描画方法、及び描画装置
【課題】吐出ヘッドが稼動していても、当該吐出ヘッドが備える全ての吐出ノズルが、必ずしも稼動していない。吐出ヘッドの稼動時間内に稼動する機会の少ない吐出ノズルが、停止状態が続くことで、不具合が発生する可能性が高くなることを抑制する描画方法、及び描画装置を提供する。
【解決手段】描画方法は、液状体を吐出する複数の吐出ノズルを備える吐出ヘッドと被描画媒体とを、被描画媒体の被描画面に略平行な方向に相対移動させると共に複数の吐出ノズルから選択的に液状体を吐出させる描画走査工程を含む描画工程を実施することによって、被描画面に液状体を用いて画像を描画する描画方法であって、描画走査工程における吐出ヘッドと被描画媒体との相対移動方向である描画走査方向と、被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を調整する走査相対方向調整工程を有する。
【解決手段】描画方法は、液状体を吐出する複数の吐出ノズルを備える吐出ヘッドと被描画媒体とを、被描画媒体の被描画面に略平行な方向に相対移動させると共に複数の吐出ノズルから選択的に液状体を吐出させる描画走査工程を含む描画工程を実施することによって、被描画面に液状体を用いて画像を描画する描画方法であって、描画走査工程における吐出ヘッドと被描画媒体との相対移動方向である描画走査方向と、被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を調整する走査相対方向調整工程を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを用いて描画する描画方法、及び液滴吐出ヘッドを備える描画装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液滴吐出ヘッドを備え、当該液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから液状体を液滴として吐出し、任意の位置に着弾させることによって、所定の量の液状体を所定の位置に精度よく配置する液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置を用いて、様々な液状体を扱い、様々な画像や膜などが形成されている。微少な液状体を精密に吐出できる液滴吐出ヘッドにおいては、吐出ノズルまわりの僅かな外乱によっても吐出の不具合が発生する可能性がある。不具合の発生を抑制するために、クリーニングや予備吐出などの保守工程が実施されている。
【０００３】
特許文献１には、機能液滴吐出ヘッドに損傷を生ずることなく、吐出不良を解消することができる吸引キャップおよびこれを備えた吸引ユニット、並びにヘッド洗浄装置、液滴吐出装置、機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法および機能液滴吐出ヘッドのメンテナンス方法が、開示されている。特許文献１に開示された吸引キャップは、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドのノズル面に離接自在に密接し、ノズル面に形成した吐出ノズルに対し吸引処理を行うための吸引キャップであって、真空吸引機構に連なるキャップ本体と、キャップ本体に装着され、ノズル面に対し、ノズル面に形成した全吐出ノズルのうちの一部となる複数の吐出ノズルについてのみ吸引可能に密接する密接シールと、を備えたことを特徴としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２１４４１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、吐出ノズルは稼働していない状態が続くと、吐出に不具合が生じ易いが、吐出ヘッドが稼動していても、当該吐出ヘッドが備える全ての吐出ノズルが、必ずしも稼動していない。吐出ヘッドの稼動時間内に稼動する機会の少ない吐出ノズルは、停止状態にあり、停止状態が続くことで、液状体の増粘による吐出不良のような不具合が発生する可能性が高くなるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる描画方法は、液状体を吐出する複数の吐出ノズルを備える吐出ヘッドと被描画媒体とを、前記被描画媒体の被描画面に略平行な方向に相対移動させると共に前記複数の吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出させる描画走査工程を含む描画工程を実施することによって、前記被描画面に前記液状体を用いて画像を描画する描画方法であって、前記描画走査工程における前記吐出ヘッドと前記被描画媒体との相対移動方向である描画走査方向と、前記被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を調整する走査相対方向調整工程を有することを特徴とする。
【０００８】
本適用例にかかる描画方法によれば、描画走査方向と、被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を調整する走査相対方向調整工程を有する。
一般的に、液滴を吐出して描画される画像は、吐出ノズルと被描画媒体とを直線状に相対移動させ、所定の相対位置において吐出ノズルから液状体の液滴を吐出させて、被描画媒体上の所定の位置に着弾させることで描画される。被描画媒体に描画される画像は、画像の形状とともに、被描画媒体における描画される位置と被描画媒体の方向に対する画像の方向とが規定される。したがって、被描画媒体の方向と、当該被描画媒体に対する描画走査工程における被描画媒体と吐出ノズル（吐出ヘッド）との相対移動の方向である描画走査方向と、の相対方向である描画走査相対方向に依存して、描画走査工程における吐出ノズルの稼動状態が変わる。
【０００９】
走査相対方向調整工程において、描画走査相対方向を調整することで、描画走査工程における吐出ノズルの稼動状態を変えることができる。例えば、描画走査工程において吐出を実施しない吐出ノズルが存在した場合には、描画走査相対方向を調整することで、吐出を実施しない吐出ノズルの数を減少させることができる。
【００１０】
描画走査工程において吐出を実施しない吐出ノズルは、描画走査工程を実施する間は、実質的に休止している状態になる。この間は、当該吐出ノズルに対する保守が行われることはない。当該吐出ノズルは、略休止した状態で、保守措置を施されることなく描画環境中に放置された状態であり、当該状態で放置されることに起因する不具合が発生する可能性が高くなる。描画走査相対方向を調整することで、吐出を実施しない吐出ノズルの数を減少させることによって、描画走査工程において稼動しないことに起因して不具合が発生する可能性が高くなる吐出ノズルの数を減少させることができる。
【００１１】
［適用例２］上記適用例にかかる描画方法は、前記走査相対方向調整工程では、前記描画走査相対方向を、当該被描画媒体に対する前記描画走査工程において、前記複数の吐出ノズルにおける、当該描画走査工程において吐出を実施する吐出ノズルの割合である稼働ノズル率が最大となる方向に調整することが好ましい。
【００１２】
この描画方法によれば、走査相対方向調整工程において、描画走査相対方向を、稼働ノズル率が最大となる方向に調整する。
走査相対方向調整工程において、描画走査相対方向を、稼働ノズル率が最大となる方向に調整することで、描画走査工程において吐出を実施する吐出ノズルの割合が最大となり、吐出を実施しない吐出ノズルの割合が最小となる。描画走査工程において吐出を実施しない吐出ノズルは、略休止した状態で、保守措置を施されることなく描画環境中に放置された状態であり、当該状態で放置されることに起因する不具合が発生する可能性が高くなる。描画走査相対方向を、稼働ノズル率が最大となる方向に調整することで、描画走査工程において稼動しないことに起因して不具合が発生する可能性が高くなる吐出ノズルの数を抑制することができる。
【００１３】
［適用例３］上記適用例にかかる描画方法は、前記走査相対方向調整工程では、前記描画走査相対方向を、前記描画走査方向が第一の描画走査方向である第一の描画走査工程において、前記液状体が配置されない非配置領域の前記第一の描画走査方向に直交する方向における幅が最大である最大非配置領域を挟んで位置し、前記液状体が配置される第一の被配置領域と第二の被配置領域とが、前記描画走査方向に平行に延在する同一の直線に接する方向に調整することが好ましい。
【００１４】
この描画方法によれば、走査相対方向調整工程において、描画走査方向と被描画媒体の方向との相対方向である描画走査相対方向を、描画走査方向が第一の描画走査方向である第一の描画走査工程において、液状体が配置されない非配置領域の第一の描画走査方向に直交する方向における幅が最大である最大非配置領域を挟んで位置し、液状体が配置される第一の被配置領域と第二の被配置領域とが、描画走査方向に平行に延在する同一の直線に接する方向に調整する。
【００１５】
これにより、調整された描画走査相対方向である描画走査方向の描画走査工程において、第一の被配置領域に向けて液状体を吐出する吐出ノズルと、第二の被配置領域に向けて液状体を吐出する吐出ノズルと、の間に、当該描画走査工程の間に液状体を吐出しない吐出ノズルが存在しなくなる。
液状体を吐出する吐出ノズルの間に当該描画走査工程の間に液状体を吐出しない吐出ノズルが存在しなくなることで、描画走査工程の間に液状体を吐出しない吐出ノズルの数を抑制することができる。すなわち、描画走査工程の間に液状体を吐出しないことで、略休止した状態で放置されることに起因する不具合が発生する可能性が高くなる吐出ノズルが生ずることを抑制することができる。
【００１６】
［適用例４］上記適用例にかかる描画方法は、前記走査相対方向調整工程では、前記描画走査方向に対して、前記被描画媒体の方向を変えることで、前記描画走査相対方向を調整することが好ましい。
【００１７】
この描画方法によれば、走査相対方向調整工程において、被描画媒体の方向を変える。描画走査方向に対して被描画媒体の方向が変わるため、描画走査方向と、被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を変えて、描画走査相対方向を、適切な方向に調整することができる。
【００１８】
［適用例５］上記適用例にかかる描画方法は、前記走査相対方向調整工程では、前記被描画媒体の方向に対して、前記描画走査方向を変えることで、前記描画走査相対方向を調整することが好ましい。
【００１９】
この描画方法によれば、走査相対方向調整工程において、描画走査方向を変える。被描画媒体の方向に対して描画走査方向が変わるため、被描画媒体の方向と、描画走査方向と、の相対方向である描画走査相対方向を変えて、描画走査相対方向を、適切な方向に調整することができる。
【００２０】
［適用例６］上記適用例にかかる描画方法は、前記走査相対方向調整工程を、前記描画工程を実施する描画装置に前記被描画媒体を供給する給材工程と、前記描画工程との間に実施することが好ましい。
【００２１】
この描画方法によれば、給材工程において供給された被描画媒体に対して、走査相対方向調整工程を実施した後に、描画工程を実施する。被描画媒体の方向は、走査相対方向調整工程において、描画走査相対方向が描画工程（描画走査工程）における適切な描画走査相対方向となる方向に調整される。これにより、給材工程においては、描画工程（描画走査工程）における適切な描画走査相対方向に関わりなく、被描画媒体を供給することができる。描画工程（描画走査工程）における適切な描画走査相対方向が変化しても、給材工程においては、被描画媒体の方向を対応させることを不要にすることができる。
【００２２】
［適用例７］上記適用例にかかる描画方法は、前記描画工程と、前記描画装置から前記被描画媒体を除去する除材工程との間に、前記被描画媒体の方向を前記給材工程において給材された方向と略同じ方向に向ける方向戻し工程をさらに有することが好ましい。
【００２３】
この描画方法によれば、描画工程において描画された被描画媒体に対して、方向戻し工程を実施した後に、除材工程を実施する。被描画媒体の方向は、方向戻し工程において、給材工程において給材された方向と略同じ方向に戻される。これにより、除材工程においては、描画工程（描画走査工程）における適切な描画走査相対方向に関わりなく、略同一方向を向いている状態の被描画媒体を除材対象とすることができる。描画工程（描画走査工程）における適切な描画走査相対方向が変化しても、除材工程においては、略同様の動作で、被描画媒体を除材することができる。
【００２４】
［適用例８］本適用例にかかる描画装置は、液状体を吐出する複数の吐出ノズルを備える吐出ヘッドと、被描画媒体を支持する支持装置と、前記吐出ヘッドと、前記支持装置とを、前記支持装置に支持された前記被描画媒体の被描画面に略平行な方向に相対移動させる相対移動手段と、前記相対移動手段による前記相対移動の相対移動方向と、前記被描画媒体の方向と、の相対方向を規定する相対方向規定手段と、前記相対方向を、前記相対方向規定手段によって規定された方向に調整する相対方向調整手段と、を備えることを特徴とする。
【００２５】
本適用例にかかる描画装置によれば、描画装置は、相対移動方向と、被描画媒体の方向と、の相対方向を規定する相対方向規定手段と、相対方向を、相対方向規定手段によって規定された方向に調整する相対方向調整手段と、を備える。
【００２６】
一般的に、液滴を吐出して描画される画像は、吐出ノズルと被描画媒体とを直線状に相対移動させ、所定の相対位置において吐出ノズルから液状体の液滴を吐出させて、被描画媒体上の所定の位置に着弾させる描画走査を実施することで描画される。被描画媒体に描画される画像は、画像の形状とともに、被描画媒体における描画される位置と被描画媒体の方向に対する画像の方向とが規定される。したがって、被描画媒体の方向と、当該被描画媒体に対する描画走査における被描画媒体と吐出ノズル（吐出ヘッド）との相対移動の方向である描画走査方向と、の相対方向である描画走査相対方向に依存して、描画走査における吐出ノズルの稼動状態が変わる。
【００２７】
相対方向調整手段によって、描画走査相対方向を調整することで、描画走査における吐出ノズルの稼動状態を変えることができる。また、相対方向規定手段によって、描画走査相対方向を、吐出を実施しない吐出ノズルの数を減少させる方向に規定することができる。
相対方向規定手段によって、描画走査相対方向を、吐出を実施しない吐出ノズルの数を減少させる方向に規定し、相対方向調整手段によって、相対方向規定手段によって規定された方向に描画走査相対方向を調整することで、描画走査において吐出を実施しない吐出ノズルの数を減少させることができる。
【００２８】
描画走査において吐出を実施しない吐出ノズルは、描画走査を実施する間は、実質的に休止している状態になる。この間は、当該吐出ノズルに対する保守が行われることはない。当該吐出ノズルは、略休止した状態で、保守措置を施されることなく描画環境中に放置された状態であり、当該状態で放置されることに起因する不具合が発生する可能性が高くなる。描画走査相対方向を調整することで、吐出を実施しない吐出ノズルの数を減少させることによって、描画走査において稼動しないことに起因して不具合が発生する可能性が高くなる吐出ノズルの数を抑制することができる。
【００２９】
［適用例９］上記適用例にかかる描画装置は、前記相対方向調整手段が、前記吐出ヘッドと前記被描画媒体とを、前記被描画媒体の被描画面に略平行な方向に相対移動させると共に前記複数の吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出させる描画走査における前記吐出ヘッドと前記被描画媒体との相対移動方向である描画走査方向と、前記被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を、前記複数の吐出ノズルにおける、前記描画走査において吐出を実施する吐出ノズルの割合である稼働ノズル率が最大となる相対方向に規定することが好ましい。
【００３０】
この描画装置によれば、相対方向規定手段は、描画走査方向と被描画媒体の方向との相対方向である描画走査相対方向を、当該被描画媒体に対する描画走査において、稼働ノズル率が最大となる方向に規定する。相対方向調整手段は、描画走査相対方向を、相対方向規定手段によって規定された方向に調整する。
【００３１】
相対方向規定手段によって、描画走査相対方向を、稼働ノズル率が最大となる方向に規定し、相対方向調整手段が、描画走査相対方向を、相対方向規定手段によって規定された方向に調整することで、描画走査において吐出を実施する吐出ノズルの割合が最大となり、吐出を実施しない吐出ノズルの割合が最小となる。
【００３２】
描画走査において吐出を実施しない吐出ノズルは、略休止した状態で、保守措置を施されることなく描画環境中に放置された状態であり、当該状態で放置されることに起因する不具合が発生する可能性が高くなる。描画走査相対方向を、稼働ノズル率が最大となる方向に規定し、規定された方向に調整することで、描画走査において稼動しないことに起因して不具合が発生する可能性が高くなる吐出ノズルの数を抑制することができる。
【００３３】
［適用例１０］上記適用例にかかる描画装置は、前記相対方向規定手段が、前記吐出ヘッドと前記被描画媒体とを、前記被描画媒体の被描画面に略平行な方向に相対移動させると共に前記複数の吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出させる描画走査における前記吐出ヘッドと前記被描画媒体との相対移動方向である描画走査方向と、前記被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を、前記描画走査方向が第一の描画走査方向である第一の描画走査において、前記液状体が配置されない非配置領域の前記第一の描画走査方向に直交する方向における幅が最大である最大非配置領域を挟んで位置し、前記液状体が配置される第一の被配置領域と第二の被配置領域とが、前記描画走査方向に平行に延在する同一の直線に接する方向に規定することが好ましい。
【００３４】
この描画装置によれば、相対方向規定手段は、描画走査方向と被描画媒体の方向との相対方向である描画走査相対方向を、描画走査方向が第一の描画走査方向である第一の描画走査において、液状体が配置されない非配置領域の第一の描画走査方向に直交する方向における幅が最大である最大非配置領域を挟んで位置し、液状体が配置される第一の被配置領域と第二の被配置領域とが、描画走査方向に平行に延在する同一の直線に接する方向に規定する。相対方向調整手段は、描画走査相対方向を、相対方向規定手段によって規定された方向に調整する。
描画走査において吐出を実施しない吐出ノズルは、描画走査を実施する間は、略休止した状態で、保守措置を施されることなく描画環境中に放置された状態であり、当該状態で放置されることに起因する不具合が発生する可能性が高くなる。
相対方向規定手段によって、描画走査相対方向は、最大非配置領域を挟んで位置する第一の被配置領域と第二の被配置領域とが、描画走査方向に延在する同一の直線に接する方向に規定され、相対方向調整手段によって、規定された方向に調整される。規定された描画走査相対方向である描画走査方向の描画走査において、第一の被配置領域に向けて液状体を吐出する吐出ノズルと、第二の被配置領域に向けて液状体を吐出する吐出ノズルと、の間に、当該描画走査の間に液状体を吐出しない吐出ノズルが存在しなくなる。これにより、描画走査の間に、略休止した状態で放置されることに起因する不具合が発生する可能性が高くなる吐出ノズルが生ずることを抑制することができる。
【００３５】
［適用例１１］上記適用例にかかる描画装置は、前記相対方向調整手段が、前記描画走査方向に対して、前記被描画媒体の方向を変えることで、前記描画走査相対方向を、前記相対方向規定手段によって規定された相対方向に調整する媒体方向変更手段であることが好ましい。
【００３６】
この描画装置によれば、相対方向調整手段は媒体方向変更手段であって、描画走査方向に対して、被描画媒体の方向を変える。描画走査方向に対して被描画媒体の方向が変わるため、描画走査方向と、被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を変えて、描画走査相対方向を、相対方向規定手段によって規定された相対方向に調整することができる。
【００３７】
［適用例１２］上記適用例にかかる描画装置は、前記相対方向調整手段が、前記相対移動手段による前記描画走査方向を変えることによって、前記描画走査相対方向を、前記相対方向規定手段によって規定された相対方向に調整する描画走査方向変更手段であることが好ましい。
【００３８】
この描画装置によれば、相対方向調整手段は描画走査方向変更手段であって、被描画媒体の方向に対して、描画走査方向を変える。被描画媒体の方向に対して描画走査方向が変わるため、被描画媒体の方向と、描画走査方向と、の相対方向である描画走査相対方向を変えて、描画走査相対方向を、相対方向規定手段によって規定された相対方向に調整することができる。
【００３９】
［適用例１３］上記適用例にかかる描画装置は、前記媒体方向変更手段が、前記支持装置上に供給されて支持され、所定の方向に方向調整された前記被描画媒体の方向を変えることによって、前記描画走査相対方向を、前記相対方向規定手段によって規定された方向に調整することが好ましい。
【００４０】
この描画装置によれば、支持装置上に供給された被描画媒体に対して、媒体方向変更手段である相対方向調整手段によって、描画走査相対方向を、相対方向規定手段によって規定された方向に調整した後に、描画を実施する。被描画媒体の方向は、媒体方向変更手段によって、描画走査相対方向が描画（描画走査）を実施する際の適切な描画走査相対方向となる方向に調整される。これにより、支持装置上に被描画媒体を供給する際には、描画（描画走査）を実施する際の適切な描画走査相対方向となる被描画媒体の方向に関わりなく、被描画媒体を供給することができる。描画（描画走査）を実施する際の適切な描画走査相対方向が変化しても、支持装置上に被描画媒体を供給する際に、被描画媒体の方向を対応させることを不要にすることができる。
【００４１】
［適用例１４］上記適用例にかかる描画装置は、前記媒体方向変更手段が、描画を実施済の前記被描画媒体の方向を、前記描画装置から前記被描画媒体を除去する前に、前記被描画媒体が前記支持装置上に供給された方向と略同じ方向に向けることが好ましい。
【００４２】
この描画装置によれば、描画された被描画媒体の方向を、描画装置から被描画媒体を除去する前に、媒体方向変更手段である相対方向調整手段によって、被描画媒体が支持装置上に供給された方向と略同じ方向に向ける。これにより、被描画媒体を除去する際には、描画（描画走査）を実施する際の適切な描画走査相対方向に関わりなく、略同一方向を向いている状態の被描画媒体を除材対象とすることができる。描画（描画走査）を実施する際の適切な描画走査相対方向が変化しても、被描画媒体を除去する際には、略同様の動作で、被描画媒体を除材することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図２】（ａ）は、ワーク機構部の平面図。（ｂ）は、ワーク機構部の側面図。
【図３】（ａ）は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図。
【図４】ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。
【図５】液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。
【図６】液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図。
【図７】（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図。（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｃ）は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図。
【図８】描画工程を示すフローチャート。
【図９】（ａ）は、マーキング画像と描画走査方向とを示す説明図。（ｂ）は、マーキング画像と、方向を調整した描画走査方向とを示す説明図。
【図１０】（ｃ）は、チップ描画用体におけるマーキング画像と描画走査方向とを示す説明図。（ｄ）は、チップ描画用体におけるマーキング画像と、方向を調整した描画走査方向とを示す説明図。
【図１１】（ａ）は、ワーク載置台上に給材されたチップ描画用体を示す説明図。（ｂ）は、描画走査時におけるチップ描画用体と描画走査方向とを示す説明図。
【図１２】描画工程を示すフローチャート。
【図１３】描画走査時におけるチップ描画用体と描画走査方向とを示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００４４】
以下、描画方法、及び描画装置について、図面を参照して説明する。本実施形態は、液滴吐出ヘッドを備え、当該液滴吐出ヘッドを用いて、被描画媒体上に画像を描画する液滴吐出装置を例に説明する。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと被描画媒体とを相対移動させると共に、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから機能液の液滴を吐出して、被描画媒体上の所定の位置に着弾させることによって、所定の画像を形成する装置である。
なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。液滴吐出装置が、描画装置に相当する。機能液が、液状体に相当する。
【００４５】
＜液滴吐出法＞
最初に、液状体を液滴として吐出する液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。
帯電制御方式は、液状体に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で液状体の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、液状体に３０ｋｇ／ｃｍ2程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に液状体を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には液状体が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると液状体間に静電的な反発が起こり、液状体が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって液状体を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から液状体を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。
【００４６】
また、電気熱変換方式は、液状体を貯留した空間内に設けたヒーターにより、液状体を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の液状体を吐出させるものである。静電吸引方式は、液状体を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに液状体のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから液状体を引き出すものである。この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。
【００４７】
液滴吐出法は、液状体の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の液状体を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状体に熱を加えないため、液状体の組成等に影響を与えないなどの利点を有する。本実施形態では、液状体選択の自由度の高さ、及び液滴の制御性の良さの点から上記ピエゾ方式を用いる。
【００４８】
＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出ヘッド２０（図３参照）を備える液滴吐出装置１の構成の全般について、図１を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００４９】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッド機構部２と、ワーク機構部３と、機能液供給部４と、保守装置部５とを備えている。ヘッド機構部２は、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド２０を有している。ワーク機構部３は、液滴吐出ヘッド２０から吐出された液滴を着弾させる対象であるワークＷを載置するワーク載置台３０を有している。機能液供給部４は、貯留タンクと、中継タンクと、給液チューブとを有し、当該給液チューブが、液滴吐出ヘッド２０に接続されており、給液チューブを介して機能液が液滴吐出ヘッド２０に供給される。保守装置部５は、液滴吐出ヘッド２０の検査又は保守を実施する各装置を備えている。液滴吐出装置１は、また、これら各機構部などを総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。液滴吐出ヘッド２０が、吐出ヘッドに相当する。ワークＷが、被描画媒体に相当する。
【００５０】
さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。定盤９の上側には、ワーク機構部３が定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在する状態で配設されている。ワーク機構部３の上方には、定盤９に立設された２本の支持柱で支持されているヘッド機構部２が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在する状態で配設されている。また、定盤９の傍らには、ヘッド機構部２の液滴吐出ヘッド２０に連通する給液チューブを有する機能液供給部４の貯留タンクなどが配置されている。ヘッド機構部２の一方の支持柱の近傍には、保守装置部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に配設されている。さらに、定盤９の下側に、吐出装置制御部６が収容されている。
【００５１】
ヘッド機構部２は、液滴吐出ヘッド２０を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を有するヘッドキャリッジと、ヘッドキャリッジが吊設された移動枠２２と、移動枠２２をＹ軸方向に移動させるＹ軸走査機構２６とを、備えている。
移動枠２２を、Ｙ軸走査機構２６によってＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド２０をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
ワーク機構部３は、ワーク載置台３０と、Ｘ軸走査機構３６とを備えている。ワーク機構部３は、ワーク載置台３０を、Ｘ軸走査機構３６によって、Ｘ軸方向に移動させることで、ワーク載置台３０に載置されたワークＷをＸ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
【００５２】
液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワークＷのＸ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。Ｘ軸方向に移動するワークＷと、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド２０とを相対的に制御することにより、ワークＷ上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する平面形状の描画を実施することが可能である。
【００５３】
保守装置部５は、各種検査装置、各種保守装置、及び保守装置走査機構を備えている。検査装置は、液滴吐出ヘッド２０の吐出状態の検査を実施する吐出検査ユニットなどの、液滴吐出ヘッド２０の検査を実施する装置である。保守装置は、液滴吐出ヘッド２０の各種の保守を実施する装置である。保守装置走査機構は、これらの各装置をＸ軸方向に移動可能であって、任意の位置に保持可能に支持する装置である。
液滴吐出ヘッド２０の検査や保守を実施する際には、ヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）が、Ｙ軸走査機構を用いて保守装置部５に臨む位置に移動させられる。また、実施する検査又は保守に対応する検査装置又は保守装置が、保守装置走査機構によって、ヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）に臨む位置に移動させられる。
【００５４】
＜ワーク機構部＞
次に、ワーク機構部３について、図２を参照して説明する。図２は、ワーク機構部の概略構成を示す説明図である。図２（ａ）は、ワーク機構部の平面図であり、図２（ｂ）は、ワーク機構部の側面図である。
【００５５】
図２に示すように、ワーク機構部３は、ワーク載置台３０と、Ｘ軸走査機構３６とを備えている。
ワーク載置台３０は、載置台３１と、回動機構３２と、載置台ベース３３と、スライダー枠３４とを備えている。載置台ベース３３に固定された一対のスライダー枠３４，３４が有するＸ軸スライダー（図示省略）を、Ｘ軸走査機構３６が備えるＸ軸リニアモーターによって駆動することによって、ワーク載置台３０をＸ軸方向に移動する。また、任意の位置に保持する。
載置台３１は、載置されたワークＷを吸引して固定する吸引機構（図示省略）を備えている。載置台３１にワークＷを給材する際は、液滴吐出装置１における略所定の方向で、ワークＷを載置台３１に載置する。続いてアライメントを実施することで、ワークＷを液滴吐出装置１における所定の位置に所定の方向で位置させる。所定の位置に所定の方向で位置したワークＷを吸引機構によって吸引して、載置台３１に所定の方向で固定する。
【００５６】
載置台３１は、回動機構３２を介して、載置台ベース３３に回動自在に取付けられている。回動機構３２は、載置台ベース３３に対して、載置台３１を、載置台３１のワークＷを載置する面に略垂直な回動軸３２ａ（図１及び図２に記載したＺ軸に略平行な軸）回りに回動可能であり、精度良く任意の位置に保持することが可能である。これにより、載置台３１に対して所定の方向で固定されたワークＷを、回動軸３２ａまわりに回動可能であり、精度良く任意の位置に保持することが可能である。ワーク載置台３０、又は載置台３１が、支持装置に相当する。
回動機構３２は、載置台３１を、回動軸３２ａまわりに１８０度以上回動可能である。これにより、載置台３１に固定されたワークＷの方向を、ワーク載置台３０の移動方向であるＸ軸方向に対して、任意の方向に向けることが可能である。
【００５７】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に、液滴吐出ヘッド２０について、図３を参照して説明する。図３は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す図である。図３（ａ）は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図であり、図３（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図であり、図３（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図である。図３に示したＹ軸、及びＺ軸は、液滴吐出ヘッド２０が液滴吐出装置１に装着された状態において、図１に示したＹ軸、及びＺ軸と一致している。
【００５８】
図３（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２５を備えている。ノズル基板２５には、多数の吐出ノズル２４が略一直線状に並んだノズル列２４Ａが２列形成されている。吐出ノズル２４から機能液を液滴として吐出し、対向する位置にある描画対象物などに着弾させることで、当該位置に機能液を配置する。ノズル列２４Ａは、液滴吐出ヘッド２０が液滴吐出装置１に装着された状態で、図１に示したＹ軸方向に延在している。ノズル列２４Ａにおいて吐出ノズル２４は等間隔のノズルピッチで並んでおり、２列のノズル列２４Ａ間で、吐出ノズル２４の位置がＹ軸方向に半ノズルピッチずれている。したがって、液滴吐出ヘッド２０としては、Ｙ軸方向に半ノズルピッチ間隔で機能液の液滴を配置することができる。ノズルピッチは、例えば１４０μｍであり、半ノズルピッチは、７０μｍである。
【００５９】
図３（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２５に圧力室プレート５１が積層されており、圧力室プレート５１に振動板５２が積層されている。
圧力室プレート５１には、液滴吐出ヘッド２０に供給される機能液が常に充填される液たまり５５が形成されている。液たまり５５は、振動板５２と、ノズル基板２５と、圧力室プレート５１の壁とに囲まれた空間である。機能液は、機能液供給部４から液滴吐出ヘッド２０に供給され、振動板５２の液供給孔５３を経由して液たまり５５に供給される。また、圧力室プレート５１には、複数のヘッド隔壁５７によって区切られた圧力室５８が形成されている。振動板５２と、ノズル基板２５と、２個のヘッド隔壁５７とによって囲まれた空間が圧力室５８である。
【００６０】
圧力室５８は吐出ノズル２４のそれぞれに対応して設けられており、圧力室５８の数と吐出ノズル２４の数とは同じである。圧力室５８には、２個のヘッド隔壁５７の間に位置する供給口５６を経由して、液たまり５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁５７と圧力室５８と吐出ノズル２４と供給口５６との組は、液たまり５５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル２４がノズル列２４Ａを形成している。図３（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル２４を含むノズル列２４Ａに対して液たまり５５に関して略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル２４がもう１列のノズル列２４Ａを形成している。当該ノズル列２４Ａに対応するヘッド隔壁５７と圧力室５８と供給口５６との組が、１列に並んでいる。
【００６１】
振動板５２の圧力室５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子５９の一端が固定されている。圧電素子５９の他端は、固定板（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド２０全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子５９は、電極層と圧電材料とを積層した活性部を有している。圧電素子５９は、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図３（ｂ）又は（ｃ）における振動板５２の厚さ方向）に縮む。電極層に印加されていた駆動電圧が解除されることで、活性部が元の長さに戻る。
【００６２】
電極層に駆動電圧が印加されて、圧電素子５９の活性部が縮むことで、圧電素子５９の一端が固定された振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加することから、機能液が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子５９が振動板５２を押圧する。振動板５２が押圧されることで、圧力室５８側に戻る。これにより、圧力室５８の容積が急激に元に戻る。すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室５８に連通して形成された吐出ノズル２４から機能液が液滴となって吐出される。
【００６３】
＜ヘッドユニット＞
次に、ヘッド機構部２が備えるヘッドユニット２１の概略構成について、図４を参照して説明する。図４は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図４に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
【００６４】
図４に示したように、ヘッドユニット２１は、ユニットプレート２３と、ユニットプレート２３に搭載された９個の液滴吐出ヘッド２０と、を有している。液滴吐出ヘッド２０は、図示省略したヘッド保持部材を介してユニットプレート２３に固定されている。固定された液滴吐出ヘッド２０は、ヘッド本体がユニットプレート２３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズル基板２５が、ユニットプレート２３の面より突出した位置に位置している。図４は、ノズル基板２５の側から見た図である。９個の液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ３個ずつの液滴吐出ヘッド２０を有するヘッド組２０Ａを３群、形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド２０のノズル列２４Ａは、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、Ｙ軸方向に延在している。
【００６５】
一つのヘッド組２０Ａが有する３個の液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド２０の、一方の液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４が半ノズルピッチずれて位置する位置に、配設されている。ヘッド組２０Ａが有する３個の液滴吐出ヘッド２０において、全ての吐出ノズル２４のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル２４は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド２０が有するそれぞれのノズル列２４Ａを構成する吐出ノズル２４から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。
【００６６】
一つのヘッド組２０Ａが備える３個の液滴吐出ヘッド２０が有する６列のノズル列２４Ａは、１本のノズル列として扱うこともできる。当該ノズル列は、例えば１８０個の６倍、１０８０個の吐出ノズル２４を有し、Ｙ軸方向におけるノズルピッチは、７０μｍであり、Ｙ軸方向の両端の吐出ノズル２４の中心間距離（ノズル列長さ）は、約７５．５ｍｍである。液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド組２０Ａを構成している。
【００６７】
ヘッドユニット２１が有する３つのヘッド組２０Ａは、それぞれが有する１本のノズル列とみなせるノズル列が、Ｙ軸方向において、ノズル列２４Ａの半ノズルピッチずれて位置する位置に、配設されている。言い換えると、それぞれのヘッドユニット２１は、互いに隣り合うヘッド組２０Ａを構成する液滴吐出ヘッド２０の、一方のヘッド組２０Ａにおける液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４に対して、もう一方のヘッド組２０Ａにおける液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４が、Ｙ軸方向において、半ノズルピッチずれた位置に、配設されている。
【００６８】
一つのヘッドユニット２１が備える３つのヘッド組２０Ａにおける９個の液滴吐出ヘッド２０が有する１８列のノズル列２４Ａは、１本のノズル列として扱うこともできる。当該ノズル列を「ユニットノズル列２４０Ａ」と表記する。ユニットノズル列２４０Ａは、例えば１８０個の１８倍、３２４０個の吐出ノズル２４を有し、Ｙ軸方向におけるノズルピッチは、７０μｍであり、Ｙ軸方向の両端の吐出ノズル２４の中心間距離（ノズル列長さ）は、約２２６．７ｍｍである。即ち、一つのヘッドユニット２１の吐出ノズル２４から一滴ずつ吐出させて、Ｘ軸方向が同じ位置になるように着弾させると、３２４０個の点が７０μｍのピッチ間隔で連なる直線が形成される。
【００６９】
液滴吐出装置１は、１個のヘッドユニット２１を備えており、１個のユニットノズル列２４０Ａを備えている。当該ユニットノズル列２４０Ａによって、１回の走査の間に、例えば３２４０個の点が７０μｍのピッチ間隔で連なる直線を形成することができる。
【００７０】
＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成について、図５を参照して説明する。図５は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置１は、制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置６５は、演算処理を行うホストコンピューター６６と、液滴吐出装置１に情報を入出力するための入出力装置６８とを有し、インターフェイス（Ｉ／Ｆ）６７を介して吐出装置制御部６と接続されている。入出力装置６８は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニター装置などである。
【００７１】
液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、入出力インターフェイス（Ｉ／Ｆ）４７と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）８４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４５と、ＲＡＭ（Random Access Memory）４６と、ハードディスク４８と、を有している。また、ヘッドドライバー２０ｄと、駆動機構ドライバー８ｄと、給液ドライバー４ｄと、保守ドライバー５ｄと、検出部インターフェイス（Ｉ／Ｆ）８３と、を有している。これらは、データバス４９を介して互いに電気的に接続されている。
【００７２】
入出力インターフェイス４７は、制御装置６５とデータの授受を行い、ＣＰＵ８４は、制御装置６５からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力する。ＲＡＭ４６は、ＣＰＵ８４からの指令に従って、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ４５は、ＣＰＵ８４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶している。ハードディスク４８は、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを保存したり、ＣＰＵ８４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶したりしている。
【００７３】
ヘッドドライバー２０ｄには、ヘッドユニット２１を構成する液滴吐出ヘッド２０が接続されている。ヘッドドライバー２０ｄは、ＣＰＵ８４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッド２０を駆動して、機能液の液滴を吐出させる。駆動機構ドライバー８ｄには、Ｙ軸走査機構２６のＹ軸リニアモーターと、Ｘ軸走査機構３６のＸ軸リニアモーターと、ワーク載置台３０の回動機構３２と、各種駆動源を有する各種駆動機構を含む駆動機構８０と、が接続されている。各種駆動機構は、ワークＷのアライメントを実施する際にアライメントカメラを移動するためのカメラ移動モーターや、ワーク載置台３０の吸引機構の駆動モーターなどである。駆動機構ドライバー８ｄは、ＣＰＵ８４からの制御信号に従って上記モーターなどを駆動して、液滴吐出ヘッド２０とワークＷとを相対移動させてワークＷの任意の位置と液滴吐出ヘッド２０とを対向させ、ヘッドドライバー２０ｄと協働して、ワークＷ上の任意の位置に機能液の液滴を着弾させる。
【００７４】
給液ドライバー４ｄには、機能液供給部４が接続されている。給液ドライバー４ｄは、ＣＰＵ８４からの制御信号に従って機能液供給部４の圧力付与部やバルブの駆動源を駆動して、液滴吐出ヘッド２０に機能液を供給する。
【００７５】
保守ドライバー５ｄには、保守装置部５が備える吸引ユニットと、ワイピングユニットと、吐出検査ユニットと、重量測定ユニットなどが接続されている。保守ドライバー５ｄは、ＣＰＵ８４からの制御信号に従って、吸引ユニット、又はワイピングユニットを駆動して、液滴吐出ヘッド２０の保守作業を実施させる。また、吐出検査ユニットを駆動して、吐出の有無や着弾位置精度などの、液滴吐出ヘッド２０の吐出状態の検査を実施させたり、重量測定ユニットを駆動して、液滴吐出ヘッド２０から吐出される機能液の液滴の、吐出重量の測定を実施させたりする。
【００７６】
検出部インターフェイス８３には、各種センサーを有する検出部８２が接続されている。検出部８２の各センサーによって検出された検出情報が検出部インターフェイス８３を介してＣＰＵ８４に伝達される。
【００７７】
＜機能液の吐出＞
次に、液滴吐出装置１における液滴吐出ヘッド２０からの吐出制御方法について、図６を参照して説明する。図６は、液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図である。
【００７８】
上述したように、液滴吐出装置１は、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する吐出装置制御部６を備えている。吐出装置制御部６は、制御信号を出力するＣＰＵ８４と、液滴吐出ヘッド２０の電気的な駆動制御を行うヘッドドライバー２０ｄとを備えている。
図６に示すように、ヘッドドライバー２０ｄは、ＦＦＣケーブルを介して各液滴吐出ヘッド２０と電気的に接続されている。また、液滴吐出ヘッド２０は、吐出ノズル２４（図３参照）ごとに設けられた圧電素子５９に対応して、シフトレジスター（ＳＬ）８５と、ラッチ回路（ＬＡＴ）８６と、レベルシフター（ＬＳ）８７と、スイッチ（ＳＷ）８８とを備えている。
