を放出する。
【0032】
本具体例では、光学層60は、例えば蛍光体を含む蛍光体層61と、蛍光体層61と半導体積層体10との間に設けられた透光部62と、を含む。透光部62は、発光層13から放出される発光光に対する透光性を有する。透光部62は、例えばレンズ作用や屈折作用などの光の進行方向を変化させる作用を有することができる。これにより、発光層13で発生した光の放射角や色ずれを調整することができる。透光部62は必要に応じて設けられ、透光部62は場合によっては省略できる。
【0033】
蛍光体層61は、例えば透光性の樹脂と、この樹脂に分散された蛍光体と、を含む。蛍光体は、発光層13から放出された発光光を吸収し、発光光の波長とは異なる波長の光を放出する。なお、蛍光体層61は、複数種の蛍光体を含むことができる。蛍光体には、例えば、黄色光を放出する蛍光体、緑色光を放出する蛍光体、及び、赤色光を放出する蛍光体など、任意の色を放出する蛍光体を用いることができる。蛍光体層61は、波長が異なる蛍光体を含む積層された複数の層を含むこともできる。
【0034】
半導体発光装置110においては、第1導電部30a、第1電極14、第2導電部30b及び第2電極15を介して、半導体積層体10に電流が供給され、これにより、発光層13から光(発光光)が放出される。発光光は、例えば、青色光、紫色光及び紫外光などの比較的短い波長の光とすることができる。
【0035】
発光層13から放出された例えば青色の発光光は、光学層60の内部に進行し、蛍光体層61によって例えば黄色の光に波長が変換される。そして、発光層13から放出された例えば青色の発光光と、蛍光体層61で得られた例えば黄色の光と、が合成される。これにより、半導体発光装置110は、白色光を発光することができる。
【0036】
なお、発光層13から放出される発光光の波長、及び、蛍光体層61で変換された光の波長は任意である。半導体発光装置110から出射する光の色は、白色の他、任意の色とすることができる。
【0037】
本具体例では、発光部10dは、半導体積層体10の第2主面10aの側の第1電極14及び第2電極15を除く部分に設けられた保護層18をさらに含む。保護層18は、半導体積層体10の端部を覆う。保護層18には、絶縁材料を用いることができる。これにより、例えば、第1電極14と第2電極15との間の絶縁性が向上する。保護層18は、半導体積層体10の端部の全部を覆うこともできる。保護層18は、半導体積層体10の端部の一部を覆うこともできる。この保護層18には、例えば酸化シリコンなどを用いることができる。ただし、実施形態はこれに限らず、保護層18には任意の絶縁材料を用いることができる。保護層18は必要に応じて設けられ、場合によっては省略できる。
【0038】
第2電極15は積層構造を有することができる。例えば、第2電極15は、導電層と、その導電層と第2半導体層12との間に設けられた反射層(図示しない)を含むことができる。これにより、発光層13から放出され、第2主面10aの側に進行する光が反射層で反射され、光を光学層60の側に効率良く進行させることができる。
【0039】
本具体例では、第1導電部30aは、第1接続部32aをさらに含む。第1接続部32aは、第1絶縁層21の半導体積層体10とは反対の側の面の少なくとも一部を覆い、第1電極14と第1柱部31aとを電気的に接続する。第1接続部32aは、例えばX−Y平面に沿って延在する部分を含むことができる。
【0040】
このように、第1絶縁層21が、第1柱部31aの少なくとも一部と半導体積層体10との間に設けられるときにおいて、第1導電部30aは、第1接続部32aをさらに含むことができる。
【0041】
第2導電部30bは、第2接続部32bをさらに含むことができる。第2接続部32bは、第2電極15と第2柱部31bとを電気的に接続する。第2接続部32bは、例えばX−Y平面に沿って延在する部分を含むことができる。
【0042】
すなわち、後述するように、第1絶縁層21が、第2柱部31bの少なくとも一部と半導体積層体10との間に設けられるときにおいて、第2導電部30bは、第1絶縁層21の半導体積層体10とは反対の側の面の少なくとも一部を覆い第2電極15と第2柱部31bとを電気的に接続する第2接続部32bをさらに含むことができる。
【0043】
第1柱部31a、第1接続部32a、第2柱部31b及び第2接続部32bには、例えば、Cu(銅)、Ni(ニッケル)、及び、Al(アルミニウム)などの金属を用いることができる。ただし、実施形態はこれに限らず、第1柱部31a、第1接続部32a、第2柱部31b及び第2接続部32bに用いられる材料は任意である。
【0044】
封止部50は、例えばエポキシ樹脂などの樹脂を用いることができる。封止部50に用いられる樹脂は、例えば石英フィラーやアルミナフィラーなどのフィラーを含有することができる。これにより、封止部50の熱伝導率を上昇させることができ、これにより放熱性を高め、半導体積層体の温度上昇を抑制でき、発光効率を向上できる。
【0045】
第1絶縁層21の弾性率は、半導体積層体10の弾性率よりも低く設定されることができる。第1絶縁層21の弾性率は、第1柱部31aの弾性率及び第2柱部31bの弾性率よりも低く設定されることができる。
【0046】
第1絶縁層21には、例えば、ポリイミドなどの樹脂を用いることができる。
すなわち、半導体積層体10に含まれる半導体層は例えばGaNであり、GaNの弾性率は、約180ギガパスカル(GPa)である。第1柱部31b及び第2柱部31bに用いられる例えばCuの弾性率は110GPaである。そして、第1絶縁層21に用いられるポリイミドの弾性率は、2.8GPaである。このように、第1絶縁層21としてポリイミドなどの樹脂を用いた場合には、第1絶縁層21の弾性率は、半導体積層体10の弾性率、第1柱部31aの弾性率及び第2柱部31bの弾性率よりも著しく低くすることができる。
【0047】
このように、半導体発光装置110においては、第1導電部30aの第1柱部31aと、半導体積層体10との間に、半導体積層体10の弾性率よりも低い弾性率を有する第1絶縁層21を設けることで、半導体積層体10に加わる応力を緩和できる。
【0048】
例えば、半導体積層体10の窒化物半導体(例えばGaN)の線膨張係数は、5.6ppm/℃であるのに対し、第1導電部30a及び第2導電部30b(例えば第1柱部31a及び第2柱部31b)に用いられる金属(例えばCu)の線膨張係数は、16.5ppm/℃である。このため、例えば、半導体積層体10の半導体層と、第1導電部30a(第1柱部31a)の金属と、が隣接または近接している場合には、両者の線膨張係数の差によって、半導体積層体10に大きな応力が加わり、これにより、半導体積層体10の発光層13の発光効率が低下するなど、所望の特性が得られない場合がある。また、信頼性が低下する場合もある。
【0049】
これに対し、第1柱部31aと半導体積層体10との間に、弾性率が低い第1絶縁層21を設けることで、半導体積層体10に加わる応力を緩和でき、発光効率の低下が抑制でき、所望の特性が得られる。また、信頼性の低下も抑制できる。
【0050】
なお、例えば発光部をリードフレームなどに実装し、ワイヤボンディングなどの手法によって電気的な接続を行う場合は、発光部の熱はリードフレームを介して放熱され、発光部の半導体層に大きな応力が加わることはあまり問題にならない。
【0051】
これに対し、本実施形態に係る半導体発光装置110においては、リードフレームやワイヤなどを用いず、第1柱部31a及び第2柱部31bによって電気的な接続を行うことで、半導体発光装置110を小型化している。そして、例えば、第1柱部31a及び第2柱部31bを介して半導体積層体10で発生する熱を放熱させるために、半導体積層体10に近接または接触して、大きな断面積を有する第1柱部31a及び第2柱部31bが設けられる。このような構成においては、半導体積層体10と、第1柱部31a及び第2柱部31bと、の間の線膨張係数の差に起因した応力が半導体積層体10に加わり易い。
【0052】
本実施形態に係る半導体発光装置110においては、第1柱部31aと半導体積層体10との間に、弾性率が低い第1絶縁層21を設けることで、半導体積層体10に加わる応力を緩和する。このように、半導体発光装置110によれば、半導体層に加わる応力を緩和し、発光効率の向上が可能な半導体発光装置が提供できる。
そして、この効果は、第1柱部31a及び第2柱部31bを設け、これらを介して電気的な接続を行うことで小型化を実現する構成において特に効果的に発揮される。
【0053】
すなわち、このような構成を採用することで、半導体発光装置110において、小型化が可能となる。
例えば、半導体発光装置110のX−Y平面に平行な面の大きさは、下面電極タイプの電子部品の最小サイズとされることができる。例えば、半導体発光装置110のX−Y平面に平行な面は、600μm×300μmの長方形とすることができる。例えば、半導体発光装置110の外形は、例えば600μm×300μm×300μmの直方体とすることができる。半導体発光装置110のX−Y平面に平行な面は、1000μm×500μmの長方形とすることができる。例えば、半導体発光装置110の外形は、例えば1000μm×500μm×500μmの直方体とすることができる。ただし、実施形態はこれに限らず、半導体発光装置110のX−Y平面に対して平行な面の大きさ及び形状、並びに、半導体発光装置110の大きさ及び形状は、任意である。
【0054】
なお、第1絶縁層21は、耐熱性が高いことが望ましい。すなわち、第1絶縁層21は、例えば、はんだのリフロー工程における260℃程度の温度に対する耐熱性を有することが望ましい。第1絶縁層21は、半導体発光装置の信頼性及び安全性の観点で、絶縁性が高いことが望ましい。例えば、第1絶縁層21は、400kV/mm以上の高い絶縁性を有することが望ましい。第1絶縁層21は、一般的な半導体工程で使用可能なことが望ましい。このような観点で、第1絶縁層21には、ポリイミドが好適に用いられる。
