基板収納用の収納容器
【課題】ファンフィルタユニットのランニングコストを抑えることができる基板収納用の収納容器を提供する。
【解決手段】横倒れ姿勢の四角筒状に形成された容器本体６６の一端側の開口を、基板を一枚ずつ出し入れするための出入り口として構成し、容器本体６６の他端側の開口から出入り口に向けて通風するファンフィルタユニット６４を、容器本体６６における他端側の開口部に装備し、容器本体６６における出入り口を開閉する蓋６５を、閉じ状態において一部を通気口として開口する状態で、容器本体６６の出入り口部に装備する。
【解決手段】横倒れ姿勢の四角筒状に形成された容器本体６６の一端側の開口を、基板を一枚ずつ出し入れするための出入り口として構成し、容器本体６６の他端側の開口から出入り口に向けて通風するファンフィルタユニット６４を、容器本体６６における他端側の開口部に装備し、容器本体６６における出入り口を開閉する蓋６５を、閉じ状態において一部を通気口として開口する状態で、容器本体６６の出入り口部に装備する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚保持する基板収納用の収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる基板収納用の収納容器は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイに使用されるガラス基板等の基板を収納する際に用いられるものである。
そして、このような基板収納用の収納容器において、従来では、横倒れ姿勢の四角筒状に形成された容器本体の一端側の開口を、基板を一枚ずつ出し入れするための出入り口として構成され、容器本体の他端側の開口から出入り口に向けて通風するファンフィルタユニットを、容器本体における他端側の開口部に装備しているものがあった（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−３０８１６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記した基板収納用の収納容器では、ファンフィルタユニットにより、浄化空気を収納容器の他端側の開口から出入り口に向けて通風させて出入り口から排出することによって、収納容器内に存在する塵埃が基板に付着することを防止するとともに、収納容器搬送装置の作動等によって収納容器の周囲の気流が乱れたとしても収納容器内に外気が進入することを防止して、収納容器内の基板の清浄度を維持しているものである。
しかしながら、基板の清浄度を維持するための収納容器内の風速は、収納容器内に存在する塵埃が基板に付着するのを防止することができる程度に比較的遅くてもよいものの、出入り口からの外気の逆流を防止するためには収納容器から排出されるときの風速を比較的速くする必要があり、ファンフィルタユニットの通風量としては、収納容器から排出されるときの風速を比較的速くするために多くする必要があるため、ファンフィルタユニットのランニングコストが高くなってしまうものであった。
【０００５】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、ファンフィルタユニットのランニングコストを抑えることができる基板収納用の収納容器を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この目的を達成するために、本発明にかかる基板収納用の収納容器の第１特徴構成は、基板を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚保持する基板収納用の収納容器において、
横倒れ姿勢の四角筒状に形成された容器本体の一端側の開口が、前記基板を一枚ずつ出し入れするための出入り口として構成され、前記容器本体の他端側の開口から前記出入り口に向けて通風するファンフィルタユニットが、前記容器本体における他端側の開口部に装備され、前記容器本体における前記出入り口を開閉する蓋が、閉じ状態において一部を通気口として開口する状態で、前記容器本体の出入り口部に装備されている点にある。
【０００７】
すなわち、収納容器の出入り口を開閉する蓋が、閉じ状態において一部を開口する状態で、収納容器の出入り口部に装備されており、収納容器の蓋を閉じ状態としたとしても出入り口の一部が開口しているので、蓋を閉じ状態とした状態においても、ファンフィルタユニットにて、浄化空気を収納容器の他端側の開口から出入り口に向けて通風させて出入り口から排出させることにより、収納容器内に存在する塵埃が基板に付着することを防止するとともに収納容器内に外気が進入することを防止して、収納容器内の基板の清浄度を維持することができる。
【０００８】
そして、蓋を閉じ状態とした状態では、ファンフィルタユニットにて、浄化空気を収納容器の他端側の開口から出入り口に向けて通風させて出入り口における一部の開口から排出させるため、出入り口においては蓋により風路が狭められるために排出される浄化空気の風速が速くなるものであり、ファンフィルタユニットの通風量を比較的少なくしたとしても、排出される浄化空気の風速が速く、収納容器の出入り口から収納容器内への外気の進入を防ぐことができる。
従って、蓋を閉じ状態とした状態では、ファンフィルタユニットの通風量を比較的少なくしたとしても基板の清浄度を維持することができるため、ファンフィルタユニットの通風量を少なくしてファンフィルタユニットのランニングコストを抑えることができ、もって、ファンフィルタユニットのランニングコストを抑えることができる基板収納用の収納容器を提供することができるに至った。
【０００９】
本発明にかかる基板収納用の収納容器の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記通気口が、前記出入り口の横幅と略同じ横幅に亘るスリット状に形成され且つ上下方向に複数形成されている点にある。
【００１０】
すなわち、出入り口の横幅と略同じ横幅に亘るスリット状に形成された通気口を、上下方向に複数形成することにより、容器本体内を通風した浄化空気は、複数の通気口から上下方向並びに横幅方向に広範囲に分散する形態で排出されるため、清浄空気が流れ難くなる箇所が生じ難くなり、浄化空気の風速が遅いことによる塵埃の基板への付着を抑制することができるので、基板が汚染され難いものとなり、もって、基板が汚染され難い基板収納用の収納容器を提供することができるに至った。
【００１１】
本発明にかかる基板収納用の収納容器の第３特徴構成は、第２特徴構成において、前記通気口が、前記容器本体に保持される複数枚の前記基板の夫々に対応させた状態で上下方向に複数形成するように構成されている点にある。
【００１２】
すなわち、通気口が、容器本体に保持される複数枚の基板の夫々に対応させた状態で上下方向に複数形成されていることにより、収納容器内を通風する清浄空気は、収納された基板に沿って通風して通気口から排出され易く、基板の周囲において清浄空気が流れ難くなる箇所が生じ難くなるため、浄化空気の風速が遅いことによる塵埃の基板への付着を抑制することができるので、基板がより汚染され難いものとなり、もって、基板がより汚染され難い基板収納用の収納容器を提供することができるに至った。
【００１３】
本発明にかかる基板収納用の収納容器の第４特徴構成は、第１〜第３特徴構成のいずれか１つにおいて、前記蓋が、前記基板の出し入れを許容する開き状態において、隣接する基板出し入れ用口の間を閉じる形態で、前記出入り口を開くように構成されている点にある。
【００１４】
すなわち、基板の出し入れを許容する開き状態では、基板出し入れ用口から基板を出し入れすることができるものでありながら、隣接する基板出し入れ用口の間が蓋にて閉じられているため、開き状態においても、出入り口においては蓋により風路が狭められて排出される浄化空気の風速が速くなるので、開き状態並びに閉じ状態のいずれの状態においても、ファンフィルタユニットの通風量を比較的少なくしたとしても、排出される浄化空気の風速が速く、収納容器の出入り口から収納容器内への外気の進入を防ぐことができるものとなり、もって、よりファンフィルタユニットのランニングコストを抑えることができる基板収納用の収納容器を提供することができるに至った。
【００１５】
本発明にかかる基板収納用の収納容器の第５特徴構成は、第４特徴構成において、前記蓋が、前記出入り口の横幅と略同じ横幅の蓋形成部材の複数を、前記閉じ状態において隣接するものの間に前記通気口を形成し且つ前記出入り口の横幅方向に沿う軸芯周りで回転させた前記開き状態において隣接するものの間に前記基板出し入れ用口を開口する形態で、上下方向に並べて構成されている点にある。
【００１６】
すなわち、蓋が、出入り口の横幅と略同じ横幅の複数の蓋形成部材を備えて構成されており、開き状態から複数の蓋形成部材の夫々を回転操作するだけで、複数枚の基板に対応して出入り口の横幅と略同じ横幅に亘る基板出し入れ用口を形成した閉じ状態に切り換えることができ、蓋の構成の簡素化を図ることができるものとなり、もって、蓋の構成の簡素化を図ることができる基板収納用の収納容器を提供することができるに至った。
【００１７】
本発明にかかる基板収納用の収納容器の第６特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれか１つにおいて、前記蓋が前記閉じ状態側に復帰付勢されるように構成され、上方への移動により前記蓋を開き状態に操作する操作部が、前記容器本体の底面部から下方に突出する状態で設けられている点にある。
【００１８】
すなわち、操作部を上方へ移動させることによって蓋を開き状態に操作することができるものであり、その操作部が容器本体の底面部から下方に突出する状態で設けられているため、設定箇所に収納容器を載置させることによって、操作部が上方に移動させられて蓋が開き状態に切り換えられ、設定箇所から収納容器を持ち上げることによって、復帰付勢によって蓋が閉じ状態に切り換えられることとなり、別途、蓋を開閉操作するための操作機構が必要なく、蓋を開き状態と閉じ状態とに容易に切り換え操作することができ、もって、蓋を開き状態と閉じ状態とに容易に切り換え操作することができる基板収納用の収納容器を提供することができるに至った。
【００１９】
本発明にかかる基板収納用の収納容器の第７特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれか１つにおいて、前記容器本体の横側面部の面方向に沿う移動により前記蓋を開き状態に操作する操作部が、前記容器本体の横側面部から横側方に突出する状態で設けられている点にある。
【００２０】
すなわち、操作部を容器本体の横側面部の面方向に沿う移動させることによって、蓋を開き状態や閉じ状態に操作することができるものであり、その操作部が容器本体の横側面部から横側方に突出する状態で設けられているため、アクチュエータ等による機械操作や作業者による人為操作による操作が行い易いものであり、もって、機械操作や人為操作により蓋を開き状態や閉じ状態に容易に切り換え操作することができる基板収納用の収納容器を提供することができるに至った。
【００２１】
本発明にかかる基板収納用の収納容器の第７特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれか１つにおいて、上下方向に沿う移動により前記蓋を開き状態に操作する操作部が、その先端の被操作部分が前記容器本体の横側壁の前面部よりも前方に位置する状態で設けられている点にある。
【００２２】
すなわち、上下方向に沿って移動させることによって、蓋を開き状態や閉じ状態に操作することができる操作部を、その先端の被操作部が容器本体の横側壁の前面部よりも前方に位置する状態で設けているため、アクチュエータ等による機械操作や作業者による人為操作による操作が行い易いものであり、しかも、操作部を容器本体の横幅方向の外方に突出しない又は突出量を抑えた状態で設けることができるので、収納容器全体を横幅方向に小さくすることができるものであり、もって、横幅方向に小さくすることができる基板収納用の収納容器を提供することができるに至った。
【００２３】
本発明にかかる基板収納用の収納容器の第９特徴構成は、第１〜第８特徴構成のいずれか１つにおいて、前記蓋が、前記容器本体に対して着脱自在に装着されている点にある。
【００２４】
すなわち、蓋を、容器本体から取り外すことができるので、洗浄する際には容器本体や蓋を個別に洗浄することができるため、洗浄し易いものであり、もって、洗浄し易い基板収納用の収納容器を提供することができるに至った。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
〔第１実施の形態〕
図２及び図６に示すように、基板処理設備は、矩形状の基板１を処理する複数の基板処理装置３と、前記基板１を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚保持する収納容器２を収納する複数の収納部４を備えた収納棚５と、複数の前記基板処理装置３の夫々に対する基板入出部６に位置する前記収納容器２から基板１を一枚ずつ取り出して前記基板処理装置３に供給し且つ前記基板処理装置３から搬出される基板１を前記基板入出部６に位置する前記収納容器２に収納する基板搬送装置７と、前記収納容器２を前記複数の基板処理装置３の夫々における前記基板入出部６及び前記収納棚５における前記収納部４に搬送する収納容器搬送装置８とが備えられている。
ちなみに、図１に示すように、基板処理設備には、複数の基板収納設備Ａと、処理工程設備Ｂとが装備されており、図２に示すように、基板収納設備Ａの夫々に、収納棚５及び前記収納容器搬送装置８としてのスタッカークレーン１０が備えられ、図６に示すように、処理工程設備Ｂの夫々に、基板処理装置３及び基板搬送装置７が備えられている。
【００２６】
そして、この基板処理設備においては、前記収納容器２を前記収納棚５に保管しながら、保管した前記収納容器２を前記複数の基板処理装置３の夫々における前記基板入出部６に順次搬送することにより、前記基板１を複数の前記基板処理装置３にて順次処理して処理済み基板を製造する基板処理方法が用いられている。
つまり、基板搬送装置７及び収納容器搬送装置８は、図外の制御装置にて作動が制御されており、収納容器搬送装置８にて、収納容器２を複数の基板処理装置３の夫々における基板入出部６に順次搬送し、基板入出部６に搬送される毎に、基板搬送装置７にて、収納容器２から基板１を一枚ずつ取り出して基板処置装置３に供給し、基板処理装置３から搬送される基板１を収納するように、制御装置にて基板搬送装置７及び収納容器搬送装置８の作動を制御される。
また、複数の基板処理装置３においては塗布、露光及び現像等の所定の処理を個別に行うものであるために基板１を処理する処理量に差が生じるものであり、基板入出部６に順次搬送するときにおいて基板１の処理に待ちが生じた場合には、その処理待ちの基板１を収納した収納容器２は一時的に収納棚５に保管させるべく、制御装置にて収納容器搬送装置８の作動が制御される。
【００２７】
前記収納容器搬送装置８として、前記収納棚５に対応して装備される収納棚用の収納容器搬送部であるスタッカークレーン１０と、複数の前記収納棚５の夫々における複数の入出庫部９の間で前記収納容器２を搬送する棚間用の収納容器搬送部である往復走行搬送車１１及び周回走行搬送車１２とが設けられている。
図１に示すように、前記往復走行搬送車１１及び周回走行搬送車１２は、基板収納設備Ａ外で収納容器２を搬送するものであり、往復走行搬送車１１は、隣接する２つの基板収納設備Ａの間で往復走行して２つの基板収納設備Ａの間で収納容器２を搬送するように構成され、周回走行搬送車１２は、多数の基板収納設備Ａに亘って周回走行して、多数の基板収納設備Ａの間で収納容器２を搬送するように構成されている。
また、図２に示すように、スタッカークレーン１０は、基板収納設備Ａ内で収納容器２を搬送するものであり、互いに対向する状態で設けられた一対の収納棚５の間に形成された移動空間に沿って往復走行して、対向する一対の収納棚５における複数の収納部４の間で収納容器２を搬送するように構成されている。
【００２８】
つまり、収納容器搬送装置８にて、搬送元となる収納部４又は基板入出部６から搬送先となる収納部４又は基板入出部６に収納容器２を搬送する場合に、搬送元と搬送先とが異なる基板収納設備Ａである場合は、搬送元の基板収納設備Ａのスタッカークレーン１０、往復走行搬送車１１や周回走行搬送車１２、搬送先の基板収納設備のスタッカークレーン１０の順で順次受け渡すようにして収納容器２は搬送され、搬送元と搬送先とが同じ基板収納設備Ａである場合は、その基板収納設備Ａのスタッカークレーン１０にて収納容器２は搬送される。
【００２９】
図４に示すように、物品処理設備には、クリーン空間１３において浄化空気を天井部より床部に通風させるダウンフロー式の浄化空気通風手段２３が設けられており、そのダウンフローのクリーン空間１３内に、前記複数の基板処理装置３、前記収納棚５、前記基板搬送装置７、及び、前記収納容器搬送装置８が装備されており、前記基板収納設備Ａが周囲を開放する状態で装備されて、基板収納設備Ａの内外に浄化空気が空気流動可能に構成されている。
【００３０】
浄化空気通風手段２３について説明を加えると、図４に示すように、浄化空気通風手段２３は、クリーン空間１３の床部が多孔状のグレーティング床１４にて形成され、クリーン空間１３の天井部がＨＥＰＡフィルタなどからなるエアーフィルタ１５にて形成されるとともに、グレーティング床１４の下方側に形成された吸気室１６とエアーフィルタ１５の上方側に形成されたチャンバー室１７とが通風ファン１８及びプレフィルタ２１を備えた循環路１９にて連通されており、通風ファン１８にて、クリーン空間１３の空気をグレーティング床１４及び吸気室１６を通して循環路１９に吸気されるとともに、その吸気された空気をプレフィルタ２１、チャンバー室１７及びエアーフィルタ１５を通して浄化空気としてクリーン空間１３内に下向きに噴き出すようにして、クリーン空間１３内の空気を、プレフィルタ２１とエアーフィルタ１５とで清浄化させながら循環させて、浄化空気を天井部より床部に通風させるように構成されている。そして、循環路１９には、通風ファン１８より上流側に外気取入流路２０が接続され、通風ファン１８より下流側に排気流路２２が接続されており、浄化空気通風手段２３にて循環されるクリーン空間１３内の空気の一部を外気と交換されている。
【００３１】
図６に示すように、物品処理設備には、前記基板搬送装置７によって前記基板入出部６と前記基板処理装置３との間で前記基板１を搬送する基板搬送エリア２４の清浄度を維持するために浄化空気を通風する搬送エリア用の浄化空気通風手段２５が備えられている。
つまり、処理工程設備Ｂにおける基板搬送エリア２４には、基板搬送装置７による基板搬送作用空間を収納棚５側の端部が開放され且つ基板処理装置３側の端部が基板処理装置３と連通するように覆う区画壁２６が設けられ、この区画壁２６の天井部に搬送エリア用の浄化空気通風手段２５としての複数のエリア用ファンフィルタユニット２７が設けられており、複数のエリア用ファンフィルタユニット２７にて、クリーン空間１３の浄化空気をさらに清浄化させた浄化空気を、基板搬送エリア２４の天井部より床部に通風させて、区画壁２６にて覆われる空間をダウンフローの空間としている。
【００３２】
図２〜図４に示すように、前記収納棚５は、グレーティング床１４上に設けられており、棚横幅方向に間隔を隔てて立設された前後一対の支柱３１と、前後一対の支柱３１に亘って架設されて棚上下方向に間隔を隔てて設けられた載置支持部３２とから構成されている。
そして、収納棚５には、前後一対の支柱３１と左右一対の載置支持部３２とにより形成された前記収納部４が縦横並べられて複数設けられている。各収納部４は、棚横幅方向に隣接するもの同士及び棚上下方向に隣接するもの同士が空気流動可能に連通されている。
