回路基板接合構造体およびその製造方法
【課題】第1の回路基板と第2の回路基板との接合信頼性を向上させる回路基板接合構造体を提供する。
【解決手段】第1のバンプ電極2の第1の中心線L1と、第2のバンプ電極4の第2の中心線L2とが、重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極2の頂面と上記第2のバンプ電極4の頂面とが、対向して接合されている。小面積の第2のバンプ電極4が塑性変形するときに、大面積の第1のバンプ電極2の側面までの距離が短い方は、自由端となり、バンプ電極の変形拘束をうけないため、小面積バンプ電極4が塑性変形するとき、大面積バンプ電極2の自由端の方向へ接合界面での横すべりが生じやすく、その結果、小面積バンプ電極4が容易に変形しやすくなる。
【解決手段】第1のバンプ電極2の第1の中心線L1と、第2のバンプ電極4の第2の中心線L2とが、重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極2の頂面と上記第2のバンプ電極4の頂面とが、対向して接合されている。小面積の第2のバンプ電極4が塑性変形するときに、大面積の第1のバンプ電極2の側面までの距離が短い方は、自由端となり、バンプ電極の変形拘束をうけないため、小面積バンプ電極4が塑性変形するとき、大面積バンプ電極2の自由端の方向へ接合界面での横すべりが生じやすく、その結果、小面積バンプ電極4が容易に変形しやすくなる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
この発明は、回路基板の接合構造体およびその製造方法に関し、特に、バンプ電極を介して回路基板の一例である半導体チップを他方の回路基板の一例である他方の半導体チップにフリップチップ実装する半導体装置に適用される。
【背景技術】
【0002】
半導体チップの機能向上に伴い、半導体チップ内部の配線は、複雑かつ長い配線を多く含む状態になってきている。また、半導体装置に作り込む機能が複雑になり、半導体装置の製造プロセスが長くなってきている。
【0003】
これら問題を打開する接合構造体として、半導体装置を構成する半導体チップ同士を対向させて接合する、いわゆるチップ・オン・チップと呼ばれる構造がある。このチップ・オン・チップ構造の半導体チップは、少なくとも2種類の半導体チップを用い、各半導体チップ表面にほぼ同じ形状に形成されたバンプ電極同士をいわゆるフェースダウン方式で接合し、半導体チップ間の電気的および機械的な接合を達成している。
【0004】
このチップ・オン・チップ構造の例として、従来、対向する半導体チップの両方に、めっき法にて同様な形状をしたバンプ電極を形成し、それらのバンプ電極同士を位置合わせし、加熱と加圧により、半導体チップ同士を接合するものがある(特開2000−252413号公報:特許文献1参照)。半導体チップ上のバンプ電極の接合面の面積と、他方の半導体チップ上のバンプ電極の接合面の面積を異ならせ、バンプ電極同士を接合している。
【0005】
具体的に述べると、この半導体装置は、図11に示すように、第1の半導体チップ101と第2の半導体チップ103とをバンプ電極105を介して接合している。なお、図11に示すように、第1の半導体チップ101には、バンプ電極として金バンプ102が形成されている。また、第1の半導体チップ101と接合する第2の半導体チップ103には、第1の半導体チップ101の金バンプ102に対向する位置に、バンプ電極として金バンプ104が形成されている。
【0006】
各半導体チップ101、103上に形成された各金バンプ102、104の接合面積も異なっており、バンプ電極102とバンプ電極104との幅の中心線を一致させ(位置合わせさせ)、第1の半導体チップ101と第2の半導体チップ103とを接合する。
【0007】
この半導体装置では、半導体チップの近傍に接合界面(接合部)が存在しないため、各半導体チップ101、103とバンプ電極105との線膨張係数の差による接合界面の熱疲労を避けることが可能になる。
【0008】
また、バンプ電極105のサイズが小さくなった場合においても、接合時のバンプ電極105の座屈変形による接合ピッチ制限も緩和され、さらに接合するバンプ電極のサイズが相互に異なるため、面積が大きなバンプの何れかの部分に、一方のバンプが接合すればよいので、半導体チップを重ねる時の機械的位置精度の誤差を吸収することができる。したがって、さらなる多端子化が進展しているチップ・オン・チップ構造には、図11に示す半導体装置は好適な構造である。
【特許文献1】特開2000−252413号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
しかしながら、図11に示す従来の半導体装置において、以下の第1と第2の問題点を見出した。
【0010】
第1の問題点として、小面積のバンプ電極と大面積のバンプ電極とを接合する時に、大面積のバンプ電極が、小面積のバンプ電極の塑性変形を阻害していることが判明した。
【0011】
すなわち、小面積のバンプ電極が、加熱・加圧により塑性変形する際に、小面積のバンプ電極の加圧方向と垂直方向へのバンプ電極の変形が、小面積のバンプ電極と接していない大面積のバンプ電極の面積部分に拘束されてしまい、加圧方向と垂直方向へのバンプ電極同士の接合界面の横すべりによるバンプ電極の変形が生じにくい。
【0012】
したがって、小面積のバンプ電極と大面積のバンプ電極とを接合する半導体装置において、接合信頼性を確保できる接合強度を得るためには、接合界面に未接合部がない程度までバンプ変形をさせる必要があり、結果的に高加圧のボンディング条件が必要となる。
【0013】
そのため、バンプ電極の下部にある半導体チップの酸化膜、素子等への機械的ダメージが発生しやすいという問題が見られた。
【0014】
第2の問題点として、半導体チップの多端子化が進み、接合ピッチが更に微細になると、バンプ電極に関わる構成は、種々の制約を受けることになる。例えば、バンプ電極のせん断強度などのメカニカルな強度は、その接合面積に比例するため、バンプ電極の強度を保つためにはバンプ電極の接合面積を極力大きくすることが望まれる。
【0015】
しかしながら、接合ピッチが微細化するため、バンプ電極の接合面積には制限が生じ、バンプ電極の接合面積は小さくせざるを得ない。
【0016】
そのため、バンプ電極の強度は、その接合面積に比例して小さくなり、アンダーフィル樹脂による接合部に対する補強が必要になってくる。
【0017】
以上より、図11に示す半導体装置は、半導体チップ同士を接合するバンプ電極に金からなるバンプを使用しているため、ファインピッチ実装が可能であり、バンプ電極接合位置ずれにも有効な半導体装置であるが、ファインピッチ実装の接合信頼性確保に必要不可欠である接合性向上には適していない構造である。
【0018】
そこで、この発明の課題は、バンプ電極を介して、回路基板を他方の回路基板にフリップチップ実装する接合構造体において、回路基板と他方の回路基板との接合信頼性を向上させる回路基板接合構造体を提供することにある。特に、回路基板として、半導体チップに適合させることができる接合構造体を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0019】
上記課題を解決するため、この発明の回路基板接合構造体は、
第1の回路基板と第2の回路基板とが重ね合わせて接合される回路基板接合構造体であって、
上記第1の回路基板の電極上には、第1のバンプ電極が形成され、
上記第2の回路基板の電極上には、上記第1のバンプ電極の頂面とは面積が異なる頂面を有する第2のバンプ電極が形成され、
上記第1の回路基板の電極面に直交すると共に上記第1のバンプ電極の頂面の中心を通る第1の中心線と、上記第2の回路基板の電極面に直交すると共に上記第2のバンプ電極の頂面の中心を通る第2の中心線とが、重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とが、対向して接合されていることを特徴としている。
【0020】
この発明の回路基板接合構造体によれば、上記第1の中心線と上記第2の中心線とが、重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とが、対向して接合されているので、大面積のバンプ電極と小面積のバンプ電極との接合位置が偏移しているため、小面積のバンプ電極が大面積のバンプ電極に当接したときに、大面積のバンプ電極の両端までの距離が小面積のバンプ電極の両端で異なる。
【0021】
すなわち、小面積バンプ電極が塑性変形するときに、大面積バンプ電極の側面までの距離が短い方は、自由端となり、バンプ電極の変形拘束をうけないため、小面積バンプ電極が塑性変形するとき、大面積バンプ電極の自由端の方向へ接合界面での横すべりが生じやすく、その結果、小面積バンプ電極が容易に変形しやすくなる。
【0022】
したがって、接合信頼性を確保するために高加圧でバンプ変形させていた従来条件に比べ、低加圧で従来条件と同程度の接合強度を確保することができる。その結果、バンプ電極下部の酸化膜、素子等のダメージの回避が可能になり、接合起因による不良がない高信頼性を有する回路基板接合構造体を得ることができる。
【0023】
要するに、ファインピッチ実装が可能なバンプ電極の接合位置ずれ、ならびに接合性向上をともに満足できる構造を得ることができる。
【0024】
また、一実施形態の回路基板接合構造体では、
上記第1の中心線と上記第2の中心線との間の偏移量を、W0とし、
上記第1のバンプ電極の頂面における上記第1の中心線と上記第2の中心線とを結ぶ方向の幅を、W1とし、
上記第2のバンプ電極の頂面における上記第1の中心線と上記第2の中心線とを結ぶ方向の幅を、W2としたときに、
以下の(式1)および(式2)
2W2>W1>W2・・・(式1)
W1−W2≧2W0>0・・・(式2)
を満たしている。
【0025】
この実施形態の回路基板接合構造体によれば、2W2>W1>W2、および、W1−W2≧2W0>0を満たすので、従来加圧より低加圧にて、同程度のバンプ変形が得られるとともに、接合性を一層向上できる。
【0026】
また、一実施形態の回路基板接合構造体では、上記第1の回路基板および上記第2の回路基板のうちの少なくとも一方の回路基板に関して、上記バンプ電極は、予め、上記第1の中心線と上記第2の中心線とが重ならずに偏移するように、形成されている。
【0027】
この実施形態の回路基板接合構造体によれば、上記第1の回路基板および上記第2の回路基板のうちの少なくとも一方の回路基板に関して、上記バンプ電極は、予め、上記第1の中心線と上記第2の中心線とが重ならずに偏移するように、形成されているので、機種切替え時に必須となるフリップチップボンダーの偏移量の設定を変えずに接合することができて、効率的な生産が可能になる。
【0028】
また、一実施形態の回路基板接合構造体では、上記第1のバンプ電極または上記第2のバンプ電極の一方のバンプ電極の頂面の面積は、他方のバンプ電極の頂面の面積よりも、小さく、
上記一方のバンプ電極の少なくとも一部は、上記他方のバンプ電極に埋設され、
上記一方のバンプ電極の一方の側面は、上記他方のバンプ電極に接触していない。
【0029】
この実施形態の回路基板接合構造体によれば、上記一方のバンプ電極の少なくとも一部は、上記他方のバンプ電極に埋設され、上記一方のバンプ電極の一方の側面は、上記他方のバンプ電極に接触していないので、上記一方のバンプ電極の接合界面近傍での横すべりが容易に生じて、上記一方のバンプ電極が変形しやすくなり、接合強度を強固にできる。
【0030】
