洗浄方法およびカラーフィルター製造装置
【課題】カラーフィルターの製造に用いる液滴吐出装置のインクの流路における汚れ、液滴吐出ヘッドの目詰まりを好適に解消することができる洗浄方法を提供すること。
【解決手段】本発明の洗浄方法は、液滴吐出装置の流路内のカラーフィルター用インクを洗浄液で置換するステップと、置換された洗浄液を被検査物上にドット列状に吐出するステップと、被検査物上に形成されたドット列の電子画像を取得するステップと、電子画像を画像処理することにより、ドット列に略平行な方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としたときの各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標を取得するステップと、各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標に基づいて最小二乗法により第１の基準直線を決定するステップと、第１の基準直線と各ドットの中心との距離を求めることにより、Ｙ軸方向への各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するステップとを備える。
【解決手段】本発明の洗浄方法は、液滴吐出装置の流路内のカラーフィルター用インクを洗浄液で置換するステップと、置換された洗浄液を被検査物上にドット列状に吐出するステップと、被検査物上に形成されたドット列の電子画像を取得するステップと、電子画像を画像処理することにより、ドット列に略平行な方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としたときの各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標を取得するステップと、各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標に基づいて最小二乗法により第１の基準直線を決定するステップと、第１の基準直線と各ドットの中心との距離を求めることにより、Ｙ軸方向への各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するステップとを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄方法およびカラーフィルター製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー表示を行う液晶表示装置（ＬＣＤ）等には、一般に、カラーフィルターが用いられている。
カラーフィルターは、従来、着色剤、感光性樹脂、官能性モノマー、重合開始剤等を含む材料（着色層形成用組成物）で構成された塗膜を基板上に形成し、その後、フォトマスクを介して光を照射する感光処理、現像処理等を行う、いわゆるフォトリソグラフィー法を用いて製造されてきた。このような方法では、通常、基板のほぼ全面に、各色に対応する塗膜を形成し、その一部のみを硬化させ、それ以外の大部分を除去するという操作を繰り返すことにより、各色が重なり合わないようにカラーフィルターを製造する。このため、カラーフィルターの製造の過程で形成される塗膜は、最終的に得られるカラーフィルターには、その一部のみが着色層として残存するのみで、その大部分が製造工程において除去されることとなる。このため、カラーフィルターの製造コストが上昇するばかりでなく、省資源の観点からも好ましくない。
一方、近年、インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）を用いて、カラーフィルターの着色層を形成する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。このような方法では、着色層形成用の材料（着色層形成用組成物）の無駄を少なくすることができるため、環境への負荷を低減することができ、また、製造コストも抑制することができる。
【０００３】
ところで、カラーフィルターの製造に用いる液滴吐出装置（産業用）は、プリンターに適用されるもの（民生用）とは全く異なるものであり、例えば、大量生産を行ったり、大型のワーク（基板）への液滴吐出に用いたりするため、大量の液滴を長時間にわたって吐出することが求められる。また、形成される着色層（着色部）の基板への密着性を優れたものとするために、カラーフィルターの製造に用いられるカラーフィルター用のインクは、一般に、樹脂材料（バインダー樹脂）を含んでおり、プリンターに適用されるもの（民生用）で用いるインクに比べて、粘度が高く、液滴吐出に伴う、液滴吐出装置（特に、ヘッド付近）への負荷が大きい。また、カラーフィルターの製造に用いる液滴吐出装置（産業用）では、インク中に含まれる成分（例えば、樹脂材料等）がインクの流路に付着することにより、液滴吐出ヘッドへのインクの供給が不安定になったり、液滴吐出ヘッドの吐出口の目詰まりが発生し、その結果、液滴の吐出量が不安定になったり、液滴の飛行曲がりが発生する等の問題を生じやすい。このため、例えば、液滴吐出装置のカラーフィルター用の基板（ワーク）のない部分で液滴を吐出することによる行う方法（フラッシング）や、吸引手段を用いて液滴吐出ヘッド内に溜まっているインクを強制的に吸引する方法により、液滴吐出ヘッドやインクの流路に存在する凝集物、付着物等を取り除き、インク等による汚れ、目詰まりの解消を行う。しかしながら、このような方法のみでは、十分に凝集物、付着物を取り除くことができず、再び液滴の吐出を行うと、残存した凝集物、付着物がヘッドに流れ込み、比較的短期間で、液滴の吐出量が不安定になったり、吐出口が再び目詰まりする問題があった。このような場合、液滴吐出ヘッドや他の部材を頻繁に交換する必要があり、カラーフィルターの生産性を極端に落とすものとなっていた。また、凝集物、付着物等を確実に取り除くために、強力な洗浄液で長時間処理することも考えられるが、このような方法では、洗浄に要する時間が必要以上に長くなり、カラーフィルターの生産性を著しく低下させてしまうとともに、液滴吐出装置へのダメージも大きくなり、液滴吐出装置の寿命を短縮してしまう結果となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−３７２６１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、カラーフィルターの製造に用いるカラーフィルター製造装置（液滴吐出装置）のインクの流路における汚れ、液滴吐出ヘッドの目詰まりを好適に解消することができる洗浄方法を提供すること、また、長期間にわたって、好適にカラーフィルターの製造に用いることのできるカラーフィルター製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の洗浄方法は、カラーフィルター用インクの吐出に用いられる液滴吐出装置の洗浄方法であって、
前記液滴吐出装置の流路内の前記カラーフィルター用インクを洗浄液で置換する洗浄液置換ステップと、
置換された前記洗浄液を被検査物上にドット列状に吐出する吐出ステップと、
前記被検査物上に形成されたドット列の電子画像を取得する画像取得ステップと、
前記電子画像を画像処理することにより、前記ドット列に略平行な方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としたときの各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標を取得するドット座標取得ステップと、
前記各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標に基づいて最小二乗法により第１の基準直線を決定する第１の基準直線決定ステップと、
前記第１の基準直線と前記各ドットの中心との距離を求めることにより、前記Ｙ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＹ軸方向ずれ量取得ステップとを備えることを特徴とする。
【０００７】
これにより、カラーフィルターの製造に用いるカラーフィルター製造装置（液滴吐出装置）のインクの流路における汚れ、液滴吐出ヘッドの目詰まりを好適に解消することができる洗浄方法を提供することができる。また、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出された洗浄液の液滴が被検査物に着弾して得られたドットの位置ずれ、特にドット列にほぼ直交する方向への位置ずれを、高価な装置や複雑な制御を必要とすることなく、簡単、迅速かつ正確に検出することができるため、液滴吐出装置による本来のカラーフィルターの製造以外の部分に要する時間、手間、費用を削減することができるので、本来のカラーフィルターの製造コストを低減することができる。
【０００８】
本発明の洗浄方法では、二次元直交座標上に、前記各ドットの中心のＸ座標を前記二次元直交座標の一方の座標軸方向の座標値とし、他方の座標軸方向の座標値を等間隔とした点群を想定する点群想定ステップと、
前記点群に対して最小二乗法により第２の基準直線を決定する第２の基準直線決定ステップと、
前記点群の各点と前記第２の基準直線との間の、前記一方の座標軸方向の距離を求めることにより、前記Ｘ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＸ軸方向ずれ量取得ステップとをさらに備えることが好ましい。
これにより、ドット列にほぼ平行な方向へのドットの位置ずれをさらに検出することができるので、より正確にドットの位置ずれを分析することができ、より適切な洗浄を行うことができる。
【０００９】
本発明の洗浄方法では、前記Ｘ軸方向ずれ量取得ステップで得られた、前記Ｘ軸方向への位置ずれ量が所定値を超える場合に、さらに、前記吐出ステップないし前記Ｘ軸方向ずれ量取得ステップを繰り返し行うことが好ましい。
これにより、必要十分な洗浄をより確実に行うことができ、製造されるカラーフィルターの信頼性、カラーフィルターの生産性等のさらなる向上を図ることができる。
【００１０】
本発明の洗浄方法では、前記Ｙ軸方向ずれ量取得ステップで得られた、前記Ｙ軸方向への位置ずれ量が所定値を超える場合に、さらに、前記吐出ステップないし前記Ｙ軸方向ずれ量取得ステップを繰り返し行うことが好ましい。
これにより、必要十分な洗浄をより確実に行うことができ、製造されるカラーフィルターの信頼性、カラーフィルターの生産性等のさらなる向上を図ることができる。
【００１１】
本発明の洗浄方法では、前記洗浄液は、下記式（１）で示される化合物Ａを含有するものであることが好ましい。
【化１】
【００１２】
これにより、カラーフィルター製造装置（液滴吐出装置）へのダメージをより好適に防止しつつ、短時間で効率よく洗浄することができる。また、電子画像をより正確に取得することができ、ドットの位置ずれ量に関する情報をより正確なものとして取得することができるため、より適切な洗浄を行うことができる。また、カラーフィルター用インクへの置換が容易であり、カラーフィルター用インクへの置換後にカラーフィルター用インクの流路内に洗浄液が残存することをより確実に防止することができるため、全体としてのカラーフィルターの生産性を特に優れたものとすることができるとともに、製造されるカラーフィルターの信頼性を特に優れたものとすることができる。
【００１３】
本発明の洗浄方法では、前記洗浄液は、下記式（２）で示される化合物Ｂを含有するものであることが好ましい。
【化２】
【００１４】
これにより、カラーフィルター製造装置（液滴吐出装置）へのダメージをより好適に防止しつつ、短時間で効率よく洗浄することができる。また、電子画像をより正確に取得することができ、ドットの位置ずれ量に関する情報をより正確なものとして取得することができるため、より適切な洗浄を行うことができる。また、カラーフィルター用インクへの置換が容易であり、カラーフィルター用インクへの置換後にカラーフィルター用インクの流路内に洗浄液が残存することをより確実に防止することができるため、全体としてのカラーフィルターの生産性を特に優れたものとすることができるとともに、製造されるカラーフィルターの信頼性を特に優れたものとすることができる。
【００１５】
本発明の洗浄方法では、前記洗浄液は、前記化合物Ｂに加え、前記カラーフィルター用インクを構成する溶媒成分をさらに含有するものであることが好ましい。
これにより、カラーフィルター製造装置（液滴吐出装置）へのダメージをより好適に防止することができるとともに、カラーフィルター用インクへの置換が容易であり、カラーフィルター用インクへの置換後にカラーフィルター用インクの流路内に洗浄液が残存することをより確実に防止することができるため、全体としてのカラーフィルターの生産性を特に優れたものとすることができるとともに、製造されるカラーフィルターの信頼性を特に優れたものとすることができる。
【００１６】
本発明の洗浄方法では、前記画像取得ステップにおいては、前記被検査物とカメラとの相対位置を前記ドット列に沿って変えながら複数の電子画像を撮影し、
前記ドット座標取得ステップにおいては、前記複数の電子画像の座標系を統合することにより、撮影した全ドットの座標を一つの座標系に統合することが好ましい。
これにより、撮影写野が限られるカメラを用いてドット列の電子画像を取得する場合であっても、長いドット列に対してドットの位置ずれを簡単かつ正確に検出することができる。
【００１７】
本発明の洗浄方法では、前記画像取得ステップにおいては、前記複数の電子画像を撮影する際、相隣接する二つの画像中に同一のドットが少なくとも一つ含まれるように撮影を行い、
前記ドット座標取得ステップにおいては、相隣接する二つの画像中に共通に含まれるドットの座標が同じになるようにして両画像の座標系を統合することにより、前記複数の電子画像の座標系を統合することが好ましい。
これにより、撮影写野が限られるカメラを用いてドット列の電子画像を取得する場合であっても、長いドット列に対してドットの位置ずれを簡単かつ正確に検出することができる。
【００１８】
本発明の洗浄方法では、前記ドット座標取得ステップにおいては、電子画像を撮影した光学系の収差に基づく歪を補正する処理を施すことが好ましい。
これにより、ドット列の電子画像に生じる収差（例えば糸巻き型歪曲収差、樽型歪曲収差等）に基づく歪が補正され、各ドットのより正確な座標が得られるので、ドットの位置ずれをより高精度に検出することができ、より適切な洗浄を行うことができる。
【００１９】
本発明のカラーフィルター製造装置は、カラーフィルターの製造に用いられるカラーフィルター製造装置であって、
カラーフィルター用インクが流通するインク流路と、
前記カラーフィルター用インクの液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記インク流路に供給される洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記液滴吐出ヘッドから前記洗浄液を被検査物上に吐出することにより形成されたドット列の電子画像を取得する画像取得手段と、
前記電子画像を画像処理することにより、前記ドット列に略平行な方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としたときの各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標を取得するドット座標取得手段と、
前記各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標に基づいて最小二乗法により第１の基準直線を決定する第１の基準直線決定手段と、
前記第１の基準直線と前記各ドットの中心との距離を求めることにより、前記Ｙ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＹ軸方向ずれ量取得手段とを備えることを特徴とする。
【００２０】
これにより、インクの流路における汚れ、液滴吐出ヘッドの目詰まりを好適に解消しつつ、長期間にわたって、好適にカラーフィルターの製造に用いることのできるカラーフィルター製造装置を提供することができる。また、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出された洗浄液の液滴が被検査物に着弾して得られたドットの位置ずれ、特にドット列にほぼ直交する方向への位置ずれを、高価な装置や複雑な制御を必要とすることなく、簡単、迅速かつ正確に検出することができるため、液滴吐出装置による本来のカラーフィルターの製造以外の部分に要する時間、手間、費用を削減することができるので、本来のカラーフィルターの製造コストを低減することができる。
【００２１】
本発明のカラーフィルター製造装置では、二次元直交座標上に、前記各ドットの中心のＸ座標を前記二次元直交座標の一方の座標軸方向の座標値とし、他方の座標軸方向の座標値を等間隔とした点群を想定する点群想定手段と、
前記点群に対して最小二乗法により第２の基準直線を決定する第２の基準直線決定手段と、