【0055】
以下、半導体発光装置110の構成の例についてさらに説明する。
蛍光体層61には、例えば、光を吸収し、その光の波長よりも長い波長を有する光を放出する蛍光体の粒子を混合した樹脂を用いることができる。この蛍光体は、例えば、青色光、紫光、及び、紫外光の少なくともいずれかの光を吸収し、その光よりも長い波長を有する光(例えば、緑色光、黄色光及び赤色光など)を放出する。蛍光体が混合される樹脂には、例えばシリコーン樹脂が用いられる。蛍光体層61の厚さは、例えば200μmとされる。蛍光体層61に用いられるシリコーン樹脂には、例えば、屈折率が約1.5のメチルフェニルシリコーンを用いることができる。ただし、実施形態はこれに限らず、蛍光体層61に含まれる樹脂及び蛍光体は任意である。
【0056】
なお、既に説明したように、第2電極15は、導電層と、その導電層と第2半導体層12との間に設けられた反射層を含むことができる。この反射層は、例えばAg及びAlの少なくともいずれかを含有することができる。この反射層の厚さは、例えば0.3μmとすることができる。この反射層は、例えば、第2半導体層12の第2主面10aの側の実質的に全部の領域に設けることができる。これにより、発光層13から放出された発光光を効率的に第1主面10bに向けて反射することができる。ただし、反射層が設けられる領域は、任意であり、例えば、反射層は、第2半導体層12の第2主面10aの側の一部の領域に設けられても良い。
【0057】
また、第2電極15は、上記の反射層と、第2半導体層12と、の間に設けられたコンタクト電極層をさらに含んでも良い。このコンタクト電極層は、例えば、Au層(金層)と、Au層と第2半導体層12との間に設けられたNi層(ニッケル層)と、を含むことができる。なお、Ni層の厚さは0.1μmとすることができ、Au層の厚さは0.1μmとすることができる。
【0058】
第1電極14は、例えば、Au層と、Au層と第1半導体層11との間に設けられたNi層と、を含むことができる。このAu層の厚さは例えば0.1μmとすることができ、このNi層の厚さは0.1μmとすることができる。第1電極14は、例えば、第1半導体層11の第2主面10aの側の実質的に全部の領域に設けられることができる。ただし、第1電極14が設けられる領域は任意であり、第1電極14は第1半導体層11の第2主面10aの側の少なくとも一部に設けられる。
なお、第1電極14は、導電層と、その導電層と第1半導体層11との間に設けられた反射層と、を含んでも良い。このように、第1電極14は積層構造を有することができる。
第2電極15の導電層は、例えば、Au層と、Au層と第2半導体層12との間に設けられたNi層と、を含むことができる。このAu層の厚さは例えば0.1μmとすることができ、このNi層の厚さは0.1μmとすることができる。第2電極15は、例えば、第2半導体層12の第2主面10aの側の実質的に全部の領域に設けられることができる。ただし、第2電極15が設けられる領域は任意であり、第2電極15は第2半導体層12の第2主面10aの側の少なくとも一部に設けられる。
【0059】
第1導電部30aに含まれる第1接続部32aには、例えばCu等の金属が用いられる。第1接続部32aは、第1層と、第2層と、を含むことができる。第1層は、第2層と第1電極14との間に設けられる。すなわち、第1層は第1電極14に接する。第1層は、例えばシード層であり、第2層は、例えばメッキ層である。第1層の厚さは、例えば約1μmとすることができる。第2層の厚さは、例えば10μmとすることができる。
【0060】
第2導電部30bに含まれる第2接続部32bには、例えばCu等の金属が用いられる。第2接続部32bは、第3層と、第4層と、を含むことができる。第3層は、第4層と第2電極15との間に設けられる。すなわち、第3層は第2電極15に接する。第3層は、例えばシード層であり、第4層は、例えばメッキ層である。第3層は、第1層と同層であり、第3層には、第1層に用いられる材料と同じ材料を用いることができる。第4層は第2層と同層であり、第4層には、第2層に用いられる材料と同じ材料を用いることができる。第3層の厚さは、例えば約1μmとすることができる。第4層の厚さは、例えば10μmとすることができる。
【0061】
ただし、第1〜第4層の面積、形状及び厚さは任意である。第1接続部32a及び第2接続部32bは、単層の薄膜でも良く、上記のように、積層膜でも良い。第1接続部32aは、第1層及び第2層に積層された他の層をさらに有しても良い。第2接続部32bは、第3層及び第4層に積層された他の層をさらに有しても良い。
【0062】
第1柱部31a及び第2柱部31bには、例えばCu等の金属を用いることができる。第1柱部31a及び第2柱部31bの厚さ(Z軸方向に沿った長さ)は、例えば60μm程度とすることができる。第1接続部32aによって、第1電極14と第1柱部31aとが電気的に接続される。第2接続部32bによって、第2電極15と第2柱部31bとが電気的に接続される。
【0063】
第1柱部31a及び第2柱部31bに用いられる材料、断面の形状、断面積及び厚さは上記に限らず任意である。
【0064】
封止部50には、例えば、熱硬化性樹脂を用いることができる。封止部50の厚さは、第1柱部31a及び第2柱部31bの厚さと同程度であり、例えば、60μm程度である。封止部50は、第1導電部30aの第1端面31ae、及び、第2導電部30bの第2端面31beを露出しつつ、第1導電部30aの側面(第1柱部31aの側面及び第1接続部32aの側面)、及び、第2導電部30bの側面(第2柱部31bの側面及び第2接続部32bの側面)を覆う。封止部50は、さらに、第1接続部32a及び第2接続部32bの半導体積層体10とは反対側の面を覆うことができる。さらに、封止部50は、半導体積層体10の第2主面10aの側の全体を覆うことができる。
【0065】
以下、半導体発光装置110の製造方法の例について説明する。
図2(a)〜図2(e)、図3(a)〜図3(e)、及び、図4(a)〜図4(e)は、第1の実施形態に係る半導体発光装置の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
すなわち、これらの図は、図1(b)のA−A’線断面に相当する断面図である。
本製造方法は、複数の半導体発光装置110をウェーハレベルで一括して製造する方法である。
【0066】
図2(a)に表したように、半導体積層体10が形成された基板10sが用いられる。なお、基板10sには、例えばサファイア基板が用いられる。基板10sのサイズは、例えば直径が4インチであり、基板10sの厚さは、例えば500μm程度である。なお、半導体積層体10の形成方法は、例えば以下である。すなわち、基板10s上に、窒化物半導体の、第1半導体層11となる結晶膜、発光層13となる結晶膜、及び、第2半導体層12となる結晶膜が、エピタキシャル成長され、これらの結晶膜が、例えばRIE(Reactive Ion Etching)処理によりエッチングされ、第2主面10aの側に第1半導体層11の一部を露出させる。さらに、これらの結晶膜が、例えばRIE処理により加工され、個別化され、複数の半導体積層体10が形成される。
【0067】
次に、図2(b)に表したように、半導体積層体10の第2主面10aに、第1電極14及び第2電極15となる膜を形成し、所定の形状にこの膜を加工し、第1電極14及び第2電極15を形成する。さらに、保護層18を形成する。なお、図2(b)においては、煩雑さを避けるために、保護層18は図示されていない。
【0068】
具体的には、例えば、半導体積層体10の第2主面10aに、コンタクト電極層となる膜を形成する。すなわち、厚さが0.1μmのNi膜を形成し、その上に厚さが0.1μmのAu膜を形成する。これにより、コンタクト電極層となる膜が形成される。Ni膜及びAu膜の形成には例えばスパッタ法を用いることができる。さらに、このAu膜の上に、反射層となる膜が形成される。すなわち、反射層となる膜として、Ag及びAlの少なくともいずれかを含む、例えば厚さが0.3μmの膜が形成される。この場合にもスパッタ法を用いることができる。これにより、反射層となる膜が形成される。
【0069】
さらに、反射層となる膜の上に、第1電極14及び第2電極15の導電層となる導電膜が形成される。すなわち、反射層となる膜の上に、例えば0.1μmのNi膜を形成し、その上に厚さが0.1μmのAu膜を形成する。このNi膜及びAu膜の形成にも、例えばスパッタ法を用いることができる。
【0070】
上記のコンタクト電極層となる膜、反射層となる膜、第1電極14及び第2電極15の導電層となる導電膜を所定の形状に加工する。これにより、第1電極14及び第2電極15が形成される。なお、上記の各膜の加工には、例えばリフトオフ法などの任意の方法を用いることができる。なお、コンタクト電極層、反射層、及び、第1電極14の導電層は、互いに異なるパターン形状を有することができる。コンタクト電極層、反射層、及び、第2電極15の導電層は、互いに異なるパターン形状を有することができる。
【0071】
さらに、第1電極14の少なくとも一部を除き、第2電極15の少なくとも一部を除く領域に、保護層18となる、例えば、厚さが0.3μmのSiO2膜を例えばCVD法により形成し、例えばドライエッチングやウエットエッチングによって加工し、保護層18を形成する。
【0072】
次に、図2(c)に表したように、半導体積層体10の第2主面10aの、第1柱部31aの少なくとも一部、及び、第2柱部31bの少なくとも一部、の少なくともいずれかに対応する領域に、第1絶縁層21を形成する。本具体例では、第1柱部31aの一部に対応する領域の半導体積層体10の上に第1絶縁層21が設けられる。この第1絶縁層21は、第1電極14の少なくとも一部を除き、第2電極15の少なくとも一部を除く領域に形成される。なお、本具体例では、第1絶縁層21は、複数の半導体積層体10どうしの間にさらに設けられる。
