弾性表面波装置及びその製造方法
【課題】IDT電極を覆うように絶縁物層が形成されている構造を備えた弾性表面波装置であって、IDTの反射係数が十分に大きく、所望でないリップルによる特性の劣化を抑制し得る弾性表面波装置の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電性基板としてのLiTaO3基板上に、第1絶縁物層2を全面に形成し、IDT電極を形成するためのレジストパターン3を用いて、IDT電極が形成される部分の絶縁物層を除去し、第1絶縁物層が除去されている領域にAlよりも大きい密度の金属または該金属を主成分とする合金からなる電極膜を形成してIDT電極4Aを形成し、第1絶縁物層上に残留しているレジストを除去し、第1絶縁物層2及びIDT電極4Aを被覆するように第2絶縁物層6を形成する、弾性表面波装置の製造方法。
【解決手段】圧電性基板としてのLiTaO3基板上に、第1絶縁物層2を全面に形成し、IDT電極を形成するためのレジストパターン3を用いて、IDT電極が形成される部分の絶縁物層を除去し、第1絶縁物層が除去されている領域にAlよりも大きい密度の金属または該金属を主成分とする合金からなる電極膜を形成してIDT電極4Aを形成し、第1絶縁物層上に残留しているレジストを除去し、第1絶縁物層2及びIDT電極4Aを被覆するように第2絶縁物層6を形成する、弾性表面波装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、例えば共振子や帯域フィルタなどに用いられる弾性表面波装置及びその製造方法に関し、より詳細には、IDT電極を被覆するように絶縁物層が形成されている構造を備えた弾性表面波装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
移動体通信システムに用いられるDPXやRFフィルタでは、広帯域かつ良好な温度特性の双方が満たされることが求められている。従来、DPXやRFフィルタに使用されてきた弾性表面波装置では、36°〜50°回転Y板X伝搬LiTaO3からなる圧電性基板が用いられている。この圧電性基板は、周波数温度係数が−40〜−30ppm/℃程度であった。温度特性を改善するために、圧電性基板上においてIDT電極を被覆するように正の周波数温度係数を有するSiO2膜を成膜する方法が知られている。図109にこの種の弾性表面波装置の製造方法の一例を示す。
【0003】
図109(a)に示すように、圧電性基板51上に、IDT電極が形成される部分を除いてレジストパターン52が形成される。次に、図109(b)に示すように、全面にIDT電極を形成するための電極膜53が形成される。しかる後、レジスト剥離液を用いて、レジスト52及びレジスト52上に付着している金属膜が除去される。このようにして、図109(c)に示すように、IDT電極53Aが形成される。次に、図109(d)に示すように、IDT電極53Aを被覆するように、SiO2膜54が成膜される。
【0004】
他方、上記周波数温度特性の改善とは別の目的で、弾性表面波装置のIDT電極を被覆するように絶縁性または反導電性の保護膜が形成されている弾性表面波装置の製造方法が下記特許文献1に開示されている。図110は、この先行技術に記載の表面波装置を示す模式的断面図である。弾性表面波装置61では、圧電基板62上に、AlまたはAlを主成分とする合金からなるIDT電極63が形成されている。IDT電極63の設けられている領域以外の領域には、絶縁性または反導電性の電極指間膜64が形成されている。また、IDT電極63及び電極指間膜64を被覆するように、絶縁性または反導電性の保護膜65が形成されている。この先行技術に記載の弾性表面波装置61では、上記電極指間膜64及び保護膜65が、SiO2などの絶縁物やシリコーンなどの反導電性材料により構成される旨が記載されている。ここでは、上記電極指間膜63の形成により、圧電基板61の有する焦電性に起因する電極指間の放電による特性の劣化が抑制されるとされている。
【0005】
他方、下記の特許文献2には、水晶またはニオブ酸リチウムからなる圧電基板上に、アルミニウムや金などの金属からなる電極が形成されており、さらにSiO2膜を形成した後、該SiO2膜を平坦化してなる1ポート型弾性表面波伝共振子が開示されている。ここでは、平坦化により良好な共振特性が得られるとされている。
【特許文献1】特開平11−186866号公報
【特許文献2】特開平6−258355号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
図109に示したように、従来の周波数温度特性を改善するためにSiO2膜を成膜してなる弾性表面波装置の製造方法では、IDT電極53Aが存在する部分と、存在しない部分とで、SiO2膜54の表面の高さが異なることになる。従って、上記SiO2膜54表面の凹凸の存在により、挿入損失が劣化するという問題があった。また、IDT電極の膜厚が大きくなるにつれて、この凹凸は大きくなる。従って、IDT電極の膜厚を厚くすることができなかった。
【0007】
他方、文献1に記載の弾性表面波装置では、IDT電極63の電極指間に電極指間膜64が形成された後に、保護膜65が形成されている。従って、保護膜65の表面を平坦化することができる。
【0008】
しかしながら、文献1に記載の構成では、IDT電極63はAlまたはAlを主成分とする合金により構成されていた。このIDT電極63に接するように電極指間膜64が形成されていたが、IDT電極63において十分な反射係数を得ることができなかった。そのため、例えば共振特性などにリップルが生じがちであるという問題があった。
【0009】
さらに、文献1に記載の製造方法では、保護膜65を形成するに先だち、電極指間膜64上に形成されたレジストをレジスト剥離液を用いて除去しなければならないが、この際に、IDT電極63がレジスト剥離液で腐食される恐れがあった。従って、IDT電極を構成する金属として、腐食され易い金属を用いることができなかった。すなわち、IDT電極構成金属の種類に制約があった。
【0010】
他方、前述した特許文献2に記載の1ポート型弾性表面波共振子では、圧電基板として水晶またはニオブ酸リチウムを用いること、電極がアルミニウムまたは金などからなることが示されているものの、具体的な実施例では、水晶基板上にAlからなる電極を形成した例のみが示されている。すなわち、他の基板材料や他の金属材料を用いた弾性表面波装置については特に言及されていない。
【0011】
本発明の目的は、上述した従来技術の現状に鑑み、IDT電極の電極指間及びIDT電極上に絶縁物層が形成されている弾性表面波装置及びその製造方法であって、IDT電極の反射係数が十分に大きく、共振特性などに表れるリップルによる特性の劣化が生じ難く、従って、良好な共振特性やフィルタ特性を有する弾性表面波装置及びその製造方法を提供することにある。
【0012】
本発明の他の目的は、IDT電極の反射係数が十分に大きく良好な特性を有するだけでなく、IDT電極を構成する金属材料の選択の制約が少なく、IDT電極の腐食による悪影響が生じ難い弾性表面波装置及びその製造方法を提供することにある。
【0013】
本発明のさらに他の目的は、IDT電極の反射係数が十分に大きく、良好な特性を有し、かつIDT電極の腐食による特性の劣化が生じ難いだけでなく、さらに周波数温度特性が良好な弾性表面波装置及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0014】
上述したように、特許文献2では、SiO2膜を平坦化することにより良好な共振特性が得られることが示されている。そこで、本願発明者らは、広帯域のフィルタを得るべく、圧電基板として、電気機械結合係数が大きなLiTaO3基板を用い、その他は特許文献2に記載の構造と同様にして1ポート型弾性表面波共振子を作製し、特性を調査した。すなわち、LiTaO3基板上に、Alからなる電極を形成し、SiO2膜を形成し、該SiO2膜の表面を平坦化した。しかしながら、SiO2膜を形成した後に、特性が大きく劣化し、実用し得るものではないことを見出した。
【0015】
電気機械結合係数が水晶に比べて大きいLiTaO3基板やLiNbO3基板を用いると、比帯域幅は格段に大きくなる。しかしながら、本願発明者らが詳細な検討を行った結果、図2及び図3に示すように、LiTaO3基板上にAlからなる電極を形成し、さらにSiO2膜を形成した場合、SiO2膜の表面を平坦化することにより、反射係数が0.02程度まで激減することがわかった。なお、図2及び図3は、オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上にアルミニウム、金または白金からなるIDT電極を種々の厚みで形成し、さらにSiO2膜を形成してなる弾性表面波装置の電極膜厚H/λと、反射係数との関係を示す図である。なお、図2及び図3における実線はSiO2膜の表面を図2及び図3中に模式的に示すように平坦化していない場合の反射係数の変化を示し、破線はSiO2膜の表面を平坦化した場合の反射係数の変化を示す。
【0016】
図2及び図3から明らかなように、従来のAlからなる電極を用いた場合には、SiO2膜の表面を平坦化することにより、電極膜厚の如何に関わらず反射係数は0.02程度まで激減することがわかる。このため、十分なストップバンドが得られなくなり、反共振周波数近傍に鋭いリップルが生じると考えられる。
【0017】
また、従来、反射係数は電極膜厚が増大するにつれて大きくなることが知られている。しかしながら、図2及び図3から明らかなように、Alからなる電極を用いた場合には、電極の膜厚を大きくしたとしても、SiO2膜の表面が平坦化された場合には、反射係数は増大しないことがわかる。
【0018】
これに対して、図2及び図3から明らかなように、AuやPtからなる電極を形成した場合には、SiO2膜の弾性表面波を平坦化した場合においても、電極の膜厚が増大するにつれて、反射係数が大きくなることがわかる。本願発明者らは、このような知見に基づき、種々検討した結果、本発明をなすに至ったものである。
【0019】
本願の第1の発明によれば、圧電性基板と、前記圧電性基板上に形成されており、Alよりも高密度の金属または該金属を主成分とする合金からなる少なくとも1つのIDT電極と、前記少なくとも1つのIDT電極が形成されている領域を除いた残りの領域において、前記IDT電極と略等しい膜厚に形成された第1絶縁物層と、前記IDT電極及び第1絶縁物層を被覆するように形成された第2絶縁物層とを備え、上記IDT電極の密度が、第1絶縁物層の密度の1.5倍以上とされている弾性表面波装置が提供される。第1の発明では、共振特性やフィルタ特性などに表れるリップルが帯域外に移動されると共に、リップルが抑圧される。従って、良好な特性を実現することができる。
【0020】
本願の第2の発明の広い局面によれば、圧電性基板と、前記圧電性基板上に形成された少なくとも1つのIDT電極と、前記IDT電極上に形成されており、かつIDT電極を構成する金属もしくは合金よりも耐腐食性に優れた金属もしくは合金からなる保護金属膜と、前記少なくとも1つのIDT電極が形成されている領域を除いた残りの領域において、前記IDT電極と保護金属膜との合計の膜厚と略等しい膜厚を有するように形成された第1絶縁物層と、前記保護金属膜及び第1絶縁物層を被覆するように形成された第2絶縁物層とを備える、弾性表面波装置が提供される。
【0021】
第2の発明のある特定の局面では、上記IDT電極及び保護金属膜からなる積層構造の平均密度が、第1絶縁物層の密度の1.5倍以上とされており、それによって共振特性やフィルタ特性上に表れる不要リップルが帯域外にシフトされ、かつ共振される。
【0022】
第1,第2の発明の他の特定の局面では、第1,第2の絶縁物層が同じ材料により形成される。また、好ましくは、第2の絶縁物層がSiO2により形成されている。
【0023】
第1,第2の発明のさらに他の特定の局面では、上記第1,第2の絶縁物層がSiO2により形成され、それによって周波数温度特性が良好な弾性表面波装置を提供することができる。
【0024】
第1,第2の発明に係る弾性表面波装置は、好ましくは、弾性表面波の反射を利用した弾性表面波装置である。弾性表面波の反射を利用する構造としては、特に限定されず、圧電性基板の対向2端面の反射を利用した端面反射型弾性表面波装置が構成されてもよく、あるいはIDTの弾性表面波伝搬方向外側に反射器を設けた弾性表面波装置であってもよい。
【0025】
第1,第2の発明に係る弾性表面波装置は、様々な弾性表面波共振子や弾性表面波フィルタに用いることができる。このような弾性表面波共振子は、1ポート型共振子であってもよく、2ポート型共振子であってもよく、また弾性表面波フィルタは、2ポート型共振子フィルタであってもよく、ラダー型フィルタまたはラチス型フィルタなどであってもよい。
【0026】
第1,第2の発明に係る弾性表面波装置のある特定の局面では、上記電極がIDT電極である。IDT電極は、一方向性電極であってもよく、それによって挿入損失を低減することができる。
【0027】
また、上記電極は反射器であってもよい。
【0028】
第1,第2の発明に係る弾性表面波装置のある特定の局面では、上記電極が、IDT電極及び反射器電極である。
【0029】
第1,第2の発明のある特定の局面では、前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,104°〜140°,0±3°)のLiTaO3基板であり、前記第1,第2の絶縁物層がSiO2より構成されており、第1,第2絶縁物層を構成しているSiO2膜の合計膜厚をHs、弾性表面波の波長をλとしたときに、Hs/λが0.03〜0.45の範囲とされており、前記電極の厚みをH、弾性表面波の波長をλとしたときに、電極の規格化膜厚H/λが、下記の式(1)を満たす値とされている。
【0030】
0.005≦H/λ≦0.00025×ρ2−0.01056×ρ+0.16473(但し、ρは電極の平均密度) …式(1)
前述したように、第1の発明では、電極を構成する金属として、金属が用いられる。このような金属としては、Au、Ag、Cu、W、Ta、Pt、NiまたはMoなどが挙げられる。
【0031】
本発明においては、後述するように、これらの金属もしくはこれらの金属を主体とする合金、あるいはこれらの金属もしくは合金からなる主たる金属膜と、他の金属からなる少なくとも1層の金属膜との従たる積層膜により電極が構成されてもよい。この場合、金属の種類に応じて電極の規格化膜厚H/λ及び圧電性基板のオイラー角及び第1,第2の絶縁物層をSiO2膜から構成した場合の該SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λが特定の範囲とされ、電気機械結合係数及び反射係数を高めることができ、かつ良好な周波数温度特性を実現することができる。また、上記各範囲を選択することにより、減衰定数の低下も図ることができる。
【0032】
本願の第3の発明は、第1の発明に係る弾性表面波装置の製造方法であって、圧電性基板を用意する工程と、前記圧電性基板の片面の全面に第1絶縁物層を形成する工程と、少なくとも1つのIDT電極を有する電極パターンを形成するためのレジストパターンを用いて前記IDT電極が形成される部分の第1絶縁物層を除去するとともに、残りの領域に第1絶縁物層とレジストとの積層構造を残留させる工程と、前記第1絶縁物層が除去されている領域に、Alよりも高密度の金属または該金属を主成分とする合金からなる電極膜を第1絶縁物層と略等しい厚みに形成して少なくとも1つのIDT電極を形成する工程と、前記第1絶縁物層上に残留しているレジストを除去する工程と、前記第1絶縁物層及びIDT電極上を被覆するように第2絶縁物層を形成する工程とを備えることを特徴とする。
【0033】
第3の発明に係る弾性表面波装置の製造方法においても、好ましくは、上記IDT電極を構成する金属もしくは合金の密度は、第1絶縁物層の密度の1.5倍以上とされ、共振特性やフィルタ特性上に表れる不要リップルが帯域外にシフトされ、かつ共振される。
【0034】
本願の第4の発明は、弾性表面波装置の製造方法であって、第2の発明に係る弾性表面波装置を得るためのものである。第4の発明は、圧電性基板を用意する工程と、前記圧電性基板の片面の全面において第1絶縁物層を形成する工程と、少なくとも1つのIDT電極パターンを形成するためのレジストパターンを用いて前記電極が形成される部分の領域の第1絶縁物層を除去し、残りの領域に第1絶縁物層とレジストとの積層構造を残留させる工程と、前記第1絶縁物層が除去されている領域に、IDT電極を形成するための金属もしくは合金膜を形成して、IDT電極を形成する工程と、前記IDT電極を形成した後に、該IDT電極を構成する金属もしくは合金よりも耐腐食性に優れた金属もしくは合金からなる保護金属膜を該IDT電極の全面に形成して前記保護金属膜を前記第1絶縁物層の高さと略等しい高さに形成する工程と、前記第1絶縁物層上のレジスト及び該レジスト上に積層されている保護金属膜を除去する工程と、前記IDT電極上に形成された保護金属膜及び前記第1絶縁物層を覆うように、第2絶縁物層を形成する工程とを備えることを特徴とする。
【0035】
第4の発明においても、第2の発明と同様に、IDT電極及び保護金属膜からなる積層構造の平均密度は、好ましくは、第1絶縁物層の密度の1.5倍以上とされ、共振特性やフィルタ特性上に表れる不要リップルが帯域外にシフトされ、かつ共振される。
【0036】
本願の第5の発明は、圧電性基板を用意する工程と、前記圧電性基板上に電極を形成する工程と、前記電極を覆うように絶縁物層を形成する工程と、前記電極が存在する部分と存在しない部分の上方における絶縁物層の凹凸を平坦化する工程とを備える、弾性表面波装置の製造方法である。
【0037】
第5の発明においては、好ましくは、上記平坦化工程は、エッチバック、逆スパッタまたは研磨により行われる。
【発明の効果】
【0038】
第1の発明に係る弾性表面波装置では、IDT電極が形成されている領域を除いた残りの領域において、IDT電極と略等しい膜厚に形成された第1の絶縁物層が設けられており、IDT電極及び第1絶縁物層を被覆するように第2絶縁物層が設けられている構成において、IDT電極が第1絶縁物層の密度よりも高密度の金属または該金属を主成分とする合金からなるため、IDT電極の反射係数を十分な大きさとすることができる。従って、所望でないリップルによる特性の劣化が生じ難い、周波数温度特性の良好な弾性表面波装置を提供することができる。
【0039】
加えて、IDT電極と第1絶縁物層が略等しい膜厚とされており、IDT電極及び第1絶縁物層を被覆するように第2絶縁物層が積層されているため、第2絶縁物層の外表面を平坦化することができ、それによって第2絶縁物層表面の凹凸による特性の劣化も生じ難い。
【0040】
第2の発明に係る弾性表面波装置では、IDT電極が形成されている領域を除いた残りの領域にIDT電極とほぼ等しい膜厚の第1絶縁物層が設けられており、IDT電極上に、IDT電極を構成する金属もしくは合金よりも耐腐食性に優れた金属もしくは合金からなる保護金属膜が設けられており、保護金属膜及び第1絶縁物層上を被覆するように第2絶縁物層が形成されている。従って、IDT電極が保護金属層及び第1絶縁物層により覆われているため、フォトリソグラフィー技術によりレジストを剥離する際のレジスト剥離液によるIDT電極の腐食が生じ難い。よって、Cuなどのレジスト剥離液により腐食され易いが、密度がAlに比べて十分大きな金属もしくは合金を用いて、IDT電極を構成することができ、弾性表面波装置の特性の劣化を効果的に抑制することができる。
【0041】
第1,第2の発明において、第1,第2の絶縁物層がSiO2により構成されている場合には、本発明に従って、周波数温度特性TCFが改善された弾性表面波装置を提供することができる。
【0042】
IDT電極がCuまたはCuを主成分とする合金からなる場合には、従来から弾性表面波装置の電極材料として汎用されてきたAlに比べて密度が大きいため、第1,第2の発明に従った弾性表面波装置を容易に構成することができ、かつ十分な反射係数のIDT電極を容易に形成することができる。
【0043】
第3の発明に係る製造方法では、圧電性基板2に第1絶縁物層を形成した後に、レジストパターンを用いてIDT電極が形成される部分の絶縁物層が除去され、残りの領域に第1絶縁物層とレジストとの積層構造が残留され、次に、第1絶縁物層が除去されている領域にAlよりも高密度の金属または該金属を主成分とする電極膜を形成することによりIDT電極が形成され、しかる後、第1絶縁物層上に残留しているレジストが除去される。そして、第1絶縁物層及びIDT電極上を被覆するように第2絶縁物層が形成されるため、第2絶縁物層上面の凹凸が生じ難い。従って、第2の絶縁物層表面の凹凸による特性の劣化が生じ難い。加えて、IDT電極がAlよりも高密度の金属または該金属を主成分とする合金からなるため、IDT電極の反射係数が高められ、所望でないリップルによる特性の劣化を抑制することができる。
【0044】
また、第4の発明によれば、IDT電極を形成した後に、IDT電極を構成する金属もしくは合金よりも耐腐食性に優れた金属もしくは合金からなる保護金属膜が形成され、しかる後、第1絶縁物層上のレジスト及び該レジスト上に積層されている保護金属膜が除去される。従って、レジスト剥離液によりこの除去工程を行うに際し、IDT電極の側面が第1絶縁物層により、上面が保護金属層により覆われているため、IDT電極の腐食が生じ難い。
【0045】
従って、IDT電極の腐食を引き起こすことなく、第2の発明に係る弾性表面波装置を提供することが可能となる。
【0046】
第5の発明によれば、圧電基板上に電極を形成し、該電極を覆うように絶縁物層を形成した後に、電極が存在する部分と存在しない部分の上方における絶縁物層の表面の凹凸が平坦化される。従って、第1の発明と同様に、絶縁物層表面の凹凸による特性の劣化が生じ難い。
【発明を実施するための最良の形態】
【0047】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施例を説明することにより、本発明を明らかにする。
【0048】
図1及び図6を参照して、本発明の第1の実施例に係る弾性表面波装置の製造方法を説明する。
【0049】
図1(a)に示すように、まず、圧電性基板として、LiTaO3基板1を用意する。本実施例では、36°Y板X伝搬、オイラー角で(0°,126°,0°)のLiTaO3基板が用いられる。もっとも、圧電性基板としては、他の結晶方位のLiTaO3基板を用いてもよく、あるいは他の圧電単結晶からなるものを用いてもよい。また、絶縁性基板上に圧電性薄膜を積層してなる圧電性基板を用いてもよい。なお、オイラー角(φ,θ,ψ)のθ=カット角+90°の関係がある。
【0050】
LiTaO3基板1上に、全面に第1絶縁物層2を形成する。本実施例では、第1絶縁物層2は、SiO2膜により形成されている。
【0051】
第1絶縁物層2の形成方法は、印刷、蒸着、またはスパッタリングなどの適宜の方法により行われ得る。また、第1絶縁物層2の厚みは、後で形成されるIDT電極の厚みと等しくされている。
【0052】
次に、図1(b)に示すように、フォトリソグラフィー技術を用いて、レジストパターン3を形成する。レジストパターン3では、IDTが形成される領域を除いてレジストが位置するようにレジストパターン3が構成されている。
【0053】
次に、図1(c)に矢印で示すようにイオンビームを照射する反応性イオンエッチング法(RIE)などにより、第1絶縁物層2の内、レジスト3の下方に位置している部分を除いた残りの部分を除去する。
【0054】
フッ素系のガスによるRIEによってSiO2をエッチングした場合、重合反応により残渣が生じる場合がある。この場合、RIEを行った後、BHF(バッファードフッ酸)等により処理することで対応できる。
【0055】
しかる後、Cu膜とTi膜を、第1絶縁物層2と等しい厚みに成膜する。図1(d)に示すように、第1絶縁物層2が除去されている領域、すなわちIDTが形成される領域にCu膜4が付与され、同時にレジストパターン3上にもCu膜4が付与される。次に、全面保護金属膜としてTi膜5を形成する。図1(e)に示すように、Ti膜5は、IDT電極4Aの上面と、レジストパターン3上のCu膜4上に付与されることになる。従って、IDT電極4Aは、側面が第1絶縁物層2で被覆され、上面がTi膜5により被覆されている。このようにして、IDT電極4Aと保護金属膜とが形成され、IDT電極4Aの厚みと保護金属膜としてのTi膜5の厚みの合計の厚みと第1絶縁物層2の厚みとが同じ厚みを有するように構成される。
【0056】
しかる後、レジスト剥離液を用い、レジストパターン3を除去する。このようにして、図1(f)に示すように、第1絶縁物層2が設けられている領域を除いた残りの領域にIDT電極4Aが形成されており、IDT電極4Aの上面がTi膜5により被覆されている構造が得られる。
【0057】
しかる後、図1(g)に示すように、全面に第2絶縁物層6としてSiO2膜を形成する。
【0058】
このようにして、図6に示す1ポート型の弾性表面波共振子11を得た。
【0059】
なお、図1(a)〜(g)では、IDT電極4Aが形成されている部分のみが抜き出されて説明された。しかしながら、図6に示されているように、弾性表面波共振子11は、IDT電極4Aの弾性表面波伝搬方向両側に反射器12,13を備えている。反射器12,13もまた、IDT電極4Aと同じ工程により形成される。
【0060】
上記実施例では、1ポート型弾性表面波共振子11が構成されているため、LiTaO3基板1上に、1個のIDT電極4Aが形成されていたが、弾性表面波装置の用途に応じて、複数のIDT電極が形成されてもよく、また上記のように反射器がIDTと同一工程により形成されてもよく、反射器が設けられずともよい。
【0061】
比較のために、図109に示した従来のSiO2膜を有する弾性表面波装置の製造方法に準じて、1ポート型弾性表面波共振子を作製した。もっとも、この比較例においても、基板材料としては、36°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,126°,0°))のLiTaO3基板を用い、IDT電極はCuにより形成した。図109に示した製造方法から明らかなように、IDT電極53Aが形成された後に、SiO2膜54が形成されるため、SiO2膜54の表面に凹凸が生じざるを得なかった。比較例において、CuからなるIDT電極の規格化膜厚h/λ(hはIDT電極の厚み、λは弾性表面波の波長)を0.042とし、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λ(HsはSiO2膜の厚み)を、0.11、0.22及び0.33とした場合のインピーダンス特性及び位相特性を図4に示す。図4から明らかなように、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λが大きくなるにつれて、反共振点におけるインピーダンスと共振点におけるインピーダンスとの比であるインピーダンス比が小さくなることがわかる。
【0062】
また、図5は、比較例で製作された弾性表面波共振子のSiO2膜の規格化膜厚Hs/λと、共振子のMF(Figure of Merit)との関係を示す。図5から明らかなように、SiO2膜の膜厚が厚くなるにつれて、MFが低下することがわかる。
【0063】
すなわち、図109に示した従来法に準じて、IDT電極及びSiO2膜を形成した場合、たとえCuによりIDT電極を形成したとしても、SiO2膜の膜厚が厚くなるにつれて、特性が大きく劣化した。これは、SiO2膜表面に前述した凹凸が生じざるを得ないことによると考えられる。
【0064】
これに対して、本実施例の製造方法によれば、SiO2膜の膜厚を増加させた場合でも特性の劣化が生じ難いこと、図7〜9に示す。
【0065】
図7は、上記実施例に従って弾性表面波共振子11を得た場合のSiO2膜の厚み、すなわち、第2絶縁物層6の厚みを変化させた場合のインピーダンス特性及び位相特性の変化示す図である。また、図8及び図9の破線は、それぞれ、実施例においてSiO2膜の膜厚Hs/λを変化させた場合の共振子のγ及びMFの変化を示す図である。
【0066】
なお、図8及び図9においては、上記比較例の結果を、実線で示す。
【0067】
図7を、図4と比較すれば明らかなように、上記実施例では、比較例の場合に比べて、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λを増加させても、インピーダンスの低下が生じ難いことがわかる。
【0068】
また、図8及び図9の結果から明らかなように、比較例に比べて、実施例の製造方法によれば、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λの増加に伴う特性の劣化が抑制されることがわかる。
【0069】
すなわち、本実施例の製造方法によれば、上記のようにSiO2膜の膜厚を増加させた場合であっても、インピーダンス比の低下が生じ難く、特性の劣化を抑制することができる。
【0070】
他方、図10は、SiO2膜の膜厚と、比較例及び実施例の製造方法で得られた弾性表面波共振子の周波数温度特性TCFとの関係を示す図である。
【0071】
図10において、実線が比較例、破線が実施例の結果を示す。
【0072】
図10から明らかなように、実施例の製造方法によれば、SiO2膜の膜厚を増加させた場合に、周波数温度特性TCFを膜厚増に応じて理想的に改善し得ることがわかる。
【0073】
従って、上記実施例の製造方法を採用することにより、特性の劣化が生じ難く、温度特性を効果的に改善し得る弾性表面波共振子を提供し得ることがわかる。
【0074】
加えて、本実施例の製造方法では、IDT電極は、Alよりも高密度のCuにより構成されている。従って、IDT電極4Aは十分な反射係数を有し、共振特性上に表れる所望でないリップルを抑制することができる。これを、以下において説明する。
【0075】
Cuに代えてAl膜を用いたことを除いては、上記実施例と同様にして第2の比較例の弾性表面波共振子を作製した。但し、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λは0.08とした。すなわち、第1の絶縁物層の厚みの規格化膜厚を0.08とした。このようにして得られた弾性表面波共振子のインピーダンス及び位相特性を図11に実線で示す。
【0076】
また、SiO2膜を形成しなかったことを除いては、第2の比較例と同様にして構成された弾性表面波共振子のインピーダンス及び位相特性を図11に破線で示す。
【0077】
図11の実線から明らかなように、上記実施例の製造方法に従ったとしても、IDT電極をAlで形成し、かつSiO2膜を形成した場合には、図11の矢印Aで示す大きなリップルが共振点と反共振点との間において表れることがわかる。また、このようなリップルは、SiO2を有しない弾性表面波共振子では表れていないことがわかる。
【0078】
従って、SiO2膜の形成により周波数温度特性の改善等を図ろうとしても、AlによりIDT電極を形成した場合には、上記リップルAが表れ、特性の劣化を引き起こすことがわかる。本願発明者は、この点につきさらに検討した結果、IDT電極として、Alよりも高密度の金属を用いれば、IDT電極の反射係数を高めることができ、それによって上記リップルAを抑制し得ることを見出した。
【0079】
すなわち、上記実施例と同様の製造方法に従って、但し、IDT電極4を構成する金属の密度を種々異ならせ、上記実施例と同様にして弾性表面波共振子を作製した。このようにして得られた弾性表面波共振子のインピーダンス特性を図12(a)〜(e)に示す。図12(a)〜(e)は、それぞれ、IDT電極及び保護金属膜の積層構造の平均密度ρ1の第1絶縁物層の密度ρ2に対する比ρ1/ρ2が、2.5、2.0、1.5、1.2及び1.0の場合の結果を示す。
【0080】
図12(a)〜(e)から明らかなように、図12(a)〜(c)では、上記リップルAが帯域外にシフトされ、さらに図12(a)では、上記リップルAが著しく抑圧されていることがわかる。
【0081】
従って、図12の結果から、IDT電極及び保護金属膜の積層構造の第1絶縁物層に対する密度比を1.5倍以上とすれば、上記リップルAを共振周波数−反共振周波数の帯域の外側にシフトさせ、良好な特性の得られることがわかる。また、より好ましくは、上記密度比を2.5倍以上とすれば、リップル自体を小さくし得ることがわかる。
【0082】
図12(a)〜(e)では、上記実施例に従って、IDT電極4A上に、Ti膜が積層されていたため、上記平均密度が用いられたが、本発明においては、IDT電極4A上に、保護金属膜が設けられずともよい。その場合には、IDT電極4Aの厚みを第1の絶縁物層の厚みと同じにして、IDT電極の密度の第1絶縁物層の密度に対する比を1.5倍以上とすることが好ましく、より好ましくは2.5倍以上とすればよく、上記と同様の効果の得られることが確かめられた。
【0083】
従って、SiO2膜によりIDT電極を被覆してなる弾性表面波共振子において、IDT電極の密度あるいはIDT電極と保護金属膜との積層体の平均密度を、IDT電極の側方に位置する第1絶縁物層の密度よりも大きくすれば、IDT電極の反射係数を高めることができ、それによって共振点−反共振点間に表れる特性の劣化を抑制し得ることがわかる。
【0084】
なお、Alより高密度の金属もしくは合金としては、Cuの他、Ag,Auなどやこれらを主体とする合金が挙げられる。
【0085】
また、好ましくは、上記実施例のように、IDT電極上に、保護金属膜を積層した構造とすれば、図1(a)〜(g)に示した製造方法から明らかなように、レジストパターン3を剥離する際に、IDT電極4Aの側面が第1絶縁物層2により覆われており、かつ上面が保護金属膜6により覆われているため、IDT電極4Aの腐食を防止することができる。よって、より一層良好な特性を有する弾性表面波共振子を提供し得ることがわかる。
【0086】
さらに、SiO2以外のSiOxNyなどの他の温度特性改善効果のある絶縁性材料により第1,第2の絶縁物層を形成してもよい。また、第1,第2の絶縁物層は異なる絶縁性材料で構成されてもよく、上記のように等しい材料で構成されてもよい。
【0087】
図13は、オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みで様々な金属を用いてIDT電極を形成した場合のIDTの規格化膜厚H/λと、電気機械結合係数の関係を示す図である。
【0088】
図13から得られる、Alに比べて電気機械結合係数が大きくなる電極の規格化膜厚を各金属について調べたところ、図14に示す結果が得られた。すなわち、図14は、上記LiTaO3基板上に、様々な密度の金属からなるIDT電極を形成した場合に、上述したようにAlからなるIDT電極を形成した場合に比べて電気機械結合係数が大きくなる電極膜厚範囲を示す図である。
【0089】
図14において、各金属からなる電極の膜厚範囲のうち上限が、Alよりも電気機械結合係数が大きくなる範囲の限界値であり、各金属の電極膜厚範囲の下限は作製限界を示す。電気機械結合係数の大きな電極膜厚の範囲をy、密度をxとして上限を二次式で近似すると、y=0.00025x2−0.01056x+0.16473となる。
【0090】
従って、後述の各電極材料別の具体的な実施例の説明から明らかなように、14°〜50°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,104°〜140°,0°))のLiTaO3からなる圧電基板上に電極が形成されており、さらにSiO2膜は規格化膜厚Hs/λ0.03〜0.45の範囲で形成されている構造において、電極の規格化膜厚H/λが、
0.005≦H/λ≦0.00025×ρ2−0.01056×ρ+0.16473 …式(1)
を満たす場合、図14の結果から明らかなように電気機械結合係数を高めることができる。なお、ρは電極の平均密度を示す。
【0091】
本発明においては、電極は、上述したアルミニウムよりも密度の高い金属を用いて構成されていることを特徴とする。この場合、電極は、アルミニウムよりも密度の高い金属から構成されていてもよく、あるいはアルミニウムを主体とする合金で構成されていてもよい。また、アルミニウムもしくはアルミニウムを主成分とする合金からなる主たる金属膜と、該金属膜と異なる金属からなる従たる金属膜の積層構造で構成されていてもよい。積層膜により電極が構成されている場合、電極の平均密度をρ、主たる電極層の金属の密度をρ0とした場合、ρ0×0.7≦ρ≦ρ0×1.3を満足する平均密度であればよい。
【0092】
また、本発明においては、上記のように第2絶縁物層の表面が平坦化されるが、この平坦化とは、電極の膜厚の30%以下の凹凸を有するものであればよい。30%を超えると、平坦化による効果が十分に得られないことがある。
【0093】
さらに、上記のように第2絶縁物層の平坦化は、様々な方法で行われる。例えば、エッチバックによる平坦化方法、逆スパッタ効果による斜入射効果を利用した平坦化方法、絶縁物層表面を研磨する方法、あるいは電極を研磨する方法などが挙げられる。これらの方法は2種以上が併用されてもよい。これらの方法の詳細を、図102〜図105を説明する。
【0094】
図102(a)〜(c)は、エッチバック方法により絶縁物層表面を平坦化する方法である。まず、図102(a)に示すように、圧電性基板41上に、電極42が形成され、しかる後絶縁物層43が形成される。図102(b)に示すように、絶縁物層43上にレジスト44がスピンコーティング等により形成される。レジスト44の表面は平坦である。従って、この状態から、反応性イオンエッチングによりエッチングすることにより、すなわちエッチバックにより、SiO2などからなる絶縁物層43の表面を平坦化することができる(図102(c))。
【0095】
図103(a)〜(d)は、逆スパッタ法を説明するための各模式的断面図である。ここでは、圧電性基板41上に電極42が形成され、しかる後絶縁物層43が形成される。そして、アルゴンイオンなどをスパッタリングにより絶縁物層43の表面に照射する。このイオンは、基板41をスパッタするために用いられている。イオンが基板に衝突し、スパッタリングを行う場合、平坦な面に入射するよりも、斜めの面に入射する場合の方が大きなスパッタ効果が得られる。これは、斜入射効果として知られている。この効果により、絶縁物層43の表面が、図103(b)〜(d)に示すように、スパッタリングを進めるに従って平坦化される。
【0096】
図104(a)及び(b)は、絶縁物層を研磨することにより平坦化する方法を説明するための模式的断面図である。図104(a)に示すように、基板41上に、電極42及び絶縁物層43を形成した後、機械的または化学的に研磨することにより、絶縁物層43の表面を平坦化することができる。
【0097】
図105(a)〜(c)は、電極を研磨することにより平坦化を図る方法である。ここでは、図105(a)に示すように、基板41上に、第1絶縁物層45を形成した後、電極材料からなる金属膜42Aを全面に蒸着等により形成される。しかる後、図105(b)に示すように、金属膜42Aを機械的または化学的に研磨することにより、電極42と、電極42が設けられている領域の周囲の領域に形成された第1絶縁物層45を形成する。このようにして、第1絶縁物層45及び電極42の上面が面一とされ、平坦化される。しかる後、図105(c)に示すように、第2絶縁物46を形成することにより、表面が平坦な絶縁物層を形成することができる。
【0098】
本発明は、様々な弾性表面波装置に適用することができる。このような弾性表面波装置の例を、図106(a),(b)〜図108に示す。図106(a)及び(b)は、それぞれ、1ポート型弾性表面波共振子47及び2ポート型弾性表面波共振子48の電極構造を示す模式的平面図である。また、図106(b)に示す2ポート型弾性表面波共振子48と同じ電極構造を用いて2ポート型弾性表面波共振子フィルタを構成してもよい。
【0099】
さらに、図107及び図108は、それぞれ、ラダー型フィルタ及びラチス型フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。図107及び図108に示すラダー型フィルタ49a及びラチス型フィルタ49bのような電極構造を圧電性基板上に形成することにより、本発明に従ってラダー型フィルタ及びラチス型フィルタを構成することができる。
【0100】
もっとも、本発明は、図106及び図107に示した電極構造を有する弾性表面波装置に限らず、様々な弾性表面波装置に適用することができる。
【0101】
また、本発明に係る弾性表面波装置では、好ましくは、漏洩弾性波を用いた弾性表面波装置が構成される。特開平6−164306号公報には、Auなどの重い金属からなる電極を有する弾性表面波装置であって、伝搬減衰がないラブ波を用いた弾性表面波装置が開示されている。ここでは、重い金属を電極として用いることにより、伝搬する弾性表面波の音速が基板の遅い横波バルク波よりも遅くされ、それによって漏洩成分がなくなり、非漏洩の弾性表面波としてのラブ波が利用されている。
【0102】
しかしながら、上記ラブ波では、音速が必然的に遅くなり、それに伴ってIDTのピッチが小さくならざるを得ない。従って、加工の難易度が高くなり、加工精度が劣化する。加えて、IDTの線幅も小さくなり、抵抗による損失も増大する。従って、損失が大きくならざるを得ない。
【0103】
これに対して、本発明では、上記のようなラブ波を用いた弾性表面波装置とは異なり、Alよりも重い金属からなる電極を用いているにも関わらず、音速の速い漏洩弾性表面波を好適に利用することができ、その場合であっても伝搬損失の低減を図ることができる。従って、低損失の弾性表面波装置を構成することができる。