前記点群の各点と前記第２の基準直線との間の、前記一方の座標軸方向の距離を求めることにより、前記Ｘ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＸ軸方向ずれ量取得手段とをさらに備えることが好ましい。
これにより、ドット列にほぼ平行な方向へのドットの位置ずれをさらに検出することができるので、より正確にドットの位置ずれを分析することができ、より適切な洗浄を行いつつ、長期間にわたって安定的なカラーフィルターの製造を行うことができる。
【００２２】
本発明のカラーフィルター製造装置では、前記画像取得手段は、前記被検査物とカメラとの相対位置を前記ドット列に沿って変えながら複数の電子画像を撮影し、
前記ドット座標取得手段は、前記複数の電子画像の座標系を統合することにより、撮影した全ドットの座標を一つの座標系に統合することが好ましい。
これにより、撮影写野が限られるカメラを用いてドット列の電子画像を取得する場合であっても、長いドット列に対してドットの位置ずれを簡単かつ正確に検出することができる。
【００２３】
本発明のカラーフィルター製造装置では、前記画像取得手段は、前記複数の電子画像を撮影する際、相隣接する二つの画像中に同一のドットが少なくとも一つ含まれるように撮影を行い、
前記ドット座標取得手段は、相隣接する二つの画像中に共通に含まれるドットの座標が同じになるようにして両画像の座標系を統合することにより、前記複数の電子画像の座標系を統合することが好ましい。
これにより、撮影写野が限られるカメラを用いてドット列の電子画像を取得する場合であっても、長いドット列に対してドットの位置ずれを簡単かつ正確に検出することができる。
【００２４】
本発明のカラーフィルター製造装置では、前記ドット座標取得手段は、電子画像を撮影した光学系の収差に基づく歪を補正する処理を施すことが好ましい。
これにより、ドット列の電子画像に生じる収差（例えば糸巻き型歪曲収差、樽型歪曲収差等）に基づく歪が補正され、各ドットのより正確な座標が得られるので、ドットの位置ずれをより高精度に検出することができ、より適切な洗浄を行いつつ、長期間にわたって安定的なカラーフィルターの製造を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明のカラーフィルター製造装置を構成する液滴吐出装置の実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出手段をステージ側から観察した図である。
【図３】図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドの底面（ノズル面）を示す図である。
【図４】図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は断面斜視図、（ｂ）は断面図である。
【図５】本発明のカラーフィルター製造装置を構成するドットずれ検出装置の実施形態を示す平面図である。
【図６】図５のＡ−Ａ線に沿って見た断面図である。
【図７】図５に示すドットずれ検出装置のブロック図である。
【図８】被検査物上に形成されたドット列を示す平面図である。
【図９】本発明の洗浄方法を示すフローチャートである。
【図１０】画像取得ステップを説明するための図である。
【図１１】画像取得ステップを説明するための図である。
【図１２】ドット列の各ドットの中心の座標を示す図である。
【図１３】第１の基準直線を示す図である。
【図１４】Ｘ軸方向ずれ量を検出するための点群を示す図である。
【図１５】第２の基準直線を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
まず、本発明のカラーフィルター製造装置について説明する。
図１は、本発明のカラーフィルター製造装置を構成する液滴吐出装置の実施形態を示す斜視図、図２は、図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出手段をステージ側から観察した図、図３は、図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドの底面（ノズル面）を示す図、図４は、図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は断面斜視図、（ｂ）は断面図、図５は、本発明のカラーフィルター製造装置を構成するドットずれ検出装置の実施形態を示す平面図、図６は、図５のＡ−Ａ線に沿って見た断面図、図７は、図５に示すドットずれ検出装置のブロック図、図８は、被検査物上に形成されたドット列を示す平面図である。
【００２７】
本実施形態のカラーフィルター製造装置は、液滴吐出装置１００とドットずれ検出装置２００とを備えるものである。
液滴吐出装置１００は、チューブ１１０等のカラーフィルター用インク２が流通するインク流路と、カラーフィルター用インク２の液滴を吐出する液滴吐出ヘッド１１４と、インク流路に供給される洗浄液４を貯留する洗浄液貯留槽１３３とを備えるものである。
【００２８】
ドットずれ検出装置２００は、液滴吐出ヘッド１１４から洗浄液４を被検査物２２０上に吐出することにより形成されたドット列２２２の電子画像を取得する画像取得手段としてのカメラ２０３と、前記電子画像を画像処理することにより、ドット列２２２に略平行な方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としたときの各ドット２２１の中心のＸ座標およびＹ座標を取得するドット座標取得手段（画像処理手段２２３および制御手段２１０）と、前記各ドット２２１の中心のＸ座標およびＹ座標に基づいて最小二乗法により第１の基準直線を決定する第１の基準直線決定手段（制御手段２１０）と、前記第１の基準直線と前記各ドットの中心との距離を求めることにより、前記Ｙ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＹ軸方向ずれ量取得手段（制御手段２１０）とを備えるものである。
【００２９】
まず、液滴吐出装置１００の構成およびカラーフィルターの製造時（カラーフィルター用インク付与時）における液滴吐出装置１００の作動について詳細に説明する。
図１に示すように、液滴吐出装置１００は、カラーフィルター用インク２を保持するタンク１０１と、チューブ１１０と、チューブ１１０を介してタンク１０１からカラーフィルター用インク２が供給される吐出走査部１０２とを備える。吐出走査部１０２は、複数の液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）１１４をキャリッジ１０５に搭載してなる液滴吐出手段１０３と、液滴吐出手段１０３の位置を制御する第１位置制御装置１０４（移動手段）と、隔壁が形成された基板（以下、単に「基板」とも言う。）１１を保持するステージ１０６と、ステージ１０６の位置を制御する第２位置制御装置１０８（移動手段）と、制御手段１１２とを備えている。タンク１０１と、液滴吐出手段１０３における複数の液滴吐出ヘッド１１４とは、チューブ１１０で連結されており、タンク１０１から複数の液滴吐出ヘッド１１４のそれぞれにカラーフィルター用インク２が圧縮空気によって供給される。
【００３０】
第１位置制御装置１０４は、制御手段１１２からの信号に応じて、液滴吐出手段１０３をＸ軸方向、およびＸ軸方向に直交するＺ軸方向に沿って移動させる。さらに、第１位置制御装置１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りで液滴吐出手段１０３を回転させる機能も有する。本実施形態では、Ｚ軸方向は、鉛直方向（つまり重力加速度の方向）に平行な方向である。第２位置制御装置１０８は、制御手段１１２からの信号に応じて、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させる。さらに、第２位置制御装置１０８は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１０６を回転させる機能も有する。
ステージ１０６は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ１０６は、カラーフィルター用インク２を付与すべきセルを有する基板１１をその平面上に固定、または保持できるように構成されている。
【００３１】
上述のように、液滴吐出手段１０３は、第１位置制御装置１０４によってＸ軸方向に移動させられる。一方、ステージ１０６は、第２位置制御装置１０８によってＹ軸方向に移動させられる。つまり、第１位置制御装置１０４および第２位置制御装置１０８によって、ステージ１０６に対する液滴吐出ヘッド１１４の相対位置が変わる（ステージ１０６に保持された基板１１と、液滴吐出手段１０３とが相対的に移動する）。
制御手段１１２は、カラーフィルター用インク２を吐出すべき相対位置を表す吐出データを外部情報処理装置から受け取るように構成されている。
【００３２】
図２に示すように、液滴吐出手段１０３は、それぞれほぼ同じ構造を有する複数の液滴吐出ヘッド１１４と、これらの液滴吐出ヘッド１１４を保持するキャリッジ１０５とを有している。本実施形態では、液滴吐出手段１０３に保持される液滴吐出ヘッド１１４の数は８個である。それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、後述する複数のノズル１１８が設けられた底面を有している。それぞれの液滴吐出ヘッド１１４のこの底面の形状は、２つの長辺と２つの短辺とを有する多角形である。液滴吐出手段１０３に保持された液滴吐出ヘッド１１４の底面はステージ１０６側を向いており、さらに、液滴吐出ヘッド１１４の長辺方向と短辺方向とは、それぞれＸ軸方向とＹ軸方向とに平行である。
【００３３】
図３に示すように、液滴吐出ヘッド１１４は、Ｘ軸方向に並んだ複数のノズル１１８を所定のノズルピッチＳで一列または二列以上（図示では一列）に配置したノズル列１１６を有している。ノズルピッチＳの具体的な値は、特に限定されないが、例えば、５０μｍ以上９０μｍ以下とすることができる。
本実施形態の液滴吐出手段１０３では、基板１１のＸ軸方向の寸法分の長さ全体をカバーするように液滴吐出ヘッド１１４を配置しているが、本発明における液滴吐出手段は、基板１１のＸ軸方向の寸法分の長さの一部をカバーするようにものでもよい。
【００３４】
図４に示すように、それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、インクジェットヘッドである。より具体的には、それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給されるカラーフィルター用インク２が常に充填される液たまり１２９が位置している。
【００３５】
また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル１１８に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル１１８の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９からカラーフィルター用インク２が供給される。
【００３６】
また、ノズルプレート１２８のノズル１１８付近は、フッ化アルキル基を有するシリカ膜で表面付近が覆われている。これにより、ノズル１１８は、撥液性に優れたものとなり、インク２を特に好適にはじくことができる。特に、ノズルプレート１２８がこのようなシリカ膜を有することで、ノズル１１８付近での固形分の強固な付着を防ぐことができる。このため、確実に液滴吐出時の飛行曲がりの発生や、液滴量の変動、ノズル１１８の目詰まりを確実に防止することができ、極めて長期にわたって、カラーフィルター用インク２の液滴の吐出性を特に優れたものとすることができる。
【００３７】
振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとを含む。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル１１８からカラーフィルター用インク２が吐出される。なお、ノズル１１８からＺ軸方向にカラーフィルター用インク２が吐出されるように、ノズル１１８の形状が調整されている。
【００３８】
制御手段１１２（図１参照）は、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように構成されていてもよい。つまり、ノズル１１８から吐出されるカラーフィルター用インク２の体積が、制御手段１１２からの信号に応じてノズル１１８毎に制御されてもよい。また、制御手段１１２は、塗布走査の間に吐出動作を行うノズル１１８と、吐出動作を行わないノズル１１８とを設定することでもできる。
【００３９】
本明細書では、１つのノズル１１８と、ノズル１１８に対応するキャビティ１２０と、キャビティ１２０に対応する振動子１２４とを含んだ部分を「吐出部１２７」と表記することもある。この表記によれば、１つの液滴吐出ヘッド１１４は、ノズル１１８の数と同じ数の吐出部１２７を有する。
なお、図示の構成では、液滴吐出装置１００は、カラーフィルター用インク２を保持するタンク１０１、チューブ１１０等を１色分しか有していないが、これらの部材を、カラーフィルターが有する複数色の着色部に対応する複数色分有するものであってもよい。また、カラーフィルターの製造においては、複数色のカラーフィルター用インク２に対応する複数の液滴吐出装置１００を用いてもよい。
なお、本発明では、液滴吐出ヘッド１１４は、駆動素子として、ピエゾ素子の代わりに静電アクチュエータを用いるものでもよい。また、液滴吐出ヘッド１１４は、駆動素子として電気熱変換素子を用い、この電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用してカラーフィルター用インク２を吐出する構成であってもよい。
【００４０】
また、液滴吐出装置１００は、図１に示すようなインク貯留槽１３２および洗浄液貯留槽１３３を有するものである。インク貯留槽１３２には、カラーフィルター用インク２が貯留され、洗浄液貯留槽１３３には、洗浄液４が貯留されている。液滴吐出時においては、搬送路１３４によって、タンク１０１へ、カラーフィルター用インク２が搬送され、カラーフィルターの製造に用いられる。また、洗浄時においては、搬送路１３４によって、タンク１０１へ洗浄液４が搬送されてカラーフィルター用インク２と置換されて貯留され、貯留された洗浄液４をカラーフィルター用インク２の流路に沿って流すことにより、タンク１０１、チューブ１１０、液滴吐出手段１０３等にあるカラーフィルター用インク２の流路の洗浄が行われる。このようにインク貯留槽１３２および洗浄液貯留槽１３３を有することにより、より簡便かつ確実にインクの流路を洗浄することができる。また、洗浄後に、効率よくカラーフィルター用インク２を流すことができ、素早く洗浄液４をカラーフィルター用インク２に置換できる。結果として、液滴吐出装置１００を効率よく作動させることができ、カラーフィルターの生産性を優れたものとすることができる。
【００４１】
次に、カラーフィルター製造装置を構成するドットずれ検出装置について説明する。
図５に示すドットずれ検出装置２００は、液滴吐出装置１００の流路内のカラーフィルター用インク２を洗浄液４で置換した後に、液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）１１４のノズル１１８から吐出された洗浄液４の液滴が被検査物２２０に着弾して得られたドット２２１の位置ずれを検出するものである。このドットずれ検出装置２００によれば、液滴吐出ヘッド１１４に、洗浄液４の液滴の飛行曲がり等の吐出異常が生じているのを発見することができ、これにより、カラーフィルターの製造時におけるカラーフィルター用インク２の液滴吐出に異常が生じるか否かを判断することができ、これにより、適切な洗浄処理を施すことができるため、結果として、カラーフィルター製造装置１００（液滴吐出装置１００）によって製造されるカラーフィルターの歩留まりの向上に寄与することができる。また、本発明では、カラーフィルター用インクそのものにより形成されたドットの位置ずれを検出するのではなく、洗浄液のドットの位置ずれを検出する。これにより、例えば、以下のような効果が得られる。すなわち、洗浄処理を施し、流路内の洗浄液をカラーフィルター用インクで置換した後に、カラーフィルター用インクの吐出不良（許容範囲を超えたドットの位置ずれ等）を生じた場合には、再度、洗浄液で置換し、洗浄処理を施さなければならず、カラーフィルター用インク、洗浄液の無駄が多くなるとともに、その間カラーフィルターそのものの生産を中止することによるカラーフィルターの生産性が低下するという問題があった。このような問題を防止するために、十分な時間と十分な量の洗浄液を用いて洗浄処理を施すことも考えられるが、このような場合、上記と同様に、必要以上の時間、洗浄液を消費することなり、省資源、生産性の観点から好ましくないばかりでなく、液滴吐出装置に対し、必要以上のダメージを与える結果となる。これに対し、本発明では、カラーフィルター用インクそのものにより形成されたドットの位置ずれを検出するのではなく、洗浄液のドットの位置ずれを検出するため、必要十分な洗浄処理を施すことができ、上記のような問題の発生を防止することができる。