【0073】
第1絶縁層21には、例えばポリイミドやPBO(ポリベンゾオキサゾール)が用いられる。すなわち、例えば、半導体積層体10の第2主面10aの全面に、第1絶縁層21となるポリイミド膜を形成し、例えばマスクを用いた露光と、現像と、を行うことにより、選択的に第1絶縁層21を形成する。加工された第1絶縁層21は、必要に応じてベーキングされる。
【0074】
そして、この後、第1絶縁層21の上に、第1導電部30aの少なくとも一部、及び、第2導電部30bの少なくとも一部となる導電膜を形成する。この導電膜は、第1絶縁層21に覆われていない第1電極14の少なくとも一部と、第1絶縁層21に覆われていない第2電極15の少なくとも一部と、を覆うように、形成されることができる。具体的には以下の処理が行われる。
【0075】
すなわち、図2(d)に表したように、例えば、基板10sの第2主面10aの側の全面に、第1接続部32aの第1層、及び、第2接続部32bの第3層、となるシード層33を形成する。シード層33は、例えば、蒸着法やスパッタ法などの物理的被着法により形成される。シード層33は、後述するメッキ工程における給電層として機能する。シード層33には、例えば、Ti膜とCu膜との積層膜を用いることができる。なお、シード層33のTi層により、Cu膜と、レジストやパッド(第1電極14及び第2電極15)と、の密着強度を高めることができる。Ti層の厚さは、例えば0.2μm程度とされる。一方、シード層33のCu膜は、主に給電に寄与する。Cu膜の厚さは、0.2μm以上とすることが望ましい。
【0076】
次に、図2(e)に表したように、第1接続部32a及び第2接続部32bに対応する領域を除く領域に、第1レジスト層37を形成する。第1レジスト層37には、例えば、感光性の液状レジストやドライフィルムレジストを用いることができる。第1レジスト層37は、第1レジスト層37となる膜を形成した後に、所定の開口部を有する遮光マスクを用いた露光と、現像と、を実施することにより形成される。なお、必要に応じて第1レジスト層37はベーキングされる。
【0077】
次に、図3(a)に表したように、第1レジスト層37が設けられていない領域に、第1接続部32aの第2層、及び、第2接続部32bの第4層、となる接続部導電膜32fを形成する。接続部導電膜32fは、例えば、電気メッキ法により形成される。電気メッキ法においては、例えば、硫酸銅と硫酸とからなるメッキ液中に、上記の被加工体が設けられた基板10sを浸漬し、シード層33と直流電源の負極とを接続し、基板10sの被メッキ面と対向するように設置したアノードとなるCu板と直流電源の陽極とを接続する。そして、負極と陽極との間に電流を通電し、Cuのメッキを行う。メッキ工程において、メッキ膜の厚さは時間の経過と共に増加し、メッキ膜の厚さが必要な厚さに達したときに通電が停止されてメッキが完了する。これにより、メッキ膜からなる接続部導電膜32fが、第1レジスト層37の開口部に形成される。
【0078】
第1電極14に対応する位置のシード層33(第1層)と、第1電極14に対応する位置の接続部導電膜32f(第2層)と、が第1接続部32aとなる。第2電極15に対応する位置のシード層33(第3層)と、第2電極15に対応する位置の接続部導電膜32f(第4層)と、が第2接続部32bとなる。
【0079】
このように、シード層33及び接続部導電膜32fが、第1導電部30aの少なくとも一部、及び、第2導電部30bの少なくとも一部となる導電膜に相当する。
【0080】
この導電膜となるシード層33及び接続部導電膜32fは、第1絶縁層21に覆われていない第1電極14の少なくとも一部と、第1絶縁層21に覆われていない第2電極15の少なくとも一部と、を覆うように形成されている。
【0081】
この後、第1接続部32aの上に、第1柱部31aを形成し、第2接続部32bの上に、第2柱部31bを形成する。具体的には、例えば以下の処理が行われる。
【0082】
図3(b)に表したように、第1柱部31a及び第2柱部31bに対応する領域を除く領域に第2レジスト層38を形成する。第2レジスト層38に用いられる材料、及び、第2レジスト層38の形成には、第1レジスト層37に関して説明した材料及び方法を採用することができる。
【0083】
次に、図3(c)に表したように、第2レジスト層38が設けられていない領域に、第1柱部31a及び第2柱部31bとなる柱部導電膜31fを形成する。柱部導電膜31fも、例えば、電気メッキ法により形成される。柱部導電膜31fの形成には、接続部導電膜32fの形成に関して説明した材料及び方法を適用することができる。第1接続部32aに接続される部分の柱部導電膜31fが第1柱部31aとなり、第2接続部32bに接続される部分の柱部導電膜31fが第2柱部31bとなる。なお、柱部導電膜31fは、第1導電部30aの少なくとも一部、及び、第2導電部30bの少なくとも一部となる導電膜に含まれることができる。
【0084】
次に、図3(d)に表したように、第1レジスト層37及び第2レジスト層38を除去する。さらに、露出したシード層33を、例えば、酸洗浄により除去する。なお、接続部導電膜32fに覆われているシード層33は、第1層及び第3層として残存し、それぞれ第1接続部32a及び第2接続部32bに含まれる。
【0085】
次に、図3(e)に表したように、基板10sの第2主面10aの側の面に、封止部50となる樹脂層50fを形成する。樹脂層50fには、例えば、熱硬化性樹脂を用いることができる。例えば、印刷等の手法によって、第1柱部31a及び第2柱部31bが埋没する程度の厚さで、基板10sの第2主面10aの側の面に樹脂層50fとなる膜を形成し、加熱して硬化させ樹脂層50fを形成する。樹脂層50fの硬化の際の加熱条件は、例えば、150℃程度で2時間程度とされる。
【0086】
次に、図4(a)に表したように、樹脂層50fの表面を研削し、第1柱部31a及び第2柱部31bを露出させる。これにより、封止部50が形成される。なお、この研削において、樹脂層50fの研削と共に、第1柱部31aの一部と、第2柱部31bの一部と、を研削することができ、これにより、第1柱部31aの第1端面31ae、及び、第2柱部31bの第2端面31beは、封止部50の第2主面10aとは反対の側の面を含む面内に配置される。
【0087】
なお、上記の研削には、例えば、回転研磨ホイールを用いることができる。回転研削によって、平坦性を確保しながら研削を実施することができる。なお、研削後に、必要に応じて、乾燥が行われる。
【0088】
次に、図4(b)に表したように、半導体積層体10から基板10sを除去する。すなわち、例えば、基板10sの半導体積層体10とは反対側の面から、基板10sを介して、半導体積層体10に含まれる層(例えばGaN層)にレーザ光を照射し、この層の少なくとも一部を分解することで、半導体積層体10から基板10sを分離する。このレーザ光には、例えば、GaNの禁制帯幅に基づく禁制帯幅波長よりも短い波長を有するレーザ光を用いることができる。例えば、Nd:YAGの三倍高調波レーザを用いることができる。ただし、用いられるレーザ光は任意である。
【0089】
次に、図4(c)に表したように、本具体例では、半導体積層体10の第1主面10bに、光学層60の一部となる透光部62を形成する。すなわち、半導体積層体10の第1主面10bに、例えば、液状の透明樹脂層を印刷等によって塗布し、所定の形状を有する型をこの透明樹脂層に押し付け、透明樹脂層を所定の形状に変形させた後に、型を離型し、必要に応じて加熱及び紫外線照射の少なくともいずれかの処理を施して硬化させ、透光部62を形成する。この方法を採用することにより、所望の形状を有する型を用いることで任意の形状を有する透光部62を容易に形成することができる。
【0090】
次に、図4(d)に表したように、透光部62を覆うように蛍光体層61となる蛍光体膜61fを形成する。蛍光体膜61fは、例えば、蛍光体の粒子と、シリコーン樹脂と、が混合された樹脂材料を、透光部62を覆うように、スピンコートまたは印刷により塗布し、その後、樹脂材料を加熱硬化して形成される。この樹脂材料には、例えば、150℃で1時間の加熱により硬化する材料が用いられる。
【0091】
そして、図4(e)に表したように、封止部50となる樹脂層50f、及び、蛍光体層61となる蛍光体膜61fを切断し、複数の半導体積層体10のそれぞれを分離する。これにより、複数の半導体発光装置110が一括して製造できる。なお、上記の切断には、例えばダイサによるダイシング法を採用することができる。
【0092】
上記の製造方法においては、ウェーハレベルで一括して、電極、封止部及び光学層を形成することができ、生産性が高い。また、ウェーハレベルでの検査も可能となる。これにより生産性高く半導体発光装置を製造できる。また、リードフレーム、導電性基板及びボンディングワイヤなどのような部材を必要としないため、小型化が容易にできる。また、低コスト化も可能になる。
【0093】
なお、図4(b)に関して説明した、半導体積層体10から基板10sを分離する工程において、第1絶縁層21となる膜に高い温度が加わる場合があることがある。すなわち、基板10sの半導体積層体10とは反対側の面から、基板10sを介して、半導体積層体10にレーザ光を照射する際に、複数の半導体積層体10どうしの間において、第1絶縁層21となる膜が加熱されることがある。このときの加熱による第1絶縁層21となる膜の劣化を抑制するために、第1絶縁層21となる膜には、耐熱性の高い材料を用いることが望ましい。
【0094】
例えば、第1絶縁層21には、封止部50に用いられる樹脂よりも耐熱性が高い樹脂を用いることが、より望ましい。すなわち、第1絶縁層21の熱分解温度は、封止部50の熱分解温度よりも高いことが、より望ましい。例えば、第1絶縁層21には、熱分解温度が380℃程度以上のポリイミドを用いることができ、封止部50には、例えば、熱分解温度が280℃以上300℃以下程度のエポキシ樹脂を用いることができる。なお、熱分解温度は、例えば、加熱によって重量が一定の割合(例えば5パーセント)で減少するときの温度を採用することができる。