【００７９】
液滴吐出装置１における吐出制御は次のように行われる。最初に、ＣＰＵ８４がワークＷなどの描画対象物における機能液の配置パターンをデータ化したドットパターンデータをヘッドドライバー２０ｄに伝送する。そして、ヘッドドライバー２０ｄは、ドットパターンデータをデコードして吐出ノズル２４ごとのＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスター８５に伝送される。
【００８０】
シフトレジスター８５に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフター８７でスイッチ８８用のゲート信号に変換される。即ち、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ８８が開いて、圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合にはスイッチ８８が閉じられて、圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されない。そして、「ＯＮ」に対応する吐出ノズル２４からは機能液が液滴となって吐出され、吐出された機能液の液滴がワークＷなどの描画対象物の上に着弾して、描画対象物の上に機能液が配置される。
【００８１】
＜着弾位置＞
次に、液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル２４と、それぞれの吐出ノズル２４から吐出された液滴の着弾位置と、の関係について、図７を参照して説明する。図７は、吐出ノズルと、それぞれの吐出ノズルから吐出された液滴の着弾位置と、の関係を示す説明図である。図７（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図であり、図７（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図７（ｃ）は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図７（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図である。図７に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。Ｘ軸方向が主走査方向であって、図７に示した矢印ａの方向に吐出ノズル２４（液滴吐出ヘッド２０）を相対移動させながら、任意の位置において機能液の液滴を吐出することによって、Ｘ軸方向の任意の位置に液滴を着弾させることができる。
【００８２】
図７（ａ）に示すように、ノズル列２４Ａを構成する吐出ノズル２４は、Ｙ軸方向にノズルピッチＰの中心間距離で配列されている。上述したように、２列のノズル列２４Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル２４同士は、Ｙ軸方向において、相互に、ノズルピッチＰの１／２ずつ位置がずれている。
【００８３】
図７（ｂ）に示すように、着弾位置を示す着弾点９１と、着弾した液滴の濡れ広がり状態を示す着弾円９１Ａとで、着弾した１滴の液滴の状態を示している。２列のノズル列２４Ａの全部の吐出ノズル２４から、図７（ｂ）に一点鎖線で示した仮想線Ｌ上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの１／２の中心間間隔で着弾円９１Ａが連なる直線が形成される。
【００８４】
図７（ｃ）に示すように、一つの吐出ノズル２４から連続して液滴を吐出させることによって、Ｘ軸方向に着弾円９１Ａが連なる直線が形成される。Ｘ軸方向における着弾点９１間の中心間距離の最小値を、最小着弾距離ｄと表記する。最小着弾距離ｄは、主走査方向の相対移動速度と、吐出ノズル２４の最小吐出間隔との積である。
【００８５】
図７（ｄ）に示すように、一点鎖線で示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの１／２の中心間間隔で着弾円９１Ａが連なる直線が、Ｘ軸方向に並列した着弾面が形成される。図７（ｄ）に示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３間の距離が最小着弾距離ｄの場合のそれぞれの着弾点９１が、液滴吐出装置１によって機能液の液滴を配置可能な位置である。
【００８６】
画像の描画に際しては、画像の情報に従って、図７（ｄ）に示したそれぞれの着弾点９１の位置について、液滴を配置する位置を定める。例えば、当該配置位置、及び配置位置に液滴を吐出する吐出ノズル２４を指定した配置表を形成し、配置表に従って機能液を着弾させることによって、画像の情報によって規定される画像を描画する。なお、図７（ｄ）に示した例では、着弾円９１Ａの間に隙間が存在するが、ノズルピッチＰや最小着弾距離ｄに対して、吐出する液滴の１滴あたりの吐出重量を適切に定めることによって、隙間なく機能液を配置することが可能である。
【００８７】
＜描画工程＞
次に、液滴吐出装置１を用いて半導体チップにマーキング用のマーキング画像を描画する描画工程について、図８、図９、図１０、及び図１１を参照して説明する。本実施形態では、半導体チップへの描画は、多数の半導体チップを含むチップ描画用体の状態にした半導体チップに対して実施する。
図８は、描画工程を示すフローチャートである。図９及び図１０は、描画するマーキング画像と描画走査方向とを示す説明図である。図１１は、チップ描画用体と描画走査方向とを示す説明図である。図９（ａ）は、マーキング画像と描画走査方向とを示す説明図であり、図９（ｂ）は、マーキング画像と、方向を調整した描画走査方向とを示す説明図であり、図１０（ｃ）は、チップ描画用体におけるマーキング画像と描画走査方向とを示す説明図であり、図１０（ｄ）は、チップ描画用体におけるマーキング画像と、方向を調整した描画走査方向とを示す説明図である。図１１（ａ）は、ワーク載置台上に給材されたチップ描画用体を示す説明図であり、図１１（ｂ）は、描画走査時におけるチップ描画用体と描画走査方向とを示す説明図である。図９、図１０、及び図１１に示したＸ軸方向及びＹ軸方向は、図１、図２、及び図３に示したＸ軸方向又はＹ軸方向と一致している。
【００８８】
図８のステップＳ１では、描画するマーキング画像の画像情報を取得する。画像情報は、例えば、液滴を着弾させる着弾点の座標を指定する情報である。画像情報の座標系を画像座標と表記する。被描画媒体における位置を示す座標系を媒体座標と表記する。画像座標と媒体座標とを関係付けることで、被描画媒体におけるマーキング画像の位置及び方向が規定される。
液滴吐出装置１における、図７を参照して説明した着弾点の位置を示す座標系を装置座標と表記する。媒体座標と装置座標とを関係付けることで、被描画媒体上の指定の位置に液滴を着弾させることができる。ワーク載置台３０上に供給された被描画媒体を方向調整（アライメント）する工程が、媒体座標と装置座標とを関係付ける工程である。
画像座標と媒体座標と装置座標とが関係付けられた状態で、画像情報における着弾点に機能液の液滴を着弾させることで、被描画媒体上の指定の位置に、マーキング画像の画像情報によって規定されたマーキング画像を形成することができる。
【００８９】
図９（ａ）に示したマーキング画像７１は、文字画像７２と空白部７４とで構成されている。
図９（ａ）及び図９（ｂ）において、文字画像７２は、略正方形の形状を有する着弾点区画７３の集合である。着弾点区画７３は、被描画面に設定した仮想の領域であり、図７を参照して説明した着弾点９１及び着弾円９１Ａに対応する領域である。図９（ａ）におけるそれぞれの着弾点区画７３は、図７（ｄ）に示したそれぞれの着弾点９１に対応している。重ねて着弾させる場合を除いて、１区画の着弾点区画７３には、１個の液滴が着弾させられる。着弾した液滴は、図７を参照して説明したように着弾円９１Ａを形成するが、以降の説明では、説明を簡単にするために、着弾した液滴の機能液は、着弾点区画７３を覆う状態に位置するものとして説明する。着弾円９１Ａは、互いに重なり合う部分が存在することで、被描画面を隙間なく覆うことが可能であるが、着弾点区画７３を埋めた機能液は、互いに隙間なく接することで、被描画面を隙間なく覆うことが可能であると仮定する。
【００９０】
マーキング画像７１は、文字画像７２ａ、文字画像７２ｂ、文字画像７２ｃ、文字画像７２ｄ、空白部７４ａ、及び空白部７４ｂを有している。マーキング画像７１は、４辺がそれぞれＸ軸方向又はＹ軸方向に延在する長方形形状を有している。文字画像７２ａ、文字画像７２ｂ、文字画像７２ｃ、及び文字画像７２ｄは、それぞれ、長方形形状のマーキング画像７１の４隅のいずれかに位置している。４隅に位置する文字画像７２の間には、マーキング画像７１のＹ軸方向における略中央でＸ軸方向に延在する空白部７４ａと、マーキング画像７１のＸ軸方向における略中央でＹ軸方向に延在する空白部７４ｂとが、位置している。空白部７４ａと空白部７４ｂとが交差する部分の着弾点区画７３は、空白部７４ａ及び空白部７４ｂに含まれる共通部分である。
【００９１】
文字画像７２を構成する着弾点区画７３の中で、液滴を着弾させて機能液を配置する着弾点区画７３を、実着弾区画７３ａと表記する。液滴を着弾させない着弾点区画７３を、非着弾区画７３ｂと表記する。
文字画像７２における実着弾区画７３ａによって、文字画像７２ａ、文字画像７２ｂ、文字画像７２ｃ、及び文字画像７２ｄには、アルファベットのＡ、Ｂ、Ｃ、又はＤが表記されている。空白部７４ａ、及び空白部７４ｂは、非着弾区画７３ｂの集合である。
マーキング画像７１の画像情報は、実着弾区画７３ａの位置を規定する情報である。文字画像７２を構成する非着弾区画７３ｂや、非着弾区画７３ｂの集合である空白部７４ａ、及び空白部７４ｂは、機能液の液滴が着弾させられて実着弾区画７３ａが形成されることによって、形成される。
【００９２】
次に、図８のステップＳ２では、描画する画像を解析する。ステップＳ１で取得した画像情報によって規定されるマーキング画像７１に関して、描画するために使用される吐出ノズル２４について解析する。
図９（ａ）及び図９（ｂ）に示した吐出ノズル番号は、それぞれ、Ｙ軸方向に並ぶ吐出ノズル２４のＹ軸方向における位置を示している。Ｘ軸走査機構３６による走査方向は、Ｘ軸方向であって、図９（ａ）に矢印ａで示した方向である。図９（ａ）及び図９（ｂ）に矢印Ｐで示した、マーキング画像７１に含まれる文字の上下方向を、マーキング画像７１の「画像方向」と表記する。図９（ａ）に示したマーキング画像７１の画像方向と描画走査方向との相対方向の角度は、９０度である。
【００９３】
マーキング画像７１の画像方向と描画走査方向との相対方向の角度が９０度の場合、矢印ａで示した方向が描画走査方向である。矢印ａで示した方向に走査してマーキング画像７１を描画した場合、マーキング画像７１の範囲に向けて機能液の液滴を吐出可能な吐出ノズル２４は、吐出ノズル番号３から１８の、１６個の吐出ノズル２４である。吐出ノズル番号９から１２の、４個の吐出ノズル２４は、空白部７４ａにのみ臨む位置にあり、吐出する機会がないため、吐出を実施する吐出ノズル２４の割合である稼働ノズル率は７５％である。空白部７４ａの、走査方向に直交する方向であるＹ軸方向の幅は、概ね、着弾点区画７３の幅４個分の幅である。当該幅は、相対方向が９０度からずれる、ずれ量にしたがって変化する。
【００９４】
マーキング画像７１の画像方向と描画走査方向との相対方向の角度が０度（方向が同じ）の場合、矢印ｂで示した方向が描画走査方向である。矢印ｂで示した方向をＸ軸方向に向けて、矢印ｂで示した方向に走査してマーキング画像７１を描画した場合、マーキング画像７１の範囲に向けて機能液の液滴を吐出可能な吐出ノズル２４は、１２個の吐出ノズル２４である。２個の吐出ノズル２４は、空白部７４ｂにのみ臨む位置にあり、吐出する機会がないため、吐出を実施する吐出ノズル２４の割合である稼働ノズル率は約８３％である。空白部７４ｂの、走査方向に直交する方向である図９（ａ）ではＸ軸方向の幅は、概ね、着弾点区画７３の幅２個分の幅である。当該幅は、相対方向が０度からずれる、ずれ量にしたがって変化する。
このように、空白部７４ａや空白部７４ｂなどにのみ臨む位置にあり、描画走査において吐出する機会がない吐出ノズル２４の数は、相対方向によって異なっている。
【００９５】
次に、図８のステップＳ３では、適切な相対方向を算出する。例えば、マーキング画像７１において、描画走査方向に直交する方向の幅が最大の空白部７４について、ｔａｎθ１＝（空白部７４の描画走査方向に直交する方向の幅）／（空白部７４の描画走査方向の幅）となる角度θ１を求める。
マーキング画像７１は、相対方向が９０度の場合に、描画走査において空白部７４ａにのみ臨むために、吐出する機会がない吐出ノズル２４の数が最大となる。当該吐出する機会がない吐出ノズル２４を減らすことで、稼動ノズル率を高くすることができる。稼働ノズル率は、描画走査において吐出を実施する吐出ノズル２４の割合である。
【００９６】
図９（ａ）に示したマーキング画像７１における空白部７４ａは、Ｘ軸方向の幅Ｗ１が着弾点区画７３の幅１２個分の幅である。Ｙ軸方向の幅Ｈ１は、着弾点区画７３の幅４個分の幅である。θ１は、ｔａｎθ１＝Ｈ１／Ｗ１＝４／１２となる角度である。このとき、相対方向を（９０−θ１）度にすると、図９（ｂ）に示したように、空白部７４ａの両側に位置し、略長方形形状を有する文字画像７２ａ及び文字画像７２ｄにおける略長方形形状の角部が、共通の直線Ｌ１に略接している。直線Ｌ１は、描画走査方向であるＸ軸方向に平行な直線である。マーキング画像７１は、液滴吐出ヘッド２０に対して、直線Ｌ１がノズル番号１１の吐出ノズル２４とノズル番号１２の吐出ノズル２４との間を通る位置に位置している。
【００９７】
文字画像７２ａにおける直線Ｌ１に略接する部分には、ノズル番号１１の吐出ノズル２４が対向し、当該吐出ノズル２４によって機能液の液滴を配置する。文字画像７２ｄにおける直線Ｌ１に略接する部分には、ノズル番号１２の吐出ノズル２４が対向し、当該吐出ノズル２４によって機能液の液滴を配置する。
マーキング画像７１の画像方向と描画走査方向との相対方向の角度が（９０−θ１）度であり、矢印ａで示した方向が描画走査方向である。矢印ａで示した方向に走査してマーキング画像７１を描画した場合、マーキング画像７１の範囲に向けて機能液の液滴を吐出可能な吐出ノズル２４は、吐出ノズル番号２から２０の、１９個の吐出ノズル２４である。空白部７４ａや空白部７４ｂにのみ臨む位置にあり、吐出する機会がない吐出ノズル２４はないため、吐出を実施する吐出ノズル２４の割合である稼働ノズル率は１００％である。
【００９８】
画像の傾け量の算出について説明しやすくするために、液滴吐出ヘッド２０が備える吐出ノズル２４における一部の吐出ノズル２４のみを用いて描画可能な、単独のマーキング画像７１を例にして説明した。しかし、実際の描画に際しては、効率よく描画するために、ユニットノズル列２４０Ａによる描画走査を複数回実施することが必要な大きさの画像を描画する。
【００９９】
図１０（ｃ）に示したように、チップ描画用体６３は、半導体チップ６１を保持板６２上に整列させて仮固定したものである。半導体チップ６１は、ボンディングパットが形成された面の反対側の面にマーキング画像７６ａが描画される。マーキング画像７６ａは、例えば、ロゴマーク、製品名称、製品型番、ロット番号などである。チップ描画用体６３に描画するマーキング画像７６は、半導体チップ６１にそれぞれ描画するマーキング画像７６ａの集合体である。図１０（ｃ）に示したチップ描画用体６３におけるＸ軸方向を、チップ描画用体６３に描画されるマーキング画像７６の画像方向とする。チップ描画用体６３が、被描画媒体に相当する。
【０１００】
図１０（ｃ）に示したマーキング画像７６における空白部７４ｃは、Ｘ軸方向の幅が幅Ｗ２であり、Ｙ軸方向の幅が幅Ｈ２である。空白部７４ｄは、Ｘ軸方向の幅が幅Ｗ３である。描画走査方向がＸ軸方向の場合、描画走査方向に垂直な方向における空白部７４ｃの幅は、Ｈ２である。描画走査方向がＹ軸方向の場合、描画走査方向に垂直な方向における空白部７４ｄの幅は、Ｗ３である。Ｈ２＞Ｗ３であり、マーキング画像７６において、描画走査方向に直交する方向における幅が最大である最大非配置領域は、空白部７４ｃである。
描画走査方向がＸ軸方向の場合のＸ軸方向が、第一の描画走査方向に相当する。描画走査方向がＸ軸方向の場合の描画走査工程が、第一の描画走査工程に相当する。空白部７４ｃ及び空白部７４ｄが非配置領域に相当する。
【０１０１】
空白部７４ｃは、Ｘ軸方向の幅が幅Ｗ２であり、Ｙ軸方向の幅が幅Ｈ２である。θ２は、ｔａｎθ２＝Ｈ２／Ｗ２となる角度である。描画走査に際して、画像方向と描画走査方向との相対方向をθ２度にすると、図１０（ｄ）に示したように、空白部７４ｃの両側に位置する部分が、共通の直線Ｌ２に略接している。直線Ｌ２は、描画走査方向であるＸ軸方向に平行な直線である。描画走査方向がＸ軸方向である描画走査を実施してマーキング画像７６を描画した場合、空白部７４ｃにのみ臨む位置にあり、吐出する機会がない吐出ノズル２４は存在しないため、稼働ノズル率は１００％である。空白部７４ｃの両側に位置する部分が、それぞれ第一の被配置領域又は第二の被配置領域に相当する。
ステップＳ２の描画する画像の解析、及びステップＳ３の相対方向の算出は、ＣＰＵ８４が、制御装置６５からの指令に従って、ＲＯＭ４５などに記憶されたプログラムに基づいて実施する。この場合のＣＰＵ８４が、相対方向規定手段に相当する。
【０１０２】
次に、図８のステップＳ４では、被描画媒体であるチップ描画用体６３を、液滴吐出装置１に給材する。例えば工業用ロボットのような給除材装置を用いて、被描画媒体であるチップ描画用体６３を、ワーク載置台３０の載置台３１上に供給する。供給されたチップ描画用体６３は、図１１（ａ）に示すように、給除材装置の位置決め精度などによって定まる位置精度の範囲の精度で、液滴吐出装置１に対して位置が定まり、ワーク載置台３０に吸着固定される。
【０１０３】
次に、ステップＳ５では、被描画媒体であるチップ描画用体６３のアライメントを実施する。アライメントによって、ワーク載置台３０に吸着固定されたチップ描画用体６３の液滴吐出装置１に対する位置及び方向を、所定の位置及び方向に正確に調整する。所定の方向は、例えば図１０（ｃ）に示したチップ描画用体６３のように、チップ描画用体６３に描画されるマーキング画像７６の画像方向が描画走査方向に一致する方向である。
【０１０４】
次に、図８のステップＳ６では、被描画媒体であるチップ描画用体６３の方向調整を実施する。図２を参照して説明したワーク載置台３０の回動機構３２によって、載置台３１をＺ軸に平行な軸まわりに回動させることによって、載置台３１に固定されたチップ描画用体６３の方向を、図１１（ｂ）に示した方向に調整する。チップ描画用体６３の方向は、チップ描画用体６３に描画されるマーキング画像７６の画像方向が、描画走査方向に対して、ステップＳ３で求めた相対方向を実現する方向に調整される。ステップＳ６の工程が、走査相対方向調整工程に相当する。
回動機構３２が、相対方向調整手段に相当するとともに、媒体方向変更手段に相当する。チップ描画用体６３に描画されるマーキング画像７６の画像方向と描画走査方向との相対方向が、描画走査相対方向に相当する。
【０１０５】
マーキング画像７６などの画像方向と描画走査方向との相対方向は、幾何学的に、０度から３６０度のいずれかである可能性がある。しかし、相対方向がθ度の場合と（θ＋１８０）度の場合とでは、空白部７４の描画走査方向に直交する方向の幅は同じである。したがって、相対方向がθ度の場合と（θ＋１８０）度の場合とで、描画走査の間に、空白部７４にのみ臨むために吐出する機会がない吐出ノズル２４の数は同じである。このため、画像方向と描画走査方向との相対方向は、実質的に、０度から１８０度のいずれかである可能性がある。回動機構３２は、回動可能な角度が少なくとも１８０度であることが好ましい。
【０１０６】
次に、図８のステップＳ７では、チップ描画用体６３に対するマーキング画像７６の描画を実施する。
チップ描画用体６３との相対位置が図１１（ｂ）に示したヘッドユニット２１０の位置であるヘッドユニット２１に対して、Ｘ軸走査機構３６によって、ワーク載置台３０を図１１（ｂ）に示した矢印ａ１の方向（Ｘ軸方向）に走査させる。走査に同期させて、ヘッドユニット２１が備える吐出ノズル２４から、画像情報によって規定された位置に向けて液滴を吐出することで描画走査を実施する。ワーク載置台３０に固定されたチップ描画用体６３における、当該描画走査においてヘッドユニット２１が対向した部分に、当該部分に対応するマーキング画像７６の部分が描画される。描画される部分のＹ軸方向の幅は、例えば、ユニットノズル列２４０Ａ（図４参照）の長さに略等しい幅である。
【０１０７】
１回の描画走査が終了した状態におけるヘッドユニット２１は、チップ描画用体６３に対する相対位置が、図１１（ｂ）に示したヘッドユニット２１１の位置になる。描画走査におけるヘッドユニット２１とワーク載置台３０との相対移動はワーク載置台３０がＸ軸方向に走査して実施されているため、ヘッドユニット２１は移動しない。このため、ヘッドユニット２１１の位置は、ヘッドユニット２１０の位置と同じである。
ヘッドユニット２１１の位置に位置するヘッドユニット２１を、Ｙ軸走査機構２６によってＹ軸方向に移動させて改行を実施する。改行量は、１回の描画走査によって描画できるＹ軸方向の幅であって、例えば、ユニットノズル列２４０Ａの長さに略等しい幅である。改行が終了した状態におけるヘッドユニット２１は、チップ描画用体６３に対する相対位置が、図１１（ｂ）に示したヘッドユニット２２１の位置になる。
【０１０８】
チップ描画用体６３との相対位置がヘッドユニット２２１の位置であるヘッドユニット２１に対して、Ｘ軸走査機構３６によって、ワーク載置台３０を図１１（ｂ）に示した矢印ａ２の方向（Ｘ軸方向）に走査させる。走査に同期させて、ヘッドユニット２１が備える吐出ノズル２４から、画像情報によって規定された位置に向けて液滴を吐出することで描画走査を実施する。描画走査が終了した状態におけるヘッドユニット２１は、チップ描画用体６３に対する相対位置が、図１１（ｂ）に示したヘッドユニット２２０の位置になる。
以降、上述した改行及び描画走査と同様の改行と描画走査とを繰り返して、マーキング画像７６の描画を実施する。Ｘ軸走査機構３６が、相対移動手段に相当する。
【０１０９】
次に、図８のステップＳ８では、被描画媒体であるチップ描画用体６３の方向を戻す工程を実施する。この工程は、ステップＳ６において、画像方向が、描画走査方向に対して、ステップＳ３で求めた相対方向を実現する方向に調整されているチップ描画用体６３の方向を、ステップＳ４において供給された方向と略同じ方向に戻す工程である。戻されたチップ描画用体６３の方向の精度は、ステップＳ４の給材工程で用いた給除材装置によって、チップ描画用体６３を保持できる程度の精度でよい。
【０１１０】
次に、ステップＳ９では、マーキング画像７６を描画済のチップ描画用体６３（被描画媒体）を、液滴吐出装置１から除材する。除材は、ステップＳ４で用いた給除材装置を用いて、ワーク載置台３０の載置台３１上に載置されているチップ描画用体６３を、取り除くことで実施する。
【０１１１】
次に、ステップＳ１０では、マーキング画像７６の描画が未終了のチップ描画用体６３（被描画媒体）が在るか否かを判定する。
マーキング画像７６の描画が未終了のチップ描画用体６３が存在した場合（ステップＳ１０でＹＥＳ）には、ステップＳ４に戻り、ステップＳ４からステップＳ１０を繰り返して、チップ描画用体６３へのマーキング画像７６の描画を実施する。
マーキング画像７６の描画が未終了のチップ描画用体６３が存在しなかった場合（ステップＳ１０でＮＯ）には、半導体チップにマーキング画像を描画する描画工程を終了する。
【０１１２】
＜描画工程の２＞
次に、液滴吐出装置１を用いて半導体チップ６１にマーキング用のマーキング画像を描画する描画工程の他の例について、図１２、及び図１３を参照して説明する。図８、図９、図１０、及び図１１を参照して説明した描画工程と同様に、半導体チップ６１への描画は、多数の半導体チップ６１を含むチップ描画用体６３の状態にした半導体チップ６１に対して実施する。
図１２は、描画工程を示すフローチャートである。図１３は、描画走査時におけるチップ描画用体と描画走査方向とを示す説明図である。図１３に示したＸ軸方向及びＹ軸方向は、図１、図２、及び図３に示したＸ軸方向又はＹ軸方向と一致している。
【０１１３】
図１２のステップＳ２１からステップＳ２５の各ステップは、図８に示したステップＳ１からステップＳ５の各ステップと同様の工程である。
【０１１４】
図１２のステップＳ２５の次に、ステップＳ２６では、チップ描画用体６３に対するマーキング画像７６の描画を実施する。
チップ描画用体６３との相対位置が図１３に示したヘッドユニット２６０の位置であるヘッドユニット２１に対して、Ｘ軸走査機構３６によって、ワーク載置台３０を図１３に示した矢印ａ１の方向（Ｘ軸方向）に走査させる。並行して、Ｙ軸走査機構２６によって、ヘッドユニット２１を図１３に示した矢印ｂ１の方向（Ｙ軸方向）に走査させる。ワーク載置台３０の移動速度と、ヘッドユニット２１の移動速度とを調和させることによって、ワーク載置台３０に固定されたチップ描画用体６３とヘッドユニット２１とを、直線Ｌ４に平行な矢印ｃの方向に、相対移動させる。直線Ｌ４は、Ｘ軸方向に対してθ２度傾いている。