【００４２】
図５に示すように、このドットずれ検出装置２００は、平板状またはシート状の被検査物２２０を保持する検査テーブル２０２と、検査テーブル２０２の上方に水平方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向）および上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能に設けられたカメラ２０３と、カメラ２０３を水平方向および上下方向に移動させる移動手段２０４とを備えている。
この場合、図５中の左右方向（図６の紙面に垂直な方向）をＸ軸方向、図５中の上下方向（図６中の左右方向）をＹ軸方向、図５の紙面に垂直な方向（図６中の上下方向）をＺ軸方向としている。
【００４３】
被検査物２２０としては、例えば、ガラス基板、金属板、合成樹脂シート、紙等を用いることができるが、写真用印画紙（例えば、ピクトリコプロ・ホワイトフィルム（株式会社ピクトリコ製））を用いるのが好ましい。これにより、電子画像をより正確に取得することができ、ドットの位置ずれ量に関する情報をより正確なものとして取得することができるため、より適切な洗浄を行うことができる。
【００４４】
検査テーブル２０２は、基台（図示せず）の上部に固定されるものであって、上面側に水平の保持面２０２ａを有し、この保持面２０２ａの上部に被検査物２２０が真空吸着等の保持手段によって保持されるようになっている。
カメラ２０３は、例えばＣＣＤあるいはＣＭＯＳセンサー等の固体撮像素子と、カメラレンズとを有している。このカメラ２０３は、被検査物２２０上の複数のドット２２１を含む領域の電子画像を撮像する。
【００４５】
移動手段２０４は、カメラ２０３を支持する支持板２０５と、支持板２０５を介してカメラ２０３をＺ軸方向に移動可能かつ所定の位置に位置決め可能に支持するＺ軸方向移動手段２０６と、Ｚ軸方向移動手段２０６および支持板２０５を介してカメラ２０３をＸ軸方向に移動可能かつ所定の位置に位置決め可能に支持するＸ軸方向移動手段２０７と、Ｘ軸方向移動手段２０７、Ｚ軸方向移動手段２０６および支持板２０５を介してカメラ２０３をＹ軸方向に移動可能かつ所定の位置に位置決め可能に支持するＹ軸方向移動手段２０８とを備えている。
【００４６】
移動手段２０４のＸ軸方向移動手段２０７およびＹ軸方向移動手段２０８は、カメラ２０３が検査テーブル２０２のＸ軸方向の全長およびＹ軸方向の全長を移動し、検査テーブル２０２上に位置した被検査物２２０上の全てのドット２２１を捉えられるように、移動範囲が設定されている。
Ｘ軸方向移動手段２０７およびＹ軸方向移動手段２０８としては、例えばリニアモータ等を用いた構成が挙げられ、Ｚ軸方向移動手段２０６としては、例えば送りねじ機構を用いた構成が挙げられる。ただし、これに限定されることなく、同様の機能を有するものであれば他のいかなるものでも良い。
【００４７】
図７に示すように、ドットずれ検出装置２００は、さらに、画像処理手段２２３と、出力手段としてのディスプレイ２２４および外部記憶装置２２５とを有している。
画像処理手段２２３は、カメラ２０３により撮像されたドット列２２２の電子画像を画像処理することにより、各ドット２２１の座標を取得したり、各ドット２２１の面積を測定したりする機能を有している。
【００４８】
ディスプレイ２２４は、例えばＣＲＴ（Cathode-Ray Tube）、液晶ディスプレイなどで構成されており、例えば操作画面、データ入力画面、カメラ２０３により撮像されたドット列２２２の画像、ドットずれ検出結果等を表示することができる。
外部記憶装置２２５は、例えばＦＤＤ（Floppy Disk Drive（「Floppy」は登録商標））などで構成されている。
【００４９】
制御手段２１０は、移動手段２０４、画像処理手段２２３およびディスプレイ２２４をそれぞれ制御する。この制御手段２１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）２１０１と、記憶部（記憶手段）２１０２とを有している。記憶部２１０２は、ＣＰＵ２１０１に読み取り可能な記憶媒体（記録媒体）を有しており、この記憶媒体は、磁気的、光学的記録媒体、もしくは半導体メモリ等で構成されている。
【００５０】
図８に示すように、被検査物２２０上には、液滴吐出装置１００を用いて、洗浄液４の液滴が吐出され、液滴吐出ヘッド１１４の各ノズル１１８から吐出された各液滴が着弾してなるドット２２１が被検査物２２０上に並び、ドット列２２２を形成している。
なお、図８中に示される１１個のドット２２１は、ドット列２２２の一部であり、ドット列２２２は、さらに長く連なっている。
【００５１】
被検査物２２０上に洗浄液４の液滴を吐出する液滴吐出装置１００において、ノズル列１１６が傾斜しないような姿勢で液滴吐出ヘッド１１４が設置されており、全ノズル１１８から同時に洗浄液４の液滴を吐出してドット列２２２を形成した場合には、ドット列２２２におけるドット間隔の正規値は、ノズルピッチＳに等しくなる。
これに対し、ノズル列１１６を傾斜させた姿勢で液滴吐出ヘッド１１４が設置されており、液滴吐出ヘッド１１４を走査しつつ各ノズル１１８から時間差をおいて洗浄液４の液滴を吐出することによりドット列２２２を形成した場合には、ドット列２２２におけるドット間隔の正規値は、ノズル列１１６の傾斜角度をθとして、Ｓcosθとなる。
本実施形態では、ドット列２２２におけるドット間隔の正規値は、ノズルピッチＳに等しいものとする。
【００５２】
図９は、本発明の洗浄方法を示すフローチャート、図１０は、画像取得ステップを説明するための図、図１１は、画像取得ステップを説明するための図、図１２は、ドット列の各ドットの中心の座標を示す図、図１３は、第１の基準直線を示す図、図１４は、Ｘ軸方向ずれ量を検出するための点群を示す図、図１５は、第２の基準直線を示す図である。
以下、上述した液滴吐出装置１００およびドットずれ検出装置２００を備えたカラーフィルター製造装置により実施される洗浄方法の各ステップを順次説明する。
【００５３】
［１］洗浄液置換ステップ
まず、液滴吐出装置１００内のカラーフィルター用インク２の流路中のカラーフィルター用インク２を洗浄液４で置換する。
なお、この際、カラーフィルター用インク２から洗浄液４への置換は、直接行うものであってもよいが、例えば、一旦、カラーフィルター用インク２を他の液体（例えば、カラーフィルター用インク２を構成する溶媒、分散媒成分と同一の成分を含む液体）で置換し、その後、当該液体を洗浄液４で置換してもよい。これにより、流路内に残存するカラーフィルター用インク２が洗浄液４と接触することによるショックで、カラーフィルター用インクに溶解または分散していた固形分が析出する等の弊害をより確実に防止することができる。
また、加熱した洗浄液４を導入してもよいし、流路に洗浄液４を導入した後に洗浄液４を加熱してもよい。また、洗浄液４で置換された流路に超音波振動等の振動処理を施してもよい。これにより、流路に付着した汚れをより除去しやすくなる。
洗浄液は、下記式（１）で示される化合物Ａを含有するものであるのが好ましい。
【００５４】
【化３】
【００５５】
化合物Ａは、粘度がインクよりも低く表面張力がインクと同じ程度である異物の洗浄性が高い化合物である。これにより、カラーフィルター製造装置（液滴吐出装置１００）へのダメージをより好適に防止しつつ、短時間で効率よく洗浄することができる。また、インクで用いる電圧などの条件を大きく変えることなく、インクジェットヘッドから吐出することが可能であるため、電子画像をより正確に取得することができ、ドット２２１の位置ずれ量に関する情報をよりインクに近い正確なものとして取得することができるため、より適切な洗浄を行うことができる。また、カラーフィルター用インク２への置換が容易であり、カラーフィルター用インク２への置換後にカラーフィルター用インク２の流路内に洗浄液４が残存することをより確実に防止することができるため、全体としてのカラーフィルターの生産性を特に優れたものとすることができるとともに、製造されるカラーフィルターの信頼性を特に優れたものとすることができる。
また、洗浄液は、下記式（２）で示される化合物Ｂを含有するものであってもよい。
【００５６】
【化４】
【００５７】
これにより、カラーフィルター製造装置（液滴吐出装置１００）へのダメージをより好適に防止しつつ、短時間で効率よく洗浄することができる。また、電子画像をより正確に取得することができ、ドット２２１の位置ずれ量に関する情報をより正確なものとして取得することができるため、より適切な洗浄を行うことができる。また、カラーフィルター用インク２への置換が容易であり、カラーフィルター用インク２への置換後にカラーフィルター用インク２の流路内に洗浄液４が残存することをより確実に防止することができるため、全体としてのカラーフィルターの生産性を特に優れたものとすることができるとともに、製造されるカラーフィルターの信頼性を特に優れたものとすることができる。
【００５８】
また、洗浄液４が化合物Ｂを含むものである場合、カラーフィルター用インクを構成する溶媒成分をさらに含有するのが好ましい。これにより、カラーフィルター製造装置（液滴吐出装置１００）へのダメージをより好適に防止することができるとともに、表面張力がカラーフィルター用インク２と近いことによりカラーフィルター用インク２への置換が容易であり、カラーフィルター用インク２への置換後にカラーフィルター用インク２の流路内に洗浄液が残存することをより確実に防止することができるため、全体としてのカラーフィルターの生産性を特に優れたものとすることができるとともに、製造されるカラーフィルターの信頼性を特に優れたものとすることができる。
【００５９】
［２］吐出ステップ
次に、上述したカラーフィルター用インク２の基板１１に対する液滴吐出と同様にして、液滴吐出装置１００の液滴吐出ヘッド１１４から、置換された洗浄液４を、被検査物２２０に吐出し、ドット列２２２を形成する。
【００６０】
［３］画像取得ステップ
画像取得ステップでは、ドットずれ検出装置２００が、被検査物２２０上に形成されたドット列２２２の電子画像を取得する。この際、カメラ２０３が画像取得手段として機能する。この画像取得ステップにおいては、ドット列２２２がＸ軸方向にほぼ平行となるような姿勢で、被検査物２２０を検査テーブル２０２上に保持する。そして、移動手段２０４のＸ軸方向移動手段２０７およびＹ軸方向移動手段２０８を駆動させて、カメラ２０３を被検査物２２０上のドット列２２２の上方に位置決めし、Ｚ軸方向移動手段２０６を駆動させてカメラ２０３を垂直方向に移動させ、カメラ２０３の焦点を被検査物２２０上のドット列２２２に合わせ、焦点が合った位置にカメラ２０３を固定する。
【００６１】
図１０に示すように、本実施形態では、カメラ２０３の撮影写野２３０には、５個のドット２２１までしか入らない。そこで、ドット列２２２全体の電子画像を得るために、Ｘ軸方向移動手段２０７を作動してカメラ２０３をＸ軸方向に移動することにより、被検査物２２０とカメラ２０３との相対位置をドット列２２２に沿って変えながら複数回の撮影を行う。１回目（１枚目）の撮影では、図中の左から５個目までのドット２２１を撮影する。
【００６２】
次いで、カメラ２０３をドット列２２２に沿ってドット間隔の４倍、すなわち、ノズルピッチＳの４倍の距離だけＸ軸方向（図中右方向）に移動させて、２回目の撮影を行う。これにより、図１１に示すように、カメラ２０３の撮影写野２３０には、図中の左から５〜９個目の５個のドット２２１が入る。すなわち、図中ａで示す左から５個目のドット２２１は、１回目に撮影した画像と、２回目に撮影した画像との両方に含まれる。
【００６３】
同様にして、カメラ２０３をドット列２２２に沿って移動させながら、３回目以降の撮影を行い、ドット列２２２全体を撮影できるまで、撮影を繰り返す。この際、相隣接する二つの画像中に同一のドット２２１が一つ含まれるように撮影を行う。なお、本発明では、相隣接する二つの画像中に同一のドットが二つ以上含まれるように撮影を行ってもよい。
このようにしてカメラ２０３により撮像された複数枚の電子画像の画像データは、画像処理手段２２３が備える記憶部２２３１に取り込まれる。
【００６４】
［４］ドット座標取得ステップ
ドット座標取得ステップにおいては、画像処理手段２２３は、カメラ２０３により撮像された各電子画像を画像処理することにより、各ドット２２１の中心２２１１を求め、各ドット２２１の中心２２１１のＸ座標およびＹ座標を決定する。
次いで、カメラ２０３のレンズ等の光学系の収差（例えば糸巻き型歪曲収差、樽型歪曲収差等）に基づく歪を補正する処理を施す。この処理は、公知の方法により行うことができるが、例えば、カメラ２０３を用いて予め規則正しいパターンの被写体を撮影しておき、その撮影画像の歪を正しい座標に変換するための補正量を把握したデータ（データテーブルまたは演算式）を用意しておき、そのデータに照らし合わせて各ドット２２１の中心２２１１の座標を正しい座標に変換することにより、行えばよい。
【００６５】
このように、カメラ２０３の収差に基づく歪を補正する処理を施すことにより、ドット２２１の位置ずれをより高精度に検出することができる。その結果、より適切な洗浄を行いつつ、長期間にわたって安定的なカラーフィルターの製造を行うことができる。なお、カメラ２０３の収差に基づく歪が小さく、誤差が少ないときは、この補正処理を行わなくてもよい。
【００６６】
各画像について各ドット２２１の中心２２１１のＸ座標およびＹ座標を決定したら、複数の画像の座標系を統合することにより、撮影した全ドット２２１の座標を一つの座標系に統合する。この座標系の統合は、相隣接する二つの画像中に共通に含まれるドット２２１の座標が同じになるような座標変換を施すことによって行うことができる。例えば、１枚目の撮影画像（図１０）と２枚目の撮影画像（図１１）の座標系を統合する場合には、両画像に共通に含まれる図中ａで示すドット２２１の中心２２１１の座標が同じになるように座標変換をすればよい。
【００６７】
これにより、図１２に示すように、ドット列２２２の全ドット２２１の中心２２１１の座標を一つのＸＹ座標系に統合することができる。以下の説明では、このようにして統合された座標系における、図中で左からｉ番目にあるドット２２１の中心２２１１の座標を（ｘｉ，ｙｉ）と表す。
なお、ドットずれ検出装置２００では、画像処理手段２２３および制御手段２１０が、以上説明したドット座標取得ステップを実行するドット座標取得手段として機能する。
【００６８】
上記のように、本実施形態では、画像取得ステップにおいて、画像取得手段が、被検査物とカメラ２０３との相対位置をドット列２２２に沿って変えながら複数の電子画像を撮影するとともに、ドット座標取得ステップにおいて、ドット座標取得手段が、複数の電子画像の座標系を統合して、撮影した全ドットの座標を一つの座標系に統合する。これにより、撮影写野が限られるカメラ２０３を用いてドット列２２２の電子画像を取得する場合であっても、長いドット列２２２に対してドット２２１の位置ずれを簡単かつ正確に検出することができる。
【００６９】
また、上記のように、本実施形態では、画像取得ステップにおいて、画像取得手段が、複数の電子画像を撮影する際、相隣接する二つの画像中に同一のドット２２１が少なくとも一つ含まれるように撮影を行い、ドット座標取得ステップにおいて、ドット座標取得手段が、相隣接する二つの画像中に共通に含まれるドット２２１の座標が同じになるようにして両画像の座標系を統合することにより、複数の電子画像の座標系を統合する。これにより、撮影写野が限られるカメラを用いてドット列２２２の電子画像を取得する場合であっても、長いドット列２２２に対してドット２２１の位置ずれを簡単かつ正確に検出することができる。
【００７０】
［５］第１の基準直線決定ステップ
各ドット２２１の中心のＸ座標およびＹ座標（ｘｉ，ｙｉ）が得られたら、これらの座標に基づいて、最小二乗法により第１の基準直線２２６を決定する。第１の基準直線２２６は、その方程式をＹ＝ＡＸ＋Ｂとしたとき、定数ＡおよびＢを図１３に示す数式によって算出することによって得られる。なお、式中、ｎはドット２２１の数である。
なお、ドットずれ検出装置２００では、制御手段２１０が、以上説明した第１の基準直線決定ステップを実行する第１の基準直線決定手段として機能する。
【００７１】
［６］Ｙ軸方向ずれ量取得ステップ
第１の基準直線２２６は、ドット列２２２の全ドット２２１の座標を総合して決定されたものであるので、全ドット２２１が位置ずれなく正確な位置に着弾したと仮定した場合に各ドット２２１を通る直線にほぼ一致し、よって、ドット列２２２の正規な位置を表す直線であると捉えることができる。
よって、第１の基準直線２２６と各ドット２２１の中心２２１１との距離が、各ドット２２１のＹ軸方向への位置ずれ量を表すものであると言うことができる。そこで、各ドット２２１の中心２２１１について、第１の基準直線２２６との距離を算出することにより、各ドット２２１のＹ軸方向への位置ずれ量を取得する。