また、一実施形態の回路基板接合構造体では、上記第1のバンプ電極および上記第2のバンプ電極は、互いに、同一材料にて形成されている。
【0031】
この実施形態の回路基板接合構造体によれば、上記第1のバンプ電極および上記第2のバンプ電極は、互いに、同一材料にて形成されているので、バンプ電極を容易に変形できて、接合性を一層向上できる。
【0032】
また、この発明の回路基板接合構造体の製造方法は、
第1の回路基板と第2の回路基板とが重ね合わせて接合される回路基板接合構造体の製造方法であって、
上記第1の回路基板の電極上には、第1のバンプ電極が形成され、上記第2の回路基板の電極上には、上記第1のバンプ電極の頂面とは面積が異なる頂面を有する第2のバンプ電極が形成され、
上記第1の回路基板の電極面に直交すると共に上記第1のバンプ電極の頂面の中心を通る第1の中心線と、上記第2の回路基板の電極面に直交すると共に上記第2のバンプ電極の頂面の中心を通る第2の中心線とが、重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを、対向して接合する第1の工程と、
上記第1の回路基板と上記第2の回路基板との間に樹脂を充填する第2の工程と
を備えることを特徴としている。
【0033】
この発明の回路基板接合構造体の製造方法によれば、上記第1の中心線と上記第2の中心線とが重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを、対向して接合する第1の工程を備えるので、ファインピッチ実装が可能なバンプ電極の接合位置ずれ、ならびに接合性向上をともに満足できる回路基板接合構造体を容易に得ることができる。
【0034】
また、一実施形態の回路基板接合構造体の製造方法では、
上記第1の工程では、
上記第1の中心線と上記第2の中心線との間の偏移量を、W0とし、
上記第1のバンプ電極の頂面における上記第1の中心線と上記第2の中心線とを結ぶ方向の幅を、W1とし、
上記第2のバンプ電極の頂面における上記第1の中心線と上記第2の中心線とを結ぶ方向の幅を、W2としたときに、
以下の(式1)および(式2)
2W2>W1>W2・・・(式1)
W1−W2≧2W0>0・・・(式2)
を満たすように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを、対向して接合する。
【0035】
この実施形態の回路基板接合構造体の製造方法によれば、上記第1の工程では、2W2>W1>W2、および、W1−W2≧2W0>0を満たすように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを、対向して接合するので、従来加圧より低加圧にて、同程度のバンプ変形が得られるとともに、接合性を一層向上できる。
【0036】
また、一実施形態の回路基板接合構造体の製造方法では、上記第1の工程では、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを接触させ加圧した後、上記第1のバンプ電極および上記第2のバンプ電極に超音波振動を印加する。
【0037】
この実施形態の回路基板接合構造体の製造方法によれば、上記第1の工程では、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを接触させ加圧した後、上記第1のバンプ電極および上記第2のバンプ電極に超音波振動を印加するので、上記第1のバンプ電極と上記第2のバンプ電極との接合界面の汚染層を効果的に排斥できて、接合性を一層向上できる。
【発明の効果】
【0038】
この発明の回路基板接合構造体によれば、上記第1の中心線と上記第2の中心線とが、重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とが、対向して接合されているので、ファインピッチ実装が可能なバンプ電極の接合位置ずれ、ならびに接合性向上をともに満足できる構造を得ることができる。
【0039】
この発明の回路基板接合構造体の製造方法によれば、上記第1の中心線と上記第2の中心線とが重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを、対向して接合する第1の工程を備えるので、ファインピッチ実装が可能なバンプ電極の接合位置ずれ、ならびに接合性向上をともに満足できる回路基板接合構造体を容易に得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0040】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【0041】
図1は、この発明の回路基板接合構造体の一実施形態である一部断面図を示している。この回路基板接合構造体では、第1の回路基板としての第1の半導体チップ1と、第2の回路基板としての第2の半導体チップ3とが、重ね合わせて接合される。
【0042】
上記第1の半導体チップ1の電極上には、第1のバンプ電極2が形成されている。上記第2の半導体チップ3の電極上には、上記第1のバンプ電極2の頂面とは面積が異なる頂面を有する第2のバンプ電極4が形成されている。
【0043】
上記第1のバンプ電極2の頂面と上記第2のバンプ電極4の頂面とが、対向して接合されている。上記第1のバンプ電極2および上記第2のバンプ電極4にて、バンプ電極5を構成している。
【0044】
上記第1のバンプ電極2は、上記第1の半導体チップ1上に、公知の電解めっき法により、形成されている。上記第2のバンプ電極4は、上記第2の半導体チップ3上に、公知の電解めっき法により、形成されている。
【0045】
上記第1のバンプ電極2のサイズは、45μm□であり、上記第2のバンプ電極4のサイズは、30μm□であり、バンプ電極のピッチは、共に、60μmである。なお、第1のバンプ電極2ならびに第2のバンプ電極4は、接合時にバンプ電極自体が座屈しないアスペクト比が1以下である高さが望ましい。ここでは、第1のバンプ電極2の高さは、8μmであり、第2のバンプ電極4の高さは、15μmである。
【0046】
上記第1の半導体チップ1の電極面に直交すると共に上記第1のバンプ電極2の頂面の中心を通る第1の中心線L1と、上記第2の半導体チップ3の電極面に直交すると共に上記第2バンプ電極4の頂面の中心を通る第2の中心線L2とが、重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極2の頂面と上記第2バンプ電極4の頂面とが、対向して接合されている。
【0047】
具体的に述べると、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2との間の偏移量を、W0とし、上記第1のバンプ電極2の頂面における上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とを結ぶ方向の幅を、W1とし、上記第2バンプ電極4の頂面における上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とを結ぶ方向の幅を、W2としたときに、以下の(式1)および(式2)
2W2>W1>W2・・・(式1)
W1−W2≧2W0>0・・・(式2)
を満たす。
【0048】
上記(式1)(式2)の関係を得るために、バンプ電極の頂面の中心を通り予め偏移させる方向の頂面の幅W1、W2が異なる5種類の半導体チップを任意の量だけ偏移(位置ずれ)させたサンプルを試作した。つまり、幅W1は、45μm、40μm、30μm、25μmであり、幅W2は、30μm、20μmである。
【0049】
図10に示すように、試作したサンプルA〜I(9条件)にて、接合強度測定ならびに信頼性試験を実施した。その結果について説明する。
【0050】
接合後のバンプ電極の偏移量(位置ずれ)W0を、0μm(つまり、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とが、重なって偏移していない)、2μm、5μm、7.5μm、10μmとした。
【0051】
また、第1のバンプ電極2の頂面の中心位置を通り予め偏移させる方向の頂面の幅W1と、第2のバンプ電極4の頂面の中心位置を通り予め偏移させる方向の頂面の幅W2との関係を確認するために、上記第1のバンプ電極2の頂面の幅W1と上記第2のバンプ電極4の頂面の幅W2を変化させたサンプルの試作も行い、その接合性も検討した。
【0052】
なお、バンプ電極の頂面の中心位置を通り予め偏移させる方向の頂面の幅を変化したサンプルにおいても、接合ピッチは、60μmである。また接合条件は、接合温度430℃、接合加圧200N/mm2、接合時間1secである。
【0053】
上記のサンプルの接合性の耐候性を確認するため、接合信頼性として、温度サイクル試験(−55℃/150℃、各30分サイクル)を実施した。
【0054】
各サンプルの接合性を比較した結果、温度サイクル試験1000時間においても、接合部の抵抗値上昇が見られず、接合状態が良好な第1のバンプ電極2および第2のバンプ電極4の頂面の幅ならびに位置ずれの関係を見出した。
【0055】
すなわち、図10より、第1のバンプ電極2の頂面の中心を通り予め偏移させる方向の頂面の幅W1は、第2のバンプ電極4の頂面の中心を通り予め偏移させる方向の頂面の幅W2より大きく、かつ、この幅W2の2倍より小さいことが望ましく、さらに、第1のバンプ電極2の頂面の中心を通り予め偏移させる方向の頂面の幅W1と第2のバンプ電極4の頂面の中心を通り予め偏移させる方向の頂面の幅W2との偏移量(位置ずれ)W0は、ゼロより大きく、かつ、上記第1のバンプ電極2の頂面の中心を通り予め偏移させる方向の頂面の幅W2から第2のバンプ電極4の頂面の中心を通り予め偏移させる方向の頂面の幅W1を減じて0.5を乗じた値以下であることが望ましいことが判明した。
【0056】
例えば、図10中のサンプルIについて、第1のバンプ電極の幅W1が45μm□であり、第2のバンプ電極の幅W2が20μm□であり、上記(式1)を満たしていない。また、図10中のサンプルHについても、幅W1、W2に関して上記(式1)を満たしていない。
【0057】
図10中のサンプルH、Iについて、第2のバンプ電極4が第1のバンプ電極2と接合した時に、第1のバンプ電極2と第2のバンプ電極4との接合界面に生じる未接合部が占有する割合が多くなる。
【0058】
すなわち、熱圧着接合の場合は、接合時の加圧によりバンプ電極に塑性変形が生じる。このバンプ電極の塑性変形により、バンプ電極表面のコンタミが排斥され、バンプ電極材の金属の新生面が生じた結果、バンプ電極の新生面同士での接合が可能となる。
【0059】
しかし、バンプ電極の接合部には、排斥されたコンタミによる微小な未接合部が不可避な状態にて生じる。またバンプ電極表面には、±1μm程度の凹凸がバンプめっき工程後に生じる。このバンプ電極表面の凹凸を加圧で塑性変形させ消失させる必要がある。
【0060】
しかし、上記(式1)を満たさないバンプ電極のサイズでは、加熱加圧により第1のバンプ電極2である大面積バンプ電極に、第2のバンプ電極4である小面積バンプ電極が埋設するが、大面積バンプ電極の両端が加圧方向と垂直方向への小面積バンプ電極の変形を阻害しているため、小面積バンプ電極の大面積バンプ電極との接合界面(接触部)近傍で横すべりが生じにくく、結果的に、バンプ変形が生じにくい。
【0061】
そして、この未接合部を消失させるためには、高加圧が必要になる。最悪の場合は、小面積バンプ電極である第2のバンプ電極4の座屈が生じてしまい、半導体チップ内の端子毎の接合強度バラツキが生じる。
【0062】
