搬送台車、停止位置判定方法およびプログラム
【課題】搬送システムが多数の装置を含んでいても、装置の設置位置変更を行なったときの搬送システムの立上げ、搬送システムの変更時に要する工数および時間を抑制できること
【解決手段】軌道を走行して停止し、被搬送物を支給する、または被搬送物を引き取るＯＨＴ搬送台車１において、基準画像記憶部は基準画像を記憶する。バーコード検出部３３は、レール１０に付されたバーコード２５を検出する。走行距離測定部は、バーコード２５からの走行距離を測定する。走行指示部は、走行距離が予め決められた距離となったときに、当該ＯＨＴ搬送台車１を停止させる。ＣＣＤカメラ２は、ＯＨＴ搬送台車１が停止したときに、レール１０を含む画像を撮像する。停止位置判定部は、基準画像記憶部から読み出した基準画像とＣＣＤカメラ２が撮像した画像とを比較し、これらの差異が基準値の範囲内であれば、目標停止位置に停止したと判定する。
【解決手段】軌道を走行して停止し、被搬送物を支給する、または被搬送物を引き取るＯＨＴ搬送台車１において、基準画像記憶部は基準画像を記憶する。バーコード検出部３３は、レール１０に付されたバーコード２５を検出する。走行距離測定部は、バーコード２５からの走行距離を測定する。走行指示部は、走行距離が予め決められた距離となったときに、当該ＯＨＴ搬送台車１を停止させる。ＣＣＤカメラ２は、ＯＨＴ搬送台車１が停止したときに、レール１０を含む画像を撮像する。停止位置判定部は、基準画像記憶部から読み出した基準画像とＣＣＤカメラ２が撮像した画像とを比較し、これらの差異が基準値の範囲内であれば、目標停止位置に停止したと判定する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送台車、停止位置判定方法およびプログラム、特に半導体製造工場などに設置され、軌道を走行する搬送台車が装置間やストッカ間の物品の搬送を行なう搬送システムにおける搬送台車、停止位置判定方法およびプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場では、ベイ内に軌道を敷設して無人搬送車により、装置間やストッカ間にウェハを収納したＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）などの物品の搬送を行う。図９は半導体製造工場ベイの一例である。搬送システム１０９の搬送ルートは工程間軌道１０３、工程内軌道１０４、分岐軌道１０７から構成され、工程間軌道１０３から分岐する分岐軌道１０７に隣接してストッカ１０６が設置される。ストッカ１０６は、天井部に敷設された軌道から吊り下がった状態で軌道を走行するＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）搬送台車１０１との間で、ＦＯＵＰ１３０の受渡しをポート１２３を介して行う。また工程内軌道１０４に隣接して半導体製造装置１０５が設置され、半導体製造装置１０５は、ＯＨＴ搬送台車１０１との間で、ＦＯＵＰ１３０の受渡しをポート１２４を介して行う。また分岐軌道１０７の直下に配置されるＯＨＢ（ＯｖｅｒＨｅａｄ Ｂｕｆｆｅｒ）１０８に対し、ＯＨＴ搬送台車１０１はＦＯＵＰ１３０を直接載置または摘出する。
【０００３】
ＯＨＴ搬送台車１０１がこれらポート１２３，１２４からＦＯＵＰ１３０を首尾よく摘出したり、搬送してきたＦＯＵＰ１３０をポート１２３，１２４に載置し、半導体製造装置１０５やポート１２４に確実に受け渡したりするためには、ＯＨＴ搬送台車１０１が各ポートにおいて所定の位置に正確に停止できなければならない。従来のＯＨＴ搬送台車１０１は、停止位置の確定を次のような方法により行なっている。
【０００４】
軌道上を走行しているＯＨＴ搬送台車１０１は、軌道上に設置されたバーコードなどを検出し、自己が内蔵する地図情報と照らし合わせ停止すべきポートであることを確認し、停止動作に入る。このときバーコードから停止位置までの距離、台車方向などポートヘの位置決めに必要な情報は予め全てメモリに記憶されているので、ＯＨＴ搬送台車１０１はこの情報に従って位置合わせし停止する。
バーコードからポートまでの位置合わせ情報をＯＨＴ搬送台車１０１に事前に登録させる作業を一般にテーチング作業と言うが、テーチング作業はマニュアル操作で実施されることが多く、特許文献１のように、一部自動化する技術も開示されている。
【０００５】
この特許文献１ではポートに目印を設置し、搬送台車に専用の特許発明に係る撮像装置を搭載させ、撮像した目印位置を基準にＯＨＴ搬送台車１の位置合わせを確定させることで正確な位置に停止させている。
また、特許文献２では、床面上を走行し、床面上に設置された目印を検出する搬送台車が記載されている。
【特許文献１】特開２００１−１６６８３０号公報
【特許文献２】特開平１１−１７５１４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の方式にあっては、ポート毎に目印を設置しているので、ポート位置の変更時には、目印を設置し直し、テーチング作業を実施せねばならない。このため、図９のＯＨＢ１０８のように装置台数が多いと、装置の設置位置変更を行なうときに多量の目印の設置し直しとテーチング作業とが必要となり、搬送システムの立上げ、搬送システムの変更時に多大な工数および時間が必要とされるという問題がある。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、搬送システムが多数の装置を含んでいても、装置の設置位置変更を行なったときの搬送システムの立上げ、搬送システムの変更時に要する工数および時間を抑制することができる搬送台車、停止位置判定方法およびプログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は上述した課題を解決するためになされたもので、本発明の搬送台車は、軌道を走行して停止し、被搬送物を支給する、または被搬送物を引き取る搬送台車において、基準画像を記憶する画像記憶手段と、前記軌道に付されたマークを検出するマーク検出手段と、前記マークからの走行距離を測定する走行距離測定手段と、前記走行距離測定手段が測定した走行距離が予め決められた距離となったときに、当該搬送台車を停止させる走行指示手段と、停止したときに、前記軌道を含む画像を撮像する撮像手段と、前記画像記憶手段から読み出した基準画像と前記撮像手段が撮像した画像とを比較し、これらの差異が基準値の範囲内であれば、目標停止位置に停止したと判定する停止位置判定手段とを具備することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の搬送台車は、上述のいずれかの搬送台車であって、前記走行距離測定手段は、エンコーダであることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の搬送台車は、上述のいずれかの搬送台車であって、前記撮像手段は、前記撮像した画像について、明度について２値化を行った画像を生成することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の搬送台車は、上述のいずれかの搬送台車であって、前記撮像手段は、当該搬送台車の進行方向に対して垂直な方向を撮像するように設置され、前記停止位置判定手段は、前記画像記憶手段から読み出した基準画像と前記撮像手段が撮像した画像との差異として、前記基準画像もしくは前記撮像した画像を進行方向に動かしたときに、これらの画像が一致するまでの移動量を検出し、該移動量が所定の範囲内であるときは、所定の停止位置に停止したと判定することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