また、最下段の収納部４は、グレーティング床１４から上方側に間隔を隔てるように設置されており、その最下段の収納部４の下方には、浄化空気を流動させるための流動用空間が形成されている。
【００３３】
前記収納棚５が備える複数の収納部４のうちの一部が、前記基板入出部６とされ、また、収納棚５が備える収納部４のうちの一部が、前記入出庫部９とされている。
説明を加えると、図５に示すように、収納棚５が備える最下段の複数の収納部４のうちの基板処理装置３に対応する収納部４が基板入出部６とされており、基板搬送装置７にて基板入出部６に位置する収納容器２に対して収納棚５の背面側を通して基板１を一枚ずつ取り出すことや一枚ずつ収納することができるように構成されている。そして、最下段の収納部は上記したようにグレーティング床１４から上方側に間隔を隔てるように設置されているため、基板入出部６は、床部よりも高い位置に設置されている。
また、図７に示すように、収納棚５が備える中段の複数の収納部４のうちの往復走行搬送車１１及び周回走行搬送車１２に対応する収納部４が入出庫部９とされており、往復走行搬送車１１に対応する入出庫部９は、往復走行搬送車１１にて収納棚５の背面側と通して収納容器２を搬出入できるように構成され、且つ、周回走行搬送車１２に対応する入出庫部９は、周回走行搬送車１２にて収納棚５の側面側を通して収納容器２を搬出入できるように構成されている。
【００３４】
図２、図３及び図８に示すように、スタッカークレーン１０は、収納棚５の前方の走行経路に長手方向に沿って設けられた２本の走行レール３４に沿って走行する走行台車３５と、走行台車３５に立設された一対の昇降マスト３６に昇降自在に案内支持される昇降台３７と、昇降台３７に支持されて収納部４と自己との間で収納容器２を移載可能なフォーク式の物品移載装置３８とが備えられており、走行台車３５の水平移動、昇降台３７の昇降移動、および、物品移載装置３８の作動により、収納棚５の前方の移動空間を棚横幅方向に走行自在で、且つ、前記収納容器２を前記基板入出部６、前記入出庫部９、及び、これら以外の前記収納棚５における前記収納部４に搬送するように構成されている。
【００３５】
前記走行台車３５には、２本の走行レール３４の夫々に対して前後２輪、計４輪の走行車輪３９が設けられており、走行車輪３９の夫々を走行用モータ４０にて回転駆動させることにより、走行台車３５が走行経路に沿って走行するように構成されている。
そして、一対の昇降マスト３６は、その上端部同士が上部フレーム４１にて連結されている。
【００３６】
図８に示すように、前記昇降台３７における前後方向の両端部の夫々には、一対の昇降用チェーン４５の一端部が連結されており、その一対の昇降用チェーン４５の一方は、昇降マスト３６の上端部に設けられた案内スプロケット４６に巻き掛けられて他端部がバランスウェイト４７に連結され、一対の昇降用チェーン４５の他方は、昇降マスト３６の下端部に設けられた駆動スプロケット４８に巻き掛けられて他端部がバランスウェイト４７に連結されており、昇降用モータ４９にて駆動スプロケット４８を回転駆動させることにより、昇降台３７を昇降移動させるように構成されている。
【００３７】
図９に示すように、前記物品移載装置３８は、上下軸芯Ｐ１周りに旋回自在な旋回台５０、及び、その旋回台５０上に設けられた載置部５１を出退移動自在に支持するリンク機構５２から構成されている。そして、物品移載装置３８は、旋回台５０の旋回により載置部５１を旋回移動可能で、且つ、リンク機構５２の伸縮により、物品移載装置３８を昇降台３７上に引退させた状態（図５参照）や物品移載装置３８を収納部４側に突出させた状態に切り換え可能に構成されている。尚、物品移載装置３８が、支持した収納容器２を旋回させる旋回手段に相当する。
【００３８】
図３に示すように、基板収納設備Ａには、スタッカークレーン１０の作動を制御する制御手段Ｈが備えられている。
この制御手段Ｈは、収納容器搬送装置８の運転を管理する上位の制御装置からの指令に基づいて、走行用モータ４０、昇降用モータ４９及び物品移載装置３８の作動を制御することにより、複数の収納部４の間で収納容器２を搬送すべく、スタッカークレーン１０の作動を制御するように構成されている。
【００３９】
そして、前記制御手段Ｈは、一対の前記収納棚５のいずれにおいても、前記収納容器２の前記ファンフィルタユニット６４を装備した側を前記移動空間側に位置させ且つ前記収納容器２の前記出入り口７２側を前記移動空間から離れる側に位置させる状態で前記収納容器２を前記収納部４に収納するように前記収納容器搬送装置８の作動を制御するように構成されている。
つまり、制御手段Ｈは、対向する一対の収納棚５の間で収納容器２を搬送する際に、搬送元の収納部４と搬送先の収納部４とが同じ収納棚５である場合では、搬送元の収納部４から収納容器２を取り出し、その収納容器２を物品移載装置３８にて旋回させることなく搬送先の収納部４に収納することによって、搬送元の収納部４と同様に搬送先の収納部４においても、収納容器２のファンフィルタユニット６４を装備した側を移動空間側に位置させ且つ収納容器２の前記出入り口側である蓋６５を装備した側を移動空間から離れる側に位置させる状態で収納容器２を収納部４に収納させ、また、搬送元の収納部４と搬送先の収納部４とが異なる収納棚５である場合では、搬送元の収納部４から収納容器２を取り出し、その収納容器２を物品移載装置３８にて１８０度旋回させた後に搬送先の収納部４に収納することによって、搬送元の収納部４と同様に搬送先の収納部４においても、収納容器２のファンフィルタユニット６４を装備した側を移動空間側に位置させ且つ収納容器２の蓋６５を装備した側を移動空間から離れる側に位置させる状態で収納容器２を収納部４に収納させるべく、スタッカークレーン１０の作動を制御するように構成されている。
【００４０】
図５及び図６に示すように、基板搬送装置７は、基板処理装置３と収納棚５近くとの間で基板１を載置搬送する基板搬送コンベヤ５４と、基板入出部６に位置する収納容器２と基板搬送コンベヤ５４の収納棚側端部との間で基板１を載置搬送する基板搬送ロボット５５とを備えて構成されている。
【００４１】
基板搬送ロボット５５は、収納棚５の背面側を棚横幅方向に沿って移動する移動台車５６と、その移動台車５６に昇降並びに回転自在に支持された昇降部５７と、その昇降部５７にリンク機構５８を介して連結されたフォーク状の支持部５９とを備え、昇降部５７の昇降及び回転とリンク機構５８の伸縮とによって、基板入出部６に位置する収納容器２から基板搬送コンベヤ５４の収納棚側端部に基板１を一枚ずつ搬送し、且つ、基板搬送コンベヤ５４の収納棚側端部の基板１を基板入出部６に位置する収納容器２に一枚ずつ搬送するように構成されている。
【００４２】
図６に示すように、基板搬送コンベヤ５４は、基板１の横幅方向の両端部を回転ローラ６１にて支持して、その回転ローラ６１を回転駆動させることによって基板１を搬送するように構成されており、図５に示すように、基板搬送コンベヤ５４として、基板搬送ロボット５５から受け取った基板１を基板処理装置３に向けて搬送する未処理用の基板搬送コンベヤ５４と、基板処理装置３から搬出された基板１を収納棚５側に向けて搬送する処理済用の基板搬送コンベヤ５４とが備えられている。
【００４３】
図１１及び図１２に示すように、前記収納容器２は、横倒れ姿勢の四角筒状に形成されて、その収納容器２の一端側の開口が前記基板１を出し入れするための出入り口７２とされ、前記収納容器２の他端側の開口から前記出入り口７２に向けて通風するファンフィルタユニット６４が、前記収納容器２における他端側の開口部に装備され、前記収納容器２の前記出入り口７２を開閉する蓋６５が、閉じ状態において一部を開口し、且つ、開き状態において前記基板搬送装置７よる前記基板１の搬送を許容する状態で、前記収納容器２の出入り口部に装備されている。
換言すると、横倒れ姿勢の四角筒状に形成された容器本体６６の一端側の開口が、前記基板１を一枚ずつ出し入れするための出入り口７２として構成され、前記容器本体６６の他端側の開口から前記出入り口７２に向けて通風するファンフィルタユニット６４が、前記容器本体６６における他端側の開口部に装備され、前記容器本体６６における前記出入り口７２を開閉する蓋６５が、閉じ状態において一部を通気口７５として開口し、且つ、開き状態において前記基板搬送装置７による前記基板１の搬送を許容する状態で、前記容器本体６６の出入り口部に装備されている。
【００４４】
図１０に示すように、容器本体６６は、矩形状に形成されて容器本体６６の一端側の開口を形成する一端側矩形枠９３と、同じく矩形状に形成されて容器本体６６の他端側の開口を形成する他端側矩形枠９４と、一端側枠体と他端側枠体と角部において互いに連結する角枠材９５と、容器本体６６の一端側部を除く他端側部、左右横側部、上側部及び下側部において適宜架設された連結枠材９６とで格子状に枠組み形成され、両横側部においては、その両横側部に形成された開口を塞ぐ形態で、矩形枠や枠材と外面側で面一となる状態で備えられた外面部材９７と矩形枠や枠材と内面側で面一となる状態に備えられた内面部材９８とを備え、上側部並びに下側部においては、その上側部並びに下側部に形成された開口を塞ぐ形態で、前記内面部材９８を備えて、図１１に示すように、上壁６６ａ、底壁６６ｂ及び左右の両横側壁６６ｃからなる横倒れ姿勢の四角筒状に形成されている。
そして、一端側矩形枠９３、他端側矩形枠９４及び下側に位置する各枠材９５には、収納棚５の収納部４に収納する際に載置支持される収納用支持部８２が設けられており、一端側矩形枠９３及び他端側矩形枠９４には、スタッカークレーン１０等の収納容器搬送装置８にて搬送する際に載置支持される搬送用支持部８３が設けられている。
【００４５】
図１３及び図１７に示すように、容器本体６６には、左右の両横側壁６６ｃに亘って支持体６７が架設されている。この支持体６７は、１枚の基板１を支持するために前後方向に複数設けられ、且つ、収納容器２に収納する基板１の枚数に対応して上下方向に設定間隔で複数段に設けられている。
【００４６】
そして、図１３に示すように、支持体６７の夫々は、容器本体６６の左右の両横側壁６６ｃにおける連結枠材９６に亘って架設される本体フレーム６９と、これに立設された複数本のピン部材６８とで構成されている。ピン部材６８は、基板搬送ロボット５５にて基板１を収納容器２から出し入れする際に基板搬送ロボット５５の支持部５９と干渉しないように本体フレーム６９における設定位置に立設されており、この複数本のピン部材６８にて基板１を支持することによって、本体フレーム６９とこれにて支持される基板１との間に基板搬送ロボット５５の支持部５９を挿通させるための隙間が形成されている。
【００４７】
図１１に示すように、容器本体６６には、ファンフィルタユニット６４が３つ装備されており、その３つのファンフィルタユニット６４は、容器本体６６における他端側の開口部に連結支持されるＦＦＵ用枠体９０に横幅方向に３つ並べた状態で取り付けられている。
そして、ＦＦＵ用枠体９０には、非接触給電装置７０の受電部７０ａが備えられており、収納部４の夫々において載置支持部３２にて支持される状態で備えられた非接触給電装置７０の給電部７０ｂ（図２参照）から供給された電力により３つのファンフィルタユニット６４が作動するように構成されている。
また、ＦＦＵ用枠体９０には、受電部７０ａに供給された電力を蓄えるバッテリ７１も備えられており、収納容器２をスタッカークレーン１０にて搬送するとき等、受電部７０ａが給電部７０ｂから離れて収納容器２に電力が供給されなくなる状態には、バッテリ７１に蓄えられた電力にて３つのファンフィルタユニット６４が作動するように構成されている。
【００４８】
次に、蓋６５について説明する。
図１６に示すように、前記蓋６５における前記通気口７５は、前記出入り口７２の横幅と略同じ横幅に亘るスリット状に形成され且つ前記容器本体６６に保持される複数枚の前記基板１の夫々に対応させた状態で上下方向に複数形成されている。
そして、図１６（ロ）に示すように、前記蓋６５が、前記基板１の出し入れを許容する開き状態において、前記出入り口７２の横幅と略同じ横幅に亘るスリット状の基板出し入れ用口７６を前記容器本体６６に保持される複数枚の前記基板１に対応する箇所に形成する形態で、且つ、隣接する基板出し入れ用口７６の間を閉じる形態で、前記出入り口７２を開くように構成されている。
前記蓋６５について説明を加えると、図１６に示すように、前記出入り口７２の横幅と略同じ横幅の蓋形成部材７７の複数を、前記閉じ状態において隣接するものの間に前記通気口７５を形成し且つ前記出入り口７２の横幅方向に沿う軸芯周りで回転させた前記開き状態において隣接するものの間に前記基板出し入れ用口７６を開口する形態で、前記出入り口７２を開くように上下方向に並べて構成されている。
【００４９】
複数の蓋形成部材７７の夫々は、横側面視において中空薄板状に形成された板状体にて構成されており、その中心部において横軸芯周りに回転自在に蓋用枠体７８に支持されている。そして、蓋６５は、図１６（イ）に示すように、複数の蓋形成部材７７の夫々を横軸芯周りに回転させて上下方向に沿う姿勢とすることにより、蓋形成部材７７同士の間に形成された比較的小さな開口を通気口７５とする閉じ状態となり、図１６（ロ）に示すように、複数の蓋形成部材７７の夫々を横軸芯周りに回転させて前後方向に沿う姿勢とすることにより、蓋形成部材７７同士の間に形成された比較的大きな開口を基板出し入れ用口７６とする開き状態となるように構成されている。
つまり、図１６（イ）及び図１７（イ）に示すように、蓋６５閉じ状態とした状態では、複数の蓋形成部材７７同士の間に通気口７５が開口しているため、ファンフィルタユニット６４にて、浄化空気を収納容器２の他端側の開口から出入り口７２に向けて通風させて出入り口７２における通気口７５から排出させることができ、その通気口７５は上下方向（通風方向と交差する方向）に沿う姿勢の複数の蓋形成部材７７によって小さく形成されているため、その通気口７５から排出される浄化空気は風速が速くなり、これによって収納容器２の出入り口７２から収納容器２内への外気の侵入を防ぐことができる。
そして、図１６（ロ）及び図１７（ロ）に示すように、蓋６５を開き状態とした状態では、複数の蓋形成部材７７同士の間に通気口７５より大きな基板出し入れ用口７６が開口しているため、浄化空気を基板出し入れ用口７６から基板１を出し入れすることができ、その基板出し入れ用口７６から排出される浄化空気は、閉じ状態程ではないものの前後方向（通風方向）に沿う姿勢の複数の蓋形成部材７７の存在によって風路が狭められて風速が速くなるため、これによって収納容器２の出入り口７２から収納容器２内への外気の侵入を防ぐことができる。
また、複数の蓋形成部材７７における隣接するもの同士の間には、上記の如く、閉じ状態においては通気口７５が形成され、開き状態においては基板出し入れ用口７６が形成されているものであり、蓋６５の開き状態や閉じ状態、並びに、蓋６５をこれらの状態に切り換える際に互いに複数の蓋形成部材７７が互いに接触することがないため、蓋形成部材７７が互いに接触することによる発塵がなく、蓋６５からの塵埃の発生を抑制することができる。
【００５０】
前記蓋６５が前記閉じ状態側に復帰付勢されるように構成され、上方への移動により前記蓋６５を開き状態に操作する操作部としての連結棒８０が、前記容器本体６６の底面部から下方に突出する状態で設けられている。
説明を加えると、図１６（イ）に示すように、リンク部材７９の基端部が、上下方向に沿う姿勢の蓋形成部材７７の夫々に後ろ下方に延設される形態で一体回転するように連結され、このリンク部材７９の夫々の遊端部が上下方向に沿う姿勢の前記連結棒８０に回転自在に連結されており、蓋形成部材７７の夫々が上下方向沿う姿勢となる閉じ状態において、連結棒８０を上昇移動させることによって、蓋形成部材７７の夫々が前後方向に沿う姿勢となる開き状態となり、また、蓋形成部材７７の夫々が前後方向沿う姿勢となる開き状態において、連結棒８０を下降移動させることによって、蓋形成部材７７の夫々が上下方向に沿う姿勢となる閉じ状態となる。
【００５１】
そして、連結棒８０は自重にて下降側に付勢されており、連結棒８０が容器本体６６の底面部から下方に突出している状態では蓋６５は閉じ状態となり、この状態で収納容器２を基板入出部６に載置させるに伴って、基板入出部６の載置支持部３２に備えられた蓋用突起部８１にて連結棒８０が押し上げられることによって、リンク部材７９を介して蓋形成部材７７が回転操作され、蓋形成部材７７の夫々が前後方向に沿う姿勢となって蓋６５が開き状態となる。ちなみに、基板入出部６から収納容器２を持ち上げることによって、連結棒８０が自重によって押し下げられることによって、リンク部材７９を介して蓋形成部材７７が回転操作され、蓋形成部材７７が上下方向に沿う姿勢となって蓋６５が閉じ状態となる。尚、連結棒８０の下降移動は、図外の規制部材にて連結棒８０の下端部が容器本体６６の底面部から下方に突出する状態で規制されている。
【００５２】
基板入出部６の蓋用突起部８１のような連結棒８０を押し上げ操作するような部分は、基板入出部６以外の収納部４、並びに、スタッカークレーン１０等の収納容器搬送装置８には備えられておらず、基板入出部６に位置させた場合以外では、連結棒８０は押し上げ操作されることがないようにして、基板入出部６以外の収納部４にて収納させている際やスタッカークレーン１０等にて搬送する際は収納容器２の蓋６５が閉じ状態を維持するように構成されている。
つまり、基板処理設備においては、前記収納棚５に保管するとき及び前記収納容器搬送装置８にて搬送するときには、前記収納容器２の前記蓋６５を閉じ状態として前記ファンフィルタユニット６４にて通風することにより、前記基板１の清浄度が維持され、且つ、前記基板入出部６において前記基板搬送装置７にて前記基板１を搬送するときには、前記収納容器２の前記蓋６５を開き状態として前記ファンフィルタユニット６４にて通風すること並びに前記搬送エリア用の浄化空気通風手段２５によって前記基板搬送エリア２４の清浄度が維持されることにより、前記基板１の清浄度が維持する基板処理方法が用いられている。
【００５３】
そして、収納容器２は、蓋６５を開き状態としたときに３つのファンフィルタユニット６４の通風量を増大させるべく３つのファンフィルタユニット６４の作動を制御する制御部１０９を備えて構成されている。
つまり、図１１及び図１８に示すように、ＦＦＵ用枠体９０には、収納容器２を基板入出部６に載置するに伴って基板入出部６の載置支持部３２に備えられたＦＦＵ用突起部１０６にて押し上げられて上昇移動し、且つ、収納容器２が基板入出部６から持ち上げられることによって自重により下降移動する昇降移動可能な検出片１０７と、検出片１０７の昇降移動を検出してその検出情報を前記制御部１０９に向けて送信するリミットスイッチにて構成された検出スイッチ１０８と、検出スイッチ１０８からの検出情報に基づいてファンフィルタユニット６４の作動を制御する前記制御部１０９とが備えられており、制御部１０９は、検出片１０７が上昇移動した状態では、ファンフィルタユニット６４の通風量を増大させ、検出片１０７が下降移動した状態では、ファンフィルタユニット６４の通風量を減少させるべく、検出スイッチ１０８の検出情報に基づいてファンフィルタユニット６４の作動を制御するように構成されている。
そして、ＦＦＵ用突起部１０６は、蓋用突起部８１と同様に、基板入出部６以外の収納部４、並びに、スタッカークレーン１０等の収納容器搬装置８には備えられていない。
従って、収納容器２を基板入出部６に位置させて蓋６５が開き状態となった状態では、ファンフィルタユニット６４の通風量は増大し、収納容器２を基板入出部６以外に位置させて蓋６５が閉じ状態となった状態では、ファンフィルタユニット６４の通風量が減少する。
ちなみに、蓋６５が開き状態に切り換えられる前の時点で、ファンフィルタユニット６４の通風量が増大し、蓋が閉じ状態に切り換えられた後の時点で、ファンフィルタユニットの通風量が減少するようにして、蓋６５を開き状態に切り換えられる際や閉じ状態に切り換えられる際の蓋６５から発生する塵埃によって収納容器２内の基板１が汚染されることを防止することが好ましく、このような蓋６５の開き状態や閉じ状態への切り換えとファンフィルタユニット６４の通風量の増減の関係は、蓋用突起部８１及びＦＦＵ用突起部１０６の高さを調節することにより可能である。