【００７２】
図１３に示すように、本実施形態では、図中左から３個目のドット２２１のＹ軸方向の位置ずれ量がΔｙ３であり、図中左から７個目のドット２２１のＹ軸方向の位置ずれ量がΔｙ７であることを検出することができ、さらに、他のドット２２１については、Ｙ軸方向の位置ずれがほぼなく、Ｙ軸方向の位置がほぼ正確であることを検出することができる。
なお、ドットずれ検出装置２００では、制御手段２１０が、以上説明したＹ軸方向ずれ量取得ステップを実行するＹ軸方向ずれ量取得手段として機能する。
【００７３】
［７］点群想定ステップ
次いで、各ドット２２１のＸ軸方向の位置ずれ量を求めるために、図１４に示すような二次元直交座標を想定する。この座標上に、各ドット２２１の中心２２１１のＸ座標（ｘｉ）を縦軸の座標値とし、横軸の座標値が等間隔になるような複数の点２２７からなる点群２２８を想定する。すなわち、点２２７の数は、ドット２２１と同数である。各点２２７の横軸の座標値は、等間隔になっていればよいが、図１４に示す例では、１、２、３、・・・としている。
なお、ドットずれ検出装置２００では、制御手段２１０が、以上説明した点群想定ステップを実行する点群想定手段として機能する。
【００７４】
［８］第２の基準直線決定ステップ
次いで、点群２２８の各点２２７の座標に基づいて、最小二乗法により、前記第１の基準直線決定ステップと同様の演算を行うことにより、図１５に示す第２の基準直線２２９を決定する。
なお、ドットずれ検出装置２００では、制御手段２１０が、以上説明した第２の基準直線決定ステップを実行する第２の基準直線決定手段として機能する。
【００７５】
［９］Ｘ軸方向ずれ量取得ステップ
図１５に示す二次元直交座標においては、点群２２８の各点２２７と第２の基準直線２２９との間の、縦軸方向の距離が各ドット２２１のＸ軸方向への位置ずれ量を表すものであると言うことができる。よって、各点２２７と第２の基準直線２２９との間の、縦軸方向の距離を求めることにより、Ｘ軸方向への各ドット２２１のＸ軸方向への位置ずれ量に関する情報を取得することができる。
【００７６】
図１５に示すように、本実施形態では、図中左から３個目のドット２２１のＸ軸方向の位置ずれ量がΔｘ３であり、図中左から７個目のドット２２１のＸ軸方向の位置ずれ量がΔｘ７であることを検出することができ、さらに、他のドット２２１については、Ｘ軸方向の位置ずれがほぼなく、Ｘ軸方向の位置がほぼ正確であることを検出することができる。
なお、ドットずれ検出装置２００では、制御手段２１０が、以上説明したＸ軸方向ずれ量取得ステップを実行するＸ軸方向ずれ量取得手段として機能する。
【００７７】
上記のように、本実施形態では、［１］〜［６］の各ステップに加え、［７］〜［９］の各ステップを有することにより、ドット列にほぼ平行な方向へのドットの位置ずれをさらに検出することができるので、より正確にドットの位置ずれを分析することができ、より適切な洗浄を行いつつ、長期間にわたって安定的なカラーフィルターの製造を行うことができる。
【００７８】
以上のようにして検出した、各ドット２２１についてのＹ軸方向の位置ずれ量およびＸ軸方向の位置ずれ量のデータは、記憶部２１０２に記憶されるとともに、外部記憶装置２２５に出力する。なお、測定データの出力手段は、外部記憶装置２２５に限定されず、ディスプレイ２２４に表示（出力）したり、プリンタに印刷して出力してもよい。また、ネットワークを接続して他のＰＣに送ることも効率的な出力方法となる。
また、制御手段２１０は、各ドット２２１について、Ｙ軸方向の位置ずれ量ΔｙｉおよびＸ軸方向の位置ずれ量ΔＸｉに基づき、絶対的な位置ずれ量ＬをＬ＝√（Δｙｉ２＋ΔＸｉ２）なる演算を行うことによって算出するようにしてもよい。
【００７９】
オペレーターは、ドットずれ検出装置２００から出力されたＹ軸方向の位置ずれ量ΔｙｉやＸ軸方向の位置ずれ量ΔＸｉ、あるいは、絶対的な位置ずれ量Ｌが許容範囲内にあるか否かを判定することにより、各ドット２２１の着弾位置の正確性を判断することができる。なお、この判断を制御手段２１０によって自動的に行うようにしてもよい。
そして、Ｙ軸方向の位置ずれ量Δｙｉ、Ｘ軸方向の位置ずれ量ΔＸｉ、絶対的な位置ずれ量Ｌが所定値（許容範囲）を超える場合、上記［１］〜［６］の各ステップを、さらには、［１］〜［９］の各ステップを、前記位置ずれ量が許容範囲内となるまで、繰り返し行ってもよい。これにより、必要十分な洗浄をより確実に行うことができ、製造されるカラーフィルターの信頼性、カラーフィルターの生産性等のさらなる向上を図ることができる。
【００８０】
本発明では、上述したように、被検査物２２０として写真用印画紙を好適に用いることができ、例えば精密なパターンのマークが付されたガラスマスクのような高価な被検査物を用意する必要がないので、簡便に、低コストでドットずれ検出および好適な洗浄を行うことができる。また、被検査物２２０に向けて液滴吐出ヘッド１１４から洗浄液４の液滴を吐出する際にも正確な目標位置に着弾させる必要がないので、液滴吐出装置に複雑な制御が不要となり、簡単かつ迅速にドットずれ検出を行うことができる。このようなことから、液滴吐出装置を用いてカラーフィルターを製造する際、本来のカラーフィルターの製造以外の部分に要する時間、手間、費用を削減することができるので、その製造コストを低減させることもできる。
【００８１】
［１０］ドット面積取得ステップ
本発明では、前述した画像取得ステップで得た電子画像を画像処理することにより、各ドット２２１の面積に関する情報を取得するようにしてもよい。この場合には、各ドット２２１の面積を正規の面積と比較することにより、各ノズル１１８から吐出された洗浄液４の液滴の大きさ（液量）が設定した値になっているか否かを検出することができ、より適切な洗浄を行うことができる。なお、この場合、画像処理手段２２３は、各ドット２２１の面積自体を測定しなくてもよく、例えば各ドット２２１の周囲の境界線の長さ等を求めるようにしてもよい。
なお、ドットずれ検出装置２００では、画像処理手段２２３が、以上説明したドット面積取得ステップを実行するドット面積取得手段として機能する。
【００８２】
［１１］ドット有無情報取得ステップ
本発明では、前述した画像取得ステップで得た電子画像を画像処理することにより、各ドット２２１の有無に関する情報を取得するようにしてもよい。この場合、画像処理手段２２３は、正規の位置を中心としたある一定の領域内にドット２２１がない場合には、当該ドット２２１が抜けている（液滴不吐出によるドット２２１の欠損）と判定すればよい。これにより、ノズル１１８の目詰まり等によって洗浄液４の液滴の不吐出が生じた場合にも、これを検出することができ、この結果を受けて、より適切な洗浄を行うことができる。
なお、ドットずれ検出装置２００では、画像処理手段２２３が、以上説明したドット有無情報取得ステップを実行するドット有無情報取得手段として機能する。
【００８３】
上記のような方法で液滴吐出装置１００の洗浄を行った後、流路内の洗浄液４は、カラーフィルター用インク２で置換され、カラーフィルターの製造に供される。
なお、洗浄液４からカラーフィルター用インク２への置換は、直接行うものであってもよいが、例えば、一旦、洗浄液４を他の液体（例えば、カラーフィルター用インク２を構成する溶媒、分散媒成分と同一の成分を含む液体）で置換し、その後、当該液体をカラーフィルター用インク２で置換してもよい。
【００８４】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。また、本発明のカラーフィルター製造装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。
例えば、画像取得手段としては、カメラに限らず、リニアセンサ（リニアイメージセンサ）を用いてもよく、ドット列をリニアセンサで走査することによって、ドット列の電子画像を取得するようにしてもよい。
また、本発明のカラーフィルター製造装置には、任意の構成物が付加されていてもよい。
【００８５】
また、上記［１］のステップ（洗浄液置換ステップ）の前に、［２］のステップ（吐出ステップ）と同様にして、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドからカラーフィルター用インクを被検査物に吐出しドット列を形成し、その後、カラーフィルター用インクによるドット列が形成された被検査物について、上記［３］〜［６］に対応する各ステップ、さらには、上記［７］〜［９］に対応する各ステップを行ってもよい。また、カラーフィルター用インクによるドット列が形成された被検査物について、上記［１０］、［１１］に対応するステップを行ってもよい。これにより、洗浄液の組成、洗浄液の流量、温度等の洗浄液による洗浄条件（例えば、洗浄液置換ステップでの洗浄条件）をより適切に決定することができる。
【００８６】
前述した実施形態では、カラーフィルター製造装置が、液滴吐出装置とドットずれ検出装置とを備えるものであり、液滴吐出装置がインク流路と液滴吐出ヘッドと洗浄液貯留槽とを備え、ドットずれ検出装置が画像取得手段とドット座標取得手段と第１の基準直線決定手段とＹ軸方向ずれ量取得手段とを備えるものとして説明したが、本発明のカラーフィルター製造装置は、インク流路、液滴吐出ヘッド、洗浄液貯留槽、画像取得手段、ドット座標取得手段、第１の基準直線決定手段、および、Ｙ軸方向ずれ量取得手段を有するものであればよく、これらの構成が、上述したような液滴吐出装置・ドットずれ検出装置に設けられた構成でなくてもよい。
【符号の説明】
【００８７】
１００…液滴吐出装置 １０１…タンク １０２…吐出走査部 １０３…液滴吐出手段 １０４…第１位置制御装置 １０５…キャリッジ １０６…ステージ １０８…第２位置制御装置 １１０…チューブ １１２…制御手段 １１４…液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド） １１６…ノズル列 １１８…ノズル １２０…キャビティ １２２…隔壁 １２４…振動子 １２４Ａ、１２４Ｂ…電極 １２４Ｃ…ピエゾ素子 １２６…振動板 １２７…吐出部 １２８…ノズルプレート １２９…液たまり １３０…供給口 １３１…孔 １３２…インク貯留槽 １３３…洗浄液貯留槽 １３４…搬送路 ２００…ドットずれ検出装置 ２０２…検査テーブル ２０２ａ…保持面 ２０３…カメラ ２３０…撮影写野 ２０４…移動手段 ２０５…支持板 ２０６…Ｚ軸方向移動手段 ２０７…Ｘ軸方向移動手段 ２０８…Ｙ軸方向移動手段 ２１０…制御手段 ２１０１…ＣＰＵ ２１０２…記憶部 ２２０…被検査物 ２２１…ドット ２２１１…中心 ２２２…ドット列 ２２３…画像処理手段 ２２３１…記憶部 ２２４…ディスプレイ ２２５…外部記憶装置 ２２６…第１の基準直線 ２２７…点 ２２８…点群 ２２９…第２の基準直線 ２…カラーフィルター用インク ４…洗浄液 １１…基板
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄方法およびカラーフィルター製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー表示を行う液晶表示装置（ＬＣＤ）等には、一般に、カラーフィルターが用いられている。
カラーフィルターは、従来、着色剤、感光性樹脂、官能性モノマー、重合開始剤等を含む材料（着色層形成用組成物）で構成された塗膜を基板上に形成し、その後、フォトマスクを介して光を照射する感光処理、現像処理等を行う、いわゆるフォトリソグラフィー法を用いて製造されてきた。このような方法では、通常、基板のほぼ全面に、各色に対応する塗膜を形成し、その一部のみを硬化させ、それ以外の大部分を除去するという操作を繰り返すことにより、各色が重なり合わないようにカラーフィルターを製造する。このため、カラーフィルターの製造の過程で形成される塗膜は、最終的に得られるカラーフィルターには、その一部のみが着色層として残存するのみで、その大部分が製造工程において除去されることとなる。このため、カラーフィルターの製造コストが上昇するばかりでなく、省資源の観点からも好ましくない。
一方、近年、インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）を用いて、カラーフィルターの着色層を形成する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。このような方法では、着色層形成用の材料（着色層形成用組成物）の無駄を少なくすることができるため、環境への負荷を低減することができ、また、製造コストも抑制することができる。
【０００３】
ところで、カラーフィルターの製造に用いる液滴吐出装置（産業用）は、プリンターに適用されるもの（民生用）とは全く異なるものであり、例えば、大量生産を行ったり、大型のワーク（基板）への液滴吐出に用いたりするため、大量の液滴を長時間にわたって吐出することが求められる。また、形成される着色層（着色部）の基板への密着性を優れたものとするために、カラーフィルターの製造に用いられるカラーフィルター用のインクは、一般に、樹脂材料（バインダー樹脂）を含んでおり、プリンターに適用されるもの（民生用）で用いるインクに比べて、粘度が高く、液滴吐出に伴う、液滴吐出装置（特に、ヘッド付近）への負荷が大きい。また、カラーフィルターの製造に用いる液滴吐出装置（産業用）では、インク中に含まれる成分（例えば、樹脂材料等）がインクの流路に付着することにより、液滴吐出ヘッドへのインクの供給が不安定になったり、液滴吐出ヘッドの吐出口の目詰まりが発生し、その結果、液滴の吐出量が不安定になったり、液滴の飛行曲がりが発生する等の問題を生じやすい。このため、例えば、液滴吐出装置のカラーフィルター用の基板（ワーク）のない部分で液滴を吐出することによる行う方法（フラッシング）や、吸引手段を用いて液滴吐出ヘッド内に溜まっているインクを強制的に吸引する方法により、液滴吐出ヘッドやインクの流路に存在する凝集物、付着物等を取り除き、インク等による汚れ、目詰まりの解消を行う。しかしながら、このような方法のみでは、十分に凝集物、付着物を取り除くことができず、再び液滴の吐出を行うと、残存した凝集物、付着物がヘッドに流れ込み、比較的短期間で、液滴の吐出量が不安定になったり、吐出口が再び目詰まりする問題があった。このような場合、液滴吐出ヘッドや他の部材を頻繁に交換する必要があり、カラーフィルターの生産性を極端に落とすものとなっていた。また、凝集物、付着物等を確実に取り除くために、強力な洗浄液で長時間処理することも考えられるが、このような方法では、洗浄に要する時間が必要以上に長くなり、カラーフィルターの生産性を著しく低下させてしまうとともに、液滴吐出装置へのダメージも大きくなり、液滴吐出装置の寿命を短縮してしまう結果となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−３７２６１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、カラーフィルターの製造に用いるカラーフィルター製造装置（液滴吐出装置）のインクの流路における汚れ、液滴吐出ヘッドの目詰まりを好適に解消することができる洗浄方法を提供すること、また、長期間にわたって、好適にカラーフィルターの製造に用いることのできるカラーフィルター製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の洗浄方法は、カラーフィルター用インクの吐出に用いられる液滴吐出装置の洗浄方法であって、
前記液滴吐出装置の流路内の前記カラーフィルター用インクを洗浄液で置換する洗浄液置換ステップと、
置換された前記洗浄液を被検査物上にドット列状に吐出する吐出ステップと、
前記被検査物上に形成されたドット列の電子画像を取得する画像取得ステップと、
前記電子画像を画像処理することにより、前記ドット列に略平行な方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としたときの各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標を取得するドット座標取得ステップと、
前記各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標に基づいて最小二乗法により第１の基準直線を決定する第１の基準直線決定ステップと、
前記第１の基準直線と前記各ドットの中心との距離を求めることにより、前記Ｙ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＹ軸方向ずれ量取得ステップとを備えることを特徴とする。
【０００７】
これにより、カラーフィルターの製造に用いるカラーフィルター製造装置（液滴吐出装置）のインクの流路における汚れ、液滴吐出ヘッドの目詰まりを好適に解消することができる洗浄方法を提供することができる。また、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出された洗浄液の液滴が被検査物に着弾して得られたドットの位置ずれ、特にドット列にほぼ直交する方向への位置ずれを、高価な装置や複雑な制御を必要とすることなく、簡単、迅速かつ正確に検出することができるため、液滴吐出装置による本来のカラーフィルターの製造以外の部分に要する時間、手間、費用を削減することができるので、本来のカラーフィルターの製造コストを低減することができる。