実際に、接合した第1のバンプ電極2と第2のバンプ電極4との接合部を保護するために、アンダーフィル樹脂を注入し、温度サイクル試験(−55℃/150℃、各30分サイクル)を実施すると、バンプ電極とアンダーフィル樹脂との線膨張係数の差による熱応力により、第2のバンプ電極4の塑性変形不足に起因する未接合部を起点としたクラックが進展しており、接合部の熱疲労破壊に至っていることを確認した。
【0063】
また、上記(式2)を満たさない偏移(位置ずれ)量W0を有する図10中のサンプルEでは、図4に示すように、第1のバンプ電極42と第2のバンプ電極44とを接合した際に、第2のバンプ電極44が第1のバンプ電極42の側面46よりはみだすため、接合面積が減少し、単位面積あたりの接合荷重が見かけ上高くなるため、第2のバンプ電極44が異常変形を起こす。
【0064】
その結果、第1の半導体チップ41の素子形成面47に第2のバンプ電極44の隆起した一部48が接触してしまい、ショート等が生じてしまう。
【0065】
したがって、上記(式1)(式2)を満たすことが必要であり、上記(式1)(式2)を満たすことにより、従来加圧より低加圧にて、同程度のバンプ変形が得られるとともに、接合性が向上できることが判明した。
【0066】
なお、上記(式1)(式2)を満たす偏移(位置ずれ)量W0は、ゼロより大きければ、偏移(位置ずれ)がない場合に比べて、接合強度の向上が確認できる。つまり、上記(式1)(式2)を満たす図10中のサンプルB,C,D,F,Gは、W0がゼロである図10中のサンプルAに比べて、接合強度が向上している。
【0067】
そして、より安定した接合状態を確保するために、W0は5μm以上が好適である。つまり、図10中のサンプルC,D,Fについて、W0が5μm以上である。
【0068】
また、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とが異なり、上記第1のバンプ電極2と上記第2のバンプ電極4とが接合されていればよい。
【0069】
次に、図2および図3に示すように、本発明の半導体チップ接合構造により実現できる半導体装置について説明する。図2は、図1に示される半導体チップの接合構造体により実現できるモジュール構造の模式図を示し、図3は、図1に示される半導体チップの接合構造体により実現できるモジュール構造の上面模式図を示す。
【0070】
なお、図2は、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とが、同一方向でなく多様な方向に偏移しており、上記第1のバンプ電極2と上記第2のバンプ電極4とが、相互に接合されている半導体チップ接合構造体の一例である。
【0071】
第1の半導体チップ1は、液晶パネルのコモン電極およびセグメント電極を駆動する液晶ドライバーICである。また、上記第1の半導体チップ1と第2の半導体チップ3は、同一材料のシリコンからなっている。上記第1の半導体チップ1と上記第2の半導体チップ3の裏面研磨は特に行わなくてもいいし、半導体チップの割れや取り扱いを考慮した程度の裏面研磨を行ってもよい。
【0072】
第1の半導体チップ1の電極上(図示せず)には、バンプ電極2である金バンプが形成されている。これらの金バンプは公知技術である電解めっき法にて形成され、たとえば平均で8μmの高さを有している。
【0073】
また、第2の半導体チップ3の電極上(図示せず)にも、バンプ電極4である金バンプが形成されている。公知技術である電解めっき法により形成された金バンプは、平均で15μmの高さを有している。
【0074】
つまり、上記第1のバンプ電極2および上記第2のバンプ電極4は、互いに、同一材料にて形成されている。
【0075】
配線基板7には、第2の半導体チップ3に接合するための配線8と他方の配線基板(図示せず)に接合するための端子(図示せず)が形成されている。さらに、配線基板7には、第1の半導体チップ1が搭載される範囲に打ち抜き穴10が設けられている。配線基板7上の配線8は、この打ち抜き穴10から露出しないように形成されている。
【0076】
また、配線基板7の配線8の端子部分以外は、ソルダーレジスト(図示せず)の被膜によって保護されている。具体的には、配線基板7はポリイミド等の有機材料からなる基材であり、配線8はCu配線パターンがパターニングされている。
【0077】
第2の半導体チップ3の第3のバンプ電極6である金バンプと接合するために、上記Cu配線パターン上の電極部分には、錫メッキもしくは金メッキが施されている。さらに上記Cu配線パターンは、基材の周縁部から相互に平行となるように引き出され、異方導電性膜等を介し液晶パネル(図示せず)の電極に接合され、一方の引き出し部は電源や画像データ信号が伝送されるプリント基板(図示せず)の電極に接合される。
【0078】
上記第2の半導体チップ3と配線基板7とは、第3のバンプ電極6である金バンプと、配線基板7との配線8とをインナーリードボンダーによって接続する。
【0079】
また、第1の半導体チップ1と第2の半導体チップ3は、各バンプ電極5である金バンプ同士2、4とをフリップチップボンダーによって接合する。そのボンディング条件は、たとえば温度430℃、時間が1sec、圧力は1mm2あたり160N〜200Nである。
【0080】
第1の半導体チップ1と第2の半導体チップ3と配線基板7とを各々接合し得られた構造において、上記第2の半導体チップ3と上記第1の半導体チップ1とが対向する領域ならびに上記配線基板7と上記第2の半導体チップ3とが接合された領域の周囲に、アンダーフィル樹脂9を塗布し硬化する。
【0081】
なお、硬化は、キュア炉によって、たとえば125℃で20分程度、プリキュアされ、さらに125℃で3時間程度ポストキュアする。以上より、得られたモジュール構造は、アンダーフィル樹脂9により封止され、機械的強度保持や環境からの保護が実現されている。
【0082】
本モジュール構造は、第1の半導体チップ1と第2の半導体チップ3のボンディング後、第1の半導体チップ1と第2の半導体チップ3との間の隙間は、20μm程度となる。さらに、コストの観点から金バンプの高さを低くした場合には、上記隙間は10μm程度になる。
【0083】
したがって、気泡を巻き込むことがなく、かつ、流動性が良好でなければならないアンダーフィル樹脂9の粘度は、9Pa・s程度の低粘度が望ましい。また、狭間隙に注入するため、フィラであるシリカの最大粒径は0.35μm以下が望ましい。さらに、同一部材のバンプ電極である接合部の高信頼を得るためには、アンダーフィル樹脂の熱膨張係数は、56ppm/K以下であることが望ましく、そのためには、無機充填材料としてシリカを50重量%含有した樹脂が望ましい。これらのアンダーフィル樹脂9として、長瀬チバ製の型番XS−8443が候補としてあげられる。
【0084】
以上のようなモジュール構造にすることで、微細ピッチで多ピンの安定した接合構造を得ることが可能となる小型な液晶モジュールが実現できる。
【0085】
さらに、配線基板7に実装するチップ部品の機能を、第2の半導体チップ3に盛り込む設計をすることにより、実装面積が大幅に削減可能となり、モジュールの小型化、しいては製品の小型化に大きく貢献できる。
【0086】
次に、図5と図6に示すように、本発明の実施の形態である接合構造体を実現する半導体チップについて説明する。図5は、第1の半導体チップである液晶ドライバーの概略上面模式図である。図6は、第2の半導体チップの概略上面模式図である。なお、ここでは、第2の半導体チップ3は、第1の半導体チップ1と配線基板7との信号の中継基板(インターポーザ)として説明する。
【0087】
図5に示すように、第1の半導体チップ1には、第1のバンプ電極2である金バンプがエリア状に配列されている。また、第2の半導体チップ3と接合するための基準印として、第1の半導体チップ1の隅にアライメントマーク11、12が公知の技術により設けられている。
【0088】
また、図6に示すように、第2の半導体チップ3には、第2のバンプ電極4と第3のバンプ電極6である金バンプが設けられている。なお、第2のバンプ電極4は、第1の半導体チップ1の第1のバンプ電極2と対向する位置に設けられている。さらに、配線基板7と接合するために、第3のバンプ電極6は、第2の半導体チップ3の周囲に設けられている。
【0089】
ここで、第2の半導体チップ3上に形成した各々の第2のバンプ電極4を、望ましい偏移量A1だけ、異なる方向に予め偏移して形成している。予め偏移した第2のバンプ電極4を形成する方法は、公知のめっきプロセスで容易に実現できる。
【0090】
なお、図6に示す第2の半導体チップ3の第2のバンプ電極4を予め偏移したが、図5に示す第1の半導体チップ1の第1のバンプ電極3を予め偏移しても構わない。
【0091】
要するに、上記第1の半導体チップ1および上記第2の半導体チップ3のうちの少なくとも一方の半導体チップ1,3に関して、上記バンプ電極2,4を、予め、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とが重ならずに偏移するように、形成するようにしてもよい。したがって、機種切替え時に必須となるフリップチップボンダーの偏移量の設定を変えずに接合することができて、効率的な生産が可能になる。
【0092】
図7に、本発明の半導体チップの接合構造体の最も好適な接合部断面図を示す。つまり、この半導体チップの接合構造体では、第2のバンプ電極74の頂面の面積は、第1のバンプ電極72の頂面の面積よりも小さく、第2のバンプ電極74の少なくとも一部は、第1のバンプ電極72に埋設され、第2のバンプ電極74と第1のバンプ電極72との対向面同士が、接合されている。さらに、第2のバンプ電極74の一方の側面76は、半導体チップ71の第1のバンプ電極72に接触していない。
【0093】
したがって、第2のバンプ電極74の側面76は第1のバンプ電極72に接していないため、第2のバンプ電極74の接合界面近傍での横すべりが容易に生じて、第2のバンプ電極74が変形しやすくなり、接合強度を強固にできる。
【0094】
次に、本発明の半導体チップ接合構造体を得る製造方法について説明する。
【0095】
まず、図8に示すように、本発明の半導体チップ接合構造体を得る製造方法の位置合わせ工程を説明する。なお、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とは、同一方向に偏移し、上記第1のバンプ電極2と上記第2のバンプ電極4とが相互に接合されている構造に関し、説明する。
【0096】
ここで、第1の半導体チップ1のアライメントマーク11から第1のバンプ電極2までの距離をA2とする。また、第2の半導体チップ3のアライメントマーク11から第2のバンプ電極4までの距離をA1とする。
【0097】
第2の半導体チップ3の第2のバンプ電極4の上方位置で、ボンディングツール13により第1の半導体チップ1を吸着する。そして、第1の半導体チップ1の第1のバンプ電極2と第2の半導体チップ3の第2のバンプ電極4を対向させ、アライメントマーク11、12にて位置合わせをする。
【0098】
このとき、予め、A3=A2−A1ほど偏移させ形成した第2のバンプ電極4を有する第2の半導体チップ3を用いているため、この位置合わせ工程の時点で、第1のバンプ電極2と第2のバンプ電極4とが、予め偏移させた量である(A2−A1)だけ、偏移(位置ずれ)した状態にある。なお、予め偏移させる量A3は、5μmが望ましい。
【0099】
以上より、機種切替え時に必須となるフリップチップボンダーの偏移量の設定を変えずに接合することができるため、効率的な生産が可能になる。なお、ここでは、予め第2のバンプ電極4を偏移した半導体チップを使用する製造方法を説明したが、アライメントマークに対するバンプ電極位置までの距離が同一のバンプ電極を予め偏移させていない半導体チップを使用する場合は、予め接合装置であるフリップチップボンダーの位置合わせ時に、望ましい偏移量A3のオフセット量を設けて接合すればよい。