の停止位置判定方法は、軌道を走行して停止し、被搬送物を支給する、または被搬送物を引き取る搬送台車における停止位置判定方法において、前記搬送台車が、前記軌道に付されたマークを検出する第１の過程と、前記搬送台車が、前記マークからの走行距離を測定する第２の過程と、前記搬送台車が、前記第２の過程にて測定した走行距離が予め決められた距離となったときに、当該搬送台車を停止させる第３の過程と、前記搬送台車が、当該搬送台車が停止したときに、前記軌道を含む画像を撮像する第４の過程と、前記搬送台車が、画像記憶手段から読み出した基準画像と前記第４の過程にて撮像した画像とを比較し、これらの差異が基準値の範囲内であれば、目標停止位置に停止したと判定する第５の過程とを具備することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明のプログラムは、軌道を走行して停止し、被搬送物を支給する、または被搬送物を引き取る搬送台車が具備するコンピュータを、前記軌道に付されたマークを検出するマーク検出手段、前記マークからの走行距離を測定する走行距離測定手段、前記走行距離測定手段が測定した走行距離が予め決められた距離となったときに、当該搬送台車を停止させる走行指示手段、停止したときに、前記軌道を含む画像を撮像させる撮像手段、画像記憶手段から読み出した基準画像と前記撮像手段が撮像させた画像とを比較し、これらの差異が基準値の範囲内であれば、目標停止位置に停止したと判定する停止位置判定手段として機能させる。
【発明の効果】
【００１４】
この発明によれば、停止位置判定手段は、撮像手段が撮像した軌道を含む画像に基づいて停止位置を判定するので、停止位置判定のマークを設置する必要がなく、搬送台車により被搬送物を搬送する搬送システムの立上げおよび搬送システムの変更時に要する工数および時間を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。図１は半導体製造装置５のポート２４で移載動作を実施しているＯＨＴ搬送台車１、図２はＯＨＴ搬送台車１の走行部の上方斜視図、図３は本願発明によるＯＨＴ搬送台車１が具備するコンピュータ部４０のハード構成を示す概略ブロック図、図４は走行情報記憶部４３の記憶内容例、図５はコンピュータ部４０の機能構成を示す概略ブロック図、図６は位置合わせ手順のフローチャート、図７はＣＣＤカメラ２で撮像した画像による位置合わせ方法説明図である。
【００１６】
図１のＯＨＴ搬送台車１はポート２４に於いてＦＯＵＰ３０を移載中である。ＯＨＴ搬送台車１の走行部は天井２６より吊り部材２７により懸垂されるレール１０内部に配置される。
また、ＯＨＴ搬送台車１の走行部はレール１０の内側上面に設置される永久磁石とリニアモータを形成する１次側鉄心コイル１２、１次側電源供給線１４から非接触で電力を受ける２次側鉄心１３、レール１０の内側両側面に設けられた分岐ガイド１５に沿い、分岐部において分岐動作を行う分岐ローラ１６、レール１０の内側両側面にならい、ガイドするガイドローラ１８、および走行輪１７を具備する。またＯＨＴ搬送台車１の走行部には本願発明に係るＣＣＤカメラ２と照明８が設けられ、レール内面を撮影し、後述する画像処理により、ポートに於けるＯＨＴ搬送台車１の停止位置決めを行う。
【００１７】
ＯＨＴ搬送台車１は走行部以外に懸垂機構１９、懸垂ベルト２０、昇降体２１から構成され、昇降体２１の先端部にはグリッパ２２が設けられＦＯＵＰ３０をフランジ３１で把持する。また懸垂機構１９の上面にはバーコードリーダ３３が設置され、これと対向するレール面にはバーコード２５が設置される。
図１においてＯＨＴ搬送台車１は懸垂ベルト２０を繰出し伸張させ、ＦＯＵＰ３０を半導体製造装置５のポート２４に載置動作中である。
【００１８】
図２はＯＨＴ搬送台車１の走行部の斜視図でＣＣＤカメラ２と照明８の取付け状況が示されている。ＣＣＤカメラ２は、ＯＨＴ搬送台車１の進行方向に対して垂直な方向（例えば、水平方向）を向いて、レール１０の内部を撮像するように設置されている。
ＣＣＤカメラ２は慣用されるＣＣＤカメラであれば十分であるが、照明８の設置は必須要件ではなく、設置する場合はレール１０の内部の凹凸による紋様の発見が容易となるランプを用い、ＣＣＤカメラ２の撮像対象に光を照射する位置に設置する。
【００１９】
図３は、ＯＨＴ搬送台車１が具備するコンピュータ部４０のハード構成およびコンピュータ部４０と各部との関連を示す概略ブロック図である。コンピュータ部４０は、入出力部３６、走行制御部３７、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）３８、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）４１、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）４２、通信部４５を具備する。入出力部３６は、ＣＰＵ３８が、バーコードリーダ３３、走行距離センサ３４、ＣＣＤカメラ２、照明８、走行制御部３７の各部を制御するためのインターフェースである。走行制御部３７は、ＯＨＴ搬送台車１を走行および停止させる走行駆動機構３２を制御する。
【００２０】
ＣＰＵ３８は、ＲＯＭ４２に格納されたプログラムに従いＯＨＴ搬送台車１全体を制御する。ＣＰＵ３８がプログラムに従い行なう制御については、図５にて詳述する。ＲＡＭ４１は、ＣＰＵ３８のワークメモリとして動作する。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ３８を動作させるためのプログラムと、各停止位置に関する情報を格納した走行情報記憶部４３と、各停止位置を判定するための基準画像記憶部（画像記憶手段）４４とを備える。通信部４５は、この搬送システム全体を制御するＭＣＳ（Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｓｙｓｔｅｍ）４６と通信する。
【００２１】
図４は、各停止位置に関する情報の走行情報記憶部４３への格納例を示した図である。走行情報記憶部４３は、停止位置毎に、バーコード読取値、ポート番号、基準走行距離、撮像条件、基準画像ファイル名を、例えば、「０９３０２８３８９２」、「２１」、「３０３」、「照明有り」、「基準画像ファイルＦ１」というように対応付けて記憶する。
【００２２】
図５は、コンピュータ部４０の機能の構成を示す概略ブロック図である。ＣＰＵ３８がプログラムに従い行なう機能は、命令受信部５１、バーコード検出部５２、撮像部５３、走行指示部５４、走行距離測定部５５、停止位置判定部５６を備える。命令受信部５１は、ＭＣＳ４６と通信部４５を介して通信し、停止すべきポートのポート番号を受信するとともに、走行指示部５４に走行を指示する。バーコード検出部（マーク検出手段）５２は、命令受信部５１が受信したポート番号に対応するバーコード読取値を走行情報記憶部４３から取得し、ＯＨＴ搬送台車１が走行中に検出したバーコード２５（マーク）の読取値と、走行情報記憶部４３から取得したバーコード読取値とを比較し、一致しているか否かを判定する。
【００２３】
走行距離測定部（走行距離測定手段）５５は、バーコード検出部５２が一致していると判定したバーコード２５からの走行距離をエンコーダにて測定する。走行距離測定部５５は、命令受信部５１が受信したポート番号に対応する基準走行距離を走行情報記憶部４３から取得し、この基準走行距離とエンコーダにて測定した走行距離とが一致したら、走行指示部５４に停止を指示する。なお、本実施形態において、エンコーダは、走行輪１７の回転量を検出することで、ＯＨＴ搬送台車１の走行距離を測定する。撮像部（撮像手段）５３は、ＯＨＴ搬送台車１が停止すると、命令受信部５１が受信したポート番号に対応する撮像条件を取得し、取得した撮像条件に従い照明８を点灯させ、さらにＣＣＤカメラ２に撮像させた画像を取得する。次に、撮像部５３は、取得した画像の各画素の明度について、予め決められた閾値を超えているか否かに基づき２値化した画像を生成する。