【０００８】
本発明の洗浄方法では、二次元直交座標上に、前記各ドットの中心のＸ座標を前記二次元直交座標の一方の座標軸方向の座標値とし、他方の座標軸方向の座標値を等間隔とした点群を想定する点群想定ステップと、
前記点群に対して最小二乗法により第２の基準直線を決定する第２の基準直線決定ステップと、
前記点群の各点と前記第２の基準直線との間の、前記一方の座標軸方向の距離を求めることにより、前記Ｘ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＸ軸方向ずれ量取得ステップとをさらに備えることが好ましい。
これにより、ドット列にほぼ平行な方向へのドットの位置ずれをさらに検出することができるので、より正確にドットの位置ずれを分析することができ、より適切な洗浄を行うことができる。
【０００９】
本発明の洗浄方法では、前記Ｘ軸方向ずれ量取得ステップで得られた、前記Ｘ軸方向への位置ずれ量が所定値を超える場合に、さらに、前記吐出ステップないし前記Ｘ軸方向ずれ量取得ステップを繰り返し行うことが好ましい。
これにより、必要十分な洗浄をより確実に行うことができ、製造されるカラーフィルターの信頼性、カラーフィルターの生産性等のさらなる向上を図ることができる。
【００１０】
本発明の洗浄方法では、前記Ｙ軸方向ずれ量取得ステップで得られた、前記Ｙ軸方向への位置ずれ量が所定値を超える場合に、さらに、前記吐出ステップないし前記Ｙ軸方向ずれ量取得ステップを繰り返し行うことが好ましい。
これにより、必要十分な洗浄をより確実に行うことができ、製造されるカラーフィルターの信頼性、カラーフィルターの生産性等のさらなる向上を図ることができる。
【００１１】
本発明の洗浄方法では、前記洗浄液は、下記式（１）で示される化合物Ａを含有するものであることが好ましい。
【化１】
【００１２】
これにより、カラーフィルター製造装置（液滴吐出装置）へのダメージをより好適に防止しつつ、短時間で効率よく洗浄することができる。また、電子画像をより正確に取得することができ、ドットの位置ずれ量に関する情報をより正確なものとして取得することができるため、より適切な洗浄を行うことができる。また、カラーフィルター用インクへの置換が容易であり、カラーフィルター用インクへの置換後にカラーフィルター用インクの流路内に洗浄液が残存することをより確実に防止することができるため、全体としてのカラーフィルターの生産性を特に優れたものとすることができるとともに、製造されるカラーフィルターの信頼性を特に優れたものとすることができる。
【００１３】
本発明の洗浄方法では、前記洗浄液は、下記式（２）で示される化合物Ｂを含有するものであることが好ましい。
【化２】
【００１４】
これにより、カラーフィルター製造装置（液滴吐出装置）へのダメージをより好適に防止しつつ、短時間で効率よく洗浄することができる。また、電子画像をより正確に取得することができ、ドットの位置ずれ量に関する情報をより正確なものとして取得することができるため、より適切な洗浄を行うことができる。また、カラーフィルター用インクへの置換が容易であり、カラーフィルター用インクへの置換後にカラーフィルター用インクの流路内に洗浄液が残存することをより確実に防止することができるため、全体としてのカラーフィルターの生産性を特に優れたものとすることができるとともに、製造されるカラーフィルターの信頼性を特に優れたものとすることができる。
【００１５】
本発明の洗浄方法では、前記洗浄液は、前記化合物Ｂに加え、前記カラーフィルター用インクを構成する溶媒成分をさらに含有するものであることが好ましい。
これにより、カラーフィルター製造装置（液滴吐出装置）へのダメージをより好適に防止することができるとともに、カラーフィルター用インクへの置換が容易であり、カラーフィルター用インクへの置換後にカラーフィルター用インクの流路内に洗浄液が残存することをより確実に防止することができるため、全体としてのカラーフィルターの生産性を特に優れたものとすることができるとともに、製造されるカラーフィルターの信頼性を特に優れたものとすることができる。
【００１６】
本発明の洗浄方法では、前記画像取得ステップにおいては、前記被検査物とカメラとの相対位置を前記ドット列に沿って変えながら複数の電子画像を撮影し、
前記ドット座標取得ステップにおいては、前記複数の電子画像の座標系を統合することにより、撮影した全ドットの座標を一つの座標系に統合することが好ましい。
これにより、撮影写野が限られるカメラを用いてドット列の電子画像を取得する場合であっても、長いドット列に対してドットの位置ずれを簡単かつ正確に検出することができる。
【００１７】
本発明の洗浄方法では、前記画像取得ステップにおいては、前記複数の電子画像を撮影する際、相隣接する二つの画像中に同一のドットが少なくとも一つ含まれるように撮影を行い、
前記ドット座標取得ステップにおいては、相隣接する二つの画像中に共通に含まれるドットの座標が同じになるようにして両画像の座標系を統合することにより、前記複数の電子画像の座標系を統合することが好ましい。
これにより、撮影写野が限られるカメラを用いてドット列の電子画像を取得する場合であっても、長いドット列に対してドットの位置ずれを簡単かつ正確に検出することができる。
【００１８】
本発明の洗浄方法では、前記ドット座標取得ステップにおいては、電子画像を撮影した光学系の収差に基づく歪を補正する処理を施すことが好ましい。
これにより、ドット列の電子画像に生じる収差（例えば糸巻き型歪曲収差、樽型歪曲収差等）に基づく歪が補正され、各ドットのより正確な座標が得られるので、ドットの位置ずれをより高精度に検出することができ、より適切な洗浄を行うことができる。
【００１９】
本発明のカラーフィルター製造装置は、カラーフィルターの製造に用いられるカラーフィルター製造装置であって、
カラーフィルター用インクが流通するインク流路と、
前記カラーフィルター用インクの液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記インク流路に供給される洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記液滴吐出ヘッドから前記洗浄液を被検査物上に吐出することにより形成されたドット列の電子画像を取得する画像取得手段と、
前記電子画像を画像処理することにより、前記ドット列に略平行な方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としたときの各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標を取得するドット座標取得手段と、
前記各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標に基づいて最小二乗法により第１の基準直線を決定する第１の基準直線決定手段と、
前記第１の基準直線と前記各ドットの中心との距離を求めることにより、前記Ｙ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＹ軸方向ずれ量取得手段とを備えることを特徴とする。
【００２０】
これにより、インクの流路における汚れ、液滴吐出ヘッドの目詰まりを好適に解消しつつ、長期間にわたって、好適にカラーフィルターの製造に用いることのできるカラーフィルター製造装置を提供することができる。また、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出された洗浄液の液滴が被検査物に着弾して得られたドットの位置ずれ、特にドット列にほぼ直交する方向への位置ずれを、高価な装置や複雑な制御を必要とすることなく、簡単、迅速かつ正確に検出することができるため、液滴吐出装置による本来のカラーフィルターの製造以外の部分に要する時間、手間、費用を削減することができるので、本来のカラーフィルターの製造コストを低減することができる。
【００２１】
本発明のカラーフィルター製造装置では、二次元直交座標上に、前記各ドットの中心のＸ座標を前記二次元直交座標の一方の座標軸方向の座標値とし、他方の座標軸方向の座標値を等間隔とした点群を想定する点群想定手段と、
前記点群に対して最小二乗法により第２の基準直線を決定する第２の基準直線決定手段と、
前記点群の各点と前記第２の基準直線との間の、前記一方の座標軸方向の距離を求めることにより、前記Ｘ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＸ軸方向ずれ量取得手段とをさらに備えることが好ましい。
これにより、ドット列にほぼ平行な方向へのドットの位置ずれをさらに検出することができるので、より正確にドットの位置ずれを分析することができ、より適切な洗浄を行いつつ、長期間にわたって安定的なカラーフィルターの製造を行うことができる。
【００２２】
本発明のカラーフィルター製造装置では、前記画像取得手段は、前記被検査物とカメラとの相対位置を前記ドット列に沿って変えながら複数の電子画像を撮影し、
前記ドット座標取得手段は、前記複数の電子画像の座標系を統合することにより、撮影した全ドットの座標を一つの座標系に統合することが好ましい。
これにより、撮影写野が限られるカメラを用いてドット列の電子画像を取得する場合であっても、長いドット列に対してドットの位置ずれを簡単かつ正確に検出することができる。
【００２３】
本発明のカラーフィルター製造装置では、前記画像取得手段は、前記複数の電子画像を撮影する際、相隣接する二つの画像中に同一のドットが少なくとも一つ含まれるように撮影を行い、
前記ドット座標取得手段は、相隣接する二つの画像中に共通に含まれるドットの座標が同じになるようにして両画像の座標系を統合することにより、前記複数の電子画像の座標系を統合することが好ましい。
これにより、撮影写野が限られるカメラを用いてドット列の電子画像を取得する場合であっても、長いドット列に対してドットの位置ずれを簡単かつ正確に検出することができる。
【００２４】
本発明のカラーフィルター製造装置では、前記ドット座標取得手段は、電子画像を撮影した光学系の収差に基づく歪を補正する処理を施すことが好ましい。
これにより、ドット列の電子画像に生じる収差（例えば糸巻き型歪曲収差、樽型歪曲収差等）に基づく歪が補正され、各ドットのより正確な座標が得られるので、ドットの位置ずれをより高精度に検出することができ、より適切な洗浄を行いつつ、長期間にわたって安定的なカラーフィルターの製造を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明のカラーフィルター製造装置を構成する液滴吐出装置の実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出手段をステージ側から観察した図である。
【図３】図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドの底面（ノズル面）を示す図である。
【図４】図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は断面斜視図、（ｂ）は断面図である。
【図５】本発明のカラーフィルター製造装置を構成するドットずれ検出装置の実施形態を示す平面図である。
【図６】図５のＡ−Ａ線に沿って見た断面図である。
【図７】図５に示すドットずれ検出装置のブロック図である。
【図８】被検査物上に形成されたドット列を示す平面図である。
【図９】本発明の洗浄方法を示すフローチャートである。
【図１０】画像取得ステップを説明するための図である。
【図１１】画像取得ステップを説明するための図である。
【図１２】ドット列の各ドットの中心の座標を示す図である。
【図１３】第１の基準直線を示す図である。
【図１４】Ｘ軸方向ずれ量を検出するための点群を示す図である。
【図１５】第２の基準直線を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
まず、本発明のカラーフィルター製造装置について説明する。
図１は、本発明のカラーフィルター製造装置を構成する液滴吐出装置の実施形態を示す斜視図、図２は、図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出手段をステージ側から観察した図、図３は、図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドの底面（ノズル面）を示す図、図４は、図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は断面斜視図、（ｂ）は断面図、図５は、本発明のカラーフィルター製造装置を構成するドットずれ検出装置の実施形態を示す平面図、図６は、図５のＡ−Ａ線に沿って見た断面図、図７は、図５に示すドットずれ検出装置のブロック図、図８は、被検査物上に形成されたドット列を示す平面図である。
【００２７】
本実施形態のカラーフィルター製造装置は、液滴吐出装置１００とドットずれ検出装置２００とを備えるものである。
液滴吐出装置１００は、チューブ１１０等のカラーフィルター用インク２が流通するインク流路と、カラーフィルター用インク２の液滴を吐出する液滴吐出ヘッド１１４と、インク流路に供給される洗浄液４を貯留する洗浄液貯留槽１３３とを備えるものである。
【００２８】
ドットずれ検出装置２００は、液滴吐出ヘッド１１４から洗浄液４を被検査物２２０上に吐出することにより形成されたドット列２２２の電子画像を取得する画像取得手段としてのカメラ２０３と、前記電子画像を画像処理することにより、ドット列２２２に略平行な方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としたときの各ドット２２１の中心のＸ座標およびＹ座標を取得するドット座標取得手段（画像処理手段２２３および制御手段２１０）と、前記各ドット２２１の中心のＸ座標およびＹ座標に基づいて最小二乗法により第１の基準直線を決定する第１の基準直線決定手段（制御手段２１０）と、前記第１の基準直線と前記各ドットの中心との距離を求めることにより、前記Ｙ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＹ軸方向ずれ量取得手段（制御手段２１０）とを備えるものである。
【００２９】
まず、液滴吐出装置１００の構成およびカラーフィルターの製造時（カラーフィルター用インク付与時）における液滴吐出装置１００の作動について詳細に説明する。
図１に示すように、液滴吐出装置１００は、カラーフィルター用インク２を保持するタンク１０１と、チューブ１１０と、チューブ１１０を介してタンク１０１からカラーフィルター用インク２が供給される吐出走査部１０２とを備える。吐出走査部１０２は、複数の液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）１１４をキャリッジ１０５に搭載してなる液滴吐出手段１０３と、液滴吐出手段１０３の位置を制御する第１位置制御装置１０４（移動手段）と、隔壁が形成された基板（以下、単に「基板」とも言う。）１１を保持するステージ１０６と、ステージ１０６の位置を制御する第２位置制御装置１０８（移動手段）と、制御手段１１２とを備えている。タンク１０１と、液滴吐出手段１０３における複数の液滴吐出ヘッド１１４とは、チューブ１１０で連結されており、タンク１０１から複数の液滴吐出ヘッド１１４のそれぞれにカラーフィルター用インク２が圧縮空気によって供給される。
【００３０】
第１位置制御装置１０４は、制御手段１１２からの信号に応じて、液滴吐出手段１０３をＸ軸方向、およびＸ軸方向に直交するＺ軸方向に沿って移動させる。さらに、第１位置制御装置１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りで液滴吐出手段１０３を回転させる機能も有する。本実施形態では、Ｚ軸方向は、鉛直方向（つまり重力加速度の方向）に平行な方向である。第２位置制御装置１０８は、制御手段１１２からの信号に応じて、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させる。さらに、第２位置制御装置１０８は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１０６を回転させる機能も有する。
ステージ１０６は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ１０６は、カラーフィルター用インク２を付与すべきセルを有する基板１１をその平面上に固定、または保持できるように構成されている。
【００３１】