Ｘ軸走査機構３６及びＹ軸走査機構２６が、相対移動手段に相当する。ワーク載置台３０の移動速度とヘッドユニット２１の移動速度との制御は、ＣＰＵ８４が、制御装置６５からの指令に従って、ＲＯＭ４５などに記憶されたプログラムに基づいて実施する。この場合のＣＰＵ８４が、相対方向調整手段に相当するとともに、描画走査方向変更手段に相当する。ステップＳ２６の工程における描画走査方向を平行な矢印ｃの方向に調整する工程が、走査相対方向調整工程に相当する。
【０１１５】
図１０を参照して説明したように、図１０（ｃ）に示したチップ描画用体６３におけるＸ軸方向を、チップ描画用体６３に描画されるマーキング画像７６の画像方向とする。チップ描画用体６３が図１３又は図１１（ａ）に示したような方向でワーク載置台３０に固定された状態で、チップ描画用体６３に描画されるマーキング画像７６の画像方向は、Ｘ軸方向である。
【０１１６】
マーキング画像７６における空白部７４ｃは、チップ描画用体６３が図１３又は図１１（ａ）に示したような方向でワーク載置台３０に固定された状態で、Ｘ軸方向の幅が幅Ｗ２であり、Ｙ軸方向の幅が幅Ｈ２である。θ２は、ｔａｎθ２＝Ｈ２／Ｗ２となる角度である。
描画走査に際して、画像方向をθ２度振って、画像方向と描画走査方向との相対方向をθ２度にすると、図１０（ｄ）を参照して説明したように、空白部７４ｃの両側に位置する部分が、共通の直線Ｌ２に略接している。このとき、直線Ｌ２は、Ｘ軸走査機構３６による相対移動のみによって実施する描画走査における描画走査方向であるＸ軸方向に平行な直線である。
【０１１７】
チップ描画用体６３が図１３に示したような方向でワーク載置台３０に固定された状態では、マーキング画像７６の画像方向はＸ軸方向であり、直線Ｌ２は、Ｘ軸方向に対してθ２度傾いている。直線Ｌ４は、Ｘ軸方向に対してθ２度傾いており、直線Ｌ２と平行である。チップ描画用体６３とヘッドユニット２１との相対移動方向である描画走査方向は、矢印ｃの方向であって、マーキング画像７６の画像方向であるＸ軸方向に対してθ２度傾いている。チップ描画用体６３とヘッドユニット２１との相対移動方向である描画走査方向と、マーキング画像７６の画像方向との角度であるθ２が、描画走査相対方向に相当する。
【０１１８】
チップ描画用体６３とヘッドユニット２１との相対移動に同期させて、ヘッドユニット２１が備える吐出ノズル２４から、画像情報によって規定された位置に向けて液滴を吐出することで描画走査を実施する。ワーク載置台３０に固定されたチップ描画用体６３における、当該描画走査においてヘッドユニット２１が対向した部分に、当該部分に対応するマーキング画像７６の部分が描画される。描画される部分のＹ軸方向の幅は、例えば、ユニットノズル列２４０Ａ（図４参照）の長さに略等しい幅である。
【０１１９】
１回の描画走査が終了した状態におけるヘッドユニット２１は、チップ描画用体６３に対する相対位置が、図１３に示したヘッドユニット２６１の位置になる。
描画走査におけるヘッドユニット２１とワーク載置台３０とのＸ軸方向の相対移動はワーク載置台３０がＸ軸方向に走査して実施されているため、ヘッドユニット２６１のＸ軸方向の位置は、ヘッドユニット２６０のＸ軸方向の位置と同じである。描画走査におけるヘッドユニット２１とワーク載置台３０とのＹ軸方向の相対移動はヘッドユニット２１がＹ軸方向に走査して実施されているため、ヘッドユニット２６１のＹ軸方向の位置は、描画走査における移動量だけずれている。
【０１２０】
ヘッドユニット２６１の位置に位置するヘッドユニット２１を、Ｙ軸走査機構２６によってＹ軸方向に移動させて改行を実施する。改行量は、１回の描画走査によって描画できるＹ軸方向の幅であって、例えば、ユニットノズル列２４０Ａの長さに略等しい幅である。改行が終了した状態におけるヘッドユニット２１は、チップ描画用体６３に対する相対位置が、図１３に示したヘッドユニット２７１の位置になる。
【０１２１】
チップ描画用体６３との相対位置がヘッドユニット２７１の位置であるヘッドユニット２１に対して、Ｘ軸走査機構３６によって、ワーク載置台３０を図１３に示した矢印ａ２の方向（Ｘ軸方向）に走査させる。並行して、Ｙ軸走査機構２６によって、ヘッドユニット２１を図１３に示した矢印ｂ２の方向（Ｙ軸方向）に走査させる。ワーク載置台３０の移動速度と、ヘッドユニット２１の移動速度とを調和させることによって、ワーク載置台３０に固定されたチップ描画用体６３とヘッドユニット２１とを、直線Ｌ４に平行な矢印ｃの方向に、相対移動させる。
当該描画走査において、直前の描画走査において描画されたマーキング画像７６の部分に連続する部分が描画される。当該描画走査が終了した状態におけるヘッドユニット２１は、チップ描画用体６３に対する相対位置が、図１３に示したヘッドユニット２７０の位置になる。
以降、上述した改行及び描画走査と同様の改行と描画走査とを繰り返して、マーキング画像７６の描画を実施する。
【０１２２】
図１２のステップＳ２６の次に、ステップＳ２７を実施する。図１２のステップＳ２７及びステップＳ２８は、図８に示したステップＳ９又はステップＳ１０と同様のステップである。マーキング画像７６の描画が未終了のチップ描画用体６３が存在しなかった場合（ステップＳ２８でＮＯ）には、半導体チップにマーキング画像を描画する描画工程を終了する。
【０１２３】
上述したように、ノズル列２４Ａにおける吐出ノズル２４の配列方向は、Ｙ軸方向である。このため、描画走査方向がＹ軸方向に近くなると、１回の描画走査で描画できる描画走査方向に直交する方向の幅が小さくなる。描画走査方向がＹ軸方向の場合、１回の描画走査で描画できる幅は、１列のノズル列２４Ａあたり、着弾点区画７３の幅１個分である。描画走査方向がＹ軸方向に近くなる場合には、ステップＳ２４においてチップ描画用体６３を給材する際のチップ描画用体６３の方向を、ノズル列２４Ａの延在方向と描画走査方向との相対方向が大きくなる（９０度に近くなる）方向にすることが好ましい。
【０１２４】
以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）液滴吐出装置１が備える載置台３１は、回動機構３２を介して、載置台ベース３３に回動自在に取付けられている。回動機構３２は、載置台ベース３３に対して、載置台３１を、回動軸３２ａ回りに回動可能であり、精度良く任意の位置に保持することが可能である。これにより、載置台３１に固定されたチップ描画用体６３などの被描画媒体の方向を、ワーク載置台３０の移動方向であるＸ軸方向に対して、任意の方向に向けることができる。
【０１２５】
（２）図１２及び図１３を参照して説明した描画工程の２では、Ｘ軸走査機構３６によって、ワーク載置台３０を走査させ、並行して、Ｙ軸走査機構２６によって、ヘッドユニット２１を走査させる。ワーク載置台３０の移動速度と、ヘッドユニット２１の移動速度とを調和させることによって、ワーク載置台３０に固定されたチップ描画用体６３とヘッドユニット２１とを、任意の方向に相対移動させることができる。これにより、チップ描画用体６３とヘッドユニット２１との相対移動方向を、ワーク載置台３０に固定されたチップ描画用体６３に対して、任意の方向にすることができる。すなわち、描画走査における吐出ヘッドと被描画媒体との相対移動方向である描画走査方向を変えることで、描画走査方向と被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を、調整することができる。
【０１２６】
（３）チップ描画用体６３に描画するマーキング画像７６の空白部７４ｃは、Ｘ軸方向の幅が幅Ｗ２であり、Ｙ軸方向の幅が幅Ｈ２である。θ２は、ｔａｎθ２＝Ｈ２／Ｗ２となる角度である。描画走査に際して、画像方向と描画走査方向との相対方向をθ２度にすることで、空白部７４ｃの両側に位置する部分が、共通の直線Ｌ２に略接している。直線Ｌ２は、描画走査方向であるＸ軸方向に平行な直線である。これにより、マーキング画像７６を描画する描画走査に際して、マーキング画像７６を描画する範囲における空白部７４ｃの部分にのみ臨む位置に位置することに起因して、吐出を実施しない吐出ノズル２４をなくすることができる。
【０１２７】
（４）図８乃至図１１を参照して説明した描画工程では、ステップＳ４で、チップ描画用体６３を、液滴吐出装置１に給材し、ステップＳ５で、チップ描画用体６３のアライメントを実施し、ステップＳ６で、チップ描画用体６３の方向調整を実施し、ステップＳ７で、チップ描画用体６３に対するマーキング画像７６の描画を実施する。
ステップＳ６で、チップ描画用体６３の方向調整を実施するため、ステップＳ５のアライメントでは、適切な描画走査相対方向が変わっても、一定の方向にチップ描画用体６３の方向を調整することでアライメントを実施することができる。ステップＳ４の給材では、適切な描画走査相対方向が変わっても、一定の方向でチップ描画用体６３を供給することで給材することができる。
ステップＳ５のアライメントで、一定の方向にチップ描画用体６３の方向が調整されており、ステップＳ６の方向調整では、調整開始時のチップ描画用体６３の方向が一定となるため、調整開始時のチップ描画用体６３の方向が変化することに起因して調整工程が複雑になることを抑制することができる。
【０１２８】
（５）ステップＳ７で、チップ描画用体６３に対する描画を実施し、ステップＳ８で、チップ描画用体６３の方向を戻す工程を実施した後、ステップＳ９で、描画済のチップ描画用体６３を、液滴吐出装置１から除材する。
チップ描画用体６３の方向を戻す工程を実施することで、適切な描画走査相対方向が変わっても、除材を実施する際のチップ描画用体６３の方向は、略一定となるため、除材対象のチップ描画用体６３の方向が変化することに起因して除材工程が複雑になることを抑制することができる。
【０１２９】
（６）チップ描画用体６３に描画されるマーキング画像７６の画像方向と描画走査方向との描画走査相対方向を変えて、マーキング画像７６における空白部７４ｃと描画走査方向との相対方向を変えている。描画走査に際して、マーキング画像７６を描画する範囲における空白部７４ｃの部分にのみ臨む位置に位置することに起因して、吐出を実施しない吐出ノズル２４の数は、空白部７４ｃと描画走査方向との相対方向によって異なる。描画走査に際して、描画走査相対方向を変えることで、吐出を実施しない吐出ノズル２４の数を抑制する方向に調整することができる。
【０１３０】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１３１】
（変形例１）前記実施形態においては、画像方向と描画走査方向との相対方向を、描画走査に際して空白部７４ｃなどの最大非配置領域の部分にのみ臨む位置に位置することに起因して吐出を実施しない吐出ノズル２４をなくする方向に設定していた。しかし、描画走査相対方向は、他の方法を用いて規定することもできる。
描画工程は、描画する画像をビットマップに展開し、当該ビットマップにしたがって描画する工程であってもよい。ビットマップは、画像を、機能液の液滴を着弾させる位置情報、及び当該機能液を吐出させる吐出ノズルの情報で規定したマップである。画像をビットマップに展開することで、描画走査において液状体の吐出を実施する吐出ノズルの割合である稼働ノズル率を求めることができる。描画走査相対方向を変えて画像をビットマップに展開し、それぞれのビットマップから稼働ノズル率を求めることで、稼働ノズル率が最大となる描画走査相対方向を求めることができる。描画走査相対方向を、稼働ノズル率が最大となる方向に調整することで、描画走査工程において吐出を実施する吐出ノズルの割合が最大となり、吐出を実施しない吐出ノズルの割合を最小にすることができる。描画走査相対方向を、稼働ノズル率が最大となる方向に調整する工程が、走査相対方向調整工程に相当する。
画像をビットマップに展開する工程、稼働ノズル率を求める工程、及び稼働ノズル率が最大となる描画走査相対方向を求める工程は、ＣＰＵ８４が、制御装置６５からの指令に従って、ＲＯＭ４５などに記憶されたプログラムに基づいて実施する。この場合のＣＰＵ８４が、相対方向規定手段に相当する。相対方向調整手段としては、図８を参照して説明した描画工程のように回動機構３２を用いてもよいし、図１２を参照して説明した描画工程のように、ワーク載置台３０の移動速度とヘッドユニット２１の移動速度とを制御するＣＰＵ８４であってもよい。
【０１３２】
（変形例２）前記実施形態においては、マーキング画像を描画する被描画媒体は、半導体チップ６１を保持板６２上に整列させて仮固定したチップ描画用体６３であったが、画像を描画する対象は、半導体チップに限らない。画像を描画する対象は、液滴吐出装置を用いて画像を描画することができるものであれば、どのようなものであってもよい。
被描画媒体が描画する対象の集合体であることも必須ではない。個別の半導体チップ６１のような個別の描画対象のそれぞれに描画してもよい。
描画する画像がマーキング画像であることも必須ではない。描画する画像は、どのような画像であってもよい。
【０１３３】
（変形例３）前記実施形態においては、マーキング画像７１を構成する文字画像７２は、５区画×６区画の３０個の着弾点区画７３で形成されていた。しかし、文字画像７２のような形状を描画するための画素ドットの数は、もっと多いことが好ましい。例えば文字を構成する画素ドットの数を多くすることで、描画する文字の形状の自由度を高くすることができ、滑らかな形状の文字などを描画することができる。文字を構成する画素ドットの数が多くなることで、文字に対する画素ドットの大きさが、相対的に小さくなる。
【０１３４】
（変形例４）前記実施形態においては、図１２及び図１３を参照して説明した描画工程の２においても回動機構３２を備える液滴吐出装置１を使用していた。描画工程の２は、描画を実施する際に、Ｘ軸走査機構３６によって、ワーク載置台３０を走査させ、並行して、Ｙ軸走査機構２６によって、ヘッドユニット２１を走査させる。したがって、描画工程の２のような描画工程においては、描画走査方向を変えることで、描画走査方向と被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を、調整することができる。描画走査相対方向を調整するために描画走査方向を変える場合、描画を実施する描画装置は、回動機構３２のような媒体方向変更手段を備えない装置であってもよい。
【０１３５】
（変形例５）前記実施形態においては、マーキング画像７６は１種類の機能液で描画されていたが、画像を形成するために用いる液状体の種類が１種類であることは必須ではない。複数種類の液状体を用いて画像を形成してもよい。複数種類の液状体を用いる場合、同じ種類の液状体を吐出する吐出ノズルごとに、描画走査において吐出を実施しない吐出ノズルの数を抑制する描画走査相対方向を設定してもよい。あるいは、機能液が１種類である場合と同様に、使用される吐出ノズル全体において、描画走査に際して吐出を実施しない吐出ノズルの数を抑制する描画走査相対方向を設定してもよい。
【０１３６】
（変形例６）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット２１を備えており、ヘッドユニット２１が備える液滴吐出ヘッド２０が吐出する機能液は単一の機能液であった。しかし、ヘッドユニットが備える吐出ヘッドが吐出する液状体が同一であることは必須ではない。描画装置においては、色が異なるなど、複数種類の異なる液状体を吐出してもよい。色が異なる複数種類の液状体を吐出することでカラー描画も可能である。液状体の種類は、描画装置が複数のヘッドユニットを備えて、ヘッドユニットごとに異ならせてもよいし、ヘッド組ごとに異ならせてもよいし、液滴吐出ヘッドごとに異ならせてもよいし、ノズル列ごとに異ならせてもよい。吐出ノズルごとに液状体を個別に供給できる液滴吐出ヘッドを用いて、吐出ノズルごとに異なる液状体を吐出してもよい。なお、カラー描画を実施する際には、同じ着弾位置に、複数の、例えば色が異なる液状体を着弾させることができる構成のヘッドユニット又は液滴吐出ヘッドを用いたり、走査方法を用いたりすることで、より微細な描画が可能となる。
【０１３７】
（変形例７）前記実施形態においては、ノズル列２４Ａの延在方向における着弾点９１の着弾ピッチは、液滴吐出ヘッド２０における吐出ノズル２４の配設ピッチであった。しかし、ノズル列の延在方向における着弾ピッチが液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの配設ピッチであることは必須ではない。ノズル列の延在方向における相対移動における移動量の最小値を吐出ノズルの配設ピッチより小さくすることで、ノズル列の延在方向における着弾ピッチを、吐出ノズルの配設ピッチより小さくすることができる。
【０１３８】
（変形例８）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット２１を１個備えていた。しかし、描画装置が備えるヘッドユニットが１個であることは必須ではない。描画装置が備えるヘッドユニットは、いくつであってもよい。
【０１３９】
（変形例９）前記実施形態においては、ヘッドユニット２１は、液滴吐出ヘッド２０を９個備えていたが、ヘッドユニットが備える吐出ヘッドが９個であることは必須ではない。ヘッドユニットが備える吐出ヘッドは、いくつであってもよい。
【０１４０】
（変形例１０）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド２０は、多数の吐出ノズル２４が略一直線状に並んだノズル列２４Ａを２列備えていたが、吐出ヘッドが備えるノズル列は何列であってもよい。また、液滴吐出ヘッド２０が備える吐出ノズル２４は、ノズル列２４Ａの延在方向において互いの位置がずれていたが、吐出ヘッドは、ノズル列の延在方向において、略同一位置に位置する吐出ノズルを複数備える構成であってもよい。
【０１４１】
（変形例１１）前記実施形態においては、Ｘ軸走査機構によってワーク載置台３０をＸ軸方向に移動させることでワークＷをＸ軸方向に移動し、Ｙ軸走査機構によって液滴吐出ヘッド２０をＹ軸方向に移動することで、ワークＷと液滴吐出ヘッド２０とを平面方向において相対移動させていた。描画対象物と吐出ヘッドとを相対移動させるために描画対象物と吐出ヘッドの両方を移動させることは必須ではない。描画対象物と吐出ヘッドのいずれか一方を平面方向に移動させることで、描画対象物と吐出ヘッドとを相対移動させる構成であってもよい。
【０１４２】
（変形例１２）前記実施形態においては、ノズル列２４Ａにおけるノズルピッチは１４０μｍであり、２本のノズル列２４Ａを備える液滴吐出ヘッド２０におけるノズル列方向の吐出ピッチは約７０μｍであった。しかし、液滴吐出ヘッドにおけるノズルの配置は、液滴吐出ヘッド２０における配置に限らない。ノズル列におけるノズルピッチは１４０μｍとは異なるノズルピッチであってもよい。
【符号の説明】
【０１４３】
１…液滴吐出装置、２…ヘッド機構部、３…ワーク機構部、６…吐出装置制御部、２０…液滴吐出ヘッド、２１…ヘッドユニット、２２…移動枠、２３…ユニットプレート、２４…吐出ノズル、２４Ａ…ノズル列、２６…Ｙ軸走査機構、３０…ワーク載置台、３１…載置台、３２…回動機構、３２ａ…回動軸、３６…Ｘ軸走査機構、４５…ＲＯＭ、４６…ＲＡＭ、５９…圧電素子、６１…半導体チップ、６２…保持板、６３…チップ描画用体、７１…マーキング画像、７２，７２ａ，７２ｂ，７２ｃ，７２ｄ…文字画像、７３…着弾点区画、７３ａ…実着弾区画、７３ｂ…非着弾区画、７４，７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄ…空白部、７６…マーキング画像、７６ａ…マーキング画像、８４…ＣＰＵ、９１…着弾点、９１Ａ…着弾円、２１０，２１１，２２０，２２１，２６０，２６１，２７０，２７１…ヘッドユニット、２４０Ａ…ユニットノズル列。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを用いて描画する描画方法、及び液滴吐出ヘッドを備える描画装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液滴吐出ヘッドを備え、当該液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから液状体を液滴として吐出し、任意の位置に着弾させることによって、所定の量の液状体を所定の位置に精度よく配置する液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置を用いて、様々な液状体を扱い、様々な画像や膜などが形成されている。微少な液状体を精密に吐出できる液滴吐出ヘッドにおいては、吐出ノズルまわりの僅かな外乱によっても吐出の不具合が発生する可能性がある。不具合の発生を抑制するために、クリーニングや予備吐出などの保守工程が実施されている。
【０００３】
特許文献１には、機能液滴吐出ヘッドに損傷を生ずることなく、吐出不良を解消することができる吸引キャップおよびこれを備えた吸引ユニット、並びにヘッド洗浄装置、液滴吐出装置、機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法および機能液滴吐出ヘッドのメンテナンス方法が、開示されている。特許文献１に開示された吸引キャップは、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドのノズル面に離接自在に密接し、ノズル面に形成した吐出ノズルに対し吸引処理を行うための吸引キャップであって、真空吸引機構に連なるキャップ本体と、キャップ本体に装着され、ノズル面に対し、ノズル面に形成した全吐出ノズルのうちの一部となる複数の吐出ノズルについてのみ吸引可能に密接する密接シールと、を備えたことを特徴としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２１４４１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、吐出ノズルは稼働していない状態が続くと、吐出に不具合が生じ易いが、吐出ヘッドが稼動していても、当該吐出ヘッドが備える全ての吐出ノズルが、必ずしも稼動していない。吐出ヘッドの稼動時間内に稼動する機会の少ない吐出ノズルは、停止状態にあり、停止状態が続くことで、液状体の増粘による吐出不良のような不具合が発生する可能性が高くなるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる描画方法は、液状体を吐出する複数の吐出ノズルを備える吐出ヘッドと被描画媒体とを、前記被描画媒体の被描画面に略平行な方向に相対移動させると共に前記複数の吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出させる描画走査工程を含む描画工程を実施することによって、前記被描画面に前記液状体を用いて画像を描画する描画方法であって、前記描画走査工程における前記吐出ヘッドと前記被描画媒体との相対移動方向である描画走査方向と、前記被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を調整する走査相対方向調整工程を有することを特徴とする。
【０００８】
本適用例にかかる描画方法によれば、描画走査方向と、被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を調整する走査相対方向調整工程を有する。
一般的に、液滴を吐出して描画される画像は、吐出ノズルと被描画媒体とを直線状に相対移動させ、所定の相対位置において吐出ノズルから液状体の液滴を吐出させて、被描画媒体上の所定の位置に着弾させることで描画される。被描画媒体に描画される画像は、画像の形状とともに、被描画媒体における描画される位置と被描画媒体の方向に対する画像の方向とが規定される。したがって、被描画媒体の方向と、当該被描画媒体に対する描画走査工程における被描画媒体と吐出ノズル（吐出ヘッド）との相対移動の方向である描画走査方向と、の相対方向である描画走査相対方向に依存して、描画走査工程における吐出ノズルの稼動状態が変わる。
【０００９】
走査相対方向調整工程において、描画走査相対方向を調整することで、描画走査工程における吐出ノズルの稼動状態を変えることができる。例えば、描画走査工程において吐出を実施しない吐出ノズルが存在した場合には、描画走査相対方向を調整することで、吐出を実施しない吐出ノズルの数を減少させることができる。
【００１０】
描画走査工程において吐出を実施しない吐出ノズルは、描画走査工程を実施する間は、実質的に休止している状態になる。この間は、当該吐出ノズルに対する保守が行われることはない。当該吐出ノズルは、略休止した状態で、保守措置を施されることなく描画環境中に放置された状態であり、当該状態で放置されることに起因する不具合が発生する可能性が高くなる。描画走査相対方向を調整することで、吐出を実施しない吐出ノズルの数を減少させることによって、描画走査工程において稼動しないことに起因して不具合が発生する可能性が高くなる吐出ノズルの数を減少させることができる。
【００１１】
［適用例２］上記適用例にかかる描画方法は、前記走査相対方向調整工程では、前記描画走査相対方向を、当該被描画媒体に対する前記描画走査工程において、前記複数の吐出ノズルにおける、当該描画走査工程において吐出を実施する吐出ノズルの割合である稼働ノズル率が最大となる方向に調整することが好ましい。
【００１２】
この描画方法によれば、走査相対方向調整工程において、描画走査相対方向を、稼働ノズル率が最大となる方向に調整する。