【００２４】
停止位置判定部（停止位置判定手段）５６は、命令受信部５１が受信したポート番号に対応する基準画像ファイル名を取得し、このファイル名の基準画像を基準画像記憶部４４から取得する。さらに停止位置判定部５６は、取得した基準画像と撮像部５３が生成した画像とを比較し、これらの画像の水平方向、すなわちＯＨＴ搬送台車１の進行方向のずれを検出し、ずれの大きさが予め決められた閾値未満であれば、停止位置に停止したと判定する。ずれの大きさが閾値以上のときは、停止位置以外の位置に停止したと判定し、停止位置判定部５６は、ずれの向きに応じて、走行指示部５４に走行する向きと距離を指示する。走行指示部（走行指示手段）５４は、命令受信部５１からの走行指示や、走行距離測定部５５からの停止指示、停止位置判定部５６の走行する向きと距離との指示に従い、走行駆動機構３２を制御する。
【００２５】
図６は、ＯＨＴ搬送台車１のＣＣＤカメラ２による停止位置合わせの動作を説明するフローチャートである。ＭＣＳ４６の搬送命令“ポート番号「２２」で半導体製造装置からのＦＯＵＰ３０の引取”を通信部４５で受信した命令受信部５１は、走行指示部５４に指示して、走行駆動機構３２を作動させる。これにより、ＯＨＴ搬送台車１は、半導体製造装置の上流側から半導体製造装置のポート番号「２２」のポートに接近する（Ｓ１）。ＯＨＴ搬送台車１がポート番号「２２」のポートの手前でバーコード２５が敷設された軌道を通過すると、バーコードリーダ３３がこのバーコード２５を読取る。この読み取ったバーコード読取値を、入出力部３６を経由しバーコード検出部５２が取得する。バーコード検出部５２は、この取得したバーコード読取値と、走行情報記憶部４３に格納されたポート番号「２２」に対応するバーコード読取値とを比較し、一致しているか否かを判定する（Ｓ２）。
【００２６】
ステップＳ２にて、一致していないと判定したときは、ステップＳ１に戻って、そのまま走行を続けるが、一致していると判定したときは、バーコード検出部５２は、走行指示部５４に指示して、走行制御部３７を経由して走行駆動機構３２を負の加速度で減速させる。またこれと同時に、バーコード検出部５２は、走行距離測定部５５に走行距離の測定を指示する。この指示を受けた走行距離測定部５５が、走行距離センサ（エンコーダ）３４を作動させ、バーコード２５からの距離をカウントする（Ｓ３）。走行距離測定部５５は、測定した走行距離が走行情報記憶部４３から取得したポート番号「２２」に対応する走行距離と一致したときに（Ｓ４）、走行指示部５４に、走行制御部３７を介して走行駆動機構３２を停止させる（Ｓ５）。走行駆動機構３２が停止し、ＯＨＴ搬送台車１が停止すると、走行距離測定部５５は、撮像部５３に撮像を指示する。この指示を受けると、撮像部５３は、ポート番号「２２」に対応する撮像条件を走行情報記憶部４３から取得する、ここでは撮像条件が「照明あり」であったとすると、撮像部５３は、照明８を点燈させるとともに、ＣＣＤカメラ２にレール１０の内側を撮像させて、撮像画像を入出力部３６を経由して取得する（Ｓ６）。
【００２７】
撮像部５３は、撮像画像の明度について２値化処理を行う（Ｓ７）。このとき、２値化処理の閾値を走行情報記憶部４３の撮像条件に格納しておき、停止位置毎に異なる閾値を用いてもよい。２値化後の画像は図７（Ａ）に例示するようにレール１０の加工時などに生じた凹凸による紋様などの線Ｌ１および線Ｌ２がある。停止位置判定部５６は、これと基準画像記憶部４４に記憶された基準画像との一致度を比較する。撮像した画像を２値化することで、画像比較処理時間を短縮化することができる。停止位置判定部５６は、図７（Ｂ）の様に、撮像した画像の線Ｌ２と基準画像の線Ｌ４との位置ずれ寸法ΔＬ１を計算する（Ｓ８）。本実施形態では、ＣＣＤカメラ２はＯＨＴ搬送台車１の進行方向に対して垂直な方向を撮像するので、レール１０に対して常に垂直に保持され、位置ずれ寸法ΔＬは水平方向のずれのみの測寸となる。
【００２８】
図７（Ｃ）に示すように線Ｌ２と線Ｌ４との位置ずれ寸法ΔＬ２が予め決められた基準値未満の場合は、停止位置判定部５６は、ＯＨＴ搬送台車１が目標停止位置に停止していると判定して、ポート２４への位置決めが完了し、ＯＨＴ搬送台車１はＦＯＵＰ３０の移載作業を行なう（Ｓ１１）。図７（Ｂ）に示すように位置ずれ寸法ΔＬ１が上述の基準値以上の場合は、停止位置判定部５６は、寸法ΔＬ１に基づき移動量と向きとを計算し（Ｓ９）、走行指示部５４に該移動量と向きとを指示する。走行指示部５４は、この受けた指示に従い、走行駆動機構３２を駆動させて、ＯＨＴ搬送台車１を指示された移動量だけ指示された向きへ移動させる。移動後再度ステップＳ６に戻りステップＳ６〜Ｓ８の作業を再実施し、線Ｌ４と線Ｌ２との位置ずれ寸法を基準値未満に収束して位置決めが完了するまで繰り返す。
【００２９】
図８は、基準画像の基準画像記憶部４４への格納方法を説明するフローチャートである。ＯＨＴ搬送台車１をポートに指定したい任意の位置に停止させ、これを正規停止位置とする（Ｓ１０１）。次いでＯＨＴ搬送台車１が備え図示しない操作手段を介して、撮像部５３に撮像を指示する。撮像部５３は、撮像の指示を受けると、照明８を点燈させ（Ｓ１０２）、ＣＣＤカメラ２にレール１０の内側を撮像させ（Ｓ１０３）、撮像した画像を入出力部３６を経由して取込む。撮像部５３は、取り込んだ画像の明度を２値化処理する（Ｓ１０４）。２値化処理後の画像を基準画像として、撮像部５３は基準画像記憶部４４に格納する（Ｓ１０５）。このとき、ポート番号を操作手段から指定しておくと、撮像部５３は、走行情報記憶部４３の指定されたポート番号に対応する基準画像ファイル名に、格納した基準画像のファイル名を登録する。
なお、上述の操作手段をＯＨＴ搬送台車１ではなくＭＣＳ４６に設け、操作手段が受け付けた操作指示をＭＣＳ４６がＯＨＴ搬送台車１に送信し、この操作指示を通信部４５を介して撮像部５３が取得するようにしてもよい。
【００３０】
なお、本実施形態では、ＯＨＴ搬送台車１に設置するＣＣＤカメラ２は１台であるとして説明したが、１台に限定されず複数台設置してもよく、複数台のＣＣＤカメラを停止位置に応じて切替使用したり、複数台のカメラを全て同時に又は、任意の組合せで使用したりして撮像しても良い。
また、本実施形態では、ＣＣＤカメラ２はＯＨＴ搬送台車１の進行方向に対して垂直な方向を撮像するとして説明したが、撮像する向きは固定でなく、停止位置毎に軌道に対する角度を変更する、或いは、角度を変えて複数枚撮像してもよい。
【００３１】
また、ＣＣＤカメラ２にズーム機能を備え、ＣＣＤカメラ２のズーム機能を用いて撮像した拡大画像、ズーム機能を使用しない通常画像、或いはこれら画像を複数枚組み合わせてもよい。
また、撮像部５３が生成し、停止位置判定部５６が判定に用いる画像は、明度の２値化画像ではなく、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）データ、或いは、Ｃ（シアン），Ｍ（マゼンタ），Ｙ（イエロー）データ、或いは、明度、色相、彩度などの画像であってもよいし、これらのうちのいずれかの２値化画像であってもよい。
また、照明８を設置する場合、複数個の設置であってもよく、単色光の光源を用いる、あるいは、単色光を照射するように光源と光学フィルターとを組合わせたものを用いるようにしてもよい。これにより、外乱光の干渉を抑制し、レール１０内部の加工時などに生じた凹凸による紋様などが画像に含まれ易くなるという効果および撮像の度に異なる画像となることを抑制することができるという効果が得られる。