【0104】
以下、上述した結果をふまえて、電極をAlよりも密度の大きい金属で構成した場合の個々の例につき、金属材料ごとに説明を行うこととする。
【0105】
なお、本発明で用いられるAlよりも密度の大きい金属とは、(1)密度15000〜23000kg/m3及びヤング率0.5×1011〜1.0×1011N/m2あるいは横波音速が1000〜2000m/sである金属、例えばAu、(2)密度5000〜15000kg/m3及びヤング率0.5×1011〜1.0×1011N/m2あるいは横波音速が1000〜2000m/sである金属、例えばAg、(3)密度5000〜15000kg/m3及びヤング率1.0×1011〜2.05×1011N/m2あるいは横波音速が2000〜2800m/sである金属、例えばCu、(4)密度15000〜23000kg/m3及びヤング率2.0×1011〜4.5×1011N/m2あるいは横波音速が2800〜3500m/sである金属、例えばタングステン、(5)密度15000〜23000kg/m3及びヤング率1.0×1011〜2.0×1011N/m2あるいは横波音速が2000〜2800m/sである金属、例えばタンタル、(6)密度15000〜23000kg/m3及びヤング率1.0×1011〜2.0×1011N/m2あるいは横波音速が1000〜2000m/sである金属、例えば白金、(7)密度5000〜15000kg/m3及びヤング率2.0×1011〜4.5×1011N/m2あるいは横波音速が2800〜3500m/sである金属、例えばNi,Moが挙げられる。
【0106】
〔電極がAuを主体とする実施例〕
図15は、本発明の他の実施例に係る弾性表面波装置としての縦結合共振子フィルタを説明するための平面図である。
【0107】
弾性表面波装置21は、LiTaO3基板22の上面に、IDT23a,23b及び反射器24a,24bを形成した構造を有する。また、IDT23a,23b及び反射器24a,24bを覆うようにSiO2膜15が形成されている。なお、LiTaO3基板22としては、25°〜58°回転Y板X伝搬(オイラー角(0°,115°〜148°,0°))LiTaO3基板が用いられる。この範囲外のカット角の回転Y板X伝搬LiTaO3基板では、減衰定数が大きく、TCFも悪化する。
【0108】
IDT23a,23b及び反射器24a,24bは、Alに比べて密度の高い金属により構成される。このような金属としては、Au、Pt、W、Ta、Ag、Mo、Cu、Ni、Co、Cr、Fe、Mn、Zn及びTiからなる群から選択された少なくとも1種の金属または該少なくともその1種を主成分とする合金が挙げられる。
【0109】
上記のように、Alに比べて密度の高い金属によりIDT23a,23b及び反射器24a,24bが構成されているため、IDT23a,23b及び反射器24a,24bの膜厚をAlを用いた場合に比べて薄くした場合であっても、図16、図17に示すように、電気機械結合係数及び反射係数を高めることができる。
【0110】
そして、上記のように電極膜厚を薄くすることができる。SiO2膜25の厚みについては、後述の実験例から明らかなように、弾性表面波の波長で規格化された膜厚Hs/λが0.03〜0.45の範囲であることが好ましい。なお、Hsは第1,第2絶縁物層をSiO2で構成した場合の合計の厚み、λは弾性表面波の波長を示す。この範囲にすることで、SiO2膜がない場合より減衰定数を大幅に小さくすることができ、低ロス化が可能となる。
【0111】
IDTを構成する材料によっても異なるが、例えばAu膜からなる場合、IDT23a,23bの弾性表面波の波長で規格化された膜厚は0.013〜0.030が好ましい。Au膜が薄いと、IDTが引き回り抵抗をもつので、より好ましくは0.021〜0.03が好ましい。
【0112】
本発明の係る弾性表面波装置では、上記のように、LiTaO3基板22上にAlよりも密度の大きい金属によりIDT23a,23bが構成されており、該IDT23a,23bの電極膜厚を薄くすることができる。よって、良好な特性を有し、かつSiO2膜25の形成により良好な周波数温度特性が実現される。これを、具体的な例に基づき説明する。
【0113】
36°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に、AlからなるIDTを形成した場合、及びAu、Ta、Ag、Cr、W、Cu、Zn、Mo、NiからなるIDTの種々の膜厚で形成した場合の電気機械結合係数Ksaw及び減衰定数(α)と反射係数|ref|の変化を図16,図18及び図17にそれぞれ示す。なお、数値計算はJ.J.Champbell and W.R.Jones:IEEE Trans.Sonic&Ultrason.SU-15.p209(1968)の方法に従い、電極は全面一様として計算を行った。
【0114】
図16から明らかなように、AlからなるIDTにおいて、規格化された膜厚H/λが0.10の場合、電気機械結合係数Ksawは約0.27である。なお、Hは厚み、λは弾性表面波の波長を示す。これに対して、Au、Ta、Ag、Cr、W、Cu、Zn、Mo、NiからなるIDTではH/λを0.013〜0.035の範囲とした場合、より大きな電気機械結合係数Ksawを実現することができる。しかしながら、図18から明らかなように、膜厚H/λの如何に関わらず、AlからなるIDTでは減衰定数αがほぼ0であるのに対し、Au、Ta、Ag、Cr、W、Cu、Zn、Mo、NiからなるIDTでは、減衰定数が非常に大きくなる。
【0115】
図25は、オイラー角で(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、AuからなるIDT及びSiO2膜を形成した構造における、θと、電気機械結合係数との関係を示す図である。ここでは、AuからなるIDTの規格化膜厚を、0.022、0.025及び0.030とした場合、並びにSiO2膜の規格化膜厚Hs/λを、0.00(SiO2膜を成膜せず)、0.10、0.20、0.30及び0.45と変化させた。
【0116】
図25から明らかなように、SiO2膜が厚くなるに連れて、電気機械結合係数Ksawが小さくなることがわかる。また、後述するように、SiO2膜による特性の劣化を抑制するために、IDTの膜厚を薄くした場合を考えてみる。前述の図16から明らかなように、従来のAlからなるIDTにおいて規格化膜厚を0.04まで薄くした場合、SiO2膜が形成されていない場合でも、電気機械結合係数Ksawは0.245と小さくなる。また、AlからなるIDTの規格化膜厚を0.04とし、SiO2膜を形成した場合には、電気機械結合係数Ksawはさらに小さくなり、実用上広帯域化が困難となる。
【0117】
これに対して、図25から明らかなように、AuからなるIDTを形成し、SiO2膜を形成した構造では、オイラー角のθを128.5°以下とすることにより、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λを0.45程度とした場合であっても、電気機械結合係数Ksawは0.245以上となることがわかる。また、規格化膜厚が0.30程度のSiO2膜を形成した場合には、オイラー角のθを132°以下とすることにより、電気機械結合係数Ksawを0.245以上とすることができる。なお、後述するように、オイラー角のθが115°よりも小さい場合には、減衰定数が大きくなり、実用的ではない。従って、25°〜42°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0±3°,115°〜132°,0±3°))、より好ましくは25°〜38.5°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0±3°,115°〜128.5°,0±3°))のLiTaO3基板を用いることが好適であることがわかる。
【0118】
他方、36°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,126°,0°)のLiTaO3基板の周波数温度特性(TCF)は−30〜−40ppm/℃であり、十分ではない。この周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲内となるように改善するために、36°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に、AuからなるIDTを形成し、さらにSiO2膜を種々の膜厚で形成した場合の周波数温度特性の変化を図19に示す。なお、図19において、○は理論値を示し、×は実験値を示す。ここでは、AuからなるIDTの規格化膜厚はH/λ=0.020である。
【0119】
図19から明らかなように、SiO2膜の形成により、周波数温度特性が改善されることがわかる。特に、SiO2膜の規格化された膜厚Hs/λが0.25の近傍の場合、TCFが0となり好ましいことがわかる。
【0120】
また、回転Y板X伝搬LiTaO3基板として、カット角が36°(オイラー角で(0°,126°,0°))及び38°(オイラー角で(0°,128°,0°))の2種類のオイラー角のLiTaO3基板を用い、AuからなるIDTの膜厚及びSiO2膜の膜厚を種々変化させた場合の減衰定数αの変化を数値解析した。結果を図20及び図21に示す。なお、図20及び図21のAuの膜厚値はH/λである。図20及び図21から明らかなように、AuからなるIDTの膜厚の如何に関わらず、SiO2膜の膜厚を選択すれば、減衰定数αを小さくし得ることがわかる。すなわち、図20及び図21から明らかなように、SiO2膜の膜厚Hs/λを0.03〜0.45、より好ましくは0.10〜0.35の範囲とすれば、いずれかのオイラー角のLiTaO3基板及びいずれの膜厚のAuからなるIDTを形成した場合においても、減衰定数αが非常に小さくされ得ることがわかる。
【0121】
さらに、図17により、AuからなるIDTを用いると、薄い膜厚でもAlに比べて十分大きな反射係数が得られていることがわかる。
【0122】
従って、上記図16〜図21の結果から、LiTaO3基板上に膜厚H/λが0.013〜0.030のAuからなるIDTを形成した場合、SiO2膜の膜厚Hs/λを0.03〜0.45の範囲とすれば、大きな電気機械結合係数が得られるだけでなく、減衰定数αを非常に小さくし、かつ、十分な反射係数を得ることができることができる。
【0123】
上述した実施例において、カット角36°(オイラー角で(0°,126°,0°))のLiTaO3基板上に、H/λ=0.020の規格化膜厚のAuからなるIDTを形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.1のSiO2膜を形成してなる実施例の弾性表面波装置11の減衰量−周波数特性を図22に破線で示す。また、比較のために、該弾性表面波フィルタにおいて、SiO2膜を形成する前の構造の減衰量周波数特性を実線で示す。
【0124】
図22から明らかなように、SiO2膜の形成により電気機械結合係数が0.30から0.28に若干小さくなるにもかかわらず、挿入損失が改善されていることがわかる。従って、図22から明らかなように、SiO2膜を上記特定の範囲の厚みとすれば、減衰定数αが小さくなることが裏付けられる。
【0125】
本願発明者は、上述した知見に基づき、様々なオイラー角の回転Y板X伝搬LiTaO3基板上に、規格化膜厚が0.02であるAuからなるIDTを形成し、さらに様々な厚みのSiO2膜を形成して1ポート型弾性表面波共振子を試作した。この場合、SiO2膜の規格化膜厚は、0.10、0.20、0.30及び0.45とした。このようにして得られた各1ポート型弾性表面波共振子のQ値を測定した。結果を図26に示す。
【0126】
一般に、共振子のQ値が大きい程、フィルタとして用いた場合の通過帯域から減衰域にかけてのフィルタ特性の急峻性が高められる。従って、急峻なフィルタを必要とするときには、Q値は大きい方が望ましい。図26から明らかなように、SiO2膜の膜厚の如何に関わらず、カット角が48°回転Y板、オイラー角で(0°,138°,0°)付近でQ値が最大となり、カット角42°〜58°(オイラー角で(0°,132°〜148°,0°))の範囲でQ値が比較的大きいことがわかる。
【0127】
従って、図26から明らかなように、カット角42°〜58°回転Y板(オイラー角で(0°,132°〜148°,0°))のLiTaO3基板を用い、該LiTaO3基板上に、Auよりも密度の高い金属からなる少なくとも1つのIDTを形成し、さらにSiO2膜をIDTを覆うようにLiTaO3基板上に形成した構造とすることにより、大きなQ値を得ることができることがわかる。好ましくは、図26から明らかなように、カット角は46.5°〜53°回転Y板(オイラー角で(0°,136.5°〜143°,0°))とされる。
【0128】
なお、本発明においては、IDTの上面に密着層が形成されてもよい。すなわち、図27(a)に示すように、LiTaO3基板32上に、IDT33が形成されており、IDT33の上面に、密着層34が作製されていてもよい。密着層34は、IDT33とSiO2膜35との間に配置されている。密着層34は、SiO2膜35のIDT33に対する密着強度を高めるために設けられている。このような密着層34を構成する材料としては、PdまたはAl、あるいはこれらの合金が好適に用いられる。また、金属に限らず、ZnOなどの圧電材料や、Ta2O3もしくはAl2O3などの他のセラミックスを用いて密着層34を構成してもよい。密着層34の形成により、Alよりも密度が高い金属からなるIDT33とSiO2膜35との密着強度が高められ、それによってSiO2膜の膜剥がれが抑制される。
【0129】
密着層34の厚みは、弾性表面波全般への影響を与えないためには、弾性表面波の波長の1%程度以下の厚みとすることが望ましい。また、図27(a)では、IDT33の上面に密着層34が形成されていたが、図27(b)に示すように、LiTaO3基板上にSiO2膜35との界面にも密着層34Aを形成してもよい。さらに図27(c)に示すように、密着層34は、IDT33の上面だけでなく側面をも覆うように形成されてもよい。
【0130】
また、SiO2膜の密着強度を改善する他の構成として、IDT以外のバスバーや外部との接続用パッドを含む複数の電極において、該複数の電極を、それぞれ、IDTと同じ材料からなる下地金属層と、下地金属層上に積層されており、AlもしくはAl合金からなる上層金属層からなるものを用いてもよい。すなわち、例えば図15に示した反射器24a,24bを構成する電極膜として、IDT23a,23bと同じ材料からなる下地金属層と、該下地金属層上に、Al膜を積層してもよい。このように、AlやAl合金からなる上層金属層を設けることにより、SiO2膜との密着強度が高められる。また、電極コストを低減することもでき、さらにAlウェッジボンド性を高めることもできる。
【0131】
なお、上記IDT以外の電極としては、反射器、バスバー、外部との電極的接続用パッドだけでなく、必要に応じて形成される引き回し電極などが挙げられる。また、上記Al合金としては、特に限定されないが、Al−Ti合金、Al−Ni−Cr合金などが挙げられる。
【0132】
なお、上述した実験例の場合以外のオイラー角の回転Y板X伝搬LiTaO3基板を用いた場合においても、AuからなるIDTを形成した場合において、減衰定数αを最小とするSiO2膜の膜厚が存在することが本願発明者等により確かめられている。すなわち、SiO2膜の膜厚Hs/λを特定の範囲とすれば、上記実験例の場合と同様に、減衰定数αを小さくすることができる。一方、SiO2膜の膜厚Hs/λを0.1〜0.45としたときのオイラー角とαの関係を図28〜36に示す。これらの図からSiO2膜の膜厚が厚くなるに従い、αが極小となるオイラー角のθが小さくなることも明らかとなった。従って、他のオイラー角の回転Y板X伝搬LiTaO3基板を用いた場合であっても、AuからなるIDTを形成し、SiO2膜を積層した構造において、SiO2膜の厚みを選択することにより、従来の弾性表面波装置に比べて、周波数温度特性TCFが半分以下と良好であり、電気機械結合係数が大きく、かつ反射係数が大きな弾性表面波装置を構成することができる。このような効果を発現し得るLiTaO3基板のオイラー角と、AuからなるIDTの電極膜厚と、SiO2膜の膜厚の好ましい組み合わせは、以下の表16及び表17で示される通りであることが確かめられている。
【0133】
【表16】
【0134】
【表17】
【0135】
なお、オイラー角のθが所望の角度から−2°〜+4°ずれることがある。このずれは本願明細書における計算結果が基板の全面に金属膜を形成したものから計算されたものであるため、実際の弾性表面波装置では上記の範囲で誤差が発生することもある。
【0136】
本発明に係る弾性表面波装置の製造に際しては、回転Y板X伝搬LiTaO3基板上にAuを主成分とする金属からなるIDTを形成した後、その状態において周波数調整を行ない、しかる後減衰定数αを小さくし得る範囲の膜厚のSiO2膜を成膜することが望ましい。これを、図23及び図24を参照して説明する。図23は、36°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,126°,0°))LiTaO3基板上に、種々の膜厚のAuからなるIDT及び種々の膜厚のSiO2膜を形成した場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す。また、図24は、同じオイラー角のLiTaO3基板上に、種々の膜厚のAuからなるIDTを形成した場合、その上に形成されるSiO2膜の規格化膜厚を変化させた場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す。図23と図24を比較すれば明らかなように、Auの膜厚を変化させた場合の方が、SiO2膜の膜厚を変化させた場合よりも弾性表面波の音速の変化がはるかに大きい。従って、SiO2膜の形成に先立ち、周波数調整が、行われることが望ましく、例えば、レーザーエッチングやイオンエッチングなどによりAuからなるIDTを形成した後に周波数調整を行うことが望ましい。特に好ましくは、Auの規格化膜厚が、0.015〜0.03の範囲であれば、SiO2膜による音速の変化が小さくなり、SiO2膜のばらつきによる周波数変動を小さくすることができる。
【0137】
なお、オイラー角のθが所望の角度から−2°〜+4°ずれることがある。このずれは本願明細書における計算結果が基板の全面に金属膜を形成したものから計算されたものであるため、実際の弾性表面波装置では上記の範囲で誤差が発生することもある。
【0138】
また、製造の際、オイラー角のφとψは0°から±3°ばらつくが、特性は0°のものとほぼ同じ特性が得られた。
【0139】
〔電極材料がAgの実施例〕
本実施例の弾性表面波装置は、前述した図15に示した弾性表面波装置21と同様である。もっとも、本実施例では、IDT23a,23bがAgにより構成されている。
【0140】
後述するように、IDT23a,23bがAgからなる場合には、IDT23a,23bの弾性表面波の波長で規格化された膜厚H/λは0.01〜0.08が好ましい。
【0141】
本発明の係る弾性表面波装置では、上記のように、LiTaO3基板22上にAgによりIDT23a,23bが構成されており、該IDT23a,23bの電極膜厚を薄くすることができる。オイラー角のLiTaO3基板を用いるため減衰定数を大幅に小さくすることができ、低ロス化が可能となる。また、SiO2膜25の形成により、良好な周波数温度特性が実現される。これを、具体的な実験例に基づき説明する。
【0142】
LiTaO3基板を伝わる弾性表面波には、レイリー波の他に漏洩弾性表面波(LSAW)がある。漏洩弾性表面波は、レイリー波に比べて音速が早く、電気機械結合係数が大きいが、エネルギーを基板内に放射しつつ伝搬する。従って、漏洩弾性表面波は、伝搬ロスの原因となる減衰定数を有する。
【0143】
図36は、36°回転Y板X伝搬LiTaO3基板(オイラー角で(0°,126°,0°))上に、AgからなるIDTを形成した場合のAg膜の規格化膜厚H/λと、電気機械結合係数Ksawとの関係を示す。なお、λは、弾性表面波装置の中心周波数における波長を示すものとする。
【0144】
図36から明らかなように、Ag膜の膜厚H/λが0.01〜0.08の範囲において、電気機械結合係数Ksawが、Ag膜が形成されていない場合(H/λ=0)に比べて1.5倍以上となることがわかる。また、Ag膜の膜厚がH/λ=0.02〜0.06の範囲では、Ag膜が形成されていない場合に比べて、電気機械結合係数Ksawは1.7倍以上の値となり、Ag膜の膜厚H/λが0.03〜0.05の範囲では、Ag膜が形成されていない場合の1.8倍以上の値となることがわかる。
【0145】
Ag膜の規格化膜厚H/λが0.08を超えると、Ag膜からなるIDTの作製が困難となる。従って、大きな電気機械結合係数を得ることができ、かつIDTの作製が容易であるため、Ag膜からなるIDTの厚みは、0.01〜0.08の範囲であることが望ましく、より好ましくは0.02〜0.06、さらに好ましくは0.03〜0.05の範囲とされる。
【0146】
次に、LiTaO3基板上に、SiO2膜を成膜した場合の周波数温度係数TCFの変化を図37に示す。図37は、オイラー角(0°,113°,0°)、(0°,126°,0°)及び(0°,129°,0°)の3種類のLiTaO3基板上にSiO2膜が形成されている場合のSiO2膜の規格化膜厚Hs/λとTCFとの関係を示す。なお、ここでは電極は形成されていない。
【0147】
図37から明らかなように、θが113°、126°及び129°のいずれの場合においても、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λが0.15〜0.45の範囲において、TCFが−20〜+20ppm/℃の範囲となることがわかる。もっとも、SiO2膜の成膜には時間を要するため、SiO2膜の膜厚Hs/λは0.15〜0.40が望ましい。
【0148】
LiTaO3基板上にSiO2膜を成膜することにより、レイリー波などのTCFが改善されることは知られていたが、LiTaO3基板上に、Agからなる電極を形成し、さらにSiO2膜を積層した構造において、実際に、Agからなる電極の膜厚、SiO2の膜厚、オイラー角、及び漏洩弾性波の減衰定数を考慮して実験された報告はない。
【0149】
図38は、オイラー角(0°,120°,0°)のLiTaO3基板上に規格化膜厚H/λが0.10以下のAgからなる電極と、規格化膜厚Hs/λが0〜0.5のSiO2膜を形成した場合における減衰定数αの変化を示す。図38から明らかなように、SiO2膜の膜厚Hs/λが0.2〜0.40、Ag膜の膜厚H/λが0.01〜0.10である場合に減衰定数αが小さくなっていることがわかる。
【0150】
他方、図39は、(0°,140°,0°)のオイラー角のLiTaO3基板上には、規格化膜厚H/λが0〜0.10のAg膜を形成し、さらに、規格化膜厚Hs/λが0〜0.5のSiO2膜を形成した場合の減衰定数αの変化を示す。
【0151】
図39から明らかなように、オイラー角でθ=140°のLiTaO3基板を用いた場合には、Ag膜の膜厚が0.06以下においてSiO2膜の膜厚を上記のように変化させたとしても、減衰定数αは大きいことがわかる。
【0152】
すなわち、良好なTCF、大きな電気機械結合係数及び小さな減衰定数を実現するには、LiTaO3基板のカット角すなわちオイラー角と、SiO2膜の膜厚と、Agからなる電極の膜厚とをそれぞれ最適なように組み合わせることが必要となることがわかる。
【0153】
図40〜図47は、それぞれ、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λが、0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.35、0.4または0.45であり、規格化膜厚H/λが0.1以下のAg膜をLiTaO3基板上に形成した場合のθと減衰定数αとの関係を示す。
【0154】
図40〜図47から明らかなように、Ag膜の厚みH/λを0.01〜0.08とした場合、SiO2膜の厚みと、オイラー角のθとが、下記の表18に示すいずれかの組み合わせとなるように選択されれば、周波数温度特性TCFが良好であり、電気機械結合係数が大きく、かつ減衰定数αを効果的に抑制し得ることがわかる。望ましくは、下記の表18の右側のより好ましいオイラー角を選択することにより、より一層良好な特性を得ることができる。
【0155】
【表18】
【0156】
また、より好ましくは、Ag膜の規格化膜厚が0.02〜0.06の場合には、SiO2膜の厚みと、オイラー角のθとが、下記の表19に示すいずれかの組み合わせとなるように選択されれば、より一層好ましく、さらに望ましくは、下記の表19の右側のより好ましいオイラー角を選択することにより、より一層良好な特性を得ることができる。
【0157】
【表19】
【0158】
さらに好ましくは、Ag膜の規格化膜厚が0.03〜0.05のときに、SiO2膜の厚みと、オイラー角のθとが、下記の表20に示すいずれかの組み合わせとなるように選択されれば、より一層良好な特性を得ることができる。この場合においても、下記の表20の右側に示すより好ましいオイラー角を選択することにより、特性をより一層改善することができる。
【0159】
【表20】
【0160】
なお、本発明では、IDTはAgのみから構成されてもよいが、Agを主体とする限り、Ag合金やAgと他の金属との積層体で構成されてもよい。Agを主体とするIDTとは、IDTの全体の80重量%以上がAgであればよい。従って、Agの下地にAl薄膜やTi薄膜が形成されていてもよく、この場合においても、下地の薄膜とAgとの合計のうち80重量%以上がAgで構成されていればよい。
【0161】
上記実験では、オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板が用いられたが、基板材料のオイラー角において、φ及びψには0±3°のばらつきが通常発生する。このようなばらつきの範囲内、すなわち(0±3°,113°〜142°,0±3°)のLiTaO3基板においても、本発明の効果は得られる。
【0162】
なお、オイラー角のθが所望の角度から−2°〜+4°ずれることがある。このずれは本願明細書における計算結果が基板の全面に金属膜を形成したものから計算されたものであるため、実際の弾性表面波装置では上記の範囲で誤差が発生することもある。
【0163】
〔Cuを電極材料として用いた場合の実施例〕
Cuにより電極を形成したことを除いては、Auを用いた場合と同様に図15に示した弾性表面波装置を構成した。Alに比べて密度の高いCuにより電極が構成されているため、電気機械結合係数及び反射係数を高めることができる。
【0164】
図58は、SiO2膜の規格化膜厚が0.20の場合のCu電極とAl電極の電極膜一本あたりの反射率と、電極膜厚との関係を示す図である。
【0165】
図58に示すように、従来用いられているAlからなる電極に比べて、Cuからなる電極を用いた場合、電極指1本あたりの反射率が高められるため、反射器における電極指の本数も低減することができる。従って、反射器の小型化、ひいては弾性表面波装置の小型化を図ることができる。
【0166】
後述するように、IDT23a,23bの弾性表面波の波長で規格化された膜厚H/λは0.01〜0.08が好ましい。
【0167】
図48は、オイラー角(0°,120°,0°)のLiTaO3基板上に規格化膜厚H/λが0.10以下のCuからなる電極と、規格化膜厚Hs/λが0〜0.5のSiO2膜を形成した場合における減衰定数αの変化を示す。図48から明らかなように、SiO2膜の膜厚Hs/λが0.2〜0.40、Cu膜の膜厚H/λが0.01〜0.10である場合に減衰定数αが小さくなっていることがわかる。
【0168】
他方、図49は、(0°,135°,0°)のオイラー角のLiTaO3基板上には、規格化膜厚H/λが0〜0.10のCu膜を形成し、さらに、規格化膜厚Hs/λが0〜0.5のSiO2膜を形成した場合の減衰定数αの変化を示す。
【0169】
図49から明らかなように、θ=135°のLiTaO3基板を用いた場合には、Cu膜の膜厚及びSiO2膜の膜厚を上記のように変化させたとしても、減衰定数αは大きいことがわかる。
【0170】
すなわち、良好なTCF、大きな電気機械結合係数及び小さな減衰定数を実現するには、LiTaO3基板のカット角すなわちオイラー角と、SiO2膜の膜厚と、Cuからなる電極の膜厚とをそれぞれ最適なように組み合わせることが必要となることがわかる。
【0171】
図50〜図57は、それぞれ、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λが、0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.35、0.4または0.45であり、規格化膜厚H/λが0.08以下のCu膜をLiTaO3基板上に形成した場合のθと減衰定数αとの関係を示す。
【0172】
図50〜図57から明らかなように、Cu膜の厚みH/λを0.01〜0.08とした場合、SiO2膜の厚みと、オイラー角のθとが、下記の表21に示すように選択されれば、周波数温度特性TCFが±20ppm/℃の範囲内とされて良好であり、電気機械結合係数が大きく、かつ減衰定数αを効果的に抑制し得ることがわかる。望ましくは、下記の表21の右側のより好ましいオイラー角を選択することにより、より一層良好な特性を得ることができる。
【0173】
【表21】
【0174】
また、Auについての図25から推測されるように、オイラー角のθが125°以下になると、電気機械結合係数Ksawが著しく大きくなることがわかる。従って、より好ましくは、下記の表22に示すSiO2膜の規格化膜厚Hs/λとオイラー角との組み合わせが望ましいことがわかる。
【0175】
【表22】
【0176】
さらに、図48〜図56に示した結果から、減衰定数が0もしくは最小となるオイラー角、すなわちθminを、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λ及びCu膜の規格化膜厚H/λに対して求めた結果を、図59に示す。
【0177】
Cu膜の規格化膜厚H/λが、0、0.02、0.04、0.06及び0.08の場合の図59に示す各曲線を三次式で近似することにより、下記の式A〜Eが得られる。
(a)0<H/λ≦0.01のとき
θmin=−139.713×Hs3+43.07132×Hs2
−20.568011×Hs+125.8314…式A
(b)0.01<H/λ≦0.03のとき
θmin=−139.660×Hs3+46.02985×Hs2
−21.141500×hs+127.4181…式B
(c)0.03<H/λ≦0.05のとき
θmin=−139.607×Hs3+48.98838×Hs2
−21.714900×Hs+129.0048…式C
(d)0.05<H/λ≦0.07のとき
θmin=−112.068×Hs3+39.60355×Hs2
−21.186000×Hs+129.9397…式D
(e)0.07<H/λ≦0.09のとき
θmin=−126.954×Hs3+67.40488×Hs2
−29.432000×Hs+131.5686…式E
従って、好ましくは、オイラー角(0±3°,θ,0±3°)のθは、上述した式A〜式Eで示されるθminとされることが望ましいが、θmin−2°<θ≦θmin+2°であれば、減衰定数を効果的に小さくすることができる。
【0178】
なお、本発明ではIDTはCuのみから構成されてもよいが、Cuを主体とする限り、Cu合金やCuと他の金属との積層体で構成されてもよい。Cuを主体とするIDTとは、電極の平均密度をρ(平均)とすると
ρ(Cu)×0.7≦ρ(平均)≦ρ(Cu)×1.3
すなわち、
6.25g/cm3≦ρ(平均)≦11.6g/cm3
を満足するものであればよい。なお、Cuの上あるいは下に電極全体のρ(平均)が上記範囲となるように、Alよりも密度の大きいW、Ta、Au、Pt、AgまたはCrなどの金属からなる電極を積層してもよい。その場合にも、Cu電極単層の場合と同様の効果が得られる。
【0179】
なお、オイラー角のθが所望の角度から−2°〜+4°ずれることがある。このずれは本願明細書における計算結果が基板の全面に金属膜を形成したものから計算されたものであるため、実際の弾性表面波装置では上記の範囲で誤差が発生することもある。
【0180】
また、製造の際、オイラー角のφとψは0°から±3°ばらつくが、特性は0°のものとほぼ同じ特性が得られた。
【0181】
〔電極材料としてタングステンを用いた実施例〕
前述した実施例と同様に、図15に示した弾性表面波装置を構成した。但し、IDT及び反射器をタングステンにより構成した。IDTの規格化膜厚H/λは0.0025〜0.06の範囲とした。
【0182】
また、LiTaO3基板としては、22°〜48°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,112°〜138°,0°)のLiTaO3基板を用いた。
【0183】
本実施例では上記のように、22°〜48°回転Y板X伝搬LiTaO3からなる圧電基板22と、H/λ=0.0025〜0.06であるタングステンよりなるIDT3a,3bと、Hs/λ=0.10〜0.40の範囲にあるSiO2膜4とを用いているため、周波数温度係数TCFが小さく、電気機械結合係数Ksawが大きく、かつ伝搬損失が小さい弾性表面波装置を提供することができる。これを、以下の具体的な実験例に基づき説明する。
【0184】
図60及び図61は、オイラー角(0°,120°,0°)と、(0°,140°,0°)の各LiTaO3基板上に、種々の膜厚のタングステンからなるIDTと、種々の膜厚のSiO2膜とを形成した場合の減衰定数を示す図である。
【0185】
図60から明らかなように、θ=120°では、SiO2の膜厚Hs/λが0.1〜0.40かつタングステンよりなる電極の規格化膜厚H/λが0.0〜0.10の範囲において、減衰定数が小さいことがわかる。他方、図61から明らかなように、θ=140°では、タングステンからなる電極の規格化膜厚H/λが0.0〜0.10の範囲では、SiO2膜の膜厚の如何に係わらず、減衰定数が大きくなっていることがわかる。
【0186】
すなわち、TCFを±20ppm/℃と小さくし、大きな電気機械結合係数を得、かつ減衰定数を小さくするには、LiTaO3基板のオイラー角、SiO2膜の厚み及びタングステンからなる電極の膜厚の3つの条件を考慮しなければならないことがわかる。
【0187】
図62〜図65は、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λ及びタングステンからなる電極膜の規格化膜厚H/λを変化させた場合の、θ(度)と減衰定数との関係を示す。
【0188】
図62〜図65から明らかなように、タングステンからなる電極の規格化膜厚H/λが0.012〜0.053及び0.015〜0.042において、SiO2膜の膜厚と、最適なθとの関係は、下記の表23及び表24に示す通りとなる。なお、この最適θは、タングステン電極の電極指幅のばらつきや単結晶基板のばらつきにより−2°〜+4°程度ばらつくことがある。なお、図中、図示していない膜厚は比例配分による。
【0189】
【表23】
【0190】
【表24】
【0191】
すなわち、表23及び表24から明らかなように、タングステンよりなる電極の膜厚H/λが、0.012〜0.053の場合、周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲内となるように改善するために、SiO2膜の膜厚Hs/λを0.1〜0.4の範囲とした場合、LiTaO3のオイラー角におけるθは、112°〜138°の範囲、すなわち、回転角で20°〜50°の範囲、より好ましくは、表23に示すオイラー角を選択すればよいことがわかる。
【0192】
同様に、表24から明らかなように、タングステン膜からなる電極の規格化膜厚が0.015〜0.042であり、周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲内となるように改善するために、SiO2膜の膜厚Hs/λを0.1〜0.4の範囲とした場合には、LiTaO3基板のオイラー角は112°〜138°の範囲とすればよく、より好ましくはSiO2膜の膜厚に応じて表24のオイラー角を選択すればよいことがわかる。
【0193】
ここで、表23及び表24における「LiTaO3のオイラー角」の範囲は、減衰定数が0.05以下の範囲を規定したものである。また、表23及び表24におけるLiTaO3のオイラー角の「より好ましい」範囲は、減衰定数が0.025以下に規定したものである。また、タングステンからなる電極膜の規格化膜厚が0.012、0.015、0.042、0.053である場合のSiO2膜の膜厚Hs/λとオイラー角の関係は、図62〜図65に示すタングステンからなる電極膜の規格化膜厚から換算して求めたものであり、それによって、表23及び表24のSiO2膜の膜厚とオイラー角の値を求めている。
【0194】
本発明に係る弾性表面波装置の製造に際しては、回転Y板X伝搬LiTaO3基板上にタングステンを主成分とする金属からなるIDTを形成した後、その状態において周波数調整を行い、しかる後減衰定数αを小さくし得る範囲の膜厚のSiO2膜を成膜することが望ましい。これを、図66及び図67を参照して説明する。図66は、オイラー角(0°,126°,0°)の回転Y板X伝搬LiTaO3基板上に、種々の厚みH/λのタングステンからなるIDT及び種々の膜厚Hs/λのSiO2膜を形成した場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す。また、図67は、同じオイラー角のLiTaO3基板上に、種々の膜厚H/λのタングステンからなるIDTを形成した場合、その上に形成されるSiO2膜の規格化膜厚Hs/λを変化させた場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す。図66と図67を比較すれば明らかなように、タングステンの膜厚を変化させた場合の方が、SiO2膜の膜厚を変化させた場合よりも弾性表面波の音速の変化がはるかに大きい。従って、SiO2膜の形成に先立ち、周波数調整が、行われることが望ましく、例えば、レーザーエッチングやイオンエッチングなどによりタングステン(W)からなるIDTを形成した後に周波数調整を行うことが望ましい。
【0195】
なお、本発明は、上記のように、22°〜48°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,112°〜138°,0°)のLiTaO3からなる圧電基板、H/λ=0.0025〜0.06であるタングステンよりなるIDTと、Hs/λ=0.10〜0.40であるSiO2膜とを有することを特徴とするものであり、従って、IDTの数及び構造等については特に限定されない。すなわち、本発明は、図15に示した弾性表面波装置だけでなく、上記条件を満たす限り、様々な弾性表面波共振子や弾性表面波フィルタ等に適用することができる。
【0196】
なお、オイラー角のθが所望の角度から−2°〜+4°ずれることがある。このずれは本願明細書における計算結果が基板の全面に金属膜を形成したものから計算されたものであるため、実際の弾性表面波装置では上記の範囲で誤差が発生することもある。
【0197】
また、製造の際、オイラー角のφとψは0°から±3°ばらつくが、特性は0°のものとほぼ同じ特性が得られた。
【0198】
〔電極材料としてTaを用いた場合の実施例〕
図15に示した弾性表面波装置を構成した。但し、14°〜58°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,104°〜148°,0°)のLiTaO3からなる基板を圧電性基板22として用い、かつIDTはタンタル(Ta)により構成し、その規格化膜厚H/λは0.004〜0.055の範囲とした。
【0199】
本実施例では上記のように、14°〜58°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,104°〜148°,0°)のLiTaO3からなる圧電基板2と、H/λ=0.004〜0.055であるタンタルよりなるIDT3a,3bと、Hs/λ=0.10〜0.40の範囲にあるSiO2膜4とを用いているため、周波数温度係数TCFが小さく、電気機械結合係数Ksawが大きく、かつ伝搬損失が小さい弾性表面波装置を提供することができる。これを、以下の具体的な実験例に基づき説明する。
【0200】
図68及び図69は、オイラー角(0°,120°,0°)と、(0°,140°,0°)の各LiTaO3基板上に、種々の膜厚のタンタルからなるIDTと、種々の膜厚のSiO2膜とを形成した場合の減衰定数を示す図である。
【0201】
図68から明らかなように、θ=120°では、SiO2の膜厚Hs/λが0.1〜0.40かつタンタルよりなる電極の規格化膜厚H/λが0.0〜0.10の範囲において、減衰定数が小さいことがわかる。他方、図69から明らかなように、θ=140°では、タンタルからなる電極の規格化膜厚H/λが0.0〜0.06の範囲では、SiO2膜の膜厚の如何に係わらず、減衰定数が大きくなっていることがわかる。
【0202】
すなわち、TCFの絶対値を小さくし、大きな電気機械結合係数を得、かつ減衰定数を小さくするには、LiTaO3基板のオイラー角、SiO2膜の厚み及びタンタルからなる電極の膜厚の3つの条件を考慮しなければならないことがわかる。