走査相対方向調整工程において、描画走査相対方向を、稼働ノズル率が最大となる方向に調整することで、描画走査工程において吐出を実施する吐出ノズルの割合が最大となり、吐出を実施しない吐出ノズルの割合が最小となる。描画走査工程において吐出を実施しない吐出ノズルは、略休止した状態で、保守措置を施されることなく描画環境中に放置された状態であり、当該状態で放置されることに起因する不具合が発生する可能性が高くなる。描画走査相対方向を、稼働ノズル率が最大となる方向に調整することで、描画走査工程において稼動しないことに起因して不具合が発生する可能性が高くなる吐出ノズルの数を抑制することができる。
【００１３】
［適用例３］上記適用例にかかる描画方法は、前記走査相対方向調整工程では、前記描画走査相対方向を、前記描画走査方向が第一の描画走査方向である第一の描画走査工程において、前記液状体が配置されない非配置領域の前記第一の描画走査方向に直交する方向における幅が最大である最大非配置領域を挟んで位置し、前記液状体が配置される第一の被配置領域と第二の被配置領域とが、前記描画走査方向に平行に延在する同一の直線に接する方向に調整することが好ましい。
【００１４】
この描画方法によれば、走査相対方向調整工程において、描画走査方向と被描画媒体の方向との相対方向である描画走査相対方向を、描画走査方向が第一の描画走査方向である第一の描画走査工程において、液状体が配置されない非配置領域の第一の描画走査方向に直交する方向における幅が最大である最大非配置領域を挟んで位置し、液状体が配置される第一の被配置領域と第二の被配置領域とが、描画走査方向に平行に延在する同一の直線に接する方向に調整する。
【００１５】
これにより、調整された描画走査相対方向である描画走査方向の描画走査工程において、第一の被配置領域に向けて液状体を吐出する吐出ノズルと、第二の被配置領域に向けて液状体を吐出する吐出ノズルと、の間に、当該描画走査工程の間に液状体を吐出しない吐出ノズルが存在しなくなる。
液状体を吐出する吐出ノズルの間に当該描画走査工程の間に液状体を吐出しない吐出ノズルが存在しなくなることで、描画走査工程の間に液状体を吐出しない吐出ノズルの数を抑制することができる。すなわち、描画走査工程の間に液状体を吐出しないことで、略休止した状態で放置されることに起因する不具合が発生する可能性が高くなる吐出ノズルが生ずることを抑制することができる。
【００１６】
［適用例４］上記適用例にかかる描画方法は、前記走査相対方向調整工程では、前記描画走査方向に対して、前記被描画媒体の方向を変えることで、前記描画走査相対方向を調整することが好ましい。
【００１７】
この描画方法によれば、走査相対方向調整工程において、被描画媒体の方向を変える。描画走査方向に対して被描画媒体の方向が変わるため、描画走査方向と、被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を変えて、描画走査相対方向を、適切な方向に調整することができる。
【００１８】
［適用例５］上記適用例にかかる描画方法は、前記走査相対方向調整工程では、前記被描画媒体の方向に対して、前記描画走査方向を変えることで、前記描画走査相対方向を調整することが好ましい。
【００１９】
この描画方法によれば、走査相対方向調整工程において、描画走査方向を変える。被描画媒体の方向に対して描画走査方向が変わるため、被描画媒体の方向と、描画走査方向と、の相対方向である描画走査相対方向を変えて、描画走査相対方向を、適切な方向に調整することができる。
【００２０】
［適用例６］上記適用例にかかる描画方法は、前記走査相対方向調整工程を、前記描画工程を実施する描画装置に前記被描画媒体を供給する給材工程と、前記描画工程との間に実施することが好ましい。
【００２１】
この描画方法によれば、給材工程において供給された被描画媒体に対して、走査相対方向調整工程を実施した後に、描画工程を実施する。被描画媒体の方向は、走査相対方向調整工程において、描画走査相対方向が描画工程（描画走査工程）における適切な描画走査相対方向となる方向に調整される。これにより、給材工程においては、描画工程（描画走査工程）における適切な描画走査相対方向に関わりなく、被描画媒体を供給することができる。描画工程（描画走査工程）における適切な描画走査相対方向が変化しても、給材工程においては、被描画媒体の方向を対応させることを不要にすることができる。
【００２２】
［適用例７］上記適用例にかかる描画方法は、前記描画工程と、前記描画装置から前記被描画媒体を除去する除材工程との間に、前記被描画媒体の方向を前記給材工程において給材された方向と略同じ方向に向ける方向戻し工程をさらに有することが好ましい。
【００２３】
この描画方法によれば、描画工程において描画された被描画媒体に対して、方向戻し工程を実施した後に、除材工程を実施する。被描画媒体の方向は、方向戻し工程において、給材工程において給材された方向と略同じ方向に戻される。これにより、除材工程においては、描画工程（描画走査工程）における適切な描画走査相対方向に関わりなく、略同一方向を向いている状態の被描画媒体を除材対象とすることができる。描画工程（描画走査工程）における適切な描画走査相対方向が変化しても、除材工程においては、略同様の動作で、被描画媒体を除材することができる。
【００２４】
［適用例８］本適用例にかかる描画装置は、液状体を吐出する複数の吐出ノズルを備える吐出ヘッドと、被描画媒体を支持する支持装置と、前記吐出ヘッドと、前記支持装置とを、前記支持装置に支持された前記被描画媒体の被描画面に略平行な方向に相対移動させる相対移動手段と、前記相対移動手段による前記相対移動の相対移動方向と、前記被描画媒体の方向と、の相対方向を規定する相対方向規定手段と、前記相対方向を、前記相対方向規定手段によって規定された方向に調整する相対方向調整手段と、を備えることを特徴とする。
【００２５】
本適用例にかかる描画装置によれば、描画装置は、相対移動方向と、被描画媒体の方向と、の相対方向を規定する相対方向規定手段と、相対方向を、相対方向規定手段によって規定された方向に調整する相対方向調整手段と、を備える。
【００２６】
一般的に、液滴を吐出して描画される画像は、吐出ノズルと被描画媒体とを直線状に相対移動させ、所定の相対位置において吐出ノズルから液状体の液滴を吐出させて、被描画媒体上の所定の位置に着弾させる描画走査を実施することで描画される。被描画媒体に描画される画像は、画像の形状とともに、被描画媒体における描画される位置と被描画媒体の方向に対する画像の方向とが規定される。したがって、被描画媒体の方向と、当該被描画媒体に対する描画走査における被描画媒体と吐出ノズル（吐出ヘッド）との相対移動の方向である描画走査方向と、の相対方向である描画走査相対方向に依存して、描画走査における吐出ノズルの稼動状態が変わる。
【００２７】
相対方向調整手段によって、描画走査相対方向を調整することで、描画走査における吐出ノズルの稼動状態を変えることができる。また、相対方向規定手段によって、描画走査相対方向を、吐出を実施しない吐出ノズルの数を減少させる方向に規定することができる。
相対方向規定手段によって、描画走査相対方向を、吐出を実施しない吐出ノズルの数を減少させる方向に規定し、相対方向調整手段によって、相対方向規定手段によって規定された方向に描画走査相対方向を調整することで、描画走査において吐出を実施しない吐出ノズルの数を減少させることができる。
【００２８】
描画走査において吐出を実施しない吐出ノズルは、描画走査を実施する間は、実質的に休止している状態になる。この間は、当該吐出ノズルに対する保守が行われることはない。当該吐出ノズルは、略休止した状態で、保守措置を施されることなく描画環境中に放置された状態であり、当該状態で放置されることに起因する不具合が発生する可能性が高くなる。描画走査相対方向を調整することで、吐出を実施しない吐出ノズルの数を減少させることによって、描画走査において稼動しないことに起因して不具合が発生する可能性が高くなる吐出ノズルの数を抑制することができる。
【００２９】
［適用例９］上記適用例にかかる描画装置は、前記相対方向調整手段が、前記吐出ヘッドと前記被描画媒体とを、前記被描画媒体の被描画面に略平行な方向に相対移動させると共に前記複数の吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出させる描画走査における前記吐出ヘッドと前記被描画媒体との相対移動方向である描画走査方向と、前記被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を、前記複数の吐出ノズルにおける、前記描画走査において吐出を実施する吐出ノズルの割合である稼働ノズル率が最大となる相対方向に規定することが好ましい。
【００３０】
この描画装置によれば、相対方向規定手段は、描画走査方向と被描画媒体の方向との相対方向である描画走査相対方向を、当該被描画媒体に対する描画走査において、稼働ノズル率が最大となる方向に規定する。相対方向調整手段は、描画走査相対方向を、相対方向規定手段によって規定された方向に調整する。
【００３１】
相対方向規定手段によって、描画走査相対方向を、稼働ノズル率が最大となる方向に規定し、相対方向調整手段が、描画走査相対方向を、相対方向規定手段によって規定された方向に調整することで、描画走査において吐出を実施する吐出ノズルの割合が最大となり、吐出を実施しない吐出ノズルの割合が最小となる。
【００３２】
描画走査において吐出を実施しない吐出ノズルは、略休止した状態で、保守措置を施されることなく描画環境中に放置された状態であり、当該状態で放置されることに起因する不具合が発生する可能性が高くなる。描画走査相対方向を、稼働ノズル率が最大となる方向に規定し、規定された方向に調整することで、描画走査において稼動しないことに起因して不具合が発生する可能性が高くなる吐出ノズルの数を抑制することができる。
【００３３】
［適用例１０］上記適用例にかかる描画装置は、前記相対方向規定手段が、前記吐出ヘッドと前記被描画媒体とを、前記被描画媒体の被描画面に略平行な方向に相対移動させると共に前記複数の吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出させる描画走査における前記吐出ヘッドと前記被描画媒体との相対移動方向である描画走査方向と、前記被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を、前記描画走査方向が第一の描画走査方向である第一の描画走査において、前記液状体が配置されない非配置領域の前記第一の描画走査方向に直交する方向における幅が最大である最大非配置領域を挟んで位置し、前記液状体が配置される第一の被配置領域と第二の被配置領域とが、前記描画走査方向に平行に延在する同一の直線に接する方向に規定することが好ましい。
【００３４】
この描画装置によれば、相対方向規定手段は、描画走査方向と被描画媒体の方向との相対方向である描画走査相対方向を、描画走査方向が第一の描画走査方向である第一の描画走査において、液状体が配置されない非配置領域の第一の描画走査方向に直交する方向における幅が最大である最大非配置領域を挟んで位置し、液状体が配置される第一の被配置領域と第二の被配置領域とが、描画走査方向に平行に延在する同一の直線に接する方向に規定する。相対方向調整手段は、描画走査相対方向を、相対方向規定手段によって規定された方向に調整する。
描画走査において吐出を実施しない吐出ノズルは、描画走査を実施する間は、略休止した状態で、保守措置を施されることなく描画環境中に放置された状態であり、当該状態で放置されることに起因する不具合が発生する可能性が高くなる。
相対方向規定手段によって、描画走査相対方向は、最大非配置領域を挟んで位置する第一の被配置領域と第二の被配置領域とが、描画走査方向に延在する同一の直線に接する方向に規定され、相対方向調整手段によって、規定された方向に調整される。規定された描画走査相対方向である描画走査方向の描画走査において、第一の被配置領域に向けて液状体を吐出する吐出ノズルと、第二の被配置領域に向けて液状体を吐出する吐出ノズルと、の間に、当該描画走査の間に液状体を吐出しない吐出ノズルが存在しなくなる。これにより、描画走査の間に、略休止した状態で放置されることに起因する不具合が発生する可能性が高くなる吐出ノズルが生ずることを抑制することができる。
【００３５】
［適用例１１］上記適用例にかかる描画装置は、前記相対方向調整手段が、前記描画走査方向に対して、前記被描画媒体の方向を変えることで、前記描画走査相対方向を、前記相対方向規定手段によって規定された相対方向に調整する媒体方向変更手段であることが好ましい。
【００３６】
この描画装置によれば、相対方向調整手段は媒体方向変更手段であって、描画走査方向に対して、被描画媒体の方向を変える。描画走査方向に対して被描画媒体の方向が変わるため、描画走査方向と、被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を変えて、描画走査相対方向を、相対方向規定手段によって規定された相対方向に調整することができる。
【００３７】
［適用例１２］上記適用例にかかる描画装置は、前記相対方向調整手段が、前記相対移動手段による前記描画走査方向を変えることによって、前記描画走査相対方向を、前記相対方向規定手段によって規定された相対方向に調整する描画走査方向変更手段であることが好ましい。
【００３８】
この描画装置によれば、相対方向調整手段は描画走査方向変更手段であって、被描画媒体の方向に対して、描画走査方向を変える。被描画媒体の方向に対して描画走査方向が変わるため、被描画媒体の方向と、描画走査方向と、の相対方向である描画走査相対方向を変えて、描画走査相対方向を、相対方向規定手段によって規定された相対方向に調整することができる。
【００３９】
［適用例１３］上記適用例にかかる描画装置は、前記媒体方向変更手段が、前記支持装置上に供給されて支持され、所定の方向に方向調整された前記被描画媒体の方向を変えることによって、前記描画走査相対方向を、前記相対方向規定手段によって規定された方向に調整することが好ましい。
【００４０】
この描画装置によれば、支持装置上に供給された被描画媒体に対して、媒体方向変更手段である相対方向調整手段によって、描画走査相対方向を、相対方向規定手段によって規定された方向に調整した後に、描画を実施する。被描画媒体の方向は、媒体方向変更手段によって、描画走査相対方向が描画（描画走査）を実施する際の適切な描画走査相対方向となる方向に調整される。これにより、支持装置上に被描画媒体を供給する際には、描画（描画走査）を実施する際の適切な描画走査相対方向となる被描画媒体の方向に関わりなく、被描画媒体を供給することができる。描画（描画走査）を実施する際の適切な描画走査相対方向が変化しても、支持装置上に被描画媒体を供給する際に、被描画媒体の方向を対応させることを不要にすることができる。
【００４１】
［適用例１４］上記適用例にかかる描画装置は、前記媒体方向変更手段が、描画を実施済の前記被描画媒体の方向を、前記描画装置から前記被描画媒体を除去する前に、前記被描画媒体が前記支持装置上に供給された方向と略同じ方向に向けることが好ましい。
【００４２】
この描画装置によれば、描画された被描画媒体の方向を、描画装置から被描画媒体を除去する前に、媒体方向変更手段である相対方向調整手段によって、被描画媒体が支持装置上に供給された方向と略同じ方向に向ける。これにより、被描画媒体を除去する際には、描画（描画走査）を実施する際の適切な描画走査相対方向に関わりなく、略同一方向を向いている状態の被描画媒体を除材対象とすることができる。描画（描画走査）を実施する際の適切な描画走査相対方向が変化しても、被描画媒体を除去する際には、略同様の動作で、被描画媒体を除材することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図２】（ａ）は、ワーク機構部の平面図。（ｂ）は、ワーク機構部の側面図。
【図３】（ａ）は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図。
【図４】ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。
【図５】液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。
【図６】液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図。
【図７】（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図。（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｃ）は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図。
【図８】描画工程を示すフローチャート。
【図９】（ａ）は、マーキング画像と描画走査方向とを示す説明図。（ｂ）は、マーキング画像と、方向を調整した描画走査方向とを示す説明図。
【図１０】（ｃ）は、チップ描画用体におけるマーキング画像と描画走査方向とを示す説明図。（ｄ）は、チップ描画用体におけるマーキング画像と、方向を調整した描画走査方向とを示す説明図。
【図１１】（ａ）は、ワーク載置台上に給材されたチップ描画用体を示す説明図。（ｂ）は、描画走査時におけるチップ描画用体と描画走査方向とを示す説明図。
【図１２】描画工程を示すフローチャート。
【図１３】描画走査時におけるチップ描画用体と描画走査方向とを示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００４４】
以下、描画方法、及び描画装置について、図面を参照して説明する。本実施形態は、液滴吐出ヘッドを備え、当該液滴吐出ヘッドを用いて、被描画媒体上に画像を描画する液滴吐出装置を例に説明する。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと被描画媒体とを相対移動させると共に、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから機能液の液滴を吐出して、被描画媒体上の所定の位置に着弾させることによって、所定の画像を形成する装置である。
なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。液滴吐出装置が、描画装置に相当する。機能液が、液状体に相当する。
【００４５】
＜液滴吐出法＞
最初に、液状体を液滴として吐出する液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。
帯電制御方式は、液状体に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で液状体の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、液状体に３０ｋｇ／ｃｍ2程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に液状体を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には液状体が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると液状体間に静電的な反発が起こり、液状体が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって液状体を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から液状体を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。
【００４６】
また、電気熱変換方式は、液状体を貯留した空間内に設けたヒーターにより、液状体を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の液状体を吐出させるものである。静電吸引方式は、液状体を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに液状体のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから液状体を引き出すものである。この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。
【００４７】
液滴吐出法は、液状体の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の液状体を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状体に熱を加えないため、液状体の組成等に影響を与えないなどの利点を有する。本実施形態では、液状体選択の自由度の高さ、及び液滴の制御性の良さの点から上記ピエゾ方式を用いる。
【００４８】
＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出ヘッド２０（図３参照）を備える液滴吐出装置１の構成の全般について、図１を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００４９】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッド機構部２と、ワーク機構部３と、機能液供給部４と、保守装置部５とを備えている。ヘッド機構部２は、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド２０を有している。ワーク機構部３は、液滴吐出ヘッド２０から吐出された液滴を着弾させる対象であるワークＷを載置するワーク載置台３０を有している。機能液供給部４は、貯留タンクと、中継タンクと、給液チューブとを有し、当該給液チューブが、液滴吐出ヘッド２０に接続されており、給液チューブを介して機能液が液滴吐出ヘッド２０に供給される。保守装置部５は、液滴吐出ヘッド２０の検査又は保守を実施する各装置を備えている。液滴吐出装置１は、また、これら各機構部などを総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。液滴吐出ヘッド２０が、吐出ヘッドに相当する。ワークＷが、被描画媒体に相当する。
【００５０】
さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。定盤９の上側には、ワーク機構部３が定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在する状態で配設されている。ワーク機構部３の上方には、定盤９に立設された２本の支持柱で支持されているヘッド機構部２が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在する状態で配設されている。また、定盤９の傍らには、ヘッド機構部２の液滴吐出ヘッド２０に連通する給液チューブを有する機能液供給部４の貯留タンクなどが配置されている。ヘッド機構部２の一方の支持柱の近傍には、保守装置部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に配設されている。さらに、定盤９の下側に、吐出装置制御部６が収容されている。
【００５１】
ヘッド機構部２は、液滴吐出ヘッド２０を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を有するヘッドキャリッジと、ヘッドキャリッジが吊設された移動枠２２と、移動枠２２をＹ軸方向に移動させるＹ軸走査機構２６とを、備えている。
移動枠２２を、Ｙ軸走査機構２６によってＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド２０をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
ワーク機構部３は、ワーク載置台３０と、Ｘ軸走査機構３６とを備えている。ワーク機構部３は、ワーク載置台３０を、Ｘ軸走査機構３６によって、Ｘ軸方向に移動させることで、ワーク載置台３０に載置されたワークＷをＸ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
【００５２】
液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワークＷのＸ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。Ｘ軸方向に移動するワークＷと、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド２０とを相対的に制御することにより、ワークＷ上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する平面形状の描画を実施することが可能である。
【００５３】
保守装置部５は、各種検査装置、各種保守装置、及び保守装置走査機構を備えている。検査装置は、液滴吐出ヘッド２０の吐出状態の検査を実施する吐出検査ユニットなどの、液滴吐出ヘッド２０の検査を実施する装置である。保守装置は、液滴吐出ヘッド２０の各種の保守を実施する装置である。保守装置走査機構は、これらの各装置をＸ軸方向に移動可能であって、任意の位置に保持可能に支持する装置である。