【００５４】
図１１に示すように、前記ファンフィルタユニット６４並びに前記蓋６５が、前記容器本体６６に対して着脱自在に装着されており、収納容器２からファンフィルタユニット６４と蓋６５とを取り外して収納容器２を容易に洗浄できるように構成されている。
つまり、図１４に示すように、蓋用枠体７８の上端部には、容器本体６６における一端側矩形枠９３の上部に上方から係合する蓋用係合部材９９が設けられ、また、一端側矩形枠９３の下端部には、蓋用枠体７８を載置支持する状態で蓋用枠体７８の下端部に形成された被係合溝７８ａに係合する蓋用係合支持板１００が設けられており、蓋用係合部材９９を一端側矩形枠９３の上部に対して係脱し、且つ、蓋用係合支持板１００を蓋用枠体７８の被係合溝７８ａに対して係脱することにより、蓋６５を容器本体６６に対して着脱することができるように構成されている。
また、図１５に示すように、ＦＦＵ用枠体９０の上端部には、容器本体６６における他端側矩形枠９４の上部に上方から係合するＦＦＵ用係合部材８８が設けられ、また、他端側矩形枠９４の下端部には、ＦＦＵ用枠体９０を載置支持する状態でＦＦＵ用枠体９０の下端部に形成された被係合溝９０ａに係合するＦＦＵ用係合支持板８９が設けられており、ＦＦＵ用係合部材８８を他端側矩形枠９４の上部に対して係脱し、且つ、ＦＦＵ用係合支持板８９をＦＦＵ用枠体９０の被係合溝９０ａに対して係脱することにより、ファンフィルタユニット１０を給電部７０ｂやバッテリ７１とともに容器本体６６に対して着脱することができるように構成されている。
【００５５】
そして、図２に示すように、収納棚５が備える最下段の複数の収納部４のうちの一部が、収納棚５の背面側と通して手押し台車８５にて収納容器２を出し入れすることができる手押し台車用の入出庫部９とされており、手押し台車８５にて手押し台車用の入出庫部９から収納容器２を取り出した後、収納容器２からファンフィルタユニット６４と蓋６５とを取り外して、容器洗浄装置８６にて容器本体６６を洗浄することができるように構成されている。ちなみに、手押し台車用の入出庫部９の背面側には、その入出庫部９の背面側を閉じるシャッター８４が設けられており、前記制御手段Ｈは、シャッター８４が開き操作されている状態では、手押し台車用の入出庫部９に対するスタッカークレーン１０による収納容器２の搬送が行われないようにスタッカークレーン１０の作動を制御するように構成されている。
【００５６】
〔第２実施の形態〕
この第２実施の形態は、第１実施の形態において、基板入出部６における収納容器２を支持する構造及び収納容器２の蓋６５の開閉する構造を変更したものである。以下、基板入出部６における収納容器２を支持する構造及び収納容器２の蓋６５の開閉する構造の第２実施の形態について説明するが、第１実施の形態と同様に構成されるものについては、第１実施の形態と同じ符号を付け、説明は省略する。
【００５７】
まず、基板入出部６における収納容器２を支持する構造について説明する。
図２３及び図２４に示すように、基板入出部６における物品支持部３２には、基板入出部６に載置される収納容器２が適正位置から水平方向に位置ずれしている場合にその収納容器２を適正位置に移動させるセンタリング装置１１１が備えられている。
【００５８】
そして、センタリング装置１１１は、収納容器２を支持するとともに収納容器２における横側面を押し操作する支持操作機構１１２を複数備えて構成されており、支持する収納容器２が適正位置から水平方向にずれている場合に、位置ずれする側に存在する支持操作機構１１２にて収納容器２の横側面を押し操作することによって、収納容器２を適正位置に移動させるように構成されている。
【００５９】
図２４に示すように、複数の支持操作機構１１２の夫々は、物品支持部３２上に設置された基台１１３に揺動体１１４が揺動自在に支持され、その揺動体１１４に、収納容器２を載置支持する容器支持用ローラ１１５と、収納容器２の側面を押し操作する押し操作用ローラ１１６と、揺動体１１４の揺動を規制する揺動規制用ローラ１１７とを備えて構成されている。
【００６０】
各支持操作機構１１２について説明を加えると、揺動体１１４は、横辺部分と横辺部分が位置する側とは反対側に膨出形成させた縦辺部分とを備えて側面視形状をＬ字状に形成されており、揺動体１１４における横辺部分の基端部が基台１１３に揺動自在に支持されている。また、揺動体１１４の横辺部分の先端部に容器支持用ローラ１１５が回転自在に支持され、揺動体１１４の縦辺部分の先端部に押し操作用ローラ１１６が回転自在に支持されており、揺動体１１４の縦辺部分から膨出形成された部分の頂部に揺動規制用ローラ１１７が支持されている。
【００６１】
各支持操作機構１１２は、揺動規制用ローラ１１７が基台１１３に接当することにより揺動体１１４の待機姿勢から支持姿勢とは反対側への揺動が規制（図２４（イ）参照）され、また、容器支持用ローラ１１５が基台１１３に接当することにより揺動体１１４の支持姿勢から待機姿勢とは反対側への揺動が規制（図２４（ロ）参照）されており、揺動体１１４が待機姿勢と支持姿勢との間で揺動姿勢変更するように構成されている。
【００６２】
また、各支持操作機構１１２は、揺動体１１４が押し操作用ローラ１１６、揺動規制用ローラ１１７等にて待機姿勢側に付勢されており、収納容器２を支持していない状態では揺動体１１４が待機姿勢となり、収納容器２が容器支持用ローラ１１５上に載置されると収納容器２の重みによって揺動体１１４が待機姿勢から支持姿勢に姿勢変更されるように構成されており、揺動体１１４が待機姿勢から支持姿勢に姿勢変更されるに伴って押し操作用ローラ１１６が収納容器２側に移動して、操作用ローラ１１６にて収納容器２の横側面を押し操作するように構成されている。
ちなみに、複数の支持操作機構１１２として、平面視で矩形状に形成された収納容器２における下面部の４辺に対応して各辺に２つ、計８つ備えられている。
【００６３】
次に、収納容器２の蓋６５の開閉する構造について説明する。
図２３に示すように、前記容器本体６６の横側面部の面方向に沿う移動により前記蓋６５を開き状態に操作する操作部１２１が、前記容器本体６６の横側面部から横側方に突出する状態で設けられている。
【００６４】
説明を加えると、図２５に示すように、複数の蓋形成部材７７のうちの一つの蓋形成部材７７は、両端部が容器本体６６の横側面部から横側方に突出する操作用回転軸７７ａを備えて構成されており、操作用回転軸７７ａにおける容器本体６６の横側面部から横側方に突出する両端部夫々には、操作レバー１２３が上下方向に沿う姿勢の蓋形成部材７７に前上方に延設される形態で一体回転するように連結されており、これら操作用回転軸７７ａと操作レバー１２３とで操作部１２１が構成されている。
そして、リンク部材７９の基端側が、上下方向に沿う姿勢の蓋形成部材７７の夫々に前下方に延設される形態で一体回転するように連結され、リンク部材７９の夫々の遊端部が、上下方向に沿う姿勢の棒状体１２２に回転自在に連結されて、複数の蓋形成部材７７が連動して回転するように構成されている。蓋形成部材７７の夫々が上下方向に沿う姿勢となる閉じ状態において、操作レバー１２３を後方に揺動操作することによって、蓋形成部材７７の夫々が前後方向に沿う姿勢となって蓋６５が開き状態となり、また、蓋形成部材７７の夫々が前後方向に沿う姿勢となる開き状態において、操作レバー１２３を前方に揺動操作することによって、蓋形成部材７７の夫々が上下方向に沿う姿勢となって蓋６５が閉じ状態となる。
【００６５】
操作レバー１２３は、蓋６５が閉じ状態となる閉じ姿勢と蓋６５が開き状態となる開き姿勢との範囲で揺動操作自在であり、棒状体１２２が下方の規制部材１２４に接当することにより閉じ姿勢から開き姿勢とは反対側への揺動が規制され、また、棒状体１２２が上方の規制部材１２４に接当することにより開き姿勢から閉じ姿勢とは反対側への揺動が規制されている。ちなみに、操作レバー１２３は、棒状体１２２の自重にて閉じ姿勢側に付勢されている。
【００６６】
図２３及び図２６に示すように、基板入出部６の左右両側に位置する支柱３１の一方には、操作レバー１２３を前後方向に操作する蓋操作手段１２５が備えられている。この蓋操作手段１２５は、左右一対の操作レバー１２３に対して一方側の操作レバー１２３に対応して少なくとも設けられており、一対の操作レバー１２３のうちの一方を操作して蓋６５を開き状態や閉じ状態に切り換え操作するように構成されている。ちなみに、本実施の形態では基板入出部６の左右両側に位置する支柱３１の他方には蓋操作手段１２５は備えられておらず、一対の操作レバー１２３のうちの他方は、作業者が手作業で蓋６５を開き状態や閉じ状態に切り換え操作する際に用いられるものである。
【００６７】
そして、蓋操作手段１２５は、前後方向に沿ってスライド移動する移動体１２６ａを備えた電動シリンダ１２６と、移動体１２６ａに立設された操作用部材１２７とで構成されており、電動シリンダ１２６にて操作用部材１２７を後方側に移動させることによって、操作レバー１２３の被操作部分１２３ａを操作用部材１２７にて押し操作して操作レバー１２３を後方側に揺動操作させた開き姿勢とし、電動シリンダ１２６にて操作用部材１２７を前方側に移動させることによって、操作レバー１２３は付勢により前方側に揺動操作されて閉じ姿勢となるように構成されている。
【００６８】
また、蓋操作手段１２５は、電動シリンダ１２６にて操作用部材１２７を後方側に移動させた状態では、物品移載装置３８にて収納容器２を基板入出部６に搬入する際の収納容器２の前方側への移動により蓋６５を開き状態に切り換え、物品移載装置３８にて収納容器２を基板入出部６から搬出する際の収納容器２の後方側への移動により蓋６５を閉じ状態に切り換えるように構成されている。
説明を加えると、蓋操作手段１２５における操作用部材１２７は正面視でＬ字状に形成されて、この操作用部材１２７の上下方向に沿う縦辺部分は、図２７（ロ）及び図２８（ロ）に示すように、物品移載装置３８にて収納容器２が前後方向に移載されるときに閉じ姿勢の操作レバー１２３の被操作部分１２３ａが位置する高さから、収納容器２が物品支持部３２に載置支持されているときに閉じ姿勢の操作レバー１２３の被操作部分１２３ａが位置する高さに亘って位置するように、上下方向に長く形成されている。
そして、蓋操作手段１２５は、上述の如く操作用部材１２７の縦辺部分を上下方向に長く形成することによって、物品移載装置３８にて前後方向に移載される収納容器２に対して操作用部材１２７を前後方側へ移動させることにより収納容器２の蓋６５を開き状態や閉じ状態に切り換え操作できるように構成されている。
また、収納容器２を基板入出部６に搬出入する際に蓋操作手段１２５の誤動作により操作用部材１２７が後方側に移動させられていたとしても、物品移載装置３８による収納容器２の移動を利用して操作用部材１２７にて蓋６５を開き状態に切り換え操作することができるように構成されている。
【００６９】
図２７〜図２９に示すように、基板処理設備には、基板入出部６の収納容器２の存否を検出する容器存否センサ１２９と、基板入出部６の下方の物品移載装置３８の存否を検出する装置存否センサ１３０と、蓋６５を開閉操作する前記蓋操作手段１２５と、容器存否センサ１２９と装置存否センサ１３０との検出結果に基づいて、収納容器２が物品移載装置３８にて物品支持部３２に載置された後に、蓋６５を開き操作するように蓋操作手段１２５の作動を制御し、かつ、物品移載装置３８にて収納容器２が物品支持部３２から掬われる前に、蓋６５を閉じ操作するように蓋操作手段１２５の作動の制御をする開閉制御手段１３２とが備えられている。
【００７０】
容器存否センサ１２９と装置存否センサ１３０との夫々は光電センサにて構成されており、容器存否センサ１２９として、基板入出部６の前部に備えられた前部側の容器存否センサ１２９ａと、基板入出部６の後部に備えられた後部側の容器存否センサ１２９ｂとが備えられている。
【００７１】
図２７及び図２８に示すように、前部側の容器存否センサ１２９ａは、上方向に投光する投光部を基板入出部６の前部下方に備え、投光部から投光されて収納容器２にて反射された光を受光する受光部を基板入出部６の前部下方に備えて、測距式のセンサに構成されており、この前部側の容器存否センサ１２９ａが、収納容器２が物品支持部３２に載置支持される又は収納容器２が物品支持部３２近くまで下降移動されて、収納容器２との距離が設定距離より短い距離を検出する状態（収納容器が物品支持部に載置支持されている状態又はその近くに位置する状態であり、以下、検出状態と称する）となると、開閉制御手段１３２は基板入出部６内に収納容器２が存在していると判別するように構成されている。
【００７２】
後部側の容器存否センサ１２９ｂは、反射板を基板入出部６の横一側方に備え、水平方向に投光する投光部とこの投光部から投光されて反射板にて反射された光を受光する受光部を基板入出部６の横他側方に備えて構成されており、この後部側の容器存否センサ１２９ｂが、投光する光が収納容器２にて遮断されて検出状態となると、開閉制御手段１３２は物品支持部３２上に収納容器２が存在していると判別するように構成されている。
【００７３】
装置存否センサ１３０は、反射板を基板入出部６の横一側方に備え、水平方向に投光する投光部とこの投光部から投光されて反射板にて反射された光を受光する受光部を基板入出部６の横他側方に備えて構成されており、この装置存否センサ１３０が、投光する光が物品移載装置３８にて遮断されて検出状態となると、物品支持部３２の下方に物品移載装置３８が存在していると判別するように構成されている。
【００７４】
つまり、基板入出部６に収納容器２を搬入する場合は、物品支持部３２よりも上方に位置し且つ収納容器２を載置した物品移載装置３８を基板入出部６側に突出させ、収納容器２を支持する物品支持部３２よりも下方に物品移載装置３８を下降移動させて物品支持部３２に収納容器２を載置させた後、収納容器２を載置しない空の物品移載装置３８をスタッカークレーン１０側に引退させることとなるが、収納容器２を載置した物品移載装置３８が基板入出部６側に突出されると、後部側の容器存否センサ１２９ｂが収納容器２を検出する検出状態となり、収納容器２を支持する物品支持部３２よりも下方に物品移載装置３８を下降移動させると、前部側の容器存否センサ１２９ａが収納容器２を検出する検出状態となった後に、装置存否センサ１３０が物品移載装置３８を検出する検出状態となる。このように、前部側と後部側との両方の容器存否センサ１２９が検出状態となった後、装置存否センサ１３０が検出状態となると、開閉制御手段１３２は、収納容器２が基板入出部６に搬入されたと判別して、蓋６５を開き操作すべく蓋操作手段１２５の作動を制御する。
そして、収納容器２を載置しない物品移載装置３８がスタッカークレーン１０側に引退されると、装置存否センサ１３０が物品移載装置３８を検出しない非検出状態となる。
【００７５】
また、基板入出部６から収納容器２を搬出する場合は、物品支持部３２よりも下方に位置し且つ収納容器２を載置しない空の物品移載装置３８を基板入出部６側に突出させ、物品支持部３２よりも上方に物品移載装置３８を上昇移動させて収納容器２を掬い取った後、収納容器２を載置する物品移載装置３８をスタッカークレーン１０側に引退させることとなるが、物品支持部３２よりも下方に位置する物品移載装置３８を基板入出部６側に突出させると、装置存否センサ１３０が物品移載装置３８を検出する検出状態となり、開閉制御手段１３２は、収納容器２が基板入出部６から搬出されると判別して、蓋６５を閉じ操作すべく蓋開閉手段１２５の作動を制御する。
そして、物品支持部３２よりも上方に物品移載装置３８を上昇移動させると、装置存否センサ１３０が物品移載装置３８を検出しない非検出状態となった後、前部側の容器存否センサ１２９ａが収納容器２を検出しない非検出状態となり、収納容器２を載置した物品移載装置３８をスタッカークレーン１０側に引退させると、後部側の容器存否センサ１２９ｂが収納容器２を検出しない非検出状態となる。
【００７６】
〔別実施の形態〕
（１） 上記実施の形態では、複数の蓋形成部材７７の夫々を、横側面視にて板状に形成した板状体にて構成したが、複数の蓋形成部材７７の夫々を、横側面視で板状に形成された蓋部材本体と、この蓋部材本体に立設された補助蓋部分とを備えて構成してもよい。
つまり、図１９及び図２０に示すように、複数の蓋形成部材７７の夫々を、横側面視で板状に形成された蓋部材本体１０１が前後方向に沿う姿勢においてその上面に補助蓋部分１０２を垂直に立設する形態で、蓋部材本体１０１と補助蓋部材１０２とを一体形成して、横側面視でＴ字状に形成してもよい。この場合では、図２０（ロ）に示すように、蓋形成部材７７における補助蓋部分１０２を、閉じ状態において、その蓋形成部材７７の蓋部分本体１０１と上方側に隣接する蓋形成部材７７の蓋部分本体１０１との間に形成される開口が、基板１を出し入れするための空間と基板搬送ロボット５５における支持部５９を挿抜するための空間を除いて補助蓋部分１０２にて閉口するように、支持部５９の挿抜に対応する部分は基板１の出し入れが可能で且つ支持部５９の挿抜が可能なように背が低く、支持部５９の挿抜に対応しない部分は基板１の出し入れのみが可能なように背が高くなるように、正面視で凸凹形状に形成してもよい。
また、複数の蓋形成部材７７の夫々を、横側面視で板状に形成された蓋部材本体１０１が前後方向に沿う姿勢においてその上面と下面とに補助蓋部分１０２を垂直に立設する形態で、蓋部材本体１０１と補助蓋部材１０２とを一体形成して、横側面視で十字状に形成してもよい。
【００７７】
（２） 上記実施の形態では、複数の蓋形成部材７７の夫々を、横側面視にて板状に形成した板状体にて構成したが、複数の蓋形成部材の夫々を、横側面視で板状に形成された蓋本体部材と、この蓋部材本体とは別体の蓋補助部分とを備えて構成してもよい。
つまり、図２１及び図２２に示すように、複数の蓋形成部材７７の夫々を、蓋用枠体７８に上端部に位置する横軸心周りに回転自在に支持された蓋本体部材１０３と、蓋用枠体７８に固定状体で支持された蓋補助部材１０４とを備えて構成してもよい。この場合では、図２１に示すように、蓋形成部材７７における蓋補助部材１０４を、隣接する基板出し入れ用口７２の間を閉じるように隣接する基板出し入れ用口７２の間に位置させ、且つ、図２２（ロ）に示すように、開き状態において、その蓋補助部材１０４と上方側に隣接する蓋補助部材１０４との間に形成される開口が、基板１を出し入れするための空間と基板搬送ロボット５５における支持部５９を挿抜するための空間を除いて閉口するように、支持部５９の挿抜に対応する部分は基板１の出し入れが可能で且つ支持部５９の挿抜が可能なように背が低く、支持部５９の挿抜に対応しない部分は基板１の出し入れのみが可能なように背が高くなるように、正面視で凸凹形状に形成し、蓋形成部材７７における蓋本体部分１０３を、その上端部が上方側に隣接する蓋形成部材７７における蓋補助部材１０４の下端部と重複し、閉じ状態において、下端部が蓋補助部材１０４の背の高い部分と重複し且つ背の低い部分と重複しない長さに形成してもよい。
ちなみに、上記実施の形態において、複数の蓋形成部材７７の夫々を、上端部又は下端部に位置する横軸心周りに回転自在に蓋用枠体７８に支持するように構成してもよい。
また、複数の蓋形成部材７７の夫々を、上下方向にスライド移動自在に支持された蓋本体部材と、固定状体で支持された蓋補助部材とを備えて構成してもよい。この場合では、例えば、蓋本体部材と蓋補助部材とを前後方向に重複させた開き状態では、蓋本体部材と蓋補助部材とで上記した蓋補助部材１０４のように正面視で凸凹形状を形成し、蓋本体部材と蓋補助部材とが重複する範囲が狭くなるように蓋本体部材をスライド移動させることで閉じ状態となるように構成してもよい。
【００７８】