【0203】
図70〜図73は、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λ及びタンタルからなる電極膜の規格化膜厚H/λを変化させた場合の、θと減衰定数との関係を示す。
【0204】
図70〜図73から明らかなように、タンタルからなる電極の規格化膜厚H/λが0.01〜0.055及び0.016〜0.045において、SiO2膜の膜厚と、最適なθとの関係は、下記の表25及び表26に示す通りとなる。なお、この最適θは、タンタル電極の電極指幅のばらつきや単結晶基板のばらつきにより−2°〜+4°程度ばらつくことがある。
【0205】
【表25】
【0206】
【表26】
【0207】
すなわち、表25及び表26から明らかなように、タンタルよりなる電極の膜厚H/λが、0.01〜0.055の場合、周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲内とするように改善するために、SiO2膜の規格化膜厚を0.1〜0.4の範囲とした場合、LiTaO3のオイラー角におけるθは、104°〜148°の範囲、すなわち、回転角で14°〜58°の範囲、より好ましくは、SiO2の膜厚Hs/λに応じて表25に示すオイラー角を選択すればよいことがわかる。
【0208】
同様に、表26から明らかなように、タンタル膜からなる電極の規格化膜厚が0.016〜0.045であり、周波数温度特性TCFを改善するために、SiO2膜の膜厚Hs/λを0.1〜0.4の範囲とした場合には、LiTaO3基板のオイラー角は107°〜144°の範囲とすればよく、より好ましくはSiO2膜の膜厚Hs/λに応じて表26のオイラー角を選択すればよいことがわかる。
【0209】
LiTaO3のオイラー角の範囲は、減衰定数が0.05以下の範囲を規定したものである。また、表25及び表26におけるLiTaO3のオイラー角のより好ましい範囲は、減衰定数が0.025以下に規定したものである。また、タンタルからなる電極膜の規格化膜厚が0.012、0.015、0.042、0.053である場合のSiO2膜の膜厚Hs/λとオイラー角の関係は、図70〜図73に示すタンタルからなる電極膜の規格化膜厚から換算して求めて、表25及び表26のSiO2膜の膜厚Hs/λとオイラー角の値を求めている。
【0210】
本発明に係る弾性表面波装置の製造に際しては、回転Y板X伝搬LiTaO3基板上にタンタルを主成分とする金属からなるIDTを形成した後、その状態において周波数調整を行い、しかる後減衰定数αを小さくし得る範囲の膜厚のSiO2膜を成膜することが望ましい。これを、図74及び図75を参照して説明する。図74は、オイラー角(0°,126°,0°)の回転Y板X伝搬LiTaO3基板上に、タンタルからなるIDT及びSiO2膜を形成した場合の、タンタルの規格化膜厚H/λと、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λと、漏洩弾性表面波の音速との関係を示す。また、図75は、同じオイラー角のLiTaO3基板上に、種々の膜厚のタンタルからなるIDTを形成し、その上に形成されるSiO2膜の規格化膜厚を変化させた場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す。図74と図75を比較すれば明らかなように、タンタルの膜厚を変化させた場合の方が、SiO2膜の膜厚を変化させた場合よりも弾性表面波の音速の変化がはるかに大きい。従って、SiO2膜の形成に先立ち、周波数調整が、行われることが望ましく、例えば、レーザーエッチングやイオンエッチングなどによりタンタルからなるIDTを形成した後に周波数調整を行うことが望ましい。
【0211】
なお、本発明は、上記のように、14°〜58°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,104°〜148°,0°)のLiTaO3からなる圧電基板、H/λ=0.004〜0.055であるタンタルよりなるIDTと、Hs/λ=0.10〜0.40であるSiO2膜とを有することを特徴とするものであり、従って、IDTの数及び構造等については特に限定されない。すなわち、本発明は、図15に示した弾性表面波装置だけでなく、上記条件を満たす限り、様々な弾性表面波共振子や弾性表面波フィルタ等に適用することができる。
【0212】
なお、オイラー角のθが所望の角度から−2°〜+4°ずれることがある。このずれは本願明細書における計算結果が基板の全面に金属膜を形成したものから計算されたものであるため、実際の弾性表面波装置では上記の範囲で誤差が発生することもある。
【0213】
また、製造の際、オイラー角のφとψは0°から±3°ばらつくが、特性は0°のものとほぼ同じ特性が得られた。
【0214】
〔電極材料として白金を用いた実施例〕
図15に示した弾性表面波装置を、0°〜79°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,90°〜169°,0°)のLiTaO3基板からなる圧電基板と、H/λ=0.005〜0.054である白金よりなるIDTを用いて構成した。その他の点は前述した実施例と同様である。
【0215】
本実施例においても、上記構成を備えるため、周波数温度係数TCFが小さく、電気機械結合係数Ksawが大きく、かつ伝搬損失が小さい弾性表面波装置を提供することができる。これを、以下の具体的な実験例に基づき説明する。
【0216】
図76及び図77は、オイラー角(0°,125°,0°)と、(0°,140°,0°)の各LiTaO3基板上に、種々の膜厚の白金からなるIDTと、種々の膜厚のSiO2膜とを形成した場合の減衰定数を示す図である。
【0217】
図76から明らかなように、θ=125°では、SiO2の膜厚Hs/λが0.1〜0.40かつ白金よりなる電極の規格化膜厚H/λが0.005〜0.06の範囲において、減衰定数が小さいことがわかる。他方、図77から明らかなように、θ=140°では、白金からなる電極の規格化膜厚H/λが0.005〜0.06の範囲では、SiO2膜の膜厚Hs/λの如何に係わらず、減衰定数が大きくなっていることがわかる。
【0218】
すなわち、TCFの絶対値を小さくし、大きな電気機械結合係数を得、かつ減衰定数を小さくするには、LiTaO3基板のオイラー角、SiO2膜の厚み及び白金からなる電極の膜厚の3つの条件を考慮しなければならないことがわかる。
【0219】
図78〜図83は、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λ及び白金からなる電極膜の規格化膜厚H/λを変化させた場合の、オイラー角のθ(度)と減衰定数との関係を示す。
【0220】
図78〜図83から明らかなように、白金からなる電極の規格化膜厚H/λが0.005〜0.054では、θは90°〜169°の範囲とすることが望ましいことがわかる。また、白金からなる電極の規格化膜厚H/λが0.01〜0.04及び0.013〜0.033においては、SiO2膜の膜厚Hs/λと、最適なθとの関係は、減衰定数αを低下させることも考慮すると、下記の表27及び表28に示す通りとなる。ここで、表27及び表28における「LiTaO3のオイラー角」の範囲は、減衰定数が0.05dB/λ以下の範囲を規定したものである。また、表27及び表28におけるLiTaO3のオイラー角の「より好ましい」範囲は、減衰定数が0.025dB/λ以下の範囲を規定したものである。なお、この最適θは、白金電極の電極指幅のばらつきや単結晶基板のばらつきにより−2°〜+4°程度ばらつくことがある。
【0221】
また、製造の際、オイラー角のφとψは0°から±3°ばらつくが、特性は0°のものとほぼ同じ特性が得られた。
【0222】
【表27】
【0223】
【表28】
【0224】
すなわち、表27及び表28から明らかなように、白金よりなる電極の膜厚H/λが、0.01〜0.04の場合、周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲内となるように改善するために、SiO2膜の膜厚Hs/λを0.1〜0.4の範囲とした場合、LiTaO3のオイラー角におけるθは、90°〜169°の範囲、すなわち、回転角で0°〜79°の範囲を選択すればよいことがわかる。
【0225】
同様に、表27から明らかなように、白金膜からなる電極の規格化膜厚が0.01〜0.04であり、周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲内となるように改善するために、SiO2膜の膜厚Hs/λを0.1〜0.4の範囲とした場合には、LiTaO3基板のオイラー角のθは90°〜169°の範囲とすればよく、より好ましくはSiO2膜の膜厚に応じて表27のオイラー角を選択すればよいことがわかる。
【0226】
同様に、白金膜からなる電極の規格化膜厚が0.013〜0.033であり、周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲となるように改善するために、SiO2膜の膜厚Hs/λを0.1〜0.4の範囲とした場合には、LiTaO3基板のオイラー角のθは、102°〜150°の範囲とすればよく、より好ましくは、SiO2膜の膜厚Hs/λに応じて表28のオイラー角を選択すればよいことがわかる。
【0227】
また、白金からなる電極膜の規格化膜厚が0.013〜0.033である場合のSiO2膜の膜厚とオイラー角の関係は、図78〜図83に示す白金からなる電極膜の規格化膜厚から換算して求めたものであり、それによって、表27及び表28のSiO2膜の膜厚Hs/λとオイラー角の値を求めている。
【0228】
本発明に係る弾性表面波装置の製造に際しては、回転Y板X伝搬LiTaO3基板上に白金を主成分とする金属からなるIDTを形成した後、その状態において周波数調整を行い、しかる後減衰定数αを小さくし得る範囲の膜厚Hs/λのSiO2膜を成膜することが望ましい。これを、図84及び図85を参照して説明する。図84は、オイラー角(0°,126°,0°)の回転Y板X伝搬LiTaO3基板上に、種々の厚みH/λの白金からなるIDT及び種々の膜厚Hs/λのSiO2膜を形成した場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す。また、図85は、同じオイラー角のLiTaO3基板上に、種々の膜厚H/λの白金からなるIDTを形成した場合、その上に形成されるSiO2膜の規格化膜厚Hs/λを変化させた場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す。図84と図85を比較すれば明らかなように、白金の膜厚を変化させた場合の方が、SiO2膜の膜厚を変化させた場合よりも弾性表面波の音速の変化がはるかに大きい。従って、SiO2膜の形成に先立ち、周波数調整が、行われることが望ましく、例えば、レーザーエッチングやイオンエッチングなどにより白金からなるIDTを形成した後に周波数調整を行うことが望ましい。
【0229】
なお、本発明は、上記のように、0°〜79°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,90°〜169°,0°)のLiTaO3からなる圧電基板、H/λ=0.005〜0.054である白金よりなるIDTと、Hs/λ=0.10〜0.40であるSiO2膜とを有することを特徴とするものであり、従って、IDTの数及び構造等については特に限定されない。すなわち、本発明は、図1に示した弾性表面波装置だけでなく、上記条件を満たす限り、様々な弾性表面波共振子や弾性表面波フィルタ等に適用することができる。
【0230】
〔ニッケル及びモリブデンを電極材料として用いた実施例〕
図15に示した弾性表面波装置を構成した。電極材料としてニッケルまたはモリブデンを用いた。また、圧電性基板として、14°〜50°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,104°〜140°,0°)のLiTaO3基板を用いた。その他の点は同様である。
【0231】
IDT23a,23b及び反射器25a,25bは、密度が8700〜10300kg〜m3、ヤング率が1.8×1011〜4×1011N/m2及び横波音速が3170〜3290m/秒である金属により構成されている。このような金属としては、ニッケルやモリブデンまたはこれらを主体とする合金が挙げられる。
【0232】
IDT23a,23bの規格化膜厚H/λ(HはIDTの厚み、λは中心周波数における波長を示す)は0.008〜0.06の範囲とされている。
【0233】
本実施例では上記のように、14°〜50°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,104°〜140°,0°)のLiTaO3からなる圧電基板22と、H/λ=0.008〜0.06であり、上記特定の金属よりなるIDT23a,23bと、Hs/λ=0.10〜0.40の範囲にあるSiO2膜24とを用いているため、周波数温度係数TCFが±20ppm/℃の範囲内となるように小さくされており、電気機械結合係数Ksawが大きく、かつ伝搬損失が小さい弾性表面波装置を提供することができる。これを、以下の具体的な実験例に基づき説明する。
【0234】
図86及び図87は、オイラー角(0°,120°,0°)と、(0°,140°,0°)の各LiTaO3基板上に、種々の膜厚のNiからなるIDTと、種々の膜厚Hs/λのSiO2膜とを形成した場合の減衰定数を示す図である。
【0235】
図86から明らかなように、θ=120°では、SiO2の膜厚Hs/λが0.1〜0.40かつNiよりなる電極の規格化膜厚H/λが0.008〜0.08の範囲において、減衰定数が小さいことがわかる。他方、図87から明らかなように、θ=140°では、Niからなる電極の規格化膜厚H/λが0.008〜0.08の範囲では、SiO2膜の膜厚の如何に係わらず、減衰定数が大きくなっていることがわかる。
【0236】
図88及び図89は、オイラー角(0°,120°,0°)と(0°,140°,0°)の各LiTaO3基板上に、種々の膜厚のMoからなるIDTと、種々の膜厚Hs/λのSiO2膜とを形成した場合の減衰定数の変化を示す図である。
【0237】
図88から明らかなように、θ=120°では、SiO2の膜厚Hs/λが0.1〜0.40かつMoよりなる電極の規格化膜厚H/λが0.008〜0.08の範囲において、減衰定数が小さいことがわかる。他方、図89から明らかなように、θ=140°では、Moからなる電極の規格化膜厚H/λが0.008〜0.08の範囲では、SiO2膜の膜厚Hs/λの如何に係わらず、減衰定数が大きくなっていることがわかる。
【0238】
すなわち、TCFの絶対値を小さくし、大きな電気機械結合係数を得、かつ減衰定数を小さくするには、LiTaO3基板のオイラー角、SiO2膜の厚みHs/λ及び上記特定の密度、ヤング率及び横波音速範囲の金属からなる電極の膜厚の3つの条件を考慮しなければならないことがわかる。
【0239】
図90〜図93は、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λ及びNiからなる電極膜の規格化膜厚H/λを変化させた場合の、θ(度)と減衰定数との関係を示す。
【0240】
図94〜図97は、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λ及びMoからなる電極膜の規格化膜厚H/λを変化させた場合の、θ(度)と減衰定数との関係を示す。
【0241】
図90〜図97から明らかなように、NiまたはMoからなる電極の規格化膜厚H/λが0.008〜0.06、0.017〜0.06及び0.023〜0.06において、SiO2膜の膜厚と、最適なθとの関係は、下記の表29に示す通りとなる。なお、この最適θは、電極の電極指幅のばらつきや単結晶基板のばらつきにより−2°〜+4°程度ばらつくことがある。
【0242】
また、製造の際、オイラー角のφとψは0°から±3°ばらつくが、特性は0°のものとほぼ同じ特性が得られた。
【0243】
【表29】
【0244】
また、図90〜図93で示したNiからなる電極の最適膜厚H/λ=0.008〜0.06、0.02〜0.06及び0.027〜0.06におけるSiO2膜の膜厚と最適なθとの関係は下記の表30に示す通りとなる。
【0245】
【表30】
【0246】
また、図94〜図97に示したMoからなる電極の最適膜厚H/λ=0.008〜0.06、0.017〜0.06及び0.023〜0.06におけるSiO2膜の膜厚と、最適なθとの関係は下記の表31に示す通りとなる。
【0247】
【表31】
【0248】
すなわち、表29から明らかなように、上記特定の密度、ヤング率及び横波音速範囲の金属からなる電極の膜厚H/λが、0.008〜0.06、0.017〜0.06及び0.023〜0.06で、周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲内となるように改善するために、SiO2膜の膜厚を0.1〜0.4の範囲とした場合、LiTaO3のオイラー角におけるθは、104°〜140°の範囲、すなわち、回転角で14°〜50°の範囲、より好ましくは、表29に示すオイラー角を選択すればよいことがわかる。
【0249】
同様に、Ni膜からなる電極の規格化膜厚H/λが0.008〜0.06、0.02〜0.06及び0.027〜0.06の場合において、周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲内となるように改善するために、Hs/λが0.1〜0.4のSiO2膜の膜厚Hs/λに応じて、LiTaO3基板のオイラー角におけるθは104°〜140°の範囲とすればよく、より好ましくはSiO2膜の膜厚Hs/λに応じて表30に示したオイラー角を選択すればよいことがわかる。
【0250】
同様に、Mo膜からなる電極の規格化膜厚H/λが0.008〜0.06、0.02〜0.06及び0.027〜0.06の場合において、周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲内となるように改善するために、Hs/λが0.1〜0.4のSiO2膜の膜厚Hs/λに応じて、LiTaO3基板のオイラー角におけるθは104°〜141°の範囲とすればよく、より好ましくはSiO2膜の膜厚Hs/λに応じて表31に示したオイラー角を選択すればよいことがわかる。
【0251】
ここで、表29〜表31における「LiTaO3のオイラー角」の範囲は、減衰定数αが0.1dB/λ以下の範囲を規定したものである。また、表29〜表31におけるLiTaO3のオイラー角の「より好ましい」範囲は、減衰定数が0.05dB/λ以下の範囲を規定したものである。また、上記電極膜の規格化膜厚が0.095、0.017、0.023である場合のSiO2膜の膜厚Hs/λとオイラー角の関係は、図90〜図97に示すNiもしくはMoからなる電極膜の規格化膜厚から換算して求めたものであり、それによって、表29〜表31のSiO2膜の膜厚とオイラー角の値を求めている。
【0252】
本発明に係る弾性表面波装置の製造に際しては、回転Y板X伝搬LiTaO3基板上にNiやMoなどの上記特定の金属からなるIDTを形成した後、その状態において周波数調整を行い、しかる後減衰定数αを小さくし得る範囲の膜厚のSiO2膜を成膜することが望ましい。これを、図98〜図101を参照して説明する。図98及び図100は、オイラー角(0°,126°,0°)の回転Y板X伝搬LiTaO3基板上に、種々の厚みH/λのNiまたはMoからなるIDT及び種々の膜厚Hs/λのSiO2膜を形成した場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す。また、図99及び図101は、同じオイラー角のLiTaO3基板上に、種々の膜厚H/λのNiまたはMoからなるIDTを形成した場合、その上に形成されるSiO2膜の規格化膜厚Hs/λを変化させた場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す。図98と図99、及び図100と図101とを比較すれば明らかなように、電極の膜厚を変化させた場合の方が、SiO2膜の膜厚を変化させた場合よりも弾性表面波の音速の変化がはるかに大きい。従って、SiO2膜の形成に先立ち、周波数調整が、行われることが望ましく、例えば、レーザーエッチングやイオンエッチングなどによりNiやMoからなるIDTを形成した後に周波数調整を行うことが望ましい。
【0253】
なお、本発明は、上記のように、14°〜50°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,104°〜140°,0°)のLiTaO3からなる圧電基板、H/λ=0.008〜0.06であるNiやMoなどの上記特定の密度、ヤング率及び横波音速範囲の金属よりなるIDTと、Hs/λ=0.10〜0.40であるSiO2膜とを有することを特徴とするものであり、従って、IDTの数及び構造等については特に限定されない。すなわち、本発明は、図15に示した弾性表面波装置だけでなく、上記条件を満たす限り、様々な弾性表面波共振子や弾性表面波フィルタ等に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【0254】
【図1】(a)〜(g)は、本発明の一実施例における弾性表面波装置の製造方法を説明するための各模式的部分切欠断面図。
【図2】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に、種々の膜厚でAl、AuまたはPtからなるIDT電極を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λが0.2のSiO2膜を形成してなる1ポート型弾性表面波共振子において、SiO2膜の表面を平坦化した場合と平坦化していない場合の電極膜厚と反射係数との関係を示す図。
【図3】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に、種々の膜厚でAl、CuまたはAgからなるIDT電極を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λが0.2のSiO2膜を形成してなる1ポート型弾性表面波共振子において、SiO2膜の表面を平坦化した場合と平坦化していない場合の電極膜厚と反射係数との関係を示す図。
【図4】比較例の製造方法で得られた弾性表面波共振子のSiO2膜の規格化膜厚と、位相特性及びインピーダンス特性との関係を示す図。
【図5】比較のために用意した弾性表面波共振子におけるSiO2膜の膜厚と、共振子のMFとの関係を示す図。
【図6】本発明の一実施例で得られた1ポート型弾性表面波共振子の模式的平面図。
【図7】実施例の製造方法において、SiO2膜の規格化膜厚を変化させた場合のインピーダンス特性及び位相特性の変化を示す図。
【図8】実施例及び比較例の製造方法により得られた弾性表面波共振子におけるSiO2膜の膜厚と共振子のγとの関係を示す図。
【図9】実施例及び比較例の製造方法により得られた弾性表面波共振子におけるSiO2膜の膜厚と共振子のMFとの関係を示す図。
【図10】実施例及び比較例で用意された弾性表面波共振子におけるSiO2膜の厚みと、周波数温度特性TCFの変化との関係を示す図。
【図11】第2の比較例で用意されたSiO2膜が形成された弾性表面波共振子と、SiO2膜を有しないインピーダンス−周波数特性を示す図。
【図12】(a)〜(e)は、IDT電極及び保護金属膜の平均密度の第1絶縁物層の密度に対する比を変化させた場合のインピーダンス特性の変化を示す図。
【図13】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に様々な金属からなるIDT電極を様々な厚みで形成した場合の電気機械結合係数の変化を示す図。
【図14】LiTaO3基板上に様々な金属によりIDT電極を形成した場合に、Alからなる電極を用いた場合に比べて電気機械結合係数が大きくなる電極膜厚範囲と電極材料との密度との関係を示す図。
【図15】本発明の他の実施例に係る弾性表面波装置を示す斜視図。
【図16】36°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,126°,0°))のLiTaO3基板上に、Au、Ta、Ag、Cr、W、Cu、Zn、Mo、NiからなるIDT及びAlからなるIDTを形成した場合のIDTの規格化された電極膜厚と電気機械結合係数との関係を示す図。
【図17】36°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に各種電極材料からなるIDTの電極指片方の反射係数と膜厚の関係を示す図。
【図18】36°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,126°,0°))のLiTaO3基板上に、Au、Ta、Ag、Cr、W、Cu、Zn、Mo、NiからなるIDT及びAlからなるIDTを形成した場合の、IDTの電極規格化膜厚と減衰定数との関係を示す図。
【図19】36°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,126°,0°))のLiTaO3基板上に、規格化膜厚が0.02であるAuからなるIDTを形成し、種々の膜厚のSiO2膜を形成した場合の周波数温度特性(TCF)の変化を示す図。
【図20】36°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,126°,0°))のLiTaO3基板上に、種々の厚みのAuからなるIDTを形成し、さらに上に積層されるSiO2膜規格化膜厚を変化させた場合の減衰定数αの変化を示す図。
【図21】38°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,128°,0°))のLiTaO3基板上に、種々の厚みのAuからなるIDTを形成し、さらに上に積層されるSiO2膜規格化膜厚を変化させた場合の減衰定数αの変化を示す図。
【図22】実施例の弾性表面波装置の減衰量周波数特性及びSiO2膜成膜前の比較のための弾性表面波装置の減衰量周波数特性を示す図。
【図23】36°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,126°,0°))のLiTaO3基板上に、AuからなるIDTを形成し、種々の膜厚のSiO2膜を形成した構造において、AuからなるIDTの規格化膜厚を変化させた場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す図。
【図24】36°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,126°,0°))のLiTaO3基板上に、種々の規格化膜厚のAuからなるIDTを形成し、さらにSiO2膜積層とした構造において、SiO2膜の規格化膜厚を変化させた場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す図。
【図25】オイラー角で(0°,θ,0°)のθ、AuからなるIDTの規格化膜厚及びSiO2膜の規格化膜厚を変化させた場合の電気機械結合係数の変化を示す図。
【図26】LiTaO3基板のオイラー角のθ及びSiO2膜の規格化膜厚を変化させた場合の共振子のQ値の変化を示す図。
【図27】(a)〜(c)は、密着層が設けられた本発明の変形例に係る弾性表面波装置を説明するための各模式的断面図。
【図28】SiO2膜の膜厚H/λ=0.1における各種Au電極膜厚における減衰定数αとθの関係を示す図。
【図29】SiO2膜の膜厚H/λ=0.15における各種Au電極膜厚における減衰定数αとθの関係を示す図。
【図30】SiO2膜の膜厚H/λ=0.2における各種Au電極膜厚における減衰定数αとθの関係を示す図。
【図31】SiO2膜の膜厚H/λ=0.25における各種Au電極膜厚における減衰定数αとθの関係を示す図。
【図32】SiO2膜の膜厚H/λ=0.3における各種Au電極膜厚における減衰定数αとθの関係を示す図。
【図33】SiO2膜の膜厚H/λ=0.35における各種Au電極膜厚における減衰定数αとθの関係を示す図。
【図34】SiO2膜の膜厚H/λ=0.4における各種Au電極膜厚における減衰定数αとθの関係を示す図。
【図35】SiO2膜の膜厚H/λ=0.45における各種Au電極膜厚における減衰定数αとθの関係を示す図。
【図36】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に、種々の膜厚のAg膜からなる電極を形成した場合のAg膜の規格化膜厚H/λと、電気機械結合係数Ksawとの関係を示す図。
【図37】オイラー角(0°,113°,0°)、(0°,126°,0°)及び(0°,129°,0°)の3種類のLiTaO3基板において、電極膜厚が0で、種々の膜厚のSiO2膜を成膜した場合のSiO2膜の規格化膜厚Hs/λと周波数温度係数TCFとの関係を示す図。
【図38】オイラー角(0°,120°,0°)のLiTaO3基板上に、0.1以下の規格化膜厚のAg膜を形成し、0〜0.5の規格化膜厚のSiO2膜を成膜した場合の減衰定数αの変化を示す図。
【図39】オイラー角(0°,140°,0°)のLiTaO3基板上に、0.1以下の規格化膜厚のAg膜を形成し、0〜0.5の規格化膜厚のSiO2膜を成膜した場合の減衰定数αの変化を示す図。
【図40】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Ag膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.1のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図41】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Ag膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.15のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図42】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Ag膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.2のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図43】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Ag膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.25のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図44】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Ag膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.3のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図45】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Ag膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.35のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図46】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Ag膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.4のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図47】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Ag膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.45のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図48】オイラー角(0°,120°,0°)のLiTaO3基板上に、0.1以下の規格化膜厚のCu膜を形成し、0〜0.5の規格化膜厚のSiO2膜を成膜した場合の減衰定数αの変化を示す図。
【図49】オイラー角(0°,135°,0°)のLiTaO3基板上に、0.1以下の規格化膜厚のCu膜を形成し、0〜0.5の規格化膜厚のSiO2膜を成膜した場合の減衰定数αの変化を示す図。
【図50】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Cu膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.1のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図51】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Cu膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.15のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図52】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Cu膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.2のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図53】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Cu膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.25のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図54】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Cu膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.3のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図55】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Cu膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.35のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図56】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Cu膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.4のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図57】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Cu膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.45のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図58】SiO2膜の規格化膜厚が0.02のときのAlからなる電極及びCuからなる電極における電極指1本当りの反射率と電極膜厚との関係を示す図。
【図59】減衰定数が0もしくは最小となるθminを実現するためのSiO2膜の規格化膜厚Hs/λと、Cu膜の規格化膜厚H/λとの関係を示す図。
【図60】オイラー角(0°,120°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みのタングステンからなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図61】オイラー角(0°,140°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みのタングステンからなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図62】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのタングステンよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.1のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、タングステンよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図63】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのタングステンよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.2のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、タングステンよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図64】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのタングステンよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.3のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、タングステンよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図65】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのタングステンよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.4のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、タングステンよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図66】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上にタングステンからなるIDTを形成し、さらにSiO2膜を形成した場合のタングステン膜の膜厚と、SiO2膜の膜厚と、音速との関係を示す図。
【図67】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上にタングステンからなるIDTを形成し、さらにSiO2膜を形成した場合のタングステン膜の膜厚と、SiO2膜の膜厚と、音速との関係を示す図。
【図68】オイラー角(0°,120°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みのタンタルからなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図69】オイラー角(0°,140°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みのタンタルからなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図70】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのタンタルよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.1のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、タンタルよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図71】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのタンタルよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.2のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、タンタルよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図72】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのタンタルよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.3のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、タンタルよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図73】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのタンタルよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.4のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、タンタルよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図74】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上にタンタルからなるIDTを形成し、その上にSiO2膜を形成した構造における、タンタルの規格化膜厚と、SiO2の規格化膜厚と、音速との関係を示す図。