【００３２】
また、走行情報記憶部４３に基準値を各停止位置に対応付けて記憶しておき、目標停止位置に停止しているか否かの判定に停止位置判定部５６が用いる基準値に、この記憶している基準値を用いることで、停止位置毎に異なる基準値となるようにしてもよい。
また、走行情報記憶部４３に閾値を各停止位置に対応付けて記憶しておき、撮像した画像の明度について撮像部５３が２値化する際の閾値を、この記憶している閾値を用いることで、停止位置毎に異なる閾値となるようにしてもよい。
【００３３】
このように、停止位置であるポートの判定にレール１０内の画像を用いたので、レール上に特別な認識マーク等を設置する必要がなく、システムの立上げ、システムの変更時にマーク設置に係る工数を節減することができる。
また、マークが不要であるので、任意の場所をポートに指定でき、特別なテーチング作業が不要であるのでポートの設定、およびポートの位置変更が容易である。特にＯＨＢなどを用いており、ポート数が多いシステムや、ポート変更の起こり易いシステムでは、ポート設定、ポート位置修正、ポート位変更に要する工数の節減効果が大きい。
また、ＣＣＤカメラ２は、レール１０内部を撮像するように設置されているので、外乱光の影響を受け難く、一定の条件で撮像することができる。このため、撮像する度に異なる画像となり、停止位置を判定できないといった現象を抑えることができる。
【００３４】
また、図５における命令受信部５１、バーコード検出部５２、撮像部５３、走行指示部５４、走行距離測定部５５、停止位置判定部５６の機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより各部の処理を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。
【００３５】
また、「コンピュータシステム」は、ＷＷＷシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境（あるいは表示環境）も含むものとする。
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであっても良い。
【００３６】
以上、この発明の実施形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明は、半導体工場においてウェハを収納したＦＯＵＰなどの搬送を行なう搬送システムのＯＨＴ搬送台車に用いて好適であるが、これに限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】この発明の一実施形態によるＯＨＴ搬送台車１が軌道に組み込まれている様子を示す正面図である。
【図２】本実施形態におけるＯＨＴ搬送台車１の走行部の上方斜視図である。
【図３】本実施形態におけるＯＨＴ搬送台車１が具備するコンピュータ部４０のハード構成およびコンピュータ部４０と各部との関連を示す概略ブロック図である。
【図４】本実施形態における各停止位置に関する情報の走行情報記憶部４３への格納例を示した図である。
【図５】本実施形態におけるコンピュータ部４０の機能の構成を示す概略ブロック図である。
【図６】本実施形態におけるＯＨＴ搬送台車１のＣＣＤカメラ２による停止位置合わせの動作を説明するフローチャートである。
【図７】本実施形態における撮像部５３が２値化処理した画像の例を示す図である。
【図８】本実施形態における基準画像の基準画像記憶部４４への格納方法を説明するフローチャートである。
【図９】従来の搬送システム１０を示す上面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１…ＯＨＴ搬送台車
２…ＣＣＤカメラ
５…半導体製造装置
８…照明
１０…レール
１２…１次側鉄心コイル
１３…２次側鉄心
１４…１次側電源供給線
１５…分岐ガイド
１６…分岐ローラ
１７…走行輪
１８…ガイドローラ
１９…懸垂機構
２０…懸垂ベルト
２１…昇降体
２２…グリッパ
２４…ポート
２５…バーコード
２６…天井
２７…吊り部材
３０…ＦＯＵＰ
３１…フランジ
３２…走行駆動機構
３３…バーコードリーダ
３４…走行距離センサ
３６…入出力部
３７…走行制御部
３８…ＣＰＵ
４０…コンピュータ部
４１…ＲＡＭ
４２…ＲＯＭ
４３…走行情報記憶部
４４…基準画像記憶部
４５…通信部
４６…ＭＣＳ
５１…命令受信部
５２…バーコード検出部
５３…撮像部
５４…走行指示部
５５…走行距離測定部
５６…停止位置判定部
１０１…ＯＨＴ搬送台車
１０３…工程間軌道
１０４…工程内軌道
１０５…半導体製造装置
１０６…ストッカ
１０７…分岐軌道
１０８…ＯＨＢ
１０９…搬送システム
１２３、１２４…ポート
１３０…ＦＯＵＰ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送台車、停止位置判定方法およびプログラム、特に半導体製造工場などに設置され、軌道を走行する搬送台車が装置間やストッカ間の物品の搬送を行なう搬送システムにおける搬送台車、停止位置判定方法およびプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場では、ベイ内に軌道を敷設して無人搬送車により、装置間やストッカ間にウェハを収納したＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）などの物品の搬送を行う。図９は半導体製造工場ベイの一例である。搬送システム１０９の搬送ルートは工程間軌道１０３、工程内軌道１０４、分岐軌道１０７から構成され、工程間軌道１０３から分岐する分岐軌道１０７に隣接してストッカ１０６が設置される。ストッカ１０６は、天井部に敷設された軌道から吊り下がった状態で軌道を走行するＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）搬送台車１０１との間で、ＦＯＵＰ１３０の受渡しをポート１２３を介して行う。また工程内軌道１０４に隣接して半導体製造装置１０５が設置され、半導体製造装置１０５は、ＯＨＴ搬送台車１０１との間で、ＦＯＵＰ１３０の受渡しをポート１２４を介して行う。また分岐軌道１０７の直下に配置されるＯＨＢ（ＯｖｅｒＨｅａｄ Ｂｕｆｆｅｒ）１０８に対し、ＯＨＴ搬送台車１０１はＦＯＵＰ１３０を直接載置または摘出する。
【０００３】
ＯＨＴ搬送台車１０１がこれらポート１２３，１２４からＦＯＵＰ１３０を首尾よく摘出したり、搬送してきたＦＯＵＰ１３０をポート１２３，１２４に載置し、半導体製造装置１０５やポート１２４に確実に受け渡したりするためには、ＯＨＴ搬送台車１０１が各ポートにおいて所定の位置に正確に停止できなければならない。従来のＯＨＴ搬送台車１０１は、停止位置の確定を次のような方法により行なっている。
【０００４】
軌道上を走行しているＯＨＴ搬送台車１０１は、軌道上に設置されたバーコードなどを検出し、自己が内蔵する地図情報と照らし合わせ停止すべきポートであることを確認し、停止動作に入る。このときバーコードから停止位置までの距離、台車方向などポートヘの位置決めに必要な情報は予め全てメモリに記憶されているので、ＯＨＴ搬送台車１０１はこの情報に従って位置合わせし停止する。
バーコードからポートまでの位置合わせ情報をＯＨＴ搬送台車１０１に事前に登録させる作業を一般にテーチング作業と言うが、テーチング作業はマニュアル操作で実施されることが多く、特許文献１のように、一部自動化する技術も開示されている。
【０００５】
この特許文献１ではポートに目印を設置し、搬送台車に専用の特許発明に係る撮像装置を搭載させ、撮像した目印位置を基準にＯＨＴ搬送台車１の位置合わせを確定させることで正確な位置に停止させている。