（３） 上記実施の形態では、収納容器２に保持される基板１の枚数と同数の基板出し入れ用口７６を形成したが、収納容器２に保持される基板１の枚数より少ない基板出し入れ用口７６を形成してもよく、例えば、２枚の基板２に対して１つの蓋形成部材７７を備えさせて、１つの基板出し入れ口７６にて２枚の基板２を出し入れするように構成してもよく、また、蓋６５を開き状態から容器本体６６の上方側等にシャッターを摺動させることで開き状態に切り替えられるシャッター構成とする又は一枚の扉を備える等により、開き状態において１つの基板出し入れ用口７２を形成するようにして、この１つの基板出し入れ用口７２にてすべての基板１を出し入れするように構成してもよい。ちなみに、蓋６５を上記したように１枚の扉を備えて構成した場合は、扉を端部を中心に揺動操作する又は着脱することによって、閉じ状態と開き状態とに切り換えるように構成することが考えられる。
また、上記実施の形態では、通気口７５を、出入り口７２の横幅と略同じ横幅に亘るスリット状に形成したが、通気口７５を、上下方向に長いスリット状に形成してもよく、また、スリット状以外に、円形等の他の形状に形成してもよい。
【００７９】
（４） 上記第１実施の形態では、操作部８０を容器本体６６の底面部から下方に突出する状態で設けたが、操作部８０を容器本体６６の底面部から下方に突出しない状態で設けてもよい。この場合、例えば、上記実施の形態において、突起部８１の高さを高くする等により、操作部８０を押し上げ操作することができる。
また、基板入出部６に、操作部８０を押し上げ操作するための突起部８１を備えたが、基板入出部６に、操作部８０を押し上げ操作するための突起部８１を備えなくてもよい。
つまり、操作部８０を容器本体６６の底面部から下方に大きく突出する状態では、蓋形成部材７７の夫々が上下方向に沿う姿勢となり、操作部８０を容器本体６６の底面部から下方に殆ど突出しない又は全く突出しない状態では、蓋形成部材７７の夫々が前後方向に沿う姿勢となるように、操作部８０と複数の蓋形成部材７７とを連動させ、収納容器６６を基板入出部６における平坦な載置面に載置させることによって、その載置面にて操作部８０が押し上げられるように構成してもよい。
また、上記第１実施の形態では、操作部８０を上下方向に移動させることにより蓋６５が開き状態と閉じ状態とに切り換えられるように構成したが、操作部８０を横幅方向又は前後方向に移動させることにより蓋６５が開き状態と閉じ状態とに切り換えられるように構成してもよい。
【００８０】
（５） 上記第１実施の形態では、基板入出部６において収納容器２を収納容器搬送装置８にて上下に移動させることによって、操作部８０が操作されて蓋６５が開き状態と閉じ状態とに切り換えられるように構成したが、基板入出部６又は収納容器２に操作部８０を操作する操作手段を備え、収納容器２を載置箇所に載置させた後に操作手段にて操作部８０を操作することによって、蓋６５を開き状態と閉じ状態とに切り換えるように構成してもよい。
また、上記第１実施の形態では、蓋６５の閉じ状態側への復帰付勢は自重により付勢されるように構成したが、蓋６５の閉じ状態側への復帰付勢をバネ等の付勢手段により付勢されるように構成してもよく、また、蓋６５を閉じ状態側へ復帰付勢されないように構成して、上記した操作手段の操作によって、蓋６５を閉じ状態に切り換えるように構成してもよい。
【００８１】
（６） 上記第１実施の形態では、操作部８０と複数の蓋形成部材７７とをリンク部材７９にて連動させたが、操作部８０と複数の蓋形成部材７０とをラックとピニオンとで連動させるようにしてもよい。
つまり、操作部８０にラックを形成し、蓋形成部材７７の夫々にラックに噛合させるピニオンを備えさせて、操作部８０の昇降移動に伴ってラックに噛合するピニオンが回転操作されて、蓋形成部材７７の夫々が前後方向に沿う姿勢や上下方向に沿う姿勢に切り換えられるように構成してもよい。
【００８２】
（７） 上記実施の形態では、ファンフィルタユニット６４並びに蓋６５が、容器本体６６に対して着脱自在に装着されているが、ファンフィルタユニット６４並びに蓋６５の一方又は両方を、容器本体６６に対して着脱不能に装着してもよい。
【００８３】
（８） 上記実施の形態では、基板入出部６において基板搬送装置７にて基板１を搬送するときは、収納容器２のファンフィルタユニット６４の通風量を増大させるようにしたが、基板入出部６において、基板搬送装置７にて基板１を搬送するときにおいてもファンフィルタユニット６４の通風量を増大させないようにしてもよい。
つまり、収納棚５に保管するとき、収納容器搬送装置８にて搬送するとき、及び、基板入出部６において基板搬送装置７にて基板１を搬送するときにおいて、収納容器２のファンフィルタユニット６４の通風量を一定に維持するようにしてもよい。
また、収納容器搬送装置８にて搬送するときは、収納棚５に保管するときより収納容器２のファンフィルタユニット６４の通風量を増大させ、基板入出部６において基板搬送装置７にて基板搬送するときは、収納容器搬送装置８にて搬送するときよりファンフィルタユニット６４の通風量を増大させるというように、収納棚５に保管するときと、収納容器搬送装置８にて搬送するときと、基板入出部６において基板搬送装置７にて基板搬送するときとで、収納容器２のファンフィルタユニット６４の通風量を変更するようにしてもよい。つまり、収納容器搬送装置８にて搬送するときにおいても、収納容器２のファンフィルタユニット６４の通風量を増大させるようにしてもよい。ちなみに、収納容器搬送装置８にて搬送するときの通風量は、基板入出部６において基板搬送装置７にて基板搬送するときと同じでもよく、また、多くてもよい。
【００８４】
（９） 上記実施の形態では、収納棚５をクリーン空間１３の床部（グレーティング床１４）上に設けたが、床部より低い吸気室１６の底部上に設けてもよい。
【００８５】
（１０） 上記実施の形態では、クリーン空間１３の天井部をエアーフィルタにて形成したが、クリーン空間１３の天井部を天井部用のファンフィルタユニットにて形成してもよい。
【００８６】
（１１） 上記実施の形態では、容器本体６６の両横側部を、外面部材９８と内面部材９９とを備えて２重構造としたが、内面部材のみを備えて、上側部や下側部と同様に１重構造としてもよい。
【００８７】
（１２） 上記第１実施の形態では、リンク部材７９の基端部を、上下方向に沿う姿勢の蓋形成部材７７の夫々に後ろ下方に延設される形態で一体回転するように連結して、リンク部材７９の夫々の遊端部が回転自在に連結される連結棒８０が、蓋形成部材７７の回転軸芯より後方側（容器本体側）に位置するようにしたが、リンク部材７９の基端部を、上下方向に沿う姿勢の蓋形成部材７７の夫々に前下方に延設される形態で一体回転するように連結して、リンク部材７９の夫々の遊端部が回転自在に連結される連結棒８０が、蓋形成部材７７の回転軸芯より前方側（容器本体が存在する側とは反対側）に位置するようにしてもよい。
【００８８】
（１３） 上記第１実施の形態では、基板入出部６において収納容器２を収納容器搬送装置８にて上下に移動させることによって、操作部８０が操作されて蓋６５が開き状態と閉じ状態とに切り換えられるように構成したが、蓋６５に操作部８０を操作する電動モータ等の駆動手段を備え、駆動手段にて操作部８０を操作することによって、蓋６５を開き状態と閉じ状態とに切り換えるように構成してもよい。
【００８９】
（１４） 上記実施の形態では、複数の蓋形成部材７７の全てを一体的に回転操作するように構成したが、蓋６５を開き状態とした状態において、一部の蓋形成部材７７を前後方向に沿う姿勢とし、残りの蓋形成部材７７を上下方向に沿う姿勢として、開き状態においても、上下方向に沿う姿勢の蓋形成部材７７を存在させておいて、排出される浄化空気の風速をより速くすることができるように、複数の蓋形成部材７７を個別に又は複数枚のグループ単位で回転操作するように構成してもよい。
つまり、例えば、複数の蓋形成部材７７を複数枚のグループ単位で回転操作するように構成した場合では、複数の蓋形成部材７７における上半分の蓋形成部材７７には、横幅方向一方側端部にリンク部材７９を介して一方側の連結棒８０を連結し、複数の蓋形成部材７７における下半分の蓋形成部材７７には、横幅方向他方側端部にリンク部材７９を介して他方側の連結棒８０を連結して、一方側の連結棒８０の操作により上半分の蓋形成部材７７を前後方向に沿う姿勢として収納容器２の上半分で基板１の出し入れを行い、他方側の連結棒８０の操作により下半分の蓋形成部材７７を前後方向に沿う姿勢として収納容器２の下半分で基板１の出し入れを行うように構成してもよい。
【００９０】
（１５） 上記実施の形態では、ＦＦＵ用突起部１０６による検出片１０７の昇降移動に基づいてファンフィルタユニット６４の通風量を変更するように構成したが、蓋用突起部８１による連結棒８０の昇降移動に基づいてファンフィルタユニット６４の通風量を変更するように構成してもよい。
つまり、蓋用枠体７８に、連結棒８０の昇降移動を検出してその検出信号を制御部１０９に向けて送信する検出手段を備え、制御部１０９を、蓋６５が開き状態となる連結棒８０が上昇移動した状態では、ファンフィルタユニット６４の通風量を増大させ、蓋６５が閉じ状態となる連結棒８０が下降移動した状態では、ファンフィルタユニット６４の通風量を減少させるべく、検出手段の検出情報に基づいてファンフィルタユニット６４の作動を制御するように構成してもよい。
ちなみに、検出手段から制御部１０９への検出情報の送信は、蓋用枠体７８側及びＦＦＵ用枠体９０側と分離可能に接続したケーブルを容器本体６６に設けて有線で行ってもよく、また、蓋用枠体７８に送信機を設け、ＦＦＵ用枠体９０に受信機を設けて無線で行ってもよい。
【００９１】
（１６） 上記第２実施の形態では、操作部１２１を、容器本体６６の横側面部の面方向に沿う移動により蓋６５を開き操作するように構成したが、操作部１２１を、容器本体６６の横側面部と交差する方向の移動により蓋６５を開き操作するように構成してもよい。
【００９２】
上記第２実施の形態では、操作部１２１を、容器本体６６の横側面部から横側方に突出する状態で設けたが、操作部１２１を、容器本体６６の横側壁６６の前面部から前方に突出する状態で設けてもよく、また、上記第２実施の形態では、操作部１２１を、その先端の被操作部分１２３ａが容器本体６６の横側壁６６ｃの前面部よりも後方に位置する状態で設けたが、操作部１２１を、その先端の被操作部分１２３ａを容器本体６６の横側壁６６ｃの前面部よりも前方に位置する状態で設けてもよい。これらの場合、操作部１２１を、上下方向に沿う移動により蓋６５を開き操作するように構成してもよい。
つまり、操作部１２１を、容器本体６６の横側面部から横側方に突出する状態で設け且つ操作部１２１の先端の被操作部分１２３ａを容器本体６６の横側壁６６ｃの前面部よりも前方に位置する状態で設けてもよく、具体的には、例えば、図３２に示すように、操作用回転軸７７ａにおける容器本体６６の横側面部から横側方に突出する端部に、蓋形成部材７７が上下方向沿う姿勢において前方側に延設される形態で操作レバー１２３を連結して、操作レバー１２３を、被操作部分１２３ａが容器本体６６の横側壁６６ｃの前面部よりも前方に位置する状態で設ける。そして、図３１に示すように、蓋操作手段１２５を、上下方向に沿ってスライド移動する移動体１２６ａを備えた電動シリンダ１２６と、移動体１２６ａの上端部に備えられた操作用部材１２７とで構成し、図３１（ロ）に示すように、電動シリンダ１２６にて操作用部材１２７を上方側に移動させることによって、操作レバー１２３の被操作部分１２３ａを操作用部材１２７にて上方に押し上げて、操作レバー１２３を上方側に揺動させた開き姿勢とし、図３１（イ）に示すように、電動シリンダ１２６にて操作用部材１２７を下方側に移動させることによって、被操作部分１２３ａが自重によって下方側に移動して、操作レバー１２３を下方側に揺動させた閉じ姿勢とするように構成してもよい。
また、操作部１２１を、容器本体６６の横側壁６６ｃの前面部から前方に突出する状態で設け且つ操作部１２１の先端の被操作部分１２３ａを容器本体６６の横側壁６６ｃの前面部よりも前方に位置する状態で設けてもよく、具体的には、例えば、図３３に示すように、操作用回転軸７７ａを容器本体６６の横側面部から横側方に突出しないように設けて、その操作用回転軸７７ａに蓋形成部材７７が上下方向沿う姿勢において前方側に延設される形態で操作レバー１２３を連結して、操作レバー１２３の先端の被操作部分１２３ａが容器本体６６の横側壁６６ｃの前側面部よりも前方に位置する状態で設ける。そして、図３１（ロ）に示すように、電動シリンダ１２６にて操作用部材１２７を上方側に移動させることによって、操作レバー１２３を上方側に揺動させた開き姿勢とし、図３１（イ）に示すように、電動シリンダ１２６にて操作用部材１２７を下方側に移動させることによって、操作レバー１２３を下方側に揺動させた閉じ姿勢とするように構成するように構成してもよい。
ちなみに、これらの別実施の形態において、図３１に示すように、操作レバー１２３は閉じ姿勢において前下方に屈曲するく字状に形成してあり、図３２及び図３３に示すように、操作部１２１は被操作部分１２３ａが蓋６５の通気口７５の横側方に位置するように設けられている。
【００９３】
また、上記第２実施の形態では、操作部１２１を操作すべく別途蓋操作手段１２５を備えたが、既設のセンタリング装置１１１等の装置を利用して操作部１２１を操作するように構成して、別途蓋操作手段１２５を備えることなく操作部１２１を操作するように構成してもよい。
つまり、例えば、図３０に示すように、容器本体６６の前側面部と交差する方向の移動により蓋６５を開き操作する操作部１２１を、容器本体６６の横側壁６６ｃの前面部から前方に突出する状態で設け、既設のセンタリング装置１１１における収納容器２の側面を押し操作する部材（押し操作用ローラ１１６）にて、蓋６５を開き操作すべく操作部１２１を押し操作して、前側面部の面方向と交差する方向の移動により蓋６５を開き操作するように構成してもよい。
また、作業者の手動操作のみで操作部１２１を操作するように構成してもよい。ちなみに、各実施の形態において、蓋６５を容器本体６６に装着している状態では蓋６５の蓋用枠体７８も容器本体６６の一部であり、容器本体６６の横側壁６６ｃの前面部とは蓋６５の蓋用枠体７８の縦枠部分の前面部である。
【００９４】
（１７） 上記第１実施の形態において、物品支持部３２にセンタリング装置１１１を備えてもよく、また、上記第２実施の形態において、物品支持部３２にセンタリング１１１装置を備えなくてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】第１実施の形態における物品処理設備の斜視図
【図２】第１実施の形態における基板収納設備の正面図
【図３】第１実施の形態における基板収納設備の側面図
【図４】第１実施の形態における浄化空気通風手段を示す図
【図５】第１実施の形態における物品収納棚における一段目の収納部を示す図
【図６】第１実施の形態における基板搬送エリアを示す側面図
【図７】第１実施の形態における物品収納棚における三段目の収納部を示す図
【図８】第１実施の形態におけるスタッカークレーンの側面図
【図９】第１実施の形態における物品移載装置の平面図
【図１０】第１実施の形態における容器本体の分解斜視図
【図１１】第１実施の形態における収納容器の分解斜視図
【図１２】第１実施の形態における収納容器の斜視図
【図１３】第１実施の形態における収納容器の縦断正面図
【図１４】第１実施の形態における蓋の着脱を示す側面図
【図１５】第１実施の形態におけるファンフィルタユニットの着脱を示す側面図
【図１６】第１実施の形態における蓋の閉じ状態と開き状態とを示す側面図
【図１７】第１実施の形態における蓋の閉じ状態と開き状態とを示す側面図
【図１８】第１実施の形態におけるファンフィルタユニットの制御部を示す側面図
【図１９】別実施の形態（１）における蓋の閉じ状態と開き状態とを示す側面図
【図２０】別実施の形態（１）における蓋の閉じ状態と開き状態とを示す正面図
【図２１】別実施の形態（２）における蓋の閉じ状態と開き状態とを示す側面図
【図２２】別実施の形態（２）における蓋の閉じ状態と開き状態とを示す正面図
【図２３】第２実施の形態におけるセンタリング装置及び蓋操作手段を示す正面図
【図２４】第２実施の形態における支持操作機構を示す側面図
【図２５】第２実施の形態における蓋の縦断側面図
【図２６】第２実施の形態における蓋操作手段を示す平面図
【図２７】第２実施の形態における収納容器の搬出入時の作用図
【図２８】第２実施の形態における収納容器の搬出入時の作用図
【図２９】第２実施の形態における制御ブロック図
【図３０】別実施の形態（１６）における支持操作機構を示す側面図
【図３１】別実施の形態（１６）における蓋の縦断側面図
【図３２】別実施の形態（１６）における蓋操作手段を示す横断平面図
【図３３】別実施の形態（１６）における蓋操作手段を示す横断平面図
【符号の説明】
【００９６】
１ 基板
２ 収納容器
６４ ファンフィルタユニット
６５ 蓋
６６ 容器本体
７２ 出入り口
７５ 通気口
７７ 蓋形成部材
８０ 操作部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚保持する基板収納用の収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる基板収納用の収納容器は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイに使用されるガラス基板等の基板を収納する際に用いられるものである。
そして、このような基板収納用の収納容器において、従来では、横倒れ姿勢の四角筒状に形成された容器本体の一端側の開口を、基板を一枚ずつ出し入れするための出入り口として構成され、容器本体の他端側の開口から出入り口に向けて通風するファンフィルタユニットを、容器本体における他端側の開口部に装備しているものがあった（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−３０８１６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記した基板収納用の収納容器では、ファンフィルタユニットにより、浄化空気を収納容器の他端側の開口から出入り口に向けて通風させて出入り口から排出することによって、収納容器内に存在する塵埃が基板に付着することを防止するとともに、収納容器搬送装置の作動等によって収納容器の周囲の気流が乱れたとしても収納容器内に外気が進入することを防止して、収納容器内の基板の清浄度を維持しているものである。
しかしながら、基板の清浄度を維持するための収納容器内の風速は、収納容器内に存在する塵埃が基板に付着するのを防止することができる程度に比較的遅くてもよいものの、出入り口からの外気の逆流を防止するためには収納容器から排出されるときの風速を比較的速くする必要があり、ファンフィルタユニットの通風量としては、収納容器から排出されるときの風速を比較的速くするために多くする必要があるため、ファンフィルタユニットのランニングコストが高くなってしまうものであった。
【０００５】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、ファンフィルタユニットのランニングコストを抑えることができる基板収納用の収納容器を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この目的を達成するために、本発明にかかる基板収納用の収納容器の第１特徴構成は、基板を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚保持する基板収納用の収納容器において、