【図75】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上にタンタルからなるIDTが形成されており、その上にSiO2膜が形成された構造における、タンタルの規格化膜厚と、SiO2の規格化膜厚と、音速との関係を示す図。
【図76】オイラー角(0°,125°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みの白金からなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図77】オイラー角(0°,140°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みの白金からなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図78】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みの白金よりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.1のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、白金よりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図79】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みの白金よりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.15のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、白金よりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図80】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みの白金よりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.2のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、白金よりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図81】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みの白金よりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.25のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、白金よりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図82】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みの白金よりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.3のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、白金よりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図83】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みの白金よりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.4のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、白金よりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図84】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に白金からなるIDTを形成し、さらにSiO2膜を形成した場合の白金膜の膜厚と、SiO2膜の膜厚と、音速との関係を示す図。
【図85】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に白金からなるIDTを形成し、さらにSiO2膜を形成した場合の白金膜の膜厚と、SiO2膜の膜厚と、音速との関係を示す図。
【図86】オイラー角(0°,120°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みのニッケルからなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図87】オイラー角(0°,140°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みのニッケルからなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図88】オイラー角(0°,120°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みのモリブデンからなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図89】オイラー角(0°,140°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みのモリブデンからなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図90】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのニッケルよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.1のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、ニッケルよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図91】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのニッケルよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.2のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、ニッケルよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図92】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのニッケルよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.3のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、ニッケルよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図93】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのニッケルよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.4のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、ニッケルよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図94】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのモリブデンよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.1のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、モリブデンよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図95】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのモリブデンよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.2のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、モリブデンよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図96】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのモリブデンよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.3のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、モリブデンよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図97】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのモリブデンよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.4のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、モリブデンよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図98】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上にニッケルからなるIDTが形成されており、さらに様々な厚みのSiO2膜が形成された場合のニッケル膜の膜厚と、ニッケル膜の膜厚と、音速との関係を示す図。
【図99】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な膜厚のニッケルからなるIDTが形成されており、その上にSiO2膜が形成されてい構造における、SiO2膜の膜厚と、音速との関係を示す図。
【図100】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上にモリブデンからなるからなるIDTが形成されており、その上に様々な膜厚のSiO2膜が形成された場合構造におけるモリブデンの規格化膜厚と、音速との関係を示す図。
【図101】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に様々な膜厚のモリブデンからなるIDTを形成し、さらにSiO2膜を形成した構造における、SiO2膜の規格化膜厚と、音速との関係を示す図。
【図102】(a)〜(c)は、絶縁物層表面の平坦化を図る方法の一例としてのエッチバック法を説明するための各模式的断面図。
【図103】(a)〜(d)は、絶縁物層表面を平坦化する方法の他の例としての逆スパッタ法を説明するための各模式的断面図。
【図104】(a)及び(b)は、絶縁物層表面を平坦化する方法のさらに他の例を示す模式的断面図である。
【図105】(a)〜(c)は、絶縁物層表面を平坦化するさらに別の方法を説明するための各模式的断面図。
【図106】(a)及び(b)は、本発明が適用される弾性表面波装置の一例としての1ポート型共振子及び2ポート型共振子を説明するための各模式的平面図。
【図107】本発明が適用される弾性表面波装置としてのラダー型フィルタを説明するための模式的平面図。
【図108】本発明が適用される弾性表面波装置としてのラチス型フィルタを説明するための模式的平面図。
【図109】(a)〜(d)は、従来の弾性表面波装置の製造方法の一例を示すための模式的断面図。
【図110】従来の弾性表面波装置の一例を説明するための模式的正面断面図。。
【符号の説明】
【0255】
1…LiTaO3基板
2…第1絶縁物層
3…レジストパターン
4…金属膜
4A…IDT電極
5…保護金属膜としてのTi膜
6…第2絶縁物層
11…弾性表面波共振子
12,13…反射器
21…弾性表面波装置
22…LiTaO3基板
23a,23b…IDT
25…SiO2膜
【技術分野】
【0001】
本発明は、例えば共振子や帯域フィルタなどに用いられる弾性表面波装置及びその製造方法に関し、より詳細には、IDT電極を被覆するように絶縁物層が形成されている構造を備えた弾性表面波装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
移動体通信システムに用いられるDPXやRFフィルタでは、広帯域かつ良好な温度特性の双方が満たされることが求められている。従来、DPXやRFフィルタに使用されてきた弾性表面波装置では、36°〜50°回転Y板X伝搬LiTaO3からなる圧電性基板が用いられている。この圧電性基板は、周波数温度係数が−40〜−30ppm/℃程度であった。温度特性を改善するために、圧電性基板上においてIDT電極を被覆するように正の周波数温度係数を有するSiO2膜を成膜する方法が知られている。図109にこの種の弾性表面波装置の製造方法の一例を示す。
【0003】
図109(a)に示すように、圧電性基板51上に、IDT電極が形成される部分を除いてレジストパターン52が形成される。次に、図109(b)に示すように、全面にIDT電極を形成するための電極膜53が形成される。しかる後、レジスト剥離液を用いて、レジスト52及びレジスト52上に付着している金属膜が除去される。このようにして、図109(c)に示すように、IDT電極53Aが形成される。次に、図109(d)に示すように、IDT電極53Aを被覆するように、SiO2膜54が成膜される。
【0004】
他方、上記周波数温度特性の改善とは別の目的で、弾性表面波装置のIDT電極を被覆するように絶縁性または反導電性の保護膜が形成されている弾性表面波装置の製造方法が下記特許文献1に開示されている。図110は、この先行技術に記載の表面波装置を示す模式的断面図である。弾性表面波装置61では、圧電基板62上に、AlまたはAlを主成分とする合金からなるIDT電極63が形成されている。IDT電極63の設けられている領域以外の領域には、絶縁性または反導電性の電極指間膜64が形成されている。また、IDT電極63及び電極指間膜64を被覆するように、絶縁性または反導電性の保護膜65が形成されている。この先行技術に記載の弾性表面波装置61では、上記電極指間膜64及び保護膜65が、SiO2などの絶縁物やシリコーンなどの反導電性材料により構成される旨が記載されている。ここでは、上記電極指間膜63の形成により、圧電基板61の有する焦電性に起因する電極指間の放電による特性の劣化が抑制されるとされている。
【0005】
他方、下記の特許文献2には、水晶またはニオブ酸リチウムからなる圧電基板上に、アルミニウムや金などの金属からなる電極が形成されており、さらにSiO2膜を形成した後、該SiO2膜を平坦化してなる1ポート型弾性表面波伝共振子が開示されている。ここでは、平坦化により良好な共振特性が得られるとされている。
【特許文献1】特開平11−186866号公報
【特許文献2】特開平6−258355号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
図109に示したように、従来の周波数温度特性を改善するためにSiO2膜を成膜してなる弾性表面波装置の製造方法では、IDT電極53Aが存在する部分と、存在しない部分とで、SiO2膜54の表面の高さが異なることになる。従って、上記SiO2膜54表面の凹凸の存在により、挿入損失が劣化するという問題があった。また、IDT電極の膜厚が大きくなるにつれて、この凹凸は大きくなる。従って、IDT電極の膜厚を厚くすることができなかった。
【0007】
他方、文献1に記載の弾性表面波装置では、IDT電極63の電極指間に電極指間膜64が形成された後に、保護膜65が形成されている。従って、保護膜65の表面を平坦化することができる。
【0008】
しかしながら、文献1に記載の構成では、IDT電極63はAlまたはAlを主成分とする合金により構成されていた。このIDT電極63に接するように電極指間膜64が形成されていたが、IDT電極63において十分な反射係数を得ることができなかった。そのため、例えば共振特性などにリップルが生じがちであるという問題があった。
【0009】
さらに、文献1に記載の製造方法では、保護膜65を形成するに先だち、電極指間膜64上に形成されたレジストをレジスト剥離液を用いて除去しなければならないが、この際に、IDT電極63がレジスト剥離液で腐食される恐れがあった。従って、IDT電極を構成する金属として、腐食され易い金属を用いることができなかった。すなわち、IDT電極構成金属の種類に制約があった。
【0010】
他方、前述した特許文献2に記載の1ポート型弾性表面波共振子では、圧電基板として水晶またはニオブ酸リチウムを用いること、電極がアルミニウムまたは金などからなることが示されているものの、具体的な実施例では、水晶基板上にAlからなる電極を形成した例のみが示されている。すなわち、他の基板材料や他の金属材料を用いた弾性表面波装置については特に言及されていない。
【0011】
本発明の目的は、上述した従来技術の現状に鑑み、IDT電極の電極指間及びIDT電極上に絶縁物層が形成されている弾性表面波装置及びその製造方法であって、IDT電極の反射係数が十分に大きく、共振特性などに表れるリップルによる特性の劣化が生じ難く、従って、良好な共振特性やフィルタ特性を有する弾性表面波装置及びその製造方法を提供することにある。
【0012】
本発明の他の目的は、IDT電極の反射係数が十分に大きく良好な特性を有するだけでなく、IDT電極を構成する金属材料の選択の制約が少なく、IDT電極の腐食による悪影響が生じ難い弾性表面波装置及びその製造方法を提供することにある。
【0013】
本発明のさらに他の目的は、IDT電極の反射係数が十分に大きく、良好な特性を有し、かつIDT電極の腐食による特性の劣化が生じ難いだけでなく、さらに周波数温度特性が良好な弾性表面波装置及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0014】
上述したように、特許文献2では、SiO2膜を平坦化することにより良好な共振特性が得られることが示されている。そこで、本願発明者らは、広帯域のフィルタを得るべく、圧電基板として、電気機械結合係数が大きなLiTaO3基板を用い、その他は特許文献2に記載の構造と同様にして1ポート型弾性表面波共振子を作製し、特性を調査した。すなわち、LiTaO3基板上に、Alからなる電極を形成し、SiO2膜を形成し、該SiO2膜の表面を平坦化した。しかしながら、SiO2膜を形成した後に、特性が大きく劣化し、実用し得るものではないことを見出した。
【0015】
電気機械結合係数が水晶に比べて大きいLiTaO3基板やLiNbO3基板を用いると、比帯域幅は格段に大きくなる。しかしながら、本願発明者らが詳細な検討を行った結果、図2及び図3に示すように、LiTaO3基板上にAlからなる電極を形成し、さらにSiO2膜を形成した場合、SiO2膜の表面を平坦化することにより、反射係数が0.02程度まで激減することがわかった。なお、図2及び図3は、オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上にアルミニウム、金または白金からなるIDT電極を種々の厚みで形成し、さらにSiO2膜を形成してなる弾性表面波装置の電極膜厚H/λと、反射係数との関係を示す図である。なお、図2及び図3における実線はSiO2膜の表面を図2及び図3中に模式的に示すように平坦化していない場合の反射係数の変化を示し、破線はSiO2膜の表面を平坦化した場合の反射係数の変化を示す。
【0016】
図2及び図3から明らかなように、従来のAlからなる電極を用いた場合には、SiO2膜の表面を平坦化することにより、電極膜厚の如何に関わらず反射係数は0.02程度まで激減することがわかる。このため、十分なストップバンドが得られなくなり、反共振周波数近傍に鋭いリップルが生じると考えられる。
【0017】
また、従来、反射係数は電極膜厚が増大するにつれて大きくなることが知られている。しかしながら、図2及び図3から明らかなように、Alからなる電極を用いた場合には、電極の膜厚を大きくしたとしても、SiO2膜の表面が平坦化された場合には、反射係数は増大しないことがわかる。
【0018】
これに対して、図2及び図3から明らかなように、AuやPtからなる電極を形成した場合には、SiO2膜の弾性表面波を平坦化した場合においても、電極の膜厚が増大するにつれて、反射係数が大きくなることがわかる。本願発明者らは、このような知見に基づき、種々検討した結果、本発明をなすに至ったものである。
【0019】
本願の第1の発明によれば、圧電性基板と、前記圧電性基板上に形成されており、Alよりも高密度の金属または該金属を主成分とする合金からなる少なくとも1つのIDT電極と、前記少なくとも1つのIDT電極が形成されている領域を除いた残りの領域において、前記IDT電極と略等しい膜厚に形成された第1絶縁物層と、前記IDT電極及び第1絶縁物層を被覆するように形成された第2絶縁物層とを備え、上記IDT電極の密度が、第1絶縁物層の密度の1.5倍以上とされている弾性表面波装置が提供される。第1の発明では、共振特性やフィルタ特性などに表れるリップルが帯域外に移動されると共に、リップルが抑圧される。従って、良好な特性を実現することができる。
【0020】
本願の第2の発明の広い局面によれば、圧電性基板と、前記圧電性基板上に形成された少なくとも1つのIDT電極と、前記IDT電極上に形成されており、かつIDT電極を構成する金属もしくは合金よりも耐腐食性に優れた金属もしくは合金からなる保護金属膜と、前記少なくとも1つのIDT電極が形成されている領域を除いた残りの領域において、前記IDT電極と保護金属膜との合計の膜厚と略等しい膜厚を有するように形成された第1絶縁物層と、前記保護金属膜及び第1絶縁物層を被覆するように形成された第2絶縁物層とを備える、弾性表面波装置が提供される。
【0021】
第2の発明のある特定の局面では、上記IDT電極及び保護金属膜からなる積層構造の平均密度が、第1絶縁物層の密度の1.5倍以上とされており、それによって共振特性やフィルタ特性上に表れる不要リップルが帯域外にシフトされ、かつ共振される。
【0022】
第1,第2の発明の他の特定の局面では、第1,第2の絶縁物層が同じ材料により形成される。また、好ましくは、第2の絶縁物層がSiO2により形成されている。
【0023】
第1,第2の発明のさらに他の特定の局面では、上記第1,第2の絶縁物層がSiO2により形成され、それによって周波数温度特性が良好な弾性表面波装置を提供することができる。
【0024】
第1,第2の発明に係る弾性表面波装置は、好ましくは、弾性表面波の反射を利用した弾性表面波装置である。弾性表面波の反射を利用する構造としては、特に限定されず、圧電性基板の対向2端面の反射を利用した端面反射型弾性表面波装置が構成されてもよく、あるいはIDTの弾性表面波伝搬方向外側に反射器を設けた弾性表面波装置であってもよい。
【0025】
第1,第2の発明に係る弾性表面波装置は、様々な弾性表面波共振子や弾性表面波フィルタに用いることができる。このような弾性表面波共振子は、1ポート型共振子であってもよく、2ポート型共振子であってもよく、また弾性表面波フィルタは、2ポート型共振子フィルタであってもよく、ラダー型フィルタまたはラチス型フィルタなどであってもよい。
【0026】
第1,第2の発明に係る弾性表面波装置のある特定の局面では、上記電極がIDT電極である。IDT電極は、一方向性電極であってもよく、それによって挿入損失を低減することができる。
【0027】
また、上記電極は反射器であってもよい。
【0028】
第1,第2の発明に係る弾性表面波装置のある特定の局面では、上記電極が、IDT電極及び反射器電極である。
【0029】
第1,第2の発明のある特定の局面では、前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,104°〜140°,0±3°)のLiTaO3基板であり、前記第1,第2の絶縁物層がSiO2より構成されており、第1,第2絶縁物層を構成しているSiO2膜の合計膜厚をHs、弾性表面波の波長をλとしたときに、Hs/λが0.03〜0.45の範囲とされており、前記電極の厚みをH、弾性表面波の波長をλとしたときに、電極の規格化膜厚H/λが、下記の式(1)を満たす値とされている。
【0030】
0.005≦H/λ≦0.00025×ρ2−0.01056×ρ+0.16473(但し、ρは電極の平均密度) …式(1)
前述したように、第1の発明では、電極を構成する金属として、金属が用いられる。このような金属としては、Au、Ag、Cu、W、Ta、Pt、NiまたはMoなどが挙げられる。
【0031】
本発明においては、後述するように、これらの金属もしくはこれらの金属を主体とする合金、あるいはこれらの金属もしくは合金からなる主たる金属膜と、他の金属からなる少なくとも1層の金属膜との従たる積層膜により電極が構成されてもよい。この場合、金属の種類に応じて電極の規格化膜厚H/λ及び圧電性基板のオイラー角及び第1,第2の絶縁物層をSiO2膜から構成した場合の該SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λが特定の範囲とされ、電気機械結合係数及び反射係数を高めることができ、かつ良好な周波数温度特性を実現することができる。また、上記各範囲を選択することにより、減衰定数の低下も図ることができる。
【0032】
本願の第3の発明は、第1の発明に係る弾性表面波装置の製造方法であって、圧電性基板を用意する工程と、前記圧電性基板の片面の全面に第1絶縁物層を形成する工程と、少なくとも1つのIDT電極を有する電極パターンを形成するためのレジストパターンを用いて前記IDT電極が形成される部分の第1絶縁物層を除去するとともに、残りの領域に第1絶縁物層とレジストとの積層構造を残留させる工程と、前記第1絶縁物層が除去されている領域に、Alよりも高密度の金属または該金属を主成分とする合金からなる電極膜を第1絶縁物層と略等しい厚みに形成して少なくとも1つのIDT電極を形成する工程と、前記第1絶縁物層上に残留しているレジストを除去する工程と、前記第1絶縁物層及びIDT電極上を被覆するように第2絶縁物層を形成する工程とを備えることを特徴とする。
【0033】
第3の発明に係る弾性表面波装置の製造方法においても、好ましくは、上記IDT電極を構成する金属もしくは合金の密度は、第1絶縁物層の密度の1.5倍以上とされ、共振特性やフィルタ特性上に表れる不要リップルが帯域外にシフトされ、かつ共振される。
【0034】
本願の第4の発明は、弾性表面波装置の製造方法であって、第2の発明に係る弾性表面波装置を得るためのものである。第4の発明は、圧電性基板を用意する工程と、前記圧電性基板の片面の全面において第1絶縁物層を形成する工程と、少なくとも1つのIDT電極パターンを形成するためのレジストパターンを用いて前記電極が形成される部分の領域の第1絶縁物層を除去し、残りの領域に第1絶縁物層とレジストとの積層構造を残留させる工程と、前記第1絶縁物層が除去されている領域に、IDT電極を形成するための金属もしくは合金膜を形成して、IDT電極を形成する工程と、前記IDT電極を形成した後に、該IDT電極を構成する金属もしくは合金よりも耐腐食性に優れた金属もしくは合金からなる保護金属膜を該IDT電極の全面に形成して前記保護金属膜を前記第1絶縁物層の高さと略等しい高さに形成する工程と、前記第1絶縁物層上のレジスト及び該レジスト上に積層されている保護金属膜を除去する工程と、前記IDT電極上に形成された保護金属膜及び前記第1絶縁物層を覆うように、第2絶縁物層を形成する工程とを備えることを特徴とする。
【0035】
第4の発明においても、第2の発明と同様に、IDT電極及び保護金属膜からなる積層構造の平均密度は、好ましくは、第1絶縁物層の密度の1.5倍以上とされ、共振特性やフィルタ特性上に表れる不要リップルが帯域外にシフトされ、かつ共振される。
【0036】
本願の第5の発明は、圧電性基板を用意する工程と、前記圧電性基板上に電極を形成する工程と、前記電極を覆うように絶縁物層を形成する工程と、前記電極が存在する部分と存在しない部分の上方における絶縁物層の凹凸を平坦化する工程とを備える、弾性表面波装置の製造方法である。
【0037】
第5の発明においては、好ましくは、上記平坦化工程は、エッチバック、逆スパッタまたは研磨により行われる。
【発明の効果】
【0038】
第1の発明に係る弾性表面波装置では、IDT電極が形成されている領域を除いた残りの領域において、IDT電極と略等しい膜厚に形成された第1の絶縁物層が設けられており、IDT電極及び第1絶縁物層を被覆するように第2絶縁物層が設けられている構成において、IDT電極が第1絶縁物層の密度よりも高密度の金属または該金属を主成分とする合金からなるため、IDT電極の反射係数を十分な大きさとすることができる。従って、所望でないリップルによる特性の劣化が生じ難い、周波数温度特性の良好な弾性表面波装置を提供することができる。
【0039】
加えて、IDT電極と第1絶縁物層が略等しい膜厚とされており、IDT電極及び第1絶縁物層を被覆するように第2絶縁物層が積層されているため、第2絶縁物層の外表面を平坦化することができ、それによって第2絶縁物層表面の凹凸による特性の劣化も生じ難い。
【0040】
第2の発明に係る弾性表面波装置では、IDT電極が形成されている領域を除いた残りの領域にIDT電極とほぼ等しい膜厚の第1絶縁物層が設けられており、IDT電極上に、IDT電極を構成する金属もしくは合金よりも耐腐食性に優れた金属もしくは合金からなる保護金属膜が設けられており、保護金属膜及び第1絶縁物層上を被覆するように第2絶縁物層が形成されている。従って、IDT電極が保護金属層及び第1絶縁物層により覆われているため、フォトリソグラフィー技術によりレジストを剥離する際のレジスト剥離液によるIDT電極の腐食が生じ難い。よって、Cuなどのレジスト剥離液により腐食され易いが、密度がAlに比べて十分大きな金属もしくは合金を用いて、IDT電極を構成することができ、弾性表面波装置の特性の劣化を効果的に抑制することができる。
【0041】
第1,第2の発明において、第1,第2の絶縁物層がSiO2により構成されている場合には、本発明に従って、周波数温度特性TCFが改善された弾性表面波装置を提供することができる。
【0042】
IDT電極がCuまたはCuを主成分とする合金からなる場合には、従来から弾性表面波装置の電極材料として汎用されてきたAlに比べて密度が大きいため、第1,第2の発明に従った弾性表面波装置を容易に構成することができ、かつ十分な反射係数のIDT電極を容易に形成することができる。
【0043】
第3の発明に係る製造方法では、圧電性基板2に第1絶縁物層を形成した後に、レジストパターンを用いてIDT電極が形成される部分の絶縁物層が除去され、残りの領域に第1絶縁物層とレジストとの積層構造が残留され、次に、第1絶縁物層が除去されている領域にAlよりも高密度の金属または該金属を主成分とする電極膜を形成することによりIDT電極が形成され、しかる後、第1絶縁物層上に残留しているレジストが除去される。そして、第1絶縁物層及びIDT電極上を被覆するように第2絶縁物層が形成されるため、第2絶縁物層上面の凹凸が生じ難い。従って、第2の絶縁物層表面の凹凸による特性の劣化が生じ難い。加えて、IDT電極がAlよりも高密度の金属または該金属を主成分とする合金からなるため、IDT電極の反射係数が高められ、所望でないリップルによる特性の劣化を抑制することができる。
【0044】
また、第4の発明によれば、IDT電極を形成した後に、IDT電極を構成する金属もしくは合金よりも耐腐食性に優れた金属もしくは合金からなる保護金属膜が形成され、しかる後、第1絶縁物層上のレジスト及び該レジスト上に積層されている保護金属膜が除去される。従って、レジスト剥離液によりこの除去工程を行うに際し、IDT電極の側面が第1絶縁物層により、上面が保護金属層により覆われているため、IDT電極の腐食が生じ難い。
【0045】
従って、IDT電極の腐食を引き起こすことなく、第2の発明に係る弾性表面波装置を提供することが可能となる。
【0046】
第5の発明によれば、圧電基板上に電極を形成し、該電極を覆うように絶縁物層を形成した後に、電極が存在する部分と存在しない部分の上方における絶縁物層の表面の凹凸が平坦化される。従って、第1の発明と同様に、絶縁物層表面の凹凸による特性の劣化が生じ難い。
【発明を実施するための最良の形態】
【0047】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施例を説明することにより、本発明を明らかにする。
【0048】
図1及び図6を参照して、本発明の第1の実施例に係る弾性表面波装置の製造方法を説明する。
【0049】
図1(a)に示すように、まず、圧電性基板として、LiTaO3基板1を用意する。本実施例では、36°Y板X伝搬、オイラー角で(0°,126°,0°)のLiTaO3基板が用いられる。もっとも、圧電性基板としては、他の結晶方位のLiTaO3基板を用いてもよく、あるいは他の圧電単結晶からなるものを用いてもよい。また、絶縁性基板上に圧電性薄膜を積層してなる圧電性基板を用いてもよい。なお、オイラー角(φ,θ,ψ)のθ=カット角+90°の関係がある。
【0050】
LiTaO3基板1上に、全面に第1絶縁物層2を形成する。本実施例では、第1絶縁物層2は、SiO2膜により形成されている。
【0051】
第1絶縁物層2の形成方法は、印刷、蒸着、またはスパッタリングなどの適宜の方法により行われ得る。また、第1絶縁物層2の厚みは、後で形成されるIDT電極の厚みと等しくされている。
【0052】
次に、図1(b)に示すように、フォトリソグラフィー技術を用いて、レジストパターン3を形成する。レジストパターン3では、IDTが形成される領域を除いてレジストが位置するようにレジストパターン3が構成されている。
【0053】
次に、図1(c)に矢印で示すようにイオンビームを照射する反応性イオンエッチング法(RIE)などにより、第1絶縁物層2の内、レジスト3の下方に位置している部分を除いた残りの部分を除去する。
【0054】
フッ素系のガスによるRIEによってSiO2をエッチングした場合、重合反応により残渣が生じる場合がある。この場合、RIEを行った後、BHF(バッファードフッ酸)等により処理することで対応できる。
【0055】
しかる後、Cu膜とTi膜を、第1絶縁物層2と等しい厚みに成膜する。図1(d)に示すように、第1絶縁物層2が除去されている領域、すなわちIDTが形成される領域にCu膜4が付与され、同時にレジストパターン3上にもCu膜4が付与される。次に、全面保護金属膜としてTi膜5を形成する。図1(e)に示すように、Ti膜5は、IDT電極4Aの上面と、レジストパターン3上のCu膜4上に付与されることになる。従って、IDT電極4Aは、側面が第1絶縁物層2で被覆され、上面がTi膜5により被覆されている。このようにして、IDT電極4Aと保護金属膜とが形成され、IDT電極4Aの厚みと保護金属膜としてのTi膜5の厚みの合計の厚みと第1絶縁物層2の厚みとが同じ厚みを有するように構成される。
【0056】
しかる後、レジスト剥離液を用い、レジストパターン3を除去する。このようにして、図1(f)に示すように、第1絶縁物層2が設けられている領域を除いた残りの領域にIDT電極4Aが形成されており、IDT電極4Aの上面がTi膜5により被覆されている構造が得られる。
【0057】
しかる後、図1(g)に示すように、全面に第2絶縁物層6としてSiO2膜を形成する。
【0058】
このようにして、図6に示す1ポート型の弾性表面波共振子11を得た。
【0059】
なお、図1(a)〜(g)では、IDT電極4Aが形成されている部分のみが抜き出されて説明された。しかしながら、図6に示されているように、弾性表面波共振子11は、IDT電極4Aの弾性表面波伝搬方向両側に反射器12,13を備えている。反射器12,13もまた、IDT電極4Aと同じ工程により形成される。
【0060】
上記実施例では、1ポート型弾性表面波共振子11が構成されているため、LiTaO3基板1上に、1個のIDT電極4Aが形成されていたが、弾性表面波装置の用途に応じて、複数のIDT電極が形成されてもよく、また上記のように反射器がIDTと同一工程により形成されてもよく、反射器が設けられずともよい。
【0061】
比較のために、図109に示した従来のSiO2膜を有する弾性表面波装置の製造方法に準じて、1ポート型弾性表面波共振子を作製した。もっとも、この比較例においても、基板材料としては、36°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,126°,0°))のLiTaO3基板を用い、IDT電極はCuにより形成した。図109に示した製造方法から明らかなように、IDT電極53Aが形成された後に、SiO2膜54が形成されるため、SiO2膜54の表面に凹凸が生じざるを得なかった。比較例において、CuからなるIDT電極の規格化膜厚h/λ(hはIDT電極の厚み、λは弾性表面波の波長)を0.042とし、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λ(HsはSiO2膜の厚み)を、0.11、0.22及び0.33とした場合のインピーダンス特性及び位相特性を図4に示す。図4から明らかなように、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λが大きくなるにつれて、反共振点におけるインピーダンスと共振点におけるインピーダンスとの比であるインピーダンス比が小さくなることがわかる。
【0062】
また、図5は、比較例で製作された弾性表面波共振子のSiO2膜の規格化膜厚Hs/λと、共振子のMF(Figure of Merit)との関係を示す。図5から明らかなように、SiO2膜の膜厚が厚くなるにつれて、MFが低下することがわかる。
【0063】
すなわち、図109に示した従来法に準じて、IDT電極及びSiO2膜を形成した場合、たとえCuによりIDT電極を形成したとしても、SiO2膜の膜厚が厚くなるにつれて、特性が大きく劣化した。これは、SiO2膜表面に前述した凹凸が生じざるを得ないことによると考えられる。
【0064】
これに対して、本実施例の製造方法によれば、SiO2膜の膜厚を増加させた場合でも特性の劣化が生じ難いこと、図7〜9に示す。
【0065】
図7は、上記実施例に従って弾性表面波共振子11を得た場合のSiO2膜の厚み、すなわち、第2絶縁物層6の厚みを変化させた場合のインピーダンス特性及び位相特性の変化示す図である。また、図8及び図9の破線は、それぞれ、実施例においてSiO2膜の膜厚Hs/λを変化させた場合の共振子のγ及びMFの変化を示す図である。
【0066】
なお、図8及び図9においては、上記比較例の結果を、実線で示す。
【0067】
図7を、図4と比較すれば明らかなように、上記実施例では、比較例の場合に比べて、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λを増加させても、インピーダンスの低下が生じ難いことがわかる。
【0068】
また、図8及び図9の結果から明らかなように、比較例に比べて、実施例の製造方法によれば、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λの増加に伴う特性の劣化が抑制されることがわかる。
【0069】
すなわち、本実施例の製造方法によれば、上記のようにSiO2膜の膜厚を増加させた場合であっても、インピーダンス比の低下が生じ難く、特性の劣化を抑制することができる。
【0070】
他方、図10は、SiO2膜の膜厚と、比較例及び実施例の製造方法で得られた弾性表面波共振子の周波数温度特性TCFとの関係を示す図である。
【0071】
図10において、実線が比較例、破線が実施例の結果を示す。
【0072】
図10から明らかなように、実施例の製造方法によれば、SiO2膜の膜厚を増加させた場合に、周波数温度特性TCFを膜厚増に応じて理想的に改善し得ることがわかる。
【0073】