また、特許文献２では、床面上を走行し、床面上に設置された目印を検出する搬送台車が記載されている。
【特許文献１】特開２００１−１６６８３０号公報
【特許文献２】特開平１１−１７５１４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の方式にあっては、ポート毎に目印を設置しているので、ポート位置の変更時には、目印を設置し直し、テーチング作業を実施せねばならない。このため、図９のＯＨＢ１０８のように装置台数が多いと、装置の設置位置変更を行なうときに多量の目印の設置し直しとテーチング作業とが必要となり、搬送システムの立上げ、搬送システムの変更時に多大な工数および時間が必要とされるという問題がある。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、搬送システムが多数の装置を含んでいても、装置の設置位置変更を行なったときの搬送システムの立上げ、搬送システムの変更時に要する工数および時間を抑制することができる搬送台車、停止位置判定方法およびプログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は上述した課題を解決するためになされたもので、本発明の搬送台車は、軌道を走行して停止し、被搬送物を支給する、または被搬送物を引き取る搬送台車において、基準画像を記憶する画像記憶手段と、前記軌道に付されたマークを検出するマーク検出手段と、前記マークからの走行距離を測定する走行距離測定手段と、前記走行距離測定手段が測定した走行距離が予め決められた距離となったときに、当該搬送台車を停止させる走行指示手段と、停止したときに、前記軌道を含む画像を撮像する撮像手段と、前記画像記憶手段から読み出した基準画像と前記撮像手段が撮像した画像とを比較し、これらの差異が基準値の範囲内であれば、目標停止位置に停止したと判定する停止位置判定手段とを具備することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の搬送台車は、上述のいずれかの搬送台車であって、前記走行距離測定手段は、エンコーダであることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の搬送台車は、上述のいずれかの搬送台車であって、前記撮像手段は、前記撮像した画像について、明度について２値化を行った画像を生成することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の搬送台車は、上述のいずれかの搬送台車であって、前記撮像手段は、当該搬送台車の進行方向に対して垂直な方向を撮像するように設置され、前記停止位置判定手段は、前記画像記憶手段から読み出した基準画像と前記撮像手段が撮像した画像との差異として、前記基準画像もしくは前記撮像した画像を進行方向に動かしたときに、これらの画像が一致するまでの移動量を検出し、該移動量が所定の範囲内であるときは、所定の停止位置に停止したと判定することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の停止位置判定方法は、軌道を走行して停止し、被搬送物を支給する、または被搬送物を引き取る搬送台車における停止位置判定方法において、前記搬送台車が、前記軌道に付されたマークを検出する第１の過程と、前記搬送台車が、前記マークからの走行距離を測定する第２の過程と、前記搬送台車が、前記第２の過程にて測定した走行距離が予め決められた距離となったときに、当該搬送台車を停止させる第３の過程と、前記搬送台車が、当該搬送台車が停止したときに、前記軌道を含む画像を撮像する第４の過程と、前記搬送台車が、画像記憶手段から読み出した基準画像と前記第４の過程にて撮像した画像とを比較し、これらの差異が基準値の範囲内であれば、目標停止位置に停止したと判定する第５の過程とを具備することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明のプログラムは、軌道を走行して停止し、被搬送物を支給する、または被搬送物を引き取る搬送台車が具備するコンピュータを、前記軌道に付されたマークを検出するマーク検出手段、前記マークからの走行距離を測定する走行距離測定手段、前記走行距離測定手段が測定した走行距離が予め決められた距離となったときに、当該搬送台車を停止させる走行指示手段、停止したときに、前記軌道を含む画像を撮像させる撮像手段、画像記憶手段から読み出した基準画像と前記撮像手段が撮像させた画像とを比較し、これらの差異が基準値の範囲内であれば、目標停止位置に停止したと判定する停止位置判定手段として機能させる。
【発明の効果】
【００１４】
この発明によれば、停止位置判定手段は、撮像手段が撮像した軌道を含む画像に基づいて停止位置を判定するので、停止位置判定のマークを設置する必要がなく、搬送台車により被搬送物を搬送する搬送システムの立上げおよび搬送システムの変更時に要する工数および時間を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。図１は半導体製造装置５のポート２４で移載動作を実施しているＯＨＴ搬送台車１、図２はＯＨＴ搬送台車１の走行部の上方斜視図、図３は本願発明によるＯＨＴ搬送台車１が具備するコンピュータ部４０のハード構成を示す概略ブロック図、図４は走行情報記憶部４３の記憶内容例、図５はコンピュータ部４０の機能構成を示す概略ブロック図、図６は位置合わせ手順のフローチャート、図７はＣＣＤカメラ２で撮像した画像による位置合わせ方法説明図である。
【００１６】
図１のＯＨＴ搬送台車１はポート２４に於いてＦＯＵＰ３０を移載中である。ＯＨＴ搬送台車１の走行部は天井２６より吊り部材２７により懸垂されるレール１０内部に配置される。
また、ＯＨＴ搬送台車１の走行部はレール１０の内側上面に設置される永久磁石とリニアモータを形成する１次側鉄心コイル１２、１次側電源供給線１４から非接触で電力を受ける２次側鉄心１３、レール１０の内側両側面に設けられた分岐ガイド１５に沿い、分岐部において分岐動作を行う分岐ローラ１６、レール１０の内側両側面にならい、ガイドするガイドローラ１８、および走行輪１７を具備する。またＯＨＴ搬送台車１の走行部には本願発明に係るＣＣＤカメラ２と照明８が設けられ、レール内面を撮影し、後述する画像処理により、ポートに於けるＯＨＴ搬送台車１の停止位置決めを行う。
【００１７】
ＯＨＴ搬送台車１は走行部以外に懸垂機構１９、懸垂ベルト２０、昇降体２１から構成され、昇降体２１の先端部にはグリッパ２２が設けられＦＯＵＰ３０をフランジ３１で把持する。また懸垂機構１９の上面にはバーコードリーダ３３が設置され、これと対向するレール面にはバーコード２５が設置される。
図１においてＯＨＴ搬送台車１は懸垂ベルト２０を繰出し伸張させ、ＦＯＵＰ３０を半導体製造装置５のポート２４に載置動作中である。
【００１８】
図２はＯＨＴ搬送台車１の走行部の斜視図でＣＣＤカメラ２と照明８の取付け状況が示されている。ＣＣＤカメラ２は、ＯＨＴ搬送台車１の進行方向に対して垂直な方向（例えば、水平方向）を向いて、レール１０の内部を撮像するように設置されている。
ＣＣＤカメラ２は慣用されるＣＣＤカメラであれば十分であるが、照明８の設置は必須要件ではなく、設置する場合はレール１０の内部の凹凸による紋様の発見が容易となるランプを用い、ＣＣＤカメラ２の撮像対象に光を照射する位置に設置する。
【００１９】