【0100】
すなわち、位置合わせ工程後には、アライメントマークが不一致された状態で、第1の半導体チップ1の第1のバンプ電極2と第2の半導体チップ3の第2のバンプ電極4とが対向している状態となる。
【0101】
その後、図9に示すように、位置合わせ工程後、ボンディングツール13を下降させ、第1の半導体チップ1のバンプ電極2を第2の半導体チップ3のバンプ電極4に当接させる。当接後、第1の半導体チップ1を加熱加圧し、バンプ電極5を塑性変形させ、固相接合させる。
【0102】
要するに、本発明の半導体チップ接合構造体の製造方法は、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とが重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極2の頂面と上記第2のバンプ電極4の頂面とを、対向して接合する第1の工程と、上記第1の半導体チップ1と上記第2の半導体チップ3との間に樹脂9を充填する第2の工程とを備える。
【0103】
上記第1の工程では、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2との間の偏移量を、W0とし、上記第1のバンプ電極2の頂面における上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とを結ぶ方向の幅を、W1とし、上記第2のバンプ電極4の頂面における上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とを結ぶ方向の幅を、W2としたときに、以下の(式1)および(式2)
2W2>W1>W2・・・(式1)
W1−W2≧2W0>0・・・(式2)
を満たすように、上記第1のバンプ電極2の頂面と上記第2のバンプ電極4の頂面とを、対向して接合する。
【0104】
なお、上記第1の工程では、上記第1のバンプ電極2の頂面と上記第2のバンプ電極4の頂面とを接触させ加圧した後、上記第1のバンプ電極2および上記第2のバンプ電極4に超音波振動を印加する。したがって、上記第1のバンプ電極2と上記第2のバンプ電極4との接合界面の汚染層を効果的に排斥できて、接合性を一層向上できる。
【0105】
また、上記第1のバンプ電極2および上記第2のバンプ電極4は、互いに、同一材料にて形成されている。したがって、バンプ電極2,4を容易に変形できて、接合性を一層向上できる。なお、ここでは、バンプ塑性変形が容易であり、バンプ表面に酸化膜が形成されない金バンプが望ましい。
【0106】
上記構成の半導体チップの接合構造体によれば、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とが、重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極2の頂面と上記第2のバンプ電極4の頂面とが、対向して接合されているので、大面積のバンプ電極2と小面積のバンプ電極4との接合位置が偏移しているため、小面積のバンプ電極4が大面積のバンプ電極2に当接したときに、大面積のバンプ電極2の両端までの距離が小面積のバンプ電極4の両端で異なる。
【0107】
すなわち、小面積バンプ電極4が塑性変形するときに、大面積バンプ電極2の側面までの距離が短い方は、自由端となり、バンプ電極の変形拘束をうけないため、小面積バンプ電極4が塑性変形するとき、大面積バンプ電極2の自由端の方向へ接合界面での横すべりが生じやすく、その結果、小面積バンプ電極4が容易に変形しやすくなる。
【0108】
したがって、接合信頼性を確保するために高加圧でバンプ変形させていた従来条件に比べ、低加圧で従来条件と同程度の接合強度を確保することができる。その結果、バンプ電極下部の酸化膜、素子等のダメージの回避が可能になり、接合起因による不良がない高信頼性を有する半導体チップの接合構造体を得ることができる。
【0109】
要するに、ファインピッチ実装が可能なバンプ電極2,4の接合位置ずれ、ならびに接合性向上をともに満足できる構造を得ることができる。
【0110】
また、2W2>W1>W2、および、W1−W2≧2W0>0を満たすので、従来加圧より低加圧にて、同程度のバンプ変形が得られるとともに、接合性を一層向上できる。
【0111】
また、上記構成の半導体チップの接合構造体の製造方法によれば、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とが重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極2の頂面と上記第2のバンプ電極4の頂面とを、対向して接合する第1の工程を備えるので、ファインピッチ実装が可能なバンプ電極2,4の接合位置ずれ、ならびに接合性向上をともに満足できる半導体チップの接合構造体を容易に得ることができる。
【0112】
また、上記第1の工程では、2W2>W1>W2、および、W1−W2≧2W0>0を満たすように、上記第1のバンプ電極2の頂面と上記第2のバンプ電極4の頂面とを、対向して接合するので、従来加圧より低加圧にて、同程度のバンプ変形が得られるとともに、接合性を一層向上できる。
【0113】
なお、この発明は上述の実施形態に限定されない。例えば、上記全てのバンプ電極5に関して、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とが偏移する方向は、同一方向に偏移していても構わないし、異種方向に偏移していても構わない。つまり、上記全てのバンプ電極5の内の少なくとも一つのバンプ電極5の偏移方向は、他のバンプ電極5の偏移方向と相違する。
【0114】
また、上記全てのバンプ電極5に関して、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とが偏移する方向は、同一方向に角度ずれして偏移していても構わないし、異種方向に角度ずれして偏移していても構わない。つまり、上記全てのバンプ電極5の内の少なくとも一つのバンプ電極5の偏移方向は、他のバンプ電極5の偏移方向と相違する。
【図面の簡単な説明】
【0115】
【図1】本発明の回路基板としての半導体チップの接合構造体の断面模式図である。
【図2】本発明の半導体チップの接合構造体により完成する半導体装置の断面模式図である。
【図3】本発明の半導体チップの接合構造体により完成する半導体装置の上面模式図である。
【図4】本発明の半導体チップの接合構造体の不具合を説明する断面模式図である。
【図5】本発明の第1の半導体チップの上面模式図である。
【図6】本発明の第2の半導体チップの上面模式図である。
【図7】本発明の半導体チップの接合構造体を説明する半導体チップ構造の断面模式図である。
【図8】本発明の回路基板としての半導体チップの製造方法の製造工程の位置あわせを示す断面模式図である。
【図9】本発明の半導体チップの製造方法の接合工程の接合を示す断面模式図である。
【図10】偏移量W0および幅W1、W2と接合強度および信頼性試験結果との関係を説明する表である。
【図11】従来の半導体チップの接合構造体を説明する説明図である。
【符号の説明】
【0116】
1 第1の半導体チップ(第1の回路基板)
2 第1のバンプ電極
3 第2の半導体チップ(第2の回路基板)
4 第2のバンプ電極
5 バンプ電極
6 第3のバンプ電極
7 配線基板
8 配線
9 アンダーフィル樹脂
11,12 位置合わせマーク
L1 第1の中心線
L2 第2の中心線
W0 偏移量
W1 第1のバンプ電極の頂面の幅
W2 第2のバンプ電極の頂面の幅
【技術分野】
【0001】
この発明は、回路基板の接合構造体およびその製造方法に関し、特に、バンプ電極を介して回路基板の一例である半導体チップを他方の回路基板の一例である他方の半導体チップにフリップチップ実装する半導体装置に適用される。
【背景技術】
【0002】
半導体チップの機能向上に伴い、半導体チップ内部の配線は、複雑かつ長い配線を多く含む状態になってきている。また、半導体装置に作り込む機能が複雑になり、半導体装置の製造プロセスが長くなってきている。
【0003】
これら問題を打開する接合構造体として、半導体装置を構成する半導体チップ同士を対向させて接合する、いわゆるチップ・オン・チップと呼ばれる構造がある。このチップ・オン・チップ構造の半導体チップは、少なくとも2種類の半導体チップを用い、各半導体チップ表面にほぼ同じ形状に形成されたバンプ電極同士をいわゆるフェースダウン方式で接合し、半導体チップ間の電気的および機械的な接合を達成している。
【0004】
このチップ・オン・チップ構造の例として、従来、対向する半導体チップの両方に、めっき法にて同様な形状をしたバンプ電極を形成し、それらのバンプ電極同士を位置合わせし、加熱と加圧により、半導体チップ同士を接合するものがある(特開2000−252413号公報:特許文献1参照)。半導体チップ上のバンプ電極の接合面の面積と、他方の半導体チップ上のバンプ電極の接合面の面積を異ならせ、バンプ電極同士を接合している。
【0005】
具体的に述べると、この半導体装置は、図11に示すように、第1の半導体チップ101と第2の半導体チップ103とをバンプ電極105を介して接合している。なお、図11に示すように、第1の半導体チップ101には、バンプ電極として金バンプ102が形成されている。また、第1の半導体チップ101と接合する第2の半導体チップ103には、第1の半導体チップ101の金バンプ102に対向する位置に、バンプ電極として金バンプ104が形成されている。
【0006】
各半導体チップ101、103上に形成された各金バンプ102、104の接合面積も異なっており、バンプ電極102とバンプ電極104との幅の中心線を一致させ(位置合わせさせ)、第1の半導体チップ101と第2の半導体チップ103とを接合する。
【0007】
この半導体装置では、半導体チップの近傍に接合界面(接合部)が存在しないため、各半導体チップ101、103とバンプ電極105との線膨張係数の差による接合界面の熱疲労を避けることが可能になる。
【0008】
また、バンプ電極105のサイズが小さくなった場合においても、接合時のバンプ電極105の座屈変形による接合ピッチ制限も緩和され、さらに接合するバンプ電極のサイズが相互に異なるため、面積が大きなバンプの何れかの部分に、一方のバンプが接合すればよいので、半導体チップを重ねる時の機械的位置精度の誤差を吸収することができる。したがって、さらなる多端子化が進展しているチップ・オン・チップ構造には、図11に示す半導体装置は好適な構造である。
【特許文献1】特開2000−252413号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
しかしながら、図11に示す従来の半導体装置において、以下の第1と第2の問題点を見出した。
【0010】
第1の問題点として、小面積のバンプ電極と大面積のバンプ電極とを接合する時に、大面積のバンプ電極が、小面積のバンプ電極の塑性変形を阻害していることが判明した。
【0011】
すなわち、小面積のバンプ電極が、加熱・加圧により塑性変形する際に、小面積のバンプ電極の加圧方向と垂直方向へのバンプ電極の変形が、小面積のバンプ電極と接していない大面積のバンプ電極の面積部分に拘束されてしまい、加圧方向と垂直方向へのバンプ電極同士の接合界面の横すべりによるバンプ電極の変形が生じにくい。
【0012】