【0095】
また、第1絶縁層21となる膜がフィラーを含んだ場合においては、第1絶縁層21となる膜に加わる高温によってフィラーに起因した不良が発生することがある。この不良を抑制するため、第1絶縁層21に含まれるフィラーの含有率は、封止部50に含まれるフィラーの含有率よりも低く設定されることが望ましい。例えば、第1絶縁層21には、実質的にフィラーを含まないポリイミドを用いることができる。
【0096】
図5(a)〜図5(c)、及び、図6(a)〜図6(c)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式的断面図である。
すなわち、これらの図は、図1(b)のA−A’線断面に相当する断面図である。
【0097】
図5(a)に表したように、本実施形態に係る別の半導体発光装置110aにおいては、透光部62が凸レンズの形状を有している。
【0098】
さらに、透光部62の厚さが一定であっても良い。すなわち、透光部62は、レンズ作用を有する他、半導体積層体10の温度上昇を抑制する作用を有することもできる。すなわち、蛍光体層61においては、波長変換の際に一部のエネルギーが吸収され発熱するが、透光部62を蛍光体層61と半導体積層体10との間に設けることで、蛍光体層61を半導体積層体10から離すことができ、半導体積層体10の温度の上昇を抑制できる。
このように、透光部62の形状は任意である。
【0099】
図5(b)に表したように、別の半導体発光装置110bにおいては、光学層60には、蛍光体層61が設けられているが、透光部62が設けられていない。このように、透光部62は、必要に応じて設けられる。
【0100】
図5(c)に表したように、本実施形態に係る別の半導体発光装置110cにおいては、光学層60は、蛍光体を含む蛍光体層61と、蛍光体層61の半導体積層体10とは反対側に設けられた硬質膜63と、を有する。硬質膜63は、蛍光体層61の硬度よりも高い硬度を有する。硬質膜63は透光性を有する。硬質膜63には、例えば硬度の高いシリコーン樹脂を用いることができる。硬質膜63の形成には、例えば、スピンコート法または印刷法を採用できる。また、硬質膜63には、例えば窒化シリコンや酸化シリコンなどを用いることができる。この場合には、硬質膜63は、例えばスパッタなどの方法によって形成される。ただし、硬質膜63の材料及び形成方法は任意である。
【0101】
硬質膜63を設けることで、半導体発光装置110cの発光面(光学層60の側の面)において高い硬度が得られるため、例えば、半導体発光装置110cのハンドリングが容易になる。
【0102】
例えば、蛍光体層61に用いられるシリコーン樹脂の硬度が低い場合において、光学層60の最表面(半導体積層体10から最も離れた面)に蛍光体層61が露出していると、例えば、半導体発光装置をコレットでピックアップする際に、蛍光体層61がコレットに密着し適切な実装が行われ難い場合がある。このとき、蛍光体層61よりも硬度が高い硬質膜63を蛍光体層61の上に設けることで、良好な実装がより実施し易くなる。
【0103】
図6(a)、図6(b)及び図6(c)に表したように、本実施形態に係る別の半導体発光装置110d、110e及び110fにおいては、第1接続部32a及び第2接続部32bが設けられていない。この場合にも、第1柱部31aと半導体積層体10との間に第1絶縁層21が設けられることで、半導体層に加わる応力を緩和し、発光効率の向上が可能な半導体発光装置が得られる。
【0104】
なお、図6(a)に例示した半導体発光装置110dにおいては、透光部62は、凸レンズの形状を有しているが、半導体発光装置110のように、透光部62の形状を凹レンズの形状としても良い。また、透光部62の厚さは一定としても良い。
【0105】
なお、図6(b)に例示した半導体発光装置110eは、透光部62が省略される例であり、図6(c)に例示した半導体発光装置110fは、図5(c)に関して説明した硬質膜63が設けられる例である。
【0106】
図7(a)及び図7(b)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
すなわち、図7(b)は模式的平面図であり、図7(a)は、図7(b)のB−B’線断面図である。
【0107】
図7(a)及び図7(b)に表したように、本実施形態に係る半導体発光装置111においては、第1絶縁層21は、第1柱部31aの少なくとも一部と半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bの少なくとも一部と半導体積層体10との間に設けられている。
【0108】
この場合にも、第1絶縁層21は、第1導電部30aと、第1電極14の一部と、の間にさらにも設けられることができる。本具体例では、第1絶縁層21は、第1柱部31aの少なくとも一部と、第1電極14の一部と、の間にさらに設けられている。ただし、第1導電部30aと第1電極14との電気的な接続を実現するために、第1絶縁層21は、第1電極14の少なくとも一部の上には設けられていない。第1絶縁層21は、例えば、第1開口部20o1を有し、第1開口部20o1において、第1導電部30aと第1電極14との電気的な接続が行われる。
【0109】
さらに、本具体例では、第1絶縁層21は、第2導電部30bと、第2電極15の一部と、の間にさらに設けられている。そして、第2導電部30bと第2電極15との電気的な接続を実現するために、第1絶縁層21は、第2電極15の少なくとも一部の上には設けられていない。すなわち、第1絶縁層21は、例えば、第2電極15の側の第2開口部20o2を有し、第2開口部20o2において、第2導電部30bと第2電極15との電気的な接続が行われる。第2開口部20o2は、第1絶縁層21を貫通する孔を含む。第2開口部20o2は、第2電極15の端部から後退し第2電極15を露出させる部分を便宜的に含むことができる。すなわち、第2開口部20o2は、第1絶縁層21のうちで第2電極15の少なくとも一部を露出させる部分を含むことができ、その形状は任意である。第2開口部20o2の数は、任意である。
【0110】
このような構成を有する半導体発光装置111においても、第1柱部31aと半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bと半導体積層体10との間に、第1絶縁層21が設けられることで、半導体層に加わる応力を緩和し、発光効率の向上が可能な半導体発光装置が提供できる。
【0111】
なお、半導体発光装置111においては、第1絶縁層21は、第1柱部31aと半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bと半導体積層体10との間、の両方に設けられている。すなわち、半導体発光装置111においては、第2柱部31bの半導体積層体10の側の面(例えば全面)と、第2電極15と、の間に第1絶縁層21が設けられている。これにより、応力の緩和効果がより大きくなる。
【0112】
なお、既に説明した半導体発光装置110、及び、110a〜110fにおいては、第1絶縁層21は、第1柱部31aと半導体積層体10との間に設けられているが、第1絶縁層21は、第2柱部31bと半導体積層体10との間には設けられていない。第1絶縁層21として、弾性率が低い例えばポリイミドを用いた場合において、ポリイミドの熱伝導率が比較的低いため、応力緩和のために第1絶縁層21を設けることによって放熱性が低下する場合がある。
【0113】
このため、半導体発光装置110、及び、110a〜110fのように、第1絶縁層21を、第1柱部31aと半導体積層体10との間に設け、第2柱部31bと半導体積層体10との間には設けない構成として、応力緩和と放熱性との両方の特性を向上させる構成を採用することができる。また、半導体発光装置111のように、第1絶縁層21を、第1柱部31aと半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bと半導体積層体10との間の両方に設け、応力緩和の特性を大きく向上させる構成を採用することもできる。このように、応力緩和と放熱性との観点から、第1絶縁層21を設ける領域を適切に設定することができる。
【0114】
なお、第1絶縁層21を、第1柱部31aと半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bと半導体積層体10との間、の両方に設ける構成は、半導体発光装置110a〜110fのいずれかにも適用できる。
【0115】
図8は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式的斜視図である。
図9(a)、図9(b)及び図9(c)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
すなわち、図9(c)は模式的平面図であり、図9(a)は、図9(c)のC−C’線断面図であり、図9(b)は、図9(c)のD−D’線断面図である。
図10(a)、図10(b)、図10(c)及び図10(d)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の要素の構成を例示する模式図である。
すなわち、これらの図は、本実施形態に係る別の半導体発光装置112に含まれる構成要素のZ軸方向に沿ってみたときのパターン形状を例示する図である。図10(a)は、第1電極14及び第2電極15のパターン形状を例示し、図10(b)は、第1絶縁層21のパターン形状を例示し、図10(c)は、第1接続部32a及び第2接続部32bのパターン形状を例示し、図10(d)は、第1柱部31a及び第2柱部31bのパターン形状を例示している。
【0116】