図３は、ＯＨＴ搬送台車１が具備するコンピュータ部４０のハード構成およびコンピュータ部４０と各部との関連を示す概略ブロック図である。コンピュータ部４０は、入出力部３６、走行制御部３７、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）３８、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）４１、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）４２、通信部４５を具備する。入出力部３６は、ＣＰＵ３８が、バーコードリーダ３３、走行距離センサ３４、ＣＣＤカメラ２、照明８、走行制御部３７の各部を制御するためのインターフェースである。走行制御部３７は、ＯＨＴ搬送台車１を走行および停止させる走行駆動機構３２を制御する。
【００２０】
ＣＰＵ３８は、ＲＯＭ４２に格納されたプログラムに従いＯＨＴ搬送台車１全体を制御する。ＣＰＵ３８がプログラムに従い行なう制御については、図５にて詳述する。ＲＡＭ４１は、ＣＰＵ３８のワークメモリとして動作する。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ３８を動作させるためのプログラムと、各停止位置に関する情報を格納した走行情報記憶部４３と、各停止位置を判定するための基準画像記憶部（画像記憶手段）４４とを備える。通信部４５は、この搬送システム全体を制御するＭＣＳ（Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｓｙｓｔｅｍ）４６と通信する。
【００２１】
図４は、各停止位置に関する情報の走行情報記憶部４３への格納例を示した図である。走行情報記憶部４３は、停止位置毎に、バーコード読取値、ポート番号、基準走行距離、撮像条件、基準画像ファイル名を、例えば、「０９３０２８３８９２」、「２１」、「３０３」、「照明有り」、「基準画像ファイルＦ１」というように対応付けて記憶する。
【００２２】
図５は、コンピュータ部４０の機能の構成を示す概略ブロック図である。ＣＰＵ３８がプログラムに従い行なう機能は、命令受信部５１、バーコード検出部５２、撮像部５３、走行指示部５４、走行距離測定部５５、停止位置判定部５６を備える。命令受信部５１は、ＭＣＳ４６と通信部４５を介して通信し、停止すべきポートのポート番号を受信するとともに、走行指示部５４に走行を指示する。バーコード検出部（マーク検出手段）５２は、命令受信部５１が受信したポート番号に対応するバーコード読取値を走行情報記憶部４３から取得し、ＯＨＴ搬送台車１が走行中に検出したバーコード２５（マーク）の読取値と、走行情報記憶部４３から取得したバーコード読取値とを比較し、一致しているか否かを判定する。
【００２３】
走行距離測定部（走行距離測定手段）５５は、バーコード検出部５２が一致していると判定したバーコード２５からの走行距離をエンコーダにて測定する。走行距離測定部５５は、命令受信部５１が受信したポート番号に対応する基準走行距離を走行情報記憶部４３から取得し、この基準走行距離とエンコーダにて測定した走行距離とが一致したら、走行指示部５４に停止を指示する。なお、本実施形態において、エンコーダは、走行輪１７の回転量を検出することで、ＯＨＴ搬送台車１の走行距離を測定する。撮像部（撮像手段）５３は、ＯＨＴ搬送台車１が停止すると、命令受信部５１が受信したポート番号に対応する撮像条件を取得し、取得した撮像条件に従い照明８を点灯させ、さらにＣＣＤカメラ２に撮像させた画像を取得する。次に、撮像部５３は、取得した画像の各画素の明度について、予め決められた閾値を超えているか否かに基づき２値化した画像を生成する。
【００２４】
停止位置判定部（停止位置判定手段）５６は、命令受信部５１が受信したポート番号に対応する基準画像ファイル名を取得し、このファイル名の基準画像を基準画像記憶部４４から取得する。さらに停止位置判定部５６は、取得した基準画像と撮像部５３が生成した画像とを比較し、これらの画像の水平方向、すなわちＯＨＴ搬送台車１の進行方向のずれを検出し、ずれの大きさが予め決められた閾値未満であれば、停止位置に停止したと判定する。ずれの大きさが閾値以上のときは、停止位置以外の位置に停止したと判定し、停止位置判定部５６は、ずれの向きに応じて、走行指示部５４に走行する向きと距離を指示する。走行指示部（走行指示手段）５４は、命令受信部５１からの走行指示や、走行距離測定部５５からの停止指示、停止位置判定部５６の走行する向きと距離との指示に従い、走行駆動機構３２を制御する。
【００２５】
図６は、ＯＨＴ搬送台車１のＣＣＤカメラ２による停止位置合わせの動作を説明するフローチャートである。ＭＣＳ４６の搬送命令“ポート番号「２２」で半導体製造装置からのＦＯＵＰ３０の引取”を通信部４５で受信した命令受信部５１は、走行指示部５４に指示して、走行駆動機構３２を作動させる。これにより、ＯＨＴ搬送台車１は、半導体製造装置の上流側から半導体製造装置のポート番号「２２」のポートに接近する（Ｓ１）。ＯＨＴ搬送台車１がポート番号「２２」のポートの手前でバーコード２５が敷設された軌道を通過すると、バーコードリーダ３３がこのバーコード２５を読取る。この読み取ったバーコード読取値を、入出力部３６を経由しバーコード検出部５２が取得する。バーコード検出部５２は、この取得したバーコード読取値と、走行情報記憶部４３に格納されたポート番号「２２」に対応するバーコード読取値とを比較し、一致しているか否かを判定する（Ｓ２）。
【００２６】
ステップＳ２にて、一致していないと判定したときは、ステップＳ１に戻って、そのまま走行を続けるが、一致していると判定したときは、バーコード検出部５２は、走行指示部５４に指示して、走行制御部３７を経由して走行駆動機構３２を負の加速度で減速させる。またこれと同時に、バーコード検出部５２は、走行距離測定部５５に走行距離の測定を指示する。この指示を受けた走行距離測定部５５が、走行距離センサ（エンコーダ）３４を作動させ、バーコード２５からの距離をカウントする（Ｓ３）。走行距離測定部５５は、測定した走行距離が走行情報記憶部４３から取得したポート番号「２２」に対応する走行距離と一致したときに（Ｓ４）、走行指示部５４に、走行制御部３７を介して走行駆動機構３２を停止させる（Ｓ５）。走行駆動機構３２が停止し、ＯＨＴ搬送台車１が停止すると、走行距離測定部５５は、撮像部５３に撮像を指示する。この指示を受けると、撮像部５３は、ポート番号「２２」に対応する撮像条件を走行情報記憶部４３から取得する、ここでは撮像条件が「照明あり」であったとすると、撮像部５３は、照明８を点燈させるとともに、ＣＣＤカメラ２にレール１０の内側を撮像させて、撮像画像を入出力部３６を経由して取得する（Ｓ６）。
【００２７】
撮像部５３は、撮像画像の明度について２値化処理を行う（Ｓ７）。このとき、２値化処理の閾値を走行情報記憶部４３の撮像条件に格納しておき、停止位置毎に異なる閾値を用いてもよい。２値化後の画像は図７（Ａ）に例示するようにレール１０の加工時などに生じた凹凸による紋様などの線Ｌ１および線Ｌ２がある。停止位置判定部５６は、これと基準画像記憶部４４に記憶された基準画像との一致度を比較する。撮像した画像を２値化することで、画像比較処理時間を短縮化することができる。停止位置判定部５６は、図７（Ｂ）の様に、撮像した画像の線Ｌ２と基準画像の線Ｌ４との位置ずれ寸法ΔＬ１を計算する（Ｓ８）。本実施形態では、ＣＣＤカメラ２はＯＨＴ搬送台車１の進行方向に対して垂直な方向を撮像するので、レール１０に対して常に垂直に保持され、位置ずれ寸法ΔＬは水平方向のずれのみの測寸となる。
【００２８】