従って、上記実施例の製造方法を採用することにより、特性の劣化が生じ難く、温度特性を効果的に改善し得る弾性表面波共振子を提供し得ることがわかる。
【0074】
加えて、本実施例の製造方法では、IDT電極は、Alよりも高密度のCuにより構成されている。従って、IDT電極4Aは十分な反射係数を有し、共振特性上に表れる所望でないリップルを抑制することができる。これを、以下において説明する。
【0075】
Cuに代えてAl膜を用いたことを除いては、上記実施例と同様にして第2の比較例の弾性表面波共振子を作製した。但し、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λは0.08とした。すなわち、第1の絶縁物層の厚みの規格化膜厚を0.08とした。このようにして得られた弾性表面波共振子のインピーダンス及び位相特性を図11に実線で示す。
【0076】
また、SiO2膜を形成しなかったことを除いては、第2の比較例と同様にして構成された弾性表面波共振子のインピーダンス及び位相特性を図11に破線で示す。
【0077】
図11の実線から明らかなように、上記実施例の製造方法に従ったとしても、IDT電極をAlで形成し、かつSiO2膜を形成した場合には、図11の矢印Aで示す大きなリップルが共振点と反共振点との間において表れることがわかる。また、このようなリップルは、SiO2を有しない弾性表面波共振子では表れていないことがわかる。
【0078】
従って、SiO2膜の形成により周波数温度特性の改善等を図ろうとしても、AlによりIDT電極を形成した場合には、上記リップルAが表れ、特性の劣化を引き起こすことがわかる。本願発明者は、この点につきさらに検討した結果、IDT電極として、Alよりも高密度の金属を用いれば、IDT電極の反射係数を高めることができ、それによって上記リップルAを抑制し得ることを見出した。
【0079】
すなわち、上記実施例と同様の製造方法に従って、但し、IDT電極4を構成する金属の密度を種々異ならせ、上記実施例と同様にして弾性表面波共振子を作製した。このようにして得られた弾性表面波共振子のインピーダンス特性を図12(a)〜(e)に示す。図12(a)〜(e)は、それぞれ、IDT電極及び保護金属膜の積層構造の平均密度ρ1の第1絶縁物層の密度ρ2に対する比ρ1/ρ2が、2.5、2.0、1.5、1.2及び1.0の場合の結果を示す。
【0080】
図12(a)〜(e)から明らかなように、図12(a)〜(c)では、上記リップルAが帯域外にシフトされ、さらに図12(a)では、上記リップルAが著しく抑圧されていることがわかる。
【0081】
従って、図12の結果から、IDT電極及び保護金属膜の積層構造の第1絶縁物層に対する密度比を1.5倍以上とすれば、上記リップルAを共振周波数−反共振周波数の帯域の外側にシフトさせ、良好な特性の得られることがわかる。また、より好ましくは、上記密度比を2.5倍以上とすれば、リップル自体を小さくし得ることがわかる。
【0082】
図12(a)〜(e)では、上記実施例に従って、IDT電極4A上に、Ti膜が積層されていたため、上記平均密度が用いられたが、本発明においては、IDT電極4A上に、保護金属膜が設けられずともよい。その場合には、IDT電極4Aの厚みを第1の絶縁物層の厚みと同じにして、IDT電極の密度の第1絶縁物層の密度に対する比を1.5倍以上とすることが好ましく、より好ましくは2.5倍以上とすればよく、上記と同様の効果の得られることが確かめられた。
【0083】
従って、SiO2膜によりIDT電極を被覆してなる弾性表面波共振子において、IDT電極の密度あるいはIDT電極と保護金属膜との積層体の平均密度を、IDT電極の側方に位置する第1絶縁物層の密度よりも大きくすれば、IDT電極の反射係数を高めることができ、それによって共振点−反共振点間に表れる特性の劣化を抑制し得ることがわかる。
【0084】
なお、Alより高密度の金属もしくは合金としては、Cuの他、Ag,Auなどやこれらを主体とする合金が挙げられる。
【0085】
また、好ましくは、上記実施例のように、IDT電極上に、保護金属膜を積層した構造とすれば、図1(a)〜(g)に示した製造方法から明らかなように、レジストパターン3を剥離する際に、IDT電極4Aの側面が第1絶縁物層2により覆われており、かつ上面が保護金属膜6により覆われているため、IDT電極4Aの腐食を防止することができる。よって、より一層良好な特性を有する弾性表面波共振子を提供し得ることがわかる。
【0086】
さらに、SiO2以外のSiOxNyなどの他の温度特性改善効果のある絶縁性材料により第1,第2の絶縁物層を形成してもよい。また、第1,第2の絶縁物層は異なる絶縁性材料で構成されてもよく、上記のように等しい材料で構成されてもよい。
【0087】
図13は、オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みで様々な金属を用いてIDT電極を形成した場合のIDTの規格化膜厚H/λと、電気機械結合係数の関係を示す図である。
【0088】
図13から得られる、Alに比べて電気機械結合係数が大きくなる電極の規格化膜厚を各金属について調べたところ、図14に示す結果が得られた。すなわち、図14は、上記LiTaO3基板上に、様々な密度の金属からなるIDT電極を形成した場合に、上述したようにAlからなるIDT電極を形成した場合に比べて電気機械結合係数が大きくなる電極膜厚範囲を示す図である。
【0089】
図14において、各金属からなる電極の膜厚範囲のうち上限が、Alよりも電気機械結合係数が大きくなる範囲の限界値であり、各金属の電極膜厚範囲の下限は作製限界を示す。電気機械結合係数の大きな電極膜厚の範囲をy、密度をxとして上限を二次式で近似すると、y=0.00025x2−0.01056x+0.16473となる。
【0090】
従って、後述の各電極材料別の具体的な実施例の説明から明らかなように、14°〜50°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,104°〜140°,0°))のLiTaO3からなる圧電基板上に電極が形成されており、さらにSiO2膜は規格化膜厚Hs/λ0.03〜0.45の範囲で形成されている構造において、電極の規格化膜厚H/λが、
0.005≦H/λ≦0.00025×ρ2−0.01056×ρ+0.16473 …式(1)
を満たす場合、図14の結果から明らかなように電気機械結合係数を高めることができる。なお、ρは電極の平均密度を示す。
【0091】
本発明においては、電極は、上述したアルミニウムよりも密度の高い金属を用いて構成されていることを特徴とする。この場合、電極は、アルミニウムよりも密度の高い金属から構成されていてもよく、あるいはアルミニウムを主体とする合金で構成されていてもよい。また、アルミニウムもしくはアルミニウムを主成分とする合金からなる主たる金属膜と、該金属膜と異なる金属からなる従たる金属膜の積層構造で構成されていてもよい。積層膜により電極が構成されている場合、電極の平均密度をρ、主たる電極層の金属の密度をρ0とした場合、ρ0×0.7≦ρ≦ρ0×1.3を満足する平均密度であればよい。
【0092】
また、本発明においては、上記のように第2絶縁物層の表面が平坦化されるが、この平坦化とは、電極の膜厚の30%以下の凹凸を有するものであればよい。30%を超えると、平坦化による効果が十分に得られないことがある。
【0093】
さらに、上記のように第2絶縁物層の平坦化は、様々な方法で行われる。例えば、エッチバックによる平坦化方法、逆スパッタ効果による斜入射効果を利用した平坦化方法、絶縁物層表面を研磨する方法、あるいは電極を研磨する方法などが挙げられる。これらの方法は2種以上が併用されてもよい。これらの方法の詳細を、図102〜図105を説明する。
【0094】
図102(a)〜(c)は、エッチバック方法により絶縁物層表面を平坦化する方法である。まず、図102(a)に示すように、圧電性基板41上に、電極42が形成され、しかる後絶縁物層43が形成される。図102(b)に示すように、絶縁物層43上にレジスト44がスピンコーティング等により形成される。レジスト44の表面は平坦である。従って、この状態から、反応性イオンエッチングによりエッチングすることにより、すなわちエッチバックにより、SiO2などからなる絶縁物層43の表面を平坦化することができる(図102(c))。
【0095】
図103(a)〜(d)は、逆スパッタ法を説明するための各模式的断面図である。ここでは、圧電性基板41上に電極42が形成され、しかる後絶縁物層43が形成される。そして、アルゴンイオンなどをスパッタリングにより絶縁物層43の表面に照射する。このイオンは、基板41をスパッタするために用いられている。イオンが基板に衝突し、スパッタリングを行う場合、平坦な面に入射するよりも、斜めの面に入射する場合の方が大きなスパッタ効果が得られる。これは、斜入射効果として知られている。この効果により、絶縁物層43の表面が、図103(b)〜(d)に示すように、スパッタリングを進めるに従って平坦化される。
【0096】
図104(a)及び(b)は、絶縁物層を研磨することにより平坦化する方法を説明するための模式的断面図である。図104(a)に示すように、基板41上に、電極42及び絶縁物層43を形成した後、機械的または化学的に研磨することにより、絶縁物層43の表面を平坦化することができる。
【0097】
図105(a)〜(c)は、電極を研磨することにより平坦化を図る方法である。ここでは、図105(a)に示すように、基板41上に、第1絶縁物層45を形成した後、電極材料からなる金属膜42Aを全面に蒸着等により形成される。しかる後、図105(b)に示すように、金属膜42Aを機械的または化学的に研磨することにより、電極42と、電極42が設けられている領域の周囲の領域に形成された第1絶縁物層45を形成する。このようにして、第1絶縁物層45及び電極42の上面が面一とされ、平坦化される。しかる後、図105(c)に示すように、第2絶縁物46を形成することにより、表面が平坦な絶縁物層を形成することができる。
【0098】
本発明は、様々な弾性表面波装置に適用することができる。このような弾性表面波装置の例を、図106(a),(b)〜図108に示す。図106(a)及び(b)は、それぞれ、1ポート型弾性表面波共振子47及び2ポート型弾性表面波共振子48の電極構造を示す模式的平面図である。また、図106(b)に示す2ポート型弾性表面波共振子48と同じ電極構造を用いて2ポート型弾性表面波共振子フィルタを構成してもよい。
【0099】
さらに、図107及び図108は、それぞれ、ラダー型フィルタ及びラチス型フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。図107及び図108に示すラダー型フィルタ49a及びラチス型フィルタ49bのような電極構造を圧電性基板上に形成することにより、本発明に従ってラダー型フィルタ及びラチス型フィルタを構成することができる。
【0100】
もっとも、本発明は、図106及び図107に示した電極構造を有する弾性表面波装置に限らず、様々な弾性表面波装置に適用することができる。
【0101】
また、本発明に係る弾性表面波装置では、好ましくは、漏洩弾性波を用いた弾性表面波装置が構成される。特開平6−164306号公報には、Auなどの重い金属からなる電極を有する弾性表面波装置であって、伝搬減衰がないラブ波を用いた弾性表面波装置が開示されている。ここでは、重い金属を電極として用いることにより、伝搬する弾性表面波の音速が基板の遅い横波バルク波よりも遅くされ、それによって漏洩成分がなくなり、非漏洩の弾性表面波としてのラブ波が利用されている。
【0102】
しかしながら、上記ラブ波では、音速が必然的に遅くなり、それに伴ってIDTのピッチが小さくならざるを得ない。従って、加工の難易度が高くなり、加工精度が劣化する。加えて、IDTの線幅も小さくなり、抵抗による損失も増大する。従って、損失が大きくならざるを得ない。
【0103】
これに対して、本発明では、上記のようなラブ波を用いた弾性表面波装置とは異なり、Alよりも重い金属からなる電極を用いているにも関わらず、音速の速い漏洩弾性表面波を好適に利用することができ、その場合であっても伝搬損失の低減を図ることができる。従って、低損失の弾性表面波装置を構成することができる。
【0104】
以下、上述した結果をふまえて、電極をAlよりも密度の大きい金属で構成した場合の個々の例につき、金属材料ごとに説明を行うこととする。
【0105】
なお、本発明で用いられるAlよりも密度の大きい金属とは、(1)密度15000〜23000kg/m3及びヤング率0.5×1011〜1.0×1011N/m2あるいは横波音速が1000〜2000m/sである金属、例えばAu、(2)密度5000〜15000kg/m3及びヤング率0.5×1011〜1.0×1011N/m2あるいは横波音速が1000〜2000m/sである金属、例えばAg、(3)密度5000〜15000kg/m3及びヤング率1.0×1011〜2.05×1011N/m2あるいは横波音速が2000〜2800m/sである金属、例えばCu、(4)密度15000〜23000kg/m3及びヤング率2.0×1011〜4.5×1011N/m2あるいは横波音速が2800〜3500m/sである金属、例えばタングステン、(5)密度15000〜23000kg/m3及びヤング率1.0×1011〜2.0×1011N/m2あるいは横波音速が2000〜2800m/sである金属、例えばタンタル、(6)密度15000〜23000kg/m3及びヤング率1.0×1011〜2.0×1011N/m2あるいは横波音速が1000〜2000m/sである金属、例えば白金、(7)密度5000〜15000kg/m3及びヤング率2.0×1011〜4.5×1011N/m2あるいは横波音速が2800〜3500m/sである金属、例えばNi,Moが挙げられる。
【0106】
〔電極がAuを主体とする実施例〕
図15は、本発明の他の実施例に係る弾性表面波装置としての縦結合共振子フィルタを説明するための平面図である。
【0107】
弾性表面波装置21は、LiTaO3基板22の上面に、IDT23a,23b及び反射器24a,24bを形成した構造を有する。また、IDT23a,23b及び反射器24a,24bを覆うようにSiO2膜15が形成されている。なお、LiTaO3基板22としては、25°〜58°回転Y板X伝搬(オイラー角(0°,115°〜148°,0°))LiTaO3基板が用いられる。この範囲外のカット角の回転Y板X伝搬LiTaO3基板では、減衰定数が大きく、TCFも悪化する。
【0108】
IDT23a,23b及び反射器24a,24bは、Alに比べて密度の高い金属により構成される。このような金属としては、Au、Pt、W、Ta、Ag、Mo、Cu、Ni、Co、Cr、Fe、Mn、Zn及びTiからなる群から選択された少なくとも1種の金属または該少なくともその1種を主成分とする合金が挙げられる。
【0109】
上記のように、Alに比べて密度の高い金属によりIDT23a,23b及び反射器24a,24bが構成されているため、IDT23a,23b及び反射器24a,24bの膜厚をAlを用いた場合に比べて薄くした場合であっても、図16、図17に示すように、電気機械結合係数及び反射係数を高めることができる。
【0110】
そして、上記のように電極膜厚を薄くすることができる。SiO2膜25の厚みについては、後述の実験例から明らかなように、弾性表面波の波長で規格化された膜厚Hs/λが0.03〜0.45の範囲であることが好ましい。なお、Hsは第1,第2絶縁物層をSiO2で構成した場合の合計の厚み、λは弾性表面波の波長を示す。この範囲にすることで、SiO2膜がない場合より減衰定数を大幅に小さくすることができ、低ロス化が可能となる。
【0111】
IDTを構成する材料によっても異なるが、例えばAu膜からなる場合、IDT23a,23bの弾性表面波の波長で規格化された膜厚は0.013〜0.030が好ましい。Au膜が薄いと、IDTが引き回り抵抗をもつので、より好ましくは0.021〜0.03が好ましい。
【0112】
本発明の係る弾性表面波装置では、上記のように、LiTaO3基板22上にAlよりも密度の大きい金属によりIDT23a,23bが構成されており、該IDT23a,23bの電極膜厚を薄くすることができる。よって、良好な特性を有し、かつSiO2膜25の形成により良好な周波数温度特性が実現される。これを、具体的な例に基づき説明する。
【0113】
36°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に、AlからなるIDTを形成した場合、及びAu、Ta、Ag、Cr、W、Cu、Zn、Mo、NiからなるIDTの種々の膜厚で形成した場合の電気機械結合係数Ksaw及び減衰定数(α)と反射係数|ref|の変化を図16,図18及び図17にそれぞれ示す。なお、数値計算はJ.J.Champbell and W.R.Jones:IEEE Trans.Sonic&Ultrason.SU-15.p209(1968)の方法に従い、電極は全面一様として計算を行った。
【0114】
図16から明らかなように、AlからなるIDTにおいて、規格化された膜厚H/λが0.10の場合、電気機械結合係数Ksawは約0.27である。なお、Hは厚み、λは弾性表面波の波長を示す。これに対して、Au、Ta、Ag、Cr、W、Cu、Zn、Mo、NiからなるIDTではH/λを0.013〜0.035の範囲とした場合、より大きな電気機械結合係数Ksawを実現することができる。しかしながら、図18から明らかなように、膜厚H/λの如何に関わらず、AlからなるIDTでは減衰定数αがほぼ0であるのに対し、Au、Ta、Ag、Cr、W、Cu、Zn、Mo、NiからなるIDTでは、減衰定数が非常に大きくなる。
【0115】
図25は、オイラー角で(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、AuからなるIDT及びSiO2膜を形成した構造における、θと、電気機械結合係数との関係を示す図である。ここでは、AuからなるIDTの規格化膜厚を、0.022、0.025及び0.030とした場合、並びにSiO2膜の規格化膜厚Hs/λを、0.00(SiO2膜を成膜せず)、0.10、0.20、0.30及び0.45と変化させた。
【0116】
図25から明らかなように、SiO2膜が厚くなるに連れて、電気機械結合係数Ksawが小さくなることがわかる。また、後述するように、SiO2膜による特性の劣化を抑制するために、IDTの膜厚を薄くした場合を考えてみる。前述の図16から明らかなように、従来のAlからなるIDTにおいて規格化膜厚を0.04まで薄くした場合、SiO2膜が形成されていない場合でも、電気機械結合係数Ksawは0.245と小さくなる。また、AlからなるIDTの規格化膜厚を0.04とし、SiO2膜を形成した場合には、電気機械結合係数Ksawはさらに小さくなり、実用上広帯域化が困難となる。
【0117】
これに対して、図25から明らかなように、AuからなるIDTを形成し、SiO2膜を形成した構造では、オイラー角のθを128.5°以下とすることにより、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λを0.45程度とした場合であっても、電気機械結合係数Ksawは0.245以上となることがわかる。また、規格化膜厚が0.30程度のSiO2膜を形成した場合には、オイラー角のθを132°以下とすることにより、電気機械結合係数Ksawを0.245以上とすることができる。なお、後述するように、オイラー角のθが115°よりも小さい場合には、減衰定数が大きくなり、実用的ではない。従って、25°〜42°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0±3°,115°〜132°,0±3°))、より好ましくは25°〜38.5°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0±3°,115°〜128.5°,0±3°))のLiTaO3基板を用いることが好適であることがわかる。
【0118】
他方、36°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,126°,0°)のLiTaO3基板の周波数温度特性(TCF)は−30〜−40ppm/℃であり、十分ではない。この周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲内となるように改善するために、36°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に、AuからなるIDTを形成し、さらにSiO2膜を種々の膜厚で形成した場合の周波数温度特性の変化を図19に示す。なお、図19において、○は理論値を示し、×は実験値を示す。ここでは、AuからなるIDTの規格化膜厚はH/λ=0.020である。
【0119】
図19から明らかなように、SiO2膜の形成により、周波数温度特性が改善されることがわかる。特に、SiO2膜の規格化された膜厚Hs/λが0.25の近傍の場合、TCFが0となり好ましいことがわかる。
【0120】
また、回転Y板X伝搬LiTaO3基板として、カット角が36°(オイラー角で(0°,126°,0°))及び38°(オイラー角で(0°,128°,0°))の2種類のオイラー角のLiTaO3基板を用い、AuからなるIDTの膜厚及びSiO2膜の膜厚を種々変化させた場合の減衰定数αの変化を数値解析した。結果を図20及び図21に示す。なお、図20及び図21のAuの膜厚値はH/λである。図20及び図21から明らかなように、AuからなるIDTの膜厚の如何に関わらず、SiO2膜の膜厚を選択すれば、減衰定数αを小さくし得ることがわかる。すなわち、図20及び図21から明らかなように、SiO2膜の膜厚Hs/λを0.03〜0.45、より好ましくは0.10〜0.35の範囲とすれば、いずれかのオイラー角のLiTaO3基板及びいずれの膜厚のAuからなるIDTを形成した場合においても、減衰定数αが非常に小さくされ得ることがわかる。
【0121】
さらに、図17により、AuからなるIDTを用いると、薄い膜厚でもAlに比べて十分大きな反射係数が得られていることがわかる。
【0122】
従って、上記図16〜図21の結果から、LiTaO3基板上に膜厚H/λが0.013〜0.030のAuからなるIDTを形成した場合、SiO2膜の膜厚Hs/λを0.03〜0.45の範囲とすれば、大きな電気機械結合係数が得られるだけでなく、減衰定数αを非常に小さくし、かつ、十分な反射係数を得ることができることができる。
【0123】
上述した実施例において、カット角36°(オイラー角で(0°,126°,0°))のLiTaO3基板上に、H/λ=0.020の規格化膜厚のAuからなるIDTを形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.1のSiO2膜を形成してなる実施例の弾性表面波装置11の減衰量−周波数特性を図22に破線で示す。また、比較のために、該弾性表面波フィルタにおいて、SiO2膜を形成する前の構造の減衰量周波数特性を実線で示す。
【0124】
図22から明らかなように、SiO2膜の形成により電気機械結合係数が0.30から0.28に若干小さくなるにもかかわらず、挿入損失が改善されていることがわかる。従って、図22から明らかなように、SiO2膜を上記特定の範囲の厚みとすれば、減衰定数αが小さくなることが裏付けられる。
【0125】
本願発明者は、上述した知見に基づき、様々なオイラー角の回転Y板X伝搬LiTaO3基板上に、規格化膜厚が0.02であるAuからなるIDTを形成し、さらに様々な厚みのSiO2膜を形成して1ポート型弾性表面波共振子を試作した。この場合、SiO2膜の規格化膜厚は、0.10、0.20、0.30及び0.45とした。このようにして得られた各1ポート型弾性表面波共振子のQ値を測定した。結果を図26に示す。
【0126】
一般に、共振子のQ値が大きい程、フィルタとして用いた場合の通過帯域から減衰域にかけてのフィルタ特性の急峻性が高められる。従って、急峻なフィルタを必要とするときには、Q値は大きい方が望ましい。図26から明らかなように、SiO2膜の膜厚の如何に関わらず、カット角が48°回転Y板、オイラー角で(0°,138°,0°)付近でQ値が最大となり、カット角42°〜58°(オイラー角で(0°,132°〜148°,0°))の範囲でQ値が比較的大きいことがわかる。
【0127】
従って、図26から明らかなように、カット角42°〜58°回転Y板(オイラー角で(0°,132°〜148°,0°))のLiTaO3基板を用い、該LiTaO3基板上に、Auよりも密度の高い金属からなる少なくとも1つのIDTを形成し、さらにSiO2膜をIDTを覆うようにLiTaO3基板上に形成した構造とすることにより、大きなQ値を得ることができることがわかる。好ましくは、図26から明らかなように、カット角は46.5°〜53°回転Y板(オイラー角で(0°,136.5°〜143°,0°))とされる。
【0128】
なお、本発明においては、IDTの上面に密着層が形成されてもよい。すなわち、図27(a)に示すように、LiTaO3基板32上に、IDT33が形成されており、IDT33の上面に、密着層34が作製されていてもよい。密着層34は、IDT33とSiO2膜35との間に配置されている。密着層34は、SiO2膜35のIDT33に対する密着強度を高めるために設けられている。このような密着層34を構成する材料としては、PdまたはAl、あるいはこれらの合金が好適に用いられる。また、金属に限らず、ZnOなどの圧電材料や、Ta2O3もしくはAl2O3などの他のセラミックスを用いて密着層34を構成してもよい。密着層34の形成により、Alよりも密度が高い金属からなるIDT33とSiO2膜35との密着強度が高められ、それによってSiO2膜の膜剥がれが抑制される。
【0129】
密着層34の厚みは、弾性表面波全般への影響を与えないためには、弾性表面波の波長の1%程度以下の厚みとすることが望ましい。また、図27(a)では、IDT33の上面に密着層34が形成されていたが、図27(b)に示すように、LiTaO3基板上にSiO2膜35との界面にも密着層34Aを形成してもよい。さらに図27(c)に示すように、密着層34は、IDT33の上面だけでなく側面をも覆うように形成されてもよい。
【0130】
また、SiO2膜の密着強度を改善する他の構成として、IDT以外のバスバーや外部との接続用パッドを含む複数の電極において、該複数の電極を、それぞれ、IDTと同じ材料からなる下地金属層と、下地金属層上に積層されており、AlもしくはAl合金からなる上層金属層からなるものを用いてもよい。すなわち、例えば図15に示した反射器24a,24bを構成する電極膜として、IDT23a,23bと同じ材料からなる下地金属層と、該下地金属層上に、Al膜を積層してもよい。このように、AlやAl合金からなる上層金属層を設けることにより、SiO2膜との密着強度が高められる。また、電極コストを低減することもでき、さらにAlウェッジボンド性を高めることもできる。
【0131】
なお、上記IDT以外の電極としては、反射器、バスバー、外部との電極的接続用パッドだけでなく、必要に応じて形成される引き回し電極などが挙げられる。また、上記Al合金としては、特に限定されないが、Al−Ti合金、Al−Ni−Cr合金などが挙げられる。
【0132】
なお、上述した実験例の場合以外のオイラー角の回転Y板X伝搬LiTaO3基板を用いた場合においても、AuからなるIDTを形成した場合において、減衰定数αを最小とするSiO2膜の膜厚が存在することが本願発明者等により確かめられている。すなわち、SiO2膜の膜厚Hs/λを特定の範囲とすれば、上記実験例の場合と同様に、減衰定数αを小さくすることができる。一方、SiO2膜の膜厚Hs/λを0.1〜0.45としたときのオイラー角とαの関係を図28〜36に示す。これらの図からSiO2膜の膜厚が厚くなるに従い、αが極小となるオイラー角のθが小さくなることも明らかとなった。従って、他のオイラー角の回転Y板X伝搬LiTaO3基板を用いた場合であっても、AuからなるIDTを形成し、SiO2膜を積層した構造において、SiO2膜の厚みを選択することにより、従来の弾性表面波装置に比べて、周波数温度特性TCFが半分以下と良好であり、電気機械結合係数が大きく、かつ反射係数が大きな弾性表面波装置を構成することができる。このような効果を発現し得るLiTaO3基板のオイラー角と、AuからなるIDTの電極膜厚と、SiO2膜の膜厚の好ましい組み合わせは、以下の表16及び表17で示される通りであることが確かめられている。
【0133】
【表16】
【0134】
【表17】
【0135】
なお、オイラー角のθが所望の角度から−2°〜+4°ずれることがある。このずれは本願明細書における計算結果が基板の全面に金属膜を形成したものから計算されたものであるため、実際の弾性表面波装置では上記の範囲で誤差が発生することもある。
【0136】
本発明に係る弾性表面波装置の製造に際しては、回転Y板X伝搬LiTaO3基板上にAuを主成分とする金属からなるIDTを形成した後、その状態において周波数調整を行ない、しかる後減衰定数αを小さくし得る範囲の膜厚のSiO2膜を成膜することが望ましい。これを、図23及び図24を参照して説明する。図23は、36°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,126°,0°))LiTaO3基板上に、種々の膜厚のAuからなるIDT及び種々の膜厚のSiO2膜を形成した場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す。また、図24は、同じオイラー角のLiTaO3基板上に、種々の膜厚のAuからなるIDTを形成した場合、その上に形成されるSiO2膜の規格化膜厚を変化させた場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す。図23と図24を比較すれば明らかなように、Auの膜厚を変化させた場合の方が、SiO2膜の膜厚を変化させた場合よりも弾性表面波の音速の変化がはるかに大きい。従って、SiO2膜の形成に先立ち、周波数調整が、行われることが望ましく、例えば、レーザーエッチングやイオンエッチングなどによりAuからなるIDTを形成した後に周波数調整を行うことが望ましい。特に好ましくは、Auの規格化膜厚が、0.015〜0.03の範囲であれば、SiO2膜による音速の変化が小さくなり、SiO2膜のばらつきによる周波数変動を小さくすることができる。
【0137】
なお、オイラー角のθが所望の角度から−2°〜+4°ずれることがある。このずれは本願明細書における計算結果が基板の全面に金属膜を形成したものから計算されたものであるため、実際の弾性表面波装置では上記の範囲で誤差が発生することもある。
【0138】
また、製造の際、オイラー角のφとψは0°から±3°ばらつくが、特性は0°のものとほぼ同じ特性が得られた。
【0139】
〔電極材料がAgの実施例〕
本実施例の弾性表面波装置は、前述した図15に示した弾性表面波装置21と同様である。もっとも、本実施例では、IDT23a,23bがAgにより構成されている。
【0140】
後述するように、IDT23a,23bがAgからなる場合には、IDT23a,23bの弾性表面波の波長で規格化された膜厚H/λは0.01〜0.08が好ましい。
【0141】
本発明の係る弾性表面波装置では、上記のように、LiTaO3基板22上にAgによりIDT23a,23bが構成されており、該IDT23a,23bの電極膜厚を薄くすることができる。オイラー角のLiTaO3基板を用いるため減衰定数を大幅に小さくすることができ、低ロス化が可能となる。また、SiO2膜25の形成により、良好な周波数温度特性が実現される。これを、具体的な実験例に基づき説明する。
【0142】
LiTaO3基板を伝わる弾性表面波には、レイリー波の他に漏洩弾性表面波(LSAW)がある。漏洩弾性表面波は、レイリー波に比べて音速が早く、電気機械結合係数が大きいが、エネルギーを基板内に放射しつつ伝搬する。従って、漏洩弾性表面波は、伝搬ロスの原因となる減衰定数を有する。
【0143】
図36は、36°回転Y板X伝搬LiTaO3基板(オイラー角で(0°,126°,0°))上に、AgからなるIDTを形成した場合のAg膜の規格化膜厚H/λと、電気機械結合係数Ksawとの関係を示す。なお、λは、弾性表面波装置の中心周波数における波長を示すものとする。
【0144】
図36から明らかなように、Ag膜の膜厚H/λが0.01〜0.08の範囲において、電気機械結合係数Ksawが、Ag膜が形成されていない場合(H/λ=0)に比べて1.5倍以上となることがわかる。また、Ag膜の膜厚がH/λ=0.02〜0.06の範囲では、Ag膜が形成されていない場合に比べて、電気機械結合係数Ksawは1.7倍以上の値となり、Ag膜の膜厚H/λが0.03〜0.05の範囲では、Ag膜が形成されていない場合の1.8倍以上の値となることがわかる。
【0145】
Ag膜の規格化膜厚H/λが0.08を超えると、Ag膜からなるIDTの作製が困難となる。従って、大きな電気機械結合係数を得ることができ、かつIDTの作製が容易であるため、Ag膜からなるIDTの厚みは、0.01〜0.08の範囲であることが望ましく、より好ましくは0.02〜0.06、さらに好ましくは0.03〜0.05の範囲とされる。
【0146】
次に、LiTaO3基板上に、SiO2膜を成膜した場合の周波数温度係数TCFの変化を図37に示す。図37は、オイラー角(0°,113°,0°)、(0°,126°,0°)及び(0°,129°,0°)の3種類のLiTaO3基板上にSiO2膜が形成されている場合のSiO2膜の規格化膜厚Hs/λとTCFとの関係を示す。なお、ここでは電極は形成されていない。
【0147】
図37から明らかなように、θが113°、126°及び129°のいずれの場合においても、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λが0.15〜0.45の範囲において、TCFが−20〜+20ppm/℃の範囲となることがわかる。もっとも、SiO2膜の成膜には時間を要するため、SiO2膜の膜厚Hs/λは0.15〜0.40が望ましい。
【0148】
LiTaO3基板上にSiO2膜を成膜することにより、レイリー波などのTCFが改善されることは知られていたが、LiTaO3基板上に、Agからなる電極を形成し、さらにSiO2膜を積層した構造において、実際に、Agからなる電極の膜厚、SiO2の膜厚、オイラー角、及び漏洩弾性波の減衰定数を考慮して実験された報告はない。
【0149】
図38は、オイラー角(0°,120°,0°)のLiTaO3基板上に規格化膜厚H/λが0.10以下のAgからなる電極と、規格化膜厚Hs/λが0〜0.5のSiO2膜を形成した場合における減衰定数αの変化を示す。図38から明らかなように、SiO2膜の膜厚Hs/λが0.2〜0.40、Ag膜の膜厚H/λが0.01〜0.10である場合に減衰定数αが小さくなっていることがわかる。
【0150】
他方、図39は、(0°,140°,0°)のオイラー角のLiTaO3基板上には、規格化膜厚H/λが0〜0.10のAg膜を形成し、さらに、規格化膜厚Hs/λが0〜0.5のSiO2膜を形成した場合の減衰定数αの変化を示す。
【0151】
図39から明らかなように、オイラー角でθ=140°のLiTaO3基板を用いた場合には、Ag膜の膜厚が0.06以下においてSiO2膜の膜厚を上記のように変化させたとしても、減衰定数αは大きいことがわかる。
【0152】
すなわち、良好なTCF、大きな電気機械結合係数及び小さな減衰定数を実現するには、LiTaO3基板のカット角すなわちオイラー角と、SiO2膜の膜厚と、Agからなる電極の膜厚とをそれぞれ最適なように組み合わせることが必要となることがわかる。
【0153】
図40〜図47は、それぞれ、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λが、0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.35、0.4または0.45であり、規格化膜厚H/λが0.1以下のAg膜をLiTaO3基板上に形成した場合のθと減衰定数αとの関係を示す。
【0154】
図40〜図47から明らかなように、Ag膜の厚みH/λを0.01〜0.08とした場合、SiO2膜の厚みと、オイラー角のθとが、下記の表18に示すいずれかの組み合わせとなるように選択されれば、周波数温度特性TCFが良好であり、電気機械結合係数が大きく、かつ減衰定数αを効果的に抑制し得ることがわかる。望ましくは、下記の表18の右側のより好ましいオイラー角を選択することにより、より一層良好な特性を得ることができる。
【0155】
【表18】
【0156】
また、より好ましくは、Ag膜の規格化膜厚が0.02〜0.06の場合には、SiO2膜の厚みと、オイラー角のθとが、下記の表19に示すいずれかの組み合わせとなるように選択されれば、より一層好ましく、さらに望ましくは、下記の表19の右側のより好ましいオイラー角を選択することにより、より一層良好な特性を得ることができる。
【0157】
【表19】
【0158】
さらに好ましくは、Ag膜の規格化膜厚が0.03〜0.05のときに、SiO2膜の厚みと、オイラー角のθとが、下記の表20に示すいずれかの組み合わせとなるように選択されれば、より一層良好な特性を得ることができる。この場合においても、下記の表20の右側に示すより好ましいオイラー角を選択することにより、特性をより一層改善することができる。
【0159】
【表20】
【0160】
なお、本発明では、IDTはAgのみから構成されてもよいが、Agを主体とする限り、Ag合金やAgと他の金属との積層体で構成されてもよい。Agを主体とするIDTとは、IDTの全体の80重量%以上がAgであればよい。従って、Agの下地にAl薄膜やTi薄膜が形成されていてもよく、この場合においても、下地の薄膜とAgとの合計のうち80重量%以上がAgで構成されていればよい。
【0161】
上記実験では、オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板が用いられたが、基板材料のオイラー角において、φ及びψには0±3°のばらつきが通常発生する。このようなばらつきの範囲内、すなわち(0±3°,113°〜142°,0±3°)のLiTaO3基板においても、本発明の効果は得られる。
【0162】
なお、オイラー角のθが所望の角度から−2°〜+4°ずれることがある。このずれは本願明細書における計算結果が基板の全面に金属膜を形成したものから計算されたものであるため、実際の弾性表面波装置では上記の範囲で誤差が発生することもある。
【0163】
〔Cuを電極材料として用いた場合の実施例〕
Cuにより電極を形成したことを除いては、Auを用いた場合と同様に図15に示した弾性表面波装置を構成した。Alに比べて密度の高いCuにより電極が構成されているため、電気機械結合係数及び反射係数を高めることができる。
【0164】
図58は、SiO2膜の規格化膜厚が0.20の場合のCu電極とAl電極の電極膜一本あたりの反射率と、電極膜厚との関係を示す図である。
【0165】
図58に示すように、従来用いられているAlからなる電極に比べて、Cuからなる電極を用いた場合、電極指1本あたりの反射率が高められるため、反射器における電極指の本数も低減することができる。従って、反射器の小型化、ひいては弾性表面波装置の小型化を図ることができる。
【0166】
後述するように、IDT23a,23bの弾性表面波の波長で規格化された膜厚H/λは0.01〜0.08が好ましい。
【0167】
図48は、オイラー角(0°,120°,0°)のLiTaO3基板上に規格化膜厚H/λが0.10以下のCuからなる電極と、規格化膜厚Hs/λが0〜0.5のSiO2膜を形成した場合における減衰定数αの変化を示す。図48から明らかなように、SiO2膜の膜厚Hs/λが0.2〜0.40、Cu膜の膜厚H/λが0.01〜0.10である場合に減衰定数αが小さくなっていることがわかる。
【0168】
他方、図49は、(0°,135°,0°)のオイラー角のLiTaO3基板上には、規格化膜厚H/λが0〜0.10のCu膜を形成し、さらに、規格化膜厚Hs/λが0〜0.5のSiO2膜を形成した場合の減衰定数αの変化を示す。
【0169】
図49から明らかなように、θ=135°のLiTaO3基板を用いた場合には、Cu膜の膜厚及びSiO2膜の膜厚を上記のように変化させたとしても、減衰定数αは大きいことがわかる。
【0170】
すなわち、良好なTCF、大きな電気機械結合係数及び小さな減衰定数を実現するには、LiTaO3基板のカット角すなわちオイラー角と、SiO2膜の膜厚と、Cuからなる電極の膜厚とをそれぞれ最適なように組み合わせることが必要となることがわかる。
【0171】
図50〜図57は、それぞれ、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λが、0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.35、0.4または0.45であり、規格化膜厚H/λが0.08以下のCu膜をLiTaO3基板上に形成した場合のθと減衰定数αとの関係を示す。
【0172】
図50〜図57から明らかなように、Cu膜の厚みH/λを0.01〜0.08とした場合、SiO2膜の厚みと、オイラー角のθとが、下記の表21に示すように選択されれば、周波数温度特性TCFが±20ppm/℃の範囲内とされて良好であり、電気機械結合係数が大きく、かつ減衰定数αを効果的に抑制し得ることがわかる。望ましくは、下記の表21の右側のより好ましいオイラー角を選択することにより、より一層良好な特性を得ることができる。