図8、図9(a)〜図9(c)に表したように、本実施形態に係る別の半導体発光装置112においては、第2柱部31bが2つ設けられている。そして、半導体発光装置112及び半導体積層体10をZ軸方向からみたときの形状が、略正方形とされている。
【0117】
なお、第1導電部30aの第1柱部31aの半導体積層体10とは反対の側の端に、第1接続部材72aが設けられ、第2導電部30bの第2柱部31bの半導体積層体10とは反対の側の端に、第2接続部材72bが設けられている。第1接続部材72a及び第2接続部材72bには、はんだを用いることができる。第1接続部材72a及び第2接続部材72bは省略しても良い。なお、第1柱部31aの第1端面31ae(第1接続部材72aと接する部分)、及び、第2柱部31bの第1端面31be(第2接続部材72bと接する部分)に、表面層を設けても良い。この表面層には、例えば、水溶性プリフラックス、無電解Ni/Ajuメッキ、及び、AuSnメッキなどの少なくともいずれかの処理が行われた層を用いることができる。これにより、第1端面31ae及び第2端面31beにおけるはんだとの濡れ性が向上でき、実装性が向上する。
【0118】
本具体例においても、光学層60は、蛍光体層61を有し、さらに、透光部62及び硬質膜63を有しても良い。
【0119】
図10(a)に表したように、第1電極14は、半導体積層体10の1つの辺の中央部に近接して設けられている。一方、第2電極15は、半導体積層体10の第1電極14を除く領域に設けられている。第2電極15の面積は、第1電極14の面積よりも大きい。これにより、放熱性が向上し、また、電流の注入効率が向上し、発光効率が向上できる。
【0120】
図10(b)及び図9(a)に表したように、第1絶縁層21には、第1開口部20o1と、複数の第2開口部20o2と、が設けられている。複数の第2開口部20o2の1つのパターン形状は、例えば10μm×10μmの略正方形である。
【0121】
図9(a)に例示したように、第1開口部20o1により、第1電極14の少なくとも一部が露出されている。そして、図9(b)に例示したように、複数の第2開口部20o2により、第2電極15の一部が露出されている。
【0122】
図10(c)及び図9(a)に表したように、第1接続部32aは、第1開口部20o1から露出された第1電極14の少なくとも一部を覆うパターン形状を有している。そして、図10(c)及び図9(b)に表したように、第2接続部32bは、複数の第2開口部20o2から露出された第2電極15の一部を覆うパターン形状を有している。
【0123】
図10(d)に表したように、第1柱部31aは、Z軸方向に沿ってみたときに、第1接続部32aと重なるパターン形状を有している。そして、図10(d)に表したように、第2柱部31bは、Z軸方向に沿ってみたときに、第2接続部32bと重なるパターン形状を有している。
【0124】
このようなパターン形状を採用することで、第1柱部31aは、第1接続部32aを介して、第1開口部20o1から露出する第1電極14と電気的に接続される。そして、第2柱部31bは、第2接続部32bを介して、複数の第2開口部20o2から露出する第2電極15と電気的に接続される。
【0125】
そして、本具体例では、第1絶縁層21は、第1柱部31aの半導体積層体10の側の面(例えば全面)と、半導体積層体10と、の間に設けられている。第1絶縁層21は、第2柱部31bの半導体積層体10の側の面(例えば全面)と、半導体積層体10と、の間にさらに設けられている。具体的には、第1絶縁層21は、第2柱部31bの半導体積層体10の側の面(例えば全面)と、第2電極15と、の間に設けられている。
【0126】
このように、第1柱部31aの直下、及び、第2柱部31bの直下、に、第1絶縁層21を設けることで、第1柱部31a及び第2柱部31bの両方に対応する領域において、半導体層に加わる応力を緩和することができる。
【0127】
図11(a)、図11(b)及び図11(c)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
すなわち、図11(c)は模式的平面図であり、図11(a)は、図11(c)のE−E’線断面図であり、図11(b)は、図11(c)のF−F’線断面図である。
図12(a)、図12(b)、図12(c)及び図12(d)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の要素の構成を例示する模式図である。
すなわち、これらの図は、本実施形態に係る別の半導体発光装置112aに含まれる構成要素のZ軸方向に沿ってみたときのパターン形状を例示する図である。図12(a)〜図12(d)は、第1電極14及び第2電極15のパターン形状、第1絶縁層21のパターン形状、第1接続部32a及び第2接続部32bのパターン形状、並びに、第1柱部31a及び第2柱部31bのパターン形状を、それぞれ例示している。
【0128】
図11(a)〜図11(c)に表したように、半導体発光装置112aにおいても、第2柱部31bが2つ設けられている。
【0129】
図12(a)に表したように、第1電極14及び第2電極15のパターン形状は、半導体発光装置112と同様であるので説明を省略する。
【0130】
図12(b)に表したように、半導体発光装置112aにおいては、第1絶縁層21には、1つの第1開口部20o1と、1つの第2開口部20o2と、が設けられている。そして、第1絶縁層21は、第2柱部31bが設けられる領域には設けられていない。すなわち、第2柱部31bが設けられる領域には、第2開口部20o2が配置される。
【0131】
図11(a)に例示したように、第1開口部20o1により、第1電極14の少なくとも一部が露出されている。そして、図11(b)に例示したように、第2開口部20o2により、第2電極15の一部が露出されている。
【0132】
図12(c)及び図11(a)に表したように、第1接続部32aは、第1開口部20o1から露出された第1電極14の少なくとも一部を覆うパターン形状を有している。そして、図12(c)及び図11(b)に表したように、第2接続部32bは、第2開口部20o2から露出された第2電極15の一部を覆うパターン形状を有している。この場合には、第2接続部32bの実質的な全面が、半導体積層体10の第2電極15に直接的に接続されている。
【0133】
図12(d)に表したように、第1柱部31aは、Z軸方向に沿ってみたときに、第1接続部32aと重なるパターン形状を有している。そして、図12(d)に表したように、第2柱部31bは、Z軸方向に沿ってみたときに、第2接続部32bと重なるパターン形状を有している。
【0134】
このようなパターン形状を採用することで、第1柱部31aは、第1接続部32aを介して、第1開口部20o1から露出する第1電極14と電気的に接続される。第2柱部31bは、第2接続部32bを介して、第2開口部20o2から露出する第2電極15と電気的に接続される。
【0135】
本具体例においても、第1絶縁層21は、第1柱部31aの半導体積層体10の側の面(例えば全面)と、半導体積層体10と、の間に設けられている。これにより、第1柱部31aの部分において、半導体層に加わる応力を緩和することができる。そして、本具体例においては、第1絶縁層21は、第2柱部31bと、半導体積層体10と、の間には設けられていない。このため、第2柱部31bは、第1絶縁層21を介さないで、第2接続部32bを介して、半導体積層体10に対向する。このため、半導体積層体10と、第2導電部30b(第2接続部32b及び第2柱部31b)とが、(第2電極15を介して)熱的に接続されるため。熱抵抗が低下でき、放熱性を高めることができる。
【0136】
このように、第1絶縁層21を、第1柱部31aと半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bと半導体積層体10との間、の両方に設ける構成(例えば半導体発光装置112の構成)と、第1絶縁層21を、第1柱部31aと半導体積層体10との間に設け、第2柱部31bと半導体積層体10との間には設けない構成(例えば半導体発光装置112aの構成)とが、応力緩和と放熱性向上とに関する所望の特性に応じて適切に選択される。
【0137】
図13(a)、図13(b)及び図13(c)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
すなわち、図13(c)は模式的平面図であり、図13(a)は、図13(c)のG−G’線断面図であり、図13(b)は、図13(c)のH−H’線断面図である。
図14(a)、図14(b)、図14(c)及び図14(d)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光装置の要素の構成を例示する模式図である。
すなわち、これらの図は、本実施形態に係る別の半導体発光装置112bに含まれる構成要素のZ軸方向に沿ってみたときのパターン形状を例示する図である。図14(a)〜図14(d)は、第1電極14及び第2電極15のパターン形状、第1絶縁層21のパターン形状、第1接続部32a及び第2接続部32bのパターン形状、並びに、第1柱部31a及び第2柱部31bのパターン形状を、それぞれ例示している。
【0138】
図13(a)〜図13(c)に表したように、半導体発光装置112bにおいても、第2柱部31bが2つ設けられている。
【0139】
図14(b)に表したように、半導体発光装置112bにおいては、第1絶縁層21が、第1柱部31aと半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bと半導体積層体10との間、の領域に設けられ、第1絶縁層21は、第1柱部31a及び第2柱部31bに対向する領域を除く領域には設けられていない。これ以外は、半導体発光装置112と同様とすることができるので説明を省略する。
【0140】