横倒れ姿勢の四角筒状に形成された容器本体の一端側の開口が、前記基板を一枚ずつ出し入れするための出入り口として構成され、前記容器本体の他端側の開口から前記出入り口に向けて通風するファンフィルタユニットが、前記容器本体における他端側の開口部に装備され、前記容器本体における前記出入り口を開閉する蓋が、閉じ状態において一部を通気口として開口する状態で、前記容器本体の出入り口部に装備されている点にある。
【０００７】
すなわち、収納容器の出入り口を開閉する蓋が、閉じ状態において一部を開口する状態で、収納容器の出入り口部に装備されており、収納容器の蓋を閉じ状態としたとしても出入り口の一部が開口しているので、蓋を閉じ状態とした状態においても、ファンフィルタユニットにて、浄化空気を収納容器の他端側の開口から出入り口に向けて通風させて出入り口から排出させることにより、収納容器内に存在する塵埃が基板に付着することを防止するとともに収納容器内に外気が進入することを防止して、収納容器内の基板の清浄度を維持することができる。
【０００８】
そして、蓋を閉じ状態とした状態では、ファンフィルタユニットにて、浄化空気を収納容器の他端側の開口から出入り口に向けて通風させて出入り口における一部の開口から排出させるため、出入り口においては蓋により風路が狭められるために排出される浄化空気の風速が速くなるものであり、ファンフィルタユニットの通風量を比較的少なくしたとしても、排出される浄化空気の風速が速く、収納容器の出入り口から収納容器内への外気の進入を防ぐことができる。
従って、蓋を閉じ状態とした状態では、ファンフィルタユニットの通風量を比較的少なくしたとしても基板の清浄度を維持することができるため、ファンフィルタユニットの通風量を少なくしてファンフィルタユニットのランニングコストを抑えることができ、もって、ファンフィルタユニットのランニングコストを抑えることができる基板収納用の収納容器を提供することができるに至った。
【０００９】
本発明にかかる基板収納用の収納容器の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記通気口が、前記出入り口の横幅と略同じ横幅に亘るスリット状に形成され且つ上下方向に複数形成されている点にある。
【００１０】
すなわち、出入り口の横幅と略同じ横幅に亘るスリット状に形成された通気口を、上下方向に複数形成することにより、容器本体内を通風した浄化空気は、複数の通気口から上下方向並びに横幅方向に広範囲に分散する形態で排出されるため、清浄空気が流れ難くなる箇所が生じ難くなり、浄化空気の風速が遅いことによる塵埃の基板への付着を抑制することができるので、基板が汚染され難いものとなり、もって、基板が汚染され難い基板収納用の収納容器を提供することができるに至った。
【００１１】
本発明にかかる基板収納用の収納容器の第３特徴構成は、第２特徴構成において、前記通気口が、前記容器本体に保持される複数枚の前記基板の夫々に対応させた状態で上下方向に複数形成するように構成されている点にある。
【００１２】
すなわち、通気口が、容器本体に保持される複数枚の基板の夫々に対応させた状態で上下方向に複数形成されていることにより、収納容器内を通風する清浄空気は、収納された基板に沿って通風して通気口から排出され易く、基板の周囲において清浄空気が流れ難くなる箇所が生じ難くなるため、浄化空気の風速が遅いことによる塵埃の基板への付着を抑制することができるので、基板がより汚染され難いものとなり、もって、基板がより汚染され難い基板収納用の収納容器を提供することができるに至った。
【００１３】
本発明にかかる基板収納用の収納容器の第４特徴構成は、第１〜第３特徴構成のいずれか１つにおいて、前記蓋が、前記基板の出し入れを許容する開き状態において、隣接する基板出し入れ用口の間を閉じる形態で、前記出入り口を開くように構成されている点にある。
【００１４】
すなわち、基板の出し入れを許容する開き状態では、基板出し入れ用口から基板を出し入れすることができるものでありながら、隣接する基板出し入れ用口の間が蓋にて閉じられているため、開き状態においても、出入り口においては蓋により風路が狭められて排出される浄化空気の風速が速くなるので、開き状態並びに閉じ状態のいずれの状態においても、ファンフィルタユニットの通風量を比較的少なくしたとしても、排出される浄化空気の風速が速く、収納容器の出入り口から収納容器内への外気の進入を防ぐことができるものとなり、もって、よりファンフィルタユニットのランニングコストを抑えることができる基板収納用の収納容器を提供することができるに至った。
【００１５】
本発明にかかる基板収納用の収納容器の第５特徴構成は、第４特徴構成において、前記蓋が、前記出入り口の横幅と略同じ横幅の蓋形成部材の複数を、前記閉じ状態において隣接するものの間に前記通気口を形成し且つ前記出入り口の横幅方向に沿う軸芯周りで回転させた前記開き状態において隣接するものの間に前記基板出し入れ用口を開口する形態で、上下方向に並べて構成されている点にある。
【００１６】
すなわち、蓋が、出入り口の横幅と略同じ横幅の複数の蓋形成部材を備えて構成されており、開き状態から複数の蓋形成部材の夫々を回転操作するだけで、複数枚の基板に対応して出入り口の横幅と略同じ横幅に亘る基板出し入れ用口を形成した閉じ状態に切り換えることができ、蓋の構成の簡素化を図ることができるものとなり、もって、蓋の構成の簡素化を図ることができる基板収納用の収納容器を提供することができるに至った。
【００１７】
本発明にかかる基板収納用の収納容器の第６特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれか１つにおいて、前記蓋が前記閉じ状態側に復帰付勢されるように構成され、上方への移動により前記蓋を開き状態に操作する操作部が、前記容器本体の底面部から下方に突出する状態で設けられている点にある。
【００１８】
すなわち、操作部を上方へ移動させることによって蓋を開き状態に操作することができるものであり、その操作部が容器本体の底面部から下方に突出する状態で設けられているため、設定箇所に収納容器を載置させることによって、操作部が上方に移動させられて蓋が開き状態に切り換えられ、設定箇所から収納容器を持ち上げることによって、復帰付勢によって蓋が閉じ状態に切り換えられることとなり、別途、蓋を開閉操作するための操作機構が必要なく、蓋を開き状態と閉じ状態とに容易に切り換え操作することができ、もって、蓋を開き状態と閉じ状態とに容易に切り換え操作することができる基板収納用の収納容器を提供することができるに至った。
【００１９】
本発明にかかる基板収納用の収納容器の第７特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれか１つにおいて、前記容器本体の横側面部の面方向に沿う移動により前記蓋を開き状態に操作する操作部が、前記容器本体の横側面部から横側方に突出する状態で設けられている点にある。
【００２０】
すなわち、操作部を容器本体の横側面部の面方向に沿う移動させることによって、蓋を開き状態や閉じ状態に操作することができるものであり、その操作部が容器本体の横側面部から横側方に突出する状態で設けられているため、アクチュエータ等による機械操作や作業者による人為操作による操作が行い易いものであり、もって、機械操作や人為操作により蓋を開き状態や閉じ状態に容易に切り換え操作することができる基板収納用の収納容器を提供することができるに至った。
【００２１】
本発明にかかる基板収納用の収納容器の第７特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれか１つにおいて、上下方向に沿う移動により前記蓋を開き状態に操作する操作部が、その先端の被操作部分が前記容器本体の横側壁の前面部よりも前方に位置する状態で設けられている点にある。
【００２２】
すなわち、上下方向に沿って移動させることによって、蓋を開き状態や閉じ状態に操作することができる操作部を、その先端の被操作部が容器本体の横側壁の前面部よりも前方に位置する状態で設けているため、アクチュエータ等による機械操作や作業者による人為操作による操作が行い易いものであり、しかも、操作部を容器本体の横幅方向の外方に突出しない又は突出量を抑えた状態で設けることができるので、収納容器全体を横幅方向に小さくすることができるものであり、もって、横幅方向に小さくすることができる基板収納用の収納容器を提供することができるに至った。
【００２３】
本発明にかかる基板収納用の収納容器の第９特徴構成は、第１〜第８特徴構成のいずれか１つにおいて、前記蓋が、前記容器本体に対して着脱自在に装着されている点にある。
【００２４】
すなわち、蓋を、容器本体から取り外すことができるので、洗浄する際には容器本体や蓋を個別に洗浄することができるため、洗浄し易いものであり、もって、洗浄し易い基板収納用の収納容器を提供することができるに至った。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
〔第１実施の形態〕
図２及び図６に示すように、基板処理設備は、矩形状の基板１を処理する複数の基板処理装置３と、前記基板１を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚保持する収納容器２を収納する複数の収納部４を備えた収納棚５と、複数の前記基板処理装置３の夫々に対する基板入出部６に位置する前記収納容器２から基板１を一枚ずつ取り出して前記基板処理装置３に供給し且つ前記基板処理装置３から搬出される基板１を前記基板入出部６に位置する前記収納容器２に収納する基板搬送装置７と、前記収納容器２を前記複数の基板処理装置３の夫々における前記基板入出部６及び前記収納棚５における前記収納部４に搬送する収納容器搬送装置８とが備えられている。
ちなみに、図１に示すように、基板処理設備には、複数の基板収納設備Ａと、処理工程設備Ｂとが装備されており、図２に示すように、基板収納設備Ａの夫々に、収納棚５及び前記収納容器搬送装置８としてのスタッカークレーン１０が備えられ、図６に示すように、処理工程設備Ｂの夫々に、基板処理装置３及び基板搬送装置７が備えられている。
【００２６】
そして、この基板処理設備においては、前記収納容器２を前記収納棚５に保管しながら、保管した前記収納容器２を前記複数の基板処理装置３の夫々における前記基板入出部６に順次搬送することにより、前記基板１を複数の前記基板処理装置３にて順次処理して処理済み基板を製造する基板処理方法が用いられている。
つまり、基板搬送装置７及び収納容器搬送装置８は、図外の制御装置にて作動が制御されており、収納容器搬送装置８にて、収納容器２を複数の基板処理装置３の夫々における基板入出部６に順次搬送し、基板入出部６に搬送される毎に、基板搬送装置７にて、収納容器２から基板１を一枚ずつ取り出して基板処置装置３に供給し、基板処理装置３から搬送される基板１を収納するように、制御装置にて基板搬送装置７及び収納容器搬送装置８の作動を制御される。
また、複数の基板処理装置３においては塗布、露光及び現像等の所定の処理を個別に行うものであるために基板１を処理する処理量に差が生じるものであり、基板入出部６に順次搬送するときにおいて基板１の処理に待ちが生じた場合には、その処理待ちの基板１を収納した収納容器２は一時的に収納棚５に保管させるべく、制御装置にて収納容器搬送装置８の作動が制御される。
【００２７】
前記収納容器搬送装置８として、前記収納棚５に対応して装備される収納棚用の収納容器搬送部であるスタッカークレーン１０と、複数の前記収納棚５の夫々における複数の入出庫部９の間で前記収納容器２を搬送する棚間用の収納容器搬送部である往復走行搬送車１１及び周回走行搬送車１２とが設けられている。
図１に示すように、前記往復走行搬送車１１及び周回走行搬送車１２は、基板収納設備Ａ外で収納容器２を搬送するものであり、往復走行搬送車１１は、隣接する２つの基板収納設備Ａの間で往復走行して２つの基板収納設備Ａの間で収納容器２を搬送するように構成され、周回走行搬送車１２は、多数の基板収納設備Ａに亘って周回走行して、多数の基板収納設備Ａの間で収納容器２を搬送するように構成されている。
また、図２に示すように、スタッカークレーン１０は、基板収納設備Ａ内で収納容器２を搬送するものであり、互いに対向する状態で設けられた一対の収納棚５の間に形成された移動空間に沿って往復走行して、対向する一対の収納棚５における複数の収納部４の間で収納容器２を搬送するように構成されている。
【００２８】
つまり、収納容器搬送装置８にて、搬送元となる収納部４又は基板入出部６から搬送先となる収納部４又は基板入出部６に収納容器２を搬送する場合に、搬送元と搬送先とが異なる基板収納設備Ａである場合は、搬送元の基板収納設備Ａのスタッカークレーン１０、往復走行搬送車１１や周回走行搬送車１２、搬送先の基板収納設備のスタッカークレーン１０の順で順次受け渡すようにして収納容器２は搬送され、搬送元と搬送先とが同じ基板収納設備Ａである場合は、その基板収納設備Ａのスタッカークレーン１０にて収納容器２は搬送される。
【００２９】
図４に示すように、物品処理設備には、クリーン空間１３において浄化空気を天井部より床部に通風させるダウンフロー式の浄化空気通風手段２３が設けられており、そのダウンフローのクリーン空間１３内に、前記複数の基板処理装置３、前記収納棚５、前記基板搬送装置７、及び、前記収納容器搬送装置８が装備されており、前記基板収納設備Ａが周囲を開放する状態で装備されて、基板収納設備Ａの内外に浄化空気が空気流動可能に構成されている。
【００３０】
浄化空気通風手段２３について説明を加えると、図４に示すように、浄化空気通風手段２３は、クリーン空間１３の床部が多孔状のグレーティング床１４にて形成され、クリーン空間１３の天井部がＨＥＰＡフィルタなどからなるエアーフィルタ１５にて形成されるとともに、グレーティング床１４の下方側に形成された吸気室１６とエアーフィルタ１５の上方側に形成されたチャンバー室１７とが通風ファン１８及びプレフィルタ２１を備えた循環路１９にて連通されており、通風ファン１８にて、クリーン空間１３の空気をグレーティング床１４及び吸気室１６を通して循環路１９に吸気されるとともに、その吸気された空気をプレフィルタ２１、チャンバー室１７及びエアーフィルタ１５を通して浄化空気としてクリーン空間１３内に下向きに噴き出すようにして、クリーン空間１３内の空気を、プレフィルタ２１とエアーフィルタ１５とで清浄化させながら循環させて、浄化空気を天井部より床部に通風させるように構成されている。そして、循環路１９には、通風ファン１８より上流側に外気取入流路２０が接続され、通風ファン１８より下流側に排気流路２２が接続されており、浄化空気通風手段２３にて循環されるクリーン空間１３内の空気の一部を外気と交換されている。
【００３１】
図６に示すように、物品処理設備には、前記基板搬送装置７によって前記基板入出部６と前記基板処理装置３との間で前記基板１を搬送する基板搬送エリア２４の清浄度を維持するために浄化空気を通風する搬送エリア用の浄化空気通風手段２５が備えられている。
つまり、処理工程設備Ｂにおける基板搬送エリア２４には、基板搬送装置７による基板搬送作用空間を収納棚５側の端部が開放され且つ基板処理装置３側の端部が基板処理装置３と連通するように覆う区画壁２６が設けられ、この区画壁２６の天井部に搬送エリア用の浄化空気通風手段２５としての複数のエリア用ファンフィルタユニット２７が設けられており、複数のエリア用ファンフィルタユニット２７にて、クリーン空間１３の浄化空気をさらに清浄化させた浄化空気を、基板搬送エリア２４の天井部より床部に通風させて、区画壁２６にて覆われる空間をダウンフローの空間としている。
【００３２】
図２〜図４に示すように、前記収納棚５は、グレーティング床１４上に設けられており、棚横幅方向に間隔を隔てて立設された前後一対の支柱３１と、前後一対の支柱３１に亘って架設されて棚上下方向に間隔を隔てて設けられた載置支持部３２とから構成されている。
そして、収納棚５には、前後一対の支柱３１と左右一対の載置支持部３２とにより形成された前記収納部４が縦横並べられて複数設けられている。各収納部４は、棚横幅方向に隣接するもの同士及び棚上下方向に隣接するもの同士が空気流動可能に連通されている。
また、最下段の収納部４は、グレーティング床１４から上方側に間隔を隔てるように設置されており、その最下段の収納部４の下方には、浄化空気を流動させるための流動用空間が形成されている。
【００３３】
前記収納棚５が備える複数の収納部４のうちの一部が、前記基板入出部６とされ、また、収納棚５が備える収納部４のうちの一部が、前記入出庫部９とされている。
説明を加えると、図５に示すように、収納棚５が備える最下段の複数の収納部４のうちの基板処理装置３に対応する収納部４が基板入出部６とされており、基板搬送装置７にて基板入出部６に位置する収納容器２に対して収納棚５の背面側を通して基板１を一枚ずつ取り出すことや一枚ずつ収納することができるように構成されている。そして、最下段の収納部は上記したようにグレーティング床１４から上方側に間隔を隔てるように設置されているため、基板入出部６は、床部よりも高い位置に設置されている。
また、図７に示すように、収納棚５が備える中段の複数の収納部４のうちの往復走行搬送車１１及び周回走行搬送車１２に対応する収納部４が入出庫部９とされており、往復走行搬送車１１に対応する入出庫部９は、往復走行搬送車１１にて収納棚５の背面側と通して収納容器２を搬出入できるように構成され、且つ、周回走行搬送車１２に対応する入出庫部９は、周回走行搬送車１２にて収納棚５の側面側を通して収納容器２を搬出入できるように構成されている。
【００３４】
図２、図３及び図８に示すように、スタッカークレーン１０は、収納棚５の前方の走行経路に長手方向に沿って設けられた２本の走行レール３４に沿って走行する走行台車３５と、走行台車３５に立設された一対の昇降マスト３６に昇降自在に案内支持される昇降台３７と、昇降台３７に支持されて収納部４と自己との間で収納容器２を移載可能なフォーク式の物品移載装置３８とが備えられており、走行台車３５の水平移動、昇降台３７の昇降移動、および、物品移載装置３８の作動により、収納棚５の前方の移動空間を棚横幅方向に走行自在で、且つ、前記収納容器２を前記基板入出部６、前記入出庫部９、及び、これら以外の前記収納棚５における前記収納部４に搬送するように構成されている。
【００３５】
前記走行台車３５には、２本の走行レール３４の夫々に対して前後２輪、計４輪の走行車輪３９が設けられており、走行車輪３９の夫々を走行用モータ４０にて回転駆動させることにより、走行台車３５が走行経路に沿って走行するように構成されている。
そして、一対の昇降マスト３６は、その上端部同士が上部フレーム４１にて連結されている。
【００３６】
図８に示すように、前記昇降台３７における前後方向の両端部の夫々には、一対の昇降用チェーン４５の一端部が連結されており、その一対の昇降用チェーン４５の一方は、昇降マスト３６の上端部に設けられた案内スプロケット４６に巻き掛けられて他端部がバランスウェイト４７に連結され、一対の昇降用チェーン４５の他方は、昇降マスト３６の下端部に設けられた駆動スプロケット４８に巻き掛けられて他端部がバランスウェイト４７に連結されており、昇降用モータ４９にて駆動スプロケット４８を回転駆動させることにより、昇降台３７を昇降移動させるように構成されている。
【００３７】
図９に示すように、前記物品移載装置３８は、上下軸芯Ｐ１周りに旋回自在な旋回台５０、及び、その旋回台５０上に設けられた載置部５１を出退移動自在に支持するリンク機構５２から構成されている。そして、物品移載装置３８は、旋回台５０の旋回により載置部５１を旋回移動可能で、且つ、リンク機構５２の伸縮により、物品移載装置３８を昇降台３７上に引退させた状態（図５参照）や物品移載装置３８を収納部４側に突出させた状態に切り換え可能に構成されている。尚、物品移載装置３８が、支持した収納容器２を旋回させる旋回手段に相当する。
【００３８】
図３に示すように、基板収納設備Ａには、スタッカークレーン１０の作動を制御する制御手段Ｈが備えられている。