液滴吐出ヘッド２０の検査や保守を実施する際には、ヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）が、Ｙ軸走査機構を用いて保守装置部５に臨む位置に移動させられる。また、実施する検査又は保守に対応する検査装置又は保守装置が、保守装置走査機構によって、ヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）に臨む位置に移動させられる。
【００５４】
＜ワーク機構部＞
次に、ワーク機構部３について、図２を参照して説明する。図２は、ワーク機構部の概略構成を示す説明図である。図２（ａ）は、ワーク機構部の平面図であり、図２（ｂ）は、ワーク機構部の側面図である。
【００５５】
図２に示すように、ワーク機構部３は、ワーク載置台３０と、Ｘ軸走査機構３６とを備えている。
ワーク載置台３０は、載置台３１と、回動機構３２と、載置台ベース３３と、スライダー枠３４とを備えている。載置台ベース３３に固定された一対のスライダー枠３４，３４が有するＸ軸スライダー（図示省略）を、Ｘ軸走査機構３６が備えるＸ軸リニアモーターによって駆動することによって、ワーク載置台３０をＸ軸方向に移動する。また、任意の位置に保持する。
載置台３１は、載置されたワークＷを吸引して固定する吸引機構（図示省略）を備えている。載置台３１にワークＷを給材する際は、液滴吐出装置１における略所定の方向で、ワークＷを載置台３１に載置する。続いてアライメントを実施することで、ワークＷを液滴吐出装置１における所定の位置に所定の方向で位置させる。所定の位置に所定の方向で位置したワークＷを吸引機構によって吸引して、載置台３１に所定の方向で固定する。
【００５６】
載置台３１は、回動機構３２を介して、載置台ベース３３に回動自在に取付けられている。回動機構３２は、載置台ベース３３に対して、載置台３１を、載置台３１のワークＷを載置する面に略垂直な回動軸３２ａ（図１及び図２に記載したＺ軸に略平行な軸）回りに回動可能であり、精度良く任意の位置に保持することが可能である。これにより、載置台３１に対して所定の方向で固定されたワークＷを、回動軸３２ａまわりに回動可能であり、精度良く任意の位置に保持することが可能である。ワーク載置台３０、又は載置台３１が、支持装置に相当する。
回動機構３２は、載置台３１を、回動軸３２ａまわりに１８０度以上回動可能である。これにより、載置台３１に固定されたワークＷの方向を、ワーク載置台３０の移動方向であるＸ軸方向に対して、任意の方向に向けることが可能である。
【００５７】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に、液滴吐出ヘッド２０について、図３を参照して説明する。図３は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す図である。図３（ａ）は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図であり、図３（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図であり、図３（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図である。図３に示したＹ軸、及びＺ軸は、液滴吐出ヘッド２０が液滴吐出装置１に装着された状態において、図１に示したＹ軸、及びＺ軸と一致している。
【００５８】
図３（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２５を備えている。ノズル基板２５には、多数の吐出ノズル２４が略一直線状に並んだノズル列２４Ａが２列形成されている。吐出ノズル２４から機能液を液滴として吐出し、対向する位置にある描画対象物などに着弾させることで、当該位置に機能液を配置する。ノズル列２４Ａは、液滴吐出ヘッド２０が液滴吐出装置１に装着された状態で、図１に示したＹ軸方向に延在している。ノズル列２４Ａにおいて吐出ノズル２４は等間隔のノズルピッチで並んでおり、２列のノズル列２４Ａ間で、吐出ノズル２４の位置がＹ軸方向に半ノズルピッチずれている。したがって、液滴吐出ヘッド２０としては、Ｙ軸方向に半ノズルピッチ間隔で機能液の液滴を配置することができる。ノズルピッチは、例えば１４０μｍであり、半ノズルピッチは、７０μｍである。
【００５９】
図３（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２５に圧力室プレート５１が積層されており、圧力室プレート５１に振動板５２が積層されている。
圧力室プレート５１には、液滴吐出ヘッド２０に供給される機能液が常に充填される液たまり５５が形成されている。液たまり５５は、振動板５２と、ノズル基板２５と、圧力室プレート５１の壁とに囲まれた空間である。機能液は、機能液供給部４から液滴吐出ヘッド２０に供給され、振動板５２の液供給孔５３を経由して液たまり５５に供給される。また、圧力室プレート５１には、複数のヘッド隔壁５７によって区切られた圧力室５８が形成されている。振動板５２と、ノズル基板２５と、２個のヘッド隔壁５７とによって囲まれた空間が圧力室５８である。
【００６０】
圧力室５８は吐出ノズル２４のそれぞれに対応して設けられており、圧力室５８の数と吐出ノズル２４の数とは同じである。圧力室５８には、２個のヘッド隔壁５７の間に位置する供給口５６を経由して、液たまり５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁５７と圧力室５８と吐出ノズル２４と供給口５６との組は、液たまり５５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル２４がノズル列２４Ａを形成している。図３（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル２４を含むノズル列２４Ａに対して液たまり５５に関して略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル２４がもう１列のノズル列２４Ａを形成している。当該ノズル列２４Ａに対応するヘッド隔壁５７と圧力室５８と供給口５６との組が、１列に並んでいる。
【００６１】
振動板５２の圧力室５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子５９の一端が固定されている。圧電素子５９の他端は、固定板（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド２０全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子５９は、電極層と圧電材料とを積層した活性部を有している。圧電素子５９は、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図３（ｂ）又は（ｃ）における振動板５２の厚さ方向）に縮む。電極層に印加されていた駆動電圧が解除されることで、活性部が元の長さに戻る。
【００６２】
電極層に駆動電圧が印加されて、圧電素子５９の活性部が縮むことで、圧電素子５９の一端が固定された振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加することから、機能液が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子５９が振動板５２を押圧する。振動板５２が押圧されることで、圧力室５８側に戻る。これにより、圧力室５８の容積が急激に元に戻る。すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室５８に連通して形成された吐出ノズル２４から機能液が液滴となって吐出される。
【００６３】
＜ヘッドユニット＞
次に、ヘッド機構部２が備えるヘッドユニット２１の概略構成について、図４を参照して説明する。図４は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図４に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
【００６４】
図４に示したように、ヘッドユニット２１は、ユニットプレート２３と、ユニットプレート２３に搭載された９個の液滴吐出ヘッド２０と、を有している。液滴吐出ヘッド２０は、図示省略したヘッド保持部材を介してユニットプレート２３に固定されている。固定された液滴吐出ヘッド２０は、ヘッド本体がユニットプレート２３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズル基板２５が、ユニットプレート２３の面より突出した位置に位置している。図４は、ノズル基板２５の側から見た図である。９個の液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ３個ずつの液滴吐出ヘッド２０を有するヘッド組２０Ａを３群、形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド２０のノズル列２４Ａは、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、Ｙ軸方向に延在している。
【００６５】
一つのヘッド組２０Ａが有する３個の液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド２０の、一方の液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４が半ノズルピッチずれて位置する位置に、配設されている。ヘッド組２０Ａが有する３個の液滴吐出ヘッド２０において、全ての吐出ノズル２４のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル２４は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド２０が有するそれぞれのノズル列２４Ａを構成する吐出ノズル２４から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。
【００６６】
一つのヘッド組２０Ａが備える３個の液滴吐出ヘッド２０が有する６列のノズル列２４Ａは、１本のノズル列として扱うこともできる。当該ノズル列は、例えば１８０個の６倍、１０８０個の吐出ノズル２４を有し、Ｙ軸方向におけるノズルピッチは、７０μｍであり、Ｙ軸方向の両端の吐出ノズル２４の中心間距離（ノズル列長さ）は、約７５．５ｍｍである。液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド組２０Ａを構成している。
【００６７】
ヘッドユニット２１が有する３つのヘッド組２０Ａは、それぞれが有する１本のノズル列とみなせるノズル列が、Ｙ軸方向において、ノズル列２４Ａの半ノズルピッチずれて位置する位置に、配設されている。言い換えると、それぞれのヘッドユニット２１は、互いに隣り合うヘッド組２０Ａを構成する液滴吐出ヘッド２０の、一方のヘッド組２０Ａにおける液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４に対して、もう一方のヘッド組２０Ａにおける液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４が、Ｙ軸方向において、半ノズルピッチずれた位置に、配設されている。
【００６８】
一つのヘッドユニット２１が備える３つのヘッド組２０Ａにおける９個の液滴吐出ヘッド２０が有する１８列のノズル列２４Ａは、１本のノズル列として扱うこともできる。当該ノズル列を「ユニットノズル列２４０Ａ」と表記する。ユニットノズル列２４０Ａは、例えば１８０個の１８倍、３２４０個の吐出ノズル２４を有し、Ｙ軸方向におけるノズルピッチは、７０μｍであり、Ｙ軸方向の両端の吐出ノズル２４の中心間距離（ノズル列長さ）は、約２２６．７ｍｍである。即ち、一つのヘッドユニット２１の吐出ノズル２４から一滴ずつ吐出させて、Ｘ軸方向が同じ位置になるように着弾させると、３２４０個の点が７０μｍのピッチ間隔で連なる直線が形成される。
【００６９】
液滴吐出装置１は、１個のヘッドユニット２１を備えており、１個のユニットノズル列２４０Ａを備えている。当該ユニットノズル列２４０Ａによって、１回の走査の間に、例えば３２４０個の点が７０μｍのピッチ間隔で連なる直線を形成することができる。
【００７０】
＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成について、図５を参照して説明する。図５は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置１は、制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置６５は、演算処理を行うホストコンピューター６６と、液滴吐出装置１に情報を入出力するための入出力装置６８とを有し、インターフェイス（Ｉ／Ｆ）６７を介して吐出装置制御部６と接続されている。入出力装置６８は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニター装置などである。
【００７１】
液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、入出力インターフェイス（Ｉ／Ｆ）４７と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）８４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４５と、ＲＡＭ（Random Access Memory）４６と、ハードディスク４８と、を有している。また、ヘッドドライバー２０ｄと、駆動機構ドライバー８ｄと、給液ドライバー４ｄと、保守ドライバー５ｄと、検出部インターフェイス（Ｉ／Ｆ）８３と、を有している。これらは、データバス４９を介して互いに電気的に接続されている。
【００７２】
入出力インターフェイス４７は、制御装置６５とデータの授受を行い、ＣＰＵ８４は、制御装置６５からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力する。ＲＡＭ４６は、ＣＰＵ８４からの指令に従って、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ４５は、ＣＰＵ８４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶している。ハードディスク４８は、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを保存したり、ＣＰＵ８４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶したりしている。
【００７３】
ヘッドドライバー２０ｄには、ヘッドユニット２１を構成する液滴吐出ヘッド２０が接続されている。ヘッドドライバー２０ｄは、ＣＰＵ８４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッド２０を駆動して、機能液の液滴を吐出させる。駆動機構ドライバー８ｄには、Ｙ軸走査機構２６のＹ軸リニアモーターと、Ｘ軸走査機構３６のＸ軸リニアモーターと、ワーク載置台３０の回動機構３２と、各種駆動源を有する各種駆動機構を含む駆動機構８０と、が接続されている。各種駆動機構は、ワークＷのアライメントを実施する際にアライメントカメラを移動するためのカメラ移動モーターや、ワーク載置台３０の吸引機構の駆動モーターなどである。駆動機構ドライバー８ｄは、ＣＰＵ８４からの制御信号に従って上記モーターなどを駆動して、液滴吐出ヘッド２０とワークＷとを相対移動させてワークＷの任意の位置と液滴吐出ヘッド２０とを対向させ、ヘッドドライバー２０ｄと協働して、ワークＷ上の任意の位置に機能液の液滴を着弾させる。
【００７４】
給液ドライバー４ｄには、機能液供給部４が接続されている。給液ドライバー４ｄは、ＣＰＵ８４からの制御信号に従って機能液供給部４の圧力付与部やバルブの駆動源を駆動して、液滴吐出ヘッド２０に機能液を供給する。
【００７５】
保守ドライバー５ｄには、保守装置部５が備える吸引ユニットと、ワイピングユニットと、吐出検査ユニットと、重量測定ユニットなどが接続されている。保守ドライバー５ｄは、ＣＰＵ８４からの制御信号に従って、吸引ユニット、又はワイピングユニットを駆動して、液滴吐出ヘッド２０の保守作業を実施させる。また、吐出検査ユニットを駆動して、吐出の有無や着弾位置精度などの、液滴吐出ヘッド２０の吐出状態の検査を実施させたり、重量測定ユニットを駆動して、液滴吐出ヘッド２０から吐出される機能液の液滴の、吐出重量の測定を実施させたりする。
【００７６】
検出部インターフェイス８３には、各種センサーを有する検出部８２が接続されている。検出部８２の各センサーによって検出された検出情報が検出部インターフェイス８３を介してＣＰＵ８４に伝達される。
【００７７】
＜機能液の吐出＞
次に、液滴吐出装置１における液滴吐出ヘッド２０からの吐出制御方法について、図６を参照して説明する。図６は、液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図である。
【００７８】
上述したように、液滴吐出装置１は、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する吐出装置制御部６を備えている。吐出装置制御部６は、制御信号を出力するＣＰＵ８４と、液滴吐出ヘッド２０の電気的な駆動制御を行うヘッドドライバー２０ｄとを備えている。
図６に示すように、ヘッドドライバー２０ｄは、ＦＦＣケーブルを介して各液滴吐出ヘッド２０と電気的に接続されている。また、液滴吐出ヘッド２０は、吐出ノズル２４（図３参照）ごとに設けられた圧電素子５９に対応して、シフトレジスター（ＳＬ）８５と、ラッチ回路（ＬＡＴ）８６と、レベルシフター（ＬＳ）８７と、スイッチ（ＳＷ）８８とを備えている。
【００７９】
液滴吐出装置１における吐出制御は次のように行われる。最初に、ＣＰＵ８４がワークＷなどの描画対象物における機能液の配置パターンをデータ化したドットパターンデータをヘッドドライバー２０ｄに伝送する。そして、ヘッドドライバー２０ｄは、ドットパターンデータをデコードして吐出ノズル２４ごとのＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスター８５に伝送される。
【００８０】
シフトレジスター８５に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフター８７でスイッチ８８用のゲート信号に変換される。即ち、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ８８が開いて、圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合にはスイッチ８８が閉じられて、圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されない。そして、「ＯＮ」に対応する吐出ノズル２４からは機能液が液滴となって吐出され、吐出された機能液の液滴がワークＷなどの描画対象物の上に着弾して、描画対象物の上に機能液が配置される。
【００８１】
＜着弾位置＞
次に、液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル２４と、それぞれの吐出ノズル２４から吐出された液滴の着弾位置と、の関係について、図７を参照して説明する。図７は、吐出ノズルと、それぞれの吐出ノズルから吐出された液滴の着弾位置と、の関係を示す説明図である。図７（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図であり、図７（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図７（ｃ）は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図７（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図である。図７に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。Ｘ軸方向が主走査方向であって、図７に示した矢印ａの方向に吐出ノズル２４（液滴吐出ヘッド２０）を相対移動させながら、任意の位置において機能液の液滴を吐出することによって、Ｘ軸方向の任意の位置に液滴を着弾させることができる。
【００８２】
図７（ａ）に示すように、ノズル列２４Ａを構成する吐出ノズル２４は、Ｙ軸方向にノズルピッチＰの中心間距離で配列されている。上述したように、２列のノズル列２４Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル２４同士は、Ｙ軸方向において、相互に、ノズルピッチＰの１／２ずつ位置がずれている。
【００８３】
図７（ｂ）に示すように、着弾位置を示す着弾点９１と、着弾した液滴の濡れ広がり状態を示す着弾円９１Ａとで、着弾した１滴の液滴の状態を示している。２列のノズル列２４Ａの全部の吐出ノズル２４から、図７（ｂ）に一点鎖線で示した仮想線Ｌ上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの１／２の中心間間隔で着弾円９１Ａが連なる直線が形成される。
【００８４】
図７（ｃ）に示すように、一つの吐出ノズル２４から連続して液滴を吐出させることによって、Ｘ軸方向に着弾円９１Ａが連なる直線が形成される。Ｘ軸方向における着弾点９１間の中心間距離の最小値を、最小着弾距離ｄと表記する。最小着弾距離ｄは、主走査方向の相対移動速度と、吐出ノズル２４の最小吐出間隔との積である。
【００８５】
図７（ｄ）に示すように、一点鎖線で示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの１／２の中心間間隔で着弾円９１Ａが連なる直線が、Ｘ軸方向に並列した着弾面が形成される。図７（ｄ）に示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３間の距離が最小着弾距離ｄの場合のそれぞれの着弾点９１が、液滴吐出装置１によって機能液の液滴を配置可能な位置である。
【００８６】
画像の描画に際しては、画像の情報に従って、図７（ｄ）に示したそれぞれの着弾点９１の位置について、液滴を配置する位置を定める。例えば、当該配置位置、及び配置位置に液滴を吐出する吐出ノズル２４を指定した配置表を形成し、配置表に従って機能液を着弾させることによって、画像の情報によって規定される画像を描画する。なお、図７（ｄ）に示した例では、着弾円９１Ａの間に隙間が存在するが、ノズルピッチＰや最小着弾距離ｄに対して、吐出する液滴の１滴あたりの吐出重量を適切に定めることによって、隙間なく機能液を配置することが可能である。
【００８７】
＜描画工程＞
次に、液滴吐出装置１を用いて半導体チップにマーキング用のマーキング画像を描画する描画工程について、図８、図９、図１０、及び図１１を参照して説明する。本実施形態では、半導体チップへの描画は、多数の半導体チップを含むチップ描画用体の状態にした半導体チップに対して実施する。
図８は、描画工程を示すフローチャートである。図９及び図１０は、描画するマーキング画像と描画走査方向とを示す説明図である。図１１は、チップ描画用体と描画走査方向とを示す説明図である。図９（ａ）は、マーキング画像と描画走査方向とを示す説明図であり、図９（ｂ）は、マーキング画像と、方向を調整した描画走査方向とを示す説明図であり、図１０（ｃ）は、チップ描画用体におけるマーキング画像と描画走査方向とを示す説明図であり、図１０（ｄ）は、チップ描画用体におけるマーキング画像と、方向を調整した描画走査方向とを示す説明図である。図１１（ａ）は、ワーク載置台上に給材されたチップ描画用体を示す説明図であり、図１１（ｂ）は、描画走査時におけるチップ描画用体と描画走査方向とを示す説明図である。図９、図１０、及び図１１に示したＸ軸方向及びＹ軸方向は、図１、図２、及び図３に示したＸ軸方向又はＹ軸方向と一致している。
【００８８】
図８のステップＳ１では、描画するマーキング画像の画像情報を取得する。画像情報は、例えば、液滴を着弾させる着弾点の座標を指定する情報である。画像情報の座標系を画像座標と表記する。被描画媒体における位置を示す座標系を媒体座標と表記する。画像座標と媒体座標とを関係付けることで、被描画媒体におけるマーキング画像の位置及び方向が規定される。
液滴吐出装置１における、図７を参照して説明した着弾点の位置を示す座標系を装置座標と表記する。媒体座標と装置座標とを関係付けることで、被描画媒体上の指定の位置に液滴を着弾させることができる。ワーク載置台３０上に供給された被描画媒体を方向調整（アライメント）する工程が、媒体座標と装置座標とを関係付ける工程である。
画像座標と媒体座標と装置座標とが関係付けられた状態で、画像情報における着弾点に機能液の液滴を着弾させることで、被描画媒体上の指定の位置に、マーキング画像の画像情報によって規定されたマーキング画像を形成することができる。
【００８９】
図９（ａ）に示したマーキング画像７１は、文字画像７２と空白部７４とで構成されている。