このように、第1接続部21は、第1柱部31aの少なくとも一部と半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bの少なくとも一部と半導体積層体10との間の少なくともいずれかに設けられれば良く、第1接続部21は、第1柱部31a及び第2柱部31bに対向する領域を除く領域には設けられなくても良い。
【0141】
(第2の実施の形態)
図15(a)、図15(b)及び図15(c)は、第2の実施形態に係る半導体発光装置の構成を例示する模式図である。
すなわち、図15(c)は模式的平面図であり、図15(a)は、図15(c)のI−I’線断面図であり、図15(b)は、図15(c)のJ−J’線断面図である。
図16(a)、図16(b)、図16(c)及び図16(d)は、第2の実施形態に係る半導体発光装置の要素の構成を例示する模式図である。
すなわち、これらの図は、本実施形態に係る半導体発光装置120に含まれる構成要素のZ軸方向に沿ってみたときのパターン形状を例示する図である。図16(a)〜図16(d)は、第1電極14及び第2電極15のパターン形状、第1絶縁層21のパターン形状、第1接続部32a及び第2接続部32bのパターン形状、並びに、第1柱部31a及び第2柱部31bのパターン形状を、それぞれ例示している。
【0142】
図15(a)〜図15(c)に表したように、半導体発光装置120においても、第2柱部31bが2つ設けられている。
【0143】
そして、図16(b)に表したように、半導体発光装置120においては、第1絶縁層21が、第1柱部31aと半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bと半導体積層体10との間、の領域に設けられている。
【0144】
さらに、図15(b)及び図16(b)に表したように、半導体積層体10の第1主面に第2絶縁層22が設けられている。この第2絶縁層22は、第1主面10bにおいて第1絶縁層21が設けられていない領域に設けられている。
【0145】
本具体例では、第1絶縁層21は、第1柱部31a及び第2柱部31bに対向する領域を除く領域には設けられていない。そして、第2絶縁層22は、第2主面10aにおいて第1柱部31aに対向する領域を除く領域に設けられている。第2絶縁層22は、第2主面10aにおいて第2柱部31bに対向する領域を除く領域に設けられている。
【0146】
そして、第2絶縁層22は、第1絶縁層21の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する。 例えば、第1絶縁層21には有機材料が用いられ、第2絶縁層22には無機材料が用いられる。なお、第1絶縁層21には、例えば、少量の無機物質が添加された有機材料を用いても良い。
【0147】
例えば、第1絶縁層21としてポリイミドが用いられ、第2絶縁層22としてアルミナが用いられる。ポリイミドの熱伝導率は、例えば約0.15W/(m・K)であり、アルミナの熱伝導率は、約38W/(m・K)である。なお、本実施形態はこれに限らず、第2絶縁層22には、第1絶縁層21に用いられる材料よりも熱伝導率が高い任意の絶縁材料を用いることができる。
【0148】
このように、半導体発光装置120は、半導体積層体10の第2主面10aにおいて、第1絶縁層21が設けられていない領域に設けられ、第1絶縁層21の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する第2絶縁層22をさらに備える。なお、第1電極14と第1導電部30aとの電気的な接続、及び、第2電極15と第2導電部30bとの電気的な接続を実現するために、第2絶縁層22は、第1電極14の少なくとも一部の上、及び、第2電極15の少なくとも一部の上には設けられていない。
【0149】
すなわち、第1柱部31aと半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bと半導体積層体10との間に、半導体積層体10よりも弾性率が低い第1絶縁層21を設け、半導体積層体10に加わる応力を緩和しつつ、熱伝導率が高い第2絶縁層22を設けることで、半導体積層体10の熱を効率良く放熱できる。これにより、半導体層に加わる応力を緩和しつつ、放熱性を向上できる。これにより、例えばさらに発光効率を向上することができる。
【0150】
なお、第2絶縁層22は、第1の実施形態に係る半導体発光装置110、110a〜110f、112、112a及び112bのいずれかにおいても設けることができ、同様の効果を発揮することができる。
【0151】
(第3の実施の形態)
図17は、第3の実施形態に係る半導体発光装置の製造方法を例示するフローチャート図である。
本実施形態は、上記の実施形態に係るいずれかの半導体発光装置を製造する方法である。すなわち、本製造方法は、第1主面10bと、第1主面10bとは反対側の第2主面10aと、を有する半導体積層体10と、半導体積層体10の第2主面10aに設けられた第1電極14及び第2電極15と、を含む発光部10dと、第1電極14に電気的に接続され、第2主面10aの上に立設された第1柱部31aを含む第1導電部30aと、第2電極15に電気的に接続され、第2主面10aの上に立設された第2柱部31bを含む第2導電部30bと、第1柱部31aの少なくとも一部と半導体積層体10との間、及び、第2柱部31bの少なくとも一部と半導体積層体10との間、の少なくともいずれかに設けられた第1絶縁層21と、第1導電部30aの側面及び第2導電部30bの側面を覆う封止部50と、半導体積層体10の第1主面10bに設けられた光学層であって、発光層13から放出された発光光を吸収し、発光光の波長とは異なる波長の光を放出する波長変換部(蛍光体層61)を含む光学層60と、を有する半導体発光装置の製造方法である。半導体積層体10は、第1主面10bの側に設けられた第1導電形の第1半導体層11と、第2主面10aの側に設けられた第2導電形の第2半導体層12と、第1半導体層11と第2半導体層12との間に設けられた発光層13と、を含む。半導体積層体10においては、第2半導体層12及び発光層13が選択的に除去されて第2主面10aに第1半導体層11の一部が露出する。第1電極14は、第2主面10aの側において第1半導体層11に電気的に接続され、第2電極15は、第2主面10aの側において第2半導体層12に電気的に接続される。
【0152】
図17に表したように、本実施形態に係る半導体発光装置の製造方法は、半導体積層体10の第2主面10aの、第1柱部31aの少なくとも一部、及び、第2柱部31bの少なくとも一部、の少なくともいずれかに対応する領域に、第1絶縁層21を形成する(ステップS110)。すなわち、例えば、図2(c)に関して説明した処理を行う。
【0153】
なお、既に説明したように、第1絶縁層21は、第1電極14の少なくとも一部を除き、第2電極15の少なくとも一部を除く領域に形成することができる。第1絶縁層21は、複数の半導体積層体10どうしの間にさらに設けることができる。
【0154】
そして、図15に表したように、第1絶縁層21の上に、第1導電部30aの少なくとも一部及び第2導電部30bの少なくとも一部となる導電膜を形成する(ステップS120)。すなわち、例えば、図2(d)、図2(e)及び図3(a)に関して説明した処理を行う。
【0155】
すなわち、ステップS120は、例えば、シード層33を形成する工程、第1接続部32a及び第2接続部32bに対応する領域を除く領域に第1レジスト層37を形成する工程、並びに、第1レジスト層37が設けられていない領域に、第1接続部32aの第2層及び第2接続部32bの第4層となる接続部導電膜32fを形成する工程を含むことができる。
【0156】
なお、既に説明したように、第1導電部30aの少なくとも一部、及び、第2導電部30bの少なくとも一部となる導電膜は、第1絶縁層21に覆われていない第1電極14の少なくとも一部と、第1絶縁層21に覆われていない第2電極15の少なくとも一部と、を覆うように、形成されることができる。
【0157】
これにより、半導体層に加わる応力を緩和し、発光効率の向上が可能な半導体発光装置を製造することができる。
【0158】
そして、既に説明したように、上記の第1絶縁層21の形成(ステップS110)と、上記の導電膜の形成(ステップS120)と、は、複数の半導体積層体10が設けられた基板10sにおいて、複数の半導体積層体10について一括して実施されることができる。これにより、半導体層に加わる応力を緩和し、発光効率の向上が可能な半導体発光装置を高い生産性で製造することができる。
【0159】
なお、図6(a)〜図6(c)に関して説明した半導体発光装置110d、110e及び110fのように、接続部導電膜32fが省略される場合には、ステップS120における第1導電部30aの少なくとも一部、及び、第2導電部30bの少なくとも一部となる導電膜は、第1柱部31a及び第2柱部31bを形成する工程(例えば図3(b)及び図3(c)に関して説明した工程)に相当する。この方法においても、半導体層に加わる応力を緩和し、発光効率の向上が可能な半導体発光装置を製造することができる。
【0160】
第2実施形態に係る半導体発光装置120を製造する場合には、本製造方法は、例えば、第1絶縁層21を形成する前に、半導体積層体10の第2主面10aの、第1絶縁層21が形成される領域を除く領域に第2絶縁層22を形成する工程をさらに備えることができる。すなわち、まず、半導体積層体10の第2主面10aのうち、第1絶縁層21が形成される領域を除く領域に、例えば、アルミナなどの第2絶縁層22を形成する。なお、第2絶縁層22は、第1電極14の少なくとも一部を除き、第2電極15の少なくとも一部を除いた領域に設けられる。そして、この後、第1絶縁層21を形成するステップS110を実施する。これにより、半導体発光装置120が製造できる。
【0161】
赤色の蛍光体として例えば以下が挙げられる。ただし、実施形態に用いられる赤色の蛍光体は、これに限定されない。
Y2O2S:Eu、
Y2O2S:Eu+顔料、