したがって、小面積のバンプ電極と大面積のバンプ電極とを接合する半導体装置において、接合信頼性を確保できる接合強度を得るためには、接合界面に未接合部がない程度までバンプ変形をさせる必要があり、結果的に高加圧のボンディング条件が必要となる。
【0013】
そのため、バンプ電極の下部にある半導体チップの酸化膜、素子等への機械的ダメージが発生しやすいという問題が見られた。
【0014】
第2の問題点として、半導体チップの多端子化が進み、接合ピッチが更に微細になると、バンプ電極に関わる構成は、種々の制約を受けることになる。例えば、バンプ電極のせん断強度などのメカニカルな強度は、その接合面積に比例するため、バンプ電極の強度を保つためにはバンプ電極の接合面積を極力大きくすることが望まれる。
【0015】
しかしながら、接合ピッチが微細化するため、バンプ電極の接合面積には制限が生じ、バンプ電極の接合面積は小さくせざるを得ない。
【0016】
そのため、バンプ電極の強度は、その接合面積に比例して小さくなり、アンダーフィル樹脂による接合部に対する補強が必要になってくる。
【0017】
以上より、図11に示す半導体装置は、半導体チップ同士を接合するバンプ電極に金からなるバンプを使用しているため、ファインピッチ実装が可能であり、バンプ電極接合位置ずれにも有効な半導体装置であるが、ファインピッチ実装の接合信頼性確保に必要不可欠である接合性向上には適していない構造である。
【0018】
そこで、この発明の課題は、バンプ電極を介して、回路基板を他方の回路基板にフリップチップ実装する接合構造体において、回路基板と他方の回路基板との接合信頼性を向上させる回路基板接合構造体を提供することにある。特に、回路基板として、半導体チップに適合させることができる接合構造体を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0019】
上記課題を解決するため、この発明の回路基板接合構造体は、
第1の回路基板と第2の回路基板とが重ね合わせて接合される回路基板接合構造体であって、
上記第1の回路基板の電極上には、第1のバンプ電極が形成され、
上記第2の回路基板の電極上には、上記第1のバンプ電極の頂面とは面積が異なる頂面を有する第2のバンプ電極が形成され、
上記第1の回路基板の電極面に直交すると共に上記第1のバンプ電極の頂面の中心を通る第1の中心線と、上記第2の回路基板の電極面に直交すると共に上記第2のバンプ電極の頂面の中心を通る第2の中心線とが、重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とが、対向して接合されていることを特徴としている。
【0020】
この発明の回路基板接合構造体によれば、上記第1の中心線と上記第2の中心線とが、重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とが、対向して接合されているので、大面積のバンプ電極と小面積のバンプ電極との接合位置が偏移しているため、小面積のバンプ電極が大面積のバンプ電極に当接したときに、大面積のバンプ電極の両端までの距離が小面積のバンプ電極の両端で異なる。
【0021】
すなわち、小面積バンプ電極が塑性変形するときに、大面積バンプ電極の側面までの距離が短い方は、自由端となり、バンプ電極の変形拘束をうけないため、小面積バンプ電極が塑性変形するとき、大面積バンプ電極の自由端の方向へ接合界面での横すべりが生じやすく、その結果、小面積バンプ電極が容易に変形しやすくなる。
【0022】
したがって、接合信頼性を確保するために高加圧でバンプ変形させていた従来条件に比べ、低加圧で従来条件と同程度の接合強度を確保することができる。その結果、バンプ電極下部の酸化膜、素子等のダメージの回避が可能になり、接合起因による不良がない高信頼性を有する回路基板接合構造体を得ることができる。
【0023】
要するに、ファインピッチ実装が可能なバンプ電極の接合位置ずれ、ならびに接合性向上をともに満足できる構造を得ることができる。
【0024】
また、一実施形態の回路基板接合構造体では、
上記第1の中心線と上記第2の中心線との間の偏移量を、W0とし、
上記第1のバンプ電極の頂面における上記第1の中心線と上記第2の中心線とを結ぶ方向の幅を、W1とし、
上記第2のバンプ電極の頂面における上記第1の中心線と上記第2の中心線とを結ぶ方向の幅を、W2としたときに、
以下の(式1)および(式2)
2W2>W1>W2・・・(式1)
W1−W2≧2W0>0・・・(式2)
を満たしている。
【0025】
この実施形態の回路基板接合構造体によれば、2W2>W1>W2、および、W1−W2≧2W0>0を満たすので、従来加圧より低加圧にて、同程度のバンプ変形が得られるとともに、接合性を一層向上できる。
【0026】
また、一実施形態の回路基板接合構造体では、上記第1の回路基板および上記第2の回路基板のうちの少なくとも一方の回路基板に関して、上記バンプ電極は、予め、上記第1の中心線と上記第2の中心線とが重ならずに偏移するように、形成されている。
【0027】
この実施形態の回路基板接合構造体によれば、上記第1の回路基板および上記第2の回路基板のうちの少なくとも一方の回路基板に関して、上記バンプ電極は、予め、上記第1の中心線と上記第2の中心線とが重ならずに偏移するように、形成されているので、機種切替え時に必須となるフリップチップボンダーの偏移量の設定を変えずに接合することができて、効率的な生産が可能になる。
【0028】
また、一実施形態の回路基板接合構造体では、上記第1のバンプ電極または上記第2のバンプ電極の一方のバンプ電極の頂面の面積は、他方のバンプ電極の頂面の面積よりも、小さく、
上記一方のバンプ電極の少なくとも一部は、上記他方のバンプ電極に埋設され、
上記一方のバンプ電極の一方の側面は、上記他方のバンプ電極に接触していない。
【0029】
この実施形態の回路基板接合構造体によれば、上記一方のバンプ電極の少なくとも一部は、上記他方のバンプ電極に埋設され、上記一方のバンプ電極の一方の側面は、上記他方のバンプ電極に接触していないので、上記一方のバンプ電極の接合界面近傍での横すべりが容易に生じて、上記一方のバンプ電極が変形しやすくなり、接合強度を強固にできる。
【0030】
また、一実施形態の回路基板接合構造体では、上記第1のバンプ電極および上記第2のバンプ電極は、互いに、同一材料にて形成されている。
【0031】
この実施形態の回路基板接合構造体によれば、上記第1のバンプ電極および上記第2のバンプ電極は、互いに、同一材料にて形成されているので、バンプ電極を容易に変形できて、接合性を一層向上できる。
【0032】
また、この発明の回路基板接合構造体の製造方法は、
第1の回路基板と第2の回路基板とが重ね合わせて接合される回路基板接合構造体の製造方法であって、
上記第1の回路基板の電極上には、第1のバンプ電極が形成され、上記第2の回路基板の電極上には、上記第1のバンプ電極の頂面とは面積が異なる頂面を有する第2のバンプ電極が形成され、
上記第1の回路基板の電極面に直交すると共に上記第1のバンプ電極の頂面の中心を通る第1の中心線と、上記第2の回路基板の電極面に直交すると共に上記第2のバンプ電極の頂面の中心を通る第2の中心線とが、重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを、対向して接合する第1の工程と、
上記第1の回路基板と上記第2の回路基板との間に樹脂を充填する第2の工程と
を備えることを特徴としている。
【0033】
この発明の回路基板接合構造体の製造方法によれば、上記第1の中心線と上記第2の中心線とが重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを、対向して接合する第1の工程を備えるので、ファインピッチ実装が可能なバンプ電極の接合位置ずれ、ならびに接合性向上をともに満足できる回路基板接合構造体を容易に得ることができる。
【0034】
また、一実施形態の回路基板接合構造体の製造方法では、
上記第1の工程では、
上記第1の中心線と上記第2の中心線との間の偏移量を、W0とし、
上記第1のバンプ電極の頂面における上記第1の中心線と上記第2の中心線とを結ぶ方向の幅を、W1とし、
上記第2のバンプ電極の頂面における上記第1の中心線と上記第2の中心線とを結ぶ方向の幅を、W2としたときに、
以下の(式1)および(式2)
2W2>W1>W2・・・(式1)
W1−W2≧2W0>0・・・(式2)
を満たすように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを、対向して接合する。
【0035】
この実施形態の回路基板接合構造体の製造方法によれば、上記第1の工程では、2W2>W1>W2、および、W1−W2≧2W0>0を満たすように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを、対向して接合するので、従来加圧より低加圧にて、同程度のバンプ変形が得られるとともに、接合性を一層向上できる。
【0036】
また、一実施形態の回路基板接合構造体の製造方法では、上記第1の工程では、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを接触させ加圧した後、上記第1のバンプ電極および上記第2のバンプ電極に超音波振動を印加する。
【0037】
この実施形態の回路基板接合構造体の製造方法によれば、上記第1の工程では、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを接触させ加圧した後、上記第1のバンプ電極および上記第2のバンプ電極に超音波振動を印加するので、上記第1のバンプ電極と上記第2のバンプ電極との接合界面の汚染層を効果的に排斥できて、接合性を一層向上できる。
【発明の効果】
【0038】
この発明の回路基板接合構造体によれば、上記第1の中心線と上記第2の中心線とが、重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とが、対向して接合されているので、ファインピッチ実装が可能なバンプ電極の接合位置ずれ、ならびに接合性向上をともに満足できる構造を得ることができる。
【0039】
この発明の回路基板接合構造体の製造方法によれば、上記第1の中心線と上記第2の中心線とが重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを、対向して接合する第1の工程を備えるので、ファインピッチ実装が可能なバンプ電極の接合位置ずれ、ならびに接合性向上をともに満足できる回路基板接合構造体を容易に得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0040】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【0041】
図1は、この発明の回路基板接合構造体の一実施形態である一部断面図を示している。この回路基板接合構造体では、第1の回路基板としての第1の半導体チップ1と、第2の回路基板としての第2の半導体チップ3とが、重ね合わせて接合される。
【0042】
上記第1の半導体チップ1の電極上には、第1のバンプ電極2が形成されている。上記第2の半導体チップ3の電極上には、上記第1のバンプ電極2の頂面とは面積が異なる頂面を有する第2のバンプ電極4が形成されている。
【0043】
上記第1のバンプ電極2の頂面と上記第2のバンプ電極4の頂面とが、対向して接合されている。上記第1のバンプ電極2および上記第2のバンプ電極4にて、バンプ電極5を構成している。
【0044】
上記第1のバンプ電極2は、上記第1の半導体チップ1上に、公知の電解めっき法により、形成されている。上記第2のバンプ電極4は、上記第2の半導体チップ3上に、公知の電解めっき法により、形成されている。