図９（ａ）及び図９（ｂ）において、文字画像７２は、略正方形の形状を有する着弾点区画７３の集合である。着弾点区画７３は、被描画面に設定した仮想の領域であり、図７を参照して説明した着弾点９１及び着弾円９１Ａに対応する領域である。図９（ａ）におけるそれぞれの着弾点区画７３は、図７（ｄ）に示したそれぞれの着弾点９１に対応している。重ねて着弾させる場合を除いて、１区画の着弾点区画７３には、１個の液滴が着弾させられる。着弾した液滴は、図７を参照して説明したように着弾円９１Ａを形成するが、以降の説明では、説明を簡単にするために、着弾した液滴の機能液は、着弾点区画７３を覆う状態に位置するものとして説明する。着弾円９１Ａは、互いに重なり合う部分が存在することで、被描画面を隙間なく覆うことが可能であるが、着弾点区画７３を埋めた機能液は、互いに隙間なく接することで、被描画面を隙間なく覆うことが可能であると仮定する。
【００９０】
マーキング画像７１は、文字画像７２ａ、文字画像７２ｂ、文字画像７２ｃ、文字画像７２ｄ、空白部７４ａ、及び空白部７４ｂを有している。マーキング画像７１は、４辺がそれぞれＸ軸方向又はＹ軸方向に延在する長方形形状を有している。文字画像７２ａ、文字画像７２ｂ、文字画像７２ｃ、及び文字画像７２ｄは、それぞれ、長方形形状のマーキング画像７１の４隅のいずれかに位置している。４隅に位置する文字画像７２の間には、マーキング画像７１のＹ軸方向における略中央でＸ軸方向に延在する空白部７４ａと、マーキング画像７１のＸ軸方向における略中央でＹ軸方向に延在する空白部７４ｂとが、位置している。空白部７４ａと空白部７４ｂとが交差する部分の着弾点区画７３は、空白部７４ａ及び空白部７４ｂに含まれる共通部分である。
【００９１】
文字画像７２を構成する着弾点区画７３の中で、液滴を着弾させて機能液を配置する着弾点区画７３を、実着弾区画７３ａと表記する。液滴を着弾させない着弾点区画７３を、非着弾区画７３ｂと表記する。
文字画像７２における実着弾区画７３ａによって、文字画像７２ａ、文字画像７２ｂ、文字画像７２ｃ、及び文字画像７２ｄには、アルファベットのＡ、Ｂ、Ｃ、又はＤが表記されている。空白部７４ａ、及び空白部７４ｂは、非着弾区画７３ｂの集合である。
マーキング画像７１の画像情報は、実着弾区画７３ａの位置を規定する情報である。文字画像７２を構成する非着弾区画７３ｂや、非着弾区画７３ｂの集合である空白部７４ａ、及び空白部７４ｂは、機能液の液滴が着弾させられて実着弾区画７３ａが形成されることによって、形成される。
【００９２】
次に、図８のステップＳ２では、描画する画像を解析する。ステップＳ１で取得した画像情報によって規定されるマーキング画像７１に関して、描画するために使用される吐出ノズル２４について解析する。
図９（ａ）及び図９（ｂ）に示した吐出ノズル番号は、それぞれ、Ｙ軸方向に並ぶ吐出ノズル２４のＹ軸方向における位置を示している。Ｘ軸走査機構３６による走査方向は、Ｘ軸方向であって、図９（ａ）に矢印ａで示した方向である。図９（ａ）及び図９（ｂ）に矢印Ｐで示した、マーキング画像７１に含まれる文字の上下方向を、マーキング画像７１の「画像方向」と表記する。図９（ａ）に示したマーキング画像７１の画像方向と描画走査方向との相対方向の角度は、９０度である。
【００９３】
マーキング画像７１の画像方向と描画走査方向との相対方向の角度が９０度の場合、矢印ａで示した方向が描画走査方向である。矢印ａで示した方向に走査してマーキング画像７１を描画した場合、マーキング画像７１の範囲に向けて機能液の液滴を吐出可能な吐出ノズル２４は、吐出ノズル番号３から１８の、１６個の吐出ノズル２４である。吐出ノズル番号９から１２の、４個の吐出ノズル２４は、空白部７４ａにのみ臨む位置にあり、吐出する機会がないため、吐出を実施する吐出ノズル２４の割合である稼働ノズル率は７５％である。空白部７４ａの、走査方向に直交する方向であるＹ軸方向の幅は、概ね、着弾点区画７３の幅４個分の幅である。当該幅は、相対方向が９０度からずれる、ずれ量にしたがって変化する。
【００９４】
マーキング画像７１の画像方向と描画走査方向との相対方向の角度が０度（方向が同じ）の場合、矢印ｂで示した方向が描画走査方向である。矢印ｂで示した方向をＸ軸方向に向けて、矢印ｂで示した方向に走査してマーキング画像７１を描画した場合、マーキング画像７１の範囲に向けて機能液の液滴を吐出可能な吐出ノズル２４は、１２個の吐出ノズル２４である。２個の吐出ノズル２４は、空白部７４ｂにのみ臨む位置にあり、吐出する機会がないため、吐出を実施する吐出ノズル２４の割合である稼働ノズル率は約８３％である。空白部７４ｂの、走査方向に直交する方向である図９（ａ）ではＸ軸方向の幅は、概ね、着弾点区画７３の幅２個分の幅である。当該幅は、相対方向が０度からずれる、ずれ量にしたがって変化する。
このように、空白部７４ａや空白部７４ｂなどにのみ臨む位置にあり、描画走査において吐出する機会がない吐出ノズル２４の数は、相対方向によって異なっている。
【００９５】
次に、図８のステップＳ３では、適切な相対方向を算出する。例えば、マーキング画像７１において、描画走査方向に直交する方向の幅が最大の空白部７４について、ｔａｎθ１＝（空白部７４の描画走査方向に直交する方向の幅）／（空白部７４の描画走査方向の幅）となる角度θ１を求める。
マーキング画像７１は、相対方向が９０度の場合に、描画走査において空白部７４ａにのみ臨むために、吐出する機会がない吐出ノズル２４の数が最大となる。当該吐出する機会がない吐出ノズル２４を減らすことで、稼動ノズル率を高くすることができる。稼働ノズル率は、描画走査において吐出を実施する吐出ノズル２４の割合である。
【００９６】
図９（ａ）に示したマーキング画像７１における空白部７４ａは、Ｘ軸方向の幅Ｗ１が着弾点区画７３の幅１２個分の幅である。Ｙ軸方向の幅Ｈ１は、着弾点区画７３の幅４個分の幅である。θ１は、ｔａｎθ１＝Ｈ１／Ｗ１＝４／１２となる角度である。このとき、相対方向を（９０−θ１）度にすると、図９（ｂ）に示したように、空白部７４ａの両側に位置し、略長方形形状を有する文字画像７２ａ及び文字画像７２ｄにおける略長方形形状の角部が、共通の直線Ｌ１に略接している。直線Ｌ１は、描画走査方向であるＸ軸方向に平行な直線である。マーキング画像７１は、液滴吐出ヘッド２０に対して、直線Ｌ１がノズル番号１１の吐出ノズル２４とノズル番号１２の吐出ノズル２４との間を通る位置に位置している。
【００９７】
文字画像７２ａにおける直線Ｌ１に略接する部分には、ノズル番号１１の吐出ノズル２４が対向し、当該吐出ノズル２４によって機能液の液滴を配置する。文字画像７２ｄにおける直線Ｌ１に略接する部分には、ノズル番号１２の吐出ノズル２４が対向し、当該吐出ノズル２４によって機能液の液滴を配置する。
マーキング画像７１の画像方向と描画走査方向との相対方向の角度が（９０−θ１）度であり、矢印ａで示した方向が描画走査方向である。矢印ａで示した方向に走査してマーキング画像７１を描画した場合、マーキング画像７１の範囲に向けて機能液の液滴を吐出可能な吐出ノズル２４は、吐出ノズル番号２から２０の、１９個の吐出ノズル２４である。空白部７４ａや空白部７４ｂにのみ臨む位置にあり、吐出する機会がない吐出ノズル２４はないため、吐出を実施する吐出ノズル２４の割合である稼働ノズル率は１００％である。
【００９８】
画像の傾け量の算出について説明しやすくするために、液滴吐出ヘッド２０が備える吐出ノズル２４における一部の吐出ノズル２４のみを用いて描画可能な、単独のマーキング画像７１を例にして説明した。しかし、実際の描画に際しては、効率よく描画するために、ユニットノズル列２４０Ａによる描画走査を複数回実施することが必要な大きさの画像を描画する。
【００９９】
図１０（ｃ）に示したように、チップ描画用体６３は、半導体チップ６１を保持板６２上に整列させて仮固定したものである。半導体チップ６１は、ボンディングパットが形成された面の反対側の面にマーキング画像７６ａが描画される。マーキング画像７６ａは、例えば、ロゴマーク、製品名称、製品型番、ロット番号などである。チップ描画用体６３に描画するマーキング画像７６は、半導体チップ６１にそれぞれ描画するマーキング画像７６ａの集合体である。図１０（ｃ）に示したチップ描画用体６３におけるＸ軸方向を、チップ描画用体６３に描画されるマーキング画像７６の画像方向とする。チップ描画用体６３が、被描画媒体に相当する。
【０１００】
図１０（ｃ）に示したマーキング画像７６における空白部７４ｃは、Ｘ軸方向の幅が幅Ｗ２であり、Ｙ軸方向の幅が幅Ｈ２である。空白部７４ｄは、Ｘ軸方向の幅が幅Ｗ３である。描画走査方向がＸ軸方向の場合、描画走査方向に垂直な方向における空白部７４ｃの幅は、Ｈ２である。描画走査方向がＹ軸方向の場合、描画走査方向に垂直な方向における空白部７４ｄの幅は、Ｗ３である。Ｈ２＞Ｗ３であり、マーキング画像７６において、描画走査方向に直交する方向における幅が最大である最大非配置領域は、空白部７４ｃである。
描画走査方向がＸ軸方向の場合のＸ軸方向が、第一の描画走査方向に相当する。描画走査方向がＸ軸方向の場合の描画走査工程が、第一の描画走査工程に相当する。空白部７４ｃ及び空白部７４ｄが非配置領域に相当する。
【０１０１】
空白部７４ｃは、Ｘ軸方向の幅が幅Ｗ２であり、Ｙ軸方向の幅が幅Ｈ２である。θ２は、ｔａｎθ２＝Ｈ２／Ｗ２となる角度である。描画走査に際して、画像方向と描画走査方向との相対方向をθ２度にすると、図１０（ｄ）に示したように、空白部７４ｃの両側に位置する部分が、共通の直線Ｌ２に略接している。直線Ｌ２は、描画走査方向であるＸ軸方向に平行な直線である。描画走査方向がＸ軸方向である描画走査を実施してマーキング画像７６を描画した場合、空白部７４ｃにのみ臨む位置にあり、吐出する機会がない吐出ノズル２４は存在しないため、稼働ノズル率は１００％である。空白部７４ｃの両側に位置する部分が、それぞれ第一の被配置領域又は第二の被配置領域に相当する。
ステップＳ２の描画する画像の解析、及びステップＳ３の相対方向の算出は、ＣＰＵ８４が、制御装置６５からの指令に従って、ＲＯＭ４５などに記憶されたプログラムに基づいて実施する。この場合のＣＰＵ８４が、相対方向規定手段に相当する。
【０１０２】
次に、図８のステップＳ４では、被描画媒体であるチップ描画用体６３を、液滴吐出装置１に給材する。例えば工業用ロボットのような給除材装置を用いて、被描画媒体であるチップ描画用体６３を、ワーク載置台３０の載置台３１上に供給する。供給されたチップ描画用体６３は、図１１（ａ）に示すように、給除材装置の位置決め精度などによって定まる位置精度の範囲の精度で、液滴吐出装置１に対して位置が定まり、ワーク載置台３０に吸着固定される。
【０１０３】
次に、ステップＳ５では、被描画媒体であるチップ描画用体６３のアライメントを実施する。アライメントによって、ワーク載置台３０に吸着固定されたチップ描画用体６３の液滴吐出装置１に対する位置及び方向を、所定の位置及び方向に正確に調整する。所定の方向は、例えば図１０（ｃ）に示したチップ描画用体６３のように、チップ描画用体６３に描画されるマーキング画像７６の画像方向が描画走査方向に一致する方向である。
【０１０４】
次に、図８のステップＳ６では、被描画媒体であるチップ描画用体６３の方向調整を実施する。図２を参照して説明したワーク載置台３０の回動機構３２によって、載置台３１をＺ軸に平行な軸まわりに回動させることによって、載置台３１に固定されたチップ描画用体６３の方向を、図１１（ｂ）に示した方向に調整する。チップ描画用体６３の方向は、チップ描画用体６３に描画されるマーキング画像７６の画像方向が、描画走査方向に対して、ステップＳ３で求めた相対方向を実現する方向に調整される。ステップＳ６の工程が、走査相対方向調整工程に相当する。
回動機構３２が、相対方向調整手段に相当するとともに、媒体方向変更手段に相当する。チップ描画用体６３に描画されるマーキング画像７６の画像方向と描画走査方向との相対方向が、描画走査相対方向に相当する。
【０１０５】
マーキング画像７６などの画像方向と描画走査方向との相対方向は、幾何学的に、０度から３６０度のいずれかである可能性がある。しかし、相対方向がθ度の場合と（θ＋１８０）度の場合とでは、空白部７４の描画走査方向に直交する方向の幅は同じである。したがって、相対方向がθ度の場合と（θ＋１８０）度の場合とで、描画走査の間に、空白部７４にのみ臨むために吐出する機会がない吐出ノズル２４の数は同じである。このため、画像方向と描画走査方向との相対方向は、実質的に、０度から１８０度のいずれかである可能性がある。回動機構３２は、回動可能な角度が少なくとも１８０度であることが好ましい。
【０１０６】
次に、図８のステップＳ７では、チップ描画用体６３に対するマーキング画像７６の描画を実施する。
チップ描画用体６３との相対位置が図１１（ｂ）に示したヘッドユニット２１０の位置であるヘッドユニット２１に対して、Ｘ軸走査機構３６によって、ワーク載置台３０を図１１（ｂ）に示した矢印ａ１の方向（Ｘ軸方向）に走査させる。走査に同期させて、ヘッドユニット２１が備える吐出ノズル２４から、画像情報によって規定された位置に向けて液滴を吐出することで描画走査を実施する。ワーク載置台３０に固定されたチップ描画用体６３における、当該描画走査においてヘッドユニット２１が対向した部分に、当該部分に対応するマーキング画像７６の部分が描画される。描画される部分のＹ軸方向の幅は、例えば、ユニットノズル列２４０Ａ（図４参照）の長さに略等しい幅である。
【０１０７】
１回の描画走査が終了した状態におけるヘッドユニット２１は、チップ描画用体６３に対する相対位置が、図１１（ｂ）に示したヘッドユニット２１１の位置になる。描画走査におけるヘッドユニット２１とワーク載置台３０との相対移動はワーク載置台３０がＸ軸方向に走査して実施されているため、ヘッドユニット２１は移動しない。このため、ヘッドユニット２１１の位置は、ヘッドユニット２１０の位置と同じである。
ヘッドユニット２１１の位置に位置するヘッドユニット２１を、Ｙ軸走査機構２６によってＹ軸方向に移動させて改行を実施する。改行量は、１回の描画走査によって描画できるＹ軸方向の幅であって、例えば、ユニットノズル列２４０Ａの長さに略等しい幅である。改行が終了した状態におけるヘッドユニット２１は、チップ描画用体６３に対する相対位置が、図１１（ｂ）に示したヘッドユニット２２１の位置になる。
【０１０８】
チップ描画用体６３との相対位置がヘッドユニット２２１の位置であるヘッドユニット２１に対して、Ｘ軸走査機構３６によって、ワーク載置台３０を図１１（ｂ）に示した矢印ａ２の方向（Ｘ軸方向）に走査させる。走査に同期させて、ヘッドユニット２１が備える吐出ノズル２４から、画像情報によって規定された位置に向けて液滴を吐出することで描画走査を実施する。描画走査が終了した状態におけるヘッドユニット２１は、チップ描画用体６３に対する相対位置が、図１１（ｂ）に示したヘッドユニット２２０の位置になる。
以降、上述した改行及び描画走査と同様の改行と描画走査とを繰り返して、マーキング画像７６の描画を実施する。Ｘ軸走査機構３６が、相対移動手段に相当する。
【０１０９】
次に、図８のステップＳ８では、被描画媒体であるチップ描画用体６３の方向を戻す工程を実施する。この工程は、ステップＳ６において、画像方向が、描画走査方向に対して、ステップＳ３で求めた相対方向を実現する方向に調整されているチップ描画用体６３の方向を、ステップＳ４において供給された方向と略同じ方向に戻す工程である。戻されたチップ描画用体６３の方向の精度は、ステップＳ４の給材工程で用いた給除材装置によって、チップ描画用体６３を保持できる程度の精度でよい。
【０１１０】
次に、ステップＳ９では、マーキング画像７６を描画済のチップ描画用体６３（被描画媒体）を、液滴吐出装置１から除材する。除材は、ステップＳ４で用いた給除材装置を用いて、ワーク載置台３０の載置台３１上に載置されているチップ描画用体６３を、取り除くことで実施する。
【０１１１】
次に、ステップＳ１０では、マーキング画像７６の描画が未終了のチップ描画用体６３（被描画媒体）が在るか否かを判定する。
マーキング画像７６の描画が未終了のチップ描画用体６３が存在した場合（ステップＳ１０でＹＥＳ）には、ステップＳ４に戻り、ステップＳ４からステップＳ１０を繰り返して、チップ描画用体６３へのマーキング画像７６の描画を実施する。
マーキング画像７６の描画が未終了のチップ描画用体６３が存在しなかった場合（ステップＳ１０でＮＯ）には、半導体チップにマーキング画像を描画する描画工程を終了する。
【０１１２】
＜描画工程の２＞
次に、液滴吐出装置１を用いて半導体チップ６１にマーキング用のマーキング画像を描画する描画工程の他の例について、図１２、及び図１３を参照して説明する。図８、図９、図１０、及び図１１を参照して説明した描画工程と同様に、半導体チップ６１への描画は、多数の半導体チップ６１を含むチップ描画用体６３の状態にした半導体チップ６１に対して実施する。
図１２は、描画工程を示すフローチャートである。図１３は、描画走査時におけるチップ描画用体と描画走査方向とを示す説明図である。図１３に示したＸ軸方向及びＹ軸方向は、図１、図２、及び図３に示したＸ軸方向又はＹ軸方向と一致している。
【０１１３】
図１２のステップＳ２１からステップＳ２５の各ステップは、図８に示したステップＳ１からステップＳ５の各ステップと同様の工程である。
【０１１４】
図１２のステップＳ２５の次に、ステップＳ２６では、チップ描画用体６３に対するマーキング画像７６の描画を実施する。
チップ描画用体６３との相対位置が図１３に示したヘッドユニット２６０の位置であるヘッドユニット２１に対して、Ｘ軸走査機構３６によって、ワーク載置台３０を図１３に示した矢印ａ１の方向（Ｘ軸方向）に走査させる。並行して、Ｙ軸走査機構２６によって、ヘッドユニット２１を図１３に示した矢印ｂ１の方向（Ｙ軸方向）に走査させる。ワーク載置台３０の移動速度と、ヘッドユニット２１の移動速度とを調和させることによって、ワーク載置台３０に固定されたチップ描画用体６３とヘッドユニット２１とを、直線Ｌ４に平行な矢印ｃの方向に、相対移動させる。直線Ｌ４は、Ｘ軸方向に対してθ２度傾いている。
Ｘ軸走査機構３６及びＹ軸走査機構２６が、相対移動手段に相当する。ワーク載置台３０の移動速度とヘッドユニット２１の移動速度との制御は、ＣＰＵ８４が、制御装置６５からの指令に従って、ＲＯＭ４５などに記憶されたプログラムに基づいて実施する。この場合のＣＰＵ８４が、相対方向調整手段に相当するとともに、描画走査方向変更手段に相当する。ステップＳ２６の工程における描画走査方向を平行な矢印ｃの方向に調整する工程が、走査相対方向調整工程に相当する。
【０１１５】
図１０を参照して説明したように、図１０（ｃ）に示したチップ描画用体６３におけるＸ軸方向を、チップ描画用体６３に描画されるマーキング画像７６の画像方向とする。チップ描画用体６３が図１３又は図１１（ａ）に示したような方向でワーク載置台３０に固定された状態で、チップ描画用体６３に描画されるマーキング画像７６の画像方向は、Ｘ軸方向である。
【０１１６】
マーキング画像７６における空白部７４ｃは、チップ描画用体６３が図１３又は図１１（ａ）に示したような方向でワーク載置台３０に固定された状態で、Ｘ軸方向の幅が幅Ｗ２であり、Ｙ軸方向の幅が幅Ｈ２である。θ２は、ｔａｎθ２＝Ｈ２／Ｗ２となる角度である。
描画走査に際して、画像方向をθ２度振って、画像方向と描画走査方向との相対方向をθ２度にすると、図１０（ｄ）を参照して説明したように、空白部７４ｃの両側に位置する部分が、共通の直線Ｌ２に略接している。このとき、直線Ｌ２は、Ｘ軸走査機構３６による相対移動のみによって実施する描画走査における描画走査方向であるＸ軸方向に平行な直線である。
【０１１７】
チップ描画用体６３が図１３に示したような方向でワーク載置台３０に固定された状態では、マーキング画像７６の画像方向はＸ軸方向であり、直線Ｌ２は、Ｘ軸方向に対してθ２度傾いている。直線Ｌ４は、Ｘ軸方向に対してθ２度傾いており、直線Ｌ２と平行である。チップ描画用体６３とヘッドユニット２１との相対移動方向である描画走査方向は、矢印ｃの方向であって、マーキング画像７６の画像方向であるＸ軸方向に対してθ２度傾いている。チップ描画用体６３とヘッドユニット２１との相対移動方向である描画走査方向と、マーキング画像７６の画像方向との角度であるθ２が、描画走査相対方向に相当する。
【０１１８】
チップ描画用体６３とヘッドユニット２１との相対移動に同期させて、ヘッドユニット２１が備える吐出ノズル２４から、画像情報によって規定された位置に向けて液滴を吐出することで描画走査を実施する。ワーク載置台３０に固定されたチップ描画用体６３における、当該描画走査においてヘッドユニット２１が対向した部分に、当該部分に対応するマーキング画像７６の部分が描画される。描画される部分のＹ軸方向の幅は、例えば、ユニットノズル列２４０Ａ（図４参照）の長さに略等しい幅である。
【０１１９】
１回の描画走査が終了した状態におけるヘッドユニット２１は、チップ描画用体６３に対する相対位置が、図１３に示したヘッドユニット２６１の位置になる。
描画走査におけるヘッドユニット２１とワーク載置台３０とのＸ軸方向の相対移動はワーク載置台３０がＸ軸方向に走査して実施されているため、ヘッドユニット２６１のＸ軸方向の位置は、ヘッドユニット２６０のＸ軸方向の位置と同じである。描画走査におけるヘッドユニット２１とワーク載置台３０とのＹ軸方向の相対移動はヘッドユニット２１がＹ軸方向に走査して実施されているため、ヘッドユニット２６１のＹ軸方向の位置は、描画走査における移動量だけずれている。
【０１２０】
ヘッドユニット２６１の位置に位置するヘッドユニット２１を、Ｙ軸走査機構２６によってＹ軸方向に移動させて改行を実施する。改行量は、１回の描画走査によって描画できるＹ軸方向の幅であって、例えば、ユニットノズル列２４０Ａの長さに略等しい幅である。改行が終了した状態におけるヘッドユニット２１は、チップ描画用体６３に対する相対位置が、図１３に示したヘッドユニット２７１の位置になる。
【０１２１】
チップ描画用体６３との相対位置がヘッドユニット２７１の位置であるヘッドユニット２１に対して、Ｘ軸走査機構３６によって、ワーク載置台３０を図１３に示した矢印ａ２の方向（Ｘ軸方向）に走査させる。並行して、Ｙ軸走査機構２６によって、ヘッドユニット２１を図１３に示した矢印ｂ２の方向（Ｙ軸方向）に走査させる。ワーク載置台３０の移動速度と、ヘッドユニット２１の移動速度とを調和させることによって、ワーク載置台３０に固定されたチップ描画用体６３とヘッドユニット２１とを、直線Ｌ４に平行な矢印ｃの方向に、相対移動させる。
当該描画走査において、直前の描画走査において描画されたマーキング画像７６の部分に連続する部分が描画される。当該描画走査が終了した状態におけるヘッドユニット２１は、チップ描画用体６３に対する相対位置が、図１３に示したヘッドユニット２７０の位置になる。
以降、上述した改行及び描画走査と同様の改行と描画走査とを繰り返して、マーキング画像７６の描画を実施する。
【０１２２】
図１２のステップＳ２６の次に、ステップＳ２７を実施する。図１２のステップＳ２７及びステップＳ２８は、図８に示したステップＳ９又はステップＳ１０と同様のステップである。マーキング画像７６の描画が未終了のチップ描画用体６３が存在しなかった場合（ステップＳ２８でＮＯ）には、半導体チップにマーキング画像を描画する描画工程を終了する。
【０１２３】
上述したように、ノズル列２４Ａにおける吐出ノズル２４の配列方向は、Ｙ軸方向である。このため、描画走査方向がＹ軸方向に近くなると、１回の描画走査で描画できる描画走査方向に直交する方向の幅が小さくなる。描画走査方向がＹ軸方向の場合、１回の描画走査で描画できる幅は、１列のノズル列２４Ａあたり、着弾点区画７３の幅１個分である。描画走査方向がＹ軸方向に近くなる場合には、ステップＳ２４においてチップ描画用体６３を給材する際のチップ描画用体６３の方向を、ノズル列２４Ａの延在方向と描画走査方向との相対方向が大きくなる（９０度に近くなる）方向にすることが好ましい。
【０１２４】
以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）液滴吐出装置１が備える載置台３１は、回動機構３２を介して、載置台ベース３３に回動自在に取付けられている。回動機構３２は、載置台ベース３３に対して、載置台３１を、回動軸３２ａ回りに回動可能であり、精度良く任意の位置に保持することが可能である。これにより、載置台３１に固定されたチップ描画用体６３などの被描画媒体の方向を、ワーク載置台３０の移動方向であるＸ軸方向に対して、任意の方向に向けることができる。
【０１２５】
（２）図１２及び図１３を参照して説明した描画工程の２では、Ｘ軸走査機構３６によって、ワーク載置台３０を走査させ、並行して、Ｙ軸走査機構２６によって、ヘッドユニット２１を走査させる。ワーク載置台３０の移動速度と、ヘッドユニット２１の移動速度とを調和させることによって、ワーク載置台３０に固定されたチップ描画用体６３とヘッドユニット２１とを、任意の方向に相対移動させることができる。これにより、チップ描画用体６３とヘッドユニット２１との相対移動方向を、ワーク載置台３０に固定されたチップ描画用体６３に対して、任意の方向にすることができる。すなわち、描画走査における吐出ヘッドと被描画媒体との相対移動方向である描画走査方向を変えることで、描画走査方向と被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を、調整することができる。
【０１２６】