この制御手段Ｈは、収納容器搬送装置８の運転を管理する上位の制御装置からの指令に基づいて、走行用モータ４０、昇降用モータ４９及び物品移載装置３８の作動を制御することにより、複数の収納部４の間で収納容器２を搬送すべく、スタッカークレーン１０の作動を制御するように構成されている。
【００３９】
そして、前記制御手段Ｈは、一対の前記収納棚５のいずれにおいても、前記収納容器２の前記ファンフィルタユニット６４を装備した側を前記移動空間側に位置させ且つ前記収納容器２の前記出入り口７２側を前記移動空間から離れる側に位置させる状態で前記収納容器２を前記収納部４に収納するように前記収納容器搬送装置８の作動を制御するように構成されている。
つまり、制御手段Ｈは、対向する一対の収納棚５の間で収納容器２を搬送する際に、搬送元の収納部４と搬送先の収納部４とが同じ収納棚５である場合では、搬送元の収納部４から収納容器２を取り出し、その収納容器２を物品移載装置３８にて旋回させることなく搬送先の収納部４に収納することによって、搬送元の収納部４と同様に搬送先の収納部４においても、収納容器２のファンフィルタユニット６４を装備した側を移動空間側に位置させ且つ収納容器２の前記出入り口側である蓋６５を装備した側を移動空間から離れる側に位置させる状態で収納容器２を収納部４に収納させ、また、搬送元の収納部４と搬送先の収納部４とが異なる収納棚５である場合では、搬送元の収納部４から収納容器２を取り出し、その収納容器２を物品移載装置３８にて１８０度旋回させた後に搬送先の収納部４に収納することによって、搬送元の収納部４と同様に搬送先の収納部４においても、収納容器２のファンフィルタユニット６４を装備した側を移動空間側に位置させ且つ収納容器２の蓋６５を装備した側を移動空間から離れる側に位置させる状態で収納容器２を収納部４に収納させるべく、スタッカークレーン１０の作動を制御するように構成されている。
【００４０】
図５及び図６に示すように、基板搬送装置７は、基板処理装置３と収納棚５近くとの間で基板１を載置搬送する基板搬送コンベヤ５４と、基板入出部６に位置する収納容器２と基板搬送コンベヤ５４の収納棚側端部との間で基板１を載置搬送する基板搬送ロボット５５とを備えて構成されている。
【００４１】
基板搬送ロボット５５は、収納棚５の背面側を棚横幅方向に沿って移動する移動台車５６と、その移動台車５６に昇降並びに回転自在に支持された昇降部５７と、その昇降部５７にリンク機構５８を介して連結されたフォーク状の支持部５９とを備え、昇降部５７の昇降及び回転とリンク機構５８の伸縮とによって、基板入出部６に位置する収納容器２から基板搬送コンベヤ５４の収納棚側端部に基板１を一枚ずつ搬送し、且つ、基板搬送コンベヤ５４の収納棚側端部の基板１を基板入出部６に位置する収納容器２に一枚ずつ搬送するように構成されている。
【００４２】
図６に示すように、基板搬送コンベヤ５４は、基板１の横幅方向の両端部を回転ローラ６１にて支持して、その回転ローラ６１を回転駆動させることによって基板１を搬送するように構成されており、図５に示すように、基板搬送コンベヤ５４として、基板搬送ロボット５５から受け取った基板１を基板処理装置３に向けて搬送する未処理用の基板搬送コンベヤ５４と、基板処理装置３から搬出された基板１を収納棚５側に向けて搬送する処理済用の基板搬送コンベヤ５４とが備えられている。
【００４３】
図１１及び図１２に示すように、前記収納容器２は、横倒れ姿勢の四角筒状に形成されて、その収納容器２の一端側の開口が前記基板１を出し入れするための出入り口７２とされ、前記収納容器２の他端側の開口から前記出入り口７２に向けて通風するファンフィルタユニット６４が、前記収納容器２における他端側の開口部に装備され、前記収納容器２の前記出入り口７２を開閉する蓋６５が、閉じ状態において一部を開口し、且つ、開き状態において前記基板搬送装置７よる前記基板１の搬送を許容する状態で、前記収納容器２の出入り口部に装備されている。
換言すると、横倒れ姿勢の四角筒状に形成された容器本体６６の一端側の開口が、前記基板１を一枚ずつ出し入れするための出入り口７２として構成され、前記容器本体６６の他端側の開口から前記出入り口７２に向けて通風するファンフィルタユニット６４が、前記容器本体６６における他端側の開口部に装備され、前記容器本体６６における前記出入り口７２を開閉する蓋６５が、閉じ状態において一部を通気口７５として開口し、且つ、開き状態において前記基板搬送装置７による前記基板１の搬送を許容する状態で、前記容器本体６６の出入り口部に装備されている。
【００４４】
図１０に示すように、容器本体６６は、矩形状に形成されて容器本体６６の一端側の開口を形成する一端側矩形枠９３と、同じく矩形状に形成されて容器本体６６の他端側の開口を形成する他端側矩形枠９４と、一端側枠体と他端側枠体と角部において互いに連結する角枠材９５と、容器本体６６の一端側部を除く他端側部、左右横側部、上側部及び下側部において適宜架設された連結枠材９６とで格子状に枠組み形成され、両横側部においては、その両横側部に形成された開口を塞ぐ形態で、矩形枠や枠材と外面側で面一となる状態で備えられた外面部材９７と矩形枠や枠材と内面側で面一となる状態に備えられた内面部材９８とを備え、上側部並びに下側部においては、その上側部並びに下側部に形成された開口を塞ぐ形態で、前記内面部材９８を備えて、図１１に示すように、上壁６６ａ、底壁６６ｂ及び左右の両横側壁６６ｃからなる横倒れ姿勢の四角筒状に形成されている。
そして、一端側矩形枠９３、他端側矩形枠９４及び下側に位置する各枠材９５には、収納棚５の収納部４に収納する際に載置支持される収納用支持部８２が設けられており、一端側矩形枠９３及び他端側矩形枠９４には、スタッカークレーン１０等の収納容器搬送装置８にて搬送する際に載置支持される搬送用支持部８３が設けられている。
【００４５】
図１３及び図１７に示すように、容器本体６６には、左右の両横側壁６６ｃに亘って支持体６７が架設されている。この支持体６７は、１枚の基板１を支持するために前後方向に複数設けられ、且つ、収納容器２に収納する基板１の枚数に対応して上下方向に設定間隔で複数段に設けられている。
【００４６】
そして、図１３に示すように、支持体６７の夫々は、容器本体６６の左右の両横側壁６６ｃにおける連結枠材９６に亘って架設される本体フレーム６９と、これに立設された複数本のピン部材６８とで構成されている。ピン部材６８は、基板搬送ロボット５５にて基板１を収納容器２から出し入れする際に基板搬送ロボット５５の支持部５９と干渉しないように本体フレーム６９における設定位置に立設されており、この複数本のピン部材６８にて基板１を支持することによって、本体フレーム６９とこれにて支持される基板１との間に基板搬送ロボット５５の支持部５９を挿通させるための隙間が形成されている。
【００４７】
図１１に示すように、容器本体６６には、ファンフィルタユニット６４が３つ装備されており、その３つのファンフィルタユニット６４は、容器本体６６における他端側の開口部に連結支持されるＦＦＵ用枠体９０に横幅方向に３つ並べた状態で取り付けられている。
そして、ＦＦＵ用枠体９０には、非接触給電装置７０の受電部７０ａが備えられており、収納部４の夫々において載置支持部３２にて支持される状態で備えられた非接触給電装置７０の給電部７０ｂ（図２参照）から供給された電力により３つのファンフィルタユニット６４が作動するように構成されている。
また、ＦＦＵ用枠体９０には、受電部７０ａに供給された電力を蓄えるバッテリ７１も備えられており、収納容器２をスタッカークレーン１０にて搬送するとき等、受電部７０ａが給電部７０ｂから離れて収納容器２に電力が供給されなくなる状態には、バッテリ７１に蓄えられた電力にて３つのファンフィルタユニット６４が作動するように構成されている。
【００４８】
次に、蓋６５について説明する。
図１６に示すように、前記蓋６５における前記通気口７５は、前記出入り口７２の横幅と略同じ横幅に亘るスリット状に形成され且つ前記容器本体６６に保持される複数枚の前記基板１の夫々に対応させた状態で上下方向に複数形成されている。
そして、図１６（ロ）に示すように、前記蓋６５が、前記基板１の出し入れを許容する開き状態において、前記出入り口７２の横幅と略同じ横幅に亘るスリット状の基板出し入れ用口７６を前記容器本体６６に保持される複数枚の前記基板１に対応する箇所に形成する形態で、且つ、隣接する基板出し入れ用口７６の間を閉じる形態で、前記出入り口７２を開くように構成されている。
前記蓋６５について説明を加えると、図１６に示すように、前記出入り口７２の横幅と略同じ横幅の蓋形成部材７７の複数を、前記閉じ状態において隣接するものの間に前記通気口７５を形成し且つ前記出入り口７２の横幅方向に沿う軸芯周りで回転させた前記開き状態において隣接するものの間に前記基板出し入れ用口７６を開口する形態で、前記出入り口７２を開くように上下方向に並べて構成されている。
【００４９】
複数の蓋形成部材７７の夫々は、横側面視において中空薄板状に形成された板状体にて構成されており、その中心部において横軸芯周りに回転自在に蓋用枠体７８に支持されている。そして、蓋６５は、図１６（イ）に示すように、複数の蓋形成部材７７の夫々を横軸芯周りに回転させて上下方向に沿う姿勢とすることにより、蓋形成部材７７同士の間に形成された比較的小さな開口を通気口７５とする閉じ状態となり、図１６（ロ）に示すように、複数の蓋形成部材７７の夫々を横軸芯周りに回転させて前後方向に沿う姿勢とすることにより、蓋形成部材７７同士の間に形成された比較的大きな開口を基板出し入れ用口７６とする開き状態となるように構成されている。
つまり、図１６（イ）及び図１７（イ）に示すように、蓋６５閉じ状態とした状態では、複数の蓋形成部材７７同士の間に通気口７５が開口しているため、ファンフィルタユニット６４にて、浄化空気を収納容器２の他端側の開口から出入り口７２に向けて通風させて出入り口７２における通気口７５から排出させることができ、その通気口７５は上下方向（通風方向と交差する方向）に沿う姿勢の複数の蓋形成部材７７によって小さく形成されているため、その通気口７５から排出される浄化空気は風速が速くなり、これによって収納容器２の出入り口７２から収納容器２内への外気の侵入を防ぐことができる。
そして、図１６（ロ）及び図１７（ロ）に示すように、蓋６５を開き状態とした状態では、複数の蓋形成部材７７同士の間に通気口７５より大きな基板出し入れ用口７６が開口しているため、浄化空気を基板出し入れ用口７６から基板１を出し入れすることができ、その基板出し入れ用口７６から排出される浄化空気は、閉じ状態程ではないものの前後方向（通風方向）に沿う姿勢の複数の蓋形成部材７７の存在によって風路が狭められて風速が速くなるため、これによって収納容器２の出入り口７２から収納容器２内への外気の侵入を防ぐことができる。
また、複数の蓋形成部材７７における隣接するもの同士の間には、上記の如く、閉じ状態においては通気口７５が形成され、開き状態においては基板出し入れ用口７６が形成されているものであり、蓋６５の開き状態や閉じ状態、並びに、蓋６５をこれらの状態に切り換える際に互いに複数の蓋形成部材７７が互いに接触することがないため、蓋形成部材７７が互いに接触することによる発塵がなく、蓋６５からの塵埃の発生を抑制することができる。
【００５０】
前記蓋６５が前記閉じ状態側に復帰付勢されるように構成され、上方への移動により前記蓋６５を開き状態に操作する操作部としての連結棒８０が、前記容器本体６６の底面部から下方に突出する状態で設けられている。
説明を加えると、図１６（イ）に示すように、リンク部材７９の基端部が、上下方向に沿う姿勢の蓋形成部材７７の夫々に後ろ下方に延設される形態で一体回転するように連結され、このリンク部材７９の夫々の遊端部が上下方向に沿う姿勢の前記連結棒８０に回転自在に連結されており、蓋形成部材７７の夫々が上下方向沿う姿勢となる閉じ状態において、連結棒８０を上昇移動させることによって、蓋形成部材７７の夫々が前後方向に沿う姿勢となる開き状態となり、また、蓋形成部材７７の夫々が前後方向沿う姿勢となる開き状態において、連結棒８０を下降移動させることによって、蓋形成部材７７の夫々が上下方向に沿う姿勢となる閉じ状態となる。
【００５１】
そして、連結棒８０は自重にて下降側に付勢されており、連結棒８０が容器本体６６の底面部から下方に突出している状態では蓋６５は閉じ状態となり、この状態で収納容器２を基板入出部６に載置させるに伴って、基板入出部６の載置支持部３２に備えられた蓋用突起部８１にて連結棒８０が押し上げられることによって、リンク部材７９を介して蓋形成部材７７が回転操作され、蓋形成部材７７の夫々が前後方向に沿う姿勢となって蓋６５が開き状態となる。ちなみに、基板入出部６から収納容器２を持ち上げることによって、連結棒８０が自重によって押し下げられることによって、リンク部材７９を介して蓋形成部材７７が回転操作され、蓋形成部材７７が上下方向に沿う姿勢となって蓋６５が閉じ状態となる。尚、連結棒８０の下降移動は、図外の規制部材にて連結棒８０の下端部が容器本体６６の底面部から下方に突出する状態で規制されている。
【００５２】
基板入出部６の蓋用突起部８１のような連結棒８０を押し上げ操作するような部分は、基板入出部６以外の収納部４、並びに、スタッカークレーン１０等の収納容器搬送装置８には備えられておらず、基板入出部６に位置させた場合以外では、連結棒８０は押し上げ操作されることがないようにして、基板入出部６以外の収納部４にて収納させている際やスタッカークレーン１０等にて搬送する際は収納容器２の蓋６５が閉じ状態を維持するように構成されている。
つまり、基板処理設備においては、前記収納棚５に保管するとき及び前記収納容器搬送装置８にて搬送するときには、前記収納容器２の前記蓋６５を閉じ状態として前記ファンフィルタユニット６４にて通風することにより、前記基板１の清浄度が維持され、且つ、前記基板入出部６において前記基板搬送装置７にて前記基板１を搬送するときには、前記収納容器２の前記蓋６５を開き状態として前記ファンフィルタユニット６４にて通風すること並びに前記搬送エリア用の浄化空気通風手段２５によって前記基板搬送エリア２４の清浄度が維持されることにより、前記基板１の清浄度が維持する基板処理方法が用いられている。
【００５３】
そして、収納容器２は、蓋６５を開き状態としたときに３つのファンフィルタユニット６４の通風量を増大させるべく３つのファンフィルタユニット６４の作動を制御する制御部１０９を備えて構成されている。
つまり、図１１及び図１８に示すように、ＦＦＵ用枠体９０には、収納容器２を基板入出部６に載置するに伴って基板入出部６の載置支持部３２に備えられたＦＦＵ用突起部１０６にて押し上げられて上昇移動し、且つ、収納容器２が基板入出部６から持ち上げられることによって自重により下降移動する昇降移動可能な検出片１０７と、検出片１０７の昇降移動を検出してその検出情報を前記制御部１０９に向けて送信するリミットスイッチにて構成された検出スイッチ１０８と、検出スイッチ１０８からの検出情報に基づいてファンフィルタユニット６４の作動を制御する前記制御部１０９とが備えられており、制御部１０９は、検出片１０７が上昇移動した状態では、ファンフィルタユニット６４の通風量を増大させ、検出片１０７が下降移動した状態では、ファンフィルタユニット６４の通風量を減少させるべく、検出スイッチ１０８の検出情報に基づいてファンフィルタユニット６４の作動を制御するように構成されている。
そして、ＦＦＵ用突起部１０６は、蓋用突起部８１と同様に、基板入出部６以外の収納部４、並びに、スタッカークレーン１０等の収納容器搬装置８には備えられていない。
従って、収納容器２を基板入出部６に位置させて蓋６５が開き状態となった状態では、ファンフィルタユニット６４の通風量は増大し、収納容器２を基板入出部６以外に位置させて蓋６５が閉じ状態となった状態では、ファンフィルタユニット６４の通風量が減少する。
ちなみに、蓋６５が開き状態に切り換えられる前の時点で、ファンフィルタユニット６４の通風量が増大し、蓋が閉じ状態に切り換えられた後の時点で、ファンフィルタユニットの通風量が減少するようにして、蓋６５を開き状態に切り換えられる際や閉じ状態に切り換えられる際の蓋６５から発生する塵埃によって収納容器２内の基板１が汚染されることを防止することが好ましく、このような蓋６５の開き状態や閉じ状態への切り換えとファンフィルタユニット６４の通風量の増減の関係は、蓋用突起部８１及びＦＦＵ用突起部１０６の高さを調節することにより可能である。
【００５４】
図１１に示すように、前記ファンフィルタユニット６４並びに前記蓋６５が、前記容器本体６６に対して着脱自在に装着されており、収納容器２からファンフィルタユニット６４と蓋６５とを取り外して収納容器２を容易に洗浄できるように構成されている。
つまり、図１４に示すように、蓋用枠体７８の上端部には、容器本体６６における一端側矩形枠９３の上部に上方から係合する蓋用係合部材９９が設けられ、また、一端側矩形枠９３の下端部には、蓋用枠体７８を載置支持する状態で蓋用枠体７８の下端部に形成された被係合溝７８ａに係合する蓋用係合支持板１００が設けられており、蓋用係合部材９９を一端側矩形枠９３の上部に対して係脱し、且つ、蓋用係合支持板１００を蓋用枠体７８の被係合溝７８ａに対して係脱することにより、蓋６５を容器本体６６に対して着脱することができるように構成されている。
また、図１５に示すように、ＦＦＵ用枠体９０の上端部には、容器本体６６における他端側矩形枠９４の上部に上方から係合するＦＦＵ用係合部材８８が設けられ、また、他端側矩形枠９４の下端部には、ＦＦＵ用枠体９０を載置支持する状態でＦＦＵ用枠体９０の下端部に形成された被係合溝９０ａに係合するＦＦＵ用係合支持板８９が設けられており、ＦＦＵ用係合部材８８を他端側矩形枠９４の上部に対して係脱し、且つ、ＦＦＵ用係合支持板８９をＦＦＵ用枠体９０の被係合溝９０ａに対して係脱することにより、ファンフィルタユニット１０を給電部７０ｂやバッテリ７１とともに容器本体６６に対して着脱することができるように構成されている。
【００５５】
そして、図２に示すように、収納棚５が備える最下段の複数の収納部４のうちの一部が、収納棚５の背面側と通して手押し台車８５にて収納容器２を出し入れすることができる手押し台車用の入出庫部９とされており、手押し台車８５にて手押し台車用の入出庫部９から収納容器２を取り出した後、収納容器２からファンフィルタユニット６４と蓋６５とを取り外して、容器洗浄装置８６にて容器本体６６を洗浄することができるように構成されている。ちなみに、手押し台車用の入出庫部９の背面側には、その入出庫部９の背面側を閉じるシャッター８４が設けられており、前記制御手段Ｈは、シャッター８４が開き操作されている状態では、手押し台車用の入出庫部９に対するスタッカークレーン１０による収納容器２の搬送が行われないようにスタッカークレーン１０の作動を制御するように構成されている。
【００５６】
〔第２実施の形態〕
この第２実施の形態は、第１実施の形態において、基板入出部６における収納容器２を支持する構造及び収納容器２の蓋６５の開閉する構造を変更したものである。以下、基板入出部６における収納容器２を支持する構造及び収納容器２の蓋６５の開閉する構造の第２実施の形態について説明するが、第１実施の形態と同様に構成されるものについては、第１実施の形態と同じ符号を付け、説明は省略する。
【００５７】
まず、基板入出部６における収納容器２を支持する構造について説明する。
図２３及び図２４に示すように、基板入出部６における物品支持部３２には、基板入出部６に載置される収納容器２が適正位置から水平方向に位置ずれしている場合にその収納容器２を適正位置に移動させるセンタリング装置１１１が備えられている。
【００５８】
そして、センタリング装置１１１は、収納容器２を支持するとともに収納容器２における横側面を押し操作する支持操作機構１１２を複数備えて構成されており、支持する収納容器２が適正位置から水平方向にずれている場合に、位置ずれする側に存在する支持操作機構１１２にて収納容器２の横側面を押し操作することによって、収納容器２を適正位置に移動させるように構成されている。