【0173】
【表21】
【0174】
また、Auについての図25から推測されるように、オイラー角のθが125°以下になると、電気機械結合係数Ksawが著しく大きくなることがわかる。従って、より好ましくは、下記の表22に示すSiO2膜の規格化膜厚Hs/λとオイラー角との組み合わせが望ましいことがわかる。
【0175】
【表22】
【0176】
さらに、図48〜図56に示した結果から、減衰定数が0もしくは最小となるオイラー角、すなわちθminを、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λ及びCu膜の規格化膜厚H/λに対して求めた結果を、図59に示す。
【0177】
Cu膜の規格化膜厚H/λが、0、0.02、0.04、0.06及び0.08の場合の図59に示す各曲線を三次式で近似することにより、下記の式A〜Eが得られる。
(a)0<H/λ≦0.01のとき
θmin=−139.713×Hs3+43.07132×Hs2
−20.568011×Hs+125.8314…式A
(b)0.01<H/λ≦0.03のとき
θmin=−139.660×Hs3+46.02985×Hs2
−21.141500×hs+127.4181…式B
(c)0.03<H/λ≦0.05のとき
θmin=−139.607×Hs3+48.98838×Hs2
−21.714900×Hs+129.0048…式C
(d)0.05<H/λ≦0.07のとき
θmin=−112.068×Hs3+39.60355×Hs2
−21.186000×Hs+129.9397…式D
(e)0.07<H/λ≦0.09のとき
θmin=−126.954×Hs3+67.40488×Hs2
−29.432000×Hs+131.5686…式E
従って、好ましくは、オイラー角(0±3°,θ,0±3°)のθは、上述した式A〜式Eで示されるθminとされることが望ましいが、θmin−2°<θ≦θmin+2°であれば、減衰定数を効果的に小さくすることができる。
【0178】
なお、本発明ではIDTはCuのみから構成されてもよいが、Cuを主体とする限り、Cu合金やCuと他の金属との積層体で構成されてもよい。Cuを主体とするIDTとは、電極の平均密度をρ(平均)とすると
ρ(Cu)×0.7≦ρ(平均)≦ρ(Cu)×1.3
すなわち、
6.25g/cm3≦ρ(平均)≦11.6g/cm3
を満足するものであればよい。なお、Cuの上あるいは下に電極全体のρ(平均)が上記範囲となるように、Alよりも密度の大きいW、Ta、Au、Pt、AgまたはCrなどの金属からなる電極を積層してもよい。その場合にも、Cu電極単層の場合と同様の効果が得られる。
【0179】
なお、オイラー角のθが所望の角度から−2°〜+4°ずれることがある。このずれは本願明細書における計算結果が基板の全面に金属膜を形成したものから計算されたものであるため、実際の弾性表面波装置では上記の範囲で誤差が発生することもある。
【0180】
また、製造の際、オイラー角のφとψは0°から±3°ばらつくが、特性は0°のものとほぼ同じ特性が得られた。
【0181】
〔電極材料としてタングステンを用いた実施例〕
前述した実施例と同様に、図15に示した弾性表面波装置を構成した。但し、IDT及び反射器をタングステンにより構成した。IDTの規格化膜厚H/λは0.0025〜0.06の範囲とした。
【0182】
また、LiTaO3基板としては、22°〜48°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,112°〜138°,0°)のLiTaO3基板を用いた。
【0183】
本実施例では上記のように、22°〜48°回転Y板X伝搬LiTaO3からなる圧電基板22と、H/λ=0.0025〜0.06であるタングステンよりなるIDT3a,3bと、Hs/λ=0.10〜0.40の範囲にあるSiO2膜4とを用いているため、周波数温度係数TCFが小さく、電気機械結合係数Ksawが大きく、かつ伝搬損失が小さい弾性表面波装置を提供することができる。これを、以下の具体的な実験例に基づき説明する。
【0184】
図60及び図61は、オイラー角(0°,120°,0°)と、(0°,140°,0°)の各LiTaO3基板上に、種々の膜厚のタングステンからなるIDTと、種々の膜厚のSiO2膜とを形成した場合の減衰定数を示す図である。
【0185】
図60から明らかなように、θ=120°では、SiO2の膜厚Hs/λが0.1〜0.40かつタングステンよりなる電極の規格化膜厚H/λが0.0〜0.10の範囲において、減衰定数が小さいことがわかる。他方、図61から明らかなように、θ=140°では、タングステンからなる電極の規格化膜厚H/λが0.0〜0.10の範囲では、SiO2膜の膜厚の如何に係わらず、減衰定数が大きくなっていることがわかる。
【0186】
すなわち、TCFを±20ppm/℃と小さくし、大きな電気機械結合係数を得、かつ減衰定数を小さくするには、LiTaO3基板のオイラー角、SiO2膜の厚み及びタングステンからなる電極の膜厚の3つの条件を考慮しなければならないことがわかる。
【0187】
図62〜図65は、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λ及びタングステンからなる電極膜の規格化膜厚H/λを変化させた場合の、θ(度)と減衰定数との関係を示す。
【0188】
図62〜図65から明らかなように、タングステンからなる電極の規格化膜厚H/λが0.012〜0.053及び0.015〜0.042において、SiO2膜の膜厚と、最適なθとの関係は、下記の表23及び表24に示す通りとなる。なお、この最適θは、タングステン電極の電極指幅のばらつきや単結晶基板のばらつきにより−2°〜+4°程度ばらつくことがある。なお、図中、図示していない膜厚は比例配分による。
【0189】
【表23】
【0190】
【表24】
【0191】
すなわち、表23及び表24から明らかなように、タングステンよりなる電極の膜厚H/λが、0.012〜0.053の場合、周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲内となるように改善するために、SiO2膜の膜厚Hs/λを0.1〜0.4の範囲とした場合、LiTaO3のオイラー角におけるθは、112°〜138°の範囲、すなわち、回転角で20°〜50°の範囲、より好ましくは、表23に示すオイラー角を選択すればよいことがわかる。
【0192】
同様に、表24から明らかなように、タングステン膜からなる電極の規格化膜厚が0.015〜0.042であり、周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲内となるように改善するために、SiO2膜の膜厚Hs/λを0.1〜0.4の範囲とした場合には、LiTaO3基板のオイラー角は112°〜138°の範囲とすればよく、より好ましくはSiO2膜の膜厚に応じて表24のオイラー角を選択すればよいことがわかる。
【0193】
ここで、表23及び表24における「LiTaO3のオイラー角」の範囲は、減衰定数が0.05以下の範囲を規定したものである。また、表23及び表24におけるLiTaO3のオイラー角の「より好ましい」範囲は、減衰定数が0.025以下に規定したものである。また、タングステンからなる電極膜の規格化膜厚が0.012、0.015、0.042、0.053である場合のSiO2膜の膜厚Hs/λとオイラー角の関係は、図62〜図65に示すタングステンからなる電極膜の規格化膜厚から換算して求めたものであり、それによって、表23及び表24のSiO2膜の膜厚とオイラー角の値を求めている。
【0194】
本発明に係る弾性表面波装置の製造に際しては、回転Y板X伝搬LiTaO3基板上にタングステンを主成分とする金属からなるIDTを形成した後、その状態において周波数調整を行い、しかる後減衰定数αを小さくし得る範囲の膜厚のSiO2膜を成膜することが望ましい。これを、図66及び図67を参照して説明する。図66は、オイラー角(0°,126°,0°)の回転Y板X伝搬LiTaO3基板上に、種々の厚みH/λのタングステンからなるIDT及び種々の膜厚Hs/λのSiO2膜を形成した場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す。また、図67は、同じオイラー角のLiTaO3基板上に、種々の膜厚H/λのタングステンからなるIDTを形成した場合、その上に形成されるSiO2膜の規格化膜厚Hs/λを変化させた場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す。図66と図67を比較すれば明らかなように、タングステンの膜厚を変化させた場合の方が、SiO2膜の膜厚を変化させた場合よりも弾性表面波の音速の変化がはるかに大きい。従って、SiO2膜の形成に先立ち、周波数調整が、行われることが望ましく、例えば、レーザーエッチングやイオンエッチングなどによりタングステン(W)からなるIDTを形成した後に周波数調整を行うことが望ましい。
【0195】
なお、本発明は、上記のように、22°〜48°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,112°〜138°,0°)のLiTaO3からなる圧電基板、H/λ=0.0025〜0.06であるタングステンよりなるIDTと、Hs/λ=0.10〜0.40であるSiO2膜とを有することを特徴とするものであり、従って、IDTの数及び構造等については特に限定されない。すなわち、本発明は、図15に示した弾性表面波装置だけでなく、上記条件を満たす限り、様々な弾性表面波共振子や弾性表面波フィルタ等に適用することができる。
【0196】
なお、オイラー角のθが所望の角度から−2°〜+4°ずれることがある。このずれは本願明細書における計算結果が基板の全面に金属膜を形成したものから計算されたものであるため、実際の弾性表面波装置では上記の範囲で誤差が発生することもある。
【0197】
また、製造の際、オイラー角のφとψは0°から±3°ばらつくが、特性は0°のものとほぼ同じ特性が得られた。
【0198】
〔電極材料としてTaを用いた場合の実施例〕
図15に示した弾性表面波装置を構成した。但し、14°〜58°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,104°〜148°,0°)のLiTaO3からなる基板を圧電性基板22として用い、かつIDTはタンタル(Ta)により構成し、その規格化膜厚H/λは0.004〜0.055の範囲とした。
【0199】
本実施例では上記のように、14°〜58°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,104°〜148°,0°)のLiTaO3からなる圧電基板2と、H/λ=0.004〜0.055であるタンタルよりなるIDT3a,3bと、Hs/λ=0.10〜0.40の範囲にあるSiO2膜4とを用いているため、周波数温度係数TCFが小さく、電気機械結合係数Ksawが大きく、かつ伝搬損失が小さい弾性表面波装置を提供することができる。これを、以下の具体的な実験例に基づき説明する。
【0200】
図68及び図69は、オイラー角(0°,120°,0°)と、(0°,140°,0°)の各LiTaO3基板上に、種々の膜厚のタンタルからなるIDTと、種々の膜厚のSiO2膜とを形成した場合の減衰定数を示す図である。
【0201】
図68から明らかなように、θ=120°では、SiO2の膜厚Hs/λが0.1〜0.40かつタンタルよりなる電極の規格化膜厚H/λが0.0〜0.10の範囲において、減衰定数が小さいことがわかる。他方、図69から明らかなように、θ=140°では、タンタルからなる電極の規格化膜厚H/λが0.0〜0.06の範囲では、SiO2膜の膜厚の如何に係わらず、減衰定数が大きくなっていることがわかる。
【0202】
すなわち、TCFの絶対値を小さくし、大きな電気機械結合係数を得、かつ減衰定数を小さくするには、LiTaO3基板のオイラー角、SiO2膜の厚み及びタンタルからなる電極の膜厚の3つの条件を考慮しなければならないことがわかる。
【0203】
図70〜図73は、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λ及びタンタルからなる電極膜の規格化膜厚H/λを変化させた場合の、θと減衰定数との関係を示す。
【0204】
図70〜図73から明らかなように、タンタルからなる電極の規格化膜厚H/λが0.01〜0.055及び0.016〜0.045において、SiO2膜の膜厚と、最適なθとの関係は、下記の表25及び表26に示す通りとなる。なお、この最適θは、タンタル電極の電極指幅のばらつきや単結晶基板のばらつきにより−2°〜+4°程度ばらつくことがある。
【0205】
【表25】
【0206】
【表26】
【0207】
すなわち、表25及び表26から明らかなように、タンタルよりなる電極の膜厚H/λが、0.01〜0.055の場合、周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲内とするように改善するために、SiO2膜の規格化膜厚を0.1〜0.4の範囲とした場合、LiTaO3のオイラー角におけるθは、104°〜148°の範囲、すなわち、回転角で14°〜58°の範囲、より好ましくは、SiO2の膜厚Hs/λに応じて表25に示すオイラー角を選択すればよいことがわかる。
【0208】
同様に、表26から明らかなように、タンタル膜からなる電極の規格化膜厚が0.016〜0.045であり、周波数温度特性TCFを改善するために、SiO2膜の膜厚Hs/λを0.1〜0.4の範囲とした場合には、LiTaO3基板のオイラー角は107°〜144°の範囲とすればよく、より好ましくはSiO2膜の膜厚Hs/λに応じて表26のオイラー角を選択すればよいことがわかる。
【0209】
LiTaO3のオイラー角の範囲は、減衰定数が0.05以下の範囲を規定したものである。また、表25及び表26におけるLiTaO3のオイラー角のより好ましい範囲は、減衰定数が0.025以下に規定したものである。また、タンタルからなる電極膜の規格化膜厚が0.012、0.015、0.042、0.053である場合のSiO2膜の膜厚Hs/λとオイラー角の関係は、図70〜図73に示すタンタルからなる電極膜の規格化膜厚から換算して求めて、表25及び表26のSiO2膜の膜厚Hs/λとオイラー角の値を求めている。
【0210】
本発明に係る弾性表面波装置の製造に際しては、回転Y板X伝搬LiTaO3基板上にタンタルを主成分とする金属からなるIDTを形成した後、その状態において周波数調整を行い、しかる後減衰定数αを小さくし得る範囲の膜厚のSiO2膜を成膜することが望ましい。これを、図74及び図75を参照して説明する。図74は、オイラー角(0°,126°,0°)の回転Y板X伝搬LiTaO3基板上に、タンタルからなるIDT及びSiO2膜を形成した場合の、タンタルの規格化膜厚H/λと、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λと、漏洩弾性表面波の音速との関係を示す。また、図75は、同じオイラー角のLiTaO3基板上に、種々の膜厚のタンタルからなるIDTを形成し、その上に形成されるSiO2膜の規格化膜厚を変化させた場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す。図74と図75を比較すれば明らかなように、タンタルの膜厚を変化させた場合の方が、SiO2膜の膜厚を変化させた場合よりも弾性表面波の音速の変化がはるかに大きい。従って、SiO2膜の形成に先立ち、周波数調整が、行われることが望ましく、例えば、レーザーエッチングやイオンエッチングなどによりタンタルからなるIDTを形成した後に周波数調整を行うことが望ましい。
【0211】
なお、本発明は、上記のように、14°〜58°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,104°〜148°,0°)のLiTaO3からなる圧電基板、H/λ=0.004〜0.055であるタンタルよりなるIDTと、Hs/λ=0.10〜0.40であるSiO2膜とを有することを特徴とするものであり、従って、IDTの数及び構造等については特に限定されない。すなわち、本発明は、図15に示した弾性表面波装置だけでなく、上記条件を満たす限り、様々な弾性表面波共振子や弾性表面波フィルタ等に適用することができる。
【0212】
なお、オイラー角のθが所望の角度から−2°〜+4°ずれることがある。このずれは本願明細書における計算結果が基板の全面に金属膜を形成したものから計算されたものであるため、実際の弾性表面波装置では上記の範囲で誤差が発生することもある。
【0213】
また、製造の際、オイラー角のφとψは0°から±3°ばらつくが、特性は0°のものとほぼ同じ特性が得られた。
【0214】
〔電極材料として白金を用いた実施例〕
図15に示した弾性表面波装置を、0°〜79°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,90°〜169°,0°)のLiTaO3基板からなる圧電基板と、H/λ=0.005〜0.054である白金よりなるIDTを用いて構成した。その他の点は前述した実施例と同様である。
【0215】
本実施例においても、上記構成を備えるため、周波数温度係数TCFが小さく、電気機械結合係数Ksawが大きく、かつ伝搬損失が小さい弾性表面波装置を提供することができる。これを、以下の具体的な実験例に基づき説明する。
【0216】
図76及び図77は、オイラー角(0°,125°,0°)と、(0°,140°,0°)の各LiTaO3基板上に、種々の膜厚の白金からなるIDTと、種々の膜厚のSiO2膜とを形成した場合の減衰定数を示す図である。
【0217】
図76から明らかなように、θ=125°では、SiO2の膜厚Hs/λが0.1〜0.40かつ白金よりなる電極の規格化膜厚H/λが0.005〜0.06の範囲において、減衰定数が小さいことがわかる。他方、図77から明らかなように、θ=140°では、白金からなる電極の規格化膜厚H/λが0.005〜0.06の範囲では、SiO2膜の膜厚Hs/λの如何に係わらず、減衰定数が大きくなっていることがわかる。
【0218】
すなわち、TCFの絶対値を小さくし、大きな電気機械結合係数を得、かつ減衰定数を小さくするには、LiTaO3基板のオイラー角、SiO2膜の厚み及び白金からなる電極の膜厚の3つの条件を考慮しなければならないことがわかる。
【0219】
図78〜図83は、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λ及び白金からなる電極膜の規格化膜厚H/λを変化させた場合の、オイラー角のθ(度)と減衰定数との関係を示す。
【0220】
図78〜図83から明らかなように、白金からなる電極の規格化膜厚H/λが0.005〜0.054では、θは90°〜169°の範囲とすることが望ましいことがわかる。また、白金からなる電極の規格化膜厚H/λが0.01〜0.04及び0.013〜0.033においては、SiO2膜の膜厚Hs/λと、最適なθとの関係は、減衰定数αを低下させることも考慮すると、下記の表27及び表28に示す通りとなる。ここで、表27及び表28における「LiTaO3のオイラー角」の範囲は、減衰定数が0.05dB/λ以下の範囲を規定したものである。また、表27及び表28におけるLiTaO3のオイラー角の「より好ましい」範囲は、減衰定数が0.025dB/λ以下の範囲を規定したものである。なお、この最適θは、白金電極の電極指幅のばらつきや単結晶基板のばらつきにより−2°〜+4°程度ばらつくことがある。
【0221】
また、製造の際、オイラー角のφとψは0°から±3°ばらつくが、特性は0°のものとほぼ同じ特性が得られた。
【0222】
【表27】
【0223】
【表28】
【0224】
すなわち、表27及び表28から明らかなように、白金よりなる電極の膜厚H/λが、0.01〜0.04の場合、周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲内となるように改善するために、SiO2膜の膜厚Hs/λを0.1〜0.4の範囲とした場合、LiTaO3のオイラー角におけるθは、90°〜169°の範囲、すなわち、回転角で0°〜79°の範囲を選択すればよいことがわかる。
【0225】
同様に、表27から明らかなように、白金膜からなる電極の規格化膜厚が0.01〜0.04であり、周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲内となるように改善するために、SiO2膜の膜厚Hs/λを0.1〜0.4の範囲とした場合には、LiTaO3基板のオイラー角のθは90°〜169°の範囲とすればよく、より好ましくはSiO2膜の膜厚に応じて表27のオイラー角を選択すればよいことがわかる。
【0226】
同様に、白金膜からなる電極の規格化膜厚が0.013〜0.033であり、周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲となるように改善するために、SiO2膜の膜厚Hs/λを0.1〜0.4の範囲とした場合には、LiTaO3基板のオイラー角のθは、102°〜150°の範囲とすればよく、より好ましくは、SiO2膜の膜厚Hs/λに応じて表28のオイラー角を選択すればよいことがわかる。
【0227】
また、白金からなる電極膜の規格化膜厚が0.013〜0.033である場合のSiO2膜の膜厚とオイラー角の関係は、図78〜図83に示す白金からなる電極膜の規格化膜厚から換算して求めたものであり、それによって、表27及び表28のSiO2膜の膜厚Hs/λとオイラー角の値を求めている。
【0228】
本発明に係る弾性表面波装置の製造に際しては、回転Y板X伝搬LiTaO3基板上に白金を主成分とする金属からなるIDTを形成した後、その状態において周波数調整を行い、しかる後減衰定数αを小さくし得る範囲の膜厚Hs/λのSiO2膜を成膜することが望ましい。これを、図84及び図85を参照して説明する。図84は、オイラー角(0°,126°,0°)の回転Y板X伝搬LiTaO3基板上に、種々の厚みH/λの白金からなるIDT及び種々の膜厚Hs/λのSiO2膜を形成した場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す。また、図85は、同じオイラー角のLiTaO3基板上に、種々の膜厚H/λの白金からなるIDTを形成した場合、その上に形成されるSiO2膜の規格化膜厚Hs/λを変化させた場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す。図84と図85を比較すれば明らかなように、白金の膜厚を変化させた場合の方が、SiO2膜の膜厚を変化させた場合よりも弾性表面波の音速の変化がはるかに大きい。従って、SiO2膜の形成に先立ち、周波数調整が、行われることが望ましく、例えば、レーザーエッチングやイオンエッチングなどにより白金からなるIDTを形成した後に周波数調整を行うことが望ましい。
【0229】
なお、本発明は、上記のように、0°〜79°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,90°〜169°,0°)のLiTaO3からなる圧電基板、H/λ=0.005〜0.054である白金よりなるIDTと、Hs/λ=0.10〜0.40であるSiO2膜とを有することを特徴とするものであり、従って、IDTの数及び構造等については特に限定されない。すなわち、本発明は、図1に示した弾性表面波装置だけでなく、上記条件を満たす限り、様々な弾性表面波共振子や弾性表面波フィルタ等に適用することができる。
【0230】
〔ニッケル及びモリブデンを電極材料として用いた実施例〕
図15に示した弾性表面波装置を構成した。電極材料としてニッケルまたはモリブデンを用いた。また、圧電性基板として、14°〜50°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,104°〜140°,0°)のLiTaO3基板を用いた。その他の点は同様である。
【0231】
IDT23a,23b及び反射器25a,25bは、密度が8700〜10300kg〜m3、ヤング率が1.8×1011〜4×1011N/m2及び横波音速が3170〜3290m/秒である金属により構成されている。このような金属としては、ニッケルやモリブデンまたはこれらを主体とする合金が挙げられる。
【0232】
IDT23a,23bの規格化膜厚H/λ(HはIDTの厚み、λは中心周波数における波長を示す)は0.008〜0.06の範囲とされている。
【0233】
本実施例では上記のように、14°〜50°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,104°〜140°,0°)のLiTaO3からなる圧電基板22と、H/λ=0.008〜0.06であり、上記特定の金属よりなるIDT23a,23bと、Hs/λ=0.10〜0.40の範囲にあるSiO2膜24とを用いているため、周波数温度係数TCFが±20ppm/℃の範囲内となるように小さくされており、電気機械結合係数Ksawが大きく、かつ伝搬損失が小さい弾性表面波装置を提供することができる。これを、以下の具体的な実験例に基づき説明する。
【0234】
図86及び図87は、オイラー角(0°,120°,0°)と、(0°,140°,0°)の各LiTaO3基板上に、種々の膜厚のNiからなるIDTと、種々の膜厚Hs/λのSiO2膜とを形成した場合の減衰定数を示す図である。
【0235】
図86から明らかなように、θ=120°では、SiO2の膜厚Hs/λが0.1〜0.40かつNiよりなる電極の規格化膜厚H/λが0.008〜0.08の範囲において、減衰定数が小さいことがわかる。他方、図87から明らかなように、θ=140°では、Niからなる電極の規格化膜厚H/λが0.008〜0.08の範囲では、SiO2膜の膜厚の如何に係わらず、減衰定数が大きくなっていることがわかる。
【0236】
図88及び図89は、オイラー角(0°,120°,0°)と(0°,140°,0°)の各LiTaO3基板上に、種々の膜厚のMoからなるIDTと、種々の膜厚Hs/λのSiO2膜とを形成した場合の減衰定数の変化を示す図である。
【0237】
図88から明らかなように、θ=120°では、SiO2の膜厚Hs/λが0.1〜0.40かつMoよりなる電極の規格化膜厚H/λが0.008〜0.08の範囲において、減衰定数が小さいことがわかる。他方、図89から明らかなように、θ=140°では、Moからなる電極の規格化膜厚H/λが0.008〜0.08の範囲では、SiO2膜の膜厚Hs/λの如何に係わらず、減衰定数が大きくなっていることがわかる。
【0238】
すなわち、TCFの絶対値を小さくし、大きな電気機械結合係数を得、かつ減衰定数を小さくするには、LiTaO3基板のオイラー角、SiO2膜の厚みHs/λ及び上記特定の密度、ヤング率及び横波音速範囲の金属からなる電極の膜厚の3つの条件を考慮しなければならないことがわかる。
【0239】
図90〜図93は、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λ及びNiからなる電極膜の規格化膜厚H/λを変化させた場合の、θ(度)と減衰定数との関係を示す。
【0240】
図94〜図97は、SiO2膜の規格化膜厚Hs/λ及びMoからなる電極膜の規格化膜厚H/λを変化させた場合の、θ(度)と減衰定数との関係を示す。
【0241】
図90〜図97から明らかなように、NiまたはMoからなる電極の規格化膜厚H/λが0.008〜0.06、0.017〜0.06及び0.023〜0.06において、SiO2膜の膜厚と、最適なθとの関係は、下記の表29に示す通りとなる。なお、この最適θは、電極の電極指幅のばらつきや単結晶基板のばらつきにより−2°〜+4°程度ばらつくことがある。
【0242】
また、製造の際、オイラー角のφとψは0°から±3°ばらつくが、特性は0°のものとほぼ同じ特性が得られた。
【0243】
【表29】
【0244】
また、図90〜図93で示したNiからなる電極の最適膜厚H/λ=0.008〜0.06、0.02〜0.06及び0.027〜0.06におけるSiO2膜の膜厚と最適なθとの関係は下記の表30に示す通りとなる。
【0245】
【表30】
【0246】
また、図94〜図97に示したMoからなる電極の最適膜厚H/λ=0.008〜0.06、0.017〜0.06及び0.023〜0.06におけるSiO2膜の膜厚と、最適なθとの関係は下記の表31に示す通りとなる。
【0247】
【表31】
【0248】
すなわち、表29から明らかなように、上記特定の密度、ヤング率及び横波音速範囲の金属からなる電極の膜厚H/λが、0.008〜0.06、0.017〜0.06及び0.023〜0.06で、周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲内となるように改善するために、SiO2膜の膜厚を0.1〜0.4の範囲とした場合、LiTaO3のオイラー角におけるθは、104°〜140°の範囲、すなわち、回転角で14°〜50°の範囲、より好ましくは、表29に示すオイラー角を選択すればよいことがわかる。
【0249】
同様に、Ni膜からなる電極の規格化膜厚H/λが0.008〜0.06、0.02〜0.06及び0.027〜0.06の場合において、周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲内となるように改善するために、Hs/λが0.1〜0.4のSiO2膜の膜厚Hs/λに応じて、LiTaO3基板のオイラー角におけるθは104°〜140°の範囲とすればよく、より好ましくはSiO2膜の膜厚Hs/λに応じて表30に示したオイラー角を選択すればよいことがわかる。
【0250】
同様に、Mo膜からなる電極の規格化膜厚H/λが0.008〜0.06、0.02〜0.06及び0.027〜0.06の場合において、周波数温度特性TCFを±20ppm/℃の範囲内となるように改善するために、Hs/λが0.1〜0.4のSiO2膜の膜厚Hs/λに応じて、LiTaO3基板のオイラー角におけるθは104°〜141°の範囲とすればよく、より好ましくはSiO2膜の膜厚Hs/λに応じて表31に示したオイラー角を選択すればよいことがわかる。
【0251】
ここで、表29〜表31における「LiTaO3のオイラー角」の範囲は、減衰定数αが0.1dB/λ以下の範囲を規定したものである。また、表29〜表31におけるLiTaO3のオイラー角の「より好ましい」範囲は、減衰定数が0.05dB/λ以下の範囲を規定したものである。また、上記電極膜の規格化膜厚が0.095、0.017、0.023である場合のSiO2膜の膜厚Hs/λとオイラー角の関係は、図90〜図97に示すNiもしくはMoからなる電極膜の規格化膜厚から換算して求めたものであり、それによって、表29〜表31のSiO2膜の膜厚とオイラー角の値を求めている。
【0252】
本発明に係る弾性表面波装置の製造に際しては、回転Y板X伝搬LiTaO3基板上にNiやMoなどの上記特定の金属からなるIDTを形成した後、その状態において周波数調整を行い、しかる後減衰定数αを小さくし得る範囲の膜厚のSiO2膜を成膜することが望ましい。これを、図98〜図101を参照して説明する。図98及び図100は、オイラー角(0°,126°,0°)の回転Y板X伝搬LiTaO3基板上に、種々の厚みH/λのNiまたはMoからなるIDT及び種々の膜厚Hs/λのSiO2膜を形成した場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す。また、図99及び図101は、同じオイラー角のLiTaO3基板上に、種々の膜厚H/λのNiまたはMoからなるIDTを形成した場合、その上に形成されるSiO2膜の規格化膜厚Hs/λを変化させた場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す。図98と図99、及び図100と図101とを比較すれば明らかなように、電極の膜厚を変化させた場合の方が、SiO2膜の膜厚を変化させた場合よりも弾性表面波の音速の変化がはるかに大きい。従って、SiO2膜の形成に先立ち、周波数調整が、行われることが望ましく、例えば、レーザーエッチングやイオンエッチングなどによりNiやMoからなるIDTを形成した後に周波数調整を行うことが望ましい。
【0253】
なお、本発明は、上記のように、14°〜50°回転Y板X伝搬、オイラー角で(0°,104°〜140°,0°)のLiTaO3からなる圧電基板、H/λ=0.008〜0.06であるNiやMoなどの上記特定の密度、ヤング率及び横波音速範囲の金属よりなるIDTと、Hs/λ=0.10〜0.40であるSiO2膜とを有することを特徴とするものであり、従って、IDTの数及び構造等については特に限定されない。すなわち、本発明は、図15に示した弾性表面波装置だけでなく、上記条件を満たす限り、様々な弾性表面波共振子や弾性表面波フィルタ等に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【0254】
【図1】(a)〜(g)は、本発明の一実施例における弾性表面波装置の製造方法を説明するための各模式的部分切欠断面図。
【図2】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に、種々の膜厚でAl、AuまたはPtからなるIDT電極を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λが0.2のSiO2膜を形成してなる1ポート型弾性表面波共振子において、SiO2膜の表面を平坦化した場合と平坦化していない場合の電極膜厚と反射係数との関係を示す図。
【図3】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に、種々の膜厚でAl、CuまたはAgからなるIDT電極を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λが0.2のSiO2膜を形成してなる1ポート型弾性表面波共振子において、SiO2膜の表面を平坦化した場合と平坦化していない場合の電極膜厚と反射係数との関係を示す図。
【図4】比較例の製造方法で得られた弾性表面波共振子のSiO2膜の規格化膜厚と、位相特性及びインピーダンス特性との関係を示す図。
【図5】比較のために用意した弾性表面波共振子におけるSiO2膜の膜厚と、共振子のMFとの関係を示す図。
【図6】本発明の一実施例で得られた1ポート型弾性表面波共振子の模式的平面図。
【図7】実施例の製造方法において、SiO2膜の規格化膜厚を変化させた場合のインピーダンス特性及び位相特性の変化を示す図。
【図8】実施例及び比較例の製造方法により得られた弾性表面波共振子におけるSiO2膜の膜厚と共振子のγとの関係を示す図。
【図9】実施例及び比較例の製造方法により得られた弾性表面波共振子におけるSiO2膜の膜厚と共振子のMFとの関係を示す図。
【図10】実施例及び比較例で用意された弾性表面波共振子におけるSiO2膜の厚みと、周波数温度特性TCFの変化との関係を示す図。
【図11】第2の比較例で用意されたSiO2膜が形成された弾性表面波共振子と、SiO2膜を有しないインピーダンス−周波数特性を示す図。
【図12】(a)〜(e)は、IDT電極及び保護金属膜の平均密度の第1絶縁物層の密度に対する比を変化させた場合のインピーダンス特性の変化を示す図。
【図13】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に様々な金属からなるIDT電極を様々な厚みで形成した場合の電気機械結合係数の変化を示す図。
【図14】LiTaO3基板上に様々な金属によりIDT電極を形成した場合に、Alからなる電極を用いた場合に比べて電気機械結合係数が大きくなる電極膜厚範囲と電極材料との密度との関係を示す図。
【図15】本発明の他の実施例に係る弾性表面波装置を示す斜視図。
【図16】36°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,126°,0°))のLiTaO3基板上に、Au、Ta、Ag、Cr、W、Cu、Zn、Mo、NiからなるIDT及びAlからなるIDTを形成した場合のIDTの規格化された電極膜厚と電気機械結合係数との関係を示す図。
【図17】36°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に各種電極材料からなるIDTの電極指片方の反射係数と膜厚の関係を示す図。
【図18】36°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,126°,0°))のLiTaO3基板上に、Au、Ta、Ag、Cr、W、Cu、Zn、Mo、NiからなるIDT及びAlからなるIDTを形成した場合の、IDTの電極規格化膜厚と減衰定数との関係を示す図。
【図19】36°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,126°,0°))のLiTaO3基板上に、規格化膜厚が0.02であるAuからなるIDTを形成し、種々の膜厚のSiO2膜を形成した場合の周波数温度特性(TCF)の変化を示す図。
【図20】36°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,126°,0°))のLiTaO3基板上に、種々の厚みのAuからなるIDTを形成し、さらに上に積層されるSiO2膜規格化膜厚を変化させた場合の減衰定数αの変化を示す図。
【図21】38°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,128°,0°))のLiTaO3基板上に、種々の厚みのAuからなるIDTを形成し、さらに上に積層されるSiO2膜規格化膜厚を変化させた場合の減衰定数αの変化を示す図。
【図22】実施例の弾性表面波装置の減衰量周波数特性及びSiO2膜成膜前の比較のための弾性表面波装置の減衰量周波数特性を示す図。
【図23】36°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,126°,0°))のLiTaO3基板上に、AuからなるIDTを形成し、種々の膜厚のSiO2膜を形成した構造において、AuからなるIDTの規格化膜厚を変化させた場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す図。
【図24】36°回転Y板X伝搬(オイラー角で(0°,126°,0°))のLiTaO3基板上に、種々の規格化膜厚のAuからなるIDTを形成し、さらにSiO2膜積層とした構造において、SiO2膜の規格化膜厚を変化させた場合の漏洩弾性表面波の音速の変化を示す図。
【図25】オイラー角で(0°,θ,0°)のθ、AuからなるIDTの規格化膜厚及びSiO2膜の規格化膜厚を変化させた場合の電気機械結合係数の変化を示す図。
【図26】LiTaO3基板のオイラー角のθ及びSiO2膜の規格化膜厚を変化させた場合の共振子のQ値の変化を示す図。
【図27】(a)〜(c)は、密着層が設けられた本発明の変形例に係る弾性表面波装置を説明するための各模式的断面図。
【図28】SiO2膜の膜厚H/λ=0.1における各種Au電極膜厚における減衰定数αとθの関係を示す図。
【図29】SiO2膜の膜厚H/λ=0.15における各種Au電極膜厚における減衰定数αとθの関係を示す図。
【図30】SiO2膜の膜厚H/λ=0.2における各種Au電極膜厚における減衰定数αとθの関係を示す図。
【図31】SiO2膜の膜厚H/λ=0.25における各種Au電極膜厚における減衰定数αとθの関係を示す図。
【図32】SiO2膜の膜厚H/λ=0.3における各種Au電極膜厚における減衰定数αとθの関係を示す図。
【図33】SiO2膜の膜厚H/λ=0.35における各種Au電極膜厚における減衰定数αとθの関係を示す図。
【図34】SiO2膜の膜厚H/λ=0.4における各種Au電極膜厚における減衰定数αとθの関係を示す図。
【図35】SiO2膜の膜厚H/λ=0.45における各種Au電極膜厚における減衰定数αとθの関係を示す図。
【図36】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に、種々の膜厚のAg膜からなる電極を形成した場合のAg膜の規格化膜厚H/λと、電気機械結合係数Ksawとの関係を示す図。
【図37】オイラー角(0°,113°,0°)、(0°,126°,0°)及び(0°,129°,0°)の3種類のLiTaO3基板において、電極膜厚が0で、種々の膜厚のSiO2膜を成膜した場合のSiO2膜の規格化膜厚Hs/λと周波数温度係数TCFとの関係を示す図。
【図38】オイラー角(0°,120°,0°)のLiTaO3基板上に、0.1以下の規格化膜厚のAg膜を形成し、0〜0.5の規格化膜厚のSiO2膜を成膜した場合の減衰定数αの変化を示す図。
【図39】オイラー角(0°,140°,0°)のLiTaO3基板上に、0.1以下の規格化膜厚のAg膜を形成し、0〜0.5の規格化膜厚のSiO2膜を成膜した場合の減衰定数αの変化を示す図。