図７（Ｃ）に示すように線Ｌ２と線Ｌ４との位置ずれ寸法ΔＬ２が予め決められた基準値未満の場合は、停止位置判定部５６は、ＯＨＴ搬送台車１が目標停止位置に停止していると判定して、ポート２４への位置決めが完了し、ＯＨＴ搬送台車１はＦＯＵＰ３０の移載作業を行なう（Ｓ１１）。図７（Ｂ）に示すように位置ずれ寸法ΔＬ１が上述の基準値以上の場合は、停止位置判定部５６は、寸法ΔＬ１に基づき移動量と向きとを計算し（Ｓ９）、走行指示部５４に該移動量と向きとを指示する。走行指示部５４は、この受けた指示に従い、走行駆動機構３２を駆動させて、ＯＨＴ搬送台車１を指示された移動量だけ指示された向きへ移動させる。移動後再度ステップＳ６に戻りステップＳ６〜Ｓ８の作業を再実施し、線Ｌ４と線Ｌ２との位置ずれ寸法を基準値未満に収束して位置決めが完了するまで繰り返す。
【００２９】
図８は、基準画像の基準画像記憶部４４への格納方法を説明するフローチャートである。ＯＨＴ搬送台車１をポートに指定したい任意の位置に停止させ、これを正規停止位置とする（Ｓ１０１）。次いでＯＨＴ搬送台車１が備え図示しない操作手段を介して、撮像部５３に撮像を指示する。撮像部５３は、撮像の指示を受けると、照明８を点燈させ（Ｓ１０２）、ＣＣＤカメラ２にレール１０の内側を撮像させ（Ｓ１０３）、撮像した画像を入出力部３６を経由して取込む。撮像部５３は、取り込んだ画像の明度を２値化処理する（Ｓ１０４）。２値化処理後の画像を基準画像として、撮像部５３は基準画像記憶部４４に格納する（Ｓ１０５）。このとき、ポート番号を操作手段から指定しておくと、撮像部５３は、走行情報記憶部４３の指定されたポート番号に対応する基準画像ファイル名に、格納した基準画像のファイル名を登録する。
なお、上述の操作手段をＯＨＴ搬送台車１ではなくＭＣＳ４６に設け、操作手段が受け付けた操作指示をＭＣＳ４６がＯＨＴ搬送台車１に送信し、この操作指示を通信部４５を介して撮像部５３が取得するようにしてもよい。
【００３０】
なお、本実施形態では、ＯＨＴ搬送台車１に設置するＣＣＤカメラ２は１台であるとして説明したが、１台に限定されず複数台設置してもよく、複数台のＣＣＤカメラを停止位置に応じて切替使用したり、複数台のカメラを全て同時に又は、任意の組合せで使用したりして撮像しても良い。
また、本実施形態では、ＣＣＤカメラ２はＯＨＴ搬送台車１の進行方向に対して垂直な方向を撮像するとして説明したが、撮像する向きは固定でなく、停止位置毎に軌道に対する角度を変更する、或いは、角度を変えて複数枚撮像してもよい。
【００３１】
また、ＣＣＤカメラ２にズーム機能を備え、ＣＣＤカメラ２のズーム機能を用いて撮像した拡大画像、ズーム機能を使用しない通常画像、或いはこれら画像を複数枚組み合わせてもよい。
また、撮像部５３が生成し、停止位置判定部５６が判定に用いる画像は、明度の２値化画像ではなく、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）データ、或いは、Ｃ（シアン），Ｍ（マゼンタ），Ｙ（イエロー）データ、或いは、明度、色相、彩度などの画像であってもよいし、これらのうちのいずれかの２値化画像であってもよい。
また、照明８を設置する場合、複数個の設置であってもよく、単色光の光源を用いる、あるいは、単色光を照射するように光源と光学フィルターとを組合わせたものを用いるようにしてもよい。これにより、外乱光の干渉を抑制し、レール１０内部の加工時などに生じた凹凸による紋様などが画像に含まれ易くなるという効果および撮像の度に異なる画像となることを抑制することができるという効果が得られる。
【００３２】
また、走行情報記憶部４３に基準値を各停止位置に対応付けて記憶しておき、目標停止位置に停止しているか否かの判定に停止位置判定部５６が用いる基準値に、この記憶している基準値を用いることで、停止位置毎に異なる基準値となるようにしてもよい。
また、走行情報記憶部４３に閾値を各停止位置に対応付けて記憶しておき、撮像した画像の明度について撮像部５３が２値化する際の閾値を、この記憶している閾値を用いることで、停止位置毎に異なる閾値となるようにしてもよい。
【００３３】
このように、停止位置であるポートの判定にレール１０内の画像を用いたので、レール上に特別な認識マーク等を設置する必要がなく、システムの立上げ、システムの変更時にマーク設置に係る工数を節減することができる。
また、マークが不要であるので、任意の場所をポートに指定でき、特別なテーチング作業が不要であるのでポートの設定、およびポートの位置変更が容易である。特にＯＨＢなどを用いており、ポート数が多いシステムや、ポート変更の起こり易いシステムでは、ポート設定、ポート位置修正、ポート位変更に要する工数の節減効果が大きい。
また、ＣＣＤカメラ２は、レール１０内部を撮像するように設置されているので、外乱光の影響を受け難く、一定の条件で撮像することができる。このため、撮像する度に異なる画像となり、停止位置を判定できないといった現象を抑えることができる。
【００３４】
また、図５における命令受信部５１、バーコード検出部５２、撮像部５３、走行指示部５４、走行距離測定部５５、停止位置判定部５６の機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより各部の処理を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。
【００３５】
また、「コンピュータシステム」は、ＷＷＷシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境（あるいは表示環境）も含むものとする。
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであっても良い。
【００３６】
以上、この発明の実施形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明は、半導体工場においてウェハを収納したＦＯＵＰなどの搬送を行なう搬送システムのＯＨＴ搬送台車に用いて好適であるが、これに限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】この発明の一実施形態によるＯＨＴ搬送台車１が軌道に組み込まれている様子を示す正面図である。
【図２】本実施形態におけるＯＨＴ搬送台車１の走行部の上方斜視図である。
【図３】本実施形態におけるＯＨＴ搬送台車１が具備するコンピュータ部４０のハード構成およびコンピュータ部４０と各部との関連を示す概略ブロック図である。
【図４】本実施形態における各停止位置に関する情報の走行情報記憶部４３への格納例を示した図である。
【図５】本実施形態におけるコンピュータ部４０の機能の構成を示す概略ブロック図である。
【図６】本実施形態におけるＯＨＴ搬送台車１のＣＣＤカメラ２による停止位置合わせの動作を説明するフローチャートである。
【図７】本実施形態における撮像部５３が２値化処理した画像の例を示す図である。
【図８】本実施形態における基準画像の基準画像記憶部４４への格納方法を説明するフローチャートである。
【図９】従来の搬送システム１０を示す上面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１…ＯＨＴ搬送台車
２…ＣＣＤカメラ
５…半導体製造装置
８…照明
１０…レール
１２…１次側鉄心コイル
１３…２次側鉄心
１４…１次側電源供給線
１５…分岐ガイド
１６…分岐ローラ
１７…走行輪
１８…ガイドローラ
１９…懸垂機構
２０…懸垂ベルト
２１…昇降体
２２…グリッパ
２４…ポート
２５…バーコード
２６…天井
２７…吊り部材
３０…ＦＯＵＰ
３１…フランジ
３２…走行駆動機構
３３…バーコードリーダ
３４…走行距離センサ
３６…入出力部
３７…走行制御部
３８…ＣＰＵ
４０…コンピュータ部
４１…ＲＡＭ
４２…ＲＯＭ
４３…走行情報記憶部
４４…基準画像記憶部
４５…通信部
４６…ＭＣＳ
５１…命令受信部
５２…バーコード検出部
５３…撮像部
５４…走行指示部
５５…走行距離測定部