Y2O3:Eu、
Zn3(PO4)2:Mn、
(Zn,Cd)S:Ag+In2O3、
(Y,Gd,Eu)BO3、
(Y,Gd,Eu)2O3、
YVO4:Eu、
La2O2S:Eu,Sm、
LaSi3N5:Eu2+、
α−sialon:Eu2+、
CaAlSiN3:Eu2+、
CaSiNX:Eu2+、
CaSiNX:Ce2+、
M2Si5N8:Eu2+、
CaAlSiN3:Eu2+、
(SrCa)AlSiN3:EuX+、
Srx(SiyAl3)z(OxN):EuX+ 。
【0162】
緑色の蛍光体として例えば以下が挙げられる。ただし、実施形態に用いられる緑色の蛍光体は、これに限定されない。
ZnS:Cu,Al、
ZnS:Cu,Al+顔料、
(Zn,Cd)S:Cu,Al、
ZnS:Cu,Au,Al,+顔料、
Y3Al5O12:Tb、
Y3(Al,Ga)5O12:Tb、
Y2SiO5:Tb、
Zn2SiO4:Mn、
(Zn,Cd)S:Cu、
ZnS:Cu、
Zn2SiO4:Mn、
ZnS:Cu+Zn2SiO4:Mn、
Gd2O2S:Tb、
(Zn,Cd)S:Ag、
ZnS:Cu,Al、
Y2O2S:Tb、
ZnS:Cu,Al+In2O3、
(Zn,Cd)S:Ag+In2O3、
(Zn,Mn)2SiO4、
BaAl12O19:Mn、
(Ba,Sr,Mg)O・aAl2O3:Mn、
LaPO4:Ce,Tb、
Zn2SiO4:Mn、
ZnS:Cu、
3(Ba,Mg,Eu,Mn)O・8Al2O3、
La2O3・0.2SiO2・0.9P2O5:Ce,Tb、
CeMgAl11O19:Tb、
CaSc2O4:Ce、
(BrSr)SiO4:Eu、
α−sialon:Yb2+、
β−sialon:Eu2+、
(SrBa)YSi4N7:Eu2+、
(CaSr)Si2O4N7:Eu2+、
Sr(SiAl)(ON):Ce 。
【0163】
青色の蛍光体として例えば以下が挙げられる。ただし、実施形態に用いられる青色の蛍光体はこれに限定されない。
ZnS:Ag、
ZnS:Ag+顔料、
ZnS:Ag,Al、
ZnS:Ag,Cu,Ga,Cl、
ZnS:Ag+In2O3、
ZnS:Zn+In2O3、
(Ba,Eu)MgAl10O17、
(Sr,Ca,Ba,Mg)10(PO4)6Cl2:Eu、
Sr10(PO4)6Cl2:Eu、
(Ba,Sr,Eu)(Mg,Mn)Al10O17、
10(Sr,Ca,Ba,Eu)・6PO4・Cl2、
BaMg2Al16O25:Eu 。
【0164】
黄色の蛍光体として例えば以下が挙げられる。ただし、実施形態に用いられる黄色の蛍光体はこれに限定されない。
Li(Eu,Sm)W2O8、
(Y,Gd)3,(Al,Ga)5O12:Ce3+、
Li2SrSiO4:Eu2+、
(Sr(Ca,Ba))3SiO5:Eu2+、
SrSi2ON2.7:Eu2+ 。
【0165】
なお、本明細書において「窒化物半導体」とは、BxInyAlzGa1−x−y−zN(0≦x≦1,0≦y≦1,0≦z≦1,x+y+z≦1)なる化学式において組成比x、y及びzをそれぞれの範囲内で変化させた全ての組成の半導体を含むものとする。またさらに、上記化学式において、N(窒素)以外のV族元素もさらに含むものや、導電形などを制御するために添加される各種のドーパントのいずれかをさらに含むものも、「窒化物半導体」に含まれるものとする。
【0166】
以上説明したように、実施形態によれば、半導体層に加わる応力を緩和し、発光効率の向上が可能な半導体発光装置及びその製造方法を提供することができる。
【0167】
なお、本願明細書において、「垂直」及び「平行」は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれは良い。
【0168】
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明の実施の形態は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、発光部に含まれる半導体層、発光層、電極、導電層、反射層及びコンタクト電極層、並びに、半導体発光装置に含まれる導電部、柱部、接続部、絶縁層、封止部、光学層、波長変換部、蛍光体層、蛍光体、透光部及び硬質膜などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
【0169】
その他、本発明の実施の形態として上述した半導体発光装置及びその製造方法を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての半導体発光装置及びその製造方法も、本発明の実施の形態の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
【0170】
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【0171】
10…半導体積層体、 10a…第2主面、 10b…第1主面、 10d…発光部、 10s…基板、 11…第1半導体層、 12…第2半導体層、 13…発光層、 14…第1電極、 15…第2電極、 18…保護層、 20o1、20o2…第1及び第2開口部、 21…第1絶縁層、 22…第2絶縁層、 30a…第1導電部、 30b…第2導電部、 31a…第1柱部、 31ae…第1端面、 31b…第2柱部、 31be…第2端面、 31f…柱部導電膜、 32a…第1接続部、 32b…第2接続部、 32f…接続部導電膜、 33…シード層、 37…第1レジスト層、 38…第2レジスト層、 50…封止部、 50f…樹脂層、 60…光学層、 61…蛍光体層(波長変換部)、 61f…蛍光体膜、 62…透光部、 63…硬質膜、 72a、72b…第1及び第2接続部材、 110、110a〜110f、111、112、112a、112b、120…半導体発光装置
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第1主面と、前記第1主面とは反対側の第2主面と、を有する半導体積層体と、前記半導体積層体の前記第2主面に設けられた第1電極及び第2電極と、を含む発光部と、
前記第1電極に電気的に接続され、前記第2主面の上に立設された第1柱部を含む第1導電部と、
前記第2電極に電気的に接続され、前記第2主面の上に立設された第2柱部を含む第2導電部と、
前記第1柱部の少なくとも一部と前記半導体積層体との間、及び、前記第2柱部の少なくとも一部と前記半導体積層体との間、の少なくともいずれかに設けられた第1絶縁層と、
前記第1導電部の側面及び前記第2導電部の側面を覆う封止部と、
前記半導体積層体の前記第1主面に設けられた光学層であって、前記発光層から放出された発光光を吸収し、前記発光光の波長とは異なる波長の光を放出する波長変換部を含む前記光学層と、
を備えたことを特徴とする半導体発光装置。
【請求項2】
前記第1絶縁層の弾性率は、前記半導体積層体の弾性率よりも低いことを特徴とする請求項1記載の半導体発光装置。
【請求項3】
前記第1絶縁層の弾性率は、前記第1柱部の弾性率及び前記第2柱部の弾性率よりも低いことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体発光装置。
【請求項4】
前記第1絶縁層は、前記第1導電部と前記第1電極の一部との間にさらに設けられることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【請求項5】
前記第1絶縁層は、前記第2導電部と前記第2電極の一部との間にさらに設けられることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【請求項6】
前記第1絶縁層は、前記第1柱部の前記少なくとも一部と前記半導体積層体との間に設けられ、
前記第1導電部は、前記第1絶縁層の前記半導体積層体とは反対の側の面の少なくとも一部を覆い前記第1電極と前記第1柱部とを電気的に接続する第1接続部をさらに含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【請求項7】
前記第1絶縁層は、前記第2柱部の前記少なくとも一部と前記半導体積層体との間に設けられ、
前記第2導電部は、前記第1絶縁層の前記半導体積層体とは反対の側の面の少なくとも一部を覆い前記第2電極と前記第2柱部とを電気的に接続する第2接続部をさらに含むことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【請求項8】
前記半導体積層体の前記第2主面において前記第1絶縁層が設けられていない領域に設けられ、前記第1絶縁層の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する第2絶縁層をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【請求項9】
前記第2絶縁層は、前記第2主面において前記第1柱部に対向する領域を除く領域に設けられていることを特徴とする請求項8記載の半導体発光装置。
【請求項10】
前記第2絶縁層は、前記第2主面において前記第2柱部に対向する領域を除く領域に設けられていることを特徴とする請求項8または9に記載の半導体発光装置。
【請求項11】
前記第1絶縁層は、前記第2柱部の前記半導体積層体の側の面と、前記第2電極と、の間に設けられていることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【請求項12】
前記第1絶縁層は、前記第2柱部と前記半導体積層体との間には設けられていないことを特徴とする請求項1〜11のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【請求項13】
前記半導体積層体は、前記第1主面の側に設けられた第1導電形の第1半導体層と、前記第2主面の側に設けられた第2導電形の第2半導体層と、前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に設けられた発光層と、を含み、