【0045】
上記第1のバンプ電極2のサイズは、45μm□であり、上記第2のバンプ電極4のサイズは、30μm□であり、バンプ電極のピッチは、共に、60μmである。なお、第1のバンプ電極2ならびに第2のバンプ電極4は、接合時にバンプ電極自体が座屈しないアスペクト比が1以下である高さが望ましい。ここでは、第1のバンプ電極2の高さは、8μmであり、第2のバンプ電極4の高さは、15μmである。
【0046】
上記第1の半導体チップ1の電極面に直交すると共に上記第1のバンプ電極2の頂面の中心を通る第1の中心線L1と、上記第2の半導体チップ3の電極面に直交すると共に上記第2バンプ電極4の頂面の中心を通る第2の中心線L2とが、重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極2の頂面と上記第2バンプ電極4の頂面とが、対向して接合されている。
【0047】
具体的に述べると、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2との間の偏移量を、W0とし、上記第1のバンプ電極2の頂面における上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とを結ぶ方向の幅を、W1とし、上記第2バンプ電極4の頂面における上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とを結ぶ方向の幅を、W2としたときに、以下の(式1)および(式2)
2W2>W1>W2・・・(式1)
W1−W2≧2W0>0・・・(式2)
を満たす。
【0048】
上記(式1)(式2)の関係を得るために、バンプ電極の頂面の中心を通り予め偏移させる方向の頂面の幅W1、W2が異なる5種類の半導体チップを任意の量だけ偏移(位置ずれ)させたサンプルを試作した。つまり、幅W1は、45μm、40μm、30μm、25μmであり、幅W2は、30μm、20μmである。
【0049】
図10に示すように、試作したサンプルA〜I(9条件)にて、接合強度測定ならびに信頼性試験を実施した。その結果について説明する。
【0050】
接合後のバンプ電極の偏移量(位置ずれ)W0を、0μm(つまり、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とが、重なって偏移していない)、2μm、5μm、7.5μm、10μmとした。
【0051】
また、第1のバンプ電極2の頂面の中心位置を通り予め偏移させる方向の頂面の幅W1と、第2のバンプ電極4の頂面の中心位置を通り予め偏移させる方向の頂面の幅W2との関係を確認するために、上記第1のバンプ電極2の頂面の幅W1と上記第2のバンプ電極4の頂面の幅W2を変化させたサンプルの試作も行い、その接合性も検討した。
【0052】
なお、バンプ電極の頂面の中心位置を通り予め偏移させる方向の頂面の幅を変化したサンプルにおいても、接合ピッチは、60μmである。また接合条件は、接合温度430℃、接合加圧200N/mm2、接合時間1secである。
【0053】
上記のサンプルの接合性の耐候性を確認するため、接合信頼性として、温度サイクル試験(−55℃/150℃、各30分サイクル)を実施した。
【0054】
各サンプルの接合性を比較した結果、温度サイクル試験1000時間においても、接合部の抵抗値上昇が見られず、接合状態が良好な第1のバンプ電極2および第2のバンプ電極4の頂面の幅ならびに位置ずれの関係を見出した。
【0055】
すなわち、図10より、第1のバンプ電極2の頂面の中心を通り予め偏移させる方向の頂面の幅W1は、第2のバンプ電極4の頂面の中心を通り予め偏移させる方向の頂面の幅W2より大きく、かつ、この幅W2の2倍より小さいことが望ましく、さらに、第1のバンプ電極2の頂面の中心を通り予め偏移させる方向の頂面の幅W1と第2のバンプ電極4の頂面の中心を通り予め偏移させる方向の頂面の幅W2との偏移量(位置ずれ)W0は、ゼロより大きく、かつ、上記第1のバンプ電極2の頂面の中心を通り予め偏移させる方向の頂面の幅W2から第2のバンプ電極4の頂面の中心を通り予め偏移させる方向の頂面の幅W1を減じて0.5を乗じた値以下であることが望ましいことが判明した。
【0056】
例えば、図10中のサンプルIについて、第1のバンプ電極の幅W1が45μm□であり、第2のバンプ電極の幅W2が20μm□であり、上記(式1)を満たしていない。また、図10中のサンプルHについても、幅W1、W2に関して上記(式1)を満たしていない。
【0057】
図10中のサンプルH、Iについて、第2のバンプ電極4が第1のバンプ電極2と接合した時に、第1のバンプ電極2と第2のバンプ電極4との接合界面に生じる未接合部が占有する割合が多くなる。
【0058】
すなわち、熱圧着接合の場合は、接合時の加圧によりバンプ電極に塑性変形が生じる。このバンプ電極の塑性変形により、バンプ電極表面のコンタミが排斥され、バンプ電極材の金属の新生面が生じた結果、バンプ電極の新生面同士での接合が可能となる。
【0059】
しかし、バンプ電極の接合部には、排斥されたコンタミによる微小な未接合部が不可避な状態にて生じる。またバンプ電極表面には、±1μm程度の凹凸がバンプめっき工程後に生じる。このバンプ電極表面の凹凸を加圧で塑性変形させ消失させる必要がある。
【0060】
しかし、上記(式1)を満たさないバンプ電極のサイズでは、加熱加圧により第1のバンプ電極2である大面積バンプ電極に、第2のバンプ電極4である小面積バンプ電極が埋設するが、大面積バンプ電極の両端が加圧方向と垂直方向への小面積バンプ電極の変形を阻害しているため、小面積バンプ電極の大面積バンプ電極との接合界面(接触部)近傍で横すべりが生じにくく、結果的に、バンプ変形が生じにくい。
【0061】
そして、この未接合部を消失させるためには、高加圧が必要になる。最悪の場合は、小面積バンプ電極である第2のバンプ電極4の座屈が生じてしまい、半導体チップ内の端子毎の接合強度バラツキが生じる。
【0062】
実際に、接合した第1のバンプ電極2と第2のバンプ電極4との接合部を保護するために、アンダーフィル樹脂を注入し、温度サイクル試験(−55℃/150℃、各30分サイクル)を実施すると、バンプ電極とアンダーフィル樹脂との線膨張係数の差による熱応力により、第2のバンプ電極4の塑性変形不足に起因する未接合部を起点としたクラックが進展しており、接合部の熱疲労破壊に至っていることを確認した。
【0063】
また、上記(式2)を満たさない偏移(位置ずれ)量W0を有する図10中のサンプルEでは、図4に示すように、第1のバンプ電極42と第2のバンプ電極44とを接合した際に、第2のバンプ電極44が第1のバンプ電極42の側面46よりはみだすため、接合面積が減少し、単位面積あたりの接合荷重が見かけ上高くなるため、第2のバンプ電極44が異常変形を起こす。
【0064】
その結果、第1の半導体チップ41の素子形成面47に第2のバンプ電極44の隆起した一部48が接触してしまい、ショート等が生じてしまう。
【0065】
したがって、上記(式1)(式2)を満たすことが必要であり、上記(式1)(式2)を満たすことにより、従来加圧より低加圧にて、同程度のバンプ変形が得られるとともに、接合性が向上できることが判明した。
【0066】
なお、上記(式1)(式2)を満たす偏移(位置ずれ)量W0は、ゼロより大きければ、偏移(位置ずれ)がない場合に比べて、接合強度の向上が確認できる。つまり、上記(式1)(式2)を満たす図10中のサンプルB,C,D,F,Gは、W0がゼロである図10中のサンプルAに比べて、接合強度が向上している。
【0067】
そして、より安定した接合状態を確保するために、W0は5μm以上が好適である。つまり、図10中のサンプルC,D,Fについて、W0が5μm以上である。
【0068】
また、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とが異なり、上記第1のバンプ電極2と上記第2のバンプ電極4とが接合されていればよい。
【0069】
次に、図2および図3に示すように、本発明の半導体チップ接合構造により実現できる半導体装置について説明する。図2は、図1に示される半導体チップの接合構造体により実現できるモジュール構造の模式図を示し、図3は、図1に示される半導体チップの接合構造体により実現できるモジュール構造の上面模式図を示す。
【0070】
なお、図2は、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とが、同一方向でなく多様な方向に偏移しており、上記第1のバンプ電極2と上記第2のバンプ電極4とが、相互に接合されている半導体チップ接合構造体の一例である。
【0071】
第1の半導体チップ1は、液晶パネルのコモン電極およびセグメント電極を駆動する液晶ドライバーICである。また、上記第1の半導体チップ1と第2の半導体チップ3は、同一材料のシリコンからなっている。上記第1の半導体チップ1と上記第2の半導体チップ3の裏面研磨は特に行わなくてもいいし、半導体チップの割れや取り扱いを考慮した程度の裏面研磨を行ってもよい。
【0072】
第1の半導体チップ1の電極上(図示せず)には、バンプ電極2である金バンプが形成されている。これらの金バンプは公知技術である電解めっき法にて形成され、たとえば平均で8μmの高さを有している。
【0073】
また、第2の半導体チップ3の電極上(図示せず)にも、バンプ電極4である金バンプが形成されている。公知技術である電解めっき法により形成された金バンプは、平均で15μmの高さを有している。
【0074】
つまり、上記第1のバンプ電極2および上記第2のバンプ電極4は、互いに、同一材料にて形成されている。
【0075】
配線基板7には、第2の半導体チップ3に接合するための配線8と他方の配線基板(図示せず)に接合するための端子(図示せず)が形成されている。さらに、配線基板7には、第1の半導体チップ1が搭載される範囲に打ち抜き穴10が設けられている。配線基板7上の配線8は、この打ち抜き穴10から露出しないように形成されている。
【0076】
また、配線基板7の配線8の端子部分以外は、ソルダーレジスト(図示せず)の被膜によって保護されている。具体的には、配線基板7はポリイミド等の有機材料からなる基材であり、配線8はCu配線パターンがパターニングされている。
【0077】
第2の半導体チップ3の第3のバンプ電極6である金バンプと接合するために、上記Cu配線パターン上の電極部分には、錫メッキもしくは金メッキが施されている。さらに上記Cu配線パターンは、基材の周縁部から相互に平行となるように引き出され、異方導電性膜等を介し液晶パネル(図示せず)の電極に接合され、一方の引き出し部は電源や画像データ信号が伝送されるプリント基板(図示せず)の電極に接合される。
【0078】
上記第2の半導体チップ3と配線基板7とは、第3のバンプ電極6である金バンプと、配線基板7との配線8とをインナーリードボンダーによって接続する。
【0079】
また、第1の半導体チップ1と第2の半導体チップ3は、各バンプ電極5である金バンプ同士2、4とをフリップチップボンダーによって接合する。そのボンディング条件は、たとえば温度430℃、時間が1sec、圧力は1mm2あたり160N〜200Nである。
【0080】
第1の半導体チップ1と第2の半導体チップ3と配線基板7とを各々接合し得られた構造において、上記第2の半導体チップ3と上記第1の半導体チップ1とが対向する領域ならびに上記配線基板7と上記第2の半導体チップ3とが接合された領域の周囲に、アンダーフィル樹脂9を塗布し硬化する。
【0081】