【図40】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Ag膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.1のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図41】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Ag膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.15のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図42】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Ag膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.2のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図43】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Ag膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.25のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図44】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Ag膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.3のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図45】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Ag膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.35のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図46】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Ag膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.4のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図47】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Ag膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.45のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図48】オイラー角(0°,120°,0°)のLiTaO3基板上に、0.1以下の規格化膜厚のCu膜を形成し、0〜0.5の規格化膜厚のSiO2膜を成膜した場合の減衰定数αの変化を示す図。
【図49】オイラー角(0°,135°,0°)のLiTaO3基板上に、0.1以下の規格化膜厚のCu膜を形成し、0〜0.5の規格化膜厚のSiO2膜を成膜した場合の減衰定数αの変化を示す図。
【図50】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Cu膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.1のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図51】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Cu膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.15のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図52】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Cu膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.2のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図53】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Cu膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.25のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図54】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Cu膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.3のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図55】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Cu膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.35のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図56】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Cu膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.4のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図57】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、規格化膜厚H/λが0.1以下の各種Cu膜を形成し、規格化膜厚Hs/λが0.45のSiO2膜を積層した場合の、減衰定数αの変化を示す図。
【図58】SiO2膜の規格化膜厚が0.02のときのAlからなる電極及びCuからなる電極における電極指1本当りの反射率と電極膜厚との関係を示す図。
【図59】減衰定数が0もしくは最小となるθminを実現するためのSiO2膜の規格化膜厚Hs/λと、Cu膜の規格化膜厚H/λとの関係を示す図。
【図60】オイラー角(0°,120°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みのタングステンからなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図61】オイラー角(0°,140°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みのタングステンからなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図62】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのタングステンよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.1のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、タングステンよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図63】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのタングステンよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.2のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、タングステンよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図64】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのタングステンよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.3のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、タングステンよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図65】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのタングステンよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.4のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、タングステンよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図66】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上にタングステンからなるIDTを形成し、さらにSiO2膜を形成した場合のタングステン膜の膜厚と、SiO2膜の膜厚と、音速との関係を示す図。
【図67】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上にタングステンからなるIDTを形成し、さらにSiO2膜を形成した場合のタングステン膜の膜厚と、SiO2膜の膜厚と、音速との関係を示す図。
【図68】オイラー角(0°,120°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みのタンタルからなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図69】オイラー角(0°,140°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みのタンタルからなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図70】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのタンタルよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.1のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、タンタルよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図71】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのタンタルよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.2のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、タンタルよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図72】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのタンタルよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.3のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、タンタルよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図73】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのタンタルよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.4のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、タンタルよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図74】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上にタンタルからなるIDTを形成し、その上にSiO2膜を形成した構造における、タンタルの規格化膜厚と、SiO2の規格化膜厚と、音速との関係を示す図。
【図75】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上にタンタルからなるIDTが形成されており、その上にSiO2膜が形成された構造における、タンタルの規格化膜厚と、SiO2の規格化膜厚と、音速との関係を示す図。
【図76】オイラー角(0°,125°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みの白金からなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図77】オイラー角(0°,140°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みの白金からなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図78】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みの白金よりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.1のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、白金よりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図79】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みの白金よりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.15のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、白金よりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図80】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みの白金よりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.2のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、白金よりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図81】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みの白金よりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.25のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、白金よりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図82】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みの白金よりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.3のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、白金よりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図83】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みの白金よりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.4のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、白金よりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図84】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に白金からなるIDTを形成し、さらにSiO2膜を形成した場合の白金膜の膜厚と、SiO2膜の膜厚と、音速との関係を示す図。
【図85】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に白金からなるIDTを形成し、さらにSiO2膜を形成した場合の白金膜の膜厚と、SiO2膜の膜厚と、音速との関係を示す図。
【図86】オイラー角(0°,120°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みのニッケルからなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図87】オイラー角(0°,140°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みのニッケルからなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図88】オイラー角(0°,120°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みのモリブデンからなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図89】オイラー角(0°,140°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのSiO2膜及び様々な厚みのモリブデンからなるIDTを形成した構造における減衰定数αの変化を示す図。
【図90】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのニッケルよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.1のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、ニッケルよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図91】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのニッケルよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.2のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、ニッケルよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図92】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのニッケルよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.3のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、ニッケルよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図93】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのニッケルよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.4のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、ニッケルよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図94】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのモリブデンよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.1のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、モリブデンよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図95】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのモリブデンよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.2のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、モリブデンよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図96】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのモリブデンよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.3のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、モリブデンよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図97】オイラー角(0°,θ,0°)のLiTaO3基板上に、様々な厚みのモリブデンよりなる電極膜を形成し、さらに規格化膜厚Hs/λ=0.4のSiO2膜を形成した弾性表面波装置におけるθと、モリブデンよりなる電極膜の規格化厚みH/λと、減衰定数αとの関係を示す図。
【図98】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上にニッケルからなるIDTが形成されており、さらに様々な厚みのSiO2膜が形成された場合のニッケル膜の膜厚と、ニッケル膜の膜厚と、音速との関係を示す図。
【図99】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に、様々な膜厚のニッケルからなるIDTが形成されており、その上にSiO2膜が形成されてい構造における、SiO2膜の膜厚と、音速との関係を示す図。
【図100】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上にモリブデンからなるからなるIDTが形成されており、その上に様々な膜厚のSiO2膜が形成された場合構造におけるモリブデンの規格化膜厚と、音速との関係を示す図。
【図101】オイラー角(0°,126°,0°)のLiTaO3基板上に様々な膜厚のモリブデンからなるIDTを形成し、さらにSiO2膜を形成した構造における、SiO2膜の規格化膜厚と、音速との関係を示す図。
【図102】(a)〜(c)は、絶縁物層表面の平坦化を図る方法の一例としてのエッチバック法を説明するための各模式的断面図。
【図103】(a)〜(d)は、絶縁物層表面を平坦化する方法の他の例としての逆スパッタ法を説明するための各模式的断面図。
【図104】(a)及び(b)は、絶縁物層表面を平坦化する方法のさらに他の例を示す模式的断面図である。
【図105】(a)〜(c)は、絶縁物層表面を平坦化するさらに別の方法を説明するための各模式的断面図。
【図106】(a)及び(b)は、本発明が適用される弾性表面波装置の一例としての1ポート型共振子及び2ポート型共振子を説明するための各模式的平面図。
【図107】本発明が適用される弾性表面波装置としてのラダー型フィルタを説明するための模式的平面図。
【図108】本発明が適用される弾性表面波装置としてのラチス型フィルタを説明するための模式的平面図。
【図109】(a)〜(d)は、従来の弾性表面波装置の製造方法の一例を示すための模式的断面図。
【図110】従来の弾性表面波装置の一例を説明するための模式的正面断面図。。
【符号の説明】
【0255】
1…LiTaO3基板
2…第1絶縁物層
3…レジストパターン
4…金属膜
4A…IDT電極
5…保護金属膜としてのTi膜
6…第2絶縁物層
11…弾性表面波共振子
12,13…反射器
21…弾性表面波装置
22…LiTaO3基板
23a,23b…IDT
25…SiO2膜
【特許請求の範囲】
【請求項1】
電気機械結合係数が15%以上のLiTaO3またはLiNbO3からなる圧電性基板と、
前記圧電性基板上に形成されており、Alよりも密度の大きい金属もしくは該金属を主成分とする合金、またはAlよりも密度の大きい金属もしくは該金属を主成分とする合金と他の金属とからなる積層膜からなる少なくとも1つの電極と、
前記少なくとも1つの電極が形成されている領域を除いた残りの領域において、前記電極と略等しい膜厚に形成された第1絶縁物層と、
前記電極及び第1絶縁物層を被覆するように形成された第2絶縁物層とを備え、
前記電極の密度が、前記第1絶縁物層の1.5倍以上である、弾性表面波装置。
【請求項2】
圧電性基板と、
前記圧電性基板上に形成された少なくとも1つの電極と、
前記電極上に形成されており、かつ電極を構成する金属もしくは合金よりも耐腐食性に優れた金属もしくは合金からなる保護金属膜と、
前記少なくとも1つの電極が形成されている領域を除いた残りの領域において、前記電極と保護金属膜との合計の膜厚と略等しい膜厚を有するように形成された第1絶縁物層と、
前記保護金属膜及び第1絶縁物層を被覆するように形成された第2絶縁物層とを備える、弾性表面波装置。
【請求項3】
前記電極及び保護金属膜の積層構造の全体の平均密度が、前記第1絶縁物層の密度の1.5倍以上である、請求項2に記載の弾性表面波装置。
【請求項4】
前記第1,第2の絶縁物層がSiO2により形成されている、請求項1〜3のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項5】
弾性表面波の反射を利用した弾性表面波装置である、請求項1〜4のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項6】
前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,104°〜140°,0±3°)のLiTaO3基板であり、前記第1,第2の絶縁物層がSiO2より構成されており、第1,第2絶縁物層を構成しているSiO2膜の合計膜厚をHs、弾性表面波の波長をλとしたときに、Hs/λが0.03〜0.45の範囲とされており、前記電極の厚みをH、弾性表面波の波長をλとしたときに、電極の規格化膜厚H/λが、下記の式(1)を満たす値とされている、請求項1〜5のいずれかに記載の弾性表面波装置。
0.005≦H/λ≦0.00025×ρ2−0.01056×ρ+0.16473(但し、ρは電極の平均密度) …式(1)
【請求項7】
前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,115°〜148°,0±3°)のLiTaO3基板であり、前記第1,第2の絶縁物層がSiO2膜からなり、SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λが0.03〜0.45の範囲にあり、
前記Alよりも密度の大きい金属が密度15000〜23000kg/m3及びヤング率0.5×1011〜1.0×1011N/m2あるいは横波音速が1000〜2000m/sである金属であり、前記電極の膜厚をH、弾性表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚H/λが0.013〜0.032の範囲にある、請求項1,4〜6のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項8】
前記金属がAuである、請求項7に記載の弾性表面波装置。
【請求項9】
前記LiTaO3基板のオイラー角が(0±3°,132°〜148°,0±3°)の範囲にある、請求項7または8に記載の弾性表面波装置。
【請求項10】
前記LiTaO3基板のオイラー角のθが115°以上、132°未満の範囲にある、請求項7または8に記載の弾性表面波装置。
【請求項11】
前記LiTaO3基板のオイラー角(0±3°,θ,0±3°)、前記電極の規格化膜厚H/λ及び第1,第2絶縁物層を構成しているSiO2の規格化膜厚Hs/λが、下記の表1で示されている組み合わせのいずれかである、請求項7または8に記載の弾性表面波装置。
【表1】
【請求項12】
前記LiTaO3基板のオイラー角(0±3°,θ,0±3°)、前記電極の規格化膜厚H/λ及び第1,第2絶縁物層を構成しているSiO2の規格化膜厚Hs/λが、下記の表2に示されている組み合わせのいずれかである、請求項7または8に記載の弾性表面波装置。
【表2】
【請求項13】
前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,113°〜142°,0±3°)のLiTaO3基板であり、前記第1,第2絶縁物層がSiO2膜からなり、SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λが0.10〜0.40の範囲にあり、
前記Alよりも密度の大きい金属が密度5000〜15000kg/m3及びヤング率0.5×1011〜1.0×1011N/m2あるいは横波音速が1000〜2000m/sである金属であり、前記電極の膜厚をH、弾性表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚H/λが0.01〜0.08の範囲にある、請求項1,4〜6のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項14】
前記金属がAgである、請求項13に記載の弾性表面波装置。
【請求項15】
前記電極の規格化膜厚H/λが0.01〜0.08であり、前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λと、LiTaO3基板のオイラー角が下記の表3に示す組み合わせのいずれかである、請求項13または14に記載の弾性表面波装置。
【表3】
【請求項16】
前記電極の規格化膜厚H/λが0.02〜0.06であり、前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λと、LiTaO3基板のオイラー角が下記の表4に示す組み合わせのいずれかである、請求項13または14に記載の弾性表面波装置。
【表4】
【請求項17】
前記電極の規格化膜厚H/λが0.03〜0.05であり、前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λと、LiTaO3基板のオイラー角が下記の表5に示す組み合わせのいずれかである、請求項13または14に記載の弾性表面波装置。
【表5】
【請求項18】
前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,113°〜137°,0±3°)のLiTaO3基板であり、前記第1,第2絶縁物層がSiO2膜からなり、SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λが0.10〜0.40の範囲にあり、
前記Alよりも密度の大きい金属が密度5000〜15000kg/m3及びヤング率1.0×1011〜2.05×1011N/m2あるいは横波音速が2000〜2800m/sである金属であり、前記電極の膜厚をH、弾性表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚H/λが0.01〜0.08の範囲にある、請求項1,4〜6のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項19】
前記金属がCuである、請求項18に記載の弾性表面波装置。
【請求項20】
前記LiTaO3基板のオイラー角及び前記SiO2の合計の規格化膜厚Hs/λが、下記の表6に示されている組み合わせのいずれかである、請求項18または19に記載の弾性表面波装置。
【表6】
【請求項21】
前記オイラー角(0±3°,θ,0±3°)のθが下記の式(2)の範囲にあることを特徴とする、請求項18または19に記載の弾性表面波装置。
θmin−2°<θ≦θmin+2° …式(2)
但し、式(2)中、θminは、IDTの規格化膜厚H/λが下記の(a)〜(e)の範囲の場合、それぞれ下記の式A〜Eで表される値である。
(a)0<H/λ≦0.01のとき
θmin=−139.713×Hs3+43.07132×Hs2
−20.568011×Hs+125.8314…式A
(b)0.01<H/λ≦0.03のとき
θmin=−139.660×Hs3+46.02985×Hs2
−21.141500×Hs+127.4181…式B
(c)0.03<H/λ≦0.05のとき
θmin=−139.607×Hs3+48.98838×Hs2
−21.714900×Hs+129.0048…式C
(d)0.05<H/λ≦0.07のとき
θmin=−112.068×Hs3+39.60355×Hs2
−21.186000×Hs+129.9397…式D
(e)0.07<H/λ≦0.09のとき
θmin=−126.954×Hs3+67.40488×Hs2
−29.432000×Hs+131.5686…式E
【請求項22】
前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λと、LiTaO3基板のオイラー角が下記の表7に示す組み合わせのいずれかである、請求項18または19に記載の弾性表面波装置。
【表7】
【請求項23】
前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,112°〜138°,0±3°)のLiTaO3基板であり、前記第1,第2絶縁物層がSiO2膜からなり、SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λが0.10〜0.40の範囲にあり、
前記Alよりも密度の大きい金属が密度15000〜23000kg/m3及びヤング率2.0×1011〜4.5×1011N/m2あるいは横波音速が2800〜3500m/sである金属であり、前記電極の膜厚をH、弾性表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚H/λが0.025〜0.06の範囲にある、請求項1,4〜6のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項24】
前記金属がタングステンである、請求項23に記載の弾性表面波装置。
【請求項25】
前記IDTの規格化膜厚H/λが、0.012〜0.053の範囲にある、請求項23または24に記載の弾性表面波装置。
【請求項26】
前記IDTの規格化膜厚H/λが、0.015〜0.042の範囲にある、請求項25に記載の弾性表面波装置。
【請求項27】
前記LiTaO3基板が、オイラー角(0±3°,115°〜135°,0±3°)のLiTaO3基板である、請求項23〜25のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項28】
前記電極の規格化膜厚H/λが、0.012〜0.053であり、前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λと、LiTaO3基板のオイラー角が下記の表8に示す組み合わせのいずれかである、請求項23または24に記載の弾性表面波装置。
【表8】
【請求項29】
前記電極の規格化膜厚H/λが、0.015〜0.042であり、前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λと、LiTaO3基板のオイラー角が下記の表9に示す組み合わせのいずれかである、請求項23または24に記載の弾性表面波装置。
【表9】
【請求項30】
前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,104°〜148°,0±3°)のLiTaO3基板であり、前記第1,第2絶縁物層がSiO2膜からなり、SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λが0.10〜0.40の範囲にあり、
前記Alよりも密度の大きい金属が密度15000〜23000kg/m3及びヤング率1.0×1011〜2.0×1011N/m2あるいは横波音速が2000〜2800m/sである金属であり、前記電極の膜厚をH、弾性表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚H/λが0.004〜0.055の範囲にある、請求項1,4〜6のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項31】
前記金属がタンタルである、請求項30に記載の弾性表面波装置。
【請求項32】
前記電極の規格化膜厚H/λが、0.01〜0.55の範囲にある、請求項30または31に記載の弾性表面波装置。
【請求項33】
前記電極の規格化膜厚H/λが、0.016〜0.045の範囲にある、請求項30または31に記載の弾性表面波装置。
【請求項34】
前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,111°〜143°,0±3°)のLiTaO3基板である、請求項30〜32のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項35】
前記電極の規格化膜厚H/λが、0.01〜0.055であり、前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λと、LiTaO3基板のオイラー角が下記の表10に示す組み合わせのいずれかである、請求項30または31に記載の弾性表面波装置。
【表10】
【請求項36】
前記電極の規格化膜厚H/λが0.016〜0.045であり、前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λと、LiTaO3基板のオイラー角が下記の表11に示す組み合わせのいずれかである、請求項30または31に記載の弾性表面波装置。
【表11】
【請求項37】
前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,90°〜169°,0±3°)のLiTaO3基板であり、前記第1,第2絶縁物層がSiO2膜からなり、SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λが0.10〜0.40の範囲にあり、
前記Alよりも密度の大きい金属が密度15000〜23000kg/m3及びヤング率1.0×1011〜2.0×1011N/m2あるいは横波音速が1000〜2000m/sの金属であり、前記電極の膜厚をH、弾性表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚H/λが0.005〜0.054の範囲にある、請求項1,4〜6のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項38】
前記金属が白金である、請求項37に記載の弾性表面波装置。
【請求項39】
前記圧電性基板のオイラー角が(0±3°,90°〜155°,0±3°)であり、前記電極の規格化膜厚H/λが0.01〜0.04の範囲にある、請求項37または38に記載の弾性表面波装置。
【請求項40】
前記LiTaO3基板のオイラー角及び前記SiO2の合計の規格化膜厚Hs/λが、下記の表12に示されている組み合わせのいずれかである、請求項39に記載の弾性表面波装置。
【表12】
【請求項41】
前記圧電性基板のオイラー角が(0±3°,102°〜150°,0±3°)であり、前記電極の規格化膜厚H/λが0.013〜0.033の範囲にある、請求項37または38に記載の弾性表面波装置。
【請求項42】
前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λと、LiTaO3基板のオイラー角が下記の表13に示す組み合わせのいずれかである、請求項41に記載の弾性表面波装置。
【表13】
【請求項43】
前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,104°〜150°,0±3°)のLiTaO3基板であり、前記第1,第2絶縁物層がSiO2膜からなり、その合計の規格化膜厚Hs/λが0.10〜0.40の範囲にあり、
前記Alよりも密度の大きい金属が密度5000〜15000kg/m3及びヤング率2.0×1011〜4.5×1011N/m2あるいは横波音速が2800〜3500m/sの金属からなり、前記電極の膜厚をH、弾性表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚H/λが0.008〜0.06の範囲にある、請求項1,4〜6のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項44】