５６…停止位置判定部
１０１…ＯＨＴ搬送台車
１０３…工程間軌道
１０４…工程内軌道
１０５…半導体製造装置
１０６…ストッカ
１０７…分岐軌道
１０８…ＯＨＢ
１０９…搬送システム
１２３、１２４…ポート
１３０…ＦＯＵＰ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道を走行して停止し、被搬送物を支給する、または被搬送物を引き取る搬送台車において、
基準画像を記憶する画像記憶手段と、
前記軌道に付されたマークを検出するマーク検出手段と、
前記マークからの走行距離を測定する走行距離測定手段と、
前記走行距離測定手段が測定した走行距離が予め決められた距離となったときに、当該搬送台車を停止させる走行指示手段と、
停止したときに、前記軌道を含む画像を撮像する撮像手段と、
前記画像記憶手段から読み出した基準画像と前記撮像手段が撮像した画像とを比較し、これらの差異が基準値の範囲内であれば、目標停止位置に停止したと判定する停止位置判定手段と
を具備することを特徴とする搬送台車。
【請求項２】
前記走行距離測定手段は、エンコーダであることを特徴とする請求項１に記載の搬送台車。
【請求項３】
前記撮像手段は、前記撮像した画像について、明度について２値化を行った画像を生成することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の搬送台車。
【請求項４】
前記撮像手段は、当該搬送台車の進行方向に対して鉛直な方向を撮像するように設置され、
前記停止位置判定手段は、前記画像記憶手段から読み出した基準画像と前記撮像手段が撮像した画像との差異として、前記基準画像もしくは前記撮像した画像を進行方向に動かしたときに、これらの画像が一致するまでの移動量を検出し、該移動量が所定の範囲内であるときは、所定の停止位置に停止したと判定すること
を特徴とする請求項１から請求項３のいずれかの項に記載の搬送台車。
【請求項５】
軌道を走行して停止し、被搬送物を支給する、または被搬送物を引き取る搬送台車における停止位置判定方法において、
前記搬送台車が、前記軌道に付されたマークを検出する第１の過程と、
前記搬送台車が、前記マークからの走行距離を測定する第２の過程と、
前記搬送台車が、前記第２の過程にて測定した走行距離が予め決められた距離となったときに、当該搬送台車を停止させる第３の過程と、
前記搬送台車が、当該搬送台車が停止したときに、前記軌道を含む画像を撮像する第４の過程と、
前記搬送台車が、画像記憶手段から読み出した基準画像と前記第４の過程にて撮像した画像とを比較し、これらの差異が基準値の範囲内であれば、目標停止位置に停止したと判定する第５の過程と
を具備することを特徴とする停止位置判定方法。
【請求項６】
軌道を走行して停止し、被搬送物を支給する、または被搬送物を引き取る搬送台車が具備するコンピュータを、
前記軌道に付されたマークを検出するマーク検出手段、
前記マークからの走行距離を測定する走行距離測定手段、
前記走行距離測定手段が測定した走行距離が予め決められた距離となったときに、当該搬送台車を停止させる走行指示手段、
停止したときに、前記軌道を含む画像を撮像させる撮像手段、
画像記憶手段から読み出した基準画像と前記撮像手段が撮像させた画像とを比較し、これらの差異が基準値の範囲内であれば、目標停止位置に停止したと判定する停止位置判定手段
として機能させるプログラム。
【請求項１】
軌道を走行して停止し、被搬送物を支給する、または被搬送物を引き取る搬送台車において、
基準画像を記憶する画像記憶手段と、
前記軌道に付されたマークを検出するマーク検出手段と、
前記マークからの走行距離を測定する走行距離測定手段と、
前記走行距離測定手段が測定した走行距離が予め決められた距離となったときに、当該搬送台車を停止させる走行指示手段と、
停止したときに、前記軌道を含む画像を撮像する撮像手段と、
前記画像記憶手段から読み出した基準画像と前記撮像手段が撮像した画像とを比較し、これらの差異が基準値の範囲内であれば、目標停止位置に停止したと判定する停止位置判定手段と
を具備することを特徴とする搬送台車。
【請求項２】
前記走行距離測定手段は、エンコーダであることを特徴とする請求項１に記載の搬送台車。
【請求項３】
前記撮像手段は、前記撮像した画像について、明度について２値化を行った画像を生成することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の搬送台車。
【請求項４】
前記撮像手段は、当該搬送台車の進行方向に対して鉛直な方向を撮像するように設置され、
前記停止位置判定手段は、前記画像記憶手段から読み出した基準画像と前記撮像手段が撮像した画像との差異として、前記基準画像もしくは前記撮像した画像を進行方向に動かしたときに、これらの画像が一致するまでの移動量を検出し、該移動量が所定の範囲内であるときは、所定の停止位置に停止したと判定すること
を特徴とする請求項１から請求項３のいずれかの項に記載の搬送台車。
【請求項５】
軌道を走行して停止し、被搬送物を支給する、または被搬送物を引き取る搬送台車における停止位置判定方法において、
前記搬送台車が、前記軌道に付されたマークを検出する第１の過程と、
前記搬送台車が、前記マークからの走行距離を測定する第２の過程と、
前記搬送台車が、前記第２の過程にて測定した走行距離が予め決められた距離となったときに、当該搬送台車を停止させる第３の過程と、
前記搬送台車が、当該搬送台車が停止したときに、前記軌道を含む画像を撮像する第４の過程と、
前記搬送台車が、画像記憶手段から読み出した基準画像と前記第４の過程にて撮像した画像とを比較し、これらの差異が基準値の範囲内であれば、目標停止位置に停止したと判定する第５の過程と
を具備することを特徴とする停止位置判定方法。
【請求項６】
軌道を走行して停止し、被搬送物を支給する、または被搬送物を引き取る搬送台車が具備するコンピュータを、
前記軌道に付されたマークを検出するマーク検出手段、
前記マークからの走行距離を測定する走行距離測定手段、
前記走行距離測定手段が測定した走行距離が予め決められた距離となったときに、当該搬送台車を停止させる走行指示手段、
停止したときに、前記軌道を含む画像を撮像させる撮像手段、
画像記憶手段から読み出した基準画像と前記撮像手段が撮像させた画像とを比較し、これらの差異が基準値の範囲内であれば、目標停止位置に停止したと判定する停止位置判定手段
として機能させるプログラム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２００８−１９７７０５（Ｐ２００８−１９７７０５Ａ）
【公開日】平成２０年８月２８日（２００８．８．２８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−２９１２０（Ｐ２００７−２９１２０）
【出願日】平成１９年２月８日（２００７．２．８）
【出願人】（３０２０５９２７４）アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 (146)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年８月２８日（２００８．８．２８）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年２月８日（２００７．２．８）
【出願人】（３０２０５９２７４）アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 (146)
【Ｆターム（参考）】
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