【００５９】
図２４に示すように、複数の支持操作機構１１２の夫々は、物品支持部３２上に設置された基台１１３に揺動体１１４が揺動自在に支持され、その揺動体１１４に、収納容器２を載置支持する容器支持用ローラ１１５と、収納容器２の側面を押し操作する押し操作用ローラ１１６と、揺動体１１４の揺動を規制する揺動規制用ローラ１１７とを備えて構成されている。
【００６０】
各支持操作機構１１２について説明を加えると、揺動体１１４は、横辺部分と横辺部分が位置する側とは反対側に膨出形成させた縦辺部分とを備えて側面視形状をＬ字状に形成されており、揺動体１１４における横辺部分の基端部が基台１１３に揺動自在に支持されている。また、揺動体１１４の横辺部分の先端部に容器支持用ローラ１１５が回転自在に支持され、揺動体１１４の縦辺部分の先端部に押し操作用ローラ１１６が回転自在に支持されており、揺動体１１４の縦辺部分から膨出形成された部分の頂部に揺動規制用ローラ１１７が支持されている。
【００６１】
各支持操作機構１１２は、揺動規制用ローラ１１７が基台１１３に接当することにより揺動体１１４の待機姿勢から支持姿勢とは反対側への揺動が規制（図２４（イ）参照）され、また、容器支持用ローラ１１５が基台１１３に接当することにより揺動体１１４の支持姿勢から待機姿勢とは反対側への揺動が規制（図２４（ロ）参照）されており、揺動体１１４が待機姿勢と支持姿勢との間で揺動姿勢変更するように構成されている。
【００６２】
また、各支持操作機構１１２は、揺動体１１４が押し操作用ローラ１１６、揺動規制用ローラ１１７等にて待機姿勢側に付勢されており、収納容器２を支持していない状態では揺動体１１４が待機姿勢となり、収納容器２が容器支持用ローラ１１５上に載置されると収納容器２の重みによって揺動体１１４が待機姿勢から支持姿勢に姿勢変更されるように構成されており、揺動体１１４が待機姿勢から支持姿勢に姿勢変更されるに伴って押し操作用ローラ１１６が収納容器２側に移動して、操作用ローラ１１６にて収納容器２の横側面を押し操作するように構成されている。
ちなみに、複数の支持操作機構１１２として、平面視で矩形状に形成された収納容器２における下面部の４辺に対応して各辺に２つ、計８つ備えられている。
【００６３】
次に、収納容器２の蓋６５の開閉する構造について説明する。
図２３に示すように、前記容器本体６６の横側面部の面方向に沿う移動により前記蓋６５を開き状態に操作する操作部１２１が、前記容器本体６６の横側面部から横側方に突出する状態で設けられている。
【００６４】
説明を加えると、図２５に示すように、複数の蓋形成部材７７のうちの一つの蓋形成部材７７は、両端部が容器本体６６の横側面部から横側方に突出する操作用回転軸７７ａを備えて構成されており、操作用回転軸７７ａにおける容器本体６６の横側面部から横側方に突出する両端部夫々には、操作レバー１２３が上下方向に沿う姿勢の蓋形成部材７７に前上方に延設される形態で一体回転するように連結されており、これら操作用回転軸７７ａと操作レバー１２３とで操作部１２１が構成されている。
そして、リンク部材７９の基端側が、上下方向に沿う姿勢の蓋形成部材７７の夫々に前下方に延設される形態で一体回転するように連結され、リンク部材７９の夫々の遊端部が、上下方向に沿う姿勢の棒状体１２２に回転自在に連結されて、複数の蓋形成部材７７が連動して回転するように構成されている。蓋形成部材７７の夫々が上下方向に沿う姿勢となる閉じ状態において、操作レバー１２３を後方に揺動操作することによって、蓋形成部材７７の夫々が前後方向に沿う姿勢となって蓋６５が開き状態となり、また、蓋形成部材７７の夫々が前後方向に沿う姿勢となる開き状態において、操作レバー１２３を前方に揺動操作することによって、蓋形成部材７７の夫々が上下方向に沿う姿勢となって蓋６５が閉じ状態となる。
【００６５】
操作レバー１２３は、蓋６５が閉じ状態となる閉じ姿勢と蓋６５が開き状態となる開き姿勢との範囲で揺動操作自在であり、棒状体１２２が下方の規制部材１２４に接当することにより閉じ姿勢から開き姿勢とは反対側への揺動が規制され、また、棒状体１２２が上方の規制部材１２４に接当することにより開き姿勢から閉じ姿勢とは反対側への揺動が規制されている。ちなみに、操作レバー１２３は、棒状体１２２の自重にて閉じ姿勢側に付勢されている。
【００６６】
図２３及び図２６に示すように、基板入出部６の左右両側に位置する支柱３１の一方には、操作レバー１２３を前後方向に操作する蓋操作手段１２５が備えられている。この蓋操作手段１２５は、左右一対の操作レバー１２３に対して一方側の操作レバー１２３に対応して少なくとも設けられており、一対の操作レバー１２３のうちの一方を操作して蓋６５を開き状態や閉じ状態に切り換え操作するように構成されている。ちなみに、本実施の形態では基板入出部６の左右両側に位置する支柱３１の他方には蓋操作手段１２５は備えられておらず、一対の操作レバー１２３のうちの他方は、作業者が手作業で蓋６５を開き状態や閉じ状態に切り換え操作する際に用いられるものである。
【００６７】
そして、蓋操作手段１２５は、前後方向に沿ってスライド移動する移動体１２６ａを備えた電動シリンダ１２６と、移動体１２６ａに立設された操作用部材１２７とで構成されており、電動シリンダ１２６にて操作用部材１２７を後方側に移動させることによって、操作レバー１２３の被操作部分１２３ａを操作用部材１２７にて押し操作して操作レバー１２３を後方側に揺動操作させた開き姿勢とし、電動シリンダ１２６にて操作用部材１２７を前方側に移動させることによって、操作レバー１２３は付勢により前方側に揺動操作されて閉じ姿勢となるように構成されている。
【００６８】
また、蓋操作手段１２５は、電動シリンダ１２６にて操作用部材１２７を後方側に移動させた状態では、物品移載装置３８にて収納容器２を基板入出部６に搬入する際の収納容器２の前方側への移動により蓋６５を開き状態に切り換え、物品移載装置３８にて収納容器２を基板入出部６から搬出する際の収納容器２の後方側への移動により蓋６５を閉じ状態に切り換えるように構成されている。
説明を加えると、蓋操作手段１２５における操作用部材１２７は正面視でＬ字状に形成されて、この操作用部材１２７の上下方向に沿う縦辺部分は、図２７（ロ）及び図２８（ロ）に示すように、物品移載装置３８にて収納容器２が前後方向に移載されるときに閉じ姿勢の操作レバー１２３の被操作部分１２３ａが位置する高さから、収納容器２が物品支持部３２に載置支持されているときに閉じ姿勢の操作レバー１２３の被操作部分１２３ａが位置する高さに亘って位置するように、上下方向に長く形成されている。
そして、蓋操作手段１２５は、上述の如く操作用部材１２７の縦辺部分を上下方向に長く形成することによって、物品移載装置３８にて前後方向に移載される収納容器２に対して操作用部材１２７を前後方側へ移動させることにより収納容器２の蓋６５を開き状態や閉じ状態に切り換え操作できるように構成されている。
また、収納容器２を基板入出部６に搬出入する際に蓋操作手段１２５の誤動作により操作用部材１２７が後方側に移動させられていたとしても、物品移載装置３８による収納容器２の移動を利用して操作用部材１２７にて蓋６５を開き状態に切り換え操作することができるように構成されている。
【００６９】
図２７〜図２９に示すように、基板処理設備には、基板入出部６の収納容器２の存否を検出する容器存否センサ１２９と、基板入出部６の下方の物品移載装置３８の存否を検出する装置存否センサ１３０と、蓋６５を開閉操作する前記蓋操作手段１２５と、容器存否センサ１２９と装置存否センサ１３０との検出結果に基づいて、収納容器２が物品移載装置３８にて物品支持部３２に載置された後に、蓋６５を開き操作するように蓋操作手段１２５の作動を制御し、かつ、物品移載装置３８にて収納容器２が物品支持部３２から掬われる前に、蓋６５を閉じ操作するように蓋操作手段１２５の作動の制御をする開閉制御手段１３２とが備えられている。
【００７０】
容器存否センサ１２９と装置存否センサ１３０との夫々は光電センサにて構成されており、容器存否センサ１２９として、基板入出部６の前部に備えられた前部側の容器存否センサ１２９ａと、基板入出部６の後部に備えられた後部側の容器存否センサ１２９ｂとが備えられている。
【００７１】
図２７及び図２８に示すように、前部側の容器存否センサ１２９ａは、上方向に投光する投光部を基板入出部６の前部下方に備え、投光部から投光されて収納容器２にて反射された光を受光する受光部を基板入出部６の前部下方に備えて、測距式のセンサに構成されており、この前部側の容器存否センサ１２９ａが、収納容器２が物品支持部３２に載置支持される又は収納容器２が物品支持部３２近くまで下降移動されて、収納容器２との距離が設定距離より短い距離を検出する状態（収納容器が物品支持部に載置支持されている状態又はその近くに位置する状態であり、以下、検出状態と称する）となると、開閉制御手段１３２は基板入出部６内に収納容器２が存在していると判別するように構成されている。
【００７２】
後部側の容器存否センサ１２９ｂは、反射板を基板入出部６の横一側方に備え、水平方向に投光する投光部とこの投光部から投光されて反射板にて反射された光を受光する受光部を基板入出部６の横他側方に備えて構成されており、この後部側の容器存否センサ１２９ｂが、投光する光が収納容器２にて遮断されて検出状態となると、開閉制御手段１３２は物品支持部３２上に収納容器２が存在していると判別するように構成されている。
【００７３】
装置存否センサ１３０は、反射板を基板入出部６の横一側方に備え、水平方向に投光する投光部とこの投光部から投光されて反射板にて反射された光を受光する受光部を基板入出部６の横他側方に備えて構成されており、この装置存否センサ１３０が、投光する光が物品移載装置３８にて遮断されて検出状態となると、物品支持部３２の下方に物品移載装置３８が存在していると判別するように構成されている。
【００７４】
つまり、基板入出部６に収納容器２を搬入する場合は、物品支持部３２よりも上方に位置し且つ収納容器２を載置した物品移載装置３８を基板入出部６側に突出させ、収納容器２を支持する物品支持部３２よりも下方に物品移載装置３８を下降移動させて物品支持部３２に収納容器２を載置させた後、収納容器２を載置しない空の物品移載装置３８をスタッカークレーン１０側に引退させることとなるが、収納容器２を載置した物品移載装置３８が基板入出部６側に突出されると、後部側の容器存否センサ１２９ｂが収納容器２を検出する検出状態となり、収納容器２を支持する物品支持部３２よりも下方に物品移載装置３８を下降移動させると、前部側の容器存否センサ１２９ａが収納容器２を検出する検出状態となった後に、装置存否センサ１３０が物品移載装置３８を検出する検出状態となる。このように、前部側と後部側との両方の容器存否センサ１２９が検出状態となった後、装置存否センサ１３０が検出状態となると、開閉制御手段１３２は、収納容器２が基板入出部６に搬入されたと判別して、蓋６５を開き操作すべく蓋操作手段１２５の作動を制御する。
そして、収納容器２を載置しない物品移載装置３８がスタッカークレーン１０側に引退されると、装置存否センサ１３０が物品移載装置３８を検出しない非検出状態となる。
【００７５】
また、基板入出部６から収納容器２を搬出する場合は、物品支持部３２よりも下方に位置し且つ収納容器２を載置しない空の物品移載装置３８を基板入出部６側に突出させ、物品支持部３２よりも上方に物品移載装置３８を上昇移動させて収納容器２を掬い取った後、収納容器２を載置する物品移載装置３８をスタッカークレーン１０側に引退させることとなるが、物品支持部３２よりも下方に位置する物品移載装置３８を基板入出部６側に突出させると、装置存否センサ１３０が物品移載装置３８を検出する検出状態となり、開閉制御手段１３２は、収納容器２が基板入出部６から搬出されると判別して、蓋６５を閉じ操作すべく蓋開閉手段１２５の作動を制御する。
そして、物品支持部３２よりも上方に物品移載装置３８を上昇移動させると、装置存否センサ１３０が物品移載装置３８を検出しない非検出状態となった後、前部側の容器存否センサ１２９ａが収納容器２を検出しない非検出状態となり、収納容器２を載置した物品移載装置３８をスタッカークレーン１０側に引退させると、後部側の容器存否センサ１２９ｂが収納容器２を検出しない非検出状態となる。
【００７６】
〔別実施の形態〕
（１） 上記実施の形態では、複数の蓋形成部材７７の夫々を、横側面視にて板状に形成した板状体にて構成したが、複数の蓋形成部材７７の夫々を、横側面視で板状に形成された蓋部材本体と、この蓋部材本体に立設された補助蓋部分とを備えて構成してもよい。
つまり、図１９及び図２０に示すように、複数の蓋形成部材７７の夫々を、横側面視で板状に形成された蓋部材本体１０１が前後方向に沿う姿勢においてその上面に補助蓋部分１０２を垂直に立設する形態で、蓋部材本体１０１と補助蓋部材１０２とを一体形成して、横側面視でＴ字状に形成してもよい。この場合では、図２０（ロ）に示すように、蓋形成部材７７における補助蓋部分１０２を、閉じ状態において、その蓋形成部材７７の蓋部分本体１０１と上方側に隣接する蓋形成部材７７の蓋部分本体１０１との間に形成される開口が、基板１を出し入れするための空間と基板搬送ロボット５５における支持部５９を挿抜するための空間を除いて補助蓋部分１０２にて閉口するように、支持部５９の挿抜に対応する部分は基板１の出し入れが可能で且つ支持部５９の挿抜が可能なように背が低く、支持部５９の挿抜に対応しない部分は基板１の出し入れのみが可能なように背が高くなるように、正面視で凸凹形状に形成してもよい。
また、複数の蓋形成部材７７の夫々を、横側面視で板状に形成された蓋部材本体１０１が前後方向に沿う姿勢においてその上面と下面とに補助蓋部分１０２を垂直に立設する形態で、蓋部材本体１０１と補助蓋部材１０２とを一体形成して、横側面視で十字状に形成してもよい。
【００７７】
（２） 上記実施の形態では、複数の蓋形成部材７７の夫々を、横側面視にて板状に形成した板状体にて構成したが、複数の蓋形成部材の夫々を、横側面視で板状に形成された蓋本体部材と、この蓋部材本体とは別体の蓋補助部分とを備えて構成してもよい。
つまり、図２１及び図２２に示すように、複数の蓋形成部材７７の夫々を、蓋用枠体７８に上端部に位置する横軸心周りに回転自在に支持された蓋本体部材１０３と、蓋用枠体７８に固定状体で支持された蓋補助部材１０４とを備えて構成してもよい。この場合では、図２１に示すように、蓋形成部材７７における蓋補助部材１０４を、隣接する基板出し入れ用口７２の間を閉じるように隣接する基板出し入れ用口７２の間に位置させ、且つ、図２２（ロ）に示すように、開き状態において、その蓋補助部材１０４と上方側に隣接する蓋補助部材１０４との間に形成される開口が、基板１を出し入れするための空間と基板搬送ロボット５５における支持部５９を挿抜するための空間を除いて閉口するように、支持部５９の挿抜に対応する部分は基板１の出し入れが可能で且つ支持部５９の挿抜が可能なように背が低く、支持部５９の挿抜に対応しない部分は基板１の出し入れのみが可能なように背が高くなるように、正面視で凸凹形状に形成し、蓋形成部材７７における蓋本体部分１０３を、その上端部が上方側に隣接する蓋形成部材７７における蓋補助部材１０４の下端部と重複し、閉じ状態において、下端部が蓋補助部材１０４の背の高い部分と重複し且つ背の低い部分と重複しない長さに形成してもよい。
ちなみに、上記実施の形態において、複数の蓋形成部材７７の夫々を、上端部又は下端部に位置する横軸心周りに回転自在に蓋用枠体７８に支持するように構成してもよい。
また、複数の蓋形成部材７７の夫々を、上下方向にスライド移動自在に支持された蓋本体部材と、固定状体で支持された蓋補助部材とを備えて構成してもよい。この場合では、例えば、蓋本体部材と蓋補助部材とを前後方向に重複させた開き状態では、蓋本体部材と蓋補助部材とで上記した蓋補助部材１０４のように正面視で凸凹形状を形成し、蓋本体部材と蓋補助部材とが重複する範囲が狭くなるように蓋本体部材をスライド移動させることで閉じ状態となるように構成してもよい。
【００７８】
（３） 上記実施の形態では、収納容器２に保持される基板１の枚数と同数の基板出し入れ用口７６を形成したが、収納容器２に保持される基板１の枚数より少ない基板出し入れ用口７６を形成してもよく、例えば、２枚の基板２に対して１つの蓋形成部材７７を備えさせて、１つの基板出し入れ口７６にて２枚の基板２を出し入れするように構成してもよく、また、蓋６５を開き状態から容器本体６６の上方側等にシャッターを摺動させることで開き状態に切り替えられるシャッター構成とする又は一枚の扉を備える等により、開き状態において１つの基板出し入れ用口７２を形成するようにして、この１つの基板出し入れ用口７２にてすべての基板１を出し入れするように構成してもよい。ちなみに、蓋６５を上記したように１枚の扉を備えて構成した場合は、扉を端部を中心に揺動操作する又は着脱することによって、閉じ状態と開き状態とに切り換えるように構成することが考えられる。
また、上記実施の形態では、通気口７５を、出入り口７２の横幅と略同じ横幅に亘るスリット状に形成したが、通気口７５を、上下方向に長いスリット状に形成してもよく、また、スリット状以外に、円形等の他の形状に形成してもよい。
【００７９】
（４） 上記第１実施の形態では、操作部８０を容器本体６６の底面部から下方に突出する状態で設けたが、操作部８０を容器本体６６の底面部から下方に突出しない状態で設けてもよい。この場合、例えば、上記実施の形態において、突起部８１の高さを高くする等により、操作部８０を押し上げ操作することができる。
また、基板入出部６に、操作部８０を押し上げ操作するための突起部８１を備えたが、基板入出部６に、操作部８０を押し上げ操作するための突起部８１を備えなくてもよい。
つまり、操作部８０を容器本体６６の底面部から下方に大きく突出する状態では、蓋形成部材７７の夫々が上下方向に沿う姿勢となり、操作部８０を容器本体６６の底面部から下方に殆ど突出しない又は全く突出しない状態では、蓋形成部材７７の夫々が前後方向に沿う姿勢となるように、操作部８０と複数の蓋形成部材７７とを連動させ、収納容器６６を基板入出部６における平坦な載置面に載置させることによって、その載置面にて操作部８０が押し上げられるように構成してもよい。
また、上記第１実施の形態では、操作部８０を上下方向に移動させることにより蓋６５が開き状態と閉じ状態とに切り換えられるように構成したが、操作部８０を横幅方向又は前後方向に移動させることにより蓋６５が開き状態と閉じ状態とに切り換えられるように構成してもよい。
【００８０】
（５） 上記第１実施の形態では、基板入出部６において収納容器２を収納容器搬送装置８にて上下に移動させることによって、操作部８０が操作されて蓋６５が開き状態と閉じ状態とに切り換えられるように構成したが、基板入出部６又は収納容器２に操作部８０を操作する操作手段を備え、収納容器２を載置箇所に載置させた後に操作手段にて操作部８０を操作することによって、蓋６５を開き状態と閉じ状態とに切り換えるように構成してもよい。
また、上記第１実施の形態では、蓋６５の閉じ状態側への復帰付勢は自重により付勢されるように構成したが、蓋６５の閉じ状態側への復帰付勢をバネ等の付勢手段により付勢されるように構成してもよく、また、蓋６５を閉じ状態側へ復帰付勢されないように構成して、上記した操作手段の操作によって、蓋６５を閉じ状態に切り換えるように構成してもよい。
【００８１】
（６） 上記第１実施の形態では、操作部８０と複数の蓋形成部材７７とをリンク部材７９にて連動させたが、操作部８０と複数の蓋形成部材７０とをラックとピニオンとで連動させるようにしてもよい。
つまり、操作部８０にラックを形成し、蓋形成部材７７の夫々にラックに噛合させるピニオンを備えさせて、操作部８０の昇降移動に伴ってラックに噛合するピニオンが回転操作されて、蓋形成部材７７の夫々が前後方向に沿う姿勢や上下方向に沿う姿勢に切り換えられるように構成してもよい。
【００８２】