なお、硬化は、キュア炉によって、たとえば125℃で20分程度、プリキュアされ、さらに125℃で3時間程度ポストキュアする。以上より、得られたモジュール構造は、アンダーフィル樹脂9により封止され、機械的強度保持や環境からの保護が実現されている。
【0082】
本モジュール構造は、第1の半導体チップ1と第2の半導体チップ3のボンディング後、第1の半導体チップ1と第2の半導体チップ3との間の隙間は、20μm程度となる。さらに、コストの観点から金バンプの高さを低くした場合には、上記隙間は10μm程度になる。
【0083】
したがって、気泡を巻き込むことがなく、かつ、流動性が良好でなければならないアンダーフィル樹脂9の粘度は、9Pa・s程度の低粘度が望ましい。また、狭間隙に注入するため、フィラであるシリカの最大粒径は0.35μm以下が望ましい。さらに、同一部材のバンプ電極である接合部の高信頼を得るためには、アンダーフィル樹脂の熱膨張係数は、56ppm/K以下であることが望ましく、そのためには、無機充填材料としてシリカを50重量%含有した樹脂が望ましい。これらのアンダーフィル樹脂9として、長瀬チバ製の型番XS−8443が候補としてあげられる。
【0084】
以上のようなモジュール構造にすることで、微細ピッチで多ピンの安定した接合構造を得ることが可能となる小型な液晶モジュールが実現できる。
【0085】
さらに、配線基板7に実装するチップ部品の機能を、第2の半導体チップ3に盛り込む設計をすることにより、実装面積が大幅に削減可能となり、モジュールの小型化、しいては製品の小型化に大きく貢献できる。
【0086】
次に、図5と図6に示すように、本発明の実施の形態である接合構造体を実現する半導体チップについて説明する。図5は、第1の半導体チップである液晶ドライバーの概略上面模式図である。図6は、第2の半導体チップの概略上面模式図である。なお、ここでは、第2の半導体チップ3は、第1の半導体チップ1と配線基板7との信号の中継基板(インターポーザ)として説明する。
【0087】
図5に示すように、第1の半導体チップ1には、第1のバンプ電極2である金バンプがエリア状に配列されている。また、第2の半導体チップ3と接合するための基準印として、第1の半導体チップ1の隅にアライメントマーク11、12が公知の技術により設けられている。
【0088】
また、図6に示すように、第2の半導体チップ3には、第2のバンプ電極4と第3のバンプ電極6である金バンプが設けられている。なお、第2のバンプ電極4は、第1の半導体チップ1の第1のバンプ電極2と対向する位置に設けられている。さらに、配線基板7と接合するために、第3のバンプ電極6は、第2の半導体チップ3の周囲に設けられている。
【0089】
ここで、第2の半導体チップ3上に形成した各々の第2のバンプ電極4を、望ましい偏移量A1だけ、異なる方向に予め偏移して形成している。予め偏移した第2のバンプ電極4を形成する方法は、公知のめっきプロセスで容易に実現できる。
【0090】
なお、図6に示す第2の半導体チップ3の第2のバンプ電極4を予め偏移したが、図5に示す第1の半導体チップ1の第1のバンプ電極3を予め偏移しても構わない。
【0091】
要するに、上記第1の半導体チップ1および上記第2の半導体チップ3のうちの少なくとも一方の半導体チップ1,3に関して、上記バンプ電極2,4を、予め、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とが重ならずに偏移するように、形成するようにしてもよい。したがって、機種切替え時に必須となるフリップチップボンダーの偏移量の設定を変えずに接合することができて、効率的な生産が可能になる。
【0092】
図7に、本発明の半導体チップの接合構造体の最も好適な接合部断面図を示す。つまり、この半導体チップの接合構造体では、第2のバンプ電極74の頂面の面積は、第1のバンプ電極72の頂面の面積よりも小さく、第2のバンプ電極74の少なくとも一部は、第1のバンプ電極72に埋設され、第2のバンプ電極74と第1のバンプ電極72との対向面同士が、接合されている。さらに、第2のバンプ電極74の一方の側面76は、半導体チップ71の第1のバンプ電極72に接触していない。
【0093】
したがって、第2のバンプ電極74の側面76は第1のバンプ電極72に接していないため、第2のバンプ電極74の接合界面近傍での横すべりが容易に生じて、第2のバンプ電極74が変形しやすくなり、接合強度を強固にできる。
【0094】
次に、本発明の半導体チップ接合構造体を得る製造方法について説明する。
【0095】
まず、図8に示すように、本発明の半導体チップ接合構造体を得る製造方法の位置合わせ工程を説明する。なお、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とは、同一方向に偏移し、上記第1のバンプ電極2と上記第2のバンプ電極4とが相互に接合されている構造に関し、説明する。
【0096】
ここで、第1の半導体チップ1のアライメントマーク11から第1のバンプ電極2までの距離をA2とする。また、第2の半導体チップ3のアライメントマーク11から第2のバンプ電極4までの距離をA1とする。
【0097】
第2の半導体チップ3の第2のバンプ電極4の上方位置で、ボンディングツール13により第1の半導体チップ1を吸着する。そして、第1の半導体チップ1の第1のバンプ電極2と第2の半導体チップ3の第2のバンプ電極4を対向させ、アライメントマーク11、12にて位置合わせをする。
【0098】
このとき、予め、A3=A2−A1ほど偏移させ形成した第2のバンプ電極4を有する第2の半導体チップ3を用いているため、この位置合わせ工程の時点で、第1のバンプ電極2と第2のバンプ電極4とが、予め偏移させた量である(A2−A1)だけ、偏移(位置ずれ)した状態にある。なお、予め偏移させる量A3は、5μmが望ましい。
【0099】
以上より、機種切替え時に必須となるフリップチップボンダーの偏移量の設定を変えずに接合することができるため、効率的な生産が可能になる。なお、ここでは、予め第2のバンプ電極4を偏移した半導体チップを使用する製造方法を説明したが、アライメントマークに対するバンプ電極位置までの距離が同一のバンプ電極を予め偏移させていない半導体チップを使用する場合は、予め接合装置であるフリップチップボンダーの位置合わせ時に、望ましい偏移量A3のオフセット量を設けて接合すればよい。
【0100】
すなわち、位置合わせ工程後には、アライメントマークが不一致された状態で、第1の半導体チップ1の第1のバンプ電極2と第2の半導体チップ3の第2のバンプ電極4とが対向している状態となる。
【0101】
その後、図9に示すように、位置合わせ工程後、ボンディングツール13を下降させ、第1の半導体チップ1のバンプ電極2を第2の半導体チップ3のバンプ電極4に当接させる。当接後、第1の半導体チップ1を加熱加圧し、バンプ電極5を塑性変形させ、固相接合させる。
【0102】
要するに、本発明の半導体チップ接合構造体の製造方法は、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とが重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極2の頂面と上記第2のバンプ電極4の頂面とを、対向して接合する第1の工程と、上記第1の半導体チップ1と上記第2の半導体チップ3との間に樹脂9を充填する第2の工程とを備える。
【0103】
上記第1の工程では、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2との間の偏移量を、W0とし、上記第1のバンプ電極2の頂面における上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とを結ぶ方向の幅を、W1とし、上記第2のバンプ電極4の頂面における上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とを結ぶ方向の幅を、W2としたときに、以下の(式1)および(式2)
2W2>W1>W2・・・(式1)
W1−W2≧2W0>0・・・(式2)
を満たすように、上記第1のバンプ電極2の頂面と上記第2のバンプ電極4の頂面とを、対向して接合する。
【0104】
なお、上記第1の工程では、上記第1のバンプ電極2の頂面と上記第2のバンプ電極4の頂面とを接触させ加圧した後、上記第1のバンプ電極2および上記第2のバンプ電極4に超音波振動を印加する。したがって、上記第1のバンプ電極2と上記第2のバンプ電極4との接合界面の汚染層を効果的に排斥できて、接合性を一層向上できる。
【0105】
また、上記第1のバンプ電極2および上記第2のバンプ電極4は、互いに、同一材料にて形成されている。したがって、バンプ電極2,4を容易に変形できて、接合性を一層向上できる。なお、ここでは、バンプ塑性変形が容易であり、バンプ表面に酸化膜が形成されない金バンプが望ましい。
【0106】
上記構成の半導体チップの接合構造体によれば、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とが、重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極2の頂面と上記第2のバンプ電極4の頂面とが、対向して接合されているので、大面積のバンプ電極2と小面積のバンプ電極4との接合位置が偏移しているため、小面積のバンプ電極4が大面積のバンプ電極2に当接したときに、大面積のバンプ電極2の両端までの距離が小面積のバンプ電極4の両端で異なる。
【0107】
すなわち、小面積バンプ電極4が塑性変形するときに、大面積バンプ電極2の側面までの距離が短い方は、自由端となり、バンプ電極の変形拘束をうけないため、小面積バンプ電極4が塑性変形するとき、大面積バンプ電極2の自由端の方向へ接合界面での横すべりが生じやすく、その結果、小面積バンプ電極4が容易に変形しやすくなる。
【0108】
したがって、接合信頼性を確保するために高加圧でバンプ変形させていた従来条件に比べ、低加圧で従来条件と同程度の接合強度を確保することができる。その結果、バンプ電極下部の酸化膜、素子等のダメージの回避が可能になり、接合起因による不良がない高信頼性を有する半導体チップの接合構造体を得ることができる。
【0109】
要するに、ファインピッチ実装が可能なバンプ電極2,4の接合位置ずれ、ならびに接合性向上をともに満足できる構造を得ることができる。
【0110】
また、2W2>W1>W2、および、W1−W2≧2W0>0を満たすので、従来加圧より低加圧にて、同程度のバンプ変形が得られるとともに、接合性を一層向上できる。
【0111】
また、上記構成の半導体チップの接合構造体の製造方法によれば、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とが重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極2の頂面と上記第2のバンプ電極4の頂面とを、対向して接合する第1の工程を備えるので、ファインピッチ実装が可能なバンプ電極2,4の接合位置ずれ、ならびに接合性向上をともに満足できる半導体チップの接合構造体を容易に得ることができる。
【0112】
また、上記第1の工程では、2W2>W1>W2、および、W1−W2≧2W0>0を満たすように、上記第1のバンプ電極2の頂面と上記第2のバンプ電極4の頂面とを、対向して接合するので、従来加圧より低加圧にて、同程度のバンプ変形が得られるとともに、接合性を一層向上できる。
【0113】