上述のように、液滴吐出手段１０３は、第１位置制御装置１０４によってＸ軸方向に移動させられる。一方、ステージ１０６は、第２位置制御装置１０８によってＹ軸方向に移動させられる。つまり、第１位置制御装置１０４および第２位置制御装置１０８によって、ステージ１０６に対する液滴吐出ヘッド１１４の相対位置が変わる（ステージ１０６に保持された基板１１と、液滴吐出手段１０３とが相対的に移動する）。
制御手段１１２は、カラーフィルター用インク２を吐出すべき相対位置を表す吐出データを外部情報処理装置から受け取るように構成されている。
【００３２】
図２に示すように、液滴吐出手段１０３は、それぞれほぼ同じ構造を有する複数の液滴吐出ヘッド１１４と、これらの液滴吐出ヘッド１１４を保持するキャリッジ１０５とを有している。本実施形態では、液滴吐出手段１０３に保持される液滴吐出ヘッド１１４の数は８個である。それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、後述する複数のノズル１１８が設けられた底面を有している。それぞれの液滴吐出ヘッド１１４のこの底面の形状は、２つの長辺と２つの短辺とを有する多角形である。液滴吐出手段１０３に保持された液滴吐出ヘッド１１４の底面はステージ１０６側を向いており、さらに、液滴吐出ヘッド１１４の長辺方向と短辺方向とは、それぞれＸ軸方向とＹ軸方向とに平行である。
【００３３】
図３に示すように、液滴吐出ヘッド１１４は、Ｘ軸方向に並んだ複数のノズル１１８を所定のノズルピッチＳで一列または二列以上（図示では一列）に配置したノズル列１１６を有している。ノズルピッチＳの具体的な値は、特に限定されないが、例えば、５０μｍ以上９０μｍ以下とすることができる。
本実施形態の液滴吐出手段１０３では、基板１１のＸ軸方向の寸法分の長さ全体をカバーするように液滴吐出ヘッド１１４を配置しているが、本発明における液滴吐出手段は、基板１１のＸ軸方向の寸法分の長さの一部をカバーするようにものでもよい。
【００３４】
図４に示すように、それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、インクジェットヘッドである。より具体的には、それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給されるカラーフィルター用インク２が常に充填される液たまり１２９が位置している。
【００３５】
また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル１１８に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル１１８の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９からカラーフィルター用インク２が供給される。
【００３６】
また、ノズルプレート１２８のノズル１１８付近は、フッ化アルキル基を有するシリカ膜で表面付近が覆われている。これにより、ノズル１１８は、撥液性に優れたものとなり、インク２を特に好適にはじくことができる。特に、ノズルプレート１２８がこのようなシリカ膜を有することで、ノズル１１８付近での固形分の強固な付着を防ぐことができる。このため、確実に液滴吐出時の飛行曲がりの発生や、液滴量の変動、ノズル１１８の目詰まりを確実に防止することができ、極めて長期にわたって、カラーフィルター用インク２の液滴の吐出性を特に優れたものとすることができる。
【００３７】
振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとを含む。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル１１８からカラーフィルター用インク２が吐出される。なお、ノズル１１８からＺ軸方向にカラーフィルター用インク２が吐出されるように、ノズル１１８の形状が調整されている。
【００３８】
制御手段１１２（図１参照）は、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように構成されていてもよい。つまり、ノズル１１８から吐出されるカラーフィルター用インク２の体積が、制御手段１１２からの信号に応じてノズル１１８毎に制御されてもよい。また、制御手段１１２は、塗布走査の間に吐出動作を行うノズル１１８と、吐出動作を行わないノズル１１８とを設定することでもできる。
【００３９】
本明細書では、１つのノズル１１８と、ノズル１１８に対応するキャビティ１２０と、キャビティ１２０に対応する振動子１２４とを含んだ部分を「吐出部１２７」と表記することもある。この表記によれば、１つの液滴吐出ヘッド１１４は、ノズル１１８の数と同じ数の吐出部１２７を有する。
なお、図示の構成では、液滴吐出装置１００は、カラーフィルター用インク２を保持するタンク１０１、チューブ１１０等を１色分しか有していないが、これらの部材を、カラーフィルターが有する複数色の着色部に対応する複数色分有するものであってもよい。また、カラーフィルターの製造においては、複数色のカラーフィルター用インク２に対応する複数の液滴吐出装置１００を用いてもよい。
なお、本発明では、液滴吐出ヘッド１１４は、駆動素子として、ピエゾ素子の代わりに静電アクチュエータを用いるものでもよい。また、液滴吐出ヘッド１１４は、駆動素子として電気熱変換素子を用い、この電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用してカラーフィルター用インク２を吐出する構成であってもよい。
【００４０】
また、液滴吐出装置１００は、図１に示すようなインク貯留槽１３２および洗浄液貯留槽１３３を有するものである。インク貯留槽１３２には、カラーフィルター用インク２が貯留され、洗浄液貯留槽１３３には、洗浄液４が貯留されている。液滴吐出時においては、搬送路１３４によって、タンク１０１へ、カラーフィルター用インク２が搬送され、カラーフィルターの製造に用いられる。また、洗浄時においては、搬送路１３４によって、タンク１０１へ洗浄液４が搬送されてカラーフィルター用インク２と置換されて貯留され、貯留された洗浄液４をカラーフィルター用インク２の流路に沿って流すことにより、タンク１０１、チューブ１１０、液滴吐出手段１０３等にあるカラーフィルター用インク２の流路の洗浄が行われる。このようにインク貯留槽１３２および洗浄液貯留槽１３３を有することにより、より簡便かつ確実にインクの流路を洗浄することができる。また、洗浄後に、効率よくカラーフィルター用インク２を流すことができ、素早く洗浄液４をカラーフィルター用インク２に置換できる。結果として、液滴吐出装置１００を効率よく作動させることができ、カラーフィルターの生産性を優れたものとすることができる。
【００４１】
次に、カラーフィルター製造装置を構成するドットずれ検出装置について説明する。
図５に示すドットずれ検出装置２００は、液滴吐出装置１００の流路内のカラーフィルター用インク２を洗浄液４で置換した後に、液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）１１４のノズル１１８から吐出された洗浄液４の液滴が被検査物２２０に着弾して得られたドット２２１の位置ずれを検出するものである。このドットずれ検出装置２００によれば、液滴吐出ヘッド１１４に、洗浄液４の液滴の飛行曲がり等の吐出異常が生じているのを発見することができ、これにより、カラーフィルターの製造時におけるカラーフィルター用インク２の液滴吐出に異常が生じるか否かを判断することができ、これにより、適切な洗浄処理を施すことができるため、結果として、カラーフィルター製造装置１００（液滴吐出装置１００）によって製造されるカラーフィルターの歩留まりの向上に寄与することができる。また、本発明では、カラーフィルター用インクそのものにより形成されたドットの位置ずれを検出するのではなく、洗浄液のドットの位置ずれを検出する。これにより、例えば、以下のような効果が得られる。すなわち、洗浄処理を施し、流路内の洗浄液をカラーフィルター用インクで置換した後に、カラーフィルター用インクの吐出不良（許容範囲を超えたドットの位置ずれ等）を生じた場合には、再度、洗浄液で置換し、洗浄処理を施さなければならず、カラーフィルター用インク、洗浄液の無駄が多くなるとともに、その間カラーフィルターそのものの生産を中止することによるカラーフィルターの生産性が低下するという問題があった。このような問題を防止するために、十分な時間と十分な量の洗浄液を用いて洗浄処理を施すことも考えられるが、このような場合、上記と同様に、必要以上の時間、洗浄液を消費することなり、省資源、生産性の観点から好ましくないばかりでなく、液滴吐出装置に対し、必要以上のダメージを与える結果となる。これに対し、本発明では、カラーフィルター用インクそのものにより形成されたドットの位置ずれを検出するのではなく、洗浄液のドットの位置ずれを検出するため、必要十分な洗浄処理を施すことができ、上記のような問題の発生を防止することができる。
【００４２】
図５に示すように、このドットずれ検出装置２００は、平板状またはシート状の被検査物２２０を保持する検査テーブル２０２と、検査テーブル２０２の上方に水平方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向）および上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能に設けられたカメラ２０３と、カメラ２０３を水平方向および上下方向に移動させる移動手段２０４とを備えている。
この場合、図５中の左右方向（図６の紙面に垂直な方向）をＸ軸方向、図５中の上下方向（図６中の左右方向）をＹ軸方向、図５の紙面に垂直な方向（図６中の上下方向）をＺ軸方向としている。
【００４３】
被検査物２２０としては、例えば、ガラス基板、金属板、合成樹脂シート、紙等を用いることができるが、写真用印画紙（例えば、ピクトリコプロ・ホワイトフィルム（株式会社ピクトリコ製））を用いるのが好ましい。これにより、電子画像をより正確に取得することができ、ドットの位置ずれ量に関する情報をより正確なものとして取得することができるため、より適切な洗浄を行うことができる。
【００４４】
検査テーブル２０２は、基台（図示せず）の上部に固定されるものであって、上面側に水平の保持面２０２ａを有し、この保持面２０２ａの上部に被検査物２２０が真空吸着等の保持手段によって保持されるようになっている。
カメラ２０３は、例えばＣＣＤあるいはＣＭＯＳセンサー等の固体撮像素子と、カメラレンズとを有している。このカメラ２０３は、被検査物２２０上の複数のドット２２１を含む領域の電子画像を撮像する。
【００４５】
移動手段２０４は、カメラ２０３を支持する支持板２０５と、支持板２０５を介してカメラ２０３をＺ軸方向に移動可能かつ所定の位置に位置決め可能に支持するＺ軸方向移動手段２０６と、Ｚ軸方向移動手段２０６および支持板２０５を介してカメラ２０３をＸ軸方向に移動可能かつ所定の位置に位置決め可能に支持するＸ軸方向移動手段２０７と、Ｘ軸方向移動手段２０７、Ｚ軸方向移動手段２０６および支持板２０５を介してカメラ２０３をＹ軸方向に移動可能かつ所定の位置に位置決め可能に支持するＹ軸方向移動手段２０８とを備えている。
【００４６】
移動手段２０４のＸ軸方向移動手段２０７およびＹ軸方向移動手段２０８は、カメラ２０３が検査テーブル２０２のＸ軸方向の全長およびＹ軸方向の全長を移動し、検査テーブル２０２上に位置した被検査物２２０上の全てのドット２２１を捉えられるように、移動範囲が設定されている。
Ｘ軸方向移動手段２０７およびＹ軸方向移動手段２０８としては、例えばリニアモータ等を用いた構成が挙げられ、Ｚ軸方向移動手段２０６としては、例えば送りねじ機構を用いた構成が挙げられる。ただし、これに限定されることなく、同様の機能を有するものであれば他のいかなるものでも良い。
【００４７】
図７に示すように、ドットずれ検出装置２００は、さらに、画像処理手段２２３と、出力手段としてのディスプレイ２２４および外部記憶装置２２５とを有している。
画像処理手段２２３は、カメラ２０３により撮像されたドット列２２２の電子画像を画像処理することにより、各ドット２２１の座標を取得したり、各ドット２２１の面積を測定したりする機能を有している。
【００４８】
ディスプレイ２２４は、例えばＣＲＴ（Cathode-Ray Tube）、液晶ディスプレイなどで構成されており、例えば操作画面、データ入力画面、カメラ２０３により撮像されたドット列２２２の画像、ドットずれ検出結果等を表示することができる。
外部記憶装置２２５は、例えばＦＤＤ（Floppy Disk Drive（「Floppy」は登録商標））などで構成されている。
【００４９】
制御手段２１０は、移動手段２０４、画像処理手段２２３およびディスプレイ２２４をそれぞれ制御する。この制御手段２１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）２１０１と、記憶部（記憶手段）２１０２とを有している。記憶部２１０２は、ＣＰＵ２１０１に読み取り可能な記憶媒体（記録媒体）を有しており、この記憶媒体は、磁気的、光学的記録媒体、もしくは半導体メモリ等で構成されている。
【００５０】
図８に示すように、被検査物２２０上には、液滴吐出装置１００を用いて、洗浄液４の液滴が吐出され、液滴吐出ヘッド１１４の各ノズル１１８から吐出された各液滴が着弾してなるドット２２１が被検査物２２０上に並び、ドット列２２２を形成している。
なお、図８中に示される１１個のドット２２１は、ドット列２２２の一部であり、ドット列２２２は、さらに長く連なっている。
【００５１】
被検査物２２０上に洗浄液４の液滴を吐出する液滴吐出装置１００において、ノズル列１１６が傾斜しないような姿勢で液滴吐出ヘッド１１４が設置されており、全ノズル１１８から同時に洗浄液４の液滴を吐出してドット列２２２を形成した場合には、ドット列２２２におけるドット間隔の正規値は、ノズルピッチＳに等しくなる。
これに対し、ノズル列１１６を傾斜させた姿勢で液滴吐出ヘッド１１４が設置されており、液滴吐出ヘッド１１４を走査しつつ各ノズル１１８から時間差をおいて洗浄液４の液滴を吐出することによりドット列２２２を形成した場合には、ドット列２２２におけるドット間隔の正規値は、ノズル列１１６の傾斜角度をθとして、Ｓcosθとなる。
本実施形態では、ドット列２２２におけるドット間隔の正規値は、ノズルピッチＳに等しいものとする。
【００５２】
図９は、本発明の洗浄方法を示すフローチャート、図１０は、画像取得ステップを説明するための図、図１１は、画像取得ステップを説明するための図、図１２は、ドット列の各ドットの中心の座標を示す図、図１３は、第１の基準直線を示す図、図１４は、Ｘ軸方向ずれ量を検出するための点群を示す図、図１５は、第２の基準直線を示す図である。
以下、上述した液滴吐出装置１００およびドットずれ検出装置２００を備えたカラーフィルター製造装置により実施される洗浄方法の各ステップを順次説明する。
【００５３】
［１］洗浄液置換ステップ
まず、液滴吐出装置１００内のカラーフィルター用インク２の流路中のカラーフィルター用インク２を洗浄液４で置換する。
なお、この際、カラーフィルター用インク２から洗浄液４への置換は、直接行うものであってもよいが、例えば、一旦、カラーフィルター用インク２を他の液体（例えば、カラーフィルター用インク２を構成する溶媒、分散媒成分と同一の成分を含む液体）で置換し、その後、当該液体を洗浄液４で置換してもよい。これにより、流路内に残存するカラーフィルター用インク２が洗浄液４と接触することによるショックで、カラーフィルター用インクに溶解または分散していた固形分が析出する等の弊害をより確実に防止することができる。
また、加熱した洗浄液４を導入してもよいし、流路に洗浄液４を導入した後に洗浄液４を加熱してもよい。また、洗浄液４で置換された流路に超音波振動等の振動処理を施してもよい。これにより、流路に付着した汚れをより除去しやすくなる。
洗浄液は、下記式（１）で示される化合物Ａを含有するものであるのが好ましい。
【００５４】
【化３】
【００５５】
化合物Ａは、粘度がインクよりも低く表面張力がインクと同じ程度である異物の洗浄性が高い化合物である。これにより、カラーフィルター製造装置（液滴吐出装置１００）へのダメージをより好適に防止しつつ、短時間で効率よく洗浄することができる。また、インクで用いる電圧などの条件を大きく変えることなく、インクジェットヘッドから吐出することが可能であるため、電子画像をより正確に取得することができ、ドット２２１の位置ずれ量に関する情報をよりインクに近い正確なものとして取得することができるため、より適切な洗浄を行うことができる。また、カラーフィルター用インク２への置換が容易であり、カラーフィルター用インク２への置換後にカラーフィルター用インク２の流路内に洗浄液４が残存することをより確実に防止することができるため、全体としてのカラーフィルターの生産性を特に優れたものとすることができるとともに、製造されるカラーフィルターの信頼性を特に優れたものとすることができる。
また、洗浄液は、下記式（２）で示される化合物Ｂを含有するものであってもよい。
【００５６】
【化４】
【００５７】