（７） 上記実施の形態では、ファンフィルタユニット６４並びに蓋６５が、容器本体６６に対して着脱自在に装着されているが、ファンフィルタユニット６４並びに蓋６５の一方又は両方を、容器本体６６に対して着脱不能に装着してもよい。
【００８３】
（８） 上記実施の形態では、基板入出部６において基板搬送装置７にて基板１を搬送するときは、収納容器２のファンフィルタユニット６４の通風量を増大させるようにしたが、基板入出部６において、基板搬送装置７にて基板１を搬送するときにおいてもファンフィルタユニット６４の通風量を増大させないようにしてもよい。
つまり、収納棚５に保管するとき、収納容器搬送装置８にて搬送するとき、及び、基板入出部６において基板搬送装置７にて基板１を搬送するときにおいて、収納容器２のファンフィルタユニット６４の通風量を一定に維持するようにしてもよい。
また、収納容器搬送装置８にて搬送するときは、収納棚５に保管するときより収納容器２のファンフィルタユニット６４の通風量を増大させ、基板入出部６において基板搬送装置７にて基板搬送するときは、収納容器搬送装置８にて搬送するときよりファンフィルタユニット６４の通風量を増大させるというように、収納棚５に保管するときと、収納容器搬送装置８にて搬送するときと、基板入出部６において基板搬送装置７にて基板搬送するときとで、収納容器２のファンフィルタユニット６４の通風量を変更するようにしてもよい。つまり、収納容器搬送装置８にて搬送するときにおいても、収納容器２のファンフィルタユニット６４の通風量を増大させるようにしてもよい。ちなみに、収納容器搬送装置８にて搬送するときの通風量は、基板入出部６において基板搬送装置７にて基板搬送するときと同じでもよく、また、多くてもよい。
【００８４】
（９） 上記実施の形態では、収納棚５をクリーン空間１３の床部（グレーティング床１４）上に設けたが、床部より低い吸気室１６の底部上に設けてもよい。
【００８５】
（１０） 上記実施の形態では、クリーン空間１３の天井部をエアーフィルタにて形成したが、クリーン空間１３の天井部を天井部用のファンフィルタユニットにて形成してもよい。
【００８６】
（１１） 上記実施の形態では、容器本体６６の両横側部を、外面部材９８と内面部材９９とを備えて２重構造としたが、内面部材のみを備えて、上側部や下側部と同様に１重構造としてもよい。
【００８７】
（１２） 上記第１実施の形態では、リンク部材７９の基端部を、上下方向に沿う姿勢の蓋形成部材７７の夫々に後ろ下方に延設される形態で一体回転するように連結して、リンク部材７９の夫々の遊端部が回転自在に連結される連結棒８０が、蓋形成部材７７の回転軸芯より後方側（容器本体側）に位置するようにしたが、リンク部材７９の基端部を、上下方向に沿う姿勢の蓋形成部材７７の夫々に前下方に延設される形態で一体回転するように連結して、リンク部材７９の夫々の遊端部が回転自在に連結される連結棒８０が、蓋形成部材７７の回転軸芯より前方側（容器本体が存在する側とは反対側）に位置するようにしてもよい。
【００８８】
（１３） 上記第１実施の形態では、基板入出部６において収納容器２を収納容器搬送装置８にて上下に移動させることによって、操作部８０が操作されて蓋６５が開き状態と閉じ状態とに切り換えられるように構成したが、蓋６５に操作部８０を操作する電動モータ等の駆動手段を備え、駆動手段にて操作部８０を操作することによって、蓋６５を開き状態と閉じ状態とに切り換えるように構成してもよい。
【００８９】
（１４） 上記実施の形態では、複数の蓋形成部材７７の全てを一体的に回転操作するように構成したが、蓋６５を開き状態とした状態において、一部の蓋形成部材７７を前後方向に沿う姿勢とし、残りの蓋形成部材７７を上下方向に沿う姿勢として、開き状態においても、上下方向に沿う姿勢の蓋形成部材７７を存在させておいて、排出される浄化空気の風速をより速くすることができるように、複数の蓋形成部材７７を個別に又は複数枚のグループ単位で回転操作するように構成してもよい。
つまり、例えば、複数の蓋形成部材７７を複数枚のグループ単位で回転操作するように構成した場合では、複数の蓋形成部材７７における上半分の蓋形成部材７７には、横幅方向一方側端部にリンク部材７９を介して一方側の連結棒８０を連結し、複数の蓋形成部材７７における下半分の蓋形成部材７７には、横幅方向他方側端部にリンク部材７９を介して他方側の連結棒８０を連結して、一方側の連結棒８０の操作により上半分の蓋形成部材７７を前後方向に沿う姿勢として収納容器２の上半分で基板１の出し入れを行い、他方側の連結棒８０の操作により下半分の蓋形成部材７７を前後方向に沿う姿勢として収納容器２の下半分で基板１の出し入れを行うように構成してもよい。
【００９０】
（１５） 上記実施の形態では、ＦＦＵ用突起部１０６による検出片１０７の昇降移動に基づいてファンフィルタユニット６４の通風量を変更するように構成したが、蓋用突起部８１による連結棒８０の昇降移動に基づいてファンフィルタユニット６４の通風量を変更するように構成してもよい。
つまり、蓋用枠体７８に、連結棒８０の昇降移動を検出してその検出信号を制御部１０９に向けて送信する検出手段を備え、制御部１０９を、蓋６５が開き状態となる連結棒８０が上昇移動した状態では、ファンフィルタユニット６４の通風量を増大させ、蓋６５が閉じ状態となる連結棒８０が下降移動した状態では、ファンフィルタユニット６４の通風量を減少させるべく、検出手段の検出情報に基づいてファンフィルタユニット６４の作動を制御するように構成してもよい。
ちなみに、検出手段から制御部１０９への検出情報の送信は、蓋用枠体７８側及びＦＦＵ用枠体９０側と分離可能に接続したケーブルを容器本体６６に設けて有線で行ってもよく、また、蓋用枠体７８に送信機を設け、ＦＦＵ用枠体９０に受信機を設けて無線で行ってもよい。
【００９１】
（１６） 上記第２実施の形態では、操作部１２１を、容器本体６６の横側面部の面方向に沿う移動により蓋６５を開き操作するように構成したが、操作部１２１を、容器本体６６の横側面部と交差する方向の移動により蓋６５を開き操作するように構成してもよい。
【００９２】
上記第２実施の形態では、操作部１２１を、容器本体６６の横側面部から横側方に突出する状態で設けたが、操作部１２１を、容器本体６６の横側壁６６の前面部から前方に突出する状態で設けてもよく、また、上記第２実施の形態では、操作部１２１を、その先端の被操作部分１２３ａが容器本体６６の横側壁６６ｃの前面部よりも後方に位置する状態で設けたが、操作部１２１を、その先端の被操作部分１２３ａを容器本体６６の横側壁６６ｃの前面部よりも前方に位置する状態で設けてもよい。これらの場合、操作部１２１を、上下方向に沿う移動により蓋６５を開き操作するように構成してもよい。
つまり、操作部１２１を、容器本体６６の横側面部から横側方に突出する状態で設け且つ操作部１２１の先端の被操作部分１２３ａを容器本体６６の横側壁６６ｃの前面部よりも前方に位置する状態で設けてもよく、具体的には、例えば、図３２に示すように、操作用回転軸７７ａにおける容器本体６６の横側面部から横側方に突出する端部に、蓋形成部材７７が上下方向沿う姿勢において前方側に延設される形態で操作レバー１２３を連結して、操作レバー１２３を、被操作部分１２３ａが容器本体６６の横側壁６６ｃの前面部よりも前方に位置する状態で設ける。そして、図３１に示すように、蓋操作手段１２５を、上下方向に沿ってスライド移動する移動体１２６ａを備えた電動シリンダ１２６と、移動体１２６ａの上端部に備えられた操作用部材１２７とで構成し、図３１（ロ）に示すように、電動シリンダ１２６にて操作用部材１２７を上方側に移動させることによって、操作レバー１２３の被操作部分１２３ａを操作用部材１２７にて上方に押し上げて、操作レバー１２３を上方側に揺動させた開き姿勢とし、図３１（イ）に示すように、電動シリンダ１２６にて操作用部材１２７を下方側に移動させることによって、被操作部分１２３ａが自重によって下方側に移動して、操作レバー１２３を下方側に揺動させた閉じ姿勢とするように構成してもよい。
また、操作部１２１を、容器本体６６の横側壁６６ｃの前面部から前方に突出する状態で設け且つ操作部１２１の先端の被操作部分１２３ａを容器本体６６の横側壁６６ｃの前面部よりも前方に位置する状態で設けてもよく、具体的には、例えば、図３３に示すように、操作用回転軸７７ａを容器本体６６の横側面部から横側方に突出しないように設けて、その操作用回転軸７７ａに蓋形成部材７７が上下方向沿う姿勢において前方側に延設される形態で操作レバー１２３を連結して、操作レバー１２３の先端の被操作部分１２３ａが容器本体６６の横側壁６６ｃの前側面部よりも前方に位置する状態で設ける。そして、図３１（ロ）に示すように、電動シリンダ１２６にて操作用部材１２７を上方側に移動させることによって、操作レバー１２３を上方側に揺動させた開き姿勢とし、図３１（イ）に示すように、電動シリンダ１２６にて操作用部材１２７を下方側に移動させることによって、操作レバー１２３を下方側に揺動させた閉じ姿勢とするように構成するように構成してもよい。
ちなみに、これらの別実施の形態において、図３１に示すように、操作レバー１２３は閉じ姿勢において前下方に屈曲するく字状に形成してあり、図３２及び図３３に示すように、操作部１２１は被操作部分１２３ａが蓋６５の通気口７５の横側方に位置するように設けられている。
【００９３】
また、上記第２実施の形態では、操作部１２１を操作すべく別途蓋操作手段１２５を備えたが、既設のセンタリング装置１１１等の装置を利用して操作部１２１を操作するように構成して、別途蓋操作手段１２５を備えることなく操作部１２１を操作するように構成してもよい。
つまり、例えば、図３０に示すように、容器本体６６の前側面部と交差する方向の移動により蓋６５を開き操作する操作部１２１を、容器本体６６の横側壁６６ｃの前面部から前方に突出する状態で設け、既設のセンタリング装置１１１における収納容器２の側面を押し操作する部材（押し操作用ローラ１１６）にて、蓋６５を開き操作すべく操作部１２１を押し操作して、前側面部の面方向と交差する方向の移動により蓋６５を開き操作するように構成してもよい。
また、作業者の手動操作のみで操作部１２１を操作するように構成してもよい。ちなみに、各実施の形態において、蓋６５を容器本体６６に装着している状態では蓋６５の蓋用枠体７８も容器本体６６の一部であり、容器本体６６の横側壁６６ｃの前面部とは蓋６５の蓋用枠体７８の縦枠部分の前面部である。
【００９４】
（１７） 上記第１実施の形態において、物品支持部３２にセンタリング装置１１１を備えてもよく、また、上記第２実施の形態において、物品支持部３２にセンタリング１１１装置を備えなくてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】第１実施の形態における物品処理設備の斜視図
【図２】第１実施の形態における基板収納設備の正面図
【図３】第１実施の形態における基板収納設備の側面図
【図４】第１実施の形態における浄化空気通風手段を示す図
【図５】第１実施の形態における物品収納棚における一段目の収納部を示す図
【図６】第１実施の形態における基板搬送エリアを示す側面図
【図７】第１実施の形態における物品収納棚における三段目の収納部を示す図
【図８】第１実施の形態におけるスタッカークレーンの側面図
【図９】第１実施の形態における物品移載装置の平面図
【図１０】第１実施の形態における容器本体の分解斜視図
【図１１】第１実施の形態における収納容器の分解斜視図
【図１２】第１実施の形態における収納容器の斜視図
【図１３】第１実施の形態における収納容器の縦断正面図
【図１４】第１実施の形態における蓋の着脱を示す側面図
【図１５】第１実施の形態におけるファンフィルタユニットの着脱を示す側面図
【図１６】第１実施の形態における蓋の閉じ状態と開き状態とを示す側面図
【図１７】第１実施の形態における蓋の閉じ状態と開き状態とを示す側面図
【図１８】第１実施の形態におけるファンフィルタユニットの制御部を示す側面図
【図１９】別実施の形態（１）における蓋の閉じ状態と開き状態とを示す側面図
【図２０】別実施の形態（１）における蓋の閉じ状態と開き状態とを示す正面図
【図２１】別実施の形態（２）における蓋の閉じ状態と開き状態とを示す側面図
【図２２】別実施の形態（２）における蓋の閉じ状態と開き状態とを示す正面図
【図２３】第２実施の形態におけるセンタリング装置及び蓋操作手段を示す正面図
【図２４】第２実施の形態における支持操作機構を示す側面図
【図２５】第２実施の形態における蓋の縦断側面図
【図２６】第２実施の形態における蓋操作手段を示す平面図
【図２７】第２実施の形態における収納容器の搬出入時の作用図
【図２８】第２実施の形態における収納容器の搬出入時の作用図
【図２９】第２実施の形態における制御ブロック図
【図３０】別実施の形態（１６）における支持操作機構を示す側面図
【図３１】別実施の形態（１６）における蓋の縦断側面図
【図３２】別実施の形態（１６）における蓋操作手段を示す横断平面図
【図３３】別実施の形態（１６）における蓋操作手段を示す横断平面図
【符号の説明】
【００９６】
１ 基板
２ 収納容器
６４ ファンフィルタユニット
６５ 蓋
６６ 容器本体
７２ 出入り口
７５ 通気口
７７ 蓋形成部材
８０ 操作部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚保持する基板収納用の収納容器であって、
横倒れ姿勢の四角筒状に形成された容器本体の一端側の開口が、前記基板を一枚ずつ出し入れするための出入り口として構成され、
前記容器本体の他端側の開口から前記出入り口に向けて通風するファンフィルタユニットが、前記容器本体における他端側の開口部に装備され、
前記容器本体における前記出入り口を開閉する蓋が、閉じ状態において一部を通気口として開口する状態で、前記容器本体の出入り口部に装備されている基板収納用の収納容器。
【請求項２】
前記通気口が、前記出入り口の横幅と略同じ横幅に亘るスリット状に形成され且つ上下方向に複数形成されている請求項１記載の基板収納用の収納容器。
【請求項３】
前記通気口が、前記容器本体に保持される複数枚の前記基板の夫々に対応させた状態で上下方向に複数形成するように構成されている請求項２記載の基板収納用の収納容器。
【請求項４】
前記蓋が、前記基板の出し入れを許容する開き状態において、隣接する基板出し入れ用口の間を閉じる形態で、前記出入り口を開くように構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板収納用の収納容器。
【請求項５】
前記蓋が、前記出入り口の横幅と略同じ横幅の蓋形成部材の複数を、前記閉じ状態において隣接するものの間に前記通気口を形成し且つ前記出入り口の横幅方向に沿う軸芯周りで回転させた前記開き状態において隣接するものの間に前記基板出し入れ用口を開口する形態で、上下方向に並べて構成されている請求項４記載の基板収納用の収納容器。
【請求項６】
前記蓋が前記閉じ状態側に復帰付勢されるように構成され、上方への移動により前記蓋を開き状態に操作する操作部が、前記容器本体の底面部から下方に突出する状態で設けられている請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板収納用の収納容器。
【請求項７】
前記容器本体の横側面部の面方向に沿う移動により前記蓋を開き状態に操作する操作部が、前記容器本体の横側面部から横側方に突出する状態で設けられている請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板収納用の収納容器。
【請求項８】
上下方向に沿う移動により前記蓋を開き状態に操作する操作部が、その先端の被操作部分が前記容器本体の横側壁の前面部よりも前方に位置する状態で設けられている請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板収納用の収納容器。
【請求項９】
前記蓋が、前記容器本体に対して着脱自在に装着されている請求項１〜８のいずれか１項に記載の基板収納用の収納容器。
【請求項１】
基板を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚保持する基板収納用の収納容器であって、
横倒れ姿勢の四角筒状に形成された容器本体の一端側の開口が、前記基板を一枚ずつ出し入れするための出入り口として構成され、
前記容器本体の他端側の開口から前記出入り口に向けて通風するファンフィルタユニットが、前記容器本体における他端側の開口部に装備され、
前記容器本体における前記出入り口を開閉する蓋が、閉じ状態において一部を通気口として開口する状態で、前記容器本体の出入り口部に装備されている基板収納用の収納容器。
【請求項２】
前記通気口が、前記出入り口の横幅と略同じ横幅に亘るスリット状に形成され且つ上下方向に複数形成されている請求項１記載の基板収納用の収納容器。
【請求項３】
前記通気口が、前記容器本体に保持される複数枚の前記基板の夫々に対応させた状態で上下方向に複数形成するように構成されている請求項２記載の基板収納用の収納容器。
【請求項４】
前記蓋が、前記基板の出し入れを許容する開き状態において、隣接する基板出し入れ用口の間を閉じる形態で、前記出入り口を開くように構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板収納用の収納容器。
【請求項５】
前記蓋が、前記出入り口の横幅と略同じ横幅の蓋形成部材の複数を、前記閉じ状態において隣接するものの間に前記通気口を形成し且つ前記出入り口の横幅方向に沿う軸芯周りで回転させた前記開き状態において隣接するものの間に前記基板出し入れ用口を開口する形態で、上下方向に並べて構成されている請求項４記載の基板収納用の収納容器。
【請求項６】
前記蓋が前記閉じ状態側に復帰付勢されるように構成され、上方への移動により前記蓋を開き状態に操作する操作部が、前記容器本体の底面部から下方に突出する状態で設けられている請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板収納用の収納容器。
【請求項７】
前記容器本体の横側面部の面方向に沿う移動により前記蓋を開き状態に操作する操作部が、前記容器本体の横側面部から横側方に突出する状態で設けられている請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板収納用の収納容器。
【請求項８】
上下方向に沿う移動により前記蓋を開き状態に操作する操作部が、その先端の被操作部分が前記容器本体の横側壁の前面部よりも前方に位置する状態で設けられている請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板収納用の収納容器。
【請求項９】
前記蓋が、前記容器本体に対して着脱自在に装着されている請求項１〜８のいずれか１項に記載の基板収納用の収納容器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【公開番号】特開２００８−９４４９４（Ｐ２００８−９４４９４Ａ）
【公開日】平成２０年４月２４日（２００８．４．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−２０２０９０（Ｐ２００７−２０２０９０）
【出願日】平成１９年８月２日（２００７．８．２）
【出願人】（０００００３６４３）株式会社ダイフク (1,209)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年４月２４日（２００８．４．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年８月２日（２００７．８．２）
【出願人】（０００００３６４３）株式会社ダイフク (1,209)
【Ｆターム（参考）】
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