前記金属がNiである、請求項43に記載の弾性表面波装置。
【請求項45】
前記電極の規格化膜厚H/λが0.02〜0.06の範囲にある、請求項44に記載の弾性表面波装置。
【請求項46】
前記電極の規格化膜厚H/λが0.027〜0.06の範囲にある、請求項44に記載の弾性表面波装置。
【請求項47】
前記LiTaO3基板のオイラー角と、前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λとが、下記の表14に示す組み合わせのいずれかである、請求項44に記載の弾性表面波装置。
【表14】
【請求項48】
前記金属がMoからなる、請求項43に記載の弾性表面波装置。
【請求項49】
前記電極の規格化膜厚H/λが0.017〜0.06の範囲にある、請求項48に記載の弾性表面波装置。
【請求項50】
前記電極の規格化膜厚H/λが0.023〜0.06の範囲にある、請求項48に記載の弾性表面波装置。
【請求項51】
前記LiTaO3基板のオイラー角と、前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λとが下記の表15に示す組み合わせのいずれかである、請求項48に記載の弾性表面波装置。
【表15】
【請求項52】
前記電極が、Alよりも密度の大きい金属もしくは合金からなる主たる電極層と、他の金属からなる少なくとも1つの電極層との積層膜からなり、該電極の平均密度ρと、前記Alよりも密度の大きい金属の密度をρ0とした場合、ρ0×0.7≦ρ≦ρ0×1.3である、請求項1,4〜6のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項53】
前記第2絶縁物層表面の凹凸が、前記電極の膜厚の30%以下である、請求項1〜52のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項54】
弾性表面波として漏洩タイプの弾性表面波を用いることを特徴とする、請求項1〜53のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項55】
圧電性基板を用意する工程と、
前記圧電性基板の片面の全面に第1絶縁物層を形成する工程と、
少なくとも1つの電極を有する電極パターンを形成するためのレジストパターンを用いて前記電極が形成される部分の第1絶縁物層を除去するとともに、残りの領域に第1絶縁物層とレジストとの積層構造を残留させる工程と、
前記第1絶縁物層が除去されている領域に、Alよりも高密度の金属または該金属を主成分とする合金からなる電極膜を第1絶縁物層と略等しい厚みに形成して少なくとも1つの電極を形成する工程と、
前記第1絶縁物層上に残留しているレジストを除去する工程と、
前記第1絶縁物層及び電極上を被覆するように第2絶縁物層を形成する工程とを備える、弾性表面波装置の製造方法。
【請求項56】
前記電極を構成している金属もしくは合金の密度が、前記第1絶縁物層の密度の1.5倍以上である、請求項55に記載の弾性表面波装置の製造方法。
【請求項57】
圧電性基板を用意する工程と、
前記圧電性基板の片面の全面において第1絶縁物層を形成する工程と、
少なくとも1つの電極パターンを形成するためのレジストパターンを用いて前記電極が形成される部分の領域の第1絶縁物層を除去し、残りの領域に第1絶縁物層とレジストとの積層構造を残留させる工程と、
前記第1絶縁物層が除去されている領域に、電極を形成するための金属もしくは合金膜を形成して電極を形成する工程と、
前記電極を形成した後に、該電極を構成する金属もしくは合金よりも耐腐食性に優れた金属もしくは合金からなる保護金属膜を該電極の全面に形成して前記保護金属膜を前記第1絶縁物層の高さと略等しい高さに形成する工程と、
前記第1絶縁物層上のレジスト及び該レジスト上に積層されている保護金属膜を除去する工程と、
前記電極上に形成された保護金属膜及び前記第1絶縁物層を覆うように、第2絶縁物層を形成する工程とを備える、弾性表面波装置の製造方法。
【請求項58】
前記電極及び保護金属膜からなる積層構造の平均密度が、第1絶縁物層の密度の1.5倍以上となるように、前記電極構成金属もしくは合金と、前記保護金属膜を構成する金属もしくは合金が選ばれる、請求項57に記載の弾性表面波装置の製造方法。
【請求項59】
圧電性基板を用意する工程と、
前記圧電性基板上に電極を形成する工程と、
前記電極を覆うように絶縁物層を形成する工程と、
前記電極が存在する部分と存在しない部分の上方における絶縁物層の凹凸を平坦化する工程とを備える、弾性表面波装置の製造方法。
【請求項60】
前記平坦化工程が、エッチバック、逆スパッタまたは研磨により行われる、請求項59に記載の弾性表面波装置の製造方法。
【請求項61】
前記電極を構成する金属としてAu,Cu,Ag,W,Ta,Pt,Ni及びMo並びにこれらの金属を主成分とする合金からなる群から選択された1種を用い、前記絶縁物層としてSiO2を用いる、請求項55〜59に記載の弾性表面波装置の製造方法。
【請求項62】
前記第1絶縁物層及び第2絶縁物層が同じ材料で構成されている、請求項1または2に記載の弾性表面波装置の製造方法。
【請求項63】
前記第2絶縁物層がSiO2により形成されている、請求項1または2に記載の弾性表面波装置。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
電気機械結合係数が15%以上のLiTaO3またはLiNbO3からなる圧電性基板と、
前記圧電性基板上に形成されており、Alよりも密度の大きい金属もしくは該金属を主成分とする合金、またはAlよりも密度の大きい金属もしくは該金属を主成分とする合金と他の金属とからなる積層膜からなる少なくとも1つの電極と、
前記少なくとも1つの電極が形成されている領域を除いた残りの領域において、前記電極と略等しい膜厚に形成された第1絶縁物層と、
前記電極及び第1絶縁物層を被覆するように形成された第2絶縁物層とを備え、
前記電極の密度が、前記第1絶縁物層の1.5倍以上である、弾性表面波装置。
【請求項2】
圧電性基板と、
前記圧電性基板上に形成された少なくとも1つの電極と、
前記電極上に形成されており、かつ電極を構成する金属もしくは合金よりも耐腐食性に優れた金属もしくは合金からなる保護金属膜と、
前記少なくとも1つの電極が形成されている領域を除いた残りの領域において、前記電極と保護金属膜との合計の膜厚と略等しい膜厚を有するように形成された第1絶縁物層と、
前記保護金属膜及び第1絶縁物層を被覆するように形成された第2絶縁物層とを備える、弾性表面波装置。
【請求項3】
前記電極及び保護金属膜の積層構造の全体の平均密度が、前記第1絶縁物層の密度の1.5倍以上である、請求項2に記載の弾性表面波装置。
【請求項4】
弾性表面波の反射を利用した弾性表面波装置である、請求項1〜3のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項5】
前記電極が、Alよりも密度の大きい金属もしくは合金からなる主たる電極層と、他の金属からなる少なくとも1つの電極層との積層膜からなり、該電極の平均密度ρと、前記Alよりも密度の大きい金属の密度をρ0とした場合、ρ0×0.7≦ρ≦ρ0×1.3である、請求項1または4のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項6】
前記第2絶縁物層表面の凹凸が、前記電極の膜厚の30%以下である、請求項1〜5のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項7】
弾性表面波として漏洩タイプの弾性表面波を用いることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項8】
圧電性基板を用意する工程と、
前記圧電性基板の片面の全面に第1絶縁物層を形成する工程と、
少なくとも1つの電極を有する電極パターンを形成するためのレジストパターンを用いて前記電極が形成される部分の第1絶縁物層を除去するとともに、残りの領域に第1絶縁物層とレジストとの積層構造を残留させる工程と、
前記第1絶縁物層が除去されている領域に、Alよりも高密度の金属または該金属を主成分とする合金からなる電極膜を第1絶縁物層と略等しい厚みに形成して少なくとも1つの電極を形成する工程と、
前記第1絶縁物層上に残留しているレジストを除去する工程と、
前記第1絶縁物層及び電極上を被覆するように第2絶縁物層を形成する工程とを備える、弾性表面波装置の製造方法。
【請求項9】
前記電極を構成している金属もしくは合金の密度が、前記第1絶縁物層の密度の1.5倍以上である、請求項8に記載の弾性表面波装置の製造方法。
【請求項10】
圧電性基板を用意する工程と、
前記圧電性基板の片面の全面において第1絶縁物層を形成する工程と、
少なくとも1つの電極パターンを形成するためのレジストパターンを用いて前記電極が形成される部分の領域の第1絶縁物層を除去し、残りの領域に第1絶縁物層とレジストとの積層構造を残留させる工程と、
前記第1絶縁物層が除去されている領域に、電極を形成するための金属もしくは合金膜を形成して電極を形成する工程と、
前記電極を形成した後に、該電極を構成する金属もしくは合金よりも耐腐食性に優れた金属もしくは合金からなる保護金属膜を該電極の全面に形成して前記保護金属膜を前記第1絶縁物層の高さと略等しい高さに形成する工程と、
前記第1絶縁物層上のレジスト及び該レジスト上に積層されている保護金属膜を除去する工程と、
前記電極上に形成された保護金属膜及び前記第1絶縁物層を覆うように、第2絶縁物層を形成する工程とを備える、弾性表面波装置の製造方法。
【請求項11】
前記電極及び保護金属膜からなる積層構造の平均密度が、第1絶縁物層の密度の1.5倍以上となるように、前記電極構成金属もしくは合金と、前記保護金属膜を構成する金属もしくは合金が選ばれる、請求項10に記載の弾性表面波装置の製造方法。
【請求項12】
圧電性基板を用意する工程と、
前記圧電性基板上に電極を形成する工程と、
前記電極を覆うように絶縁物層を形成する工程と、
前記電極が存在する部分と存在しない部分の上方における絶縁物層の凹凸を平坦化する工程とを備える、弾性表面波装置の製造方法。
【請求項13】
前記平坦化工程が、エッチバック、逆スパッタまたは研磨により行われる、請求項12に記載の弾性表面波装置の製造方法。
【請求項14】
前記第1絶縁物層及び第2絶縁物層が同じ材料で構成されている、請求項1または2に記載の弾性表面波装置。
【請求項15】
前記第2絶縁物層がSiO2により形成されている、請求項1または2に記載の弾性表面波装置。
【請求項1】
電気機械結合係数が15%以上のLiTaO3またはLiNbO3からなる圧電性基板と、
前記圧電性基板上に形成されており、Alよりも密度の大きい金属もしくは該金属を主成分とする合金、またはAlよりも密度の大きい金属もしくは該金属を主成分とする合金と他の金属とからなる積層膜からなる少なくとも1つの電極と、
前記少なくとも1つの電極が形成されている領域を除いた残りの領域において、前記電極と略等しい膜厚に形成された第1絶縁物層と、
前記電極及び第1絶縁物層を被覆するように形成された第2絶縁物層とを備え、
前記電極の密度が、前記第1絶縁物層の1.5倍以上である、弾性表面波装置。
【請求項2】
圧電性基板と、
前記圧電性基板上に形成された少なくとも1つの電極と、
前記電極上に形成されており、かつ電極を構成する金属もしくは合金よりも耐腐食性に優れた金属もしくは合金からなる保護金属膜と、
前記少なくとも1つの電極が形成されている領域を除いた残りの領域において、前記電極と保護金属膜との合計の膜厚と略等しい膜厚を有するように形成された第1絶縁物層と、
前記保護金属膜及び第1絶縁物層を被覆するように形成された第2絶縁物層とを備える、弾性表面波装置。
【請求項3】
前記電極及び保護金属膜の積層構造の全体の平均密度が、前記第1絶縁物層の密度の1.5倍以上である、請求項2に記載の弾性表面波装置。
【請求項4】
前記第1,第2の絶縁物層がSiO2により形成されている、請求項1〜3のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項5】
弾性表面波の反射を利用した弾性表面波装置である、請求項1〜4のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項6】
前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,104°〜140°,0±3°)のLiTaO3基板であり、前記第1,第2の絶縁物層がSiO2より構成されており、第1,第2絶縁物層を構成しているSiO2膜の合計膜厚をHs、弾性表面波の波長をλとしたときに、Hs/λが0.03〜0.45の範囲とされており、前記電極の厚みをH、弾性表面波の波長をλとしたときに、電極の規格化膜厚H/λが、下記の式(1)を満たす値とされている、請求項1〜5のいずれかに記載の弾性表面波装置。
0.005≦H/λ≦0.00025×ρ2−0.01056×ρ+0.16473(但し、ρは電極の平均密度) …式(1)
【請求項7】
前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,115°〜148°,0±3°)のLiTaO3基板であり、前記第1,第2の絶縁物層がSiO2膜からなり、SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λが0.03〜0.45の範囲にあり、
前記Alよりも密度の大きい金属が密度15000〜23000kg/m3及びヤング率0.5×1011〜1.0×1011N/m2あるいは横波音速が1000〜2000m/sである金属であり、前記電極の膜厚をH、弾性表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚H/λが0.013〜0.032の範囲にある、請求項1,4〜6のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項8】
前記金属がAuである、請求項7に記載の弾性表面波装置。
【請求項9】
前記LiTaO3基板のオイラー角が(0±3°,132°〜148°,0±3°)の範囲にある、請求項7または8に記載の弾性表面波装置。
【請求項10】
前記LiTaO3基板のオイラー角のθが115°以上、132°未満の範囲にある、請求項7または8に記載の弾性表面波装置。
【請求項11】
前記LiTaO3基板のオイラー角(0±3°,θ,0±3°)、前記電極の規格化膜厚H/λ及び第1,第2絶縁物層を構成しているSiO2の規格化膜厚Hs/λが、下記の表1で示されている組み合わせのいずれかである、請求項7または8に記載の弾性表面波装置。
【表1】
【請求項12】
前記LiTaO3基板のオイラー角(0±3°,θ,0±3°)、前記電極の規格化膜厚H/λ及び第1,第2絶縁物層を構成しているSiO2の規格化膜厚Hs/λが、下記の表2に示されている組み合わせのいずれかである、請求項7または8に記載の弾性表面波装置。
【表2】
【請求項13】
前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,113°〜142°,0±3°)のLiTaO3基板であり、前記第1,第2絶縁物層がSiO2膜からなり、SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λが0.10〜0.40の範囲にあり、
前記Alよりも密度の大きい金属が密度5000〜15000kg/m3及びヤング率0.5×1011〜1.0×1011N/m2あるいは横波音速が1000〜2000m/sである金属であり、前記電極の膜厚をH、弾性表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚H/λが0.01〜0.08の範囲にある、請求項1,4〜6のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項14】
前記金属がAgである、請求項13に記載の弾性表面波装置。
【請求項15】
前記電極の規格化膜厚H/λが0.01〜0.08であり、前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λと、LiTaO3基板のオイラー角が下記の表3に示す組み合わせのいずれかである、請求項13または14に記載の弾性表面波装置。
【表3】
【請求項16】
前記電極の規格化膜厚H/λが0.02〜0.06であり、前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λと、LiTaO3基板のオイラー角が下記の表4に示す組み合わせのいずれかである、請求項13または14に記載の弾性表面波装置。
【表4】
【請求項17】
前記電極の規格化膜厚H/λが0.03〜0.05であり、前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λと、LiTaO3基板のオイラー角が下記の表5に示す組み合わせのいずれかである、請求項13または14に記載の弾性表面波装置。
【表5】
【請求項18】
前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,113°〜137°,0±3°)のLiTaO3基板であり、前記第1,第2絶縁物層がSiO2膜からなり、SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λが0.10〜0.40の範囲にあり、
前記Alよりも密度の大きい金属が密度5000〜15000kg/m3及びヤング率1.0×1011〜2.05×1011N/m2あるいは横波音速が2000〜2800m/sである金属であり、前記電極の膜厚をH、弾性表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚H/λが0.01〜0.08の範囲にある、請求項1,4〜6のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項19】
前記金属がCuである、請求項18に記載の弾性表面波装置。
【請求項20】
前記LiTaO3基板のオイラー角及び前記SiO2の合計の規格化膜厚Hs/λが、下記の表6に示されている組み合わせのいずれかである、請求項18または19に記載の弾性表面波装置。
【表6】
【請求項21】
前記オイラー角(0±3°,θ,0±3°)のθが下記の式(2)の範囲にあることを特徴とする、請求項18または19に記載の弾性表面波装置。
θmin−2°<θ≦θmin+2° …式(2)
但し、式(2)中、θminは、IDTの規格化膜厚H/λが下記の(a)〜(e)の範囲の場合、それぞれ下記の式A〜Eで表される値である。
(a)0<H/λ≦0.01のとき
θmin=−139.713×Hs3+43.07132×Hs2
−20.568011×Hs+125.8314…式A
(b)0.01<H/λ≦0.03のとき
θmin=−139.660×Hs3+46.02985×Hs2
−21.141500×Hs+127.4181…式B
(c)0.03<H/λ≦0.05のとき
θmin=−139.607×Hs3+48.98838×Hs2
−21.714900×Hs+129.0048…式C
(d)0.05<H/λ≦0.07のとき
θmin=−112.068×Hs3+39.60355×Hs2
−21.186000×Hs+129.9397…式D
(e)0.07<H/λ≦0.09のとき
θmin=−126.954×Hs3+67.40488×Hs2
−29.432000×Hs+131.5686…式E
【請求項22】
前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λと、LiTaO3基板のオイラー角が下記の表7に示す組み合わせのいずれかである、請求項18または19に記載の弾性表面波装置。
【表7】
【請求項23】
前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,112°〜138°,0±3°)のLiTaO3基板であり、前記第1,第2絶縁物層がSiO2膜からなり、SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λが0.10〜0.40の範囲にあり、
前記Alよりも密度の大きい金属が密度15000〜23000kg/m3及びヤング率2.0×1011〜4.5×1011N/m2あるいは横波音速が2800〜3500m/sである金属であり、前記電極の膜厚をH、弾性表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚H/λが0.025〜0.06の範囲にある、請求項1,4〜6のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項24】
前記金属がタングステンである、請求項23に記載の弾性表面波装置。
【請求項25】
前記IDTの規格化膜厚H/λが、0.012〜0.053の範囲にある、請求項23または24に記載の弾性表面波装置。
【請求項26】
前記IDTの規格化膜厚H/λが、0.015〜0.042の範囲にある、請求項25に記載の弾性表面波装置。
【請求項27】
前記LiTaO3基板が、オイラー角(0±3°,115°〜135°,0±3°)のLiTaO3基板である、請求項23〜25のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項28】
前記電極の規格化膜厚H/λが、0.012〜0.053であり、前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λと、LiTaO3基板のオイラー角が下記の表8に示す組み合わせのいずれかである、請求項23または24に記載の弾性表面波装置。
【表8】
【請求項29】
前記電極の規格化膜厚H/λが、0.015〜0.042であり、前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λと、LiTaO3基板のオイラー角が下記の表9に示す組み合わせのいずれかである、請求項23または24に記載の弾性表面波装置。
【表9】
【請求項30】
前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,104°〜148°,0±3°)のLiTaO3基板であり、前記第1,第2絶縁物層がSiO2膜からなり、SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λが0.10〜0.40の範囲にあり、
前記Alよりも密度の大きい金属が密度15000〜23000kg/m3及びヤング率1.0×1011〜2.0×1011N/m2あるいは横波音速が2000〜2800m/sである金属であり、前記電極の膜厚をH、弾性表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚H/λが0.004〜0.055の範囲にある、請求項1,4〜6のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項31】
前記金属がタンタルである、請求項30に記載の弾性表面波装置。
【請求項32】
前記電極の規格化膜厚H/λが、0.01〜0.55の範囲にある、請求項30または31に記載の弾性表面波装置。
【請求項33】
前記電極の規格化膜厚H/λが、0.016〜0.045の範囲にある、請求項30または31に記載の弾性表面波装置。
【請求項34】
前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,111°〜143°,0±3°)のLiTaO3基板である、請求項30〜32のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項35】
前記電極の規格化膜厚H/λが、0.01〜0.055であり、前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λと、LiTaO3基板のオイラー角が下記の表10に示す組み合わせのいずれかである、請求項30または31に記載の弾性表面波装置。
【表10】
【請求項36】
前記電極の規格化膜厚H/λが0.016〜0.045であり、前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λと、LiTaO3基板のオイラー角が下記の表11に示す組み合わせのいずれかである、請求項30または31に記載の弾性表面波装置。
【表11】
【請求項37】
前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,90°〜169°,0±3°)のLiTaO3基板であり、前記第1,第2絶縁物層がSiO2膜からなり、SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λが0.10〜0.40の範囲にあり、
前記Alよりも密度の大きい金属が密度15000〜23000kg/m3及びヤング率1.0×1011〜2.0×1011N/m2あるいは横波音速が1000〜2000m/sの金属であり、前記電極の膜厚をH、弾性表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚H/λが0.005〜0.054の範囲にある、請求項1,4〜6のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項38】
前記金属が白金である、請求項37に記載の弾性表面波装置。
【請求項39】
前記圧電性基板のオイラー角が(0±3°,90°〜155°,0±3°)であり、前記電極の規格化膜厚H/λが0.01〜0.04の範囲にある、請求項37または38に記載の弾性表面波装置。
【請求項40】
前記LiTaO3基板のオイラー角及び前記SiO2の合計の規格化膜厚Hs/λが、下記の表12に示されている組み合わせのいずれかである、請求項39に記載の弾性表面波装置。
【表12】
【請求項41】
前記圧電性基板のオイラー角が(0±3°,102°〜150°,0±3°)であり、前記電極の規格化膜厚H/λが0.013〜0.033の範囲にある、請求項37または38に記載の弾性表面波装置。
【請求項42】
前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λと、LiTaO3基板のオイラー角が下記の表13に示す組み合わせのいずれかである、請求項41に記載の弾性表面波装置。
【表13】
【請求項43】
前記圧電性基板が、オイラー角(0±3°,104°〜150°,0±3°)のLiTaO3基板であり、前記第1,第2絶縁物層がSiO2膜からなり、その合計の規格化膜厚Hs/λが0.10〜0.40の範囲にあり、
前記Alよりも密度の大きい金属が密度5000〜15000kg/m3及びヤング率2.0×1011〜4.5×1011N/m2あるいは横波音速が2800〜3500m/sの金属からなり、前記電極の膜厚をH、弾性表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚H/λが0.008〜0.06の範囲にある、請求項1,4〜6のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項44】
前記金属がNiである、請求項43に記載の弾性表面波装置。
【請求項45】
前記電極の規格化膜厚H/λが0.02〜0.06の範囲にある、請求項44に記載の弾性表面波装置。
【請求項46】
前記電極の規格化膜厚H/λが0.027〜0.06の範囲にある、請求項44に記載の弾性表面波装置。
【請求項47】
前記LiTaO3基板のオイラー角と、前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λとが、下記の表14に示す組み合わせのいずれかである、請求項44に記載の弾性表面波装置。
【表14】
【請求項48】
前記金属がMoからなる、請求項43に記載の弾性表面波装置。
【請求項49】
前記電極の規格化膜厚H/λが0.017〜0.06の範囲にある、請求項48に記載の弾性表面波装置。
【請求項50】
前記電極の規格化膜厚H/λが0.023〜0.06の範囲にある、請求項48に記載の弾性表面波装置。
【請求項51】
前記LiTaO3基板のオイラー角と、前記SiO2膜の合計の規格化膜厚Hs/λとが下記の表15に示す組み合わせのいずれかである、請求項48に記載の弾性表面波装置。
【表15】
【請求項52】
前記電極が、Alよりも密度の大きい金属もしくは合金からなる主たる電極層と、他の金属からなる少なくとも1つの電極層との積層膜からなり、該電極の平均密度ρと、前記Alよりも密度の大きい金属の密度をρ0とした場合、ρ0×0.7≦ρ≦ρ0×1.3である、請求項1,4〜6のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項53】
前記第2絶縁物層表面の凹凸が、前記電極の膜厚の30%以下である、請求項1〜52のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項54】
弾性表面波として漏洩タイプの弾性表面波を用いることを特徴とする、請求項1〜53のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項55】
圧電性基板を用意する工程と、
前記圧電性基板の片面の全面に第1絶縁物層を形成する工程と、
少なくとも1つの電極を有する電極パターンを形成するためのレジストパターンを用いて前記電極が形成される部分の第1絶縁物層を除去するとともに、残りの領域に第1絶縁物層とレジストとの積層構造を残留させる工程と、
前記第1絶縁物層が除去されている領域に、Alよりも高密度の金属または該金属を主成分とする合金からなる電極膜を第1絶縁物層と略等しい厚みに形成して少なくとも1つの電極を形成する工程と、
前記第1絶縁物層上に残留しているレジストを除去する工程と、
前記第1絶縁物層及び電極上を被覆するように第2絶縁物層を形成する工程とを備える、弾性表面波装置の製造方法。
【請求項56】
前記電極を構成している金属もしくは合金の密度が、前記第1絶縁物層の密度の1.5倍以上である、請求項55に記載の弾性表面波装置の製造方法。
【請求項57】
圧電性基板を用意する工程と、
前記圧電性基板の片面の全面において第1絶縁物層を形成する工程と、
少なくとも1つの電極パターンを形成するためのレジストパターンを用いて前記電極が形成される部分の領域の第1絶縁物層を除去し、残りの領域に第1絶縁物層とレジストとの積層構造を残留させる工程と、
前記第1絶縁物層が除去されている領域に、電極を形成するための金属もしくは合金膜を形成して電極を形成する工程と、
前記電極を形成した後に、該電極を構成する金属もしくは合金よりも耐腐食性に優れた金属もしくは合金からなる保護金属膜を該電極の全面に形成して前記保護金属膜を前記第1絶縁物層の高さと略等しい高さに形成する工程と、
前記第1絶縁物層上のレジスト及び該レジスト上に積層されている保護金属膜を除去する工程と、
前記電極上に形成された保護金属膜及び前記第1絶縁物層を覆うように、第2絶縁物層を形成する工程とを備える、弾性表面波装置の製造方法。
【請求項58】
前記電極及び保護金属膜からなる積層構造の平均密度が、第1絶縁物層の密度の1.5倍以上となるように、前記電極構成金属もしくは合金と、前記保護金属膜を構成する金属もしくは合金が選ばれる、請求項57に記載の弾性表面波装置の製造方法。
【請求項59】
圧電性基板を用意する工程と、
前記圧電性基板上に電極を形成する工程と、
前記電極を覆うように絶縁物層を形成する工程と、
前記電極が存在する部分と存在しない部分の上方における絶縁物層の凹凸を平坦化する工程とを備える、弾性表面波装置の製造方法。
【請求項60】
前記平坦化工程が、エッチバック、逆スパッタまたは研磨により行われる、請求項59に記載の弾性表面波装置の製造方法。
【請求項61】
前記電極を構成する金属としてAu,Cu,Ag,W,Ta,Pt,Ni及びMo並びにこれらの金属を主成分とする合金からなる群から選択された1種を用い、前記絶縁物層としてSiO2を用いる、請求項55〜59に記載の弾性表面波装置の製造方法。
【請求項62】
前記第1絶縁物層及び第2絶縁物層が同じ材料で構成されている、請求項1または2に記載の弾性表面波装置の製造方法。
【請求項63】
前記第2絶縁物層がSiO2により形成されている、請求項1または2に記載の弾性表面波装置。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
電気機械結合係数が15%以上のLiTaO3またはLiNbO3からなる圧電性基板と、
前記圧電性基板上に形成されており、Alよりも密度の大きい金属もしくは該金属を主成分とする合金、またはAlよりも密度の大きい金属もしくは該金属を主成分とする合金と他の金属とからなる積層膜からなる少なくとも1つの電極と、
前記少なくとも1つの電極が形成されている領域を除いた残りの領域において、前記電極と略等しい膜厚に形成された第1絶縁物層と、
前記電極及び第1絶縁物層を被覆するように形成された第2絶縁物層とを備え、
前記電極の密度が、前記第1絶縁物層の1.5倍以上である、弾性表面波装置。
【請求項2】
圧電性基板と、
前記圧電性基板上に形成された少なくとも1つの電極と、
前記電極上に形成されており、かつ電極を構成する金属もしくは合金よりも耐腐食性に優れた金属もしくは合金からなる保護金属膜と、
前記少なくとも1つの電極が形成されている領域を除いた残りの領域において、前記電極と保護金属膜との合計の膜厚と略等しい膜厚を有するように形成された第1絶縁物層と、
前記保護金属膜及び第1絶縁物層を被覆するように形成された第2絶縁物層とを備える、弾性表面波装置。
【請求項3】
前記電極及び保護金属膜の積層構造の全体の平均密度が、前記第1絶縁物層の密度の1.5倍以上である、請求項2に記載の弾性表面波装置。
【請求項4】
弾性表面波の反射を利用した弾性表面波装置である、請求項1〜3のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項5】
前記電極が、Alよりも密度の大きい金属もしくは合金からなる主たる電極層と、他の金属からなる少なくとも1つの電極層との積層膜からなり、該電極の平均密度ρと、前記Alよりも密度の大きい金属の密度をρ0とした場合、ρ0×0.7≦ρ≦ρ0×1.3である、請求項1または4のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項6】
前記第2絶縁物層表面の凹凸が、前記電極の膜厚の30%以下である、請求項1〜5のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項7】
弾性表面波として漏洩タイプの弾性表面波を用いることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項8】
圧電性基板を用意する工程と、
前記圧電性基板の片面の全面に第1絶縁物層を形成する工程と、
少なくとも1つの電極を有する電極パターンを形成するためのレジストパターンを用いて前記電極が形成される部分の第1絶縁物層を除去するとともに、残りの領域に第1絶縁物層とレジストとの積層構造を残留させる工程と、
前記第1絶縁物層が除去されている領域に、Alよりも高密度の金属または該金属を主成分とする合金からなる電極膜を第1絶縁物層と略等しい厚みに形成して少なくとも1つの電極を形成する工程と、
前記第1絶縁物層上に残留しているレジストを除去する工程と、
前記第1絶縁物層及び電極上を被覆するように第2絶縁物層を形成する工程とを備える、弾性表面波装置の製造方法。
【請求項9】
前記電極を構成している金属もしくは合金の密度が、前記第1絶縁物層の密度の1.5倍以上である、請求項8に記載の弾性表面波装置の製造方法。
【請求項10】
圧電性基板を用意する工程と、
前記圧電性基板の片面の全面において第1絶縁物層を形成する工程と、
少なくとも1つの電極パターンを形成するためのレジストパターンを用いて前記電極が形成される部分の領域の第1絶縁物層を除去し、残りの領域に第1絶縁物層とレジストとの積層構造を残留させる工程と、
前記第1絶縁物層が除去されている領域に、電極を形成するための金属もしくは合金膜を形成して電極を形成する工程と、
前記電極を形成した後に、該電極を構成する金属もしくは合金よりも耐腐食性に優れた金属もしくは合金からなる保護金属膜を該電極の全面に形成して前記保護金属膜を前記第1絶縁物層の高さと略等しい高さに形成する工程と、
前記第1絶縁物層上のレジスト及び該レジスト上に積層されている保護金属膜を除去する工程と、
前記電極上に形成された保護金属膜及び前記第1絶縁物層を覆うように、第2絶縁物層を形成する工程とを備える、弾性表面波装置の製造方法。
【請求項11】
前記電極及び保護金属膜からなる積層構造の平均密度が、第1絶縁物層の密度の1.5倍以上となるように、前記電極構成金属もしくは合金と、前記保護金属膜を構成する金属もしくは合金が選ばれる、請求項10に記載の弾性表面波装置の製造方法。
【請求項12】
圧電性基板を用意する工程と、
前記圧電性基板上に電極を形成する工程と、
前記電極を覆うように絶縁物層を形成する工程と、
前記電極が存在する部分と存在しない部分の上方における絶縁物層の凹凸を平坦化する工程とを備える、弾性表面波装置の製造方法。
【請求項13】
前記平坦化工程が、エッチバック、逆スパッタまたは研磨により行われる、請求項12に記載の弾性表面波装置の製造方法。
【請求項14】
前記第1絶縁物層及び第2絶縁物層が同じ材料で構成されている、請求項1または2に記載の弾性表面波装置。
【請求項15】
前記第2絶縁物層がSiO2により形成されている、請求項1または2に記載の弾性表面波装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】
【図34】
【図35】
【図36】
【図37】
【図38】
【図39】
【図40】
【図41】
【図42】
【図43】
【図44】
【図45】
【図46】
【図47】
【図48】
【図49】
【図50】
【図51】
【図52】
【図53】
【図54】
【図55】
【図56】
【図57】
【図58】
【図59】
【図60】
【図61】
【図62】
【図63】
【図64】
【図65】
【図66】
【図67】
【図68】
【図69】
【図70】
【図71】
【図72】
【図73】
【図74】
【図75】
【図76】
【図77】
【図78】
【図79】
【図80】
【図81】
【図82】
【図83】
【図84】
【図85】
【図86】
【図87】
【図88】
【図89】
【図90】
【図91】
【図92】
【図93】
【図94】
【図95】
【図96】
【図97】
【図98】
【図99】
【図100】
【図101】
【図102】
【図103】
【図104】
【図105】
【図106】
【図107】
【図108】
【図109】
【図110】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】
【図34】
【図35】
【図36】
【図37】
【図38】
【図39】
【図40】
【図41】
【図42】
【図43】
【図44】
【図45】
【図46】
【図47】
【図48】
【図49】
【図50】
【図51】
【図52】
【図53】
【図54】
【図55】
【図56】
【図57】
【図58】
【図59】
【図60】
【図61】
【図62】
【図63】
【図64】
【図65】
【図66】
【図67】
【図68】
【図69】
【図70】
【図71】
【図72】
【図73】
【図74】
【図75】
【図76】
【図77】
【図78】
【図79】
【図80】
【図81】
【図82】
【図83】
【図84】
【図85】
【図86】
【図87】
【図88】
【図89】
【図90】
【図91】
【図92】
【図93】
【図94】
【図95】
【図96】
【図97】
【図98】
【図99】
【図100】
【図101】
【図102】
【図103】
【図104】
【図105】
【図106】
【図107】
【図108】
【図109】
【図110】
【公開番号】特開2006−254507(P2006−254507A)
【公開日】平成18年9月21日(2006.9.21)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2006−161348(P2006−161348)
【出願日】平成18年6月9日(2006.6.9)
【分割の表示】特願2003−41480(P2003−41480)の分割
【原出願日】平成15年2月19日(2003.2.19)
【出願人】(000006231)株式会社村田製作所 (3,635)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成18年9月21日(2006.9.21)
【国際特許分類】
【出願日】平成18年6月9日(2006.6.9)
【分割の表示】特願2003−41480(P2003−41480)の分割
【原出願日】平成15年2月19日(2003.2.19)
【出願人】(000006231)株式会社村田製作所 (3,635)
【Fターム(参考)】
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