前記半導体積層体においては、前記第2半導体層及び前記発光層が選択的に除去されて前記第2主面において前記第1半導体層の一部が露出し、
前記第1電極は、前記第2主面の側において前記第1半導体層に電気的に接続され、
前記第2電極は、前記第2主面の側において前記第2半導体層に電気的に接続されることを特徴とする請求項1〜12のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【請求項14】
、第1主面と、前記第1主面とは反対側の第2主面と、を有する半導体積層体と、前記半導体積層体の前記第2主面に設けられた第1電極及び第2電極と、を含む発光部と、前記第1電極に電気的に接続され、前記第2主面の上に立設された第1柱部を含む第1導電部と、前記第2電極に電気的に接続され、前記第2主面の上に立設された第2柱部を含む第2導電部と、前記第1柱部の少なくとも一部と前記半導体積層体との間、及び、前記第2柱部の少なくとも一部と前記半導体積層体との間、の少なくともいずれかに設けられた第1絶縁層と、前記第1導電部の側面及び前記第2導電部の側面を覆う封止部と、前記半導体積層体の前記第1主面に設けられた光学層であって、前記発光層から放出された発光光を吸収し、前記発光光の波長とは異なる波長の光を放出する波長変換部を含む前記光学層と、を有する半導体発光装置の製造方法であって、
前記半導体積層体の前記第2主面の、前記第1柱部の少なくとも一部及び前記第2柱部の少なくとも一部の少なくともいずれかに対応する領域に、前記第1絶縁層を形成し、
前記第1絶縁層の上に、前記第1導電部の少なくとも一部、及び、前記第2導電部の少なくとも一部となる導電膜を形成することを特徴とする半導体発光装置の製造方法。
【請求項15】
前記第1絶縁層の形成と、前記導電膜の形成と、は、複数の前記半導体積層体が設けられた基板において、前記複数の半導体積層体について一括して実施されることを特徴とする請求項14記載の半導体発光装置の製造方法。
【請求項1】
第1主面と、前記第1主面とは反対側の第2主面と、を有する半導体積層体と、前記半導体積層体の前記第2主面に設けられた第1電極及び第2電極と、を含む発光部と、
前記第1電極に電気的に接続され、前記第2主面の上に立設された第1柱部を含む第1導電部と、
前記第2電極に電気的に接続され、前記第2主面の上に立設された第2柱部を含む第2導電部と、
前記第1柱部の少なくとも一部と前記半導体積層体との間、及び、前記第2柱部の少なくとも一部と前記半導体積層体との間、の少なくともいずれかに設けられた第1絶縁層と、
前記第1導電部の側面及び前記第2導電部の側面を覆う封止部と、
前記半導体積層体の前記第1主面に設けられた光学層であって、前記発光層から放出された発光光を吸収し、前記発光光の波長とは異なる波長の光を放出する波長変換部を含む前記光学層と、
を備えたことを特徴とする半導体発光装置。
【請求項2】
前記第1絶縁層の弾性率は、前記半導体積層体の弾性率よりも低いことを特徴とする請求項1記載の半導体発光装置。
【請求項3】
前記第1絶縁層の弾性率は、前記第1柱部の弾性率及び前記第2柱部の弾性率よりも低いことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体発光装置。
【請求項4】
前記第1絶縁層は、前記第1導電部と前記第1電極の一部との間にさらに設けられることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【請求項5】
前記第1絶縁層は、前記第2導電部と前記第2電極の一部との間にさらに設けられることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【請求項6】
前記第1絶縁層は、前記第1柱部の前記少なくとも一部と前記半導体積層体との間に設けられ、
前記第1導電部は、前記第1絶縁層の前記半導体積層体とは反対の側の面の少なくとも一部を覆い前記第1電極と前記第1柱部とを電気的に接続する第1接続部をさらに含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【請求項7】
前記第1絶縁層は、前記第2柱部の前記少なくとも一部と前記半導体積層体との間に設けられ、
前記第2導電部は、前記第1絶縁層の前記半導体積層体とは反対の側の面の少なくとも一部を覆い前記第2電極と前記第2柱部とを電気的に接続する第2接続部をさらに含むことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【請求項8】
前記半導体積層体の前記第2主面において前記第1絶縁層が設けられていない領域に設けられ、前記第1絶縁層の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する第2絶縁層をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【請求項9】
前記第2絶縁層は、前記第2主面において前記第1柱部に対向する領域を除く領域に設けられていることを特徴とする請求項8記載の半導体発光装置。
【請求項10】
前記第2絶縁層は、前記第2主面において前記第2柱部に対向する領域を除く領域に設けられていることを特徴とする請求項8または9に記載の半導体発光装置。
【請求項11】
前記第1絶縁層は、前記第2柱部の前記半導体積層体の側の面と、前記第2電極と、の間に設けられていることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【請求項12】
前記第1絶縁層は、前記第2柱部と前記半導体積層体との間には設けられていないことを特徴とする請求項1〜11のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【請求項13】
前記半導体積層体は、前記第1主面の側に設けられた第1導電形の第1半導体層と、前記第2主面の側に設けられた第2導電形の第2半導体層と、前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に設けられた発光層と、を含み、
前記半導体積層体においては、前記第2半導体層及び前記発光層が選択的に除去されて前記第2主面において前記第1半導体層の一部が露出し、
前記第1電極は、前記第2主面の側において前記第1半導体層に電気的に接続され、
前記第2電極は、前記第2主面の側において前記第2半導体層に電気的に接続されることを特徴とする請求項1〜12のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
【請求項14】
、第1主面と、前記第1主面とは反対側の第2主面と、を有する半導体積層体と、前記半導体積層体の前記第2主面に設けられた第1電極及び第2電極と、を含む発光部と、前記第1電極に電気的に接続され、前記第2主面の上に立設された第1柱部を含む第1導電部と、前記第2電極に電気的に接続され、前記第2主面の上に立設された第2柱部を含む第2導電部と、前記第1柱部の少なくとも一部と前記半導体積層体との間、及び、前記第2柱部の少なくとも一部と前記半導体積層体との間、の少なくともいずれかに設けられた第1絶縁層と、前記第1導電部の側面及び前記第2導電部の側面を覆う封止部と、前記半導体積層体の前記第1主面に設けられた光学層であって、前記発光層から放出された発光光を吸収し、前記発光光の波長とは異なる波長の光を放出する波長変換部を含む前記光学層と、を有する半導体発光装置の製造方法であって、
前記半導体積層体の前記第2主面の、前記第1柱部の少なくとも一部及び前記第2柱部の少なくとも一部の少なくともいずれかに対応する領域に、前記第1絶縁層を形成し、
前記第1絶縁層の上に、前記第1導電部の少なくとも一部、及び、前記第2導電部の少なくとも一部となる導電膜を形成することを特徴とする半導体発光装置の製造方法。
【請求項15】
前記第1絶縁層の形成と、前記導電膜の形成と、は、複数の前記半導体積層体が設けられた基板において、前記複数の半導体積層体について一括して実施されることを特徴とする請求項14記載の半導体発光装置の製造方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図17】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図2】
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【図6】
【図7】
【図8】
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【図11】
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【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【公開番号】特開2011−258674(P2011−258674A)
【公開日】平成23年12月22日(2011.12.22)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−130522(P2010−130522)
【出願日】平成22年6月7日(2010.6.7)
【出願人】(000003078)株式会社東芝 (54,554)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成23年12月22日(2011.12.22)
【国際特許分類】
【出願日】平成22年6月7日(2010.6.7)
【出願人】(000003078)株式会社東芝 (54,554)
【Fターム(参考)】
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