なお、この発明は上述の実施形態に限定されない。例えば、上記全てのバンプ電極5に関して、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とが偏移する方向は、同一方向に偏移していても構わないし、異種方向に偏移していても構わない。つまり、上記全てのバンプ電極5の内の少なくとも一つのバンプ電極5の偏移方向は、他のバンプ電極5の偏移方向と相違する。
【0114】
また、上記全てのバンプ電極5に関して、上記第1の中心線L1と上記第2の中心線L2とが偏移する方向は、同一方向に角度ずれして偏移していても構わないし、異種方向に角度ずれして偏移していても構わない。つまり、上記全てのバンプ電極5の内の少なくとも一つのバンプ電極5の偏移方向は、他のバンプ電極5の偏移方向と相違する。
【図面の簡単な説明】
【0115】
【図1】本発明の回路基板としての半導体チップの接合構造体の断面模式図である。
【図2】本発明の半導体チップの接合構造体により完成する半導体装置の断面模式図である。
【図3】本発明の半導体チップの接合構造体により完成する半導体装置の上面模式図である。
【図4】本発明の半導体チップの接合構造体の不具合を説明する断面模式図である。
【図5】本発明の第1の半導体チップの上面模式図である。
【図6】本発明の第2の半導体チップの上面模式図である。
【図7】本発明の半導体チップの接合構造体を説明する半導体チップ構造の断面模式図である。
【図8】本発明の回路基板としての半導体チップの製造方法の製造工程の位置あわせを示す断面模式図である。
【図9】本発明の半導体チップの製造方法の接合工程の接合を示す断面模式図である。
【図10】偏移量W0および幅W1、W2と接合強度および信頼性試験結果との関係を説明する表である。
【図11】従来の半導体チップの接合構造体を説明する説明図である。
【符号の説明】
【0116】
1 第1の半導体チップ(第1の回路基板)
2 第1のバンプ電極
3 第2の半導体チップ(第2の回路基板)
4 第2のバンプ電極
5 バンプ電極
6 第3のバンプ電極
7 配線基板
8 配線
9 アンダーフィル樹脂
11,12 位置合わせマーク
L1 第1の中心線
L2 第2の中心線
W0 偏移量
W1 第1のバンプ電極の頂面の幅
W2 第2のバンプ電極の頂面の幅
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第1の回路基板と第2の回路基板とが重ね合わせて接合される回路基板接合構造体であって、
上記第1の回路基板の電極上には、第1のバンプ電極が形成され、
上記第2の回路基板の電極上には、上記第1のバンプ電極の頂面とは面積が異なる頂面を有する第2のバンプ電極が形成され、
上記第1の回路基板の電極面に直交すると共に上記第1のバンプ電極の頂面の中心を通る第1の中心線と、上記第2の回路基板の電極面に直交すると共に上記第2のバンプ電極の頂面の中心を通る第2の中心線とが、重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とが、対向して接合されていることを特徴とする回路基板接合構造体。
【請求項2】
請求項1に記載の回路基板接合構造体において、
上記第1の中心線と上記第2の中心線との間の偏移量を、W0とし、
上記第1のバンプ電極の頂面における上記第1の中心線と上記第2の中心線とを結ぶ方向の幅を、W1とし、
上記第2のバンプ電極の頂面における上記第1の中心線と上記第2の中心線とを結ぶ方向の幅を、W2としたときに、
以下の(式1)および(式2)
2W2>W1>W2・・・(式1)
W1−W2≧2W0>0・・・(式2)
を満たすことを特徴とする回路基板接合構造体。
【請求項3】
請求項1に記載の回路基板接合構造体において、
上記第1の回路基板および上記第2の回路基板のうちの少なくとも一方の回路基板に関して、上記バンプ電極は、予め、上記第1の中心線と上記第2の中心線とが重ならずに偏移するように、形成されていることを特徴とする回路基板接合構造体。
【請求項4】
請求項1に記載の回路基板接合構造体において、
上記第1のバンプ電極または上記第2のバンプ電極の一方のバンプ電極の頂面の面積は、他方のバンプ電極の頂面の面積よりも、小さく、
上記一方のバンプ電極の少なくとも一部は、上記他方のバンプ電極に埋設され、
上記一方のバンプ電極の一方の側面は、上記他方のバンプ電極に接触していないことを特徴とする回路基板接合構造体。
【請求項5】
請求項1に記載の回路基板接合構造体において、
上記第1のバンプ電極および上記第2のバンプ電極は、互いに、同一材料にて形成されていることを特徴とする回路基板接合構造体。
【請求項6】
第1の回路基板と第2の回路基板とが重ね合わせて接合される回路基板接合構造体の製造方法であって、
上記第1の回路基板の電極上には、第1のバンプ電極が形成され、上記第2の回路基板の電極上には、上記第1のバンプ電極の頂面とは面積が異なる頂面を有する第2のバンプ電極が形成され、
上記第1の回路基板の電極面に直交すると共に上記第1のバンプ電極の頂面の中心を通る第1の中心線と、上記第2の回路基板の電極面に直交すると共に上記第2のバンプ電極の頂面の中心を通る第2の中心線とが、重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを、対向して接合する第1の工程と、
上記第1の回路基板と上記第2の回路基板との間に樹脂を充填する第2の工程と
を備えることを特徴とする回路基板接合構造体の製造方法。
【請求項7】
請求項6に記載の回路基板接合構造体の製造方法において、
上記第1の工程では、
上記第1の中心線と上記第2の中心線との間の偏移量を、W0とし、
上記第1のバンプ電極の頂面における上記第1の中心線と上記第2の中心線とを結ぶ方向の幅を、W1とし、
上記第2のバンプ電極の頂面における上記第1の中心線と上記第2の中心線とを結ぶ方向の幅を、W2としたときに、
以下の(式1)および(式2)
2W2>W1>W2・・・(式1)
W1−W2≧2W0>0・・・(式2)
を満たすように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを、対向して接合することを特徴とする回路基板接合構造体の製造方法。
【請求項8】
請求項6に記載の回路基板接合構造体の製造方法において、
上記第1の工程では、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを接触させ加圧した後、上記第1のバンプ電極および上記第2のバンプ電極に超音波振動を印加することを特徴とする回路基板接合構造体の製造方法。
【請求項1】
第1の回路基板と第2の回路基板とが重ね合わせて接合される回路基板接合構造体であって、
上記第1の回路基板の電極上には、第1のバンプ電極が形成され、
上記第2の回路基板の電極上には、上記第1のバンプ電極の頂面とは面積が異なる頂面を有する第2のバンプ電極が形成され、
上記第1の回路基板の電極面に直交すると共に上記第1のバンプ電極の頂面の中心を通る第1の中心線と、上記第2の回路基板の電極面に直交すると共に上記第2のバンプ電極の頂面の中心を通る第2の中心線とが、重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とが、対向して接合されていることを特徴とする回路基板接合構造体。
【請求項2】
請求項1に記載の回路基板接合構造体において、
上記第1の中心線と上記第2の中心線との間の偏移量を、W0とし、
上記第1のバンプ電極の頂面における上記第1の中心線と上記第2の中心線とを結ぶ方向の幅を、W1とし、
上記第2のバンプ電極の頂面における上記第1の中心線と上記第2の中心線とを結ぶ方向の幅を、W2としたときに、
以下の(式1)および(式2)
2W2>W1>W2・・・(式1)
W1−W2≧2W0>0・・・(式2)
を満たすことを特徴とする回路基板接合構造体。
【請求項3】
請求項1に記載の回路基板接合構造体において、
上記第1の回路基板および上記第2の回路基板のうちの少なくとも一方の回路基板に関して、上記バンプ電極は、予め、上記第1の中心線と上記第2の中心線とが重ならずに偏移するように、形成されていることを特徴とする回路基板接合構造体。
【請求項4】
請求項1に記載の回路基板接合構造体において、
上記第1のバンプ電極または上記第2のバンプ電極の一方のバンプ電極の頂面の面積は、他方のバンプ電極の頂面の面積よりも、小さく、
上記一方のバンプ電極の少なくとも一部は、上記他方のバンプ電極に埋設され、
上記一方のバンプ電極の一方の側面は、上記他方のバンプ電極に接触していないことを特徴とする回路基板接合構造体。
【請求項5】
請求項1に記載の回路基板接合構造体において、
上記第1のバンプ電極および上記第2のバンプ電極は、互いに、同一材料にて形成されていることを特徴とする回路基板接合構造体。
【請求項6】
第1の回路基板と第2の回路基板とが重ね合わせて接合される回路基板接合構造体の製造方法であって、
上記第1の回路基板の電極上には、第1のバンプ電極が形成され、上記第2の回路基板の電極上には、上記第1のバンプ電極の頂面とは面積が異なる頂面を有する第2のバンプ電極が形成され、
上記第1の回路基板の電極面に直交すると共に上記第1のバンプ電極の頂面の中心を通る第1の中心線と、上記第2の回路基板の電極面に直交すると共に上記第2のバンプ電極の頂面の中心を通る第2の中心線とが、重ならずに偏移するように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを、対向して接合する第1の工程と、
上記第1の回路基板と上記第2の回路基板との間に樹脂を充填する第2の工程と
を備えることを特徴とする回路基板接合構造体の製造方法。
【請求項7】
請求項6に記載の回路基板接合構造体の製造方法において、
上記第1の工程では、
上記第1の中心線と上記第2の中心線との間の偏移量を、W0とし、
上記第1のバンプ電極の頂面における上記第1の中心線と上記第2の中心線とを結ぶ方向の幅を、W1とし、
上記第2のバンプ電極の頂面における上記第1の中心線と上記第2の中心線とを結ぶ方向の幅を、W2としたときに、
以下の(式1)および(式2)
2W2>W1>W2・・・(式1)
W1−W2≧2W0>0・・・(式2)
を満たすように、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを、対向して接合することを特徴とする回路基板接合構造体の製造方法。
【請求項8】
請求項6に記載の回路基板接合構造体の製造方法において、
上記第1の工程では、上記第1のバンプ電極の頂面と上記第2のバンプ電極の頂面とを接触させ加圧した後、上記第1のバンプ電極および上記第2のバンプ電極に超音波振動を印加することを特徴とする回路基板接合構造体の製造方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【公開番号】特開2008−205260(P2008−205260A)
【公開日】平成20年9月4日(2008.9.4)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2007−40593(P2007−40593)
【出願日】平成19年2月21日(2007.2.21)
【出願人】(000005049)シャープ株式会社 (33,933)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成20年9月4日(2008.9.4)
【国際特許分類】
【出願日】平成19年2月21日(2007.2.21)
【出願人】(000005049)シャープ株式会社 (33,933)
【Fターム(参考)】
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