これにより、カラーフィルター製造装置（液滴吐出装置１００）へのダメージをより好適に防止しつつ、短時間で効率よく洗浄することができる。また、電子画像をより正確に取得することができ、ドット２２１の位置ずれ量に関する情報をより正確なものとして取得することができるため、より適切な洗浄を行うことができる。また、カラーフィルター用インク２への置換が容易であり、カラーフィルター用インク２への置換後にカラーフィルター用インク２の流路内に洗浄液４が残存することをより確実に防止することができるため、全体としてのカラーフィルターの生産性を特に優れたものとすることができるとともに、製造されるカラーフィルターの信頼性を特に優れたものとすることができる。
【００５８】
また、洗浄液４が化合物Ｂを含むものである場合、カラーフィルター用インクを構成する溶媒成分をさらに含有するのが好ましい。これにより、カラーフィルター製造装置（液滴吐出装置１００）へのダメージをより好適に防止することができるとともに、表面張力がカラーフィルター用インク２と近いことによりカラーフィルター用インク２への置換が容易であり、カラーフィルター用インク２への置換後にカラーフィルター用インク２の流路内に洗浄液が残存することをより確実に防止することができるため、全体としてのカラーフィルターの生産性を特に優れたものとすることができるとともに、製造されるカラーフィルターの信頼性を特に優れたものとすることができる。
【００５９】
［２］吐出ステップ
次に、上述したカラーフィルター用インク２の基板１１に対する液滴吐出と同様にして、液滴吐出装置１００の液滴吐出ヘッド１１４から、置換された洗浄液４を、被検査物２２０に吐出し、ドット列２２２を形成する。
【００６０】
［３］画像取得ステップ
画像取得ステップでは、ドットずれ検出装置２００が、被検査物２２０上に形成されたドット列２２２の電子画像を取得する。この際、カメラ２０３が画像取得手段として機能する。この画像取得ステップにおいては、ドット列２２２がＸ軸方向にほぼ平行となるような姿勢で、被検査物２２０を検査テーブル２０２上に保持する。そして、移動手段２０４のＸ軸方向移動手段２０７およびＹ軸方向移動手段２０８を駆動させて、カメラ２０３を被検査物２２０上のドット列２２２の上方に位置決めし、Ｚ軸方向移動手段２０６を駆動させてカメラ２０３を垂直方向に移動させ、カメラ２０３の焦点を被検査物２２０上のドット列２２２に合わせ、焦点が合った位置にカメラ２０３を固定する。
【００６１】
図１０に示すように、本実施形態では、カメラ２０３の撮影写野２３０には、５個のドット２２１までしか入らない。そこで、ドット列２２２全体の電子画像を得るために、Ｘ軸方向移動手段２０７を作動してカメラ２０３をＸ軸方向に移動することにより、被検査物２２０とカメラ２０３との相対位置をドット列２２２に沿って変えながら複数回の撮影を行う。１回目（１枚目）の撮影では、図中の左から５個目までのドット２２１を撮影する。
【００６２】
次いで、カメラ２０３をドット列２２２に沿ってドット間隔の４倍、すなわち、ノズルピッチＳの４倍の距離だけＸ軸方向（図中右方向）に移動させて、２回目の撮影を行う。これにより、図１１に示すように、カメラ２０３の撮影写野２３０には、図中の左から５〜９個目の５個のドット２２１が入る。すなわち、図中ａで示す左から５個目のドット２２１は、１回目に撮影した画像と、２回目に撮影した画像との両方に含まれる。
【００６３】
同様にして、カメラ２０３をドット列２２２に沿って移動させながら、３回目以降の撮影を行い、ドット列２２２全体を撮影できるまで、撮影を繰り返す。この際、相隣接する二つの画像中に同一のドット２２１が一つ含まれるように撮影を行う。なお、本発明では、相隣接する二つの画像中に同一のドットが二つ以上含まれるように撮影を行ってもよい。
このようにしてカメラ２０３により撮像された複数枚の電子画像の画像データは、画像処理手段２２３が備える記憶部２２３１に取り込まれる。
【００６４】
［４］ドット座標取得ステップ
ドット座標取得ステップにおいては、画像処理手段２２３は、カメラ２０３により撮像された各電子画像を画像処理することにより、各ドット２２１の中心２２１１を求め、各ドット２２１の中心２２１１のＸ座標およびＹ座標を決定する。
次いで、カメラ２０３のレンズ等の光学系の収差（例えば糸巻き型歪曲収差、樽型歪曲収差等）に基づく歪を補正する処理を施す。この処理は、公知の方法により行うことができるが、例えば、カメラ２０３を用いて予め規則正しいパターンの被写体を撮影しておき、その撮影画像の歪を正しい座標に変換するための補正量を把握したデータ（データテーブルまたは演算式）を用意しておき、そのデータに照らし合わせて各ドット２２１の中心２２１１の座標を正しい座標に変換することにより、行えばよい。
【００６５】
このように、カメラ２０３の収差に基づく歪を補正する処理を施すことにより、ドット２２１の位置ずれをより高精度に検出することができる。その結果、より適切な洗浄を行いつつ、長期間にわたって安定的なカラーフィルターの製造を行うことができる。なお、カメラ２０３の収差に基づく歪が小さく、誤差が少ないときは、この補正処理を行わなくてもよい。
【００６６】
各画像について各ドット２２１の中心２２１１のＸ座標およびＹ座標を決定したら、複数の画像の座標系を統合することにより、撮影した全ドット２２１の座標を一つの座標系に統合する。この座標系の統合は、相隣接する二つの画像中に共通に含まれるドット２２１の座標が同じになるような座標変換を施すことによって行うことができる。例えば、１枚目の撮影画像（図１０）と２枚目の撮影画像（図１１）の座標系を統合する場合には、両画像に共通に含まれる図中ａで示すドット２２１の中心２２１１の座標が同じになるように座標変換をすればよい。
【００６７】
これにより、図１２に示すように、ドット列２２２の全ドット２２１の中心２２１１の座標を一つのＸＹ座標系に統合することができる。以下の説明では、このようにして統合された座標系における、図中で左からｉ番目にあるドット２２１の中心２２１１の座標を（ｘｉ，ｙｉ）と表す。
なお、ドットずれ検出装置２００では、画像処理手段２２３および制御手段２１０が、以上説明したドット座標取得ステップを実行するドット座標取得手段として機能する。
【００６８】
上記のように、本実施形態では、画像取得ステップにおいて、画像取得手段が、被検査物とカメラ２０３との相対位置をドット列２２２に沿って変えながら複数の電子画像を撮影するとともに、ドット座標取得ステップにおいて、ドット座標取得手段が、複数の電子画像の座標系を統合して、撮影した全ドットの座標を一つの座標系に統合する。これにより、撮影写野が限られるカメラ２０３を用いてドット列２２２の電子画像を取得する場合であっても、長いドット列２２２に対してドット２２１の位置ずれを簡単かつ正確に検出することができる。
【００６９】
また、上記のように、本実施形態では、画像取得ステップにおいて、画像取得手段が、複数の電子画像を撮影する際、相隣接する二つの画像中に同一のドット２２１が少なくとも一つ含まれるように撮影を行い、ドット座標取得ステップにおいて、ドット座標取得手段が、相隣接する二つの画像中に共通に含まれるドット２２１の座標が同じになるようにして両画像の座標系を統合することにより、複数の電子画像の座標系を統合する。これにより、撮影写野が限られるカメラを用いてドット列２２２の電子画像を取得する場合であっても、長いドット列２２２に対してドット２２１の位置ずれを簡単かつ正確に検出することができる。
【００７０】
［５］第１の基準直線決定ステップ
各ドット２２１の中心のＸ座標およびＹ座標（ｘｉ，ｙｉ）が得られたら、これらの座標に基づいて、最小二乗法により第１の基準直線２２６を決定する。第１の基準直線２２６は、その方程式をＹ＝ＡＸ＋Ｂとしたとき、定数ＡおよびＢを図１３に示す数式によって算出することによって得られる。なお、式中、ｎはドット２２１の数である。
なお、ドットずれ検出装置２００では、制御手段２１０が、以上説明した第１の基準直線決定ステップを実行する第１の基準直線決定手段として機能する。
【００７１】
［６］Ｙ軸方向ずれ量取得ステップ
第１の基準直線２２６は、ドット列２２２の全ドット２２１の座標を総合して決定されたものであるので、全ドット２２１が位置ずれなく正確な位置に着弾したと仮定した場合に各ドット２２１を通る直線にほぼ一致し、よって、ドット列２２２の正規な位置を表す直線であると捉えることができる。
よって、第１の基準直線２２６と各ドット２２１の中心２２１１との距離が、各ドット２２１のＹ軸方向への位置ずれ量を表すものであると言うことができる。そこで、各ドット２２１の中心２２１１について、第１の基準直線２２６との距離を算出することにより、各ドット２２１のＹ軸方向への位置ずれ量を取得する。
【００７２】
図１３に示すように、本実施形態では、図中左から３個目のドット２２１のＹ軸方向の位置ずれ量がΔｙ３であり、図中左から７個目のドット２２１のＹ軸方向の位置ずれ量がΔｙ７であることを検出することができ、さらに、他のドット２２１については、Ｙ軸方向の位置ずれがほぼなく、Ｙ軸方向の位置がほぼ正確であることを検出することができる。
なお、ドットずれ検出装置２００では、制御手段２１０が、以上説明したＹ軸方向ずれ量取得ステップを実行するＹ軸方向ずれ量取得手段として機能する。
【００７３】
［７］点群想定ステップ
次いで、各ドット２２１のＸ軸方向の位置ずれ量を求めるために、図１４に示すような二次元直交座標を想定する。この座標上に、各ドット２２１の中心２２１１のＸ座標（ｘｉ）を縦軸の座標値とし、横軸の座標値が等間隔になるような複数の点２２７からなる点群２２８を想定する。すなわち、点２２７の数は、ドット２２１と同数である。各点２２７の横軸の座標値は、等間隔になっていればよいが、図１４に示す例では、１、２、３、・・・としている。
なお、ドットずれ検出装置２００では、制御手段２１０が、以上説明した点群想定ステップを実行する点群想定手段として機能する。
【００７４】
［８］第２の基準直線決定ステップ
次いで、点群２２８の各点２２７の座標に基づいて、最小二乗法により、前記第１の基準直線決定ステップと同様の演算を行うことにより、図１５に示す第２の基準直線２２９を決定する。
なお、ドットずれ検出装置２００では、制御手段２１０が、以上説明した第２の基準直線決定ステップを実行する第２の基準直線決定手段として機能する。
【００７５】
［９］Ｘ軸方向ずれ量取得ステップ
図１５に示す二次元直交座標においては、点群２２８の各点２２７と第２の基準直線２２９との間の、縦軸方向の距離が各ドット２２１のＸ軸方向への位置ずれ量を表すものであると言うことができる。よって、各点２２７と第２の基準直線２２９との間の、縦軸方向の距離を求めることにより、Ｘ軸方向への各ドット２２１のＸ軸方向への位置ずれ量に関する情報を取得することができる。
【００７６】
図１５に示すように、本実施形態では、図中左から３個目のドット２２１のＸ軸方向の位置ずれ量がΔｘ３であり、図中左から７個目のドット２２１のＸ軸方向の位置ずれ量がΔｘ７であることを検出することができ、さらに、他のドット２２１については、Ｘ軸方向の位置ずれがほぼなく、Ｘ軸方向の位置がほぼ正確であることを検出することができる。
なお、ドットずれ検出装置２００では、制御手段２１０が、以上説明したＸ軸方向ずれ量取得ステップを実行するＸ軸方向ずれ量取得手段として機能する。
【００７７】
上記のように、本実施形態では、［１］〜［６］の各ステップに加え、［７］〜［９］の各ステップを有することにより、ドット列にほぼ平行な方向へのドットの位置ずれをさらに検出することができるので、より正確にドットの位置ずれを分析することができ、より適切な洗浄を行いつつ、長期間にわたって安定的なカラーフィルターの製造を行うことができる。
【００７８】
以上のようにして検出した、各ドット２２１についてのＹ軸方向の位置ずれ量およびＸ軸方向の位置ずれ量のデータは、記憶部２１０２に記憶されるとともに、外部記憶装置２２５に出力する。なお、測定データの出力手段は、外部記憶装置２２５に限定されず、ディスプレイ２２４に表示（出力）したり、プリンタに印刷して出力してもよい。また、ネットワークを接続して他のＰＣに送ることも効率的な出力方法となる。
また、制御手段２１０は、各ドット２２１について、Ｙ軸方向の位置ずれ量ΔｙｉおよびＸ軸方向の位置ずれ量ΔＸｉに基づき、絶対的な位置ずれ量ＬをＬ＝√（Δｙｉ２＋ΔＸｉ２）なる演算を行うことによって算出するようにしてもよい。
【００７９】
オペレーターは、ドットずれ検出装置２００から出力されたＹ軸方向の位置ずれ量ΔｙｉやＸ軸方向の位置ずれ量ΔＸｉ、あるいは、絶対的な位置ずれ量Ｌが許容範囲内にあるか否かを判定することにより、各ドット２２１の着弾位置の正確性を判断することができる。なお、この判断を制御手段２１０によって自動的に行うようにしてもよい。
そして、Ｙ軸方向の位置ずれ量Δｙｉ、Ｘ軸方向の位置ずれ量ΔＸｉ、絶対的な位置ずれ量Ｌが所定値（許容範囲）を超える場合、上記［１］〜［６］の各ステップを、さらには、［１］〜［９］の各ステップを、前記位置ずれ量が許容範囲内となるまで、繰り返し行ってもよい。これにより、必要十分な洗浄をより確実に行うことができ、製造されるカラーフィルターの信頼性、カラーフィルターの生産性等のさらなる向上を図ることができる。
【００８０】
本発明では、上述したように、被検査物２２０として写真用印画紙を好適に用いることができ、例えば精密なパターンのマークが付されたガラスマスクのような高価な被検査物を用意する必要がないので、簡便に、低コストでドットずれ検出および好適な洗浄を行うことができる。また、被検査物２２０に向けて液滴吐出ヘッド１１４から洗浄液４の液滴を吐出する際にも正確な目標位置に着弾させる必要がないので、液滴吐出装置に複雑な制御が不要となり、簡単かつ迅速にドットずれ検出を行うことができる。このようなことから、液滴吐出装置を用いてカラーフィルターを製造する際、本来のカラーフィルターの製造以外の部分に要する時間、手間、費用を削減することができるので、その製造コストを低減させることもできる。
【００８１】
［１０］ドット面積取得ステップ
本発明では、前述した画像取得ステップで得た電子画像を画像処理することにより、各ドット２２１の面積に関する情報を取得するようにしてもよい。この場合には、各ドット２２１の面積を正規の面積と比較することにより、各ノズル１１８から吐出された洗浄液４の液滴の大きさ（液量）が設定した値になっているか否かを検出することができ、より適切な洗浄を行うことができる。なお、この場合、画像処理手段２２３は、各ドット２２１の面積自体を測定しなくてもよく、例えば各ドット２２１の周囲の境界線の長さ等を求めるようにしてもよい。
なお、ドットずれ検出装置２００では、画像処理手段２２３が、以上説明したドット面積取得ステップを実行するドット面積取得手段として機能する。
【００８２】
［１１］ドット有無情報取得ステップ
本発明では、前述した画像取得ステップで得た電子画像を画像処理することにより、各ドット２２１の有無に関する情報を取得するようにしてもよい。この場合、画像処理手段２２３は、正規の位置を中心としたある一定の領域内にドット２２１がない場合には、当該ドット２２１が抜けている（液滴不吐出によるドット２２１の欠損）と判定すればよい。これにより、ノズル１１８の目詰まり等によって洗浄液４の液滴の不吐出が生じた場合にも、これを検出することができ、この結果を受けて、より適切な洗浄を行うことができる。
なお、ドットずれ検出装置２００では、画像処理手段２２３が、以上説明したドット有無情報取得ステップを実行するドット有無情報取得手段として機能する。
【００８３】
上記のような方法で液滴吐出装置１００の洗浄を行った後、流路内の洗浄液４は、カラーフィルター用インク２で置換され、カラーフィルターの製造に供される。
なお、洗浄液４からカラーフィルター用インク２への置換は、直接行うものであってもよいが、例えば、一旦、洗浄液４を他の液体（例えば、カラーフィルター用インク２を構成する溶媒、分散媒成分と同一の成分を含む液体）で置換し、その後、当該液体をカラーフィルター用インク２で置換してもよい。
【００８４】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。また、本発明のカラーフィルター製造装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。
例えば、画像取得手段としては、カメラに限らず、リニアセンサ（リニアイメージセンサ）を用いてもよく、ドット列をリニアセンサで走査することによって、ドット列の電子画像を取得するようにしてもよい。
また、本発明のカラーフィルター製造装置には、任意の構成物が付加されていてもよい。
【００８５】
また、上記［１］のステップ（洗浄液置換ステップ）の前に、［２］のステップ（吐出ステップ）と同様にして、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドからカラーフィルター用インクを被検査物に吐出しドット列を形成し、その後、カラーフィルター用インクによるドット列が形成された被検査物について、上記［３］〜［６］に対応する各ステップ、さらには、上記［７］〜［９］に対応する各ステップを行ってもよい。また、カラーフィルター用インクによるドット列が形成された被検査物について、上記［１０］、［１１］に対応するステップを行ってもよい。これにより、洗浄液の組成、洗浄液の流量、温度等の洗浄液による洗浄条件（例えば、洗浄液置換ステップでの洗浄条件）をより適切に決定することができる。