（３）チップ描画用体６３に描画するマーキング画像７６の空白部７４ｃは、Ｘ軸方向の幅が幅Ｗ２であり、Ｙ軸方向の幅が幅Ｈ２である。θ２は、ｔａｎθ２＝Ｈ２／Ｗ２となる角度である。描画走査に際して、画像方向と描画走査方向との相対方向をθ２度にすることで、空白部７４ｃの両側に位置する部分が、共通の直線Ｌ２に略接している。直線Ｌ２は、描画走査方向であるＸ軸方向に平行な直線である。これにより、マーキング画像７６を描画する描画走査に際して、マーキング画像７６を描画する範囲における空白部７４ｃの部分にのみ臨む位置に位置することに起因して、吐出を実施しない吐出ノズル２４をなくすることができる。
【０１２７】
（４）図８乃至図１１を参照して説明した描画工程では、ステップＳ４で、チップ描画用体６３を、液滴吐出装置１に給材し、ステップＳ５で、チップ描画用体６３のアライメントを実施し、ステップＳ６で、チップ描画用体６３の方向調整を実施し、ステップＳ７で、チップ描画用体６３に対するマーキング画像７６の描画を実施する。
ステップＳ６で、チップ描画用体６３の方向調整を実施するため、ステップＳ５のアライメントでは、適切な描画走査相対方向が変わっても、一定の方向にチップ描画用体６３の方向を調整することでアライメントを実施することができる。ステップＳ４の給材では、適切な描画走査相対方向が変わっても、一定の方向でチップ描画用体６３を供給することで給材することができる。
ステップＳ５のアライメントで、一定の方向にチップ描画用体６３の方向が調整されており、ステップＳ６の方向調整では、調整開始時のチップ描画用体６３の方向が一定となるため、調整開始時のチップ描画用体６３の方向が変化することに起因して調整工程が複雑になることを抑制することができる。
【０１２８】
（５）ステップＳ７で、チップ描画用体６３に対する描画を実施し、ステップＳ８で、チップ描画用体６３の方向を戻す工程を実施した後、ステップＳ９で、描画済のチップ描画用体６３を、液滴吐出装置１から除材する。
チップ描画用体６３の方向を戻す工程を実施することで、適切な描画走査相対方向が変わっても、除材を実施する際のチップ描画用体６３の方向は、略一定となるため、除材対象のチップ描画用体６３の方向が変化することに起因して除材工程が複雑になることを抑制することができる。
【０１２９】
（６）チップ描画用体６３に描画されるマーキング画像７６の画像方向と描画走査方向との描画走査相対方向を変えて、マーキング画像７６における空白部７４ｃと描画走査方向との相対方向を変えている。描画走査に際して、マーキング画像７６を描画する範囲における空白部７４ｃの部分にのみ臨む位置に位置することに起因して、吐出を実施しない吐出ノズル２４の数は、空白部７４ｃと描画走査方向との相対方向によって異なる。描画走査に際して、描画走査相対方向を変えることで、吐出を実施しない吐出ノズル２４の数を抑制する方向に調整することができる。
【０１３０】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１３１】
（変形例１）前記実施形態においては、画像方向と描画走査方向との相対方向を、描画走査に際して空白部７４ｃなどの最大非配置領域の部分にのみ臨む位置に位置することに起因して吐出を実施しない吐出ノズル２４をなくする方向に設定していた。しかし、描画走査相対方向は、他の方法を用いて規定することもできる。
描画工程は、描画する画像をビットマップに展開し、当該ビットマップにしたがって描画する工程であってもよい。ビットマップは、画像を、機能液の液滴を着弾させる位置情報、及び当該機能液を吐出させる吐出ノズルの情報で規定したマップである。画像をビットマップに展開することで、描画走査において液状体の吐出を実施する吐出ノズルの割合である稼働ノズル率を求めることができる。描画走査相対方向を変えて画像をビットマップに展開し、それぞれのビットマップから稼働ノズル率を求めることで、稼働ノズル率が最大となる描画走査相対方向を求めることができる。描画走査相対方向を、稼働ノズル率が最大となる方向に調整することで、描画走査工程において吐出を実施する吐出ノズルの割合が最大となり、吐出を実施しない吐出ノズルの割合を最小にすることができる。描画走査相対方向を、稼働ノズル率が最大となる方向に調整する工程が、走査相対方向調整工程に相当する。
画像をビットマップに展開する工程、稼働ノズル率を求める工程、及び稼働ノズル率が最大となる描画走査相対方向を求める工程は、ＣＰＵ８４が、制御装置６５からの指令に従って、ＲＯＭ４５などに記憶されたプログラムに基づいて実施する。この場合のＣＰＵ８４が、相対方向規定手段に相当する。相対方向調整手段としては、図８を参照して説明した描画工程のように回動機構３２を用いてもよいし、図１２を参照して説明した描画工程のように、ワーク載置台３０の移動速度とヘッドユニット２１の移動速度とを制御するＣＰＵ８４であってもよい。
【０１３２】
（変形例２）前記実施形態においては、マーキング画像を描画する被描画媒体は、半導体チップ６１を保持板６２上に整列させて仮固定したチップ描画用体６３であったが、画像を描画する対象は、半導体チップに限らない。画像を描画する対象は、液滴吐出装置を用いて画像を描画することができるものであれば、どのようなものであってもよい。
被描画媒体が描画する対象の集合体であることも必須ではない。個別の半導体チップ６１のような個別の描画対象のそれぞれに描画してもよい。
描画する画像がマーキング画像であることも必須ではない。描画する画像は、どのような画像であってもよい。
【０１３３】
（変形例３）前記実施形態においては、マーキング画像７１を構成する文字画像７２は、５区画×６区画の３０個の着弾点区画７３で形成されていた。しかし、文字画像７２のような形状を描画するための画素ドットの数は、もっと多いことが好ましい。例えば文字を構成する画素ドットの数を多くすることで、描画する文字の形状の自由度を高くすることができ、滑らかな形状の文字などを描画することができる。文字を構成する画素ドットの数が多くなることで、文字に対する画素ドットの大きさが、相対的に小さくなる。
【０１３４】
（変形例４）前記実施形態においては、図１２及び図１３を参照して説明した描画工程の２においても回動機構３２を備える液滴吐出装置１を使用していた。描画工程の２は、描画を実施する際に、Ｘ軸走査機構３６によって、ワーク載置台３０を走査させ、並行して、Ｙ軸走査機構２６によって、ヘッドユニット２１を走査させる。したがって、描画工程の２のような描画工程においては、描画走査方向を変えることで、描画走査方向と被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を、調整することができる。描画走査相対方向を調整するために描画走査方向を変える場合、描画を実施する描画装置は、回動機構３２のような媒体方向変更手段を備えない装置であってもよい。
【０１３５】
（変形例５）前記実施形態においては、マーキング画像７６は１種類の機能液で描画されていたが、画像を形成するために用いる液状体の種類が１種類であることは必須ではない。複数種類の液状体を用いて画像を形成してもよい。複数種類の液状体を用いる場合、同じ種類の液状体を吐出する吐出ノズルごとに、描画走査において吐出を実施しない吐出ノズルの数を抑制する描画走査相対方向を設定してもよい。あるいは、機能液が１種類である場合と同様に、使用される吐出ノズル全体において、描画走査に際して吐出を実施しない吐出ノズルの数を抑制する描画走査相対方向を設定してもよい。
【０１３６】
（変形例６）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット２１を備えており、ヘッドユニット２１が備える液滴吐出ヘッド２０が吐出する機能液は単一の機能液であった。しかし、ヘッドユニットが備える吐出ヘッドが吐出する液状体が同一であることは必須ではない。描画装置においては、色が異なるなど、複数種類の異なる液状体を吐出してもよい。色が異なる複数種類の液状体を吐出することでカラー描画も可能である。液状体の種類は、描画装置が複数のヘッドユニットを備えて、ヘッドユニットごとに異ならせてもよいし、ヘッド組ごとに異ならせてもよいし、液滴吐出ヘッドごとに異ならせてもよいし、ノズル列ごとに異ならせてもよい。吐出ノズルごとに液状体を個別に供給できる液滴吐出ヘッドを用いて、吐出ノズルごとに異なる液状体を吐出してもよい。なお、カラー描画を実施する際には、同じ着弾位置に、複数の、例えば色が異なる液状体を着弾させることができる構成のヘッドユニット又は液滴吐出ヘッドを用いたり、走査方法を用いたりすることで、より微細な描画が可能となる。
【０１３７】
（変形例７）前記実施形態においては、ノズル列２４Ａの延在方向における着弾点９１の着弾ピッチは、液滴吐出ヘッド２０における吐出ノズル２４の配設ピッチであった。しかし、ノズル列の延在方向における着弾ピッチが液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの配設ピッチであることは必須ではない。ノズル列の延在方向における相対移動における移動量の最小値を吐出ノズルの配設ピッチより小さくすることで、ノズル列の延在方向における着弾ピッチを、吐出ノズルの配設ピッチより小さくすることができる。
【０１３８】
（変形例８）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット２１を１個備えていた。しかし、描画装置が備えるヘッドユニットが１個であることは必須ではない。描画装置が備えるヘッドユニットは、いくつであってもよい。
【０１３９】
（変形例９）前記実施形態においては、ヘッドユニット２１は、液滴吐出ヘッド２０を９個備えていたが、ヘッドユニットが備える吐出ヘッドが９個であることは必須ではない。ヘッドユニットが備える吐出ヘッドは、いくつであってもよい。
【０１４０】
（変形例１０）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド２０は、多数の吐出ノズル２４が略一直線状に並んだノズル列２４Ａを２列備えていたが、吐出ヘッドが備えるノズル列は何列であってもよい。また、液滴吐出ヘッド２０が備える吐出ノズル２４は、ノズル列２４Ａの延在方向において互いの位置がずれていたが、吐出ヘッドは、ノズル列の延在方向において、略同一位置に位置する吐出ノズルを複数備える構成であってもよい。
【０１４１】
（変形例１１）前記実施形態においては、Ｘ軸走査機構によってワーク載置台３０をＸ軸方向に移動させることでワークＷをＸ軸方向に移動し、Ｙ軸走査機構によって液滴吐出ヘッド２０をＹ軸方向に移動することで、ワークＷと液滴吐出ヘッド２０とを平面方向において相対移動させていた。描画対象物と吐出ヘッドとを相対移動させるために描画対象物と吐出ヘッドの両方を移動させることは必須ではない。描画対象物と吐出ヘッドのいずれか一方を平面方向に移動させることで、描画対象物と吐出ヘッドとを相対移動させる構成であってもよい。
【０１４２】
（変形例１２）前記実施形態においては、ノズル列２４Ａにおけるノズルピッチは１４０μｍであり、２本のノズル列２４Ａを備える液滴吐出ヘッド２０におけるノズル列方向の吐出ピッチは約７０μｍであった。しかし、液滴吐出ヘッドにおけるノズルの配置は、液滴吐出ヘッド２０における配置に限らない。ノズル列におけるノズルピッチは１４０μｍとは異なるノズルピッチであってもよい。
【符号の説明】
【０１４３】
１…液滴吐出装置、２…ヘッド機構部、３…ワーク機構部、６…吐出装置制御部、２０…液滴吐出ヘッド、２１…ヘッドユニット、２２…移動枠、２３…ユニットプレート、２４…吐出ノズル、２４Ａ…ノズル列、２６…Ｙ軸走査機構、３０…ワーク載置台、３１…載置台、３２…回動機構、３２ａ…回動軸、３６…Ｘ軸走査機構、４５…ＲＯＭ、４６…ＲＡＭ、５９…圧電素子、６１…半導体チップ、６２…保持板、６３…チップ描画用体、７１…マーキング画像、７２，７２ａ，７２ｂ，７２ｃ，７２ｄ…文字画像、７３…着弾点区画、７３ａ…実着弾区画、７３ｂ…非着弾区画、７４，７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄ…空白部、７６…マーキング画像、７６ａ…マーキング画像、８４…ＣＰＵ、９１…着弾点、９１Ａ…着弾円、２１０，２１１，２２０，２２１，２６０，２６１，２７０，２７１…ヘッドユニット、２４０Ａ…ユニットノズル列。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出する複数の吐出ノズルを備える吐出ヘッドと被描画媒体とを、前記被描画媒体の被描画面に略平行な方向に相対移動させると共に前記複数の吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出させる描画走査工程を含む描画工程を実施することによって、前記被描画面に前記液状体を用いて画像を描画する描画方法であって、
前記描画走査工程における前記吐出ヘッドと前記被描画媒体との相対移動方向である描画走査方向と、前記被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を調整する走査相対方向調整工程を有することを特徴とする描画方法。
【請求項２】
前記走査相対方向調整工程では、前記描画走査相対方向を、当該被描画媒体に対する前記描画走査工程において、前記複数の吐出ノズルにおける、当該描画走査工程において吐出を実施する吐出ノズルの割合である稼働ノズル率が最大となる方向に調整することを特徴とする、請求項１に記載の描画方法。
【請求項３】
前記走査相対方向調整工程では、前記描画走査相対方向を、前記描画走査方向が第一の描画走査方向である第一の描画走査工程において、前記液状体が配置されない非配置領域の前記第一の描画走査方向に直交する方向における幅が最大である最大非配置領域を挟んで位置し、前記液状体が配置される第一の被配置領域と第二の被配置領域とが、前記描画走査方向に平行に延在する同一の直線に接する方向に調整することを特徴とする、請求項１に記載の描画方法。
【請求項４】
前記走査相対方向調整工程では、前記描画走査方向に対して、前記被描画媒体の方向を変えることで、前記描画走査相対方向を調整することを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の描画方法。
【請求項５】
前記走査相対方向調整工程では、前記被描画媒体の方向に対して、前記描画走査方向を変えることで、前記描画走査相対方向を調整することを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の描画方法。
【請求項６】
前記走査相対方向調整工程を、前記描画工程を実施する描画装置に前記被描画媒体を供給する給材工程と、前記描画工程との間に実施することを特徴とする、請求項４に記載の描画方法。
【請求項７】
前記描画工程と、前記描画装置から前記被描画媒体を除去する除材工程との間に、前記被描画媒体の方向を前記給材工程において給材された方向と略同じ方向に向ける方向戻し工程をさらに有することを特徴とする、請求項６に記載の描画方法。
【請求項８】
液状体を吐出する複数の吐出ノズルを備える吐出ヘッドと、
被描画媒体を支持する支持装置と、
前記吐出ヘッドと、前記支持装置とを、前記支持装置に支持された前記被描画媒体の被描画面に略平行な方向に相対移動させる相対移動手段と、
前記相対移動手段による前記相対移動の相対移動方向と、前記被描画媒体の方向と、の相対方向を規定する相対方向規定手段と、
前記相対方向を、前記相対方向規定手段によって規定された方向に調整する相対方向調整手段と、を備えることを特徴とする描画装置。
【請求項９】
前記相対方向調整手段は、前記吐出ヘッドと前記被描画媒体とを、前記被描画媒体の被描画面に略平行な方向に相対移動させると共に前記複数の吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出させる描画走査における前記吐出ヘッドと前記被描画媒体との相対移動方向である描画走査方向と、前記被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を、前記複数の吐出ノズルにおける、前記描画走査において吐出を実施する吐出ノズルの割合である稼働ノズル率が最大となる相対方向に規定することを特徴とする、請求項８に記載の描画装置。
【請求項１０】
前記相対方向規定手段は、前記吐出ヘッドと前記被描画媒体とを、前記被描画媒体の被描画面に略平行な方向に相対移動させると共に前記複数の吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出させる描画走査における前記吐出ヘッドと前記被描画媒体との相対移動方向である描画走査方向と、前記被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を、前記描画走査方向が第一の描画走査方向である第一の描画走査において、前記液状体が配置されない非配置領域の前記第一の描画走査方向に直交する方向における幅が最大である最大非配置領域を挟んで位置し、前記液状体が配置される第一の被配置領域と第二の被配置領域とが、前記描画走査方向に平行に延在する同一の直線に接する方向に規定することを特徴とする、請求項８に記載の描画装置。
【請求項１１】
前記相対方向調整手段は、前記描画走査方向に対して、前記被描画媒体の方向を変えることで、前記描画走査相対方向を、前記相対方向規定手段によって規定された相対方向に調整する媒体方向変更手段であることを特徴とする、請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の描画装置。
【請求項１２】
前記相対方向調整手段は、前記相対移動手段による前記描画走査方向を変えることによって、前記描画走査相対方向を、前記相対方向規定手段によって規定された相対方向に調整する描画走査方向変更手段であることを特徴とする、請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の描画装置。
【請求項１３】
前記媒体方向変更手段は、前記支持装置上に供給されて支持され、所定の方向に方向調整された前記被描画媒体の方向を変えることによって、前記描画走査相対方向を、前記相対方向規定手段によって規定された方向に調整することを特徴とする、請求項１１に記載の描画装置。
【請求項１４】
前記媒体方向変更手段は、描画を実施済の前記被描画媒体の方向を、前記描画装置から前記被描画媒体を除去する前に、前記被描画媒体が前記支持装置上に供給された方向と略同じ方向に向けることを特徴とする、請求項１３に記載の描画装置。
【請求項１】
液状体を吐出する複数の吐出ノズルを備える吐出ヘッドと被描画媒体とを、前記被描画媒体の被描画面に略平行な方向に相対移動させると共に前記複数の吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出させる描画走査工程を含む描画工程を実施することによって、前記被描画面に前記液状体を用いて画像を描画する描画方法であって、
前記描画走査工程における前記吐出ヘッドと前記被描画媒体との相対移動方向である描画走査方向と、前記被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を調整する走査相対方向調整工程を有することを特徴とする描画方法。
【請求項２】
前記走査相対方向調整工程では、前記描画走査相対方向を、当該被描画媒体に対する前記描画走査工程において、前記複数の吐出ノズルにおける、当該描画走査工程において吐出を実施する吐出ノズルの割合である稼働ノズル率が最大となる方向に調整することを特徴とする、請求項１に記載の描画方法。
【請求項３】
前記走査相対方向調整工程では、前記描画走査相対方向を、前記描画走査方向が第一の描画走査方向である第一の描画走査工程において、前記液状体が配置されない非配置領域の前記第一の描画走査方向に直交する方向における幅が最大である最大非配置領域を挟んで位置し、前記液状体が配置される第一の被配置領域と第二の被配置領域とが、前記描画走査方向に平行に延在する同一の直線に接する方向に調整することを特徴とする、請求項１に記載の描画方法。
【請求項４】
前記走査相対方向調整工程では、前記描画走査方向に対して、前記被描画媒体の方向を変えることで、前記描画走査相対方向を調整することを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の描画方法。
【請求項５】
前記走査相対方向調整工程では、前記被描画媒体の方向に対して、前記描画走査方向を変えることで、前記描画走査相対方向を調整することを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の描画方法。
【請求項６】
前記走査相対方向調整工程を、前記描画工程を実施する描画装置に前記被描画媒体を供給する給材工程と、前記描画工程との間に実施することを特徴とする、請求項４に記載の描画方法。
【請求項７】
前記描画工程と、前記描画装置から前記被描画媒体を除去する除材工程との間に、前記被描画媒体の方向を前記給材工程において給材された方向と略同じ方向に向ける方向戻し工程をさらに有することを特徴とする、請求項６に記載の描画方法。
【請求項８】
液状体を吐出する複数の吐出ノズルを備える吐出ヘッドと、
被描画媒体を支持する支持装置と、
前記吐出ヘッドと、前記支持装置とを、前記支持装置に支持された前記被描画媒体の被描画面に略平行な方向に相対移動させる相対移動手段と、
前記相対移動手段による前記相対移動の相対移動方向と、前記被描画媒体の方向と、の相対方向を規定する相対方向規定手段と、
前記相対方向を、前記相対方向規定手段によって規定された方向に調整する相対方向調整手段と、を備えることを特徴とする描画装置。
【請求項９】
前記相対方向調整手段は、前記吐出ヘッドと前記被描画媒体とを、前記被描画媒体の被描画面に略平行な方向に相対移動させると共に前記複数の吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出させる描画走査における前記吐出ヘッドと前記被描画媒体との相対移動方向である描画走査方向と、前記被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を、前記複数の吐出ノズルにおける、前記描画走査において吐出を実施する吐出ノズルの割合である稼働ノズル率が最大となる相対方向に規定することを特徴とする、請求項８に記載の描画装置。
【請求項１０】
前記相対方向規定手段は、前記吐出ヘッドと前記被描画媒体とを、前記被描画媒体の被描画面に略平行な方向に相対移動させると共に前記複数の吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出させる描画走査における前記吐出ヘッドと前記被描画媒体との相対移動方向である描画走査方向と、前記被描画媒体の方向と、の相対方向である描画走査相対方向を、前記描画走査方向が第一の描画走査方向である第一の描画走査において、前記液状体が配置されない非配置領域の前記第一の描画走査方向に直交する方向における幅が最大である最大非配置領域を挟んで位置し、前記液状体が配置される第一の被配置領域と第二の被配置領域とが、前記描画走査方向に平行に延在する同一の直線に接する方向に規定することを特徴とする、請求項８に記載の描画装置。
【請求項１１】
前記相対方向調整手段は、前記描画走査方向に対して、前記被描画媒体の方向を変えることで、前記描画走査相対方向を、前記相対方向規定手段によって規定された相対方向に調整する媒体方向変更手段であることを特徴とする、請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の描画装置。
【請求項１２】
前記相対方向調整手段は、前記相対移動手段による前記描画走査方向を変えることによって、前記描画走査相対方向を、前記相対方向規定手段によって規定された相対方向に調整する描画走査方向変更手段であることを特徴とする、請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の描画装置。
【請求項１３】
前記媒体方向変更手段は、前記支持装置上に供給されて支持され、所定の方向に方向調整された前記被描画媒体の方向を変えることによって、前記描画走査相対方向を、前記相対方向規定手段によって規定された方向に調整することを特徴とする、請求項１１に記載の描画装置。
【請求項１４】
前記媒体方向変更手段は、描画を実施済の前記被描画媒体の方向を、前記描画装置から前記被描画媒体を除去する前に、前記被描画媒体が前記支持装置上に供給された方向と略同じ方向に向けることを特徴とする、請求項１３に記載の描画装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１２−９６１６９（Ｐ２０１２−９６１６９Ａ）
【公開日】平成２４年５月２４日（２０１２．５．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２４５９７７（Ｐ２０１０−２４５９７７）
【出願日】平成２２年１１月２日（２０１０．１１．２）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年５月２４日（２０１２．５．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１１月２日（２０１０．１１．２）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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