【００８６】
前述した実施形態では、カラーフィルター製造装置が、液滴吐出装置とドットずれ検出装置とを備えるものであり、液滴吐出装置がインク流路と液滴吐出ヘッドと洗浄液貯留槽とを備え、ドットずれ検出装置が画像取得手段とドット座標取得手段と第１の基準直線決定手段とＹ軸方向ずれ量取得手段とを備えるものとして説明したが、本発明のカラーフィルター製造装置は、インク流路、液滴吐出ヘッド、洗浄液貯留槽、画像取得手段、ドット座標取得手段、第１の基準直線決定手段、および、Ｙ軸方向ずれ量取得手段を有するものであればよく、これらの構成が、上述したような液滴吐出装置・ドットずれ検出装置に設けられた構成でなくてもよい。
【符号の説明】
【００８７】
１００…液滴吐出装置 １０１…タンク １０２…吐出走査部 １０３…液滴吐出手段 １０４…第１位置制御装置 １０５…キャリッジ １０６…ステージ １０８…第２位置制御装置 １１０…チューブ １１２…制御手段 １１４…液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド） １１６…ノズル列 １１８…ノズル １２０…キャビティ １２２…隔壁 １２４…振動子 １２４Ａ、１２４Ｂ…電極 １２４Ｃ…ピエゾ素子 １２６…振動板 １２７…吐出部 １２８…ノズルプレート １２９…液たまり １３０…供給口 １３１…孔 １３２…インク貯留槽 １３３…洗浄液貯留槽 １３４…搬送路 ２００…ドットずれ検出装置 ２０２…検査テーブル ２０２ａ…保持面 ２０３…カメラ ２３０…撮影写野 ２０４…移動手段 ２０５…支持板 ２０６…Ｚ軸方向移動手段 ２０７…Ｘ軸方向移動手段 ２０８…Ｙ軸方向移動手段 ２１０…制御手段 ２１０１…ＣＰＵ ２１０２…記憶部 ２２０…被検査物 ２２１…ドット ２２１１…中心 ２２２…ドット列 ２２３…画像処理手段 ２２３１…記憶部 ２２４…ディスプレイ ２２５…外部記憶装置 ２２６…第１の基準直線 ２２７…点 ２２８…点群 ２２９…第２の基準直線 ２…カラーフィルター用インク ４…洗浄液 １１…基板
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルター用インクの吐出に用いられる液滴吐出装置の洗浄方法であって、
前記液滴吐出装置の流路内の前記カラーフィルター用インクを洗浄液で置換する洗浄液置換ステップと、
置換された前記洗浄液を被検査物上にドット列状に吐出する吐出ステップと、
前記被検査物上に形成されたドット列の電子画像を取得する画像取得ステップと、
前記電子画像を画像処理することにより、前記ドット列に略平行な方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としたときの各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標を取得するドット座標取得ステップと、
前記各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標に基づいて最小二乗法により第１の基準直線を決定する第１の基準直線決定ステップと、
前記第１の基準直線と前記各ドットの中心との距離を求めることにより、前記Ｙ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＹ軸方向ずれ量取得ステップとを備えることを特徴とする洗浄方法。
【請求項２】
二次元直交座標上に、前記各ドットの中心のＸ座標を前記二次元直交座標の一方の座標軸方向の座標値とし、他方の座標軸方向の座標値を等間隔とした点群を想定する点群想定ステップと、
前記点群に対して最小二乗法により第２の基準直線を決定する第２の基準直線決定ステップと、
前記点群の各点と前記第２の基準直線との間の、前記一方の座標軸方向の距離を求めることにより、前記Ｘ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＸ軸方向ずれ量取得ステップとをさらに備える請求項１に記載の洗浄方法。
【請求項３】
前記Ｘ軸方向ずれ量取得ステップで得られた、前記Ｘ軸方向への位置ずれ量が所定値を超える場合に、さらに、前記吐出ステップないし前記Ｘ軸方向ずれ量取得ステップを繰り返し行う請求項２に記載の洗浄方法。
【請求項４】
前記Ｙ軸方向ずれ量取得ステップで得られた、前記Ｙ軸方向への位置ずれ量が所定値を超える場合に、さらに、前記吐出ステップないし前記Ｙ軸方向ずれ量取得ステップを繰り返し行う請求項１ないし３のいずれかに記載の洗浄方法。
【請求項５】
前記洗浄液は、下記式（１）で示される化合物Ａを含有するものである請求項１ないし４のいずれかに記載の洗浄方法。
【化１】
【請求項６】
前記洗浄液は、下記式（２）で示される化合物Ｂを含有するものである請求項１ないし５のいずれかに記載の洗浄方法。
【化２】
【請求項７】
前記洗浄液は、前記化合物Ｂに加え、前記カラーフィルター用インクを構成する溶媒成分をさらに含有するものである請求項６に記載の洗浄方法。
【請求項８】
前記画像取得ステップにおいては、前記被検査物とカメラとの相対位置を前記ドット列に沿って変えながら複数の電子画像を撮影し、
前記ドット座標取得ステップにおいては、前記複数の電子画像の座標系を統合することにより、撮影した全ドットの座標を一つの座標系に統合する請求項１ないし７のいずれかに記載の洗浄方法。
【請求項９】
前記画像取得ステップにおいては、前記複数の電子画像を撮影する際、相隣接する二つの画像中に同一のドットが少なくとも一つ含まれるように撮影を行い、
前記ドット座標取得ステップにおいては、相隣接する二つの画像中に共通に含まれるドットの座標が同じになるようにして両画像の座標系を統合することにより、前記複数の電子画像の座標系を統合する請求項８に記載の洗浄方法。
【請求項１０】
前記ドット座標取得ステップにおいては、電子画像を撮影した光学系の収差に基づく歪を補正する処理を施す請求項１ないし９のいずれかに記載の洗浄方法。
【請求項１１】
カラーフィルターの製造に用いられるカラーフィルター製造装置であって、
カラーフィルター用インクが流通するインク流路と、
前記カラーフィルター用インクの液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記インク流路に供給される洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記液滴吐出ヘッドから前記洗浄液を被検査物上に吐出することにより形成されたドット列の電子画像を取得する画像取得手段と、
前記電子画像を画像処理することにより、前記ドット列に略平行な方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としたときの各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標を取得するドット座標取得手段と、
前記各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標に基づいて最小二乗法により第１の基準直線を決定する第１の基準直線決定手段と、
前記第１の基準直線と前記各ドットの中心との距離を求めることにより、前記Ｙ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＹ軸方向ずれ量取得手段とを備えることを特徴とするカラーフィルター製造装置。
【請求項１２】
二次元直交座標上に、前記各ドットの中心のＸ座標を前記二次元直交座標の一方の座標軸方向の座標値とし、他方の座標軸方向の座標値を等間隔とした点群を想定する点群想定手段と、
前記点群に対して最小二乗法により第２の基準直線を決定する第２の基準直線決定手段と、
前記点群の各点と前記第２の基準直線との間の、前記一方の座標軸方向の距離を求めることにより、前記Ｘ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＸ軸方向ずれ量取得手段とをさらに備える請求項１１に記載のカラーフィルター製造装置。
【請求項１３】
前記画像取得手段は、前記被検査物とカメラとの相対位置を前記ドット列に沿って変えながら複数の電子画像を撮影し、
前記ドット座標取得手段は、前記複数の電子画像の座標系を統合することにより、撮影した全ドットの座標を一つの座標系に統合する請求項１１または１２に記載のカラーフィルター製造装置。
【請求項１４】
前記画像取得手段は、前記複数の電子画像を撮影する際、相隣接する二つの画像中に同一のドットが少なくとも一つ含まれるように撮影を行い、
前記ドット座標取得手段は、相隣接する二つの画像中に共通に含まれるドットの座標が同じになるようにして両画像の座標系を統合することにより、前記複数の電子画像の座標系を統合する請求項１３に記載のカラーフィルター製造装置。
【請求項１５】
前記ドット座標取得手段は、電子画像を撮影した光学系の収差に基づく歪を補正する処理を施す請求項１１ないし１４のいずれかに記載のカラーフィルター製造装置。
【請求項１】
カラーフィルター用インクの吐出に用いられる液滴吐出装置の洗浄方法であって、
前記液滴吐出装置の流路内の前記カラーフィルター用インクを洗浄液で置換する洗浄液置換ステップと、
置換された前記洗浄液を被検査物上にドット列状に吐出する吐出ステップと、
前記被検査物上に形成されたドット列の電子画像を取得する画像取得ステップと、
前記電子画像を画像処理することにより、前記ドット列に略平行な方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としたときの各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標を取得するドット座標取得ステップと、
前記各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標に基づいて最小二乗法により第１の基準直線を決定する第１の基準直線決定ステップと、
前記第１の基準直線と前記各ドットの中心との距離を求めることにより、前記Ｙ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＹ軸方向ずれ量取得ステップとを備えることを特徴とする洗浄方法。
【請求項２】
二次元直交座標上に、前記各ドットの中心のＸ座標を前記二次元直交座標の一方の座標軸方向の座標値とし、他方の座標軸方向の座標値を等間隔とした点群を想定する点群想定ステップと、
前記点群に対して最小二乗法により第２の基準直線を決定する第２の基準直線決定ステップと、
前記点群の各点と前記第２の基準直線との間の、前記一方の座標軸方向の距離を求めることにより、前記Ｘ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＸ軸方向ずれ量取得ステップとをさらに備える請求項１に記載の洗浄方法。
【請求項３】
前記Ｘ軸方向ずれ量取得ステップで得られた、前記Ｘ軸方向への位置ずれ量が所定値を超える場合に、さらに、前記吐出ステップないし前記Ｘ軸方向ずれ量取得ステップを繰り返し行う請求項２に記載の洗浄方法。
【請求項４】
前記Ｙ軸方向ずれ量取得ステップで得られた、前記Ｙ軸方向への位置ずれ量が所定値を超える場合に、さらに、前記吐出ステップないし前記Ｙ軸方向ずれ量取得ステップを繰り返し行う請求項１ないし３のいずれかに記載の洗浄方法。
【請求項５】
前記洗浄液は、下記式（１）で示される化合物Ａを含有するものである請求項１ないし４のいずれかに記載の洗浄方法。
【化１】
【請求項６】
前記洗浄液は、下記式（２）で示される化合物Ｂを含有するものである請求項１ないし５のいずれかに記載の洗浄方法。
【化２】
【請求項７】
前記洗浄液は、前記化合物Ｂに加え、前記カラーフィルター用インクを構成する溶媒成分をさらに含有するものである請求項６に記載の洗浄方法。
【請求項８】
前記画像取得ステップにおいては、前記被検査物とカメラとの相対位置を前記ドット列に沿って変えながら複数の電子画像を撮影し、
前記ドット座標取得ステップにおいては、前記複数の電子画像の座標系を統合することにより、撮影した全ドットの座標を一つの座標系に統合する請求項１ないし７のいずれかに記載の洗浄方法。
【請求項９】
前記画像取得ステップにおいては、前記複数の電子画像を撮影する際、相隣接する二つの画像中に同一のドットが少なくとも一つ含まれるように撮影を行い、
前記ドット座標取得ステップにおいては、相隣接する二つの画像中に共通に含まれるドットの座標が同じになるようにして両画像の座標系を統合することにより、前記複数の電子画像の座標系を統合する請求項８に記載の洗浄方法。
【請求項１０】
前記ドット座標取得ステップにおいては、電子画像を撮影した光学系の収差に基づく歪を補正する処理を施す請求項１ないし９のいずれかに記載の洗浄方法。
【請求項１１】
カラーフィルターの製造に用いられるカラーフィルター製造装置であって、
カラーフィルター用インクが流通するインク流路と、
前記カラーフィルター用インクの液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記インク流路に供給される洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記液滴吐出ヘッドから前記洗浄液を被検査物上に吐出することにより形成されたドット列の電子画像を取得する画像取得手段と、
前記電子画像を画像処理することにより、前記ドット列に略平行な方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としたときの各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標を取得するドット座標取得手段と、
前記各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標に基づいて最小二乗法により第１の基準直線を決定する第１の基準直線決定手段と、
前記第１の基準直線と前記各ドットの中心との距離を求めることにより、前記Ｙ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＹ軸方向ずれ量取得手段とを備えることを特徴とするカラーフィルター製造装置。
【請求項１２】
二次元直交座標上に、前記各ドットの中心のＸ座標を前記二次元直交座標の一方の座標軸方向の座標値とし、他方の座標軸方向の座標値を等間隔とした点群を想定する点群想定手段と、
前記点群に対して最小二乗法により第２の基準直線を決定する第２の基準直線決定手段と、
前記点群の各点と前記第２の基準直線との間の、前記一方の座標軸方向の距離を求めることにより、前記Ｘ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＸ軸方向ずれ量取得手段とをさらに備える請求項１１に記載のカラーフィルター製造装置。
【請求項１３】
前記画像取得手段は、前記被検査物とカメラとの相対位置を前記ドット列に沿って変えながら複数の電子画像を撮影し、
前記ドット座標取得手段は、前記複数の電子画像の座標系を統合することにより、撮影した全ドットの座標を一つの座標系に統合する請求項１１または１２に記載のカラーフィルター製造装置。
【請求項１４】
前記画像取得手段は、前記複数の電子画像を撮影する際、相隣接する二つの画像中に同一のドットが少なくとも一つ含まれるように撮影を行い、
前記ドット座標取得手段は、相隣接する二つの画像中に共通に含まれるドットの座標が同じになるようにして両画像の座標系を統合することにより、前記複数の電子画像の座標系を統合する請求項１３に記載のカラーフィルター製造装置。
【請求項１５】
前記ドット座標取得手段は、電子画像を撮影した光学系の収差に基づく歪を補正する処理を施す請求項１１ないし１４のいずれかに記載のカラーフィルター製造装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【公開番号】特開２０１２−１０３５７６（Ｐ２０１２−１０３５７６Ａ）
【公開日】平成２４年５月３１日（２０１２．５．３１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２５３５３７（Ｐ２０１０−２５３５３７）
【出願日】平成２２年１１月１２日（２０１０．１１．１２）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年５月３１日（２０１２．５．３１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１１月１２日（２０１０．１１．１２）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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